JP2001156043A - プラズマ処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 放電管又はマイクロ波透過窓部材にシート部
材を接触させて十分な冷却効率を確保すると共に、放電
管又はマイクロ波透過窓部材とシート部材との熱融着や
紫外線等によるシート部材の劣化を防止する。 【解決手段】 マイクロ波導波管１０と放電管６との接
続部において放電管６の周囲に配置された金属材料より
成る金属部材１４と、放電管６と金属部材１４との間に
周設された可撓性のシート部材１２と、を備える。シー
ト部材１２は、放電管６に面する内周側及び金属部材１
４に面する外周側に配置された耐熱性材料より成る一対
の耐熱層１２ａ、１２ｃと、一対の耐熱層１２ａ、１２
ｃの間に配置された熱伝導性材料より成る熱伝導層１２
ｂと、を含む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマ処理装置
に係わり、特に、プロセスガスにマイクロ波を照射して
生成したプラズマを利用して被処理物の処理を行うプラ
ズマ処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造用のシリコンウェハや液晶デ
ィスプレイ用ガラス基板といった被処理物を処理するた
めの装置として、マイクロ波プラズマを利用して被処理
物のドライエッチング処理やアッシング処理等を施すプ
ラズマ処理装置がある。

【０００３】このプラズマ処理装置にはいくつかの種類
があり、一例としては、誘電体で形成された放電管の内
部にプロセスガスを導入し、マイクロ波導波管を介して
導かれたマイクロ波を放電管の内部のプロセスガスに照
射し、放電管の内部にプラズマを発生させるものがあ
る。

【０００４】このタイプのプラズマ処理装置において
は、放電管の内部にプラズマを生成することにより、プ
ロセスガスから活性種を生成し、この活性種を真空容器
の内部に形成された処理室に導いて被処理物の表面に供
給し、ドライエッチング処理やアッシング処理等の表面
処理が施される。

【０００５】また、プラズマ処理装置の他の例として
は、マイクロ波導波管を介してマイクロ波を真空容器ま
で導いて、真空容器に設けられた板状の誘電体より成る
マイクロ波透過窓部材を介して真空容器の内部にマイク
ロ波を導入し、このマイクロ波を、真空容器の内部に導
入されたプロセスガスに照射して、真空容器の内部にプ
ラズマを発生させ、このプラズマを利用して被処理物の
処理を行うタイプがある。

【０００６】このタイプのプラズマ処理装置は、さら
に、真空容器の内部で生成したプラズマを被処理物の表
面に接触させ、プラズマ中の活性種等により被処理物の
表面を処理するものと、真空容器の内部をプラズマ発生
領域と処理室とに分離して、プラズマからのダウンフロ
ーを被処理物の表面に導いて表面処理を行うものとがあ
る。

【０００７】なお、前述の放電管又はマイクロ波透過窓
部材を形成するための誘電体としては、石英、アルミ
ナ、サファイア等を使用することができる。

【０００８】また、プロセスガスとしては、例えば被処
理物表面の薄膜のエッチングを行う場合には、酸素ガス
（Ｏ_２）、或いは酸素ガスにＣＦ_４、ＮＦ_３等のフッ素
系ガスを添加したガスが使用される。

【０００９】上述した従来のプラズマ処理装置において
は、放電管又はマイクロ波透過窓部材として使用される
誘電体は通常、セラミックであり、一般にセラミック
は、材料の機械的強さを示す要素のうちの硬さには優れ
ているが、靱性については他の材料に比べると劣ってい
る。そのため、誘電体の機械的強度と機械加工精度に制
約があり、また、誘電体を使用する部分にはＯリング等
の部品が使用されている。

【００１０】したがって、放電管等の冷却や固定を目的
として、放電管等を構成する誘電体の周囲を金属材料か
ら成る金属部材によって覆う場合、誘電体と金属部材と
を直接接触させようとすれば、誘電体と金属部材とが接
触する部分の両者の表面を、高い機械加工精度によって
加工する必要があると共に、誘電体にかかる応力を均一
化させるための構造上の工夫が必要となる。このため、
誘電体の破損の可能性を完全に排除しようとすれば、加
工費が増大すると共に設計の困難性が増してしまう。

【００１１】これらの事情から、放電管等を構成する誘
電体の周囲を金属材料から成る金属部材によって覆う場
合には、誘電体と金属部材とが直接接触しないようにし
なければならない。

【００１２】そこで従来は、誘電体と金属部材との間に
間隙を設けると共に、誘電体の固定及び冷却等を目的と
して、柔軟性と耐熱性を兼ね備えた材料を前記の間隙に
挿入して間隙を埋めるようにしていた。間隙を埋めるた
めの材料としては、フッ素系樹脂やシリコーン系樹脂を
使用することができる。

【００１３】また、上述した従来のプラズマ処理装置に
おいては、誘電体を冷却するための方法として、誘電体
に対向して配置された金属部材を冷却して、この金属部
材の冷却により間接的に誘電体を冷却するようにしてい
る。

【００１４】ここで、金属部材を冷却するための媒体と
しては、空気や窒素ガス等の気体を用いたり、或いは、
柔軟性があり比較的耐熱温度の高い熱伝導シート等の固
体を用いることができる。

【００１５】また、上述した従来のプラズマ処理装置に
おいて、放電管又はマイクロ波透過窓部材の近傍に隙間
が存在すると、放電管等の内部で発生したプラズマから
の紫外線等の電磁波により、空気中の酸素が反応を起こ
してオゾンが生成される。オゾンはその反応性が強いた
めに、人体への影響が問題となると共に、装置に使用さ
れている部品等を劣化させる可能性がある。さらに、オ
ゾンは塩素ガスのガス検知器に反応するために、装置周
辺に設置してあるガス検知器等がオゾンの存在により誤
作動を起こす可能性がある。

【００１６】そこで、オゾン発生を防止するために従来
は、放電管又はマイクロ波透過窓部材の近傍に窒素等の
比較的安定なガスを流して、放電管等の周囲を安定ガス
の雰囲気にしている。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】放電管やマイクロ波透
過窓部材を構成する誘電体は、プラズマに曝されること
により、活性化されたプロセスガスと反応してエッチン
グされたり、或いは誘電体に含まれている物質とプロセ
スガスとが反応したりする。このため、エッチング処理
やアッシング処理等の表面処理に際して、放電管等のエ
ッチングに伴ってプラズマ分布が変化して処理速度が変
動してしまったり、或いは被処理物の表面に不純物が付
着してしまう。このような誘電体のエッチングや不純物
の発生は、誘電体を冷却することによってある程度軽減
できる。

【００１８】しかしながら、冷却媒体として気体を使用
した場合、冷却方式が間接冷却であるために冷却効率が
悪く、十分な冷却性能が得られず、また、冷却効率を上
げようとすると大量のガスを使用しなければならない。

【００１９】一方、熱伝導シート等の固体を冷却媒体と
して使用した場合、冷却媒体を金属等の硬い物質から成
る剛性の部材で構成すると、十分な接触面積が取れず、
冷却効果に偏りができる。このため、冷却媒体を固体で
構成する場合には、ある程度の弾力性を備えた材料を使
用する必要があり、例えばフッ素系樹脂やシリコーン系
樹脂から成る熱伝導シートを使用する必要がある。

【００２０】しかしながら、これらの樹脂材料は、耐熱
温度や融点が最高でも２００℃程度であり、これに対し
て放電管等を構成する誘電体の表面の温度は３００℃か
ら４００℃、或いはそれ以上になることがある。このた
め、樹脂材料から成る熱伝導シートが熱により劣化する
恐れがあるばかりでなく、熱伝導シートの燃焼の可能性
を完全に排除することが難しい。もっとも、熱伝導シー
トにより放電管等を冷却する場合には、放電管等に接触
する面と反対側の面を冷却することにより、冷却中にお
いては熱伝導シートの温度をさほど上昇させないように
することができる。

【００２１】しかし、このような場合でも、熱伝導シー
トの劣化や放電管等の表面との熱融着の可能性を否定で
きず、熱伝導シートが劣化して表面が硬化すると冷却能
力が低下する。また、熱伝導シートが放電管等に融着す
ると、熱伝導シートの再利用ができなくなり、さらに、
放電管のように途中で回転や反転を行う場合は、熱伝導
シートが変形すると、熱伝導シートの形状と回転の軸が
対称ではなくなり、回転や反転の動きが制限されてしま
う。また、熱伝導シートと放電管等との融着により、使
用済の放電管等を廃棄する際に、分別回収が困難になっ
てしまう。

【００２２】放電管等の冷却効率を高めるためには液体
の冷却媒体を使用することが好ましく、このような液体
の冷却媒体としてはフッ素系の液状誘電体を使用するこ
とができる。しかしながら、この液状誘電体は非常に高
価であり、しかも、熱分解によって有毒なフッ素ガスが
発生することがある。また、液体による直接冷却の場
合、冷却対象物である誘電体の交換作業や、真空容器を
大気開放して内部の洗浄等の作業を行う際に、内部に残
留した液体を完全に除去しないとこれらの作業を実施で
きない。さらに、液体による直接冷却の場合、何らかの
原因で誘電体が破損した際に、真空容器の内部に液体が
流れ込む可能性がある。

【００２３】また、放電管又はマイクロ波透過部材の周
囲に空間が存在する場合には、上述したように、オゾン
の発生を防止すべく窒素等の比較的安定なガスを流して
酸素の存在しない雰囲気としているが、このような安定
ガス雰囲気を作るために相当の設備が必要となり、使用
頻度に応じて十分な量の窒素等のガスを準備しなければ
ならない。

【００２４】オゾンの発生を確実に防止するためには、
誘電体から成る放電管等とその周囲の金属部材との間の
空隙を何らかの充填材料で埋めるか、又は空隙部分を何
らかの密閉部材で密閉することによって、放電管等の周
囲に酸素の存在しない雰囲気を作るやり方も考えられ
る。しかし、この場合にも、上述した熱伝導シートの場
合と同様に、充填材料又は密閉部材が放電管等を構成す
る誘電体と熱融着を起こしたり、熱により劣化したりす
るという問題が発生する。

【００２５】また、誘電体の周囲に金属部材を配置する
場合には、靱性に劣る誘電体が金属部材との接触により
破損することを防止するために、金属部材と誘電体との
間に柔軟性のある充填材料を挿入する方法が考えられる
が、この場合にも、上述した熱伝導シートの場合と同様
に、充填材料が誘電体と熱融着を起こしたり、熱により
劣化したりするという問題が発生する。

【００２６】本発明は、上述した事情を考慮してなされ
たものであって、その目的とするところは、放電管又は
マイクロ波透過窓部材にシート部材を接触させて十分な
冷却効率を確保すると共に、放電管又はマイクロ波透過
窓部材とシート部材との熱融着や紫外線等によるシート
部材の劣化を防止することができるプラズマ処理装置を
提供することにある。

【００２７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、誘電体で形成された放電管の内部にプロセ
スガスを導入し、前記放電管の内部の前記プロセスガス
にマイクロ波導波管を介してマイクロ波を照射してプラ
ズマを発生させ、前記プラズマ中の活性種を被処理物の
表面に供給して処理を行うようにしたプラズマ処理装置
において、前記マイクロ波導波管と前記放電管との接続
部において前記放電管の周囲に配置された金属材料より
成る金属部材と、前記放電管と前記金属部材との間に周
設された可撓性のシート部材と、を備え、前記シート部
材は、前記放電管に面する内周側及び前記金属部材に面
する外周側に配置された耐熱性材料より成る一対の耐熱
層と、前記一対の耐熱層の間に配置された熱伝導性材料
より成る熱伝導層と、を含むことを特徴とする。

【００２８】上記課題を解決するために本発明は、金属
材料より成るマイクロ波導波管を介して導かれたマイク
ロ波を、誘電体で形成されたマイクロ波透過窓部材を介
して真空容器内に導入し、前記真空容器内に導入された
プロセスガスに前記マイクロ波を照射してプラズマを発
生させ、前記プラズマによって被処理物の表面を処理す
るようにしたプラズマ処理装置において、前記マイクロ
波導波管と前記マイクロ波透過窓部材との間に配置され
た可撓性のシート部材を有し、前記シート部材は、前記
マイクロ波透過窓部材に面する側及び前記マイクロ波導
波管に面する側に配置された耐熱性材料より成る一対の
耐熱層と、前記一対の耐熱層の間に配置された熱伝導性
材料より成る熱伝導層と、を含むことを特徴とする。

【００２９】また、好ましくは、前記熱伝導層は、シリ
コーン材料により形成されたシリコーンシートより成
る。

【００３０】また、好ましくは、前記一対の耐熱層のう
ちの少なくとも一方は、金属材料により形成された金属
シートより成る。

【００３１】また、好ましくは、前記金属シートは、ア
ルミニウムにより形成されたアルミ箔である。

【００３２】また、好ましくは、前記一対の耐熱層のう
ちの少なくとも一方は、ポリイミド材料により形成され
たシートより成る。

【００３３】

【発明の実施の形態】第１実施形態 以下、本発明の第１実施形態によるプラズマ処理装置に
ついて図面を参照して説明する。

【００３４】図１に示したように本実施形態によるプラ
ズマ処理装置は、内部を真空排気できる真空容器１を備
えており、この真空容器１の内部には処理室２が形成さ
れ、この処理室２の内部には被処理物３を載置するため
の載置台４が設けられている。ここで、被処理物３は、
半導体製造用のシリコンウエハ、液晶表示用のガラス基
板等である。

【００３５】真空容器１にはガス導入管５を介して誘電
体材料より成る放電管６が接続されており、放電管６は
プロセスガス（反応性ガス）を導入するためのガス導入
口７を備え、放電管６の内部には放電室９が形成されて
いる。放電管６には、マイクロ波を放電管６の内部に供
給するためのマイクロ波導波管１０が接続されている。
ここで、放電管６を形成する誘電体としては、石英、ア
ルミナ、サファイア等を使用することができる。

【００３６】図２に示したように、マイクロ波導波管１
０の放電管６に面する面には、マイクロ波導波管１０の
内部から放電管６に向けてマイクロ波（Ｍ．Ｗ．）を放
射するためのスリット１１が形成されている。さらに、
マイクロ波導波管１０と放電管６との接続部には、金属
材料より成る金属部材１４が放電管６を包囲するように
して配置されている。

【００３７】さらに、図３に示したように、放電管６と
金属部材１４との間には、可撓性を有するシート部材１
２が介装されて放電管６の表面に密着されており、この
シート部材１２によって、放電管６と金属部材１４との
間の空隙が充填されている。

【００３８】シート部材１２は、放電管６に面する内周
側及び金属部材１４に面する外周側に配置された耐熱性
材料より成る一対の耐熱層１２ａ、１２ｃと、一対の耐
熱層１２ａ、１２ｃの間に配置された熱伝導性材料より
成る熱伝導層１２ｂと、から構成されている。

【００３９】熱伝導層１２ｂは、熱伝導率が高く且つ柔
軟性に富んだシリコーン材料により形成されたシリコー
ンシートによって構成されている。ここで、シリコーン
シートは、窒化ホウ素等の添加物を含まない単純なシリ
コーン材料で形成されており、安価であり且つ十分な冷
却能力を備えている。また、一対の耐熱層１２ａ、１２
ｃは、金属材料により形成された金属シート（金属箔）
によって構成されており、好ましくは、アルミニウムに
より形成されたアルミ箔によって構成されている。

【００４０】また、アルミ箔に粘着層が塗布されたアル
ミテープを用いることもでき、アルミテープを用いるこ
とによりアルミ箔とシリコーンシートとが接着されて一
体化されるので、シート部材１２の取り付け及び取り外
し作業が容易になる。

【００４１】また、一対の耐熱層１２ａ、１２ｃのうち
の少なくとも一方を、金属シートに代えて、ポリイミド
材料により形成されたシートによって構成することもで
きる。ここで、ポリイミドシートを用いることの利点と
しては、ポリイミドは誘電体であり誘電損失が小さいの
で、放電に対する電気的な悪影響を与えないことがあげ
られる。

【００４２】また、金属シートやポリイミドシートで構
成された一対の耐熱層１２ａ、１２ｃを袋状に形成し、
その内部にシリコーンシートから成る熱伝導層１２ｂを
収納することもできる。

【００４３】また、金属部材１４には、水冷による冷却
機構１３が設けられており、放電管６の冷却効率の向上
とオゾン生成の防止を図っている。

【００４４】上記構成よりなる本実施形態においては、
ガス導入口７から放電管６内に供給されたプロセスガス
にマイクロ波が照射されて、放電管６の内部でプロセス
ガスがプラズマ化され、プロセスガス中に活性種が生成
される。この活性種がガス導入管５を経由して処理室２
内の被処理物３の表面に供給され、エッチング処理やア
ッシング処理等の表面処理が施される。

【００４５】そして、本実施形態によれば、金属部材１
４と放電管６との間に可撓性のシート部材１２を充填し
たので、金属部材１４と放電管６とを直接接触させるこ
となく互いに固定することができると共に、放電管６中
のプラズマからの紫外線、マイクロ波等の電磁波を遮断
してオゾンの生成を防止することができる。金属部材１
４を介して放電管６を固定することによって、放電管６
を立てた状態で使用することが可能となり、装置構成上
の自由度が増すと共に設置スペースの低減を図ることが
できる。

【００４６】また、シート部材１２は、十分な熱伝導性
を備えた熱伝導層１２ｂ及び耐熱層１２ａ、１２ｃによ
り多層構造にて構成され、且つその可撓性を利用して放
電管６の表面に密着させたので、金属部材１４と放電管
６との間の十分な熱伝達を確保して放電管６の冷却効率
を高めることが可能である。

【００４７】さらに、シリコーンシートより成る熱伝導
層１２ｂをその両面から、金属シート又はポリイミドよ
り成る一対の耐熱層１２ａ、１２ｃによって挟むように
したので、放電管６に面する耐熱層１２ａによって熱伝
導層１２ｂと放電管６との熱融着を防止できると共に、
一対の耐熱層１２ａ、１２ｃによって、プラズマからの
紫外線やオゾン等による熱伝導層１２ｂの劣化を確実に
防止することができる。

【００４８】第２実施形態 次に、本発明の第２実施形態によるプラズマ処理装置に
ついて図面を参照して説明する。

【００４９】図４は本実施形態によるプラズマ処理装置
の概略構成を示した模式図であり、この装置は内部を真
空排気できる真空容器２０を備えており、この真空容器
２０の内部には処理室２１が形成されている。処理室２
１には、例えば表面にレジストが塗布された被処理物２
３を載置するための載置台２２が設けられている。

【００５０】真空容器２０の上部にはマイクロ波導波管
２４の出口端２４ａが接続されており、この出口端２４
ａには、マイクロ波導波管２４の内部から処理室２１に
向けてマイクロ波を放射するためのスリット２７が、マ
イクロ波導波管２４の管軸方向に沿って細長状に形成さ
れている。マイクロ波導波管２４の出口端２４ａと処理
室２１との間には、板状の誘電体より成るマイクロ波透
過窓部材２５が設けられている。ここで、マイクロ波透
過窓部材２５を形成するための誘電体としては、石英、
アルミナ、サファイア等を使用することができる。

【００５１】マイクロ波導波管２４の入口端（図示せ
ず）には、マイクロ波（Ｍ．Ｗ．）を生成するためのマ
イクロ波発信器（図示せず）が接続されている。

【００５２】マイクロ波導波管２４の出口端２４ａとマ
イクロ波透過窓部材２５との間には、可撓性を有するシ
ート部材２６が介装されてマイクロ波透過窓部材２５の
表面に密着されており、このシート部材２６によって、
マイクロ波透過窓部材２５とマイクロ波導波管２４の出
口端２４ａとの間の空隙が充填されている。

【００５３】シート部材２６は、マイクロ波透過窓部材
２５に面する側及びマイクロ波導波管２４の出口端２４
ａに面する側に配置された耐熱性材料より成る一対の耐
熱層２６ａ、２６ｃと、一対の耐熱層２６ａ、２６ｃの
間に配置された熱伝導性材料より成る熱伝導層２６ｂ
と、から構成されている。

【００５４】熱伝導層２６ｂは、熱伝導率が高く且つ柔
軟性に富んだシリコーン材料により形成されたシリコー
ンシートによって構成されている。ここで、シリコーン
シートは、窒化ホウ素等の添加物を含まない単純なシリ
コーン材料で形成されており、安価であり且つ十分な冷
却能力を備えている。また、一対の耐熱層２６ａ、２６
ｃは、金属材料により形成された金属シート（金属箔）
によって構成されており、好ましくは、アルミニウムに
より形成されたアルミ箔によって構成されている。

【００５５】また、アルミ箔に粘着層が塗布されたアル
ミテープを用いることもでき、アルミテープを用いるこ
とによりアルミ箔とシリコーンシートとが接着されて一
体化されるので、シート部材２６の取り付け及び取り外
し作業が容易になる。

【００５６】また、一対の耐熱層２６ａ、２６ｃのうち
の少なくとも一方を、金属シートに代えて、ポリイミド
材料により形成されたシートによって構成することもで
きる。ここで、ポリイミドシートを用いることの利点と
しては、ポリイミドは誘電体であり誘電損失が小さいの
で、放電に対する電気的な悪影響を与えないことがあげ
られる。

【００５７】また、金属シートやポリイミドシートで構
成された一対の耐熱層２６ａ、２６ｃを袋状に形成し、
その内部にシリコーンシートから成る熱伝導層２６ｂを
収納することもできる。

【００５８】上記構成よりなる本実施形態においては、
マイクロ波透過窓部材２５を介して処理室２１内に放射
されたマイクロ波が、処理室２１内に供給されたプロセ
スガスに照射され、プロセスガスがプラズマ化される。
プラズマ化されたプロセスガスが被処理物３の表面と反
応し、エッチング処理やアッシング処理等の表面処理が
施される。

【００５９】そして、本実施形態によれば、マイクロ波
導波管２４の出口端２４ａとマイクロ波透過窓部材２５
との間に可撓性のシート部材２６を充填したので、マイ
クロ波導波管２４の出口端２４ａとマイクロ波透過窓部
材２５とを直接接触させることなく互いに固定すること
ができると共に、プラズマからの紫外線、マイクロ波等
の電磁波を遮断してオゾンの生成を防止することができ
る。

【００６０】また、シート部材２６は、十分な熱伝導性
を備えた熱伝導層２６ｂ及び耐熱層２６ａ、２６ｃによ
り多層構造にて構成され、且つその可撓性を利用してマ
イクロ波透過窓部材２５の表面に密着させたので、マイ
クロ波導波管２４の出口端２４ａとマイクロ波透過窓部
材２５との間の十分な熱伝達を確保してマイクロ波透過
窓部材２５の冷却効率を高めることが可能である。

【００６１】さらに、シリコーンシートより成る熱伝導
層２６ｂをその両面から、金属シート又はポリイミドよ
り成る一対の耐熱層２６ａ、２６ｃによって挟むように
したので、マイクロ波透過窓部材２５に面する耐熱層２
６ａによって熱伝導層２６ｂとマイクロ波透過窓部材２
５との熱融着を防止できると共に、一対の耐熱層２６
ａ、２６ｃによって、プラズマからの紫外線やオゾン等
による熱伝導層２６ｂの劣化を確実に防止することがで
きる。

【００６２】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、一対
の耐熱層とこれらに挟まれた熱伝導層とを含む可撓性の
シート部材を、放電管と金属部材との間に設けたので、
放電管の冷却効率を高めることができると共にシート部
材と放電管との熱融着を防止でき、さらに、プラズマか
らの紫外線やオゾン等による熱伝導層の劣化を確実に防
止することができる。

【００６３】また、本発明によれば、一対の耐熱層とこ
れらに挟まれた熱伝導層とを含む可撓性のシート部材
を、マイクロ波導波管とマイクロ波透過窓部材との間に
設けたので、マイクロ波透過窓部材の冷却効率を高める
ことができると共にシート部材とマイクロ波透過窓部材
との熱融着を防止でき、さらに、プラズマからの紫外線
やオゾン等による熱伝導層の劣化を確実に防止すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態によるプラズマ処理装置
の概略構成図。

【図２】図１に示したプラズマ処理装置におけるマイク
ロ波導波管と放電管との接続部を示した斜視図。

【図３】図１に示したプラズマ処理装置におけるマイク
ロ波導波管と放電管との接続部を示した縦断面図。

【図４】本発明の第２実施形態によるプラズマ処理装置
の概略構成を示した縦断面図。

【符号の説明】

１、２０ 真空容器 ２、２１ 処理室 ３、２３ 被処理物 ４、２２ 載置台 ６ 放電管 ９ 放電室 １０、２４ マイクロ波導波管 １１、２７ スリット １２、２６ シート部材 １２ａ、１２ｃ、２６ａ、２６ｃ 耐熱層 １２ｂ、２６ｂ 熱伝導層 １４ 金属部材 ２５ マイクロ波透過窓部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 武 石 浩 司 神奈川県横浜市栄区笠間町1000番地１ 芝 浦メカトロニクス株式会社横浜事業所内 Ｆターム(参考） 5F004 AA16 BA03 BA20 BB11 BB18 BC08 DA01 DA17 DA26

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】誘電体で形成された放電管の内部にプロセ
   スガスを導入し、前記放電管の内部の前記プロセスガス
   にマイクロ波導波管を介してマイクロ波を照射してプラ
   ズマを発生させ、前記プラズマ中の活性種を被処理物の
   表面に供給して処理を行うようにしたプラズマ処理装置
   において、 前記マイクロ波導波管と前記放電管との接続部において
   前記放電管の周囲に配置された金属材料より成る金属部
   材と、 前記放電管と前記金属部材との間に周設された可撓性の
   シート部材と、を備え、 前記シート部材は、前記放電管に面する内周側及び前記
   金属部材に面する外周側に配置された耐熱性材料より成
   る一対の耐熱層と、前記一対の耐熱層の間に配置された
   熱伝導性材料より成る熱伝導層と、を含むことを特徴と
   するプラズマ処理装置。
2. 【請求項２】金属材料より成るマイクロ波導波管を介し
   て導かれたマイクロ波を、誘電体で形成されたマイクロ
   波透過窓部材を介して真空容器内に導入し、前記真空容
   器内に導入されたプロセスガスに前記マイクロ波を照射
   してプラズマを発生させ、前記プラズマによって被処理
   物の表面を処理するようにしたプラズマ処理装置におい
   て、 前記マイクロ波導波管と前記マイクロ波透過窓部材との
   間に配置された可撓性のシート部材を有し、前記シート
   部材は、前記マイクロ波透過窓部材に面する側及び前記
   マイクロ波導波管に面する側に配置された耐熱性材料よ
   り成る一対の耐熱層と、前記一対の耐熱層の間に配置さ
   れた熱伝導性材料より成る熱伝導層と、を含むことを特
   徴とするプラズマ処理装置。
3. 【請求項３】前記熱伝導層は、シリコーン材料により形
   成されたシリコーンシートより成ることを特徴とする請
   求項１又は２に記載のプラズマ処理装置。
4. 【請求項４】前記一対の耐熱層のうちの少なくとも一方
   は、金属材料により形成された金属シートより成ること
   を特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のプ
   ラズマ処理装置。
5. 【請求項５】前記金属シートは、アルミニウムにより形
   成されたアルミ箔であることを特徴とする請求項４記載
   のプラズマ処理装置。
6. 【請求項６】前記一対の耐熱層のうちの少なくとも一方
   は、ポリイミド材料により形成されたシートより成るこ
   とを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の
   プラズマ処理装置。