JP2001168064A - Member for pushing up pellet and apparatus for picking up pellet - Google Patents

Member for pushing up pellet and apparatus for picking up pellet

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JP2001168064A
JP2001168064A JP35058699A JP35058699A JP2001168064A JP 2001168064 A JP2001168064 A JP 2001168064A JP 35058699 A JP35058699 A JP 35058699A JP 35058699 A JP35058699 A JP 35058699A JP 2001168064 A JP2001168064 A JP 2001168064A
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JP
Japan
Prior art keywords
pellet
adhesive tape
csp
sensitive adhesive
pressure
Prior art date
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Application number
JP35058699A
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Japanese (ja)
Inventor
Masahiro Yoshii
政弘 吉井
Takeo Hidaka
剛生 日高
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Disco Corp
Original Assignee
Disco Abrasive Systems Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To carry a pellet up to a pellet pickup table without separating and to pick up the pellet surely under a state where adhesion of an adhesive tape is lowered at the time of picking up a split pellet, e.g. a CSP pellet, attached to the adhesive tape. SOLUTION: The member 10 for pushing up a pellet P attached to the surface of an adhesive tape T from the rear side is provided with means 11 for lowering adhesion of the adhesive tape T in order to push up the pellet P while lowering adhesion of the adhesive tape T. The apparatus for picking up a pellet comprises a pellet pickup table equipped with such a pellet pickup member 10.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、粘着テープの表面
に貼着されたペレットを剥離してピックアップする際
に、裏面側からペレットを押し上げるペレット押上部
材、及び、そのペレット押上部材が配設されているペレ
ットピックアップ装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pellet push-up member which pushes up a pellet from the back side when a pellet stuck on the surface of an adhesive tape is peeled and picked up, and a pellet push-up member provided therewith. Related to a pellet pickup device.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、図5に示すペレットピックアッ
プ装置60を用いてCSP基板Cを個々のCSPペレッ
トに分割して各ペレットを搬送トレーに収容する場合
は、まず、フレームFに裏面側から貼着された粘着テー
プTに分割前のCSP基板Cを貼着することにより、C
SP基板Cが粘着テープTを介してフレームFと一体と
なった状態で、カセット31に複数収容される。
2. Description of the Related Art For example, when a CSP substrate C is divided into individual CSP pellets using a pellet pickup device 60 shown in FIG. By adhering the undivided CSP substrate C to the attached adhesive tape T, C
A plurality of SP substrates C are housed in the cassette 31 in a state of being integrated with the frame F via the adhesive tape T.

【0003】カセット31からは、搬出手段32によっ
てフレームFと一体となったCSP基板Cが1枚ずつ取
り出されて仮受け領域33に載置された後、第一の搬送
手段34によって保持テーブル35に搬送されて保持さ
れる。そして、保持テーブル35が+X方向に移動して
アライメント手段36の直下において切削ラインが検出
された後、更に保持テーブル35が同方向に移動するこ
とにより、高速回転する回転ブレード37を備えた切削
手段38の作用を受けて前記検出された切削ラインが切
削される。また、切削手段38を+Y方向に所定距離移
動させながら保持テーブル35をX軸方向に往復運動さ
せることにより、同方向の切削ラインがすべて切削され
る。更に、保持テーブル35を90度回転させてから上
記と同様の切削を行うことにより、すべての切削ライン
が縦横に切削され、個々のペレットに分割される。
[0003] The CSP boards C integrated with the frame F are taken out of the cassette 31 one by one and placed on the temporary receiving area 33, and then held by the first carrying means 34. Conveyed and held. Then, after the holding table 35 moves in the + X direction and a cutting line is detected immediately below the alignment means 36, the holding table 35 further moves in the same direction, so that the cutting means provided with the rotating blade 37 rotating at high speed. Under the action of 38, the detected cutting line is cut. By moving the holding table 35 back and forth in the X-axis direction while moving the cutting means 38 in the + Y direction by a predetermined distance, all the cutting lines in the same direction are cut. Further, by rotating the holding table 35 by 90 degrees and performing the same cutting as described above, all the cutting lines are cut vertically and horizontally and divided into individual pellets.

【0004】このようにして形成された個々のペレット
は、粘着テープTに貼着されたままの状態で第二の搬送
手段39によって洗浄領域40に搬送され、ここで洗
浄、乾燥されてから、第三の搬送手段41によって仮受
け領域33に搬送される。なお、本実施の形態において
は第一の搬送手段34が第三の搬送手段41を兼ねた構
成となっている。
The individual pellets thus formed are transported to the cleaning area 40 by the second transport means 39 while being adhered to the adhesive tape T, where they are cleaned and dried. The sheet is conveyed to the temporary receiving area 33 by the third conveying means 41. Note that, in the present embodiment, the first transport unit 34 also serves as the third transport unit 41.

【0005】図5及び図6に示すように、仮受け領域3
3の後部側に設けた後部領域42には、粘着力低下手段
が配設されている。ここで、この粘着力低下手段は、粘
着テープTが紫外線の照射を受けることにより粘着力が
低下する紫外線硬化型テープである場合は図示する如き
紫外線照射部42aであるが、粘着テープTとして加熱
または冷却により粘着力が低下するタイプのテープを用
いた場合は、加熱部または冷却部となる。
[0005] As shown in FIG. 5 and FIG.
In the rear area 42 provided on the rear side of No. 3, an adhesive force reducing means is provided. When the adhesive tape T is an ultraviolet curable tape whose adhesive force is reduced by being irradiated with ultraviolet rays, the adhesive force reducing means is an ultraviolet irradiating section 42a as shown in the figure. Alternatively, when a type of tape whose adhesive strength is reduced by cooling is used, the tape becomes a heating unit or a cooling unit.

【0006】ペレットに分割された後のCSP基板Cが
仮受け領域33に載置されると、図6に示す第四の搬送
手段43を構成する吸着部43aが下降してフレームF
を吸着し、その状態で保持部43bがレール43cにガ
イドされて−Y方向に移動する。そして、分割済みのC
SP基板Cが、紫外線照射部42aの直上に位置付けら
れると、吸着部43aが下降すると共に、吸着力を解除
することにより紫外線照射部42aの上に載置され、紫
外線の照射を受けることにより、粘着テープTの粘着力
が低下する。
When the CSP substrate C after being divided into pellets is placed on the temporary receiving area 33, the suction portion 43a constituting the fourth transfer means 43 shown in FIG.
, And in this state, the holding portion 43b is guided by the rail 43c and moves in the -Y direction. And the divided C
When the SP substrate C is positioned immediately above the ultraviolet irradiation unit 42a, the suction unit 43a is lowered, and is released on the ultraviolet irradiation unit 42a by releasing the suction force, thereby receiving the ultraviolet irradiation. The adhesive strength of the adhesive tape T decreases.

【0007】そして、粘着力が低下した粘着テープTに
貼着された分割後のCPS基板Cは、第五の搬送手段4
4によって仮置きテーブル45に搬送される。第五の搬
送手段44においては、X軸方向に架設されたガイドレ
ール44aに沿って保持部44bがX軸方向に移動可能
であり、先端の吸着部44cにおいてフレームFを吸着
して保持部44bが−X方向に移動し、仮置きテーブル
45の直上において吸着部44cが下降して吸着力を解
除することによりフレームFと一体となった分割後のC
SP基板Cが仮置きテーブル45に載置される。
The CPS substrate C after division, which is adhered to the adhesive tape T having reduced adhesive strength,
4 transports to the temporary storage table 45. In the fifth transport means 44, the holding portion 44b is movable in the X-axis direction along a guide rail 44a provided in the X-axis direction, and the holding portion 44b sucks the frame F at the tip suction portion 44c. Is moved in the −X direction, and the suction unit 44c is lowered directly above the temporary placing table 45 to release the suction force, and thus the divided C integrated with the frame F is separated.
The SP substrate C is placed on the temporary placing table 45.

【0008】こうして仮置きテーブル45に分割済みの
CSP基板Cが載置されると、次に第六の搬送手段46
によってペレットピックアップ用テーブル47に搬送さ
れる。ここで、第六の搬送手段46においては、Y軸方
向に設けたガイド溝46aに沿って保持部46bがY軸
方向に移動可能であり、フレームFの端部を挟持して保
持部46bが+Y方向に移動することによって、フレー
ムFと一体となった分割後のCSP基板Cがペレットピ
ックアップ用テーブル47に載置される。
When the divided CSP board C is placed on the temporary placing table 45 in this way, the sixth transport means 46
Thereby, it is transported to the pellet pickup table 47. Here, in the sixth transport means 46, the holding portion 46b is movable in the Y-axis direction along the guide groove 46a provided in the Y-axis direction, and the holding portion 46b is held while holding the end of the frame F. By moving in the + Y direction, the divided CSP substrate C integrated with the frame F is placed on the pellet pickup table 47.

【0009】ペレットピックアップ用テーブル47は、
図7に示すように、円筒状の載置部47aとフレームF
を固定するクランプ部47bとがY軸方向に移動可能に
構成されており、載置部47aの内部には、X軸方向に
スライド可能でかつZ軸方向に進退可能なペレット押上
部材47cが配設されている。
The table 47 for pellet pick-up
As shown in FIG. 7, the cylindrical mounting portion 47a and the frame F
And a clamp portion 47b for fixing the pellet push-up member 47c slidable in the X-axis direction and capable of moving back and forth in the Z-axis direction. Has been established.

【0010】ペレットのピックアップの際は、個々のペ
レットに分割されたCSP基板Cが載置部47aに載置
されてフレームFがクランプ部47bに固定され、載置
部47a及びクランプ部47bがY軸方向に移動しなが
ら、ペレット押上部材47cがX軸方向に移動し、更に
Z軸方向に進退して個々のペレットPを上方に押し上げ
る。
When picking up the pellets, the CSP substrate C divided into individual pellets is placed on the placing portion 47a, the frame F is fixed to the clamp portion 47b, and the placing portion 47a and the clamp portion 47b While moving in the axial direction, the pellet push-up member 47c moves in the X-axis direction, further advances and retreats in the Z-axis direction, and pushes up the individual pellets P upward.

【0011】こうして押し上げられて粘着テープTから
剥離しやすい状態となったペレットPは、図5に示す移
し替え手段48を構成する第一のピックアップ部48a
によって吸着され、第一のピックアップ部48aが−X
方向に移動して所定の位置に位置付けられてから吸着を
解除することによってセンター合わせ手段49に載置さ
れる。
The pellet P thus pushed up and easily separated from the adhesive tape T is transferred to the first pickup section 48a constituting the transfer means 48 shown in FIG.
And the first pickup unit 48a is
After being moved in the direction and being positioned at a predetermined position, the suction is released, and then the device is placed on the centering means 49.

【0012】そして、ここでペレットPを一定の位置に
位置合わせしてから第二のピックアップ部48bによっ
てピックアップし、更に第二のピックアップ部48bが
−X方向に移動して所定の位置に位置付けられてから吸
着を解除することによってペレットPが搬送トレー50
に収容される。このようにしてペレットを搬送トレー5
0に収容していくと、搬送トレー50がペレットによっ
て満たされる。
Then, the pellet P is positioned at a predetermined position and then picked up by the second pickup unit 48b. The second pickup unit 48b moves in the -X direction and is positioned at a predetermined position. After the suction is released, the pellets P are transferred to the transfer tray 50.
To be housed. Thus, the pellets are transferred to the transfer tray 5.
When the container is stored at 0, the transport tray 50 is filled with pellets.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ペレッ
トピックアップ用テーブル47におけるペレットのピッ
クアップを行うために、後部領域42において紫外線を
充分に照射して粘着テープTの粘着力を充分に低下させ
ると、ペレットピックアップ用テーブル47に搬送され
るまでの過程においてペレットPが粘着テープTから離
脱することがある。
However, in order to pick up the pellets in the pellet pick-up table 47, if the rear area 42 is sufficiently irradiated with ultraviolet rays to sufficiently reduce the adhesive force of the adhesive tape T, the pellets are not satisfactorily produced. The pellets P may be detached from the adhesive tape T in a process before being transported to the pickup table 47.

【0014】一方、搬送過程でのペレットPの離脱を回
避するために紫外線の照射を充分に行わない場合には、
粘着力が充分に低下していないために、ピックアップに
支障をきたすことになる。
On the other hand, when the irradiation of the ultraviolet rays is not sufficiently performed to avoid the detachment of the pellets P during the transportation process,
Since the adhesive strength is not sufficiently reduced, the pickup is hindered.

【0015】また、粘着テープが加熱または冷却によっ
て粘着力が低下するタイプのものである場合には、後部
領域42おいて粘着テープを加熱または冷却することに
より粘着力を低下させる必要があるが、充分に加熱また
は冷却を行っても、搬送過程において粘着テープの温度
が外気温に近づいて粘着力が元に戻ってしまうことがあ
り、この場合は特にピックアップに支障が生じやすい。
When the pressure-sensitive adhesive tape is of a type whose adhesive strength is reduced by heating or cooling, it is necessary to lower the adhesive strength by heating or cooling the adhesive tape in the rear region 42. Even if heating or cooling is performed sufficiently, the temperature of the pressure-sensitive adhesive tape may approach the outside temperature in the transporting process, and the pressure-sensitive adhesive strength may return to its original level. In this case, the pickup may be particularly troublesome.

【0016】このように、分割されたペレットをピック
アップする場合においては、ペレットを離脱させること
なくペレットピックアップ用テーブルまで搬送し、か
つ、粘着力が低下した状態で確実にペレットのピックア
ップを行うことに課題を有している。
As described above, when picking up the divided pellets, it is necessary to transport the pellets to the pellet pick-up table without detaching them, and to reliably pick up the pellets in a state where the adhesive force is reduced. Has issues.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の具体的手段として本発明は、粘着テープの表面に貼着
されたペレットを粘着テープの裏面側から押し上げるペ
レット押上部材であって、粘着テープの粘着力を低下さ
せる粘着力低下手段が配設されているペレット押上部材
を提供する。
Means for Solving the Problems As a specific means for solving the above-mentioned problems, the present invention relates to a pellet push-up member for pushing up a pellet adhered to the surface of an adhesive tape from the back side of the adhesive tape. Provided is a pellet push-up member provided with an adhesive force reducing means for reducing the adhesive force of a tape.

【0018】そしてこのペレット押上部材は、粘着テー
プが紫外線の照射を受けることにより粘着力が低下する
紫外線硬化型粘着テープであり、粘着力低下手段は紫外
線照射部であること、粘着テープは加熱により粘着力が
低下する加熱硬化型粘着テープであり、粘着力低下手段
は加熱部であること、粘着テープは冷却により粘着力が
低下する冷却硬化型粘着テープであり、粘着力低下手段
は冷却部であること、粘着力低下手段はサーモモジュー
ルにより構成され、サーモモジュールは加熱部と冷却部
とを兼ねることを付加的要件とする。
The pellet pushing-up member is an ultraviolet-curing adhesive tape whose adhesive force is reduced by irradiation of the adhesive tape with ultraviolet rays, the adhesive force reducing means is an ultraviolet irradiation section, and the adhesive tape is heated by heating. Adhesive strength is a heat-curable pressure-sensitive adhesive tape, the adhesive force-lowering means is a heating section, the adhesive tape is a cooling-curable adhesive tape whose adhesive force is reduced by cooling, the adhesive force-lowering means is a cooling section In some cases, the adhesive force reducing means is constituted by a thermo module, and the thermo module has an additional requirement that the thermo module also serves as a heating unit and a cooling unit.

【0019】このように構成されるペレット押上部材に
は粘着力低下手段が配設されているため、ペレットの押
上と同時にペレットに貼着された粘着テープの粘着力を
低下させることができ、ペレットのピックアップ直前ま
でペレットをしっかりと保持することができる。
Since the pellet lifting member thus configured is provided with an adhesive force reducing means, it is possible to reduce the adhesive force of the adhesive tape adhered to the pellet simultaneously with the lifting of the pellet. The pellet can be held firmly until immediately before the pickup.

【0020】また、粘着テープが加熱または冷却により
硬化するタイプのものである場合には、ピックアップ工
程までの搬送過程で粘着テープが外気温に近づいて粘着
力が元に戻ってしまいピックアップに支障が生じるとい
うことがなくなる。
If the pressure-sensitive adhesive tape is of a type that is cured by heating or cooling, the pressure-sensitive adhesive tape approaches the outside temperature in the transportation process up to the pick-up step, so that the pressure-sensitive adhesive returns to its original strength, which hinders pickup. Will not occur.

【0021】更に本発明は、分割済みのCSP基板を構
成するCSPペレットを個別にピックアップする際にC
SP基板が載置されるペレットピックアップ用テーブル
と、ペレットピックアップ用テーブルに載置されたCS
P基板を構成するCSPペレットを粘着テープから個別
に剥離して搬送トレーに収容する移し替え手段と、移し
替え手段によって収容されたCSPペレットで満たされ
た搬送トレーを格納する収容済トレー格納部と、空の搬
送トレーを格納する空トレー格納部とから少なくとも構
成され、ペレットピックアップ用テーブルには、上記の
ペレット押上部材が配設されているペレットピックアッ
プ装置を提供する。
Further, according to the present invention, when individually picking up CSP pellets constituting a divided CSP substrate,
A pellet pick-up table on which the SP substrate is mounted, and a CS mounted on the pellet pick-up table
Transfer means for individually separating the CSP pellets constituting the P substrate from the adhesive tape and storing the CSP pellets in the transport tray; and a stored tray storage unit for storing the transport tray filled with the CSP pellets stored by the transfer means. And an empty tray storage unit for storing an empty transport tray, and a pellet pickup table provided with the above-mentioned pellet push-up member on a pellet pickup table.

【0022】このように構成されるペレットピックアッ
プ装置においては、CSPペレットの搬送トレーへの移
し替えを確実かつ円滑に行うことができる。
In the pellet pickup device configured as described above, the transfer of the CSP pellets to the transport tray can be performed reliably and smoothly.

【0023】[0023]

【発明の実施の形態】本発明に係るペレット押上部材及
びこれが配設されるペレットピックアップ装置について
説明する。なお、本発明のペレットピックアップ装置と
図5に示した従来のペレットピックアップ装置60と
は、ペレット押上部材の構成が異なるのみであるため、
同様に構成される部位には同一の符号を付し、従来の技
術で既に説明した事項についてはその説明を省略するこ
ととする。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A pellet lifting member according to the present invention and a pellet pickup device provided with the same will be described. Since the pellet pickup device of the present invention and the conventional pellet pickup device 60 shown in FIG. 5 are different only in the configuration of the pellet lifting member,
The same reference numerals are given to the components configured in the same manner, and the description of the items already described in the related art will be omitted.

【0024】図1は、本発明のペレット押上部材の実施
の形態の一例を示したものであり、ペレット押上部材1
0は、円筒状の載置部21とフレームFを固定するクラ
ンプ部22とから概ね構成されるペレットピックアップ
用テーブル20において、載置部21の内部に配設され
ており、X軸方向及びY軸方向にスライド可能でかつZ
方向に進退可能となっている。
FIG. 1 shows an embodiment of a pellet lifting member according to the present invention.
Reference numeral 0 denotes a pellet pick-up table 20, which is generally composed of a cylindrical mounting portion 21 and a clamp portion 22 for fixing the frame F, and is disposed inside the mounting portion 21 and has an X-axis direction and a Y-direction. Slidable in the axial direction and Z
It is possible to advance and retreat in the direction.

【0025】ペレット押上部材10のうち、粘着テープ
Tに接触する部分には、粘着力低下手段11が配設され
ている。この粘着力低下手段11は、粘着テープTが紫
外線硬化型粘着テープである場合は、例えば図2に示す
ような構成の紫外線照射部11aである。
In the portion of the pellet lifting member 10 which comes into contact with the adhesive tape T, an adhesive force reducing means 11 is provided. When the pressure-sensitive adhesive tape T is a UV-curable pressure-sensitive adhesive tape, the pressure-reducing means 11 is, for example, an ultraviolet irradiation unit 11a having a configuration as shown in FIG.

【0026】図2に示す紫外線照射部11aは、多数の
光ファイバー12が上下方向に配設され、図示していな
いが、下方においては紫外線を発光する紫外光源に連結
されている。そして、紫外光源から発せられた紫外線は
光ファイバー12から上方の粘着テープTに向けて照射
される。
The ultraviolet irradiating section 11a shown in FIG. 2 has a number of optical fibers 12 arranged vertically and is connected to an ultraviolet light source which emits ultraviolet rays at a lower portion although not shown. Then, the ultraviolet light emitted from the ultraviolet light source is irradiated from the optical fiber 12 toward the upper adhesive tape T.

【0027】また、粘着力低下手段11は、粘着テープ
Tが加熱硬化型粘着テープである場合は加熱部であり、
冷却硬化型粘着テープである場合は冷却部である。これ
らの場合は、粘着力低下手段11として、例えば図3に
示すサーモモジュール11bを用いることにより、加熱
部としての機能と冷却部としての機能とを併せ持つこと
ができる。
The adhesive force reducing means 11 is a heating unit when the adhesive tape T is a heat-curable adhesive tape,
In the case of a cooling-curable adhesive tape, it is a cooling section. In these cases, by using, for example, a thermo module 11b shown in FIG. 3 as the adhesive force reducing means 11, it is possible to have both a function as a heating unit and a function as a cooling unit.

【0028】このサーモモジュール11bは、複数のP
型半導体、N型半導体が交互に電気的に直列に接続され
るように上板13と下板14とでサンドイッチ状に挟ま
れ、この回路に電流が流れると、ペルチェ効果により上
板13または下板14の一方においては熱が発生し、他
方においては熱を吸収するようになる。従って、電流を
流す方向によって、上板13及び下板14が加熱部にも
冷却部にもなる。
The thermo module 11b includes a plurality of P
The type semiconductor and the N-type semiconductor are sandwiched between the upper plate 13 and the lower plate 14 such that they are electrically connected in series alternately. When a current flows through this circuit, the upper plate 13 or the lower plate One of the plates 14 generates heat and the other absorbs heat. Therefore, depending on the direction in which the current flows, the upper plate 13 and the lower plate 14 serve as both a heating unit and a cooling unit.

【0029】なお、図3に示すように、サーモモジュー
ル11bには、上下方向に進退自在な突き上げ部15を
設けてもよい。この場合は、ペレットのピックアップを
より効果的に行うことができる。なお、突き上げ部15
は、図2に示した紫外線照射部11aにも配設すること
ができる。
As shown in FIG. 3, the thermo module 11b may be provided with a push-up portion 15 which can move up and down in the vertical direction. In this case, the pellet can be more effectively picked up. The push-up portion 15
Can also be arranged in the ultraviolet irradiation section 11a shown in FIG.

【0030】このように構成されるペレット押上部材1
1が配設されたペレットピックアップテーブル20は、
例えば図4に示すペレットピックアップ装置30に配設
される。ここでは、このペレットピックアップ装置30
において、紫外線硬化型の粘着テープTを介してフレー
ムFと一体となったCSP基板Cを切削して個々のCS
Pペレットに分割し、搬送トレーに収容する場合につい
て説明する。
The pellet lifting member 1 constructed as described above
The pellet pick-up table 20 on which 1 is disposed is
For example, it is provided in a pellet pickup device 30 shown in FIG. Here, the pellet pickup device 30
, The CSP substrate C integrated with the frame F is cut through an ultraviolet curing
The case of dividing into P pellets and storing them in a transport tray will be described.

【0031】図4に示すペレットピックアップ装置30
においては、CSP基板Cの分割、分割後のCSP基板
Cの洗浄は従来と同様に行われるが、ペレット押上部材
10に粘着力低下手段11を備えているため、後部領域
42に粘着力低下手段を備えている必要はない。
The pellet pickup device 30 shown in FIG.
In the above, the division of the CSP substrate C and the cleaning of the CSP substrate C after the division are performed in the same manner as in the prior art, but since the pellet pushing-up member 10 is provided with the adhesive force reducing means 11, It is not necessary to have.

【0032】但し、図4に示したように、後部領域42
に粘着力低下手段(この場合は紫外線照射器42a)を
配設した場合には、ここで粘着力を若干低下させておけ
ば、搬送途中でペレットが離脱することがない上に、ペ
レットピックアップ用テーブル20において紫外線の照
射時間を短縮することができ、生産性を向上させること
ができる。
However, as shown in FIG.
If the adhesive force reducing means (in this case, the ultraviolet irradiator 42a) is provided, if the adhesive force is slightly reduced here, the pellets will not be detached during the transportation and the pellet pickup In the table 20, the irradiation time of the ultraviolet rays can be reduced, and the productivity can be improved.

【0033】洗浄後の分割されたCSP基板Cは、第五
の搬送手段44によって仮置きテーブル45に搬送され
てから、第六の搬送手段46によってペレットピックア
ップ用テーブル20に搬送される。
The divided CSP substrate C after cleaning is transferred to the temporary placing table 45 by the fifth transfer means 44, and then transferred to the pellet pickup table 20 by the sixth transfer means 46.

【0034】ペレットピックアップ用テーブル20は、
全体としてX軸方向及びY軸方向に移動可能に構成され
ており、CSPペレットPのピックアップ時は、ペレッ
トピックアップ用テーブル20がX軸方向またはY軸方
向に移動して適宜の位置にピックアップしようとするC
SPペレットPを位置付けることができる。
The pellet pickup table 20
As a whole, it is configured to be movable in the X-axis direction and the Y-axis direction. When picking up the CSP pellet P, the pellet pickup table 20 moves in the X-axis direction or the Y-axis direction to try to pick up at an appropriate position. C
SP pellets P can be positioned.

【0035】ペレットピックアップ用テーブル20の−
X方向の近傍には、CSPペレットPの中心の位置合わ
せを行うセンター合わせ手段49が配設されており、こ
こに載置されたCSPペレットを一定の位置に位置合わ
せすることによって、搬送トレー50へのペレットの収
容を確実に行うことができる。
The pellet pickup table 20
In the vicinity of the X direction, a center aligning means 49 for aligning the center of the CSP pellet P is provided, and by aligning the CSP pellet placed thereon to a predetermined position, the transfer tray 50 is adjusted. The pellets can be reliably stored in the container.

【0036】また、センター合わせ手段49の−X方向
の近傍には、CSPペレットを収容する搬送トレー50
が載置される搬送トレー載置テーブル51が配設されて
いる。この搬送トレー載置テーブル51は、X軸方向、
Y軸方向、Z軸方向に移動可能であり、下降して装置内
部を通り、空トレー格納部52または収容済トレー格納
部53に進入することができる。
In the vicinity of the centering means 49 in the -X direction, a transport tray 50 for containing CSP pellets is provided.
Is mounted on the transfer tray mounting table 51 on which the table is mounted. The transport tray mounting table 51 is arranged in the X-axis direction,
It is movable in the Y-axis direction and the Z-axis direction, and can descend and pass through the inside of the apparatus to enter the empty tray storage section 52 or the stored tray storage section 53.

【0037】更に、ペレットピックアップ用テーブル2
0の上方から搬送トレー載置テーブル51の上方までに
は、移し替え手段48が配設されている。この移し替え
手段48は、X軸方向に架設された橋部48cと、橋部
48cに沿ってX軸方向に移動可能でかつZ軸方向に上
下動可能な第一のピックアップ部48a、第二のピック
アップ部48bとを有しており、第一のピックアップ部
48aは、ペレットピックアップ用テーブル20に載置
された分割済みのCSP基板Cから個々のCSPペレッ
トPを吸着することができる。また、第二のピックアッ
プ部48bは、センター合わせ手段49にあるCSPペ
レットPを吸着することができる。
Further, a pellet pickup table 2
A transfer means 48 is provided from above 0 to above the transport tray mounting table 51. The transfer means 48 includes a bridge portion 48c extending in the X-axis direction, a first pickup portion 48a movable in the X-axis direction along the bridge portion 48c, and vertically movable in the Z-axis direction. The first pickup unit 48a can adsorb the individual CSP pellets P from the divided CSP substrate C placed on the pellet pickup table 20. Further, the second pickup unit 48b can adsorb the CSP pellet P in the centering unit 49.

【0038】ペレットピックアップ用テーブル20は、
図1に示した如く構成されており、粘着力低下手段11
が配設されている点を除けば実質的に図7に示した構造
と同様である。個々のCSPペレットPに分割されたC
SP基板Cが載置部21に載置されてフレームFがクラ
ンプ部22によって固定されると、載置部21及びクラ
ンプ部22がY軸方向に移動しながら、押上部材10が
X軸方向に移動しながらZ軸方向に進退して個々のペレ
ットPを上方に押し上げる。
The pellet pickup table 20
It is configured as shown in FIG.
Is substantially the same as the structure shown in FIG. 7 except that. C divided into individual CSP pellets P
When the SP substrate C is mounted on the mounting portion 21 and the frame F is fixed by the clamp portion 22, the mounting portion 21 and the clamp portion 22 move in the Y-axis direction while the lifting member 10 moves in the X-axis direction. Each of the pellets P is pushed up while moving forward and backward in the Z-axis direction.

【0039】ここで、ペレット押上部材Pの上端には粘
着力低下手段11が形成されているため、ペレットPの
押し上げと同時に粘着テープTの粘着力を低下させるこ
とができる。従って、この後のCSPペレットの搬送ト
レーへの移し替えを確実かつ円滑に行うことができ、生
産性が向上する。
Here, since the adhesive force reducing means 11 is formed at the upper end of the pellet lifting member P, the adhesive force of the adhesive tape T can be reduced at the same time as the pellet P is pushed up. Therefore, the subsequent transfer of the CSP pellets to the transfer tray can be performed reliably and smoothly, and the productivity is improved.

【0040】例えば、粘着テープTが紫外線硬化型粘着
テープであり、粘着力低下手段11が図2に示した紫外
線照射部11aである場合は、ペレット押上部材10が
上昇してCSPペレットPを押し上げながら光ファイバ
ー12から粘着テープTに紫外線が照射されることによ
って粘着テープTの粘着力が低下し、ピックアップしや
すい状態となる。
For example, when the pressure-sensitive adhesive tape T is a UV-curable pressure-sensitive adhesive tape and the pressure-reducing means 11 is the UV irradiating section 11a shown in FIG. 2, the pellet push-up member 10 rises to push up the CSP pellet P. While the adhesive tape T is irradiated with ultraviolet rays from the optical fiber 12, the adhesive force of the adhesive tape T is reduced, and the adhesive tape T is easily picked up.

【0041】このように、ペレット押上部材10には粘
着力低下手段11が配設されているため、CSPペレッ
トPの押上と同時にCSPペレットPに貼着された粘着
テープTの粘着力を低下させることができる。従って、
CSPペレットPのピックアップ直前までCSPペレッ
トPをしっかりと保持することができるため、それまで
の搬送途中で粘着テープTから離脱することがなく、C
SPペレットPの破損等を防止することができる。
As described above, since the adhesive force reducing means 11 is provided on the pellet lifting member 10, the adhesive force of the adhesive tape T adhered to the CSP pellet P is reduced simultaneously with the lifting of the CSP pellet P. be able to. Therefore,
Since the CSP pellet P can be firmly held until immediately before the pickup of the CSP pellet P, the CSP pellet P does not come off from the adhesive tape T during the transportation so far.
Breakage of the SP pellet P can be prevented.

【0042】また、粘着テープTが加熱または冷却によ
り硬化するタイプのものである場合には、従来はピック
アップ工程までの搬送過程で粘着テープTが外気温に近
づいて粘着力が元に戻ってしまいピックアップに支障が
生じるということがあったが、ピックアップ直前に粘着
テープTの粘着力を低下させるようにすることで、その
ような問題が発生することがなくなり、ピックアップを
確実に行うことができるようになる。
If the pressure-sensitive adhesive tape T is of a type which is cured by heating or cooling, the pressure-sensitive adhesive tape T approaches the outside temperature in the transport process up to the pick-up step, and the adhesive force returns to the original level. In some cases, the pickup may be hindered. However, by reducing the adhesive force of the adhesive tape T immediately before the pickup, such a problem does not occur, and the pickup can be reliably performed. become.

【0043】こうしてペレット押上部材10によってC
SPペレットPが押し上げられると共に粘着テープTの
粘着力が弱まると、移し替え手段48を構成する第一の
ピックアップ部48aがそのペレットPの上方に移動
し、下降してペレットを吸着して上昇する。
In this way, the pellet lifting member 10
When the SP pellet P is pushed up and the adhesive force of the adhesive tape T is weakened, the first pickup portion 48a constituting the transfer means 48 moves above the pellet P, descends, adsorbs the pellet, and rises. .

【0044】そしてその状態で第一のピックアップ部4
8aがセンター合わせ手段49の直上まで−X方向に移
動し、そこで第一のピックアップ部48aが下降して吸
着を解除することによりセンター合わせ手段49にCS
PペレットPが載置される。ここでは、四方からペレッ
トが押される等によってCSPペレットPが一定の位置
に位置合わせされる。
Then, in this state, the first pickup unit 4
8a moves in the −X direction to a position directly above the centering means 49, and the first pickup unit 48a descends to release the suction, thereby allowing the centering means 49 to receive a CS signal.
The P pellet P is placed. Here, the CSP pellet P is positioned at a fixed position by pressing the pellet from all sides.

【0045】こうしてCSPペレットPが位置合わせさ
れると、第二のピックアップ部48bがそのCSPペレ
ットPの直上に移動し、下降してCSPペレットPを吸
着してから上昇してから−X方向に移動して搬送トレー
載置テーブル51の直上に位置付けられる。そして、第
二のピックアップ部48bが下降して、搬送トレー50
の所定位置にペレットPが収容される。
When the CSP pellet P is aligned in this manner, the second pickup unit 48b moves directly above the CSP pellet P, descends to adsorb the CSP pellet P, and then moves upward in the -X direction. It moves and is positioned immediately above the transport tray mounting table 51. Then, the second pickup unit 48b descends, and the transport tray 50
The pellet P is stored at a predetermined position.

【0046】以上のような作業をすべてのペレットにつ
いて繰り返すと、搬送トレー50にCSPペレットPが
満たされる。そして、CSPペレットPで満たされた搬
送トレー50は、搬送トレー載置テーブル51がX軸方
向、Y軸方向、Z軸方向に移動して収容済トレー格納部
53に格納される。
When the above operation is repeated for all the pellets, the CSP pellets P are filled in the transport tray 50. Then, the transport tray 50 filled with the CSP pellets P is stored in the stored tray storage unit 53 by moving the transport tray mounting table 51 in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction.

【0047】一方、すべてのCSPペレットPがピック
アップされてペレットピックアップ用テーブル20に残
った貼着テープT及びフレームFは、第六の搬送手段4
6によってフレーム回収部54に格納される。
On the other hand, the adhesive tape T and the frame F remaining on the pellet pickup table 20 after all the CSP pellets P have been picked up are transferred to the sixth transport means 4.
6 is stored in the frame collection unit 54.

【0048】なお、移し替え手段48を用いてCSPペ
レットPを搬送トレー50に移し替える場合は、第一の
ピックアップ部48aと第二のピックアップ部48bと
を並行して動作させてピックアップを行えば、より効率
的に移し替えを行うことができる。
When the CSP pellets P are transferred to the transport tray 50 by using the transfer means 48, the first pick-up unit 48a and the second pick-up unit 48b are operated in parallel for pick-up. The transfer can be performed more efficiently.

【0049】[0049]

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るペレ
ット押上部材には粘着力低下手段が配設されているた
め、ペレットの押上と同時にペレットに貼着された粘着
テープの粘着力を低下させることができる。従って、ペ
レットのピックアップ直前までペレットをしっかりと保
持することができるため、それまでの搬送途中で粘着テ
ープから離脱することがなく、ペレットの破損を防止す
ることができる。
As described above, since the pellet lifting member according to the present invention is provided with the adhesive force reducing means, the adhesive force of the adhesive tape attached to the pellet is reduced simultaneously with the pushing of the pellet. Can be done. Therefore, the pellets can be firmly held until immediately before the pick-up of the pellets, so that the pellets are not detached from the adhesive tape during the transportation so far, and the pellets can be prevented from being damaged.

【0050】また、粘着テープが加熱または冷却により
硬化するタイプのものである場合には、ピックアップ工
程までの搬送過程で粘着テープが外気温に近づいて粘着
力が元に戻ってしまいピックアップに支障が生じるとい
うことがなくなるため、ピックアップを確実に行うこと
ができるようになる。
When the pressure-sensitive adhesive tape is of a type that is cured by heating or cooling, the pressure-sensitive adhesive tape approaches the outside temperature in the transportation process up to the pick-up process, and the pressure-sensitive adhesive returns to its original strength. Since this does not occur, the pickup can be reliably performed.

【0051】更に、本発明に係るペレットピックアップ
装置には、粘着力低下手段を備えたペレット押上部材が
ペレットピックアップ用テーブルに配設されているた
め、CSPペレットの搬送トレーへの移し替えを確実か
つ円滑に行うことができ、生産性が向上する。
Further, in the pellet pick-up device according to the present invention, since the pellet pick-up member provided with the adhesive force reducing means is disposed on the pellet pick-up table, the transfer of the CSP pellets to the transport tray can be performed reliably and reliably. It can be performed smoothly, and productivity is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るペレット押上部材の実施の形態の
一例を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an example of an embodiment of a pellet lifting member according to the present invention.

【図2】同ペレット押上部材を構成する粘着力低下手段
の第一の例を示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing a first example of an adhesive force reducing means constituting the pellet pushing-up member.

【図3】同ペレット押上部材を構成する粘着力低下手段
の第二の例を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a second example of the adhesive force reducing means constituting the pellet lifting member.

【図4】本発明に係るペレットピックアップ装置の実施
の形態の一例を示す斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing an example of an embodiment of a pellet pickup device according to the present invention.

【図5】従来のペレットピックアップ装置を示す斜視図
である。
FIG. 5 is a perspective view showing a conventional pellet pickup device.

【図6】同ペレットピックアップ装置を構成する第四の
搬送手段を示す斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing a fourth conveying means constituting the pellet pickup device.

【図7】従来のペレット押上部材を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing a conventional pellet lifting member.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…ペレット押上部材 11…粘着力低下手段 11a…紫外線照射部 11b…サーモモジュール 12…光ファイバー 13…上板 14…下板 15…突き上げ部 20…ペレットピックアップ用テーブル 21…載置部 22…クランプ部 30…ペレットピックアップ装置 31…カセット 32…搬出手段 33…仮受け領域 34…第一の搬送手段 35…保持テーブル 36…アライメント手段 37…回転ブレード 38…切削手段 39…第二の搬送手段 40…洗浄領域 41…第三の搬送手段 42…後部領域 42a…紫外線照射部 43…第四の搬送手段 43a…吸着部 43b…保持部 43c…レール 44…第五の搬送手段 45…仮置きテーブル 46…第六の搬送手段 46a…ガイド溝 46b…保持部 47…ペレットピックアップ用テーブル 47a…載置部 47b…クランプ部 47c…ペレット押上部材 48…移し替え手段 48a…第一のピックアップ部 48b…第二のピックアップ部 48c…橋部 49…センター合わせ手段 50…搬送トレー 51…搬送トレー載置テーブル 52…空トレー格納部 53…収容済トレー格納部 54…フレーム回収部 60…ペレットピックアップ装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Pellet lifting member 11 ... Adhesion reduction means 11a ... Ultraviolet irradiation part 11b ... Thermo module 12 ... Optical fiber 13 ... Upper plate 14 ... Lower plate 15 ... Push-up part 20 ... Pellet pick-up table 21 ... Placement part 22 ... Clamp part Reference Signs List 30 Pellet pickup device 31 Cassette 32 Unloading means 33 Temporary receiving area 34 First transport means 35 Holding table 36 Alignment means 37 Rotating blade 38 Cutting means 39 Second transport means 40 Cleaning Area 41: Third conveying means 42: Rear area 42a: Ultraviolet irradiation part 43: Fourth conveying means 43a: Adsorbing part 43b: Holding part 43c: Rail 44: Fifth conveying means 45: Temporary placing table 46: No. Sixth conveyance means 46a: guide groove 46b: holding part 47: pellet pickup table Le 47a ... Placement part 47b ... Clamp part 47c ... Pellet lifting member 48 ... Transfer means 48a ... First pickup part 48b ... Second pickup part 48c ... Bridge part 49 ... Center alignment means 50 ... Transport tray 51 ... Transport Tray mounting table 52: Empty tray storage unit 53: Stored tray storage unit 54: Frame recovery unit 60: Pellet pickup device

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 粘着テープの表面に貼着されたペレット
を該粘着テープの裏面側から押し上げるペレット押上部
材であって、 該ペレット押上部材には、該粘着テープの粘着力を低下
させる粘着力低下手段が配設されているペレット押上部
材。
1. A pellet push-up member that pushes up a pellet adhered to the surface of an adhesive tape from the back side of the adhesive tape, wherein the pellet push-up member has a reduced adhesive strength that reduces the adhesive strength of the adhesive tape. A pellet lifting member provided with a means.
【請求項2】 粘着テープは紫外線の照射を受けること
により粘着力が低下する紫外線硬化型粘着テープであ
り、粘着力低下手段は紫外線照射部である請求項1に記
載のペレット押上部材。
2. The pellet lifting member according to claim 1, wherein the pressure-sensitive adhesive tape is an ultraviolet-curable pressure-sensitive adhesive tape whose adhesive strength is reduced by being irradiated with ultraviolet rays, and wherein the means for lowering the adhesive strength is an ultraviolet irradiation section.
【請求項3】 粘着テープは加熱により粘着力が低下す
る加熱硬化型粘着テープであり、粘着力低下手段は加熱
部である請求項1に記載のペレット押上部材。
3. The pellet lifting member according to claim 1, wherein the pressure-sensitive adhesive tape is a heat-curable pressure-sensitive adhesive tape whose pressure-sensitive adhesive force is reduced by heating, and wherein the pressure-sensitive adhesive-reducing means is a heating unit.
【請求項4】 粘着テープは冷却により粘着力が低下す
る冷却硬化型粘着テープであり、粘着力低下手段は冷却
部である請求項1に記載のペレット押上部材。
4. The pellet lifting member according to claim 1, wherein the pressure-sensitive adhesive tape is a cooling-curable pressure-sensitive adhesive tape whose adhesive force is reduced by cooling, and the adhesive force reducing means is a cooling unit.
【請求項5】 粘着力低下手段はサーモモジュールによ
り構成され、該サーモモジュールは加熱部と冷却部とを
兼ねる請求項3または4に記載の押上部材。
5. The push-up member according to claim 3, wherein the adhesive force reducing means is constituted by a thermo module, and the thermo module also serves as a heating unit and a cooling unit.
【請求項6】 分割済みのCSP基板を構成するCSP
ペレットを個別にピックアップする際に該CSP基板が
載置されるペレットピックアップ用テーブルと、該ペレ
ットピックアップ用テーブルに載置されたCSP基板を
構成するCSPペレットを粘着テープから個別に剥離し
て搬送トレーに収容する移し替え手段と、該移し替え手
段によって収容されたCSPペレットで満たされた搬送
トレーを格納する収容済トレー格納部と、空の搬送トレ
ーを格納する空トレー格納部とから少なくとも構成され
るペレットピックアップ装置であって、 該ペレットピックアップ用テーブルには、請求項1乃至
5に記載のペレット押上部材が配設されているペレット
ピックアップ装置。
6. A CSP constituting a divided CSP substrate
A pellet pick-up table on which the CSP substrate is placed when individually picking up the pellets, and a CSP pellet constituting the CSP substrate placed on the pellet pick-up table, which is individually peeled off from the adhesive tape to a transfer tray. And a storage unit for storing a transport tray filled with the CSP pellets stored by the transfer unit, and an empty tray storage unit for storing an empty transport tray. A pellet pickup device, comprising: a pellet pick-up member according to any one of claims 1 to 5 disposed on the pellet pickup table.
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