JP2001148015A - 画像位置合わせ方法 - Google Patents

画像位置合わせ方法

Info

Publication number
JP2001148015A
JP2001148015A JP33139099A JP33139099A JP2001148015A JP 2001148015 A JP2001148015 A JP 2001148015A JP 33139099 A JP33139099 A JP 33139099A JP 33139099 A JP33139099 A JP 33139099A JP 2001148015 A JP2001148015 A JP 2001148015A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image
similarity
predetermined
partial area
reference image
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP33139099A
Other languages
English (en)
Inventor
Tatsuya Honda
達也 本田
Shinji Okamoto
紳二 岡本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
Priority to JP33139099A priority Critical patent/JP2001148015A/ja
Publication of JP2001148015A publication Critical patent/JP2001148015A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Image Processing (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】処理時間が短く、且つ正確に位置合わせを行う
ことができる画像位置合わせ方法を提供することある。 【解決手段】マッチング位置の探索は、まず最初に第1
種部分領域に対しては基準画像と対象画像の相関係数
(或いは類似度)の演算を行い、またY方向重点認識領
域に対応する第2種部分領域に対しては基準画像と対象
画像の相関係数(或いは類似度)の演算を行い、これら
相関係数(或いは類似度)に基づいて更に総合相関係数
(或いは総合類似度)を求める。求めた総合相関係数
(或いは総合類似度)が粗探査目標値以上にあるのか否
かの判定処理を行い、粗探索目標値未満であれば、基本
画像中に設定した前記部分領域において数画素単位で移
動させながら演算を行う粗探索を粗探索目標値を越える
まで行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、対象物体の撮像画
像と、該対象物体について予め記録されている基準画像
との相関係数或いは類似度を計算することによって、撮
像画像に対する基準画像の位置合わせを行う画像位置合
わせ方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の相関係数、或いは類似度を用いて
画像の位置合わせを行う方法では、基準画像中に設定し
たテンプレート中の全画像を演算に使用する必要があ
り、処理時間が非常に長くかかるという問題があった。
【0003】また、前記問題点である処理時間を短縮す
る方法としては、画像中に2種類の部分領域を設定して
位置合わせを行う方法が提案されている。この方法で
は、縦(Y)方向、横(X)方向の2種類のテンプレー
トを使用し、各方向の1次元投影データを算出し、この
各方向の1次元投影データを用いて基準画像と対象画像
間の相関係数或いは類似度を求めて位置合わせ行う。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで上述の各方向
の1次元投影データを用いて基準画像と対象画像間の相
関係数或いは類似度を求めて位置合わせ行う方法では、
処理時間を短くすることができるが、各テンプレートに
含まれた画像の方向性の情報が曖昧になってしまうこと
になって、回路パターンのように直交性の多い画像にお
いては、正確に基準画像と対象画像とを位置合わせでき
なくなることがある。
【0005】本発明は上記の点に鑑みて為されたもの
で、その目的とするところは処理時間が短く、且つ正確
に位置合わせを行うことができる画像位置合わせ方法を
提供することある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1の発明では、基準画像の部分領域とこの部
分領域に対応する対象画像の部分画像を比較して基準画
像と対象画像の位置合わせを行う画像位置合わせ方法に
おいて、対象画像において2種類の部分領域を設定し
て、第1種部分領域についてはX方向ラインより間引き
をして複数ラインを選択し、第2種部分領域については
Y方向ラインより間引きをして複数ラインを選択し、第
1種部分領域に対応する基準画像と所定の位置ずらした
対象画像の前記選択されたラインについて相関関数或い
は類似度を求め、第2種部分領域に対応する基準画像と
所定の位置ずらした対象画像の前記選択されたラインに
ついて相関関数或いは類似度を求め、これら求めた相関
関数或いは類似度を演算して総合相関係数或いは総合類
似度を求める過程を所定の探索範囲内において繰り返
し、最大の相互相関係数或いは総合類似度となる上記所
定の位置を求めて位置合わせを行うことを特徴とする。
【0007】請求項2の発明では、請求項1の発明にお
いて、基本画像を複数の領域に分割し、この分割領域に
上記部分領域を設定して、各分割領域毎に位置合わせを
行うことを特徴とする。
【0008】請求項3の発明では、請求項1の発明にお
いて、所定の基準画像を中心として該基準画像の周囲各
方向に対して所定の距離をずらした基準画像を対象画像
として前記部分領域について総合相関係数或いは総合類
似度を求め、これらの内最大の総合相関係数或いは総合
類似度に所定の率を乗じて粗位置探査目標値とすること
を特徴とする。
【0009】請求項4の発明では、請求項1又は3の発
明において、第1種部分領域について選択したX方向ラ
インについて更に画素を所定の率で間引きして演算に用
いる画素を選択し、第1種部分領域に対応する基準画像
と所定の位置をずらした対象画像の前記選択された画素
について相関係数或いは類似度を求め、第2種部分につ
いて選択したY方向ラインについて更に画素を所定の率
で間引きして演算に用いる画素を選択し、第2種部分領
域に対応する基準画像と所定の位置をずらした対象画像
の前記選択された画素について相関係数或いは類似度を
求め、これら求めた相関係数或いは類似度から総合相関
係数或いは総合類似度を演算して粗位置探索を行うこと
粗位置探索処理過程を持つことを特徴とする。
【0010】請求項5の発明では、請求項4の発明にお
いて、対象画像となるパターンの最小パターン幅を基準
にして前記画素の所定の間引き率を決定することを特徴
とする。
【0011】請求項6の発明では、請求項3の発明にお
いて、対象画像となるパターンの最小パターン幅を基準
にして前記所定の距離を決定することを特徴とする。
【0012】請求項7の発明では、請求項1の発明にお
いて、基準画像の部分領域及び対象画像の部分領域の各
画素値が所定の画素値範囲外にある場合には当該画素値
を所定の値に置換して前記相関係数或いは前記類似度を
求めることを特徴とする。
【0013】請求項8の発明では、請求項7の発明にお
いて、上記所定の値を0とすることを特徴とする。
【0014】請求項9の発明では、請求項2の発明にお
いて、前記基準画像の各分割領域に設定される部分領域
の探索開始位置を夫々の分割領域に対応する所定の分割
領域の位置ずれ量を代入して設定することを特徴とす
る。
【0015】請求項10の発明では、請求項3の発明に
おいて、前記探索位置目標値を求めた前記部分領域にお
いて、所定の探索範囲内を探索して第2ピークとなる相
関値或いは類似度を求め、前記探索位置目標値と前記第
2ピークとなる相関値或いは第2ピークとなる類似度と
の差が所定の値以上である場合には前記部分領域の設定
が適切と判定し、前記差が所定の値未満の場合には、部
分領域の設定が不適切と判定することを特徴とする。
【0016】請求項11の発明では、請求項10の発明
において、前記判定が不適切の場合、前記部分領域の大
きさ或いは位置の設定を変更して再度変更後の部分領域
において、所定の探索範囲内を探索して第2ピークとな
る相関値或いは類似度を求め、前記探索位置目標値と前
記第2ピークとなる相関値或いは第2ピークとなる類似
度との差が所定の値以上である場合には前記部分領域の
設定が適切と判定し、前記差が所定の値未満の場合に
は、部分領域の設定が不適切と判定する処理を行い、以
後適切と判定するまで該処理を繰り返して行って部分領
域を更新することを特徴とする。
【0017】
【発明の実施の形態】図2は本発明方法を用いる画像処
理システムの構成を示しており、このシステムでは大き
く分けると、対象物1を撮像するTVカメラ2と、画像
処理装置3と、出力装置4とからなる。
【0018】画像処理装置3は、予め基準となる物をT
Vカメラ2で撮像してその濃淡画像データを基準画像の
画像データとして格納する画像メモリ5Aと、対象物1
をTVカメラ2で撮像して得られた対象物の画像の濃淡
画像データを格納する画像メモリ5Bと、これら画像メ
モリ5A,5Bから基準画像データ、対象物画像データ
を読み出す画像読み出し手段6と、該画像読み出し手段
6で読み出された画像データより対象物の画像の位置合
わせを基準画像に基づいて行う位置合わせ手段7と、T
Vカメラ2の撮像動作の制御、画像メモリ5A,5Bの
画像データの格納処理、また画像読み出し手段6の読み
出し動作の制御、位置合わせ手段7の制御処理等の演算
・制御の各処理を行うプロセッサ8とから構成される。
【0019】出力装置4はディスプレィ等で演算結果
や、画像データの表示を行うものである。
【0020】このようなシステムを用いた本発明方法の
実施形態を以下に説明する。
【0021】ここで本実施形態に於いて取り扱う対象物
1を図4に示すようにICチップ10を実装する回路パ
ターンを形成した基板11であるとする。
【0022】この場合予め基準となる基板を撮像してそ
の画像を基準画像とし、該基準画像を図4に示すように
例えば3×3の9つの領域に分割し、この分割領
域内に更に部分領域を設定する。図4において3&time
s;3の升目が分割領域を示し、各升目内の矩形状の領域
が部分領域を示すここで図2に示すような基板11上に
は、図5(a)に示すようにX方向に直交する回路パタ
ーン(Y方向パターンPy)が大部分である領域と、図
4(b)に示すようにY方向に直交する回路パターン
(X方向パターンPx)が大部分である領域と、図4
(c)に示すようにX及びY方向に対して斜めに交わる
回路パターンPxyが大部分である領域とが存在する。
【0023】そこでX方向に直交するY方向パターンP
yが大部分である領域を、X方向重点認識領域とし、ま
たY方向に直交するX方向パターンPxが大部分である
領域をY方向重点認識領域とし、更に回路パターンが
X,Y方向に対して斜めに交わるX方向、Y方向成分を
持つパターンPxyが大部分の領域を、X,Y方向重点
認識領域とし、上記の各分割領域においては、X方向重
点認識領域に対応した第1種部分領域、Y方向重点認
識領域に対応した第2種部分領域を設定する。また
X,Y方向の2種類の方向が含まれるX,Y方向重点認
識領域に対応しては第1,第2種部分領域を同位置
に設定する。
【0024】次に図1に示すフローチャートに基づいて
本実施形態の方法を説明する。
【0025】まず位置合わせ処理を開始すると、マイク
ロプロセッサ8は画像メモリ5Aより基本画像データを
画像読み出し手段6により読み出させ、読み出された基
本画像の各分割領域においてX方向重点認識領域、Y方
向重点認識領域或いはX,Y方向重点認識領域の設定を
おこなう。この場合X方向重点認識領域として基準画像
データ中のY方向パターンPy上に第1種部分領域を
設定し、Y方向重点認識領域の設定として基準画像デー
タ中のX方向パターンPx上に第2種部分領域を設定
し、X,Y方向重点認識領域として基準画像データ中の
両方向成分を持つ斜め方向のパターンPxy上の同じ位
置に第1種部分領域及び第2種部分領域を設定す
る。
【0026】そして第1種部分領域では後述するマッ
チング位置の粗位置探索時において、図6(a)に示す
ように領域中のY方向に複数のラインを間引くとともに
X方向の画素を間引いてX方向の相関係数(或いは類似
度)の演算を実施する。
【0027】また第2種部分領域では同様にマッチン
グ位置の探索時において、図6(b)に示すようにX方
向に複数のラインを間引くとともにY方向の画素を間引
いてY方向の相関係数(或いは類似度)の演算を実施す
る。
【0028】更に第1種、第2種部分領域が同位置
に設定される領域では同様にマッチング位置の探索時に
おいて、図6(c)に示すようにY方向に複数のライン
を間引くとともにX方向の画素を間引いてX方向の相関
係数(或いは類似度)を求め、同時にX方向に、Y方向
の場合と同数のラインを間引くとともにY方向の画素を
X方向の場合と同数だけ間引いてY方向の相関係数(或
いは類似度)を求める。 尚図6(a)〜(c)の各矢
印がライン方向を示し、その各矢印間の空隙が間引いた
ラインを示し、また矢印方向の破線で示した直線はその
方向の画素を間引いている状態を示し、この画素の間引
きの率は画素選択ピッチが1/3〜1/5になるように
行い、各領域中の演算使用画素(選択された画素)を再
設定した上で、相関係数或いは類似度の演算に使用す
る。
【0029】上述のような部分領域の設定を行うと
マイクロプロセッサ8は次に粗探索目標値βの設定を行
う。この粗探索目標値βの設定では、図7に示すよう部
分領域の基準画像の画像中心を基準にして周囲8方向に
所定距離αずらした基準画像を対象画像として元の基準
画像との相関係数或いは類似度を演算して(1)〜
(8)の方向について求める。
【0030】図8の(1)〜(8)が図7の(1)〜
(8)の方向に対応する元の基準画像(白抜き回路パタ
ーン)と所定距離αずらした基準画像(黒塗り回路パタ
ーン)とを示しており、(1)の方向ではX(+)方向
に所定距離αのずれ、(2)の方向では右斜め上方向に
所定距離のずれ、(3)の方向ではY(+)方向に所定
距離αのずれ、(4)の方向では左斜め上方向に所定距
離αのずれ、(5)の方向ではX(−)方向に所定距離
αのずれ、(6)の方向では左斜め下方向に所定距離α
のずれ、(7)の方向ではY(−)方向に所定距離αの
ずれ、(8)の方向では右斜め下方向に所定距離αのず
れが、夫々ある。
【0031】このように元の基準画像に対して8つの方
向に所定距離αずらした基準画像を対象画像としてこの
対象画像の元の基準画像に対する総合相関係数(或いは
総合類似度)をプロセッサ8は演算し、演算された8つ
の総合相関係数(或いは総合類似度)の内最も値が大き
なものに所定の率を乗じて粗探索目標値βとする。通常
エッチングによって形成された回路パターンは0.7
〜.95が上記所定率として適当であり、また所定距離
αとしては最小パターン幅の1/5〜1/2が適当であ
る。
【0032】ここで上述の粗探索目標値βの設定と同じ
元の基準画像中の部分領域の設定において、最も高い相
関係数(或いは類似度)が得られる位置を探索する範囲
(サーチエリア)Aを更に探索して、第2ピークPKと
なる相関値(或いは類似度)を求め、図9(a)に示す
ように前記粗探索目標値βと、第2ピークとなる相関値
(或いは類似度)との差Δβが所定の値以上(例えばΔ
β≧0)である場合には、該部分領域の設定が適切と判
断し、逆に差が図9(b)に示すように所定の値未満
(例えばΔβ<0)の場合には、前記部分領域の設定が
不適切と判断する。
【0033】この場合には、図10(a)のように当該
分割領域に設定されている第1種部分領域、第2種部
分領域の総合相関係数(或いは総合類似度)の低い部
分領域、例えば図10(b)の場合のように第2種部分
領域の大きさを変更するか或いは図10(c)の場合
のように両部分領域、の大きさを変更して再設定を
行う。
【0034】また図11(a)のように当該分割領域に
設定されている第1種部分領域、第2種部分領域の
総合相関係数(或いは総合類似度)の低い部分領域、例
えば図11(b)の場合のように第2種部分領域の大
きさを変更するか或いは図11(c)の場合のように両
部分領域、の位置を変更して再設定を行い、上述の
粗探索目標値βの設定を再度行うとともに、再度部分領
域の設定が適切か不適切かの判断を行う。
【0035】以上の処理を部分領域の設定が適切と判定
されるまで繰り返す。
【0036】さて粗探索目標値βが設定されると、TV
カメラ2で撮像して画像メモリ5Bに格納した対象物の
画像、つまり対象画像データ及び画像メモリ5Aに格納
している基準画像データを画像読み出し手段6により夫
々読み出させ、プロセッサ8の制御の下で位置合わせ手
段7は対象画像のマッチング位置の探索処理を開始す
る。
【0037】この場合、上述のように分割領域が設定さ
れている場合、対象画像中の分割領域に於いて設定され
る部分領域の探索開始の初期位置は、近傍の分割位
置の位置ずれ量を代入したものとする。
【0038】図12はこの各分割領域(各升目)と位置
ずれ量の代入方向を示すもので、図中の実線の矢印はX
方向、破線の矢印はY方向のずれ量代入方向を示す。
【0039】さて探索処理において位置合わせ手段7
は、プロセッサ8が設定したX方向重点認識領域に対応
する第1種部分領域に対しては基準画像と対象画像の
相関係数(或いは類似度)の演算を行い、またY方向重
点認識領域に対応する第2種部分領域に対しては基準
画像と対象画像の相関係数(或いは類似度)の演算を行
い、XY方向重点認識領域、つまり2方向の部分領域
に対しては基準画像と対象画像の相関係数(或いは類
似度)の演算を同時に行う。
【0040】そしてこれらの演算によって求められた相
関係数(或いは類似度)に基づいて更に総合相関係数
(或いは総合類似度)を演算する。
【0041】まず位置合わせ手段7はこれらの演算によ
って求めた総合相関係数(或いは総合類似度)が上記の
ように予めプロセッサ8により設定された粗探査目標値
β以上にあるのか否かの判定処理を行い、粗探索目標値
β未満であれば、基本画像中に設定した前記部分領域
或いは又は両者において数画素単位(画素間引
き)で移動[粗位置(大ステップ幅)移動]させつつ、
当該部分領域と対象画像中の部分領域の総合相関係数
(或いは総合類似度)を演算し、粗探索目標値βとを比
較する。以上の処理を、演算した値が粗探索目標値β以
上となるまで行う。
【0042】この際画素の間引きは上述したピッチによ
り所定の回路パターンの最小幅を基準として行う。また
同時に上述したようにX方向又はY方向のラインを間引
く。また二つの部分領域が設定される領域では同時
に同画素幅の移動を行い、夫々において相関係数(或い
は類似度)を求め、更にこの求めた相関係数(或いは類
似度)に基づいて総合相関係数(或いは総合類似度)を
演算する。
【0043】演算した値が粗探索目標値β以上となる
と、精探索処理に移行し、例えば1画素単位で移動[精
位置(小ステップ幅)移動]させながら、基準画像と対
象画像中の部分領域の最も高い相関係数(或いは類似
度)を算出する位置を探索する。
【0044】このようにした粗探索、精探索の探索処理
を各分割領域毎に行い、各分割領域毎にマッチング位置
を求めるのである。
【0045】ところで演算時には所定の画素値(輝度
値)範囲を設定し、範囲外の画素値については所定値に
置換して演算を行う。
【0046】つまり図13(a)に示すように夫々の相
対位置がずれて複数のパターンa,b,cが存在してい
る画像において、特定のパターン(例えばaパターン)
に位置合わせを行いたい場合には、図に示すように輝度
レベル表示ラインLを設定し、そのラインL上の各パタ
ーンa,b,cの輝度レベルが図13(b)に示すよう
にある場合、位置合わせの対象パターンa以外を演算か
ら除去するに当たり、プロセッサ8は例えばパターンa
の輝度レベルに輝度値の範囲γを設定し、この範囲γ外
の画素に対しては図13(c)に示すように0の値に置
換する処理を行い、対象パターンaの画素を抽出して演
算処理を行う。
【0047】尚上記実施形態の説明では基準画像を複数
の領域に分割した場合について行ったが、単一の領域の
場合であっても良い。
【0048】
【発明の効果】請求項1の発明は、基準画像の部分領域
とこの部分領域に対応する対象画像の部分画像を比較し
て基準画像と対象画像の位置合わせを行う画像位置合わ
せ方法において、対象画像において2種類の部分領域を
設定して、第1種部分領域についてはX方向ラインより
間引きをして複数ラインを選択し、第2種部分領域につ
いてはY方向ラインより間引きをして複数ラインを選択
し、第1種部分領域に対応する基準画像と所定の位置ず
らした対象画像の前記選択されたラインについて相関関
数或いは類似度を求め、第2種部分領域に対応する基準
画像と所定の位置ずらした対象画像の前記選択されたラ
インについて相関関数或いは類似度を求め、これら求め
た相関関数或いは類似度を演算して総合相関係数或いは
総合類似度を求める過程を所定の探索範囲内において繰
り返し、最大の相互相関係数或いは総合類似度となる上
記所定の位置を求めて位置合わせを行うので、回路パタ
ーンなどの直交成分が多い対象画像に対して演算領域や
画素数を最小にすることができ、そのため処理時間が短
くなり、しかも基準画像と対象画像の位置合わせを高精
度に行うことができるという効果がある。
【0049】請求項2の発明は、請求項1の発明におい
て、基本画像を複数の領域に分割し、この分割領域に上
記部分領域を設定して、各分割領域毎に位置合わせを行
うので、基準画像と比較して対象画像が伸縮などで変形
している場合でも、高精度に基準画像と対象画像の位置
合わせを行うことができるという効果がある。
【0050】請求項3の発明は、請求項1の発明におい
て、所定の基準画像を中心として該基準画像の周囲各方
向に対して所定の距離をずらした基準画像を対象画像と
して前記部分領域について総合相関係数或いは総合類似
度を求め、これらの内最大の総合相関係数或いは総合類
似度に所定の率を乗じて粗位置探査目標値とするので、
対象画像によって最適な粗位置探索目標値が異なっても
自動的に且つ効率的に前記粗位置探索目標値を最適値に
設定することができる。
【0051】請求項4の発明は、請求項1又は3の発明
において、第1種部分領域について選択したX方向ライ
ンについて更に画素を所定の率で間引きして演算に用い
る画素を選択し、第1種部分領域に対応する基準画像と
所定の位置をずらした対象画像の前記選択された画素に
ついて相関係数或いは類似度を求め、第2種部分につい
て選択したY方向ラインについて更に画素を所定の率で
間引きして演算に用いる画素を選択し、第2種部分領域
に対応する基準画像と所定の位置をずらした対象画像の
前記選択された画素について相関係数或いは類似度を求
め、これら求めた相関係数或いは類似度から総合相関係
数或いは総合類似度を演算して粗位置探索を行うこと粗
位置探索処理過程を持つので、回路パターンのような直
交成分の多いパターンを構成する画素の内少数の画素か
らパターンが復元でき、そのため部分領域のパターン形
状情報を失わず、更に前記部分領域中で必要最低限の画
素を用いて相関係数、或いは類似度を算出することで、
より短い処理時間で基準画像と対象画像の位置合わせを
行うことができる。
【0052】請求項5の発明は、請求項4の発明におい
て、対象画像となるパターンの最小パターン幅を基準に
して前記画素の所定の間引き率を決定するので、部分領
域中の演算に使用する画素を自動的に最適値に設定する
ことができる。
【0053】請求項6の発明は、請求項3の発明におい
て、対象画像となるパターンの最小パターン幅を基準に
して前記所定の距離を決定するので、粗位置探索目標値
算出時のずらし量を自動的、且つ効率的に最適値に設定
することができる。
【0054】請求項7の発明は、請求項1の発明におい
て、基準画像の部分領域及び対象画像の部分領域の各画
素値が所定の画素値範囲外にある場合には当該画素値を
所定の値に置換して前記相関係数或いは前記類似度を求
めるので、基準画像中に複数のパターンが混在した場合
でも、特定のパターンのみを取り出して、基準画像と対
象画像の位置合わせを行うことができ、さらに、ノイズ
などの外乱の影響を少なくし、正確に基準画像と対象画
像の位置合わせを行うことができる。
【0055】請求項8の発明は、請求項7の発明におい
て、上記所定の値を0とするので、計算の処理効率が良
くなり、また感度も向上するので、高精度に基準画像と
対象画像の位置合わせを行うことができる。
【0056】請求項9の発明は、請求項2の発明におい
て、前記基準画像の各分割領域に設定される部分領域の
探索開始位置を夫々の分割領域に対応する所定の分割領
域の位置ずれ量を代入して設定するので、ある程度の位
置ずれを予測して対象画像中の部分領域の初期位置を決
定することができて、基準画像と対象画像の位置ずれが
画像中の特定部分から次第に変化していく傾向があって
も、高速に基準画像と対象画像の最も相関係数、或いは
類似度の高い位置を見つけることができる。
【0057】請求項10の発明は、請求項3の発明にお
いて、前記探索位置目標値を求めた前記部分領域におい
て、所定の探索範囲内を探索して第2ピークとなる相関
値或いは類似度を求め、前記探索位置目標値と前記第2
ピークとなる相関値或いは第2ピークとなる類似度との
差が所定の値以上である場合には前記部分領域の設定が
適切と判定し、前記差が所定の値未満の場合には、部分
領域の設定が不適切と判定するので、予め第2ピーク部
分をチェックすることができ、結果自動的に粗位置探索
目標値の有効性を検証することができる。
【0058】請求項11の発明は、請求項10の発明に
おいて、前記判定が不適切の場合、前記部分領域の大き
さ或いは位置の設定を変更して再度変更後の部分領域に
おいて、所定の探索範囲内を探索して第2ピークとなる
相関値或いは類似度を求め、前記探索位置目標値と前記
第2ピークとなる相関値或いは第2ピークとなる類似度
との差が所定の値以上である場合には前記部分領域の設
定が適切と判定し、前記差が所定の値未満の場合には、
部分領域の設定が不適切と判定する処理を行い、以後適
切と判定するまで該処理を繰り返して行って部分領域を
更新するので、粗位置探索目標値を自動的、かつ効率的
に最適値に再設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態のフローチャートである。
【図2】同上を用いた画像処理装置のシステム構成図で
ある。
【図3】同上により位置合わせを行う対象物の平面図で
ある。
【図4】同上で使用する基準画像の分割領域の説明図で
ある。
【図5】同上で採用する重点認識領域の説明図である。
【図6】同上で採用する演算実施領域の説明図である。
【図7】同上で粗位置探索目標値を設定するための基準
画像のずらし位置の説明図である。
【図8】同上で粗位置探索目標値を設定するための位置
ずらしを行った基準画像とずらし前の基準画像との位置
関係説明図である。
【図9】同上の粗位置探索目標値設定の有効判定の説明
図である。
【図10】同上の粗位置探索目標値設定の非有効時の部
分領域の変更説明図である。
【図11】同上の粗位置探索目標値設定の非有効時の部
分領域の別の方法による変更説明図である。
【図12】同上の対象画像の分割領域の部分領域の探索
開始初期位置の位置ずれ量の代入方向の説明図である。
【図13】同上における画素値の処理方法の説明図であ
る。
【符号の説明】
1 対象物 2 TVカメラ 3 画像処理装置 4 出力装置 5A,5B 画像メモリ 6 画像読み出し手段 7 位置合わせ手段 8 プロセッサ
フロントページの続き Fターム(参考) 5B057 AA03 BA02 CA02 CA12 CA16 CB02 CB12 CB16 DA20 DB02 DB05 DC32 5L096 AA03 AA06 BA03 BA18 CA02 FA69 GA08 GA19 GA26 JA03 JA14

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】基準画像の部分領域とこの部分領域に対応
    する対象画像の部分画像を比較して基準画像と対象画像
    の位置合わせを行う画像位置合わせ方法において、対象
    画像において2種類の部分領域を設定して、第1種部分
    領域についてはX方向ラインより間引きをして複数ライ
    ンを選択し、第2種部分領域についてはY方向ラインよ
    り間引きをして複数ラインを選択し、第1種部分領域に
    対応する基準画像と所定の位置ずらした対象画像の前記
    選択されたラインについて相関関数或いは類似度を求
    め、第2種部分領域に対応する基準画像と所定の位置ず
    らした対象画像の前記選択されたラインについて相関関
    数或いは類似度を求め、これら求めた相関関数或いは類
    似度を演算して総合相関係数或いは総合類似度を求める
    過程を所定の探索範囲内において繰り返し、最大の相互
    相関係数或いは総合類似度となる上記所定の位置を求め
    て位置合わせを行うことを特徴とする画像位置合わせ方
    法。
  2. 【請求項2】基本画像を複数の領域に分割し、この分割
    領域に上記部分領域を設定して、各分割領域毎に位置合
    わせを行うことを特徴とする請求項1記載の画像位置合
    わせ方法。
  3. 【請求項3】所定の基準画像を中心として該基準画像の
    周囲各方向に対して所定の距離をずらした基準画像を対
    象画像として前記部分領域について総合相関係数或いは
    総合類似度を求め、これらの内最大の総合相関係数或い
    は総合類似度に所定の率を乗じて粗位置探査目標値とす
    ることを特徴とする請求項1記載の画像位置合わせ方
    法。
  4. 【請求項4】第1種部分領域について選択したX方向ラ
    インについて更に画素を所定の率で間引きして演算に用
    いる画素を選択し、第1種部分領域に対応する基準画像
    と所定の位置をずらした対象画像の前記選択された画素
    について相関係数或いは類似度を求め、第2種部分につ
    いて選択したY方向ラインについて更に画素を所定の率
    で間引きして演算に用いる画素を選択し、第2種部分領
    域に対応する基準画像と所定の位置をずらした対象画像
    の前記選択された画素について相関係数或いは類似度を
    求め、これら求めた相関係数或いは類似度から総合相関
    係数或いは総合類似度を演算して粗位置探索を行うこと
    粗位置探索処理過程を持つことを特徴とする請求項1又
    は3記載の画像位置合わせ方法。
  5. 【請求項5】対象画像となるパターンの最小パターン幅
    を基準にして前記画素の所定の間引き率を決定すること
    を特徴とする請求項4記載の画像位置合わせ方法。
  6. 【請求項6】対象画像となるパターンの最小パターン幅
    を基準にして前記所定の距離を決定することを特徴とす
    る請求項3記載の画像位置合わせ方法。
  7. 【請求項7】基準画像の部分領域及び対象画像の部分領
    域の各画素値が所定の画素値範囲外にある場合には当該
    画素値を所定の値に置換して前記相関係数或いは前記類
    似度を求めることを特徴とする請求項1記載の画像位置
    合わせ方法。
  8. 【請求項8】上記所定の値を0とすることを特徴とする
    請求項7記載の画像位置合わせ方法。
  9. 【請求項9】前記基準画像の各分割領域に設定される部
    分領域の探索開始位置を夫々の分割領域に対応する所定
    の分割領域の位置ずれ量を代入して設定することを特徴
    とする請求項2記載の画像位置合わせ方法。
  10. 【請求項10】前記探索位置目標値を求めた前記部分領
    域において、所定の探索範囲内を探索して第2ピークと
    なる相関値或いは類似度を求め、前記探索位置目標値と
    前記第2ピークとなる相関値或いは第2ピークとなる類
    似度との差が所定の値以上である場合には前記部分領域
    の設定が適切と判定し、前記差が所定の値未満の場合に
    は、部分領域の設定が不適切と判定することを特徴とす
    る請求項3記載の画像位置合わせ方法。
  11. 【請求項11】前記判定が不適切の場合、前記部分領域
    の大きさ或いは位置の設定を変更して再度変更後の部分
    領域において、所定の探索範囲内を探索して第2ピーク
    となる相関値或いは類似度を求め、前記探索位置目標値
    と前記第2ピークとなる相関値或いは第2ピークとなる
    類似度との差が所定の値以上である場合には前記部分領
    域の設定が適切と判定し、前記差が所定の値未満の場合
    には、部分領域の設定が不適切と判定する処理を行い、
    以後適切と判定するまで該処理を繰り返して行って部分
    領域を更新することを特徴とする請求項10記載の画像
    位置合わせ方法。
JP33139099A 1999-11-22 1999-11-22 画像位置合わせ方法 Withdrawn JP2001148015A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33139099A JP2001148015A (ja) 1999-11-22 1999-11-22 画像位置合わせ方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33139099A JP2001148015A (ja) 1999-11-22 1999-11-22 画像位置合わせ方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001148015A true JP2001148015A (ja) 2001-05-29

Family

ID=18243170

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP33139099A Withdrawn JP2001148015A (ja) 1999-11-22 1999-11-22 画像位置合わせ方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001148015A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008018422A1 (fr) * 2006-08-10 2008-02-14 Panasonic Corporation JP0765391dispositif d'authentification, dispositif d'enregistrement, dispositif d'enregistrement et d'authentification, procédé d'authentification, procédé d'enregistrement, programme d'authentification et programme d'enregistrement
JP2008112462A (ja) * 2007-12-21 2008-05-15 Toshiba Corp 顔画像による顔領域追跡方法及びその装置
JP2009104228A (ja) * 2007-10-19 2009-05-14 Tokyo Institute Of Technology 画像位置合わせ方法及び画像位置合わせプログラム
JP2012208025A (ja) * 2011-03-30 2012-10-25 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 検査装置、プログラム及び画像の位置合わせ方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008018422A1 (fr) * 2006-08-10 2008-02-14 Panasonic Corporation JP0765391dispositif d'authentification, dispositif d'enregistrement, dispositif d'enregistrement et d'authentification, procédé d'authentification, procédé d'enregistrement, programme d'authentification et programme d'enregistrement
JP2009104228A (ja) * 2007-10-19 2009-05-14 Tokyo Institute Of Technology 画像位置合わせ方法及び画像位置合わせプログラム
JP2008112462A (ja) * 2007-12-21 2008-05-15 Toshiba Corp 顔画像による顔領域追跡方法及びその装置
JP4660534B2 (ja) * 2007-12-21 2011-03-30 株式会社東芝 顔画像による顔領域追跡方法及びその装置
JP2012208025A (ja) * 2011-03-30 2012-10-25 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 検査装置、プログラム及び画像の位置合わせ方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10977829B2 (en) Depth camera calibration device and method thereof
CN111340701B (zh) 一种基于聚类法筛选匹配点的电路板图像拼接方法
US20080123996A1 (en) Method of registering and aligning multiple images
US20040109599A1 (en) Method for locating the center of a fiducial mark
CN112329880A (zh) 一种基于相似性度量和几何特征的模板快速匹配方法
JP2006214816A (ja) 半導体検査装置
CN109977959A (zh) 一种火车票字符区域分割方法及装置
KR20050063991A (ko) 영상 피라미드를 이용한 영상정합 처리방법 및 장치
JP2001148015A (ja) 画像位置合わせ方法
JP4097255B2 (ja) パターンマッチング装置、パターンマッチング方法およびプログラム
CN115187769A (zh) 一种定位方法及装置
JP3066137B2 (ja) パターンマッチング方法
US20040146194A1 (en) Image matching method, image matching apparatus, and wafer processor
JPH10173029A (ja) ウェハの測定位置決定方法
JP2002288661A (ja) 画像検出方法、画像検出装置及びウェハ処理装置
JP4530723B2 (ja) パターンマッチング方法、パターンマッチング装置、および電子部品実装方法
Avakow et al. Image stitching algorithm for description of integrated circuit layouts
JPH10260016A (ja) 画像認識装置
JP2003323616A (ja) 画像処理装置及びその方法と、画像処理プログラム及びそのプログラムを記録した記録媒体
JPH1063842A (ja) テンプレートマッチング方法
JP2963773B2 (ja) パターンマッチング装置
JP2000018920A (ja) 画像認識による計測方法および計測装置および記録媒体
JPS634379A (ja) パタ−ンマツチング装置
JP3307131B2 (ja) 傾き検出方法
JPH04307682A (ja) 画像位置合わせ方法

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20070206