JP2001168677A - 弾性波遅延線 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来、製造上のバラつきにより、適正な屈折
補正が行えず特性が劣化するという課題があった。 【解決手段】 複数の電極指３と、複数の電極指に交互
に結合された外側及び内側のブスバー４Ａ、５Ａ、６
Ａ、７Ａとが圧電性基板上に構成されたすだれ状電極を
入出力一対１Ａ、２Ａ備え、複数の電極指３が弾性波の
伝搬方向に対して角度θだけ傾斜して配置され、かつ複
数の電極指の間隔ｐが弾性波の伝搬方向に沿って少しず
つ変化した弾性波遅延線において、内側のブスバー４
Ａ、５Ａは、角度θの方向に沿って階段形状であり、外
側及び内側のブスバーに交互に結合した一対の電極指が
交差した交差部に対応した内側のブスバーの箇所を階段
形状の単位段とする。また、単位段の幅ＷをＷ＝２ｐ、
単位段の高さＨをＨ＝Ｗ・ｔａｎθとする。 【効果】 屈折や反射による特性劣化を少なくすること
ができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、通信機器や電子
機器等の回路で使用され、弾性波を伝搬する弾性波遅延
線に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の弾性波遅延線について図面を参照
しながら説明する。図１７は、従来の圧電性基板上に形
成され傾斜させたすだれ状電極（以下、ＩＤＴと記す；
InterDigital Transducer）を用いた弾性波遅延線の構
成を示す図である。

【０００３】図１７において、１は入力側ＩＤＴ、２は
出力側ＩＤＴ、３はアルミニウム(Al）等の電極指、４
及び５は内側のブスバー、６及び７は外側のブスバーで
ある。入力側ＩＤＴ１および出力側ＩＤＴ２は複数の電
極指３が配列間隔ｐでならんでおり、配列間隔ｐは伝搬
方向に沿って変化している。また、入力側ＩＤＴ１およ
び出力側ＩＤＴ２の傾斜角度をθ、ブスバー４、５の傾
斜角度をψとする。

【０００４】つぎに、前述した従来の弾性波遅延線の動
作について図面を参照しながら説明する。

【０００５】図１７に示す弾性波遅延線において、ブス
バー４、６に印加された電気信号により、ブスバー４、
６に接続された２本の電極指３が交差する部分（以下、
交差部と記す）で電界が発生される。入力側ＩＤＴ１
は、圧電性基板上に形成されているため、上記電界によ
り、上記圧電性基板は歪みを生じ、これが弾性波となっ
て励振され、電極指３に対し垂直な方向に伝搬する。そ
して、出力側ＩＤＴ２で受信された弾性波は、励振と逆
の過程を経て、再び電気信号に変換される。

【０００６】また、各交差部では、電極指３の配列間隔
ｐが弾性波の２分の１波長となったときに最も強く弾性
波が励振される。このため、入力側ＩＤＴ１と出力側Ｉ
ＤＴ２とで広い周波数範囲にわたって電気信号と弾性波
を変換できるように、入力側ＩＤＴ１と出力側ＩＤＴ２
は、電極指配列間隔ｐを徐々に変化させている。すなわ
ち、このようなＩＤＴを用いれば、広い周波数範囲にわ
たる通過帯域を得ることができる。

【０００７】図１７に示す弾性波遅延線は、入力側ＩＤ
Ｔ１と出力側ＩＤＴ２とが、互いに線対称な形で配置さ
れている。したがって、図１８に示すように、周波数に
よって弾性波の伝搬経路が異なるために、周波数によっ
て遅延時間が変化する。

【０００８】また、弾性波の伝搬経路上に電極指３が多
く存在する場合、電極指による反射等のために、特性が
劣化することが知られている。この電極指３による反射
等による特性劣化については、例えば、文献１『Spring
er-Verlag, A.A.Oliner,Topics in Applied Physics,"A
coustic Surface Waves"pp.132』、および、文献２『電
子材料工業会編,「表面波デバイスとその応用」pp.17
5』に詳しく述べられている。

【０００９】図１７に示した弾性波遅延線は、電極指３
が弾性波の伝搬経路に垂直な方向へずらして配置され
た、いわゆる傾斜形ＩＤＴを用いているため、電極指３
とブスバー４、５との境界は弾性波の伝搬経路に対して
角度θの傾斜を有する。文献１に詳しく述べられている
ように、このような傾斜構造とすることにより、任意の
伝搬経路を有する弾性波が横切る電極指３の数が低減さ
れ、電極指３における弾性波の反射や、不要波の励振等
の悪影響を低減することができる。

【００１０】また、従来の弾性波遅延線では、入力側Ｉ
ＤＴ１とブスバー４、５と自由表面のそれぞれにおい
て、弾性波の伝搬速度が異なるために、これらの境界に
弾性波が斜めに入射すると弾性波が屈折することが報告
されている。この弾性波の屈折については、例えば、文
献３『丹羽登「超音波計測」ｐｐ２２４−２２５』に詳
しく述べられている。このため、入力側ＩＤＴ１によっ
て励振された弾性波が、屈折によって伝搬方向がそれ、
出力側ＩＤＴ２の所望の位置で受信されず、上記弾性波
遅延線の特性を劣化させる。

【００１１】すなわち、これを防ぐため、ブスバー５の
端面の傾斜角度ψにより、出力側ＩＤＴ２での弾性波の
波面が電極指３と平行になるように屈折補正をおこなっ
ている。この屈折補正については、例えば、文献４『日
本音響学会講演論文集、「ＳＡＷ傾斜電極分散形遅延線
における波面ひずみの補正」,３−５−１２，ｐｐ２５
７−２５８,１９８０』、および、文献５『電子情報通
信学会春期大会論文集，「傾斜形チャープＩＤＴを用い
たＳＡＷ分散形遅延線の屈折補正角の一決定法」，ｐ
ｐ.４３９，１９９４』に詳しく述べられている。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
弾性波遅延線では、ブスバー４、５の端面の傾斜角が適
正な角度を用いないと特性が劣化するという問題点があ
った。

【００１３】すなわち、ＩＤＴ中の伝搬速度はＩＤＴを
形成する金属の厚みや、電極指３の幅と電極指３の配列
周期ｐとの比に依存するので、製造上のバラつきに起因
して上記ＩＤＴ部の伝搬速度が変化する。上記屈折補正
におけるブスバー４、５の傾斜角ψの適正な値は上記Ｉ
ＤＴ部の伝搬速度に依存するので上記製造上のバラつき
により、適正な屈折補正が行えず特性が劣化するという
問題点があった。

【００１４】この発明は、前述した問題点を解決するた
めになされたもので、屈折や反射による特性劣化を少な
くすることができる弾性波遅延線を得ることを目的とす
る。

【００１５】

【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
る弾性波遅延線は、複数の電極指、並びに前記複数の電
極指に交互に結合された外側及び内側のブスバーが圧電
性基板上に構成されたすだれ状電極を入出力一対備え、
前記複数の電極指が弾性波の伝搬方向に対して所定の角
度だけ傾斜して配置され、かつ前記複数の電極指の間隔
が前記弾性波の伝搬方向に沿って少しずつ変化した弾性
波遅延線において、前記内側のブスバーは、前記所定の
角度の方向に沿って階段形状であり、前記外側及び内側
のブスバーに交互に結合した一対の電極指が交差した交
差部に対応した前記内側のブスバーの箇所を前記階段形
状の単位段とするものである。

【００１６】この発明の請求項２に係る弾性波遅延線
は、前記電極指の配列間隔をｐ、前記所定の角度をθと
それぞれ表すと、前記単位段の幅Ｗを、Ｗ＝２ｐ、前記
単位段の高さＨを、Ｈ＝Ｗ・ｔａｎθとし、前記電極指
の幅ｗを、ｗ＝ｐ／２とするものである。

【００１７】この発明の請求項３に係る弾性波遅延線
は、前記電極指の配列間隔をｐ、前記所定の角度をθと
それぞれ表すと、前記単位段の幅Ｗを、Ｗ＝２ｐ、前記
単位段の高さＨを、Ｈ＝Ｗ・ｔａｎθとし、前記電極指
の幅ｗを、ｗ＝ｐ／４とするものである。

【００１８】この発明の請求項４に係る弾性波遅延線
は、前記電極指の配列間隔をｐ、前記所定の角度をθと
それぞれ表すと、前記単位段の幅Ｗを、Ｗ＝（ｎ＋１／
４）・２ｐ、前記単位段の高さＨを、Ｈ＝Ｗ・ｔａｎθ
とし、前記電極指の幅ｗを、ｗ＝ｐ／２とするものであ
る。

【００１９】この発明の請求項５に係る弾性波遅延線
は、前記電極指の配列間隔をｐ、前記所定の角度をθと
それぞれ表すと、前記単位段の幅Ｗを、Ｗ＝（ｎ＋１／
４）・２ｐ、前記単位段の高さＨを、Ｈ＝Ｗ・ｔａｎθ
とし、前記電極指の幅ｗを、ｗ＝ｐ／４とするものであ
る。

【００２０】この発明の請求項６に係る弾性波遅延線
は、前記電極指の配列間隔をｐ、前記所定の角度をθと
それぞれ表すと、前記単位段の幅Ｗを、Ｗ＝２ｐ、前記
単位段の高さＨを、Ｈ＝Ｗ・ｔａｎθとし、前記電極指
の幅ｗを、ｗ＝ｐ／４とし、前記交差部の電極指間に、
幅がｗの開放形浮き電極指を配置したものである。

【００２１】

【発明の実施の形態】実施の形態１．この発明の実施の
形態１に係る弾性波遅延線について図面を参照しながら
説明する。図１は、この発明の実施の形態１に係る弾性
波遅延線の構成を示す図である。なお、各図中、同一符
号は同一又は相当部分を示す。

【００２２】図１において、１Ａは入力側ＩＤＴ、２Ａ
は出力側ＩＤＴ、３は電極指、４Ａ及び５Ａは内側のブ
スバー、６Ａ及び７Ａは外側のブスバーである。

【００２３】図１に示す弾性波遅延線は、ブスバー部を
階段形状にし、上記ブスバー部の各段にシングル電極１
対を配置して傾斜させたＩＤＴを用いたものである。

【００２４】図２は、図１で示した弾性波遅延線で用い
られる傾斜させたＩＤＴを示す図である。同図におい
て、１ＡはＩＤＴ、３は電極指、４Ａ及び６Ａはブスバ
ーである。図中、θはＩＤＴ１Ａの傾斜角である。この
ＩＤＴ１Ａは電極指３が交差する構造であり、電極指３
の配列間隔をｐとすると、電極指３の太さｗは約ｐ／２
となる。そして、配列間隔ｐは弾性波の伝搬方向に沿っ
て少しずつ変化させている。弾性波は、配列間隔ｐが上
記弾性波の波長λ／２に近いところで強く励振される。
また、ブスバー４Ａの階段の幅ＷはＷ＝２ｐであり、高
さＨはＨ＝Ｗ・ｔａｎθである。

【００２５】上記階段形状のブスバー４Ａの１段を１単
位と考える。各段には幅ｗ＝ｐ／２を有する電極指３が
配列周期ｐを上記弾性波伝搬方向に沿って変化させて配
置されている。

【００２６】所望の分散時間を得るためには、入出力Ｉ
ＤＴの電極指３間で励振される弾性波の伝搬距離を変化
させればよい。したがって、上記ブスバー部１単位を順
に接続していけば所望の分散時間が実現できるＩＤＴを
構成することができる。

【００２７】また、図３で示すように、電極指３間で励
振された弾性波は、ブスバー４Ａとの境界で斜め入射す
ることなく伝搬するので、屈折を起こさず、伝搬方向が
それることがない。したがって、ブスバー４Ａの端面で
の屈折補正の必要がなくなる。

【００２８】以上のように、この実施の形態１によれ
ば、上記ＩＤＴのブスバー部を階段形状にすることで、
屈折補正の必要がなく、特性劣化が低減できる弾性波遅
延線を実現できる。

【００２９】実施の形態２．この発明の実施の形態２に
係る弾性波遅延線について図面を参照しながら説明す
る。図４は、この発明の実施の形態２に係る弾性波遅延
線の構成を示す図である。

【００３０】図４において、１Ｂは入力側ＩＤＴ、２Ｂ
は出力側ＩＤＴ、３は電極指、４Ｂ及び５Ｂは内側のブ
スバー、６Ｂ及び７Ｂは外側のブスバーである。

【００３１】図４に示す弾性波遅延線は、ブスバー部を
階段形状にし、上記ブスバー部の各段にダブル電極１対
を配置して傾斜させたＩＤＴを用いたものである。

【００３２】図５は、図４で示した弾性波遅延線で用い
られる傾斜させたＩＤＴを示す図である。同図におい
て、１ＢはＩＤＴ、３は電極指、４Ｂ及び６Ｂはブスバ
ーである。図中、θはＩＤＴの傾斜角である。ＩＤＴ１
Ｂは電極指３が交差する構造であり、電極指３の配列間
隔をｐとすると、電極指３の太さｗは約ｐ／４となる。
そして、配列間隔ｐは、弾性波の伝搬方向に沿って少し
ずつ変化させている。弾性波は、配列間隔ｐが上記弾性
波の波長λ／２に近いところで強く励振される。また、
ブスバー４Ｂの階段の幅ＷはＷ＝２ｐであり、高さＨは
Ｈ＝Ｗ・ｔａｎθである。

【００３３】上記階段形状のブスバー４Ｂの１段を１単
位と考える。各段には幅ｗ＝ｐ／４を有する電極指３が
配列周期ｐを上記弾性波伝搬方向に沿って変化させて配
置されている。

【００３４】所望の分散時間を得るためには、入出力Ｉ
ＤＴの電極指３間で励振される弾性波の伝搬距離を変化
させればよい。したがって、上記ブスバー部１単位を順
に接続していけば所望の分散時間が実現できるＩＤＴを
構成することができる。

【００３５】また、図６で示すように、電極指３間で励
振された弾性波は、ブスバー４Ｂとの境界で斜め入射す
ることなく伝搬するので、屈折を起こさず、伝搬方向が
それることがない。したがって、ブスバー４Ｂの端面で
の屈折補正の必要がなくなる。

【００３６】以上のように、この実施の形態２によれ
ば、上記ＩＤＴのブスバー部を階段形状にすることで、
屈折補正の必要がなく、特性劣化が低減できる弾性波遅
延線を実現できる。

【００３７】実施の形態３．この発明の実施の形態３に
係る弾性波遅延線について図面を参照しながら説明す
る。図７は、この発明の実施の形態３に係る弾性波遅延
線の構成を示す図である。

【００３８】図７において、１Ｃは入力側ＩＤＴ、２Ｃ
は出力側ＩＤＴ、３は電極指、４Ｃ及び５Ｃは内側のブ
スバー、６Ｃ及び７Ｃは外側のブスバーである。

【００３９】図７に示す弾性波遅延線は、ブスバー部を
階段形状にし、上記ブスバー部にシングル電極を配列周
期ｐで配置して傾斜させたＩＤＴを用いたものである。

【００４０】図８は、図７で示した弾性波遅延線で用い
られる傾斜させたＩＤＴを示す図である。同図におい
て、１ＣはＩＤＴ、３は電極指、４Ｃ及び６Ｃはブスバ
ーである。図中、θはＩＤＴ１Ｃの傾斜角である。ＩＤ
Ｔ１Ｃは電極指３が交差する構造であり、電極指３の配
列間隔をｐとすると、電極指３の太さｗは約ｐ／２とな
る。そして、配列間隔ｐは弾性波の伝搬方向に沿って少
しずつ変化させている。弾性波は配列間隔ｐが上記弾性
波の波長λ／２に近いところで強く励振される。また、
ブスバー４Ｃの階段の幅ＷはＷ＝（ｎ＋１／４）・２ｐ
であり、高さＨはＨ＝Ｗ・ｔａｎθである。なお、ｎは
自然数である。

【００４１】上記階段形状のブスバー４Ｃの１段を１単
位と考える。各段には幅ｗ＝ｐ／２を有する電極指３が
配列周期ｐを上記弾性波伝搬方向に沿って変化させて配
置されている。

【００４２】所望の分散時間を得るためには、入出力Ｉ
ＤＴの電極指３間で励振される弾性波の伝搬距離を変化
させればよい。したがって、上記ブスバー部１単位を順
に接続していけば所望の分散時間が実現できるＩＤＴを
構成することができる。

【００４３】また、図９で示すように、電極指３間で励
振された弾性波は、ブスバー４Ｃとの境界で斜め入射す
ることなく伝搬するので、屈折を起こさず、伝搬方向が
それることがない。したがって、ブスバー４Ｃの端面で
の屈折補正の必要がなくなる。

【００４４】また、図１０で示すように、ブスバー４Ｃ
との境界で反射された弾性波（以下、反射波という。）
の伝搬距離は、弾性波の波長λに対して、（ｎ＋１／
２）・λとなるので、反射波の位相は逆相となる、した
がって、反射波はお互いを打ち消し合う。すなわち、反
射波の影響を低減できる。

【００４５】以上のように、この実施の形態３によれ
ば、上記ＩＤＴのブスバー部を階段形状にすることで、
屈折補正の必要がなく、反射波の影響を低減できる。す
なわち、特性劣化が低減できる弾性波遅延線を実現でき
る。

【００４６】実施の形態４．この発明の実施の形態４に
係る弾性波遅延線について図面を参照しながら説明す
る。図１１は、この発明の実施の形態４に係る弾性波遅
延線の構成を示す図である。

【００４７】図１１において、１Ｄは入力側ＩＤＴ、２
Ｄは出力側ＩＤＴ、３は電極指、４Ｄ及び５Ｄは内側の
ブスバー、６Ｄ及び７Ｄは外側のブスバーである。

【００４８】図１１に示す弾性波遅延線は、ブスバー部
を階段形状にし、上記ブスバー部にダブル電極を配列周
期ｐで配置して傾斜させたＩＤＴを用いたものである。

【００４９】図１２は、図１１で示した弾性波遅延線で
用いられる傾斜させたＩＤＴを示す図である。同図にお
いて、１ＤはＩＤＴ、３は電極指、４Ｄ及び６Ｄはブス
バーである。図中、θはＩＤＴ１Ｄの傾斜角である、Ｉ
ＤＴ１Ｄは電極指３が交差する構造であり、電極指３の
配列間隔をｐとすると、電極指３の太さｗは約ｐ／４と
なる。そして、配列間隔ｐは弾性波の伝搬方向に沿って
少しずつ変化させている。弾性波は配列間隔ｐが上記弾
性波の波長λ／２に近いところで強く励振される。ま
た、ブスバー４Ｄの階段の幅ＷはＷ＝（ｎ＋１／４）・
２ｐであり、高さＨはＨ＝Ｗ・ｔａｎθである。なお、
ｎは自然数である。

【００５０】上記階段形状のブスバー４Ｄの１段を１単
位と考える。各段には幅ｗ＝ｐ／４を有する電極指３が
配列周期ｐを上記弾性波伝搬方向に沿って変化させて配
置されている。

【００５１】所望の分散時間を得るためには、入出力Ｉ
ＤＴの電極指３間で励振される弾性波の伝搬距離を変化
させればよい。したがって、上記ブスバー部１単位を順
に接続していけば所望の分散時間が実現できるＩＤＴを
構成することができる。

【００５２】また、図１３で示すように、電極指３間で
励振された弾性波は、ブスバー４Ｄとの境界で斜め入射
することなく伝搬するので、屈折を起こさず、伝搬方向
がそれることがない。したがって、ブスバー４Ｄの端面
での屈折補正の必要がなくなる。

【００５３】また、図１０と同様に、ブスバー４Ｄとの
境界で反射された弾性波の伝搬距離は弾性波の波長λに
対して、（ｎ＋１／２）・λとなるので、反射波の位相
は逆相となる、したがって、反射波はお互いを打ち消し
合う。すなわち、反射波の影響を低減できる。

【００５４】以上のように、この実施の形態４によれ
ば、上記ＩＤＴのブスバー部を階段形状にすることで、
屈折補正の必要がなく、反射波の影響を低減できる。す
なわち、特性劣化が低減できる弾性波遅延線を実現でき
る。

【００５５】実施の形態５.この発明の実施の形態５に
係る弾性波遅延線について図面を参照しながら説明す
る。図１４は、この発明の実施の形態５に係る弾性波遅
延線の構成を示す図である。

【００５６】図１４において、１Ｅは入力側ＩＤＴ、２
Ｅは出力側ＩＤＴ、３は電極指、４Ｅ及び５Ｅは内側の
ブスバー、６Ｅ及び７Ｅは外側のブスバー、８は開放型
浮き電極である。

【００５７】図１４に示す弾性波遅延線は、ブスバー部
を階段形状にし、上記ブスバー部にシングル電極を配列
周期ｐで配置し、各電極指３間に開放形浮き電極８を配
置して傾斜させたＩＤＴを用いたものである。

【００５８】図１５は、図１４で示した弾性波遅延線で
用いられる傾斜させたＩＤＴを示す図である。同図にお
いて、１ＥはＩＤＴ、３は電極指、４Ｅ及び６Ｅはブス
バー、８は開放型浮き電極である。図中、θはＩＤＴの
傾斜角である。ＩＤＴ１Ｅは電極指３が交差する構造で
あり、電極指３の配列間隔をｐとすると、電極指３の太
さｗは約ｐ／４となる。そして、電極指３間に、一方向
性を持つように太さが約ｐ／４となる開放形浮き電極８
を配置する。配列間隔ｐは弾性波の伝搬方向に沿って少
しずつ変化させている。弾性波は配列間隔ｐが上記弾性
波の波長λ／２に近いところで強く励振される。また、
ブスバー４Ｅの階段の幅ＷはＷ＝２ｐであり、高さＨは
Ｈ＝Ｗ・ｔａｎθである。

【００５９】上記階段形状のブスバー４Ｅの１段を１単
位と考える。各段には幅ｗ＝ｐ／４を有する電極指３が
配列周期ｐで配置され、電極指３間の中心からずらした
位置に開放形浮き電極８を配置しているので、電極指３
間で励振された弾性波は方向性を得る。すなわち、図１
４において、入力側ＩＤＴ１Ｅで励振された弾性波は出
力側ＩＤＴ２Ｅの方向へのみ伝搬する。したがって、損
失の低減ができる。また、電極指３は配列周期ｐを上記
弾性波伝搬方向に沿って変化させて配置されている。

【００６０】所望の分散時間を得るためには、入出力Ｉ
ＤＴの電極指３間で励振される弾性波の伝搬距離を変化
させればよい。したがって、上記ブスバー部１単位を順
に接続していけば所望の分散時間が実現できるＩＤＴを
構成することができる。

【００６１】また、図１６で示すように、電極指３間で
励振された弾性波は、ブスバー４Ｅとの境界で斜め入射
することなく伝搬するので、屈折を起こさず、伝搬方向
がそれることがない。したがって、ブスバー４Ｅの端面
での屈折補正の必要がなくなる。

【００６２】以上のように、この実施の形態５によれ
ば、上記ＩＤＴのブスバー部を階段形状にすることで、
屈折補正の必要がなく、反射波の影響を低減できる。す
なわち、特性劣化が低減できる弾性波遅延線を実現でき
る。

【００６３】

【発明の効果】この発明の請求項１に係る弾性波遅延線
は、以上説明したとおり、複数の電極指、並びに前記複
数の電極指に交互に結合された外側及び内側のブスバー
が圧電性基板上に構成されたすだれ状電極を入出力一対
備え、前記複数の電極指が弾性波の伝搬方向に対して所
定の角度だけ傾斜して配置され、かつ前記複数の電極指
の間隔が前記弾性波の伝搬方向に沿って少しずつ変化し
た弾性波遅延線において、前記内側のブスバーは、前記
所定の角度の方向に沿って階段形状であり、前記外側及
び内側のブスバーに交互に結合した一対の電極指が交差
した交差部に対応した前記内側のブスバーの箇所を前記
階段形状の単位段とするので、屈折や反射による特性劣
化を少なくすることができるという効果を奏する。

【００６４】この発明の請求項２に係る弾性波遅延線
は、以上説明したとおり、前記電極指の配列間隔をｐ、
前記所定の角度をθとそれぞれ表すと、前記単位段の幅
Ｗを、Ｗ＝２ｐ、前記単位段の高さＨを、Ｈ＝Ｗ・ｔａ
ｎθとし、前記電極指の幅ｗを、ｗ＝ｐ／２とするの
で、屈折や反射による特性劣化を少なくすることができ
るという効果を奏する。

【００６５】この発明の請求項３に係る弾性波遅延線
は、以上説明したとおり、前記電極指の配列間隔をｐ、
前記所定の角度をθとそれぞれ表すと、前記単位段の幅
Ｗを、Ｗ＝２ｐ、前記単位段の高さＨを、Ｈ＝Ｗ・ｔａ
ｎθとし、前記電極指の幅ｗを、ｗ＝ｐ／４とするの
で、屈折や反射による特性劣化を少なくすることができ
るという効果を奏する。

【００６６】この発明の請求項４に係る弾性波遅延線
は、以上説明したとおり、前記電極指の配列間隔をｐ、
前記所定の角度をθとそれぞれ表すと、前記単位段の幅
Ｗを、Ｗ＝（ｎ＋１／４）・２ｐ、前記単位段の高さＨ
を、Ｈ＝Ｗ・ｔａｎθとし、前記電極指の幅ｗを、ｗ＝
ｐ／２とするので、屈折や反射による特性劣化を少なく
することができるという効果を奏する。

【００６７】この発明の請求項５に係る弾性波遅延線
は、以上説明したとおり、前記電極指の配列間隔をｐ、
前記所定の角度をθとそれぞれ表すと、前記単位段の幅
Ｗを、Ｗ＝（ｎ＋１／４）・２ｐ、前記単位段の高さＨ
を、Ｈ＝Ｗ・ｔａｎθとし、前記電極指の幅ｗを、ｗ＝
ｐ／４とするので、屈折や反射による特性劣化を少なく
することができるという効果を奏する。

【００６８】この発明の請求項６に係る弾性波遅延線
は、以上説明したとおり、前記電極指の配列間隔をｐ、
前記所定の角度をθとそれぞれ表すと、前記単位段の幅
Ｗを、Ｗ＝２ｐ、前記単位段の高さＨを、Ｈ＝Ｗ・ｔａ
ｎθとし、前記電極指の幅ｗを、ｗ＝ｐ／４とし、前記
交差部の電極指間に、幅がｗの開放形浮き電極指を配置
したので、屈折や反射による特性劣化を少なくすること
ができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１に係る弾性波遅延線
の構成を示す図である。

【図２】 この発明の実施の形態１に係る弾性波遅延線
のＩＤＴを拡大して示す図である。

【図３】 この発明の実施の形態１に係る弾性波遅延線
のＩＤＴの動作状況を示す図である。

【図４】 この発明の実施の形態２に係る弾性波遅延線
の構成を示す図である。

【図５】 この発明の実施の形態２に係る弾性波遅延線
のＩＤＴを拡大して示す図である。

【図６】 この発明の実施の形態２に係る弾性波遅延線
のＩＤＴの動作状況を示す図である。

【図７】 この発明の実施の形態３に係る弾性波遅延線
の構成を示す図である。

【図８】 この発明の実施の形態３に係る弾性波遅延線
のＩＤＴを拡大して示す図である。

【図９】 この発明の実施の形態３に係る弾性波遅延線
のＩＤＴの動作状況を示す図である。

【図１０】 この発明の実施の形態３に係る弾性波遅延
線のＩＤＴの動作状況を示す図である。

【図１１】 この発明の実施の形態４に係る弾性波遅延
線の構成を示す図である。

【図１２】 この発明の実施の形態４に係る弾性波遅延
線のＩＤＴを拡大して示す図である。

【図１３】 この発明の実施の形態４に係る弾性波遅延
線のＩＤＴの動作状況を示す図である。

【図１４】 この発明の実施の形態５に係る弾性波遅延
線の構成を示す図である。

【図１５】 この発明の実施の形態５に係る弾性波遅延
線のＩＤＴを拡大して示す図である。

【図１６】 この発明の実施の形態５に係る弾性波遅延
線のＩＤＴの動作状況を示す図である。

【図１７】 従来の弾性波遅延線の構成を示す図であ
る。

【図１８】 従来の弾性波遅延線の動作状況を示す図で
ある。

【符号の説明】

１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ 入力側ＩＤＴ、２Ａ、
２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ、２Ｅ 出力側ＩＤＴ 、３ 電極
指、４Ａ、４Ｂ、４Ｃ、４Ｄ、４Ｅ 内側のブスバー、
５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄ、５Ｅ 内側のブスバー、６
Ａ、６Ｂ、６Ｃ、６Ｄ、６Ｅ 外側のブスバー、７Ａ、
７Ｂ、７Ｃ、７Ｄ、７Ｅ 外側のブスバー、８ 開放型
浮き電極。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉田 憲司 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 井幡 光詞 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 5J097 AA02 BB07 DD07 DD08 DD10 DD22

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の電極指、並びに前記複数の電極指
   に交互に結合された外側及び内側のブスバーが圧電性基
   板上に構成されたすだれ状電極を入出力一対備え、前記
   複数の電極指が弾性波の伝搬方向に対して所定の角度だ
   け傾斜して配置され、かつ前記複数の電極指の間隔が前
   記弾性波の伝搬方向に沿って少しずつ変化した弾性波遅
   延線において、 前記内側のブスバーは、前記所定の角度の方向に沿って
   階段形状であり、 前記外側及び内側のブスバーに交互に結合した一対の電
   極指が交差した交差部に対応した前記内側のブスバーの
   箇所を前記階段形状の単位段とすることを特徴とする弾
   性波遅延線。
2. 【請求項２】 前記電極指の配列間隔をｐ、前記所定の
   角度をθとそれぞれ表すと、 前記単位段の幅Ｗは、Ｗ＝２ｐ、前記単位段の高さＨ
   は、Ｈ＝Ｗ・ｔａｎθであり、 前記電極指の幅ｗは、ｗ＝ｐ／２であることを特徴とす
   る請求項１記載の弾性波遅延線。
3. 【請求項３】 前記電極指の配列間隔をｐ、前記所定の
   角度をθとそれぞれ表すと、 前記単位段の幅Ｗは、Ｗ＝２ｐ、前記単位段の高さＨ
   は、Ｈ＝Ｗ・ｔａｎθであり、 前記電極指の幅ｗは、ｗ＝ｐ／４であることを特徴とす
   る請求項１記載の弾性波遅延線。
4. 【請求項４】 前記電極指の配列間隔をｐ、前記所定の
   角度をθとそれぞれ表すと、 前記単位段の幅Ｗは、Ｗ＝（ｎ＋１／４）・２ｐ、前記
   単位段の高さＨは、Ｈ＝Ｗ・ｔａｎθであり、 前記電極指の幅ｗは、ｗ＝ｐ／２であることを特徴とす
   る請求項１記載の弾性波遅延線。
5. 【請求項５】 前記電極指の配列間隔をｐ、前記所定の
   角度をθとそれぞれ表すと、 前記単位段の幅Ｗは、Ｗ＝（ｎ＋１／４）・２ｐ、前記
   単位段の高さＨは、Ｈ＝Ｗ・ｔａｎθであり、 前記電極指の幅ｗは、ｗ＝ｐ／４であることを特徴とす
   る請求項１記載の弾性波遅延線。
6. 【請求項６】 前記電極指の配列間隔をｐ、前記所定の
   角度をθとそれぞれ表すと、 前記単位段の幅Ｗは、Ｗ＝２ｐ、前記単位段の高さＨ
   は、Ｈ＝Ｗ・ｔａｎθであり、 前記電極指の幅ｗは、ｗ＝ｐ／４であり、 前記交差部の電極指間に、幅がｗの開放形浮き電極指を
   配置したことを特徴とする請求項１記載の弾性波遅延
   線。