JP2001155677A

JP2001155677A - メンブレンインレット質量分析計

Info

Publication number: JP2001155677A
Application number: JP33330299A
Authority: JP
Inventors: Yoshihiko Arita; 佳彦有田
Original assignee: Horiba Ltd
Current assignee: Horiba Ltd
Priority date: 1999-11-24
Filing date: 1999-11-24
Publication date: 2001-06-08

Abstract

(57)【要約】【課題】正確な校正を行うことが可能であり、さら
に、キャリアガスを不要とすることにより小型化・軽量
化を図ることができるメンブレンインレット質量分析計
を提供する。【解決手段】校正用の試薬を気化させるためのガス生
成セル１と、試料の分析を行うためのメンブレンインレ
ット質量分析部２と、前記ガス生成セル１からメンブレ
ンインレット質量分析部２にかけて形成された第一流路
３と、この第一流路３に第一切換弁４を介して接続され
るサンプル流路５と、前記メンブレンインレット質量分
析部２から前記ガス生成セル１にかけて形成された第二
流路６と、この第二流路６に第二切換弁７を介して接続
される排出流路８と、前記第一流路３の第一切換弁４か
らメンブレンインレット質量分析部２までの間か、また
は前記第二流路６のメンブレンインレット質量分析部２
から第二切換弁７までの間に設けられるサンプリングポ
ンプ９とから構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、メンブレンイン
レット（Ｍｅｍｂｒａｎｅｉｎｌｅｔ）質量分析計に
関する。

【０００２】

【従来の技術】メンブレンインレット質量分析計の校正
は、図３に示すように、従来、１μＬ程度の校正液（た
とえばベンゼンやトリクロロエチレン）を、気化室２７
のセプタム（いわゆるゴム栓など）２８を通して気化室
２７内にシリンジ注入して気化させた後、気化した校正
液の一部をキャリアガスＫを用いて前記気化室２７の下
流にあるガスクロカラム２９に導入し、さらにその下流
にある分析計３０に送ることで行っていた。なお、ガス
クロカラム２９に導入しない校正液は、排出流路３１か
ら排出されていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
校正方法では、前記ガスクロカラム２９に導入されず、
排出流路３１から排出される校正液の排出量を一定にす
ることが困難であったため、ガスクロカラム２９を経て
分析計３０に送られる校正液の量を把握することができ
ず、精度の良い校正を行うことができなかった。また、
試料の分析を、試料を採取した現場から研究室などに持
ちかえって行わずに、その現場で行う場合、上述のよう
な校正方法にはキャリアガスＫが必要であり、質量分析
計とともにキャリアガス源となるガスボンベ（たとえば
ヘリウムガスボンベ）を携帯しなければならないという
不都合が生じていた。さらに、質量分析計に校正手段を
具備しようとすれば、質量分析計が大型化・重量化する
ことになり、やはり携帯に不向きなものとなっていた。

【０００４】この発明は上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的は、正確な校正を行うことが可能であ
り、さらに、キャリアガスを不要とすることにより小型
化・軽量化を図ることができるメンブレンインレット質
量分析計を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明のメンブレンインレット質量分析計は、校
正用の試薬を気化させるためのガス生成セルと、試料の
分析を行うためのメンブレンインレット質量分析部と、
前記ガス生成セルからメンブレンインレット質量分析部
にかけて形成された第一流路と、この第一流路に第一切
換弁を介して接続されるサンプル流路と、前記メンブレ
ンインレット質量分析部から前記ガス生成セルにかけて
形成された第二流路と、この第二流路に第二切換弁を介
して接続される排出流路と、前記第一流路の第一切換弁
からメンブレンインレット質量分析部までの間か、また
は前記第二流路のメンブレンインレット質量分析部から
第二切換弁までの間に設けられるサンプリングポンプと
から構成した。

【０００６】上記の構成により、正確な校正を行うこと
が可能であり、さらに、キャリアガスを不要とすること
により、小型化・軽量化を図ることができるメンブレン
インレット質量分析計の提供が可能となる。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施例を、図を
参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施例に係
るメンブレンインレット質量分析計Ｄ（以下、質量分析
計Ｄという）の構成を概略的に示す構成図である。質量
分析計Ｄは、校正用の試薬を気化させるためのガス生成
セル１と、試料の分析を行うためのメンブレンインレッ
ト質量分析部２と、前記ガス生成セル１からメンブレン
インレット質量分析部２にかけて形成された第一流路３
と、この第一流路３に第一切換弁４を介して接続される
サンプル流路５と、前記メンブレンインレット質量分析
部２から前記ガス生成セル１にかけて形成された第二流
路６と、この第二流路６に第二切換弁７を介して接続さ
れる排出流路８と、前記第二流路６のメンブレンインレ
ット質量分析部２から第二切換弁７までの間に設けられ
るサンプリングポンプ９とからなる。

【０００８】前記ガス生成セル１は、外形がほぼ直方体
形状で中空の部材であり、内部の温度を調整するための
ヒータ１０を有している。また、ガス生成セル１には、
一側に前記第一流路３が、他側に前記第二流路６がそれ
ぞれ内部と連通する状態で接続されている。なお、１１
は、校正液を内部に注入するために設けられた注入口で
あり、ゴム栓状のセプタム１２によって閉栓することが
可能である。

【０００９】前記メンブレンインレット質量分析部２
は、たとえば飛行時間型のものであり、試料ガスＳ（お
よび校正ガス）をイオン化するイオン源１３と、飛行部
１４とからなる。なお、前記イオン源１３および飛行部
１４は、真空ポンプ１３Ｐ、１４Ｐによって、それぞれ
高真空状態にされている。

【００１０】１５および１６は、それぞれイオン源１３
内で電子ビーム１７を発生するためのフィラメントおよ
びエレクトロンコレクタであり、イオン源１３内に供給
された試料ガスＳの原子や分子に電子ビーム１７が当た
ることによってこれがイオン化するように形成されてい
る。

【００１１】１８および１９は、それぞれイオン化した
試料ガスＳを移動させる電界を形成するイオン加速電極
および電極である。前記イオン加速電極１８は電子ビー
ム１７の透過窓１８ａ、１８ｂを有しており、図示しな
い絶縁物を介して電極１９に固定されている。また、前
記電極１９は、その中心位置にピンホール孔１９ａを有
している。

【００１２】すなわち、イオン加速電極１８および電極
１９は、透過窓１８ａ、１８ｂ、ピンホール孔１９ａを
除いて閉ざされた空間Ａを作ることができ、その内圧を
高くすることができる。また、イオン加速電極１８は凹
部を形成するように湾曲した３次曲面を形成するので、
両電極１８、１９間に電圧をかけることにより、前記空
間Ａ内に、湾曲した等電位面を有する電界を形成するこ
とができる。そして、この電界は各部で発生したイオン
を前記ピンホール孔１９ａに収束させるような形状であ
る。

【００１３】２０は、前記ピンホール孔１９ａから出射
されたイオンに作用する電界を加えるイオンビーム収束
用の電極であり、この電極２０に電圧をかけることによ
り、飛行部１４内のイオンビームを検出器（電子倍増
管）２１に収束させることができる。

【００１４】前記メンブレンインレット質量分析部２
は、イオン源１３内で生成したイオンがピンホール孔１
９ａに収束するので、電極１９に開設された小さなピン
ホール孔１９ａを除いて、イオン源１３と飛行部１４を
完全に分離でき、イオン源１３の気密性を高めることが
できる。すなわち、飛行部１４を高真空にした状態で、
イオン源１３に多くの試料ガスＳを流入することができ
る。

【００１５】また、イオン源１３に多くの試料ガスＳを
挿入できるので、イオン源１３内において、試料ガスＳ
の原子または分子に電子ビーム１７が衝突する確率を上
げることができ、イオン化効率を引き上げることができ
る。そして、飛行部１４が高真空であるので、飛行部１
４に出射したイオンが他の原子や分子に衝突することで
生じる感度低下を抑えることができる。

【００１６】なお、前記イオン加速電極１８の形状を、
イオン源１３内の空間Ａで生成したイオンを一点に収束
させるような電界を形成できる３次曲面であるとしてい
るが、このような構成に限るものではなく、イオン加速
電極１８の形状を、たとえば２次曲面を有するものであ
り、その電極１９にスリット状の孔を形成し、このスリ
ット状の孔にイオンを収束させるようにしてもよい。

【００１７】上記のように、イオン加速電極１８を２次
曲面とすることにより、その製造時に導電体からなる平
板を湾曲させるだけでよいので容易に形成でき、製造コ
ストを引き下げることができる。

【００１８】上記メンブレンインレット質量分析部２の
種類は、飛行時間型に限るものではなく、磁場型、四重
極型など各種のガス分析用の質量分析部としてもよい。

【００１９】また、メンブレンインレット質量分析部２
の入口部２２に設けられたメンブレン２３は、たとえば
シリコンからなり、大量の試料ガスＳや校正ガス（後述
する）がメンブレンインレット質量分析部２内に一気に
導入されることを防止するためのものである。

【００２０】一端が前記ガス生成セル１に接続される前
記第一流路３の他端は、前記メンブレンインレット質量
分析部２の入口部２２に接続されている。

【００２１】前記第一切換弁４は、たとえば三方電磁弁
であり、前記ガス生成セル１からメンブレンインレット
質量分析部２への流路が開状態となるとともに、前記サ
ンプル流路５から第一流路３への流路が閉状態となる場
合（以下、循環状態という）と、前記サンプル流路５か
らメンブレンインレット質量分析部２への流路が開状態
となるとともに、前記ガス生成セル１からメンブレンイ
ンレット質量分析部２およびサンプル流路５への流路が
閉状態となる場合（以下、導入状態という）とに切り換
えることができる。

【００２２】前記サンプル流路５は、その上流部にサン
プル導入口５’を有しており、このサンプル導入口５’
から、試料ガスＳを質量分析計Ｄ内へ導入することがで
きる。

【００２３】一端が前記ガス生成セル１に接続される前
記第二流路６の他端は、前記メンブレンインレット質量
分析部２の入口部２２に接続されている。

【００２４】前記第二切換弁７は、たとえば三方電磁弁
であり、前記メンブレンインレット質量分析部２からガ
ス生成セル１への流路が開状態となるとともに、前記第
二流路６から排出流路８への流路が閉状態となる場合
（以下、循環状態という）と、前記メンブレンインレッ
ト質量分析部２から排出流路８への流路が開状態となる
とともに、前記メンブレンインレット質量分析部２から
ガス生成セル１への流路が閉状態となる場合（以下、排
出状態という）とに切り換えることができる。

【００２５】なお、前記第一切換弁４および第二切換弁
７は、三方電磁弁に限るものではなく、たとえば二方電
磁弁を二つ用いることでも同様の機能を具備することが
できる。すなわち、第一切換弁４を二つの二方電磁弁で
構成する場合、一方の二方電磁弁を前記サンプル流路５
に設け、他方の二方電磁弁を前記第一流路３におけるサ
ンプル流路５と第一流路３との接続点よりもガス生成セ
ル１に近い側に設ければよい。また、前記第二切換弁７
を二つの二方電磁弁で構成する場合、一方の二方電磁弁
を前記排出流路８に設け、他方の二方電磁弁を前記第二
流路６における排出流路８と第二流路６との接続点より
もメンブレンインレット質量分析部２に近い側に設けれ
ばよい。

【００２６】前記排出流路８は、その下流部にサンプル
排出口８’を有しており、このサンプル排出口５’か
ら、試料ガスＳを質量分析計Ｄ外へ排出することができ
る。

【００２７】前記サンプリングポンプ９は、毎分２００
ｍＬの気体を送ることが可能である。なお、サンプリン
グポンプ９が設けられる位置は、前記第二流路６のメン
ブレンインレット質量分析部２から第二切換弁７までの
間に限るものではなく、前記第一流路３の第一切換弁４
からメンブレンインレット質量分析部２までの間として
もよい。

【００２８】次に、上記の構成からなる質量分析計Ｄの
校正方法および分析方法について説明する。まず、校正
の前処理として、ガス生成セル１の内部を、前記ヒータ
１０を用いて温度調整し、同時に、図示しない断熱材が
巻かれた第一流路３、第二流路６およびメンブレンイン
レット質量分析部２の入口部２２を、適宜の手段を用い
て温度調整する。

【００２９】また、前記第一切換弁４および第二切換弁
７を、それぞれ導入状態および排出状態とし、サンプリ
ングポンプ９をＯＮにして、質量分析計Ｄ内における前
記第二切換弁７からガス生成セル１を経て第一切換弁４
までを除く部分のパージを行う。これは、循環流路にゼ
ロガスや空気が残留していると、後述する校正ガス濃度
がこれらのガスで希釈され、濃度の定義付けができなく
なるためである。

【００３０】上記前処理終了後、サンプリングポンプ９
をＯＦＦにするとともに、第一切換弁４、第二切換弁７
をそれぞれ循環状態とし、あらかじめ校正液（たとえば
濃度が０．１％のベンゼン１μＬ）を定量採取したマイ
クロシリンジ（図示せず）の先端部をセプタム１２の奥
まで刺しこみ、校正液を注入口１１からガス生成セル１
内部に注入する。このとき、あらかじめ温度調整された
ガス生成セル１内に注入された校正液は、ほぼ瞬間的に
気化して校正ガスとなる。

【００３１】そして、再びサンプリングポンプ９をＯＮ
にして、気化した校正液（校正ガス）を、第一流路３、
メンブレンインレット質量分析部２の入口部２２、第二
流路６、ガス生成セル１（以下、循環流路Ｃという）に
わたって循環させる。このように循環した状態の校正ガ
スは、メンブレンインレット質量部２の入口部２２から
メンブレン２３を経て、メンブレンインレット質量部２
の内部に、たとえば毎分数μＬだけ導入されることにな
る。

【００３２】ここで、前記校正ガス濃度は、校正液の量
と、前記ガス生成セル１の容積と、循環流路Ｃ内の圧力
とから厳密に求めることができる。たとえば、校正液と
して、Ｃ₆Ｈ₆（純度１００％）の試薬をマイクロシリ
ンジにて１μＬサンプルし、２５０ｍＬのガスセルに注
入した場合の校正ガス濃度を求める場合について詳細に
説明する。

【００３３】ベンゼンの比重ｄ＝０．８７８６５（２０
°Ｃ下）から、１μＬのベンゼンは８．７８７×１０^-4
ｇとなり、この液体ベンゼンがすべて気化したと仮定す
れば、１［ａｔｍ］，３００［Ｋ］におけるベンゼンガ
スは１［ｍｏｌ］（７８ｇ）あたり２２．４Ｌの体積で
あるから、１μＬのベンゼンは、８．７８７×１０^-4×２２．４／７８＝２．５２×１０
^-4［Ｌ］の体積を占めている。ゆえに、このベンゼンガスのガス
生成セル内の濃度は、２．５２×１０^-4／０．２５＝１．００８×１０^-3＝１
００８［ｐｐｍ］と求められる。

【００３４】ガス生成セル１の容積が既知であり、循環
流路Ｃ内の圧力が一定となるように操作しておくことに
よって、上記のようにガス生成セル１内に発生した校正
ガス濃度を厳密に求めることができ、このガス濃度の値
を用いることにより、質量分析計Ｄの校正を精度よく行
うことが可能となる。

【００３５】また、上記の例に加えて、さらなる低濃度
の校正ガスを発生させる方法として、校正液（例えばベ
ンゼン）を他の溶媒（メタノール、エタノール等）で希
釈する方法が挙げられる。たとえば、ベンゼンをメタノ
ールで１／１０００に希釈したものを１μＬ採取し、２
５０ｍＬのガス生成セル１に注入すれば、約１ｐｐｍの
ベンゼンガスを生成することが可能となる。また、これ
らの校正液を混合することにより、他成分を同時に校正
することも可能となる。

【００３６】上記のように質量分析計Ｄの校正が終われ
ば、前記第一切換弁４、第二切換弁７をそれぞれ導入状
態および排出状態とし、エアーをサンプル導入口５’か
ら送ることにより質量分析計Ｄ内をパージする。エアー
の導入方法として、たとえば、導入口５’の前段にゼロ
ガス精製器を接続しておき（図示しない）、質量分析計
Ｄ本体に内蔵されたサンプリングポンプ９を用いてエア
ーを吸引することで、質量分析計Ｄ内部をパージするこ
とが可能となる。また、前記ゼロガス精製器はたとえば
携帯型かつ筒状のユニットであり、内にダストフィル
タ、活性炭、モレキュラシーブなどを充填したものであ
る。これによってエアー中の塵や埃、炭化水素系の有機
化合物、水分を強力に除去することが可能となると同時
に、窒素ボンベ等のゼロガス用のガスシリンダを測定現
場に持ち込む必要がなくなる。

【００３７】なお、上記パージ後にも、前記校正ガス
は、前記第二切換弁７からガス生成セル１を経て第一切
換弁４までの間に残留することになる。そして、このよ
うに残留した校正ガスは、以下に示す試料ガスＳの分析
終了後、質量分析計Ｄの校正のために再利用することが
可能である。

【００３８】上記の操作後、サンプル導入口５’から試
料ガスＳを送ることで、試料ガスＳの分析を行うことが
できる。このとき、前記メンブレン２３を経てメンブレ
ンインレット質量分析部２内に導入される試料ガスＳの
量は、毎分数μＬであるため、導入されなかった試料ガ
スＳは、前記サンプル排出口８’から排出されることに
なる。

【００３９】上記の構成からなる質量分析計Ｄは、校正
ガスや試料ガスＳの循環をポンプを用いて行うことか
ら、小型化、軽量化を容易に図ることが可能であるとと
もに、キャリアガスを必要とせず、そのため携帯する場
合にも、質量分析計Ｄの他に携帯型の前記ゼロガス精製
器のみを用意すればよく、ボンベなどを運ぶ必要がな
い。

【００４０】また、上記の構成からなる質量分析計Ｄ
は、前記第一電磁弁４および第二電磁弁７を操作するこ
とによって、校正を行うための回路と分析を行うための
回路に切り換えることができるという利点を有してい
る。

【００４１】さらに、上記の構成からなる質量分析計Ｄ
は、上記校正の後、分析のための回路に切り換えてパー
ジを行うだけで分析が可能な状態となるため、校正から
分析までの時間を短縮することができ、質量分析計Ｄの
温度影響や感度ドリフトなどによって分析精度が落ちる
ことを極力防止することが可能となる。

【００４２】図２は、本発明の第二実施例に係る質量分
析計Ｄ₂の構成を概略的に示す説明図である。質量分析
計Ｄ₂の構成は、第一実施例の構成に比して、前記第二
流路６のメンブレンインレット質量分析部２からサンプ
リングポンプ９までの間に、第三切換弁２４を介して排
出ポンプ２５を有する第二排出流路２６が形成されてお
り、また、前記サンプル流路５中に切換弁５ａが、そし
て、前記排出流路８中に切換弁８ａがそれぞれ設けられ
ている点で異なっている。

【００４３】前記第三切換弁２４は、たとえば三方電磁
弁であり、前記メンブレンインレット質量分析部２から
ガス生成セル１への流路が開状態となるとともに、前記
第二排出流路２６から第二流路６への流路が閉状態とな
る場合（以下、循環状態という）と、前記第二排出流路
２６からガス生成セル１への流路が開状態となるととも
に、前記メンブレンインレット質量分析部２からガス生
成セル１への流路が閉状態となる場合（以下、排出状態
という）とに切り換えることができる。

【００４４】前記第三切換弁２４および第二排出流路２
６を設ける位置は、前記第二流路６のメンブレンインレ
ット質量分析部２からサンプリングポンプ９までの間に
限るものではなく、前記第一流路３の第一切換弁４から
メンブレンインレット質量分析部２までの間に設けても
よい。

【００４５】前記切換弁５ａは、たとえば二方電磁弁で
ある。なお、前記第一切換弁４を二つの二方電磁弁によ
って構成する場合には、この二つの二方電磁弁の内、一
方を切換弁５ａとして兼用することが可能である。

【００４６】前記切換弁８ａは、たとえば二方電磁弁で
ある。なお、前記第二切換弁７を二つの二方電磁弁によ
って構成する場合には、この二つの二方電磁弁の内、一
方を切換弁８ａとして兼用することが可能である。

【００４７】次に、上記の構成からなる質量分析計Ｄ₂
の校正方法について説明する。まず、校正の前処理とし
て、ガス生成セル１の内部を、前記ヒータ１０を用いて
温度調整し、同時に、図示しない断熱材が巻かれた第一
流路３、第二流路６およびメンブレンインレット質量分
析部２の入口部２２を、適宜の手段を用いて温度調整す
る。

【００４８】また、前記第一切換弁４、第二切換弁７を
それぞれ導入状態および排出状態とし、さらに、前記切
換弁５ａおよび８ａを閉状態とする。そして、前記排出
ポンプ２５をＯＮにすることにより、前記循環流路Ｃ内
における第一切換弁４からメンブレンインレット質量分
析部２を経て第二切換弁７に至るまでの部分（以下、デ
ッドボリューム部という）に残留しているガスを、前記
排出流路２６から排出することができ、前記デッドボリ
ューム部内をほぼ真空状態とすることができる。

【００４９】上記のようにデッドボリューム部内を真空
状態とすることにより、校正ガス濃度に対するデッドボ
リューム部内のガスの影響を取り除くことが可能とな
る。

【００５０】上記前処理後、第一切換弁４、第二切換弁
７をそれぞれ循環状態とし、あらかじめ校正液（たとえ
ば濃度が０．１％のベンゼン１μＬ）を定量採取したマ
イクロシリンジ（図示せず）の先端部をセプタム１２の
奥まで刺しこみ、注入口１１からガス生成セル１内部に
注入する。このとき、あらかじめ温度調整されたガス生
成セル１内に注入された校正液は、ほぼ瞬間的に気化し
て校正ガスとなる。

【００５１】そして、サンプリングポンプ９をＯＮにし
て、気化した校正液（校正ガス）を、循環流路Ｃにわた
って循環させる。このように循環した状態の校正ガス
は、メンブレンインレット質量部２の入口部２２からメ
ンブレン２３を経て、メンブレンインレット質量部２の
内部に、たとえば毎分数μＬだけ導入されることにな
る。

【００５２】ここで、前記校正ガス濃度は、校正液の量
と、前記ガス生成セル１の容積と、循環流路Ｃ内の圧力
とから厳密に求めることができる。なお、ガス生成セル
１の容積はあらかじめ調べておけばよく、循環流路Ｃ内
の圧力は一定となるように操作しておけばよい。上記の
ように校正ガス濃度の厳密な値を用いることにより、こ
の校正ガスを用いた質量分析計Ｄ₂の校正を精度よく行
うことが可能である。

【００５３】上記のように質量分析計Ｄ₂の校正が終わ
れば、前記切換弁５ａおよび８ａを開状態とするととも
に第一切換弁４、第二切換弁７をそれぞれ導入状態およ
び排出状態とし、エアーをサンプル導入口５’から送る
ことにより質量分析計Ｄ₂内をパージする。なお、この
とき、前記校正ガスは、前記第二切換弁７からガス生成
セル１を経て第一切換弁４までの間に残留することにな
る。そして、このように残留した校正ガスは、以下に示
す試料ガスＳの分析終了後、質量分析計Ｄ₂の校正のた
めに再利用することが可能である。

【００５４】上記の操作後、サンプル導入口５’から試
料ガスＳを送ることで、試料ガスＳの分析を行うことが
できる。このとき、前記メンブレン２３を経てメンブレ
ンインレット質量分析部２内に導入される試料ガスＳの
量は、毎分数μＬであるため、導入されなかった試料ガ
スＳは、前記サンプル排出口８’から排出されることに
なる。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように、上記の構成からな
る本発明によれば、正確な校正が可能であり、かつキャ
リアガスが不要となり、小型化・軽量化を図ることがで
きるメンブレンインレット質量分析計の提供が可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一実施例に係るメンブレンインレッ
ト質量分析計の構成を概略的に示す説明図である。

【図２】本発明の第二実施例に係るメンブレンインレッ
ト質量分析計の構成を概略的に示す説明図である。

【図３】従来の質量分析計の構成を概略的に示す説明図
である。

【符号の説明】

１…ガス生成セル、２…メンブレンインレット質量分析
部、３…第一流路、４…第一切換弁、５…サンプル流
路、６…第二流路、７…第二切換弁、８…排出流路、９
…サンプリングポンプ、Ｄ…メンブレンインレット質量
分析計。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】校正用の試薬を気化させるためのガス生
成セルと、試料の分析を行うためのメンブレンインレッ
ト質量分析部と、前記ガス生成セルからメンブレンイン
レット質量分析部にかけて形成された第一流路と、この
第一流路に第一切換弁を介して接続されるサンプル流路
と、前記メンブレンインレット質量分析部から前記ガス
生成セルにかけて形成された第二流路と、この第二流路
に第二切換弁を介して接続される排出流路と、前記第一
流路の第一切換弁からメンブレンインレット質量分析部
までの間か、または前記第二流路のメンブレンインレッ
ト質量分析部から第二切換弁までの間に設けられるサン
プリングポンプとからなるメンブレンインレット質量分
析計。