JP2001144573A - 表面弾性波素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 低損失の伝送型表面弾性波フィルタを構成す
ることを可能とする。 【解決手段】 自然一方向性を有するように基板方位お
よび表面弾性波伝搬方向が選択されたランガサイト単結
晶基板表面に形成される、正電極指１０２、１０４と負
電極指２０２とこれらの間に配置される浮き電極３００
からなり、浮き電極は隣接する一対の電極指が負電極指
を跨いで短絡するように形成された表面弾性波変換器を
有する表面弾性波素子であって、表面弾性波の波長をλ
としたときに、正電極指および負電極指の中心間隔がお
よそλ／２、両者の電極指の幅ｄがλ／２０≦ｄ≦λ／
１０、浮き電極の電極指の幅Ｗがおよそλ／４となり、
浮き電極は、前記一対の電極指の各々が隣接する左側に
位置する正電極指または負電極指に接近するように偏倚
させ、表面弾性波の伝搬方向に沿って、各電極を形成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、移動体通信機器等
に用いられる表面弾性波素子に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、携帯電話・携帯端末等の移動体通
信機器が飛躍的に普及しているが、これら端末に用いら
れるフィルタには低損失、広帯域、小型等の特性が求め
られ、これらの特性を満たすデバイスとして単相一方向
性変換器をもつ伝送型表面弾性波（ＳＡＷ）フィルタが
実用化されている。単相一方向性フィルタにおいては、
励振波と反射波との位相差が、前方（順方向）には同相
となり2つの波が強め合い、反対方向（逆方向）では2つ
の波が打ち消しあうため前方方向のみに表面弾性波が強
く励振される。これにより、送信電極と受信電極の一方
向性の向きを向かい合わせる事により、理論的には1dB
以下の低損失フィルタを実現する事が可能となる。

【０００３】一方向性変換器を実現する手法としては、
非対称な電極構造を用いたEWC-SPUDT、DART−SPUDTが考
案されている。電極構造の非対称性を利用したこれらの
フィルタのほかに、自然一方向性フィルタ（NSPUDT：Ｎ
atural Ｓingle Ｐhase Ｕnidirecitonal Ｔransduce
r）というものがある。自然一方向性フィルタは、基板
結晶の非対称性を利用し一方向性を実現する。このた
め、正規型インターディジタルトランスジューサ（ＩＤ
Ｔ）構造と呼ばれる、電極幅及び電極間隔がともにλ／
４となる正負電極指が周期的に複数連続的に配置された
構造の変換器で一方向性が実現できる。

【０００４】ＳＴ−Ｘ水晶基板上に、正規型ＩＤＴを形
成しても正規型ＩＤＴを励振駆動することにより発生す
る弾性表面波はＳＴ−Ｘ水晶基板上において正規型ＩＤ
Ｔの双方向に伝搬してしまい、一方向性を実現できな
い。つまり、自然一方向性とは、圧電基板表面に正規型
ＩＤＴを形成したときに一方向に弾性表面波が強く励振
される基板の特性を示すものである。この自然一方向性
基板を用いる弾性表面波変換器では、基板自体の異方性
を利用しているため送信側変換器と受信側変換器の順方
向を向かい合わせる事が出来ない。送受信電極間で一方
向性を向かい合わせる事ができなけれは低損失なフィル
タを作製することは不可能である。

【０００５】自然一方向性の方向を反転させる電極構造
を用いて、一方向性を向かい合せる低損失のフィルタが
竹内氏等によって特開平８−２０４４９２号公報におい
て提案されている。竹内氏等によって提案された自然一
方向性の方向を反転させる電極構造は、表面弾性波の波
長をλとしたときに、正電極指および負電極指がそれぞ
れ、λのピッチで配列され、正電極と負電極の中心間距
離はλ／２であり、正電極指と負電極指との間に幅がλ
／４の浮き電極を形成しており、正電極指または負電極
指と、浮き電極とのエッジ間距離はλ／１６となるよう
に形成されている。そして少なくとも、隣接する一組の
浮き電極は短絡しており（上記公報における図５）、す
べての浮き電極が短絡する場合（上記公報における図
６）も含まれている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】表面弾性波デバイスの
特性は、基板として用いられる圧電結晶の特性に依存し
ている。この圧電結晶の特性として電気機械結合係数が
大きいということと、周波数温度特性が良好であること
が重要となる。現在、この2つの特性を同時に満足する
結晶としてランガサイトが注目されている。オイラー角
表示で（φ，θ，ψ）とした時に−５°≦φ≦５°，１
３５°≦θ≦１４５°，２０°≦ψ≦３０°の範囲内に
あるランガサイトは電気機械結合係数が０．３％〜０．
４％であり、周波数温度特性は２次の依存性を示し、室
温付近に頂点温度が存在する。電気機械結合係数はＳＴ
水晶の約３倍であり、周波数温度特性における2次温度
係数は水晶の2倍程度と非常に良好な特性をもち、低損
失な表面弾性波フィルタへの応用が期待される結晶であ
る。

【０００７】オイラー角表示で前記範囲内にあるランガ
サイト単結晶はNSPUDT特性をもち、この基板を用いて低
損失フィルタを実現するには、送受信電極で一方向性の
向きが対向するような電極構造を構成しなければならな
い。そのために、送信電極に電極幅及び電極間隔がとも
にλ／４となる正負電極指が周期的に複数連続的に配置
された正規型ＩＤＴを用いた場合には、受信電極には一
方向性が反転した構造を用いなければならないが、竹内
氏等により提案されている電極構造では、ランガサイト
基板で最適な一方向性反転が実現できておらず、フィル
タの低損失化という要求にこたえることが出来ない。本
発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、よ
り低損失な伝送型表面弾性波（ＳＡＷ）フィルタを構成
することを可能とした、表面弾性波素子を提供すること
を目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の発明は、自然一方向性を有するよ
うに基板方位及び表面弾性波伝搬方向が選択されたラン
ガサイト単結晶基板表面に形成される、正電極指と負電
極指とこれらの間に配置される浮き電極からなり、該浮
き電極は隣接する一対の電極指が前記負電極指を跨いで
短絡するように形成された表面弾性波変換器を有する表
面弾性波素子であって、前記弾性表面波変換器は自然一
方向性が反転するように表面弾性波の伝搬方向に沿っ
て、前記各電極が形成されていることを特徴とする。

【０００９】また請求項２に記載の発明は、請求項１に
記載の表面弾性波素子において、前記ランガサイト単結
晶基板は、基板方位および表面弾性波伝搬方向をオイラ
ー角表示で（φ，θ，ψ）とした時に−５°≦φ≦５
°，１３５°≦θ≦１４５°，２０°≦ψ≦３０°の範
囲内にあること、またはこれと等価な方位であることを
特徴とする。

【００１０】また請求項３に記載の発明は、請求項２に
記載の表面弾性波素子において、前記弾性表面波変換器
における前記正電極指、負電極指および浮き電極の距離
関係は、表面弾性波の波長をλとしたときに、前記正電
極指および負電極指の中心間隔がおよそλ／２、両者の
電極指の幅ｄがλ／２０≦ｄ≦λ／１０、前記浮き電極
の電極指の幅Ｗがおよそλ／４、前記正電極指の中心
と、前記浮き電極を構成する一対の電極指のうち該正電
極指に前記表面弾性波伝搬方向において隣接する前記浮
き電極の電極指の中心との距離ｇが４８λ／２４０≦ｇ
≦５６λ／２４０となり、前記浮き電極は、前記一対の
電極指の各々が隣接する左側に位置する正電極指または
負電極指に接近するように偏倚して形成されていること
を特徴とする。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。まずランガサイト圧
電基板上に、電極幅及び電極間隔がともにλ／４となる
正負電極指が周期的に複数連続的に配置された、いわゆ
る正規型電極（正規型ＩＤＴ）を形成し、これを励振駆
動したときに、自然一方向性を有する原理について図１
を参照して説明する。図1に正規型電極の模式図を示
す。同図において、この正規型電極は、正電極１および
負電極２からなり、正電極１を構成する正電極指１Ａ
と、この正電極指１Ａの左右に配置された負電極２を構
成する負電極指２Ａ及び２Ｂとの間に電界が発生する。
このときに、この電界によって励振されることによりラ
ンガサイト圧電基板に発生した表面弾性波の励振中心は
正電極指１Ａのほぼ中心Ａとなる。

【００１２】また、この電極構造において、周期的に配
置されている電極幅λ／４の電極指が表面弾性波の反射
源となる。反射は音響インピーダンスの不連続に起因す
ることから、それぞれの電極指の端部で表面弾性波が反
射する。このように電極指の両端部の２箇所で表面弾性
波が反射するだが、等価的に電極指の中心で反射すると
考えて支障がない。このとき、反射波の位相が変化す
る。この変化量は、圧電基板の種類とその切断面と表面
弾性波の伝搬方向、さらに電極材料とその厚さに依存す
る。例えば圧電基板にＳＴカットＸ伝搬水晶、金属材料
としてAlを用いたときには反射波の位相が９０°遅れ
る、すなわち位相変化量が９０°となる。

【００１３】これに対して圧電結晶として基板方位およ
び表面弾性波伝搬方向をオイラー角表示で（φ，θ，
ψ）とした時に−５°≦φ≦５°，１３５°≦θ≦１４
５°，２０°≦ψ≦３０°の範囲内にある、またはこれ
と等価な方位であるランガサイト単結晶を基板として用
い、更に電極材料としてAlを用いて正規型ＩＤＴを形成
したときに、電極指によって反射される表面弾性波の位
相変化量は−９０°＋２αとなる。この２αを反射時の
位相ずれと考えたときに、この２αに相当する分だけ反
射中心が電極指の中心からずれたとして反射中心を定義
すると、反射中心のずれδは、

【数１】 となる。δが正のときには電極指の中心から右側に、負
のときは左側に反射中心がずれる。

【００１４】反射中心と電極指の中心のずれの大きさが
λ／８のときに、正電極指１Ａで励振された波と、隣接
する負電極指２Ａの反射中心Ｂ、正電極指１Ａの端部Ｃ
で反射された波の点Ａでの位相を図１を用いて考える
と、Ａ→Ｂ→Ａの経路で反射する波のＡ点での位相は、

【数２】 となり、励振波と同位相である。これに対して、Ａ→Ｃ
→Ａの経路で反射する波のＡ点での位相は

【数３】 となり、励振波と逆位相である。このために、図１の右
方向に表面弾性波が強く励振されることになり、一方向
性が実現される。

【００１５】以上のことから、図２に示すように励振中
心と反射中心の距離が、

【数４】 となったときに、励振中心から反射中心の向きに一方向
性を実現することが可能となる。つまり、任意の結晶
に、表面弾性波が励振可能な周期電極構造（ＩＤＴ）を
形成したときに、その表面弾性波変換器が一方向性を有
するか否かは、励振中心と反射中心の位置が特定できれ
ば断定できる。この励振中心と反射中心の位置はモード
結合理論を用いたときのモード結合パラメータによって
記述される。

【００１６】モード結合パラメータは自己結合係数、モ
ード間結合係数、励振係数、静電容量Cからなる。ここ
で、モード間結合係数は、

【数５】 と表現され、κ₁₂の位相分が基準面からの反射中心のず
れに相当し、そのずれの大きさが(1)式で表される。ま
た、励振係数ζは

【数６】 となり、基準面から、

【数７】 だけ、離れたところに励振中心があると考えてよい。よ
って、反射中心と励振中心の差が(4)式を満たすために
は、モード間結合係数κ₁₂と励振係数ζとの位相の間
に、

【数８】 という関係があればよい。

【００１７】ここで、竹内氏より特開平８−２０４４９
２号公報において提案された一方向性反転電極構造(以
下、EWD-RDT 構造と呼ぶ)と本発明の実施の形態に係る
表面弾性波素子の電極構造における励振中心と反射中心
の位置について、モード結合理論より解析した結果を示
す。ここで示すランガサイト基板の切断面・伝搬方向は
オイラー角表示で（０°，１４０°，２４°）である。
また、電極材料としてAlを用いている。図３にEWD-RDT
構造を、図４に本発明の実施の形態に係る表面弾性波素
子の電極構造を示す。

【００１８】図３においてEWD-RDT構造の電極は、正電
極１０と、負電極２０と、浮き電極３０とからなり、正
電極１０を構成する正電極指１２、１４と、負電極２０
を構成する負電極指２２は、共に電極幅がλ／８であ
り、正電極指１２と負電極指２２との中心間隔はλ／２
である。また、正電極指と負電極指との間に幅がλ／４
の電極指を有し、例えば、隣接する一組の電極指３２、
３４が短絡された浮き電極３０が形成されており、正電
極指１２、１４または負電極指２２と、浮き電極３０と
のエッジ間距離はλ／１６となるように形成されてい
る。

【００１９】これに対し、本発明の実施の形態に係る表
面弾性波素子に用いられる表面弾性波変換器の電極は、
図４に示すように正電極１００と、負電極２００と、浮
き電極３００とからなり、正電極１００を構成する正電
極指１０２、１０４と、負電極２００を構成する負電極
指２０２は、共に電極幅がλ／１６であり、正電極指１
０２と負電極指２０２との中心間隔はλ／２である。ま
た正電極指１０２と正電極指１０４との間に、一対の電
極指３０２、３０４が負電極指２０２を跨いで短絡する
ように形成された浮き電極３００は、電極指３０２、３
０４の幅がλ／４であり、正電極指１０２の中心と、浮
き電極３００を構成する一対の電極指３０２，３０４の
うち正電極指１０２に表面弾性波伝搬方向において隣接
する電極指３０２の中心との間隔ｇは７λ／３２であ
る。また図３、図４において励振係数ζとモード間結合
係数の位相の基準面は、それぞれ、λ／８幅の正電極指
１４、λ／１６幅の正電極指１０４の中心である。

【００２０】次に、図５に、励振ζとモード間結合係数
の位相差（α−β）の電極膜厚依存性を示す。位相差
（α−β）の符号が負となるのは、EWD-RDT構造の一方
向性の向きが自然一方向性の向きと逆になることを意味
する。この結果から、EWD-RDT構造では規格化電極膜厚
Ｈ／λ（Ｈは電極膜厚）が０から０．０５の間で、の大
きさが、−３７．５°付近から−３２°の間で推移し、
式（８）から明らかなように一方向性を最適化する角度
である−４５°まで達しない。これに対し、本発明の実
施の形態に係る電極構造を用いることにより、規格化膜
厚が約０．０１２のときに位相差（α−β）の値が、一
方向性を最適化する−４５°となることが判る。

【００２１】図３及び図４の結果をもとにEWD-RDT構造
（図３）に対して励振中心と反射中心の位置についての
電極膜厚依存性を図６に、本発明の実施の形態に係る表
面弾性波素子に用いられる表面弾性波変換器の電極構造
（図４）に対して励振中心と反射中心の位置についての
電極膜厚依存性を図７に示す。図６、図７の各図におい
て上部には電極構造の平面図が、下部のグラフ中には表
面弾性波の伝搬方向の位置関係を明確にするために電極
構造の断面図を示してある。またこれらの図において、
反射中心は○で、励振中心は×で示してある。

【００２２】図７に示すように、本発明の実施の形態に
係る表面弾性波素子に用いられる表面弾性波変換器の電
極構造では、反射中心は励振中心に対して左側に存在
し、両者の距離の差は、およそλ／８になるとなるため
に一方向性の向きは紙面左側となり、自然一方向性の向
きに対して一方向性が反転することが判る。また図１１
に励振ζとモード間結合係数の位相差（α−β）の、弾
性表面波変換器における正電極指の中心と、浮き電極を
構成する一対の電極指のうち前記正電極指に表面弾性波
伝搬方向において隣接する前記浮き電極の電極指の中心
との距離ｇと表面弾性波の波長λとの比ｇ／λに対する
依存性についての特性を示す。同図に示すように、位相
差（α−β）が一方向性を反転する最適化する角度であ
る−４５°となるのは、４８／２４０≦ｇ／λ≦５６／
２４０の範囲内においてであることが判る。

【００２３】なお、弾性表面波変換器における前記正電
極指、負電極指および浮き電極の距離関係は、表面弾性
波の波長をλとしたときに、前記正電極指および負電極
指の中心間隔がおよそλ／２、両者の電極指の幅ｄがλ
／２０≦ｄ≦λ／１０、前記浮き電極の電極指の幅Ｗが
およそλ／４、前記正電極指の中心と、前記浮き電極を
構成する一対の電極指のうち該正電極指に前記表面弾性
波伝搬方向において隣接する前記浮き電極の電極指の中
心との距離ｇが４８λ／２４０≦ｇ≦５６λ／２４０と
なり、前記浮き電極は、前記一対の電極指の各々が隣接
する左側に位置する正電極指または負電極指に接近する
ように偏倚して形成すれば、自然一方向性の向きに対し
て一方向性を反転させることができる。

【００２４】次に、本発明の実施の形態に係る表面弾性
波素子に用いられる表面弾性波変換器の電極構造を用い
て構成した伝送型表面弾性波フィルタを２種類試作し、
その特性を評価した結果を示す。用いたランガサイト基
板の切断面・伝搬方向はオイラー角表示で（０°，１４
０°，２４°）である。また、電極材料として、Alを用
いた。供試品としての第１の伝送型表面弾性波フィルタ
（フィルタ＃１と記す。）の構成を図８に示す。同図に
おいて、ランガサイト基板５００上には表面弾性波の伝
搬方向（＋Ｘ方向）に沿って、送信電極としての正規型
ＩＤＴ５１０と、受信電極としてのＩＤＴ５２０とが設
けられている。正規型ＩＤＴ５１０は、正電極５１２と
負電極５１４からなり、電極幅及び電極間隔がともにλ
／４となる正電極指５１３と負電極指５１５が周期的に
複数連続的に配置されるように形成され、NSPUDT特性を
利用して一方向性を実現している。

【００２５】また受信電極としてのＩＤＴ５２０は本発
明の電極構造を用いており、正電極５２２、負電極５２
４及び浮き電極５３０からなる。ここで正電極指５２３
及び負電極指５２５の電極幅がλ／１６で両者の電極指
５２３、５２５の中心間隔がλ／２となり、正電極指５
２３の中心と、隣接する浮き電極５３０を構成する電極
指５３２の中心間距離gが７λ／３２となり、且つ浮き
電極５３０の電極指の幅Ｗがλ／４である。この受信電
極の構造は図４に示す構造と同一である。

【００２６】供試品としての第２の伝送型表面弾性波フ
ィルタ（フィルタ＃２と記す。）は、送信電極には前記
第１の伝送型表面弾性波フィルタと同じ正規型ＩＤＴを
用い、受信電極には図３に示したEWD-RDT構造のＩＤＴ
を用いた。両フィルタは、図８に示されるように送受信
電極の一方向性が対向するように配置されている。また
ランガサイト基板5００の両端には、端部での弾性表面
波の反射を吸収するためのダンパー剤５４０が塗布され
ている。フィルタ＃１、２の電極指の周期長λは、３
２．１５μｍで電極Al膜厚は３０００Åである。送受信
電極には間引き重み付けを施している。

【００２７】フィルタ＃１及びフィルタ＃２の周波数特
性の測定結果を図９および図１０に示す。図１０は図９
に示す周波数特性おいてフィルタの通過域付近を、拡大
した図である。図９及び図１０から本発明フィルタの通
過帯域挿入損失、帯域内リップルともに改善されている
ことが判る。具体的には表１に示すように、通過帯域挿
入損失はフィルタ＃１が−８．８４ｄＢであるのに対し
て、フィルタ＃２は−１０．６８ｄＢであり、帯域内リ
ップルはフィルタ＃１が０．３３ｄＢであるのに対し
て、フィルタ＃２では０．４６ｄＢである。

【表１】

【００２８】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、自然一方向性を有するように基板方位および表面弾
性波伝搬方向が選択されたランガサイト単結晶基板表面
に形成される、正電極指と負電極指とこれらの間に配置
される浮き電極からなり、該浮き電極は隣接する一対の
電極指が前記負電極指を跨いで短絡するように形成され
た表面弾性波変換器を有する表面弾性波素子であって、
前記弾性表面波変換器は自然一方向性が反転するように
表面弾性波の伝搬方向に沿って、前記各電極を形成する
ようにしたので、電極構造を特定するためのパラメー
タ、すなわち前記正電極指と負電極指の幅、前記正電極
指と負電極指の中心間隔、前記正電極指と浮き電極の中
心間隔、前記浮き電極の幅を適切に選択することによ
り、低損失の伝送型表面弾性波フィルタを構成すること
が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 正規型ＩＤＴの電極構造を示す平面図。

【図２】 図１に示す正規型ＩＤＴにより一方向性を実
現するための励振中心と反射中心の位置関係を示す説明
図。

【図３】 従来のEWD-RDT 構造のＩＤＴを示す平面図。

【図４】 本発明の実施の形態に係る表面弾性波素子に
用いられるＩＤＴの電極構造を示す平面図。

【図５】 モード間結合係数と励振係数の位相差（α−
β）の電極膜厚依存性を示す特性図。

【図６】 EWD-RDT 構造のＩＤＴにおける励振中心と反
射中心の位置の電極膜厚依存性を示す特性図。

【図７】 本発明の実施の形態に係る表面弾性波素子に
用いられるＩＤＴにおける励振中心と反射中心の位置の
電極膜厚依存性を示す特性図。

【図８】 本発明を適用した伝送型表面弾性波フィルタ
の構成を示す平面図。

【図９】 本発明を適用した伝送型表面弾性波フィルタ
と、EWD-RDT 構造のＩＤＴを受信電極とした伝送型表面
弾性波フィルタの周波数特性を示す特性図。

【図１０】 図９に示す周波数特性おいてフィルタの通
過域付近を、拡大した特性図。

【図１１】 モード間結合係数と励振係数の位相差（α
−β）の、表面弾性波の波長λと、表面弾性波変換器に
おける正電極指と浮き電極の電極指との中心間隔ｇとの
比ｇ／λに対する依存性を示す特性図。

【符号の説明】

１、 １０、１００ 正電極 １Ａ 、１２、１４、１０２、１０４ 正電極指 ２、２０、２００ 負電極 ２Ａ、２Ｂ、２４、２０２ 負電極指

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長谷川 弘治 北海道釧路市大楽毛西２丁目32番１号 国 立釧路工業高等専門学校 Ｆターム(参考） 5J097 AA01 BB11 CC14 DD04 DD07 DD10 DD28 EE07 FF01 GG01 KK04

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 自然一方向性を有するように基板方位お
   よび表面弾性波伝搬方向が選択されたランガサイト単結
   晶基板表面に形成される、正電極指と負電極指とこれら
   の間に配置される浮き電極からなり、該浮き電極は隣接
   する一対の電極指が前記負電極指を跨いで短絡するよう
   に形成された表面弾性波変換器を有する表面弾性波素子
   であって、 前記弾性表面波変換器は自然一方向性が反転するように
   表面弾性波の伝搬方向に沿って、前記各電極が形成され
   ていることを特徴とする表面弾性波素子。
2. 【請求項２】 前記ランガサイト単結晶基板は、基板方
   位および弾性表面波伝搬方向をオイラー角表示で（φ，
   θ，ψ）とした時に−５°≦φ≦５°，１３５°≦θ≦
   １４５°，２０°≦ψ≦３０°の範囲内にあること、ま
   たはこれと等価な方位であることを特徴とする請求項１
   に記載の表面弾性波素子。
3. 【請求項３】 前記弾性表面波変換器における前記正電
   極指、負電極指および浮き電極の距離関係は、表面弾性
   波の波長をλとしたときに、前記正電極指および負電極
   指の中心間隔がおよそλ／２、両者の電極指の幅ｄがλ
   ／２０≦ｄ≦λ／１０、前記浮き電極の電極指の幅Ｗが
   およそλ／４、前記正電極指の中心と、前記浮き電極を
   構成する一対の電極指のうち該正電極指に前記表面弾性
   波伝搬方向において隣接する前記浮き電極の電極指の中
   心との距離ｇが４８λ／２４０≦ｇ≦５６λ／２４０と
   なり、 前記浮き電極は、前記一対の電極指の各々が隣接する左
   側に位置する正電極指または負電極指に接近するように
   偏倚して形成されていることを特徴とする請求項２に記
   載の表面弾性波素子。