JP2001166497A5 - - Google Patents
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Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000269288A JP4649717B2 (ja) | 1999-10-01 | 2000-09-05 | 露光方法及び露光装置、デバイス製造方法 |
| KR1020000057268A KR100846337B1 (ko) | 1999-10-01 | 2000-09-29 | 노광방법 및 노광장치 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11-282114 | 1999-10-01 | ||
| JP28211499 | 1999-10-01 | ||
| JP2000269288A JP4649717B2 (ja) | 1999-10-01 | 2000-09-05 | 露光方法及び露光装置、デバイス製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001166497A JP2001166497A (ja) | 2001-06-22 |
| JP2001166497A5 true JP2001166497A5 (enExample) | 2007-10-25 |
| JP4649717B2 JP4649717B2 (ja) | 2011-03-16 |
Family
ID=26554475
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000269288A Expired - Lifetime JP4649717B2 (ja) | 1999-10-01 | 2000-09-05 | 露光方法及び露光装置、デバイス製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4649717B2 (enExample) |
| KR (1) | KR100846337B1 (enExample) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4362999B2 (ja) * | 2001-11-12 | 2009-11-11 | 株式会社ニコン | 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
| JP2003295459A (ja) * | 2002-04-02 | 2003-10-15 | Nikon Corp | 露光装置及び露光方法 |
| JP2004335953A (ja) * | 2002-11-25 | 2004-11-25 | Nikon Corp | 露光装置及び露光方法 |
| JP4496711B2 (ja) * | 2003-03-31 | 2010-07-07 | 株式会社ニコン | 露光装置及び露光方法 |
| US20050088664A1 (en) * | 2003-10-27 | 2005-04-28 | Lars Stiblert | Method for writing a pattern on a surface intended for use in exposure equipment and for measuring the physical properties of the surface |
| JP4806581B2 (ja) * | 2005-03-28 | 2011-11-02 | 富士フイルム株式会社 | 光量調整方法、画像記録方法及び装置 |
| JP5071382B2 (ja) * | 2006-03-20 | 2012-11-14 | 株式会社ニコン | 走査露光装置及びマイクロデバイスの製造方法 |
| US8013977B2 (en) * | 2006-07-17 | 2011-09-06 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, radiation sensor and method of manufacturing a radiation sensor |
| JP5354803B2 (ja) * | 2010-06-28 | 2013-11-27 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 露光装置 |
| US9488811B2 (en) * | 2013-08-20 | 2016-11-08 | Ultratech, Inc. | Wynne-Dyson optical system with variable magnification |
| JP6661371B2 (ja) | 2015-12-25 | 2020-03-11 | キヤノン株式会社 | 評価方法、露光方法、および物品の製造方法 |
| CN110431487B (zh) * | 2017-03-17 | 2021-08-10 | 株式会社尼康 | 照明装置及方法、曝光装置及方法、以及元件制造方法 |
| JP2023096983A (ja) * | 2021-12-27 | 2023-07-07 | キヤノン株式会社 | 露光装置、露光方法、および、物品製造方法 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0654751B2 (ja) * | 1987-10-27 | 1994-07-20 | キヤノン株式会社 | 焦点検出方法 |
| JP2580668B2 (ja) * | 1988-01-21 | 1997-02-12 | 株式会社ニコン | 露光方法、露光条件測定方法及ぴパターン測定方法 |
| JP3230094B2 (ja) * | 1991-09-02 | 2001-11-19 | 株式会社ニコン | 投影光学系の光学特性測定方法、光学特性測定装置、露光方法及びマスク |
| JP3287017B2 (ja) * | 1992-07-10 | 2002-05-27 | 株式会社ニコン | 結像特性の測定方法 |
| JP3152776B2 (ja) * | 1992-12-25 | 2001-04-03 | 宮崎沖電気株式会社 | ホトリソグラフィーの露光量算出方法 |
| JP3376688B2 (ja) * | 1993-10-06 | 2003-02-10 | 株式会社ニコン | 露光装置、及び該装置を用いた露光方法 |
| JP3477838B2 (ja) * | 1993-11-11 | 2003-12-10 | 株式会社ニコン | 走査型露光装置及び露光方法 |
| JP3339149B2 (ja) * | 1993-12-08 | 2002-10-28 | 株式会社ニコン | 走査型露光装置ならびに露光方法 |
| JP3460129B2 (ja) * | 1994-08-16 | 2003-10-27 | 株式会社ニコン | 露光装置および露光方法 |
| JP3550597B2 (ja) * | 1995-06-02 | 2004-08-04 | 株式会社ニコン | 露光装置 |
| JP3791037B2 (ja) * | 1996-02-28 | 2006-06-28 | 株式会社ニコン | 露光装置 |
-
2000
- 2000-09-05 JP JP2000269288A patent/JP4649717B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2000-09-29 KR KR1020000057268A patent/KR100846337B1/ko not_active Expired - Lifetime