JP2001165719A

JP2001165719A - ストレーナ付き熱式流量計

Info

Publication number: JP2001165719A
Application number: JP35036499A
Authority: JP
Inventors: Toshiaki Kawanishi; 川西　　利明; Kenichi Hiraizumi; 健一平泉; Atsushi Koike; 淳小池
Original assignee: Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Current assignee: Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Priority date: 1999-12-09
Filing date: 1999-12-09
Publication date: 2001-06-22

Abstract

(57)【要約】【課題】液体切れの検知を迅速且つ的確に行うことの
可能なストレーナ付き熱式流量計を提供する。【解決手段】流体流通路第１部分３が形成されている
ケーシング部材２、流量検知ユニット４、及びケーシン
グ部材２の下部に取り付けられたストレーナ１０を備え
ている。ストレーナ１０は、上下方向の筒形フィルター
１２を備え、フィルター１２を通る流体流通路第２部分
２２を有する。ケーシング部材２には流体流通路第１部
分３の一部を形成する管状部材２０がフィルター１２の
中央開口内へと下向きに延出して設けられている。管状
部材２０のフィルターに対応する部分の内径は流量検知
ユニット４に対応する部分における流体流通路の内径と
同等以上であり、且つ管状部材２０はフィルター１２の
高さの１／３以上の長さの部分がフィルター中央開口内
へと延出している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流体流量検知技術
に属するものであり、特に流体濾過のためのストレーナ
を付設せる熱式流量計に関するものである。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
各種流体特に液体の流量（あるいは流速）を測定する流
量計［流量センサー］（あるいは流速計［流速センサ
ー］）としては、種々の形式のものが使用されている
が、低価格化が容易であるという理由で、いわゆる熱式
（特に傍熱型）の流量計が利用されている。

【０００３】この傍熱型流量計としては、基板上に薄膜
技術を利用して薄膜発熱体と薄膜感温体とを絶縁層を介
して積層してなるセンサーチップを配管内の流体との間
で熱伝達可能なように配置したものが使用されている。
発熱体に通電することにより感温体を加熱し、該感温体
の電気的特性例えば電気抵抗の値を変化させる。この電
気抵抗値の変化（感温体の温度上昇に基づく）は、配管
内を流れる流体の流量（流速）に応じて変化する。これ
は、発熱体の発熱量のうちの一部が流体中へと伝達さ
れ、この流体中へ拡散する熱量は流体の流量（流速）に
応じて変化し、これに応じて感温体へと供給される熱量
が変化して、該感温体の電気抵抗値が変化するからであ
る。この感温体の電気抵抗値の変化は、流体の温度によ
っても異なり、このため、上記感温体の電気抵抗値の変
化を測定する電気回路中に温度補償用の感温素子を組み
込んでおき、流体の温度による流量測定値の変化をでき
るだけ少なくすることも行われている。

【０００４】このような、薄膜素子を用いた傍熱型流量
計に関しては、例えば、特開平１１−１１８５６６号公
報に記載がある。この流量計においては、流体の流量に
対応する電気的出力を得るためにブリッジ回路を含む電
気回路（検知回路）を使用している。

【０００５】流量計による流量測定の一例として、共同
の灯油タンクから各灯油需要者宅へと灯油流通管路を敷
設し、該管路の末端において各灯油需要者宅の灯油燃焼
機器例えば灯油ファンヒーターや灯油給湯器を接続し、
上記管路の各灯油需要者宅への入口部に熱式流量計を配
置し、灯油タンク側から流量計を経て各灯油需要者宅側
へと供給される灯油の量（積算流量）を測定するものが
ある。

【０００６】この場合、灯油燃焼機器への灯油供給は各
機器に内蔵されたポンプの吸引力に基づきなされる。従
って、灯油タンクに灯油が存在しなくなると、管路内に
空気が流通することになり、その場合には流量計の流量
出力が急激に変化し、灯油切れを検知することができ
る。これは、流量計の検知回路の出力電圧値は流体の熱
的性質に依存しており、流体が液体である場合と空気の
ような気体である場合とでは、同等な流量であっても出
力電圧値が大きく異なるからである。通常の場合、測定
すべき流体の種類は既知であり、従って検知回路の出力
電圧値と流量との関係は、この既知の流体についての所
定の対応関係で設定されている。

【０００７】一方、灯油燃焼機器などの機器へと供給さ
れる灯油などの液体中に混入しているゴミなどの異物を
除去するために、灯油流通管路などの流体流通路にフィ
ルターを内蔵せるストレーナを介在させることがある。
このストレーナは、流体流通路において流量計で流体と
センサーチップとの熱交換が行われるセンシング部分よ
り上流に配置されるものであり、このため、液体切れの
際には、該ストレーナ内においてフィルターに付着せる
液体が気体流通により膜状に形成され泡となって流量計
のセンシング部分へと到達することがある。そのような
場合には、センシング部分の流通路内を少量の液体と少
量の気体とが交互に流通し、このため流量出力（検知回
路の出力電圧値）が頻繁に急激に変動する状態が現れ
る。このような状態が出現すると、検知回路の出力電圧
値に応じて液体切れを検知する際の判断を迅速且つ的確
に行うことが困難となる。

【０００８】そこで、本発明は、液体切れの検知を迅速
且つ的確に行うことの可能なストレーナ付き熱式流量計
を提供することを目的とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、以上の
如き目的を達成するものとして、流体流通路の第１部分
が形成されているケーシング部材、該ケーシング部材に
取り付けられており前記流体流通路内の流体との熱の授
受により前記流体の前記流体流通路内での流通に対応し
て電気的特性値が変化する流量検知ユニット、及び、前
記ケーシング部材の下部に取り付けられたストレーナを
備えており、該ストレーナは前記流体を濾過するための
上下方向を向いた筒形のフィルターを備えており、前記
ストレーナには前記フィルターを通るようにして前記流
体流通路の第２部分が形成されており、前記フィルター
は前記流量検知ユニットより低い位置であって前記流体
流通路内での流体の流通方向に関して前記流量検知ユニ
ットより上流の位置に配置されており、前記ケーシング
部材には前記流体流通路の第１部分の一部を形成し前記
フィルターの中央開口内へと下向きに延出せる管状部が
設けられており、該管状部の前記フィルターに対応する
部分の内径は前記流量検知ユニットに対応する部分にお
ける前記流体流通路の内径と同等以上であり、且つ前記
管状部は前記フィルターの高さの１／３以上の長さの部
分が前記フィルターの中央開口内へと延出していること
を特徴とするストレーナ付き熱式流量計、が提供され
る。

【００１０】本発明の一態様においては、前記管状部の
前記フィルターに対応する部分の内径は前記流量検知ユ
ニットに対応する部分における前記流体流通路の内径の
１．３倍以上である。

【００１１】本発明の一態様においては、前記管状部は
前記ケーシング部材の下部に着脱可能に取り付けられた
管状部材により構成されている。本発明の一態様におい
ては、前記ストレーナは前記ケーシング部材の下部に着
脱可能に取り付けられ前記フィルターを覆い且つ前記流
体流通路の第２部分を形成するカップ状部材を有するも
のである。

【００１２】本発明の一態様においては、前記ケーシン
グ部材には、前記流体流通路内での流体の流通方向に関
して前記第２部分より上流側の第３部分が形成されてお
り、前記ケーシング部材には前記流体流通路の第３部分
及び第１部分にそれぞれ連なる流体入口及び流体出口が
形成されており、前記流体入口から供給される流体を前
記フィルターにより濾過し、前記管状部内及び前記流量
検知ユニットの位置を経て流通させ、前記流体出口から
排出するようにしてなる。

【００１３】本発明の一態様においては、前記流量検知
ユニットは発熱体と流量検知用感温体と前記流体流通路
内へと延出せる流量検知用熱伝達部材とを互いに熱伝達
可能なように配置してなるものである。

【００１４】本発明の一態様においては、前記流体流通
路内の流体との熱の授受により前記流体の温度に対応し
て電気的特性値が変化する流体温度検知ユニットを備え
ており、該流体温度検知ユニットは前記ケーシング部材
に取り付けられており、前記流体の流量の検知を前記流
体温度検知ユニットの電気的特性値にも基づいて行うよ
うにしてなる。

【００１５】本発明の一態様においては、前記流体温度
検知ユニットは流体温度検知用感温体と前記流体流通路
内へと延出せる流体温度検知用熱伝達部材とを互いに熱
伝達可能なように配置してなるものである。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照しながら説明する。

【００１７】図１は本発明の流量計の一実施形態を示す
模式的断面図であり、図２はその一部分解断面図であ
る。これらの図において、ケーシング部材２内には流体
流通路の第１部分３が形成されている。該第１部分３は
上下方向に延びた垂直部３ａと該垂直部の上部に連なり
左方に延びた水平部３ｂとを有する。ケーシング部材２
は、例えば金属製である。ケーシング部材２には第１部
分垂直部３ａに臨むようにして流量検知ユニット４及び
流体温度検知ユニット６が取り付けられている。

【００１８】ケーシング部材２の下部には、ストレーナ
１０が取り付けられている。ストレーナ１０は、流体を
濾過するための上下方向を向いた筒形フィルター１２と
該フィルター１２を覆うようにしてケーシング部材２の
下部に取り付けられたカップ状部材１４とを備えてい
る。フィルター１２は中央開口を規定する円筒部と該円
筒部の上端及び下端にそれぞれ連なる上フランジ部及び
下フランジ部とからなる保持体１２ａの円筒部の周囲に
ガラス繊維やプラスチック繊維などからなる不織布の濾
材１２ｂを保持してなるものである。保持体１２ａの円
筒部には多数の小孔１３が径方向に貫通して形成されて
いる。ケーシング部材２に対するカップ状部材１４の取
り付けはネジ込みにより着脱可能なようになされてお
り、カップ状部材１４の上端縁とケーシング部材２との
間にはシール部材１６が介在せしめられている。

【００１９】ケーシング部材２の下部には、流体流通路
の第１部分垂直部３ａに連なるようにして、管状部材２
０がねじ込みにより着脱可能に又は圧入により取り付け
られている。該管状部材２０は、フィルター１２の中央
開口内へと下向きに延出している。この管状部材２０の
中空部は上記流体流通路第１部分の一部を形成してい
る。管状部材２０の外径はフィルター保持体１２ａの内
径よりわずかに小さく、従って管状部材２０がフィルタ
ー１２の保持体１２ｂの上部における小孔１３を閉塞し
ている。

【００２０】フィルター保持体１２ａの下フランジ部は
カップ状部材１４の底面に当接している。かくして、ス
トレーナ１０にはフィルター１２を通るようにして流体
流通路の第２部分２２が形成されている。即ち、該第２
部分２２は、ストレーナ１０内のフィルター１２の外側
に位置する外周部２２ａと該フィルター１２の内側の中
央開口部２２ｂとを有しており、外周部２２ａからフィ
ルター１２を経て中央開口部２２ｂへと流体を流通させ
ることができる。

【００２１】一方、ケーシング部材２には、流体流通路
内での流体の流通方向に関して第２部分２２より上流側
となる第３部分２４が形成されている。第３部分２４
は、第２部分外周部２２ａと連通している。また、ケー
シング部材２には、流体流通路の第３部分２４に連なる
開口を塞ぐようにしてオネジ２６がネジ込みにより着脱
可能に取り付けられている。

【００２２】ケーシング部材２には、流体流通路の第３
部分２４に連なる流体流入開口３０が形成されており、
ここには流体供給源側配管が接続される。また、ケーシ
ング部材２には、流体流通路の第１部分水平部３ｂに連
なる流体流出開口３２が形成されており、ここには流体
需要側配管が接続される。

【００２３】図３は流量検知ユニット４の断面図であ
る。流量検知ユニット４において、流量検知部４２が熱
伝達部材たるフィンプレート４４の表面に熱伝導性良好
な接合材４６により接合され、流量検知部４２の電極パ
ッドと電極端子４８とがボンディングワイヤ５０により
接続されており、流量検知部４２及びボンディングワイ
ヤ５０並びにフィンプレート４４の一部及び電極端子４
８の一部が合成樹脂製ハウジング５２内に収容されてい
る。流量検知部４２は、例えばシリコンやアルミナなど
からなる厚さ０．４ｍｍ程度で２ｍｍ角程度の矩形基板
上に、薄膜感温体及び薄膜発熱体を互いに絶縁して形成
したチップ状のものからなる。

【００２４】尚、流体温度検知ユニット６は、上記流量
検知ユニット４における流量検知部４２の代わりに流体
温度検知部を用いたものに相当する。流体温度検知ユニ
ット６において、流量検知ユニット４のものと対応する
部材は、同一の符号に「’」を付して示す。流体温度検
知部は、流量検知部４２から薄膜発熱体を除去したと同
様な構成を持つ。

【００２５】流量検知ユニット４及び流体温度検知ユニ
ット６のハウジング５２，５２’から突出せるフィンプ
レート４４，４４’の端部は、ケーシング部材２の流体
流通路第１部分３内に延出している。フィンプレート４
４，４４’は、ほぼ円形の断面を持つ流体流通路第１部
分３内において、その断面内の中央を通って延在してい
る。フィンプレート４４，４４’は、流体流通路第１部
分３内における流体の流通方向に沿って配置されている
ので、流体流通に大きな影響を与えることなしに、流量
検知部４２及び流体温度検知部４２’と流体との間で良
好に熱を伝達することが可能である。

【００２６】図４は本実施形態の熱式流量計の流量検出
系を示す模式図である。定電圧回路１０２からブリッジ
回路（検知回路）１０４に直流電圧が供給される。ブリ
ッジ回路１０４は、流量検知ユニット４の流量検知用薄
膜感温体１０４−１と流体温度検知ユニット６の温度補
償用薄膜感温体１０４−２と可変抵抗体１０４−３，１
０４−４とを含んでなる。ブリッジ回路１０４のａ，ｂ
点の電位Ｖａ，Ｖｂが差動増幅回路１０６へと入力さ
れ、該差動増幅回路１０６の出力が積分回路１０８に入
力される。

【００２７】一方、供給電源からの直流電圧は、上記流
量検知ユニット４の薄膜発熱体１１２へ供給される電流
を制御するためのトランジスタ１１０を介して、薄膜発
熱体１１２へと供給される。即ち、流量検知部４２にお
いて、薄膜発熱体１１２の発熱に基づき、フィンプレー
ト４４を介して被検知流体による吸熱の影響を受けて、
薄膜感温体１０４−１による感温が実行される。そし
て、該感温の結果として、図４に示すブリッジ回路１０
４のａ，ｂ点の電位Ｖａ，Ｖｂの差が得られる。

【００２８】（Ｖａ−Ｖｂ）の値は、流体の流量に応じ
て流量検知用感温体１０４−１の温度が変化すること
で、変化する。予めブリッジ回路１０４の可変抵抗体１
０４−３，１０４−４の抵抗値を適宜設定することで、
基準となる所望の流体流量の場合において（Ｖａ−Ｖ
ｂ）の値を零とすることができる。この基準流量では、
積分回路１０８の出力が一定（基準流量に対応する値）
となり、トランジスタ１１０の抵抗値も一定となる。そ
の場合には、薄膜発熱体１１２に印加される分圧も一定
となり、この時のＰ点の電圧が上記基準流量を示すもの
となる。

【００２９】流体流量が増減すると、積分回路４６の出
力は（Ｖａ−Ｖｂ）の値に応じて極性（流量検知用感温
体１０４−１の抵抗−温度特性の正負により異なる）及
び大きさが変化し、これに応じて積分回路１０８の出力
が変化する。

【００３０】流体流量が増加した場合には、流量検知用
感温体１０４−１の温度が低下するので、薄膜発熱体１
１２の発熱量を増加させる（即ち電力を増加させる）よ
う、積分回路１０８からはトランジスタ１１０のベース
に対して、トランジスタ１１０の抵抗値を減少させるよ
うな制御入力がなされる。

【００３１】他方、流体流量が減少した場合には、流量
検知用感温体１０４−１の温度が上昇するので、薄膜発
熱体１１２の発熱量を減少させる（即ち電力を減少させ
る）よう、積分回路１０８からはトランジスタ１１０の
ベースに対して、トランジスタ１１０の抵抗値を増加さ
せるような制御入力がなされる。

【００３２】以上のようにして、流体流量の変化に関わ
らず、常に流量検知用感温体１０４−１により検知され
る温度が目標値となるように、薄膜発熱体１１２の発熱
がフィードバック制御される。そして、その際に薄膜発
熱体１１２に印加される電圧（Ｐ点の電圧）は流体流量
に対応しているので、それを流量出力として取り出す。

【００３３】この流量出力は、適宜、Ａ／Ｄコンバータ
によりＡ／Ｄ変換された上で、図５に示されているよう
に、ＣＰＵ１２０により積算などの演算処理がなされ、
表示部１２２により流量に関する表示がなされる。尚、
ＣＰＵ１２０からの指令により、瞬時流量及び積算流量
を適宜メモリに記憶させるようにすることができ、更
に、電話回線その他のネットワークからなる通信回線を
介して外部へと伝送させるようにすることができる。

【００３４】本実施形態においては、流量計に灯油燃焼
機器などの液体需要機器１２４の運転状況特に液体吸引
ポンプの駆動状況の信号を入力させておき、該液体吸引
ポンプの駆動がなされている場合に流量検知及び気体混
入検知を行うようにすることができる。そして、該吸引
ポンプの駆動が継続的になされているにもかかわらず、
流量出力が急激に変化した場合には、液体切れが発生し
たものとして、表示部１２２に警告表示をしたり、更に
は警報音を発したり、液体需要機器１２４の吸引ポンプ
を停止させるための信号を発したりすることができる。

【００３５】このような液体切れの検知のためには、上
記管状部材２０のフィルターに対応する部分の流体流通
路の内径及び長さが特定の範囲内にあることが極めて望
ましい。この点につき、図６を参照して説明する。図６
に示されているように、流体流通路の第１部分垂直部３
ａの流量検知ユニットのフィンプレート４４に対応する
部分の内径をＤ₁ とし、管状部材２０のフィルター濾材
１２ｂに対応する部分の第１部分内径をＤ₂ とした場合
に、Ｄ₁ ≦Ｄ₂ であることが好ましい。これは、Ｄ₂ が
Ｄ₁ より小さいと液体切れの際にフィルター濾材１２ｂ
で形成される泡が膜状を維持したまま流量検知ユニット
の方へと移行しやすくなり、Ｄ₁ ≦Ｄ₂とすることで泡
が上昇しにくくなり膜の解消の可能性が高くなるからで
ある。また、管状部材２０のフィルター濾材１２ｂに対
応する部分の長さをＬ₁ とし、フィルター濾材１２ｂの
高さ（上下方向長さ）をＬ₂ とした場合に、Ｌ₁ ≧（１
／３）Ｌ₂ であることが好ましい。これは、Ｌ₁ が（１
／３）Ｌ₂ より小さいと液体切れの際に形成される泡が
膜状を維持したまま流量検知ユニットに到達しやすくな
り、Ｌ₁ ≧（１／３）Ｌ₂ とすることで泡の上昇過程で
の膜の解消の可能性が高くなるからである。もちろん、
Ｌ₁ はＬ₂ より小さい。

【００３６】図７〜図１１は、上記Ｄ₁ ，Ｄ₂ ，Ｌ₁ ，
Ｌ₂ の値の組み合わせを変更した場合に得られた流量出
力値を示すグラフであり、下流側からの定常的吸引によ
り灯油をほぼ定常的に流通させ、ある時点で故意に灯油
切れを発生させた時の流量出力値の変化を示すものであ
る。尚、いずれの場合もＬ₂ ＝２５ｍｍである。灯油流
通は流量出力が約１．３Ｖとなるように実施され、灯油
切れは流量出力１．０Ｖ以下となる状態が約２秒以上継
続することで検知した。

【００３７】図７は、Ｄ₁ ＝４ｍｍ，Ｌ₁ ＝０ｍｍの場
合（比較例）であり、灯油切れが検知されるまでに１０
秒近くを要した。

【００３８】図８は、Ｄ₁ ＝４ｍｍ，Ｄ₂ ＝４ｍｍ，Ｌ
₁ ＝５ｍｍの場合（比較例）であり、灯油切れが検知さ
れるまでに６秒程度を要した。

【００３９】図９は、Ｄ₁ ＝４ｍｍ，Ｄ₂ ＝４ｍｍ，Ｌ
₁ ＝１０ｍｍの場合であり、灯油切れは直ちに２秒で検
知された。

【００４０】図１０は、Ｄ₁ ＝４ｍｍ，Ｄ₂ ＝４ｍｍ，
Ｌ₁ ＝２０ｍｍの場合であり、灯油切れは直ちに２秒で
検知された。

【００４１】図１１は、Ｄ₁ ＝４ｍｍ，Ｄ₂ ＝６ｍｍ，
Ｌ₁ ＝１０ｍｍの場合であり、灯油切れは直ちに２秒で
検知された。この場合には、特に、灯油切れの検知を流
量出力０．５Ｖ以下となる状態が約２秒以上継続するこ
とで検知することも可能である。このように、特に
（１．３）Ｄ₁ ≦Ｄ₂ 且つＬ₁ ≧（１／３）Ｌ₂ とする
ことで、極めて安定した液体切れ検知が可能となる。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
流体流通路の第１部分の一部を形成しフィルターの中央
開口内へと下向きに延出せる管状部をケーシング部材に
設け、この管状部のフィルターに対応する部分の内径を
流量検知ユニットに対応する部分における流体流通路の
内径と同等以上とし、且つ管状部をフィルターの高さの
１／３以上の長さにわたってフィルターの中央開口内へ
と延出させたことにより、液体切れの検知を迅速且つ的
確に行うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の流量計の一実施形態を示す模式的断面
図である。

【図２】図１の実施形態の一部分解断面図である。

【図３】流量検知ユニットの断面図である。

【図４】本発明の流量計の実施形態の流量検出系を示す
模式図である。

【図５】本発明の流量計の実施形態の構成の一部を示す
模式図である。

【図６】本発明の流量計の実施形態における管状部材の
寸法を説明するための模式図である。

【図７】流量出力値を示すグラフである。

【図８】流量出力値を示すグラフである。

【図９】流量出力値を示すグラフである。

【図１０】流量出力値を示すグラフである。

【図１１】流量出力値を示すグラフである。

【符号の説明】

２ケーシング部材３流体流通路の第１部分３ａ第１部分の垂直部３ｂ第１部分の水平部４流量検知ユニット６流体温度検知ユニット１０ストレーナ１２筒形フィルター１２ａ保持体１２ｂ濾材１３小孔１４カップ状部材１６シール部材２０管状部材２２流体流通路の第２部分２２ａ第２部分の外周部２２ｂ第２部分の中央開口部２４流体流通路の第３部分２６オネジ３０流体流入開口３２流体流出開口４２流量検知部４４，４４’ フィンプレート４６接合材４８，４８’ 電極端子５０ボンディングワイヤ５２，５２’ ハウジング１０２定電圧回路１０４ブリッジ回路１０４−１流量検知用薄膜感温体１０４−２温度補償用薄膜感温体１０４−３，１０４−４可変抵抗体１０６差動増幅回路１０８積分回路１１０トランジスタ１１２薄膜発熱体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者小池淳埼玉県上尾市原市1333−２三井金属鉱業株式会社総合研究所内Ｆターム(参考） 2F030 CA10 CC03 CE02 CE21 CF02 CF07 CF11 2F035 EA04 EA08 EA09

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】流体流通路の第１部分が形成されている
ケーシング部材、該ケーシング部材に取り付けられてお
り前記流体流通路内の流体との熱の授受により前記流体
の前記流体流通路内での流通に対応して電気的特性値が
変化する流量検知ユニット、及び、前記ケーシング部材
の下部に取り付けられたストレーナを備えており、該ストレーナは前記流体を濾過するための上下方向を向
いた筒形のフィルターを備えており、前記ストレーナに
は前記フィルターを通るようにして前記流体流通路の第
２部分が形成されており、前記フィルターは前記流量検
知ユニットより低い位置であって前記流体流通路内での
流体の流通方向に関して前記流量検知ユニットより上流
の位置に配置されており、前記ケーシング部材には前記流体流通路の第１部分の一
部を形成し前記フィルターの中央開口内へと下向きに延
出せる管状部が設けられており、該管状部の前記フィル
ターに対応する部分の内径は前記流量検知ユニットに対
応する部分における前記流体流通路の内径と同等以上で
あり、且つ前記管状部は前記フィルターの高さの１／３
以上の長さの部分が前記フィルターの中央開口内へと延
出していることを特徴とするストレーナ付き熱式流量
計。
【請求項２】前記管状部の前記フィルターに対応する
部分の内径は前記流量検知ユニットに対応する部分にお
ける前記流体流通路の内径の１．３倍以上であることを
特徴とする、請求項１に記載の熱式流量計。
【請求項３】前記管状部は前記ケーシング部材の下部
に着脱可能に取り付けられた管状部材により構成されて
いることを特徴とする、請求項１〜２のいずれかに記載
の熱式流量計。
【請求項４】前記ストレーナは前記ケーシング部材の
下部に着脱可能に取り付けられ前記フィルターを覆い且
つ前記流体流通路の第２部分を形成するカップ状部材を
有するものであることを特徴とする、請求項１〜３のい
ずれかに記載の熱式流量計。
【請求項５】前記ケーシング部材には、前記流体流通
路内での流体の流通方向に関して前記第２部分より上流
側の第３部分が形成されており、前記ケーシング部材に
は前記流体流通路の第３部分及び第１部分にそれぞれ連
なる流体入口及び流体出口が形成されており、前記流体
入口から供給される流体を前記フィルターにより濾過
し、前記管状部内及び前記流量検知ユニットの位置を経
て流通させ、前記流体出口から排出するようにしてなる
ことを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の熱
式流量計。
【請求項６】前記流量検知ユニットは発熱体と流量検
知用感温体と前記流体流通路内へと延出せる流量検知用
熱伝達部材とを互いに熱伝達可能なように配置してなる
ものであることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか
に記載の熱式流量計。
【請求項７】前記流体流通路内の流体との熱の授受に
より前記流体の温度に対応して電気的特性値が変化する
流体温度検知ユニットを備えており、該流体温度検知ユ
ニットは前記ケーシング部材に取り付けられており、前
記流体の流量の検知を前記流体温度検知ユニットの電気
的特性値にも基づいて行うようにしてなることを特徴と
する、請求項１〜６のいずれかに記載の熱式流量計。
【請求項８】前記流体温度検知ユニットは流体温度検
知用感温体と前記流体流通路内へと延出せる流体温度検
知用熱伝達部材とを互いに熱伝達可能なように配置して
なるものであることを特徴とする、請求項７に記載の熱
式流量計。