JP2001148628A - 量子力学的トンネル構造を使用するcmosダイナミック・ロジック回路 - Google Patents

量子力学的トンネル構造を使用するcmosダイナミック・ロジック回路

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JP2001148628A
JP2001148628A JP2000321952A JP2000321952A JP2001148628A JP 2001148628 A JP2001148628 A JP 2001148628A JP 2000321952 A JP2000321952 A JP 2000321952A JP 2000321952 A JP2000321952 A JP 2000321952A JP 2001148628 A JP2001148628 A JP 2001148628A
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Xiaowei Den
デン シアオウェイ
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】従来方法より優れた回路レイアウト・エリア、
電力消費および演算速度のトンネル構造のNDRおよび
電流−電圧(I−V)特性が高性能、高機能ロジック回
路を提供する。 【解決手段】ダイナミックロジック回路302と、この
ダイナミック・ロジック回路に接続されたトンネル・構
造回路328とからなるCMOS半導体ダイナミック・
ロジック300を開示し、トンネル構造回路が、前記ダ
イナミック・ロジック回路から生じる漏洩電流を補償す
ることによってノード308の電圧を安定に保持するよ
うに適用されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の技術分野】本発明は概して電子デバイスに使用
されたロジック回路、より詳しくは量子力学的トンネル
構造を含む相補型金属酸化膜半導体(CMOS)処理の
ために設計されたダイナミック・ロジック回路に関す
る。
【0002】
【発明の背景】高性能トランジスタおよび集積回路性能
への絶え間ない要求が、シリコン、バイポーラおよび相
補型金属酸化膜半導体(CMOS)トランジスタおよび
ガリウム砒素(GaAs)のような既存のデバイスにおける改
良をもたらし、さらには新しいデバイス形態と材料の導
入をもたらしている。特に、高周波数性能を高めるため
にスケールダウンされたデバイスサイズは、電位壁を通
過するキャリア・トンネルのような観測可能な量子力学
効果を導く。この効果は、このようなトンネル現象の利
点を有する、トンネルおよび共振トンネルダイオードお
よびトランジスタのような代替的なデバイス構造の発展
につながっている。参照を容易にするために、全てこの
種の構造は以後集合的にトンネル・ダイオード(TD)
と呼ぶ。
【0003】トンネル・ダイオードは普通、負性差動抵
抗(NDR)を呈する部分を有する電流−電圧曲線を生
じる電位壁をトンネルする導電性キャリアを備えた二端
子デバイスである。この負性差動抵抗特性は、広い範囲
にわたって高性能設計の基礎として使用されている。
【0004】従来、トンネル・ダイオードと共振トンネ
ル・ダイオードは、実現する上で、GaAsおよび他の高い
性能プロセスに限定されている。従来の方法はいくつか
の理由でGaAs中でTDを構築することに焦点付けられて
いる。その理由は、主としてGaAsプロセスの速度特性と
小さい処理特徴がトンネル機構に貢献しているからであ
る。しかし、TD中のピーク電流の調整が困難であると
いうような機能を考慮したとき、その実際の適用や使用
が制限される。更に、GaAsプロセスが大量の消費者関連
生産に対して、実用的ではないか、あるいは費用効率が
高くないので、TDは、一般的に、研究および開発への
適用に制限されていた。
【0005】以前は、CMOSのような標準的シリコン
・プロセスの機能サイズは、この種のトンネル構造を生
成するのに貢献していなかった。標準的シリコン・プロ
セスと関連するトンネル構造を利用する他の従来方法
は、非シリコン・プロセスでのTD構造の製造を行い、
次に、このTD構造をホスト・シリコン基板に移送且つ
結合(または電気的に接続)するというものであった。
従って、ある機能の問題に対策が施される場合、この種
のプロセスには余分な設計時間とプロセス工程を必要と
した。従って、これらのアプローチに関する付加的な設
計と製造費用は、大量のロジック・デバイス生産にとっ
て商業的に適していない。
【0006】従って、トンネル構造の従来の実現は、費
用が嵩む高性能プロセスで製造される高速パルスとエッ
ジの発生のような個別形態およびニッチ(niche)的適用
のみに使用されている。従来のトンネル構造に対する制
限には、ピーク電流の制御の困難さと、商業的適用可能
な形態で商業的に生産されるトンネル構造の可能とする
集積回路がないことにある。。
【0007】商業的に利用可能なTDがないので、従来
のCMOSロジック回路設計はCMOSプロセスで容易
に利用可能な、インバータやロジックおよびトランスミ
ッション・ゲートのような機能要素を使用している。従
来方法は、これらの要素の設計を個々に適切にするこ
と、またより大きい回路内で利用されるときにその有効
性を改善することに焦点が絞られている。さらに、この
種の従来の方法は、標準的CMOS要素に起因する主と
してレイアウト・エリア(layout area)、電力消費およ
び操作速度制限のために必然的に役に立たないデバイス
を作ることになる。
【0008】性能的な要求が高まり、またCMOS処理
に対する機能サイズが縮小されるにつれて、製造CMO
Sプロセス中にトンネル構造の製作が可能になった。シ
リコン上でのトンネル・ダイオードの成長が比較的未完
成である。最近、CMOSコンパーチブル・トンネル・
ダイオードが、埋め込みメモリや信号処理適応のための
要求に対応する、広範囲な電流密度が得ることができる
ことが実証された。
【0009】従って、CMOSプロセス用のトンネル構
造に関連するロジック回路設計のシステムが目下必要と
され、従来方法の前述した制限を克服しながら、向上さ
れた設計上の作業性と能率を提供することが必要とされ
ている。
【0010】
【発明の概要】ダイナミック・ロジック回路は、現在の
電子システムおよびデバイスに大々的に使用されてい
る。スタティク・ロジック装置、典型的には、CMOS
設計よりも密度が高く、より効率的なダイナミック・ロ
ジックは、高性能アプリケーションの需要に広く使用さ
れている。この種のダイナミック・ロジックは、信号処
理ユニット、エンコーディング・デバイスおよびデコー
ディング・デバイス、さらに集中的数理演算を実行する
回路のようなシステムの設計に普及している。
【0011】本発明において、ダイナミック・ロジック
回路は量子力学的トンネル構造を含むCMOSプロセス
向けに設計されており、すなわち、従来方法と比較して
より優れた回路レイアウト・エリア、電力消費および演
算速度を提供する。トンネル構造のNDRおよび電流−
電圧(I−V)特性が、高性能、高機能ロジック回路を
提供するのに利用される。MOS漏洩に対応しダイナミ
ック・ロジック回路中にデータ状態を保持するために、
トンネル構造が従来のCMOS要素の代わりに使用され
る。
【0012】本発明の一実施例において、ダイナミック
・ロジック回路がトンネル・ダイオードを含んで設計さ
れる。トンネル・ダイオードは従来の設計に使用された
多数の要素と置換され、適切な設計費で高いシステム性
能を提供する。
【0013】
【実施例】本発明の特徴と利点をより完全に理解するた
めに、添付図面を伴って本発明の詳細な説明が参照され
るが、各図面中の対応する参照番号は対応する部品を示
す。
【0014】本発明の種々の実施例の製造と、使用につ
いて次に詳しく説明するが、本発明は種々の特定の内容
で実施できる多数の適用可能な発明概念を提供すること
が理解されるべきである。ここで説明する特定実施例は
本発明を実行し、使用する特定する方法を単に説明する
ものであって、本発明の範囲を限定するのもではない。
【0015】本発明は、同じシリコン・プロセスでトン
ネル構造を使用するロジック回路を規定し、性能を高め
設計を適正化する。本発明はダイナミック・ロジック回
路の回路複雑性を減少し、すなわち、使用される回路要
素の数と、相互接続部の数と、遅延ステージの数を減じ
る。従って、本発明は従来方法に対して、レイアウト・
エリア、動作遅延および電力消費において相当な減少を
実現する。NDRおよびトンネル構造の電流−電圧(I
−V)特性が、高性能、高機能性ロジック回路を提供す
るように利用される。
【0016】図示の目的で、共振トンネル・ダイオード
(RTD)を利用するダイナミック・ロジック・ネット
ワーク回路が提供される。しかし、本発明の原理および
適用は、共振トンネル・ダイオードのみに限定されるの
もではなく、一般的にトンネル構造に適用可能である
が、これを以後集合的にトンネル・ダイオード(TD)
と呼ぶ。TDは、そのスイッチング速度が一般的に標準
MOS構造よりも速いために、高性能ロジック回路にお
ける使用に望ましい。TDはその負性差動抵抗(ND
R)のために、その固有の双安定高速スイッチング能力
のあることは周知である。TDの高い電流密度、低容量
およびNDRが、TDを非常に速い非直線回路素子にし
ている。これらと同じデバイス特性が、高速、低電力、
デジタル・ロジック回路での使用を可能にしている。従
って、最も一般的な目的のアプリケーションにおいて、
回路の大部分がいずれの所与の時間で稼働していない場
合、CMOS構造が、非常に低い静電力消費による低い
トンネル電力損失を有しているために、本発明は従来の
方法に対して相当な利点を提供する。
【0017】図1を参照して、従来技術によるロジック
回路100の概略図を示す。回路100はダイナミック
・ロジック回路のnp−CMOSタイプを実現し、n型
ステージ102とp型ステージ104のような多重直列
接続ステージからなる。ステージ102は、ノード10
8と供給電圧(Vcc)間に相互接続された事前充電
(プリチャージ)素子106と、ノード108とアース
間に相互接続された放電(ディスチャージ)素子110
とからなる。事前充電素子106はVccに接続された
第1端子と、ノード108に接続された第2端子と、ク
ロック(CK)入力114に接続された反転ベース端子
とを有するトランジスタ112からなる。放電素子11
0は、評価トランジスタ116と、トランジスタ11
8、120および122の回路網との組み合わせからな
る。トランジスタ116はノード124に接続された第
1端子と、接地(アース)された第2端子と、クロック
入力114に接続されたベース端子とからなる。トラン
ジスタ118と120は、ノード108と124間に直
列接続されており、それぞれベース入力AとBをそれぞ
れ有している。トランジスタ122は、トランジスタ1
18と120と並列状態にノード108と124間に接
続され、またベース入力Cを有している。従って、トラ
ンジスタ118−120が、回路中に示したブール条件
126を実行する。
【0018】クロック入力114によってリレーされた
適切なタイミング、これは通常事前充電位相と呼ばれ
る、このタイミングで、素子106がノード108で測
定されるステージ102の出力電圧が所望のレベル(例
えば、ハイ、すなわち「1」)に上昇するように動作す
る。入力114に応答して、回路100が評価相に変換
され、ここで放電素子110が役割を果たす。評価相に
ある間、トランジスタ116がオンされ、トランジスタ
118−122によって構成された条件126の状態を
効果的に評価する。条件126が満たされておれば、ノ
ード108からアース(接地)までの経路が、トランジ
スタ116とトランジスタ122またはトランジスタ1
18と120の組み合わせのいずれかを介して確立され
る。一度このアースまでの経路が確立されると、ノード
108の電圧が低レベルまで放電され、ステージ102
の出力がシフトする。ステージ104がステージ102
と同様に構成され、反転クロック入力128に応答して
同様に作動する。
【0019】このような設計はMOS漏洩の好ましくな
い影響を被る。図示した回路100はノード108を所
望のレベルに維持するためにしばしばリフレッシュする
必要がある。回路100がそのようにリフレッシュされ
なければ、ノード108の電圧が漏洩のために誤って遷
移され、これがデータ・エラーとシステムの信頼性の問
題を生じる場合がある。連続してリフレッシュすること
は、最終的にこの種の従来システムでは電力消費を相当
増大させる結果となる。
【0020】図2は回路100のような回路の制限を克
服するためのダイナミック・ロジック回路200による
従来技術の試みを示す。回路200は、ステージ202
と204のような多重直列接続ステージからなるCMO
Sダイナミック・ロジック回路のドミノ・タイプを実現
している。ステージ202は本質的に図1のステージ1
02と同じ要素からなり、すなわち、ノード108と供
給電源(Vcc)間に相互接続された事前充電素子10
6と、ノード108とアース間に相互接続された放電素
子110とを含んでいる。更に、ステージ202はノー
ド108とノード208間に相互接続された電荷保持素
子206からなる。ステージ202の出力電圧はノード
208で測定される。電荷保持素子206は、Vccに
接続された第1端子と、ノード108に接続された第2
端子と、ノード208に接続された反転ベース端子とを
有するトランジスタ210からなる。この保持素子20
6はさらに、ノード108に接続された入力とノード2
08に接続された出力とを有するインバータ素子212
からなる。図1を参照して説明したように、トランジス
タ118と120は、それぞれベース入力AとBを有
し、ノード108と124間に直列接続され、またトラ
ンジスタ122はノード108と124間でトランジス
タ118と120と並列接続されるとともに、ベース入
力Cを有している。トランジスタ118−122は、回
路中に示したブール条件216を実現する。
【0021】ステージ202は、前述したようにクロッ
ク入力114に応答して事前充電/評価モードで動作す
る。トランジスタ210とインバータ212が、ノード
108の電圧におけるMOS漏洩電流の影響に対応する
ために使用されるループを効果的に形成する。従って、
一度ノード108が事前充電されると、条件216が満
たされるとともに放電素子110がその電圧を低レベル
に放電するまで、ノード108の電圧が安定状態に維持
する様に保持素子206が作動する。
【0022】電荷保持素子なしで設計の電力と信頼性の
制限をある程度克服できても、これらの設計はなおも付
加的回路素子の好ましくない影響を受ける。設計レイア
ウト・エリアが増大する。すなわち、この種のCMOS
設計に対してデバイス・サイズ、速度および電力消費に
好ましくない影響を与える。
【0023】これらの従来のアプローチに対比して、図
3は本発明に従うダイナミック・ロジック回路300を
示す。図示の目的で、回路300はダイナミック・ロジ
ック回路のnp−CMOSタイプを実行し、n型ステー
ジ302とp型ステージ304を含む多重直列接続ステ
ージからなる。当該技術に習熟した人にとって理解され
るであろうが、本発明の原理および技術は他のダイナミ
ック・ロジック回路と態様に同様に適用できる。ステー
ジ302は、ノード308と供給電圧(Vcc)との間
に相互接続された事前充電素子306と、ノード308
とアース間に相互接続された放電素子310とからな
る。事前充電素子306はVccに接続された第1端子
を有するトランジスタ312と、ノード308に接続さ
れた第2端子と、クロック(CK)入力314に接続さ
れた反転ベース端子とからなる。放電素子310は評価
トランジスタ316と、トランジスタ318、320お
よび322のネットワークの組み合わせとからなる。ト
ランジスタ316はノード324に接続された第1端子
と、アースに接続された第2端子と、クロック入力31
4に接続されたベース端子とを有している。トランジス
タ318と320はノード308と324間に直列接続
されており、またそれぞれベース入力AとBを有してい
る。トランジスタ322はノード308と324間に、
トランジスタ318と320と並列に接続されるととも
に、ベース入力Cを有している。従って、トランジスタ
318−322は回路中に示したブール条件326を実
現する。
【0024】事前充電相にある間、素子306がノード
308で測定されるステージ302の出力電圧を所望の
レベル(例えば、ハイ、すなわち「1」)まで高めるよ
うに動作する。ステージ302はさらにノード308と
供給電圧Vcc間に相互接続された電荷保持素子328
からなる。素子328は、ノード308に接続された第
1端子と、Vccに接続された第2端子とを有する共振
トンネル・ダイオード330からなる。条件316が満
たされるとともにその電圧を低レベルに放電するまで、
ノード308の電圧を安定状態に保持するように素子3
28が作動される。入力314に応答して、回路300
が評価相に転換され、ここでトランジスタ316がオン
にされ、トランジスタ318−322によって実現され
た条件326の状態が効果的に評価される。条件326
が満たされれば、ノード308からアースまでの経路が
トランジスタ316とトランジスタ322とにより、あ
るいはトランジスタ316とトランジスタ318と32
0の組み合わせとによって確立される。一度このアース
への経路が確立されると、ノード308の電圧が低レベ
ルに放電されることになり、ステージ302の出力がシ
フトする。ステージ304はステージ302と同様に構
成され、反転クロック入力332に応答して同様に動作
する。
【0025】従って、本発明によれば、ダイオード33
0がMOS漏洩電流を補償し、ノード308電圧を安定
させ、また高い信頼性のあるシステムを与える状態保持
機能性を提供する。
【0026】図4は本発明の一つの利点を示す。電流−
電圧プロット400が、回路300の臨界特性を示す。
【0027】ここで図3と図4を総合的に参照する。曲
線402がトランジスタ316−322の集合的漏洩電
流効果を表わし、一方曲線404がダイオード330の
電流−電圧特性を表わす。平衡状態406が、トンネル
・ダイオード電流が漏洩電流に等しい点で表わされる。
従って、ダイオード330は漏洩電流を補償し、ダイオ
ード330の高いピーク電流がノード308の電圧を高
いレベルに保持する。従って、漏洩電流に起因するエラ
ーが除去される。従って、本発明は高い安定性と全体的
な設計の信頼性を提供する。
【0028】本発明により、トンネル・ダイオード構造
がダイナミック・ロジック回路から不必要なインバータ
とトランジスタ回路を除去する。これが従来のCMOS
対応製品と比較して実質的により小さい面積と、実質的
により早い速度と、実質的により低電力消費を有する本
発明によるCMOS/TDダイナミック・ロジック回路
設計を結果としてもたらす。
【0029】本発明は図示実施例を参照して説明した
が、この説明は限定的な意味で構成することを意図した
ものではない。本発明の他の実施例だけではなく、図示
実施例の種々の修正例と組み合わせも、当該技術に習熟
した人にとってはこの説明を参照すれば理解できるであ
ろう。従って、添付の請求の範囲はいずれのこのような
修正例または実施例をも包含することを意図している。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来技術のCMOSダイナミック・ロジック回
路の概略図。
【図2】従来技術のCMOSダイナミック・ロジック回
路の概略図。
【図3】本発明に従ったトンネル・ダイオードを伴うC
MOSダイナミック・ロジック回路の実施例を示す図。
【図4】図3の回路の特性を示す図。

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ダイナミック・ロジック回路と;前記ダ
    イナミック・ロジック回路に接続され、前記ダイナミッ
    ク・ロジック回路から生じる漏洩電流を補償するように
    適用されたトンネル構造回路と;を具備するダイナミッ
    ク・ロジック・デバイス。
  2. 【請求項2】 前記トンネル構造回路を含み、CMOS
    プロセスで製造される請求項1に記載のデバイス。
  3. 【請求項3】 前記ダイナミック・ロジック回路が、ブ
    ール条件を評価するように適用された請求項1に記載の
    デバイス。
  4. 【請求項4】 前記トンネル構造回路が、共振トンネル
    ・ダイオードである請求項1に記載のデバイス。
  5. 【請求項5】 前記トンネル構造回路が、ブール条件が
    評価されるノードで前記ダイナミック・ロジック回路に
    接続されている請求項3に記載のデバイス。
  6. 【請求項6】 前記トンネル構造回路が、さらに所与の
    電圧に前記ノードを保持するように適用され、前記電圧
    が事前充電回路によって供給される請求項5に記載のデ
    バイス。
  7. 【請求項7】 前記事前充電回路が、前記ノードに接続
    されたトランジスタからなる請求項6に記載のデバイ
    ス。
  8. 【請求項8】 ダイナミック・ロジック回路と;前記ダ
    イナミック・ロジック回路に接続され、前記ダイナミッ
    ク・ロジック回路から生じる漏洩電流を補償するように
    適用されたトンネル構造回路と;を具備する信号処理操
    作を実行する半導体デバイス。
  9. 【請求項9】 前記トンネル構造回路を含む前記デバイ
    スが、CMOSプロセスで製造される請求項8に記載の
    デバイス。
  10. 【請求項10】 前記ダイナミック・ロジック回路が、
    特定ブール条件を評価するように適用された請求項8に
    記載のデバイス。
  11. 【請求項11】 前記トンネル構造回路が、共振トンネ
    ル・ダイオードである請求項8に記載のデバイス。
  12. 【請求項12】 前記トンネル構造回路が、ブール条件
    が評価されるノードで前記ダイナミック・ロジック回路
    に接続されている請求項10に記載のデバイス。
  13. 【請求項13】 前記トンネル構造回路が、さらに所与
    の電圧に前記ノードを保持するように適用され、前記電
    圧が事前充電回路によって供給される請求項12に記載
    のデバイス。
  14. 【請求項14】 前記事前充電回路が、前記ノードに接
    続されたトランジスタからなる請求項13に記載のデバ
    イス。
  15. 【請求項15】 ダイナミック・ロジック回路を設ける
    工程と;トンネル構造回路を設ける工程と;前記トンネ
    ル構造回路を前記ダイナミック・ロジック回路に接続
    し、さらに、前記ダイナミック・ロジック回路から生じ
    る漏洩電流を補償するよう前記トンネル構造回路を適用
    する工程と;を含むダイナミック・ロジック・デバイス
    を製造する方法。
  16. 【請求項16】 前記トンネル構造回路を含む前記ダイ
    ナミック・ロジック回路を、CMOSプロセスで製造す
    る工程をさらに含む請求項15に記載の方法。
  17. 【請求項17】 前記ダイナミック・ロジック回路を設
    ける工程が、特定するブール条件を評価するように前記
    ダイナミック・ロジック回路を適用することを更に含
    み、前記条件が、前記ダイナミック・ロジック回路と前
    記トンネル構造回路が互いに接続されたノードにおいて
    評価される請求項15に記載の方法。
  18. 【請求項18】 トンネル構造回路を設ける工程が、共
    振トンネル・ダイオードを設ける工程をさらに含む請求
    項15に記載の方法。
  19. 【請求項19】 事前充電回路を設ける工程をさらに含
    み、前記トンネル構造回路が、さらに所与の電圧に前記
    ノードを保持するように適用され、前記電圧が前記事前
    充電回路によって供給される請求項17に記載の方法。
  20. 【請求項20】 前記事前充電回路を設ける工程が、前
    記ノードに接続されたトランジスタを設ける工程をさら
    に含む請求項19に記載の方法。
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