JP2001168357A - Thin-film solar battery module and method of manufacturing the same - Google Patents

Thin-film solar battery module and method of manufacturing the same

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JP2001168357A
JP2001168357A JP34855199A JP34855199A JP2001168357A JP 2001168357 A JP2001168357 A JP 2001168357A JP 34855199 A JP34855199 A JP 34855199A JP 34855199 A JP34855199 A JP 34855199A JP 2001168357 A JP2001168357 A JP 2001168357A
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JP
Japan
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thin
film solar
solar cell
cell module
light
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JP34855199A
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Japanese (ja)
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Hajime Saito
肇 齋藤
Hitoshi Sannomiya
仁 三宮
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Sharp Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the design, functions, etc,, other than the power generating performance, of an integrated thin-film solar battery module. SOLUTION: An integrated thin-film solar battery made by forming a film on the entire surface of a translucent substrate made of glass or the like is formed, at any desired place, with a translucent opening (slit) having the shape of a specified design, character, symbol, figure, or the like by casting laser light using a pattern mask or by on/off-controlling the casting of laser light by a computer storing the pattern or the like. Thereby, the integrated thin-film solar battery module having excellent design and functions can be manufactured without complicated manufacturing processes.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜太陽電池モジ
ュール及びその製造方法に関するものであり、特に、住
宅用太陽光発電システムを始め、各種民生用等の大面積
化する薄膜太陽電池モジュール及びその製造方法に関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thin-film solar cell module and a method of manufacturing the same. It relates to a manufacturing method.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、薄膜太陽電池モジュールの構造例
としては、例えばガラス等の絶縁性基板上に、透明電極
層、単層もしくは複数層からなるpin構造非晶質半導
体の光電変換層、透明電極層、裏面金属電極層を、スパ
ッタ、CVD等の方法によって、順次成膜していくこと
で製造されるが、ここで、透明電極材としては、Zn
O、SnO2、ITO等が、金属電極材としては、A
g、Al等が主に使われる。そして、大面積の薄膜太陽
電池モジュールを作製する場合には、前記各層を形成す
る際に、マスクを用いた成膜、または、全面成膜後に、
エッチング、レーザスクライブ等の手段によってパター
ニングを施し、分割された個々の薄膜太陽電池が、透明
電極層、金属電極層を介して直列接続される集積型構造
が採用されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a structural example of a thin-film solar cell module, a transparent electrode layer, a photoelectric conversion layer of a pin structure amorphous semiconductor comprising a single layer or a plurality of layers, a transparent The electrode layer and the back metal electrode layer are manufactured by sequentially forming films by a method such as sputtering or CVD. Here, the transparent electrode material is Zn.
O, SnO2, ITO, etc. are used as metal electrode materials.
g, Al, etc. are mainly used. Then, when manufacturing a large-area thin-film solar cell module, when forming each of the layers, film formation using a mask, or, after the entire film formation,
An integrated structure is employed in which individual thin-film solar cells that have been patterned by means of etching, laser scribe, or the like and divided are connected in series via a transparent electrode layer and a metal electrode layer.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】近年、地球環境対策の
観点から各種エネルギー利用の見直しが図られ、特に太
陽エネルギーを利用する太陽電池においては、クリーン
なエネルギー供給源の代表として期待されており、住宅
用太陽光発電システムを始め、各種民生用太陽電池発電
利用関連商品の普及促進が始まっている。
In recent years, various energy uses have been reviewed from the viewpoint of global environmental measures. In particular, solar cells using solar energy are expected to be representative of clean energy sources. The spread of various products related to photovoltaic power generation for consumer use, including residential photovoltaic power generation systems, has begun.

【0004】ところが、太陽電池としては、未だそのエ
ネルギー変換効率が低く、必要なエネルギー量を得るた
めには設置面積の拡大で補うことが必要であるが、従来
の大面積化薄膜太陽電池モジュールでは、その発電能力
以外の機能面においては、単なる平らな略一定色の板形
状であるため意匠性及び色彩性にも乏しく、また、設置
された裏面すなわちその後方域は太陽光が遮られて暗い
場所となり、利用価値のない大面積の空間が生じるとい
う機能性の貧弱さから、自ずとその設置場所が限られて
くることが、普及を図るうえで問題となっていた。
However, the energy conversion efficiency of a solar cell is still low, and it is necessary to supplement it by expanding the installation area in order to obtain a necessary amount of energy. On the other hand, in terms of functional aspects other than its power generation capability, it is merely a flat, substantially constant-color plate shape, so that it has poor design and color, and the installed back surface, that is, the rear area is dark because sunlight is blocked. Due to the poor functionality of a large area that has no value and is of no use, it has naturally been a problem in widespread use because the installation place is limited.

【0005】そこで、大面積化薄膜太陽電池モジュール
に透光性を持たせることが、該モジュールを設置した後
方への採光性等の機能性の付加ということで期待されて
おり、分割された個々の薄膜太陽電池が、透明電極層、
金属電極層を介して直列接続される集積型構造の大面積
化薄膜太陽電池モジュールにおいて、該モジュールに透
光性を持たせる機能を付加する簡単な方法として、複数
の金属刃を備えるホールカッタ装置による機械的な方法
で、集積型構造となっている各単位個々の薄膜太陽電池
としての積層体のすべてを貫通する複数の小孔を設ける
ことが、特開平5−283724号公報にて提案されて
いる。
Therefore, it is expected that the large-area thin-film solar cell module has a light-transmitting property in order to add functionality such as light-gathering property to the rear of the module where the module is installed. Thin-film solar cells, transparent electrode layers,
In a thin-film solar cell module having an integrated structure and a large area connected in series via a metal electrode layer, as a simple method of adding a function of imparting a light-transmitting property to the module, a hole cutter device having a plurality of metal blades is provided. Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-283724 proposes to provide a plurality of small holes which penetrate all of the stacked body as a thin film solar cell of each unit having an integrated structure by a mechanical method according to the present invention. ing.

【0006】しかしながら、この方法では、分割されて
いる個々の薄膜太陽電池が直列接続される電気的接続部
に短絡等の悪影響を与えることがないように、この部分
を除いて複数の小孔を形成しなければならず、このため
モジュールを構成する各単位薄膜太陽電池毎に単なる透
光性を持たせることのみで、大面積化薄膜太陽電池モジ
ュール全体としての意匠性及び色彩性等を考慮したもの
ではなかった。
[0006] However, in this method, a plurality of small holes are formed excluding the divided thin film solar cells so as not to adversely affect the electrical connection portion connected in series such as a short circuit. It must be formed, and therefore, by simply giving each unit thin-film solar cell constituting the module a light-transmitting property, the design and color of the large-area thin-film solar cell module as a whole are taken into consideration. It was not something.

【0007】また、分割された個々の薄膜太陽電池が、
透明電極層、金属電極層を介して直列接続される集積型
構造の大面積化薄膜太陽電池モジュールに透光性を持た
せる前記と別な構造及び方法として、絶縁透光性基板
と、透明導電膜と、非晶質シリコン系半導体からなる光
電変換膜と、裏面電極膜とを含み、絶縁透光性基板上で
複数の発電領域に分割されて直列接続された集積型構造
の大面積化薄膜太陽電池モジュールの製造工程上におい
て、裏面電極膜上に積層されたレジスト膜と、該レジス
ト膜、裏面電極膜及び光電変換膜を貫通して略同一形状
にパターニングされた裏面電極膜分離ラインの形成時と
同時に、分割された個々の発電領域内のレジスト膜、裏
面電極膜及び光電変換膜を、部分的に前記パターニング
と同方向に除去して透光性開口部を形成する方法が、本
件特許出願人の先願(特願平11−273762)とし
て提案している。
Further, each of the divided thin-film solar cells is
The transparent electrode layer and the integrated structure, which are connected in series via a metal electrode layer, have an integrated structure and have a large-area thin-film solar cell module. A large-area thin film of an integrated structure including a film, a photoelectric conversion film made of an amorphous silicon-based semiconductor, and a back electrode film, divided into a plurality of power generation regions on an insulated translucent substrate and connected in series. In the manufacturing process of the solar cell module, formation of a resist film laminated on the back electrode film, and a back electrode film separation line patterned through the resist film, the back electrode film, and the photoelectric conversion film into substantially the same shape. At the same time, the method of forming a light-transmitting opening by partially removing the resist film, the back electrode film, and the photoelectric conversion film in the divided individual power generation regions in the same direction as the patterning is disclosed in the present patent application. Applicant's prior application It has proposed as Japanese Patent Application No. 11-273762).

【0008】しかし、この方法においても、集積型構造
の作製時と同時に透光性開口部を形成するという簡便な
方法でありながら、やはり、モジュールを構成する各単
位薄膜太陽電池毎に単なる透光性を持たせることのみ
で、大面積化薄膜太陽電池モジュール全体としての意匠
性及び色彩性等を考慮したものではなかった。
However, this method is also a simple method of forming a light-transmitting opening at the same time as the fabrication of an integrated structure, but still has a simple light-transmitting method for each unit thin-film solar cell constituting a module. However, it does not take into account the design and color of the entire thin-film solar cell module having a large area.

【0009】なお、薄膜太陽電池モジュールに意匠性及
び色彩性を考慮したものとして、特開昭63−2139
77号公報には、透光性絶縁基板上に、透光性の第一の
電極層とアモルファス半導体層と第二の電極層とを順次
積層せしめたアモルファス太陽電池において、前記透光
性絶縁基板とアモルファス半導体層との間に、更に、任
意の文字、記号、図形等にパターン形成された透光性絶
縁物を設け、前記透光性絶縁物によって太陽電池として
の各単位受光面毎に前記任意の文字、記号、図形等の意
匠を描写したことを特徴とするアモルファス太陽電池が
提案されている。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-2139 discloses a thin-film solar cell module in which design and color are taken into consideration.
No. 77 discloses an amorphous solar cell in which a light-transmitting first electrode layer, an amorphous semiconductor layer, and a second electrode layer are sequentially laminated on a light-transmitting insulating substrate. Further, between the amorphous semiconductor layer, provided with a light-transmitting insulator patterned in any characters, symbols, figures, etc., the light-transmitting insulator for each unit light-receiving surface as a solar cell, 2. Description of the Related Art An amorphous solar cell characterized by depicting a design such as an arbitrary character, symbol, or figure has been proposed.

【0010】しかし、このものにおいても、やはり、モ
ジュールを構成する各単位薄膜太陽電池毎に単なる小さ
な意匠性を持たせることのみで、大面積化薄膜太陽電池
モジュール全体としての意匠性及び色彩性等を考慮した
ものではなかった。
However, also in this case, the design and color of the large-area thin-film solar cell module as a whole can be obtained simply by giving each unit thin-film solar cell constituting the module a mere small design. Was not taken into account.

【0011】そこで、本発明の目的は、上述した課題を
解決し、住宅用太陽光発電システムを始め、特に、大面
積化する各種民生用等の薄膜太陽電池モジュールに、該
モジュール全体としての意匠性、色彩性及び透光性等の
優れた機能性を付与する簡便な製造方法と、それによっ
て作成された高機能性の大面積化薄膜太陽電池モジュー
ルを提供することにある。
Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide a design of the entire module such as a photovoltaic power generation system for a house, and in particular, to a thin-film solar cell module for various types of consumer use having a large area. It is an object of the present invention to provide a simple manufacturing method for imparting excellent functions such as properties, chromaticity, and translucency, and a high-functional large-area thin-film solar cell module produced by the method.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、透光性絶縁基板、透明導電膜、単層もしく
は複数層からなる光電変換層、裏面電極層を有し、前記
透光性絶縁基板上で複数の発電領域に分割された各単位
薄膜太陽電池から構成された集積型薄膜太陽電池モジュ
ールにおいて、集積された薄膜太陽電池の任意の位置
に、透光性を有する開口部(スリット)を設けることに
よって、集積型大面積化薄膜太陽電池モジュールに、該
モジュール全体としての意匠性、色彩性及び透光性等の
優れた機能性を付与する。
In order to achieve the above object, the present invention provides a light-transmitting insulating substrate, a transparent conductive film, a single-layer or plural-layer photoelectric conversion layer, and a back electrode layer. In an integrated thin-film solar cell module composed of unit thin-film solar cells divided into a plurality of power generation regions on a light-insulating substrate, a light-transmitting opening is provided at an arbitrary position of the integrated thin-film solar cells. By providing the (slits), the integrated large-area thin-film solar cell module is provided with excellent functionality such as design, color, and translucency as the whole module.

【0013】好ましくは、本発明は、前記集積された薄
膜太陽電池の任意の位置に設けられる透光性を有する開
口部(スリット)は、連続的または或る程度間隔を置い
て形成され、それらのスリットが全体として、集積型大
面積化薄膜太陽電池モジュール上に配置された任意の意
匠、文字、記号、図の形状に形成されていると良い。
Preferably, according to the present invention, the light-transmitting openings (slits) provided at arbitrary positions of the integrated thin-film solar cell are formed continuously or at a certain interval. It is preferable that the slits as a whole be formed in the shape of an arbitrary design, character, symbol, or figure disposed on the integrated large-area thin-film solar cell module.

【0014】そして、本発明は、前記透光性を有する開
口部(スリット)は、レーザ光を、任意の意匠、文字、
記号、図の形状を配置したパターンマスク上から集積さ
れた薄膜太陽電池に照射することによって、簡単に形成
することができる。
According to the present invention, the light-transmitting opening (slit) is provided so that the laser light can be irradiated with any design, character,
It can be easily formed by irradiating the integrated thin-film solar cells from above the pattern mask in which the symbols and the shapes of the figures are arranged.

【0015】また、本発明は、レーザ光を任意にON/
OFF制御して集積された薄膜太陽電池に照射すること
で、前記透光性を有する開口部(スリット)を、任意の
意匠、文字、記号、図の形状に形成することもできる。
Further, the present invention provides a method of arbitrarily turning on / off a laser beam.
By irradiating the integrated thin-film solar cell with the OFF control, the light-transmitting opening (slit) can be formed in any design, character, symbol, or figure.

【0016】さらに、本発明は、レーザ光の光路にシャ
ッタを設置し、該シャッタを任意に開/閉制御してレー
ザ光を集積された薄膜太陽電池に照射することで、前記
透光性を有する開口部(スリット)を、任意の意匠、文
字、記号、図の形状に形成することもできる。
Further, according to the present invention, a shutter is provided in an optical path of a laser beam, and the shutter is arbitrarily opened / closed to irradiate the integrated thin film solar cell with the laser beam so that the light transmitting property is improved. The openings (slits) that are provided can be formed in any design, letters, symbols, and figures.

【0017】好ましくは、本発明は、前記モジュール全
体としての意匠性、色彩性及び透光性等の優れた機能性
を付与された集積型大面積化薄膜太陽電池モジュールを
封入して完成させる際には、該封入(ラミネート)工程
中でシート状充填材料として供給され、熔融して架橋硬
化成型後透明になるEVA(Ethylene Vinyl Ac-etat
e)等の透光性樹脂を使用することがよい。
Preferably, the present invention relates to a method for encapsulating and completing an integrated large-area thin-film solar cell module provided with excellent functions such as design, color and translucency as the whole module. EVA (Ethylene Vinyl Ac-etat), which is supplied as a sheet-like filling material during the encapsulation (lamination) process, melts and becomes transparent after cross-linking and molding.
It is preferable to use a translucent resin such as e).

【0018】このようにすることによって、前記モジュ
ール全体としての意匠性、色彩性及び透光性等の優れた
機能性を付与された集積型大面積化薄膜太陽電池モジュ
ールを簡単に製造することができる。
By doing so, it is possible to easily manufacture an integrated large-area thin-film solar cell module having excellent functions such as design, color, and translucency of the whole module. it can.

【0019】また、好ましくは本発明は、前記モジュー
ル全体としての意匠性、色彩性及び透光性等の優れた機
能性を付与された集積型大面積化薄膜太陽電池モジュー
ルを封入して完成させる際に、裏面封止材料として、ガ
ラス、弗素樹脂フィルム等の、色彩のない透光性材料を
用いることがよい。
Preferably, the present invention encloses and completes an integrated large-area thin-film solar cell module provided with excellent functions such as design, color, and translucency as the whole module. At this time, it is preferable to use a transparent material having no color, such as glass or a fluorine resin film, as the back surface sealing material.

【0020】このようにすることによって、前記モジュ
ール全体としての意匠性、色彩性及び透光性等の優れた
機能性を付与する際に、特に、透光性を重視した集積型
大面積化薄膜太陽電池モジュールを提供することができ
る。
In this way, when imparting excellent functionality such as design, color and light transmission as the whole module, an integrated large-area thin film with particular emphasis on light transmission is provided. A solar cell module can be provided.

【0021】さらに、好ましくは本発明は、前記モジュ
ール全体としての意匠性、色彩性及び透光性等の優れた
機能性を付与された集積型大面積化薄膜太陽電池モジュ
ールを封入して完成させる際に、裏面封止材料として、
任意の着色または天然色彩を有する透光性材料を用いる
ことがよい。
Further, preferably, the present invention encloses and completes an integrated large-area thin-film solar cell module provided with excellent functions such as design, color and translucency as the whole module. At that time, as a back sealing material,
It is preferable to use a light-transmitting material having any coloring or natural color.

【0022】このようにすることによって、前記モジュ
ール全体としての意匠性、色彩性及び透光性等の優れた
機能性を付与する際に、特に、ステンドガラスと称され
ているものに観るように、透光性を有しながら、意匠性
及び色彩性を重視した集積型大面積化薄膜太陽電池モジ
ュールを提供することができる。
In this way, when the module as a whole is provided with excellent functions such as design, color and translucency, it can be seen particularly in what is called stained glass. In addition, it is possible to provide an integrated large-area thin-film solar cell module that emphasizes design and color while having translucency.

【0023】なお、本発明は、前記モジュール全体とし
ての意匠性、色彩性及び透光性等の優れた機能性を付与
された集積型大面積化薄膜太陽電池モジュールを封入し
て完成させる際に、裏面封止材料として、任意の着色ま
たは天然色彩を有する不透光性材料(不透明な材料)を
用いることもできる。
The present invention relates to a method for encapsulating and completing an integrated large-area thin-film solar cell module to which excellent functions such as design, color, and translucency of the whole module are imparted. An opaque material (opaque material) having any color or natural color can also be used as the back surface sealing material.

【0024】このようにすれば、薄膜太陽電池モジュー
ル自体としての透光性はなくなるが、該モジュールを屋
外の壁面に、または、独立して設置した場合に、例えば
広告パネルとしても利用できるような、意匠性及び色彩
性を重視した集積型大面積化薄膜太陽電池モジュールを
提供することができる。
In this case, the light transmittance of the thin-film solar cell module itself is lost. However, when the module is installed on an outdoor wall or independently, it can be used as, for example, an advertising panel. In addition, an integrated large-area thin-film solar cell module emphasizing design and color can be provided.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0026】図1は、本発明による薄膜太陽電池モジュ
ールの一例を示す概略図であり、図2は、図1における
A−A矢示部の断面概略図である。
FIG. 1 is a schematic view showing an example of a thin-film solar cell module according to the present invention, and FIG. 2 is a schematic sectional view taken along the line AA in FIG.

【0027】図1及び図2を参照して、本発明による薄
膜太陽電池モジュールの製造方法の一例を説明する。本
例においては、基板1としてガラスを用いるものとする
が、該基板1は、耐熱性、透光性を有するフイルム状基
板であってもかまわない。
With reference to FIGS. 1 and 2, an example of a method for manufacturing a thin-film solar cell module according to the present invention will be described. In this example, glass is used as the substrate 1. However, the substrate 1 may be a film-like substrate having heat resistance and translucency.

【0028】まず、ガラス基板1上に、熱CVD法等で
透明電極層2、3、4となる例えばSnO2を全面に成
膜した後、該SnO2膜に良く吸収される、例えばYA
G基本波レーザ光等を用い、該レーザ光をガラス基板1
側から照射して該SnO2膜を短冊状に分割し、集積の
基礎となるパターニングされた透明電極層2、3、4を
形成する。ここでは、透明電極層2、3、4の材料とし
てSnO2を用いたが、ZnO、ITO等でもかまわな
い。また、YAG基本波レーザをパターニングに用いた
が、該レーザ以外であってもかまわない。
First, on the glass substrate 1, for example, SnO2 to be the transparent electrode layers 2, 3, and 4 is formed on the entire surface by a thermal CVD method or the like, and then, for example, YA, which is well absorbed by the SnO2 film,
Using a G fundamental wave laser beam or the like, the laser beam is
The SnO2 film is divided into strips by irradiating from the side to form patterned transparent electrode layers 2, 3, and 4 which are the basis of integration. Here, SnO2 is used as the material of the transparent electrode layers 2, 3, and 4, but ZnO, ITO, or the like may be used. Further, the YAG fundamental wave laser is used for patterning, but other lasers may be used.

【0029】次に、透明電極層2、3、4が形成された
ガラス基板1を純水で洗浄し、該透明電極層2、3、4
の上に、光電変換層5、6、7となる例えばアモルファ
スシリコンを、プラズマCVD法等でp型、i型、n型
の順に積層させ、そして、該アモルファスシリコンをレ
ーザ光を用いて短冊状に分割し、先に形成されている透
明電極層2、3、4と同様な表面形状の光電変換層5、
6、7となるようにパターニングするが、この際、先に
形成されている透明電極層2、3、4の損傷を避けるた
め、波長選択性のある、例えばYAG−SHGレーザ光
等を用いてガラス基板1側から照射してパターニングす
る。ここで、光電変換層5、6、7となるアモルファス
シリコンは、pin構造の1層積層としているが、該p
in構造を2層、もしくは3層積層としてもかまわな
い。また、光電変換層5、6、7の形成パターニングに
YAG−SHGレーザを用いたが、透明電極層2、3、
4に損傷を与えず、アモルファスシリコンに良く吸収さ
れる波長選択性のあるレーザであれば、YAG−SHG
レーザ以外であってもかまわない。
Next, the glass substrate 1 on which the transparent electrode layers 2, 3, and 4 are formed is washed with pure water, and the transparent electrode layers 2, 3, and 4 are washed.
For example, amorphous silicon that becomes the photoelectric conversion layers 5, 6, and 7 is laminated in the order of p-type, i-type, and n-type by a plasma CVD method or the like, and the amorphous silicon is strip-shaped using laser light. And the photoelectric conversion layer 5 having the same surface shape as the transparent electrode layers 2, 3, and 4 formed earlier.
At this time, in order to avoid damage to the previously formed transparent electrode layers 2, 3, and 4, a wavelength-selective, for example, YAG-SHG laser beam or the like is used. Irradiation is performed from the glass substrate 1 side to perform patterning. Here, the amorphous silicon to be the photoelectric conversion layers 5, 6, and 7 is a single-layer laminate having a pin structure.
The in structure may be a two-layer structure or a three-layer structure. Although the YAG-SHG laser was used for forming and patterning the photoelectric conversion layers 5, 6, and 7, the transparent electrode layers 2, 3, and
YAG-SHG can be used as long as it is a laser with wavelength selectivity that does not damage amorphous silicon 4 and is well absorbed by amorphous silicon.
Other than a laser may be used.

【0030】次に、光電変換層5、6、7の上に、裏面
電極層8、9、10となる透明導電膜及び金属膜を、こ
の順にスパッタ法等で成膜するが、透明導電膜の材料と
しては前述したSnO2、ZnO、ITO等が用いら
れ、金属膜の材料としては、反射率の高い、例えばAg
やAl等が用いられる。但し、透明導電膜の成膜は割愛
してもかまわない。そして、該成膜後、裏面電極層8、
9、10を形成するためにパターニングを行うが、この
パターニング時にも、アモルファスシリコンと金属膜に
良く吸収される、波長選択性のあるYAG−SHGレー
ザを用いて行い、ガラス基板1側から該レーザを照射し
て、短冊状に分割された裏面電極層8、9、10を得
る。なお、該パターニング時において、アモルファスシ
リコンと金属膜との間にサンドイッチされた透明導電膜
が成膜してあっても、YAG−SHGレーザの照射によ
ってアモルファスシリコンと金属膜の両方が蒸発除去さ
れるので、その間にある透明導電膜も必然的に支持部を
失って除去され、短冊状に分割された裏面電極層8、
9、10を得ることができる。
Next, on the photoelectric conversion layers 5, 6, and 7, a transparent conductive film and a metal film to be the back electrode layers 8, 9, and 10 are formed in this order by sputtering or the like. The above-mentioned materials such as SnO2, ZnO, ITO, etc. are used as the material of the metal film.
And Al are used. However, the formation of the transparent conductive film may be omitted. After the film formation, the back electrode layer 8,
Patterning is performed to form the layers 9 and 10, and the patterning is also performed using a wavelength-selective YAG-SHG laser, which is well absorbed by the amorphous silicon and the metal film, from the glass substrate 1 side. To obtain back electrode layers 8, 9 and 10 divided into strips. At the time of patterning, even if a transparent conductive film sandwiched between the amorphous silicon and the metal film is formed, both the amorphous silicon and the metal film are evaporated and removed by irradiation with the YAG-SHG laser. Therefore, the transparent conductive film in between is also inevitably lost by losing the support portion, and the back electrode layer 8 divided into strips,
9, 10 can be obtained.

【0031】このようにして、少なくとも透光性絶縁基
板であるガラス基板、透明導電膜すなわち透明電極層、
単層もしくは複数層からなる光電変換層、裏面電極層を
有し、前記透光性絶縁基板上で複数の略同一形状の短冊
状発電領域に分割された各単位薄膜太陽電池から構成さ
れ、該単位薄膜太陽電池が直列接続された集積型薄膜太
陽電池を得る。
In this manner, at least the glass substrate, which is a translucent insulating substrate, the transparent conductive film, ie, the transparent electrode layer,
A photoelectric conversion layer consisting of a single layer or a plurality of layers, a back electrode layer, and each unit thin-film solar cell divided into a plurality of substantially identical strip-shaped power generation regions on the translucent insulating substrate; An integrated thin-film solar cell in which unit thin-film solar cells are connected in series is obtained.

【0032】次に、前記集積型薄膜太陽電池の任意の位
置に、任意の意匠、文字、記号、図の形状をした、透光
性を有する開口部(スリット)を設けるために、図3に
示すような、任意の意匠、文字、記号、図の形状を配置
したパターンマスク11を用意する。該マスクはYAG
−SHGレーザ光を透過しない、例えばステンレス、鉄
等のような材料で作っておく。
Next, in order to provide a translucent opening (slit) having an arbitrary design, character, symbol, or figure at an arbitrary position of the integrated type thin film solar cell, FIG. As shown in the figure, a pattern mask 11 in which arbitrary designs, characters, symbols, and figures are arranged is prepared. The mask is YAG
-It is made of a material that does not transmit the SHG laser light, such as stainless steel or iron.

【0033】そして、該マスクを前記集積型薄膜太陽電
池のガラス基板1側に設置し、図4のように、該マスク
を介してガラス基板1側からYAG−SHGレーザ光
(las-er beam)を走査させると、前述の裏面電極層
8、9、10形成時のパターニングと同様に、パターン
マスク11の任意の意匠、文字、記号、図の形状に配置
した開口部から照射されたYAG−SHGレーザ光(la
ser beam)が、前記集積型薄膜太陽電池に、図1に示す
ような、任意の意匠、文字、記号、図の形状をした透光
性を有する開口部(スリット)12が形成される。該ス
リット12の面積は任意であるが、集積型薄膜太陽電池
の発電能力をあまり犠牲にしないように、前記集積型薄
膜太陽電池の集積面積の1/5から1/20程度である
のが望ましい。
Then, the mask is placed on the glass substrate 1 side of the integrated thin-film solar cell, and as shown in FIG. 4, the YAG-SHG laser beam (laser beam) is applied from the glass substrate 1 side through the mask. Is scanned, YAG-SHG irradiated from an opening arranged in an arbitrary design, character, symbol, or figure shape of the pattern mask 11 in the same manner as the above-described patterning at the time of forming the back electrode layers 8, 9, and 10 Laser light (la
An opening (slit) 12 having a light-transmitting property having an arbitrary design, character, symbol, or figure as shown in FIG. 1 is formed in the integrated thin-film solar cell by a ser beam. The area of the slit 12 is arbitrary, but is preferably about 1/5 to 1/20 of the integrated area of the integrated thin-film solar cell so as not to sacrifice much the power generation capacity of the integrated thin-film solar cell. .

【0034】なお、上述した本発明実施の形態例では、
集積型薄膜太陽電池の任意の位置に、任意の意匠、文
字、記号、図の形状をした、透光性を有する開口部(ス
リット)12を形成するために、パターンマスク11を
用いたYAG−SHGレーザ光(laser beam)での加工
を採用したが、該開口部(スリット)12の形成はマス
クを用いる方法に限られるものではない。パターンマス
ク11を用いない方法として、例えば図5に示すよう
に、YAG−SHGレーザ光(laser beam)出射装置を
X軸Y軸の2次限方向に走査させながら、任意の意匠、
文字、記号、図の形状を記憶したコンピュータ等によ
り、該レーザ光を出射する発振器の発振をON/OFF
制御することにより、任意の意匠、文字、記号、図の形
状をした、透光性を有する開口部(スリット)12を形
成することができる。また、レーザ光の出射をON/O
FF制御する代わりに、該レーザ光の光路にシャッタ装
置を設置し、該シャッタ装置を前記コンピュータ等によ
り開/閉制御することによっても、任意の意匠、文字、
記号、図の形状をした、透光性を有する開口部(スリッ
ト)12を形成することができる。これらの、パターン
マスク11を用いない加工方法採用すれば、前述した短
冊状に分割された裏面電極層8、9、10の形成と、任
意の意匠、文字、記号、図の形状をした、透光性を有す
る開口部(スリット)12の形成とを、一つの工程で同
時に行うことができるという利点もある。また、前記加
工にYAG−SHGレーザを用いたが、透明電極層2、
3、4に損傷を与えず、アモルファスシリコンと金属膜
に良く吸収される波長選択性のあるレーザであれば、Y
AG−SHGレーザ以外であってもかまわない。
In the above-described embodiment of the present invention,
In order to form an opening (slit) 12 having an arbitrary design, characters, symbols, and drawings and having a light-transmitting property at an arbitrary position of the integrated thin-film solar cell, a YAG- Although processing using SHG laser light (laser beam) is employed, the formation of the opening (slit) 12 is not limited to a method using a mask. As a method without using the pattern mask 11, for example, as shown in FIG. 5, while scanning a YAG-SHG laser beam (laser beam) emitting device in the secondary limit direction of the X-axis and the Y-axis, an arbitrary design,
Oscillation of an oscillator that emits the laser light is turned on / off by a computer or the like that stores the shapes of letters, symbols, and figures.
By controlling, it is possible to form the light-transmitting opening (slit) 12 having an arbitrary design, character, symbol, or figure shape. In addition, the emission of laser light is turned ON / O.
Instead of performing FF control, a shutter device may be provided in the optical path of the laser beam, and the shutter device may be controlled to be opened / closed by the computer or the like.
An opening (slit) 12 having a light-transmitting property and having the shape of the symbol or the figure can be formed. If these processing methods that do not use the pattern mask 11 are adopted, the above-described back electrode layers 8, 9, and 10 that are divided into strips can be formed, and the transparent electrodes having any design, characters, symbols, and figures can be formed. There is also an advantage that the formation of the openings (slits) 12 having optical properties can be performed simultaneously in one step. Although the YAG-SHG laser was used for the processing, the transparent electrode layer 2,
If the laser has wavelength selectivity that does not damage 3, 4 and is well absorbed by the amorphous silicon and the metal film, Y
Other than the AG-SHG laser may be used.

【0035】前述のようにして作製された集積型薄膜太
陽電池をモジュールにする際には、透光性絶縁基板であ
るガラス基板1側から入射した太陽光の一部が、任意の
意匠、文字、記号、図の形状をした、透光性を有する開
口部(スリット)12を介して集積型薄膜太陽電池の裏
側から見えるように、また耐候性を高めるために、EV
A(Ethylene Vinyl Acetate)等の透光性樹脂13と、
ガラス、弗素樹脂フィルム等の、色彩のない透光性裏面
封止材料14とを用い、ラミネート封入による防湿処理
仕上げをすると良い。
When the integrated thin-film solar cell manufactured as described above is made into a module, a part of sunlight incident from the glass substrate 1 side, which is a light-transmissive insulating substrate, is subjected to an arbitrary design or text. In order to improve the weather resistance, it is required to be visible from the back side of the integrated thin-film solar cell through a light-transmitting opening (slit) 12 having the shape shown in FIG.
A translucent resin 13 such as A (Ethylene Vinyl Acetate),
It is preferable to use a transparent back sealing material 14 having no color, such as glass or a fluorine resin film, to perform a moisture-proof treatment finish by laminating.

【0036】以上の方法により作製された入射光の一部
を透過せしめる集積型薄膜太陽電池モジュールは、従来
の集積型薄膜太陽電池モジュールの製造方法と比較して
製造工程の複雑化を招くこともなく製造することが可能
であり、大幅なコストアップなしに、意匠性、透光性等
の優れた機能性を有する集積型薄膜太陽電池モジュール
を作製することができる。
The integrated thin-film solar cell module that transmits a part of the incident light manufactured by the above-described method may cause a complicated manufacturing process as compared with the conventional integrated thin-film solar cell module manufacturing method. It is possible to manufacture an integrated thin-film solar cell module having excellent functions such as designability and light-transmitting property without significantly increasing the cost.

【0037】[0037]

【実施例】上述した実施の形態に従い、実際に作製した
集積型薄膜太陽電池モジュールの性能一例としての、I
V特性を図6に示す。
EXAMPLE As an example of the performance of an integrated thin-film solar cell module actually manufactured according to the above-described embodiment, I
FIG. 6 shows the V characteristics.

【0038】発電領域面積135mm×136mmとし
て、AM1.5(100mW/cm2)の条件において、
短絡電流0.156A、開放電圧15.1V、曲線因子
0.688、最大出力1.61Wという良好な結果が得ら
れた。
Assuming a power generation area of 135 mm × 136 mm, under the condition of AM 1.5 (100 mW / cm 2 ),
Good results were obtained with a short circuit current of 0.156 A, an open circuit voltage of 15.1 V, a fill factor of 0.688, and a maximum output of 1.61 W.

【0039】[0039]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の薄膜太陽
電池モジュール及びその製造方法によれば、特に、大面
積化される集積型薄膜太陽電池モジュールにおいて、製
造工程の複雑化を招くことなく、大幅なコストアップな
しに、特定の意匠、文字、記号、図形等を有した、意匠
性、透光性等の優れた機能性の付加された集積型薄膜太
陽電池モジュールを得ることができる。
As described above, according to the thin-film solar cell module and the method of manufacturing the same of the present invention, especially in an integrated thin-film solar cell module having a large area, the manufacturing process is not complicated. Thus, it is possible to obtain an integrated thin-film solar cell module having a specific design, characters, symbols, figures, and the like, and having excellent functionalities such as design and translucency, without significantly increasing the cost.

【0040】また、前述のようにして作製された集積型
薄膜太陽電池をモジュールにする際に、本発明の材料1
5を採用し、図7に示すように重ね合わせてラミネート
封入する製造方法によれば、色彩を有した特定の意匠、
文字、記号、図形等が、図8に示すように透けて見え
る、例えばステンドガラスと称されているものに観るよ
うな、意匠性及び色彩性に優れた集積型薄膜太陽電池モ
ジュールを得ることができる。
When the integrated thin-film solar cell manufactured as described above is made into a module, the material 1 of the present invention is used.
According to the manufacturing method of adopting No. 5 and overlapping and laminating as shown in FIG. 7, a specific design having a color,
As shown in FIG. 8, it is possible to obtain an integrated thin-film solar cell module excellent in design and color, such as characters, symbols, and figures that can be seen through as shown in FIG. 8, for example, what is called stained glass. it can.

【0041】また、前述のようにして作製された集積型
薄膜太陽電池をモジュールにする際に、本発明の材料を
採用する製造方法によれば、集積型薄膜太陽電池モジュ
ール自体としての透光性はないが、該モジュールを屋外
の壁面に、または、独立して設置した場合に、例えば広
告パネルにもできるような、意匠性及び色彩性を重視し
た集積型薄膜太陽電池モジュールを得ることができる。
Further, when the integrated thin-film solar cell manufactured as described above is made into a module, according to the manufacturing method employing the material of the present invention, the light transmittance of the integrated thin-film solar cell module itself is reduced. However, when the module is installed on an outdoor wall surface or independently, for example, it can be used as an advertising panel, so that an integrated thin-film solar cell module emphasizing design and color can be obtained. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態よりなる薄膜太陽電池モ
ジュールの概略図である。
FIG. 1 is a schematic view of a thin-film solar cell module according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施の形態よりなる図1におけるA
−A矢示部の断面概略図である。
FIG. 2 shows A in FIG. 1 according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of a portion indicated by an arrow A.

【図3】本発明の一実施の形態よりなるパターンマスク
の概要を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing an outline of a pattern mask according to an embodiment of the present invention.

【図4】本発明の一実施の形態よりなる薄膜太陽電池モ
ジュール製造時のレーザ光照射工程における概要図であ
る。
FIG. 4 is a schematic view of a laser beam irradiation step in manufacturing a thin-film solar cell module according to an embodiment of the present invention.

【図5】本発明の一実施の形態よりなる薄膜太陽電池モ
ジュール製造時のレーザ光照射工程における別の方法を
示す概要図である。
FIG. 5 is a schematic view showing another method in a laser beam irradiation step in manufacturing a thin-film solar cell module according to an embodiment of the present invention.

【図6】本発明の一実施の形態よりなる薄膜太陽電池モ
ジュールの性能一例としてのIV特性図である。
FIG. 6 is an IV characteristic diagram as an example of the performance of the thin-film solar cell module according to one embodiment of the present invention.

【図7】本発明の一実施の形態よりなる別の状態の薄膜
太陽電池モジュールの製造工程概要図である。
FIG. 7 is a schematic diagram illustrating a manufacturing process of a thin-film solar cell module in another state according to an embodiment of the present invention.

【図8】本発明の一実施の形態よりなる別の状態の薄膜
太陽電池モジュールの該略図である。
FIG. 8 is a schematic view of a thin film solar cell module in another state according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ガラス基板 2、3、4 透明電極層 5、6、7 光電変換層 8、9、10 裏面電極層 11 パターンマスク 12 透光性を有する開口部(スリット) 13 EVA樹脂 14 透光性裏面封止材料 15 任意の着色または天然色彩を有する透光性裏面封
止材料 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass substrate 2, 3, 4 Transparent electrode layer 5, 6, 7 Photoelectric conversion layer 8, 9, 10 Back electrode layer 11 Pattern mask 12 Transmissive opening (slit) 13 EVA resin 14 Translucent back sealing Stopping material 15 Translucent back surface sealing material having any color or natural color. In each drawing, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts.

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透光性絶縁基板、透明導電膜、単層もし
くは複数層からなる光電変換層、裏面電極層を有し、前
記透光性絶縁基板上で複数の発電領域に分割された各単
位薄膜太陽電池から構成された集積型薄膜太陽電池モジ
ュールにおいて、集積された薄膜太陽電池の任意の位置
に、透光性を有する開口部(スリット)を設けたことを
特徴とする薄膜太陽電池モジュール。
1. A light-transmitting insulating substrate, a transparent conductive film, a single-layer or plural-layer photoelectric conversion layer, and a back electrode layer, each of which is divided into a plurality of power generation regions on the light-transmitting insulating substrate. An integrated thin-film solar cell module comprising unit thin-film solar cells, wherein a light-transmitting opening (slit) is provided at an arbitrary position of the integrated thin-film solar cell. .
【請求項2】 請求項1に記載の薄膜太陽電池モジュー
ルにおいて、集積された薄膜太陽電池の任意の位置に設
けられる透光性を有する開口部(スリット)は、連続的
または或る程度間隔を置いて形成され、それらのスリッ
トが全体として、該薄膜太陽電池モジュール上に配置さ
れた任意の意匠、文字、記号、図の形状に形成されてい
ることを特徴とする薄膜太陽電池モジュール。
2. The thin-film solar cell module according to claim 1, wherein the light-transmitting openings (slits) provided at arbitrary positions of the integrated thin-film solar cell are continuous or spaced at a certain interval. A thin film solar cell module, wherein the slits are formed as a whole, and the slits are formed as a whole in the shape of any design, character, symbol, or figure arranged on the thin film solar cell module.
【請求項3】 請求項2に記載の薄膜太陽電池モジュー
ルにおいて、透光性を有する開口部(スリット)は、レ
ーザ光を、任意の意匠、文字、記号、図の形状を配置し
たパターンマスク上から集積された薄膜太陽電池に照射
することによって、形成されることを特徴とする薄膜太
陽電池モジュールの製造方法。
3. The thin-film solar cell module according to claim 2, wherein the light-transmitting openings (slits) are provided on the pattern mask on which any design, character, symbol, or figure is arranged by applying a laser beam. A method for manufacturing a thin-film solar cell module, wherein the thin-film solar cell module is formed by irradiating a thin-film solar cell integrated from the above.
【請求項4】 請求項2に記載の薄膜太陽電池モジュー
ルにおいて、レーザ光を任意にON/OFF制御して集
積された薄膜太陽電池に照射することで、透光性を有す
る開口部(スリット)を任意の意匠、文字、記号、図の
形状に形成することを特徴とする薄膜太陽電池モジュー
ルの製造方法。
4. The thin-film solar cell module according to claim 2, wherein the laser light is arbitrarily turned on / off to irradiate the integrated thin-film solar cell, so that a light-transmitting opening (slit) is provided. In the form of any design, character, symbol, or figure.
【請求項5】 請求項2に記載の薄膜太陽電池モジュー
ルにおいて、レーザ光の光路にシャッタを設置し、該シ
ャッタを任意に開/閉制御してレーザ光を集積された薄
膜太陽電池に照射することで、透光性を有する開口部
(スリット)を任意の意匠、文字、記号、図の形状に形
成することを特徴とする薄膜太陽電池モジュールの製造
方法。
5. The thin-film solar cell module according to claim 2, wherein a shutter is provided in an optical path of the laser light, and the shutter is arbitrarily opened / closed to irradiate the integrated thin-film solar cell with the laser light. A method of manufacturing a thin-film solar cell module, characterized in that a light-transmitting opening (slit) is formed in an arbitrary design, character, symbol, or figure.
【請求項6】 請求項1または2に記載の薄膜太陽電池
モジュールを封入する際に、EVA(Ethylene
Vinyl Acetate)等の透光性を有する樹
脂を用いることを特徴とする薄膜太陽電池モジュールの
製造方法。
6. EVA (Ethylene) when encapsulating the thin-film solar cell module according to claim 1 or 2.
A method for manufacturing a thin-film solar cell module, comprising using a resin having a light-transmitting property, such as vinyl acetate (Vinyl Acetate).
【請求項7】 請求項1または2に記載の薄膜太陽電池
モジュールを封入する際に、裏面封止材料として、ガラ
ス、弗素樹脂フィルム等の、色彩のない透光性材料を用
いることを特徴とする薄膜太陽電池モジュールの製造方
法。
7. When the thin-film solar cell module according to claim 1 or 2 is encapsulated, a translucent material having no color, such as glass or a fluorine resin film, is used as a back surface sealing material. Of manufacturing thin film solar cell module.
【請求項8】 請求項1または2に記載の薄膜太陽電池
モジュールを封入する際に、裏面封止材料として、任意
の着色または天然色彩を有する透光性材料を用いること
を特徴とする薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
8. A thin-film solar cell, characterized in that, when the thin-film solar cell module according to claim 1 or 2 is encapsulated, a translucent material having any coloring or natural color is used as a back surface sealing material. Manufacturing method of battery module.
【請求項9】 請求項1または2に記載の薄膜太陽電池
モジュールを封入する際に、裏面封止材料として、任意
の着色または天然色彩を有する不透光性材料(不透明な
材料)を用いることを特徴とする薄膜太陽電池モジュー
ルの製造方法。
9. When the thin-film solar cell module according to claim 1 or 2 is encapsulated, an opaque material (opaque material) having any color or natural color is used as a back surface sealing material. A method for manufacturing a thin-film solar cell module, comprising:
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