JP2001170828A - ワークの位置決め方法及び位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】精度良く位置合わせができ、且つ生産性も高い
ワークの位置決め装置を提供する。 【解決手段】 第１のワーク２の第１の所定部位のＸ方
向の位置Ｘ１を検出する第１のカメラと、第２のワーク
４の第２の所定部位１１のＸ方向の位置Ｘ２を検出する
第２のカメラ１１５と、第１のワークの側面のＸ方向位
置の変化量Δｘを検出する測長センサ１１６と、第２の
ワーク４を第１のワーク２に対してＸ方向に移動量（Ｘ
２−Ｘ１）だけ移動させて、第２のワークの第２の所定
部位の位置を第１のワークの第１の所定部位の位置に一
致させる移動ステージ１２９とを具備し、移動ステージ
による移動時に、移動量（Ｘ２−Ｘ１）に固定側の第１
のワークの位置変化量Δｘを加えた量だけ、第２のワー
クをＸ方向に移動させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、第１のワークと第
２のワークとを高精度に位置決めするためのワークの位
置決め方法及び位置決め装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ヒーターボードに天板を組み合わ
せて形成するインクジェット印字ヘッドの製造方法とし
ては、以下のようなものが知られている。 （１）特開平４−１７１１２６号公報に示されるよう
に、組み立て装置上にてヒーターボード上に形成されて
いるヒーターの位置を画像認識して記憶し、次にヒータ
ーボード上に天板を仮組みして天板に形成されているイ
ンク吐出用のノズル穴位置を画像認識し、前記ヒーター
ボードと前記天板を相対的に移動させることにより、ヒ
ーターボードと天板ノズルの穴位置の仮組み時の誤差を
吸収して、前記ヒーターと前記ノズル穴との位置を合わ
せる。 （２）特開平６−９１４４６号公報に示されるものは、
（１）の位置合わせと同様な画像処理を用いた位置合わ
せであるが、より量産性を高めるのに適したインデック
ステーブルによる工程分割がはかられている。 （３）特開平９−５７９８４号公報に示されるように、
組み立て装置上にて、ヒーターボードの位置合わせ方向
の１側面と、天板に設けられたノズル穴との位置が精度
よく加工された基準面を一定加圧して位置合わせする。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年イ
ンクジェット印字ヘッドがより高精細化され、ノズル間
隔及びヒーター間隔がより小さくなってきており、上記
従来例では対応できないような高精度な位置合わせが要
求されてきている。

【０００４】即ち、上記の従来の方法では以下のような
問題点がある。 （１）特開平４−１７１１２６号公報や特開平６−９１
４４６号公報に示される画像による位置合わせ方式の場
合、より量産性を高めた特開平６−９１４４６号公報の
ように、位置合わせ機構以外の周辺装置のミクロンオー
ダの振動等が、さらなる高精度な位置合わせを阻害す
る。 （２）特開平９−５７９８４号公報に示された例では、
もともと工程がシンプルで量産性の高い方式であるが、
ヒーターボードの位置合わせ面とヒータ間の寸法精度
や、天板の基準面とノズル穴間の寸法精度を高精度にす
る必要があり、これらの加工コストが高くなる。

【０００５】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、精度良く位置合わせが
でき、且つ生産性も高いワークの位置決め方法及び位置
決め装置を提供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わるワークの位置決
め方法は、治具上に固定された第１のワークの上面の第
１の所定部位のＸ方向の位置と、前記第１のワーク上に
載置される第２のワークの第２の所定部位のＸ方向の位
置とを一致させるためのワークの位置決め方法であっ
て、前記第１のワークの前記第１の所定部位のＸ方向の
位置Ｘ１を検出する第１の検出工程と、前記第２のワー
クの前記第２の所定部位のＸ方向の位置Ｘ２を検出する
第２の検出工程と、前記第１のワークの第３の所定部位
のＸ方向位置の変化量Δｘを検出する第３の検出工程
と、前記第２のワークを前記第１のワークに対してＸ方
向に移動量（Ｘ２−Ｘ１）だけ移動させて、前記第２の
ワークの第２の所定部位の位置を前記第１のワークの第
１の所定部位の位置に一致させる移動工程とを具備し、
前記移動工程における移動時に、前記移動量（Ｘ２−Ｘ
１）に前記固定側の第１のワークの位置変化量Δｘを加
えた量だけ、前記第２のワークをＸ方向に移動させるこ
とを特徴としている。

【０００７】また、この発明に係わるワークの位置決め
方法において、前記第１の検出工程では、前記第１のワ
ークの第１の所定部位をカメラにより撮影し、画像処理
することにより前記第１の所定部位の位置を検出するこ
とを特徴としている。

【０００８】また、この発明に係わるワークの位置決め
方法において、前記第２の検出工程では、前記第２のワ
ークの第２の所定部位をカメラにより撮影し、画像処理
することにより前記第２の所定部位の位置を検出するこ
とを特徴としている。

【０００９】また、この発明に係わるワークの位置決め
方法において、前記第３の検出工程では、前記第１のワ
ークのＸ方向端面の位置を距離センサにより検出するこ
とを特徴としている。

【００１０】また、この発明に係わるワークの位置決め
方法において、前記第１のワークは、インクジェットヘ
ッドのヒーターボードであり、前記第２のワークは、イ
ンクジェットヘッドの天板部材であることを特徴として
いる。

【００１１】また、本発明に係わるワークの位置決め装
置は、治具上に固定された第１のワークの上面の第１の
所定部位のＸ方向の位置と、前記第１のワーク上に載置
される第２のワークの第２の所定部位のＸ方向の位置と
を一致させるためのワークの位置決め装置であって、前
記第１のワークの前記第１の所定部位のＸ方向の位置Ｘ
１を検出する第１の検出手段と、前記第２のワークの前
記第２の所定部位のＸ方向の位置Ｘ２を検出する第２の
検出手段と、前記第１のワークの第３の所定部位のＸ方
向位置の変化量Δｘを検出する第３の検出手段と、前記
第２のワークを前記第１のワークに対してＸ方向に移動
量（Ｘ２−Ｘ１）だけ移動させて、前記第２のワークの
第２の所定部位の位置を前記第１のワークの第１の所定
部位の位置に一致させる移動手段とを具備し、前記移動
手段による移動時に、前記移動量（Ｘ２−Ｘ１）に前記
固定側の第１のワークの位置変化量Δｘを加えた量だ
け、前記第２のワークをＸ方向に移動させることを特徴
としている。

【００１２】また、この発明に係わるワークの位置決め
装置において、前記第１の検出手段は、前記第１のワー
クの第１の所定部位を撮影するカメラと、該カメラの撮
影画像を画像処理する画像処理装置とを備えることを特
徴としている。

【００１３】また、この発明に係わるワークの位置決め
装置において、前記第２の検出手段は、前記第２のワー
クの第２の所定部位を撮影するカメラと、該カメラの撮
影画像を画像処理する画像処理装置とを備えることを特
徴としている。

【００１４】また、この発明に係わるワークの位置決め
装置において、前記第３の検出手段は、前記第１のワー
クのＸ方向端面の位置を検出する距離センサを備えるこ
とを特徴としている。

【００１５】また、この発明に係わるワークの位置決め
装置において、前記第１のワークは、インクジェットヘ
ッドのヒーターボードであり、前記第２のワークは、イ
ンクジェットヘッドの天板部材であることを特徴として
いる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明のワークの位置決め
方法をインクジェット用ヘッドの組立に適用した一実施
形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。

【００１７】［インクジェットカートリッジ及びヘッド
の説明］図４は、インクジェットカートリッジの構成部
品を示す図である。図４において、ヒーター３を有する
ヒーターボード２（以下ＨＢと略す）を実装したベース
プレートユニット１と、ノズル穴／流路等を有する天板
４と、これらを高精度に位置合わせした後、これらを結
合する押さえばね５を組み付けたものをインクジェット
ヘッド９と呼ぶ。本実施形態では、特にヒーターボード
２のヒーター３と天板４を高精度に位置合わせする方法
及び装置を説明するので、図５を用いてさらに詳細にイ
ンクジェットヘッドの構造と組み立ての仕様について説
明する。

【００１８】図５はベースプレートユニット１上のＨＢ
２と天板４の組立後の断面を示した図である。図５にお
いて、天板４の断面は、Ｘ方向に複数形成された流路１
０及びノズル穴１１のうちの１つの断面を表わしてい
る。

【００１９】この１つの流路１０及びノズル穴１１のＸ
方向の中心に、複数のヒーター３のうちの１つのヒータ
ーの中心位置が一致するように位置合わせする必要があ
る。また、この天板４の下面（ＸＹ面）と、ＨＢ２のヒ
ーター面は密着させる必要がある。さらに、ノズル穴１
１が形成されているオリフィスプレート１３の裏面とＨ
Ｂ２のＸＺ面も密着させる必要がある。インクジェット
ヘッドでは、不図示の板バネによりオリフィスプレート
１３の裏面がＨＢ２のＸＺ面に密着され、かつ、ヒータ
ー３の個々が天板４のノズル穴１１及び流路１０とＸ方
向に高精度に位置合わせされた状態で固定される。矢印
１２は、インクジェットヘッドがインクを飛ばすまでの
インクの流れを示しており、ＨＢ２の個々のヒーターを
ＩＣパターン１５の駆動回路によって制御することによ
り、高精度に加工された個々の流路１０及びノズル穴１
１からインクを飛ばすことが可能である。

【００２０】［全体システムの説明］図２は、上記のイ
ンクジェットヘッドの位置合わせを行う装置を含むイン
クジェットヘッドの製造装置の全体システムを示す図で
ある。

【００２１】本システムは、図５のＺ方向から天板に加
圧できる上押え機構１０３と、天板４のオリフィスプレ
ート１３の前面から図５のＹ方向に天板を加圧できる前
押え機構１０２を有し、且つベースプレートユニットを
位置決め固定できるように構成された５つのインデック
ス治具１０１を備えている。各治具１０１は、高精度に
割り出し可能なインデックステーブル１００の上に等角
度間隔で配置され、周囲の各作業ステーションで同時に
夫々の作業が行えるように５分割割出しで位置決めされ
る。

【００２２】各作業ステーションのうち、ＳＴ１は、組
立が終了したインクジェットヘッドを治具１０１から取
り出し、未組立のベースプレートユニット１を治具１０
１に供給する。ＳＴ１は、組立前のベースプレートユニ
ット１及び完成後のインクジェットヘッドを収納する収
納トレー１０４と、複数のトレーを供給するトレースト
ッカー１０５と、収納トレー１０４と治具１０１との間
でベースプレートユニット１及び完成インクジェットヘ
ッドを給排する給排ロボット１０６とを備えている。

【００２３】ＳＴ２は、ＨＢ２の所定の場所（本実施形
態では中央部）のヒーターのＸ方向位置を検出するとこ
ろのインデックステーブルの外部に設けられたＣＣＤカ
メラ１０７と、不図示の画像処理装置と、ＨＢ２のＸ方
向の端面位置を検出する第１の測長センサ１０８とを備
えている。このＳＴ２は、ＳＴ１で供給されたベースプ
レートユニットのヒーター位置を検出する作業ステーシ
ョンであるが、詳細は後述する。

【００２４】ＳＴ３は、天板４を収納した収納トレー１
０９と、複数のトレー１０９を供給するトレーストッカ
ー１１０と、天板の仮位置決めを行う仮位置決めユニッ
ト１１２と、収納トレー１０９から天板を取り出し、仮
位置決めユニット１１２に置く取り置きロボット１１１
と、仮位置決めユニット１１２から天板４を取り出し、
ＳＴ３の治具１０１上のＨＢ２上に搭載する天板挿入ロ
ボット１１３とを備えている。そしてこのＳＴ３では、
天板４をＨＢ２に載置後に、治具に設けられた上押え１
０３、前押え１０２を弱い圧力で動作させ、図５のヒー
ター面（Ｘ−Ｙ面）と天板４の流路面、及び図５のオリ
フィスプレート裏面とＨＢ端面（Ｘ−Ｚ面）をそれぞれ
密着させるようにしている。

【００２５】ＳＴ４では、ＳＴ３で密着された２面をそ
のまま加圧し続ける。ＳＴ４は、天板の所定（本実施形
態では中央部）のノズル穴位置を検出するＣＣＤカメラ
１１５と、ＨＢ２のＸ方向端面位置を検出する第２の測
長センサ１１６と、天板の位置を調整するための調整機
構３００と、これらＣＣＤカメラ１１５、測長センサ１
１６、調整機構３００を１つのユニットとして、作業時
に前進させ、作業終了後に後退させてインデックステー
ブルの回転時に緩衝を防ぐためのユニット前後機構１１
４とを備えている。なお、検出結果の処理及び調整の動
作の詳細は後述する。なお、本実施形態で使用する測長
センサとしては、例えばレーザー測長センサ等の非接触
のセンサが好適に用いられる。

【００２６】ＳＴ４において、天板４とＨＢ２のヒータ
ー列方向（Ｘ方向）の位置合わせが終了すると、前押え
１０２の加圧力を増して、位置がずれないように仮固定
し、上押え１０３が次の作業ステーションの作業の障害
にならないように退避する。

【００２７】ＳＴ５は、押さえバネ５を供給するパーツ
フィーダ１１７と、パーツフィーダ１１７から連続的に
送られてくる押さえバネ５を１つずつ分離する分離ユニ
ット１１８と、押さえバネ５をＳＴ５に割り出された位
置合わせ終了後の天板４とＨＢ２に組み付ける組み込み
ユニット１２０と、板バネ５を分離ユニット１１８から
組み込みユニット１２０に供給するための移し替えロボ
ット１１９とを備えている。ＳＴ５では、位置合わせ終
了後の天板４を押さえバネ５によりベースプレートユニ
ット１に固定する作業を行う。また、前押え１０２が、
ＳＴ１での完成したインクジェットヘッドの取出しの障
害にならないように退避する。

【００２８】図２の１２１は全体を制御するコントロー
ラであるが、その詳細を図３のブロック図に示す。

【００２９】［コントローラブロック図の説明］図３
は、本実施形態の制御系のブロック図で、大別してパソ
コンにより制御する部分２００と、シーケンサにより制
御する部分２１３からなる。

【００３０】パソコン系の制御ブロック２００は、メイ
ンの制御用パソコン２０１と、表示器としてのモニタ２
０２と、制御パラメータの入力やプログラミング用の入
力手段であるキーボード２０３と、リスト等の出力用の
プリンタ２０４と、拡張バスにより結合されたＩ／Ｏの
入出力ユニット（ＰＩＯ）２０５と、これらに接続され
たオペレータ操作盤２０６と、装置機構部のセンサやシ
リンダ等を動作させるソレノイドバルブ（ＳＶ）等とを
備えている。拡張バスには、前押え力を可変にするため
のステージ及び天板の位置調整を行うためのパルスモー
ターステージを駆動するドライバユニット２０８の制御
用基板２０７、ＨＢ２上のヒーター３の位置及び天板の
ノズル穴位置を検出するＣＣＤカメラ１１５，１１７、
画像処理装置２１０を制御し、位置データを収集するシ
リアル通信基板２０９、ＨＢ端面の位置を測長する測長
センサのデータ収集用のＡ／Ｄ変換基板等が接続されて
いる。

【００３１】不図示ではあるが、制御用パソコン内に
は、検出データの演算処理ソフトや、シーケンスソフト
が含まれている。

【００３２】パソコン系の制御系ブロックは、図２のシ
ステムでＳＴ２及びＳＴ４の制御、及びインデックステ
ーブルとインデックス治具以外の動作の制御を行うよう
に構成され、上記（ＰＩＯ）２０５により、シーケンサ
制御系２１３と調停を行うようになされている。

【００３３】シーケンサ系の制御ブロック２１３は、メ
インのシーケンサＣＰＵ２１４と、シリアル通信ユニッ
ト２１５と、ＤＣ入力ユニット２１７と、出力ユニット
２１９とを備えており、シリアル通信ユニット２１５は
オペレータの操作盤２１６と接続され、入出力ユニット
２１７，２１９は、インデックスドライバや各ロボット
ユニット２１８、さらには、装置機構のセンサ類やシリ
ンダ駆動用のＳＶやリレー類と接続されている。

【００３４】不図示ではあるが、シーケンサＣＰＵ内に
は、シーケンスソフトが含まれている。

【００３５】シーケンサ制御ブロック２１３は、図２の
システムの中で、ＳＴ１，ＳＴ３，ＳＴ５の制御、及び
インデックステーブルと治具の動作制御を行うように構
成されていて、先に述べたように、パソコン系の制御ブ
ロックと、２１７，２１９の入出力ユニットによって調
停を行うようになされている。

【００３６】［位置合わせの詳細説明］図２の装置全体
の中で、ヒーター位置を検出するＳＴ２の詳細を図１Ａ
に示し、天板の位置調整を行うＳＴ４の詳細を図１Ｂに
示す。

【００３７】先ず、図１Ａのヒーター位置検出系は、イ
ンデックステーブル上の治具１０１としての、ベースプ
レートユニット１を固定するベースプレートクランパ１
２２と、ヒーターボードのＸ方向の側面１２８の位置を
測定する測長センサ１０８と、これをインデックステー
ブルの回転時に退避させる測長センサ移動ステージ１２
７とを備えている。

【００３８】図１Ａにおけるヒーター位置検出の手順を
説明する。

【００３９】初期においては、ベースプレートユニット
１は、インデックステーブル上の治具１０１内で位置決
めされ、クランパ１２２で固定されている。上押え１０
３、前押え１０２は、退避していて、ＣＣＤカメラ１０
７と干渉しない位置にある。あらかじめ校正されたＣＣ
Ｄカメラ１０７により、ヒーター列のうち中央のヒータ
ーの位置を画像として取り込み、図３の画像処理装置２
１０で処理し、Ｘ方向の位置を校正時のデータからの差
分ΔＸ1として制御用パソコン２０１で記憶する。同時
に、測長センサ１０８の出力をＡ／Ｄ変換器２１１で取
り込み、同じく校正時のデータからの差分Δｘ1として
記憶する。

【００４０】図１Ｂにおける天板調整手順を説明する。
なお、この天板調整系の構成は、図１Ａに示すヒーター
位置検出系の構成とほとんど同一であるためため、図１
Ａと同一部分には同一符号を付し、図１Ａも参照しなが
ら説明する。

【００４１】図１Ａで、ヒーター位置の検出を終了後、
天板４をヒーターボード２に載置し、前押え１０２及び
上押え１０３を動作させ、天板４のオリフィスプレート
裏面とヒーター２のＸＺ面、及び天板流路面（ＹＸ面）
とヒーター列面とを密着させる。天板調整系は、調整ユ
ニットを前進させ、調整可能な状態になるように移動さ
せる調整ユニット移動ステージ１１４と、天板４を移動
させる天板移動ステージ１２９と、天板４を上方向から
定着させる上押え１０３と、上押えの加圧力を与える上
押え加圧シリンダ１２３（図１Ａ参照）と、ベースプレ
ートユニット１の供給時に障害とならないように上押え
１０３を退避させる上押え移動シリンダ１２４（図１Ａ
参照）と、天板４をＹ軸方向に密着させるための先端に
弱い板バネ１２５を有した前押え１０２と、前押えの荷
重を板バネ１２５により可変とするために変位を与える
前押えステージ１２６とを備えている。この前押えステ
ージ１２６も、ベースプレートユニットを治具に供給す
る時に前押えを後退させ退避させることが可能となって
いる。

【００４２】さらに、インデックステーブル外に、ヒー
ターボードの中央のヒーターの位置を検出するためのＣ
ＣＤカメラ１０７（図１Ａ参照）と、同じくインデック
ステーブル外でヒーターのＸ方向の側面１２８の位置を
検出する測長センサ１１６と、この測長センサ１１６が
インデックステーブルの回転時に干渉しないようにする
ための調整ユニット移動ステージ１１４とを備えてい
る。

【００４３】インデックステーブル外には、あらかじめ
ＣＣＤカメラ１０７との位置関係が校正されていて、天
板４のノズル穴（列の中央）１１を検出するためのＣＣ
Ｄカメラ１１５が設置されている。同じくインデックス
テーブル外には、天板をＸ方向の一端から移動させる天
板移動ステージ１２９と、天板のＸ方向のもう一端から
一定圧を調整時に与える天板予圧シリンダ１３１とが配
置されていて、予圧シリンダ１３１を作動し、予圧棒１
３０を天板に突き当てて、移動ステージ１２９と予圧棒
１３０で天板４を挟み込む。

【００４４】次に、ＣＣＤカメラ１１５で天板ノズル穴
列の中央の画像を取り込み、画像処理装置２１０で処理
し、Ｘ方向の特定のノズル穴位置をあらかじめ校正され
たデータとの差分ΔＸ2として、制御用パソコン２０１
に記憶する。同時に、測長センサ１０８の出力をＡ／Ｄ
変換器２１１で取り込み、同じく校正時のデータからの
差分Δｘ2として記憶する。

【００４５】ここで、Ｘs0を移動ステージ１２９の初期
位置とすると、先のヒーター測定時の情報から、天板移
動の移動ステージ１２９の目標値として Ｘs0＋｛（ΔＸ1−ΔＸ2）＋（Δｘ1−Δｘ2）｝ を制御用パソコン２０１で計算する。この目標値を Ｘs＝Ｘs0＋｛（ΔＸ1−ΔＸ2）＋（Δｘ1−Δｘ2）｝ として、次にステージ１２９により天板を移動させる。
天板４を移動させる際には、先の測長センサ１１６の検
出値を常時Ａ／Ｄ変換器で取り込み、Δｘnowとして、
ステージの実際の移動量を Ｘ's＝Ｘs＋（Δｘ2−Δｘnow） として、制御用パソコン２０１で計算し、モータ制御基
板２０７へ出力し、ステージ１２９を移動する。Ｘ's＝
Ｘsとなった時に、前押えステージ１２６を移動し、前
押えの荷重を増して、ヒーターボードと天板の相対位置
関係を仮固定する。その後、天板予圧棒１３０、天板移
動ステージを退避させ、調整ユニット移動ステージ１１
４を後退させ、調整を終了する。

【００４６】以上説明したように、上記の実施形態によ
れば、第１ワーク・第２ワークの位置合わせ特定位置の
検出の際に固定側の第１ワークの別基準面の位置を位置
合わせ方向で検出しておくこと及び第２ワークの位置調
整時に位置を移動させる時に常に固定側第１ワークの基
準面位置を検出しておくことにより、多量生産を行うた
めに必要な装置の高速化に伴う装置の振動特に位置検出
系と第１ワーク及び第２ワークの相対的な位置誤差や第
１ワークの固定基台と調整機構との相対的な位置誤差を
キャンセルできる。これにより高速かつ高精度な複数部
品の位置合わせが可能になる。

【００４７】さらに第１・第２ワークの位置合わせの特
定位置の検出を別の作業工程化（別作業場所に）しても
共通の第１ワークの位置検出を行っているために装置の
精度を著しく向上させずに作業分割でき、作業を並列化
させやすく量産性を向上できる。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
生産性高く、且つ精度も良くワークの位置合わせを行う
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１Ａ】ヒーター位置検出系の構成を示す図である。

【図１Ｂ】天板位置調整系の構成を示す図である。

【図２】インクジェットヘッドの製造装置の全体構成を
示す図である。

【図３】コントローラのブロック図である。

【図４】インクジェットカートリッジの構成を示す分解
斜視図である。

【図５】インクジェットヘッドの構造を示す図である。

【符号の説明】

１ ベースプレートユニット ２ ヒーターボード ３ ヒーター ４ 天板 ５ 押さえバネ ９ インクジェットヘッド

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 治具上に固定された第１のワークの上面
   の第１の所定部位のＸ方向の位置と、前記第１のワーク
   上に載置される第２のワークの第２の所定部位のＸ方向
   の位置とを一致させるためのワークの位置決め方法であ
   って、 前記第１のワークの前記第１の所定部位のＸ方向の位置
   Ｘ１を検出する第１の検出工程と、 前記第２のワークの前記第２の所定部位のＸ方向の位置
   Ｘ２を検出する第２の検出工程と、 前記第１のワークの第３の所定部位のＸ方向位置の変化
   量Δｘを検出する第３の検出工程と、 前記第２のワークを前記第１のワークに対してＸ方向に
   移動量（Ｘ２−Ｘ１）だけ移動させて、前記第２のワー
   クの第２の所定部位の位置を前記第１のワークの第１の
   所定部位の位置に一致させる移動工程とを具備し、 前記移動工程における移動時に、前記移動量（Ｘ２−Ｘ
   １）に前記固定側の第１のワークの位置変化量Δｘを加
   えた量だけ、前記第２のワークをＸ方向に移動させるこ
   とを特徴とするワークの位置決め方法。
2. 【請求項２】 前記第１の検出工程では、前記第１のワ
   ークの第１の所定部位をカメラにより撮影し、画像処理
   することにより前記第１の所定部位の位置を検出するこ
   とを特徴とする請求項１に記載のワークの位置決め方
   法。
3. 【請求項３】 前記第２の検出工程では、前記第２のワ
   ークの第２の所定部位をカメラにより撮影し、画像処理
   することにより前記第２の所定部位の位置を検出するこ
   とを特徴とする請求項１に記載のワークの位置決め方
   法。
4. 【請求項４】 前記第３の検出工程では、前記第１のワ
   ークのＸ方向端面の位置を距離センサにより検出するこ
   とを特徴とする請求項１に記載のワークの位置決め方
   法。
5. 【請求項５】 前記第１のワークは、インクジェットヘ
   ッドのヒーターボードであり、前記第２のワークは、イ
   ンクジェットヘッドの天板部材であることを特徴とする
   請求項１に記載のワークの位置決め方法。
6. 【請求項６】 治具上に固定された第１のワークの上面
   の第１の所定部位のＸ方向の位置と、前記第１のワーク
   上に載置される第２のワークの第２の所定部位のＸ方向
   の位置とを一致させるためのワークの位置決め装置であ
   って、 前記第１のワークの前記第１の所定部位のＸ方向の位置
   Ｘ１を検出する第１の検出手段と、 前記第２のワークの前記第２の所定部位のＸ方向の位置
   Ｘ２を検出する第２の検出手段と、 前記第１のワークの第３の所定部位のＸ方向位置の変化
   量Δｘを検出する第３の検出手段と、 前記第２のワークを前記第１のワークに対してＸ方向に
   移動量（Ｘ２−Ｘ１）だけ移動させて、前記第２のワー
   クの第２の所定部位の位置を前記第１のワークの第１の
   所定部位の位置に一致させる移動手段とを具備し、 前記移動手段による移動時に、前記移動量（Ｘ２−Ｘ
   １）に前記固定側の第１のワークの位置変化量Δｘを加
   えた量だけ、前記第２のワークをＸ方向に移動させるこ
   とを特徴とするワークの位置決め装置。
7. 【請求項７】 前記第１の検出手段は、前記第１のワー
   クの第１の所定部位を撮影するカメラと、該カメラの撮
   影画像を画像処理する画像処理装置とを備えることを特
   徴とする請求項６に記載のワークの位置決め装置。
8. 【請求項８】 前記第２の検出手段は、前記第２のワー
   クの第２の所定部位を撮影するカメラと、該カメラの撮
   影画像を画像処理する画像処理装置とを備えることを特
   徴とする請求項６に記載のワークの位置決め装置。
9. 【請求項９】 前記第３の検出手段は、前記第１のワー
   クのＸ方向端面の位置を検出する距離センサを備えるこ
   とを特徴とする請求項６に記載のワークの位置決め装
   置。
10. 【請求項１０】 前記第１のワークは、インクジェット
    ヘッドのヒーターボードであり、前記第２のワークは、
    インクジェットヘッドの天板部材であることを特徴とす
    る請求項６に記載のワークの位置決め装置。