JP2001143425A - サスペンションアーム・アクチュエーター - Google Patents
サスペンションアーム・アクチュエーターInfo
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- piezoelectric
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
- G11B5/486—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives with provision for mounting or arranging electrical conducting means or circuits on or along the arm assembly
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
- G11B21/02—Driving or moving of heads
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
- G11B21/16—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads
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- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G11B5/484—Integrated arm assemblies, e.g. formed by material deposition or by etching from single piece of metal or by lamination of materials forming a single arm/suspension/head unit
Landscapes
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Optical Head (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧電膜技術を利用し、現行の読み書きヘッド
構造に適応でき、スライダーの表面形状を最適化する必
要のないサスペンションアーム・アクチュエーターを提
供する。 【解決手段】 サスペンションアーム部材と、圧電膜
と、圧電膜表面に位置する電極とから構成されるもので
あって、サスペンションアーム部材が光学記録／再生装
置の光学読み書きヘッドを搭載し、圧電膜および電極が
相互重ね合わせ方式でサスペンションアーム部材の表面
に堆積されるとともに、相互に緊密に接合されており、
圧電膜の表面に配置される電極が特定パターンを備え
て、圧電膜に電極を介して外部から印加される電場によ
り必要な変形を発生させ、サスペンションアーム・アク
チュエーターにフォーカッシング・サーボ制御に必要な
形状変化を付与するものである。
構造に適応でき、スライダーの表面形状を最適化する必
要のないサスペンションアーム・アクチュエーターを提
供する。 【解決手段】 サスペンションアーム部材と、圧電膜
と、圧電膜表面に位置する電極とから構成されるもので
あって、サスペンションアーム部材が光学記録／再生装
置の光学読み書きヘッドを搭載し、圧電膜および電極が
相互重ね合わせ方式でサスペンションアーム部材の表面
に堆積されるとともに、相互に緊密に接合されており、
圧電膜の表面に配置される電極が特定パターンを備え
て、圧電膜に電極を介して外部から印加される電場によ
り必要な変形を発生させ、サスペンションアーム・アク
チュエーターにフォーカッシング・サーボ制御に必要な
形状変化を付与するものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、サスペンション
アーム・アクチュエーター（Suspension Arm Actuator
）に関し、特に、記憶装置に用いられる読み書きヘッ
ドの対物レンズ・アクチュエーターに関する。
アーム・アクチュエーター（Suspension Arm Actuator
）に関し、特に、記憶装置に用いられる読み書きヘッ
ドの対物レンズ・アクチュエーターに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般の光学記録／再生装置、例えばディ
スクプレイヤー（Disc Player ）は、リードオンリーメ
モリー式コンパクトディスク（Compact Disk− Read On
ly Memory = CD-ROM）またはデジタル・バーサタイル・
ディスク（Digital VersatileDisk = DVD）を使用する
ディスクドライバー等、大容量データを光ディスク（Op
tical Disc）中に記録することができるとともに、ディ
スク中のデータを再現することができる。マルチメディ
ア科学技術の進歩にともなって、大容量のオーディオビ
ジュアルデータを保存することができる光ディスクもま
すます普及してきている。また、デジタル・バーサタイ
ル・ディスクの発展により、その記憶容量が従来のリー
ドオンリーメモリー式コンパクトディスクの６５０ＭＢ
から４．７ＧＢに増大し、将来は１５ＧＭにまで向上さ
れようとしている。
スクプレイヤー（Disc Player ）は、リードオンリーメ
モリー式コンパクトディスク（Compact Disk− Read On
ly Memory = CD-ROM）またはデジタル・バーサタイル・
ディスク（Digital VersatileDisk = DVD）を使用する
ディスクドライバー等、大容量データを光ディスク（Op
tical Disc）中に記録することができるとともに、ディ
スク中のデータを再現することができる。マルチメディ
ア科学技術の進歩にともなって、大容量のオーディオビ
ジュアルデータを保存することができる光ディスクもま
すます普及してきている。また、デジタル・バーサタイ
ル・ディスクの発展により、その記憶容量が従来のリー
ドオンリーメモリー式コンパクトディスクの６５０ＭＢ
から４．７ＧＢに増大し、将来は１５ＧＭにまで向上さ
れようとしている。
【０００３】光学記録／再生装置には、光学読み書きヘ
ッドが設けられ、レーザー光束が光源から発射された
後、光学読み書きヘッドの対物レンズの作用を介して、
集光状態で光ディスクの下表面を照射するとともに、デ
ィスク基材を透過して、データ層に光点を形成する。レ
ーザー光束は、光ディスクのデータ層で反射された後、
形成された反射光が光学読み書きヘッドにより受光され
て、光ディスクに保存されたデータを読み出すことがで
きる。
ッドが設けられ、レーザー光束が光源から発射された
後、光学読み書きヘッドの対物レンズの作用を介して、
集光状態で光ディスクの下表面を照射するとともに、デ
ィスク基材を透過して、データ層に光点を形成する。レ
ーザー光束は、光ディスクのデータ層で反射された後、
形成された反射光が光学読み書きヘッドにより受光され
て、光ディスクに保存されたデータを読み出すことがで
きる。
【０００４】光ディスク中のデータ保存容量および密度
が向上する時、光学読み書きヘッドにおいて、その対物
レンズの開口数（Numerical Aperture = NA）もまた増
大して、対物レンズの工作距離（Working Distance）が
短縮するので、フォーカッシング・サーボ・アクチュエ
ーターの精密度規格を向上させなければならなかった。
また、光学読み書きヘッドの体積および／または対物レ
ンズが縮小される時にもまた同様な効果が発生し、しか
も、このような効果はニアフィールド光学（Near Field
Optics ）において、その影響が顕著なものとなってい
た。しかしながら、典型的な光学読み書きヘッドにおい
ては、音声コイルモーター・アクチュエーター構造を採
用していたため、光ディスク中のデータ保存容量および
密度が向上した時には、精密度規格に対するニーズを満
足させることができなかった。従って、上記した効果に
よりもたらされる影響をいかに改善し、ディスクの上下
動によりもたれされる偏差を補償するかが、現段階にお
ける重要な課題となっていた。
が向上する時、光学読み書きヘッドにおいて、その対物
レンズの開口数（Numerical Aperture = NA）もまた増
大して、対物レンズの工作距離（Working Distance）が
短縮するので、フォーカッシング・サーボ・アクチュエ
ーターの精密度規格を向上させなければならなかった。
また、光学読み書きヘッドの体積および／または対物レ
ンズが縮小される時にもまた同様な効果が発生し、しか
も、このような効果はニアフィールド光学（Near Field
Optics ）において、その影響が顕著なものとなってい
た。しかしながら、典型的な光学読み書きヘッドにおい
ては、音声コイルモーター・アクチュエーター構造を採
用していたため、光ディスク中のデータ保存容量および
密度が向上した時には、精密度規格に対するニーズを満
足させることができなかった。従って、上記した効果に
よりもたらされる影響をいかに改善し、ディスクの上下
動によりもたれされる偏差を補償するかが、現段階にお
ける重要な課題となっていた。
【０００５】そこで、光ディスク中のデータ保存容量お
よび密度が向上した時に、光学読み書きヘッド構造に対
する影響を低減し、ディスクの上下動による偏差を補償
するため、各種のフォーカッシング・サーボ方法ならび
にそのアクチュエーターが、いろいろと開発されてき
た。そのうち１つの方法が、磁気ディスクドライバーの
フライングヘッド（Flying Head ）構造を援用したもの
であり、図１（ａ）（ｂ）に示すように、それぞれ従来
技術にかかるフライング光学ヘッド（Flying Optical H
ead ）構造の平面図および側面図となっている。
よび密度が向上した時に、光学読み書きヘッド構造に対
する影響を低減し、ディスクの上下動による偏差を補償
するため、各種のフォーカッシング・サーボ方法ならび
にそのアクチュエーターが、いろいろと開発されてき
た。そのうち１つの方法が、磁気ディスクドライバーの
フライングヘッド（Flying Head ）構造を援用したもの
であり、図１（ａ）（ｂ）に示すように、それぞれ従来
技術にかかるフライング光学ヘッド（Flying Optical H
ead ）構造の平面図および側面図となっている。
【０００６】図１（ａ）（ｂ）において、フライング光
学読み書きヘッド１００は、サスペンションアーム１０
２によって支持され、光ディスク１０８が主軸モーター
（図示せず）により回転される時、周囲の気体に気流を
発生させていた。この気流がフライング光学読み書きヘ
ッド１００に浮力を与えるものとなり、フライング光学
読み書きヘッド１００が一定の高さにまで浮上できるも
のとなっていた。従って、このような方法を採用する時
には、フライング光学読み書きヘッド１００の対物レン
ズ１０４の下方にスライダー１０６を設置する必要があ
るとともに、このスライダー１０６の表面形状を最適化
して、光ディスク１０８が回転する時にエアークッショ
ンを発生させ、フライング光学読み書きヘッド１００と
光ディスク１０８との間に一定の距離を保持することに
より、フォーカッシング・サーボ動作を達成していた。
学読み書きヘッド１００は、サスペンションアーム１０
２によって支持され、光ディスク１０８が主軸モーター
（図示せず）により回転される時、周囲の気体に気流を
発生させていた。この気流がフライング光学読み書きヘ
ッド１００に浮力を与えるものとなり、フライング光学
読み書きヘッド１００が一定の高さにまで浮上できるも
のとなっていた。従って、このような方法を採用する時
には、フライング光学読み書きヘッド１００の対物レン
ズ１０４の下方にスライダー１０６を設置する必要があ
るとともに、このスライダー１０６の表面形状を最適化
して、光ディスク１０８が回転する時にエアークッショ
ンを発生させ、フライング光学読み書きヘッド１００と
光ディスク１０８との間に一定の距離を保持することに
より、フォーカッシング・サーボ動作を達成していた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな方法には、主要には２つの欠点が存在しており、１
つは、光ディスク１０８が静止して回転しない時、フラ
イング光学読み書きヘッド１００は光ディスク１０８表
面に停止しているけれど、フライング光学読み書きヘッ
ド１００が光ディスク１０８の表面に対して離板あるい
は着板する時、フライング光学読み書きヘッド１００と
光ディスク１０８との間に摩擦あるいは衝撃が発生する
ことを防止するため、アメリカ特許第５，２０２，８８
０号に開示されたように、光ディスク１０８の表面に保
護潤滑膜１１０を形成する必要があった。
うな方法には、主要には２つの欠点が存在しており、１
つは、光ディスク１０８が静止して回転しない時、フラ
イング光学読み書きヘッド１００は光ディスク１０８表
面に停止しているけれど、フライング光学読み書きヘッ
ド１００が光ディスク１０８の表面に対して離板あるい
は着板する時、フライング光学読み書きヘッド１００と
光ディスク１０８との間に摩擦あるいは衝撃が発生する
ことを防止するため、アメリカ特許第５，２０２，８８
０号に開示されたように、光ディスク１０８の表面に保
護潤滑膜１１０を形成する必要があった。
【０００８】前述した方法のもう１つの欠点は、スライ
ダー１０６により発生するエアークッションについて、
その厚さならびに提供される浮力がレノルズ数（Reynol
ds Number = Re）およびスライダー１０６の表面形状に
関係しているので、前述したフライング光学読み書きヘ
ッド１００が異なる倍速のディスクドライバー（図示せ
ず）で使用される時には、そのスライダー１０６の表面
形状を改めて最適化し、異なる倍速のディスクドライバ
ーに適用できるようにする必要があった。なお、レノル
ズ数Ｒｅは、流体密度に流速および１つの特徴長さを乗
じてから流体粘度で割ったものに等しい。
ダー１０６により発生するエアークッションについて、
その厚さならびに提供される浮力がレノルズ数（Reynol
ds Number = Re）およびスライダー１０６の表面形状に
関係しているので、前述したフライング光学読み書きヘ
ッド１００が異なる倍速のディスクドライバー（図示せ
ず）で使用される時には、そのスライダー１０６の表面
形状を改めて最適化し、異なる倍速のディスクドライバ
ーに適用できるようにする必要があった。なお、レノル
ズ数Ｒｅは、流体密度に流速および１つの特徴長さを乗
じてから流体粘度で割ったものに等しい。
【０００９】そこで、この発明の目的は、圧電膜技術を
利用して、現行の読み書きヘッド構造に適応でき、スラ
イダーの表面形状を改めて最適化する必要のない、サス
ペンションアーム・アクチュエーターを提供することに
ある。
利用して、現行の読み書きヘッド構造に適応でき、スラ
イダーの表面形状を改めて最適化する必要のない、サス
ペンションアーム・アクチュエーターを提供することに
ある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し、所望
の目的を達成するために、この発明にかかるサスペンシ
ョンアーム・アクチュエーターは、光ディスクドライバ
ーを含む記憶装置に使用されるものであって、少なくと
も、サスペンションアーム部材と、サスペンションアー
ム部材の表面に配置される第１電極と、第１電極の表面
に配置され、第１電極をサスペンションアーム部材との
間に位置させる圧電膜と、圧電膜の表面に配置され、圧
電膜を第１電極との間に位置させる第２電極とから構成
されるものである。そして、サスペンションアーム部材
は、光学記録／再生装置の光学読み書きヘッドを搭載す
るものであり、圧電膜をサスペンションアーム部材の表
面に配置するとともに、サスペンションアーム部材に密
着させるものである。また、圧電膜の上下表面にそれぞ
れ特定パターンを有する電極を配置するものである。圧
電膜表面の電極に外部から印加する電場を適当に調整す
ることにより、圧電膜を変形させてサスペンションアー
ム部材を形状変化させ、ディスクデータ保存容量および
密度増大による光学読み書きヘッド構造への影響を低減
させて、ディスクの上下動による偏差を補償することが
できるとともに、フライング読み書きヘッドとディスク
との間隔を能動的に制御して両者を接触しないものと
し、摩擦ならびに衝撃の発生を回避し、ディスク表面に
コーティングされた保護潤滑膜が損傷されることを防止
し、しかも異なる倍速のディスクドライバーに対応でき
るものとする。
の目的を達成するために、この発明にかかるサスペンシ
ョンアーム・アクチュエーターは、光ディスクドライバ
ーを含む記憶装置に使用されるものであって、少なくと
も、サスペンションアーム部材と、サスペンションアー
ム部材の表面に配置される第１電極と、第１電極の表面
に配置され、第１電極をサスペンションアーム部材との
間に位置させる圧電膜と、圧電膜の表面に配置され、圧
電膜を第１電極との間に位置させる第２電極とから構成
されるものである。そして、サスペンションアーム部材
は、光学記録／再生装置の光学読み書きヘッドを搭載す
るものであり、圧電膜をサスペンションアーム部材の表
面に配置するとともに、サスペンションアーム部材に密
着させるものである。また、圧電膜の上下表面にそれぞ
れ特定パターンを有する電極を配置するものである。圧
電膜表面の電極に外部から印加する電場を適当に調整す
ることにより、圧電膜を変形させてサスペンションアー
ム部材を形状変化させ、ディスクデータ保存容量および
密度増大による光学読み書きヘッド構造への影響を低減
させて、ディスクの上下動による偏差を補償することが
できるとともに、フライング読み書きヘッドとディスク
との間隔を能動的に制御して両者を接触しないものと
し、摩擦ならびに衝撃の発生を回避し、ディスク表面に
コーティングされた保護潤滑膜が損傷されることを防止
し、しかも異なる倍速のディスクドライバーに対応でき
るものとする。
【００１１】
【発明の実施の形態】上記手段により、この発明にかか
るサスペンションアーム・アクチュエーターは、光学記
録／再生装置の光学読み書きヘッドに適用されて、光学
読み書きヘッドを搭載するものであって、サスペンショ
ンアーム部材と、圧電膜と、圧電膜の表面に配置される
電極とから構成されるものである。現行の読み書きヘッ
ド構造を変更する必要がなく、また、その他の部材を増
設する必要がないという状況のもとに、圧電膜技術を利
用して作製される圧電サスペンションアーム・アクチュ
エーターが、フライング読み書きヘッドとディスクとの
間の距離を保持して、両者を接触させることなく、フラ
イング読み書きヘッドとディスクとの間で摩擦および衝
撃が発生することを回避し、ディスク表面にコーティン
グされた保護潤滑膜が損傷されることを防止できるもの
である。さらに、このような圧電サスペンションアーム
・アクチュエーターは、能動的にフライング読み書きヘ
ッドとディスクとの間の距離を保持することができると
ともに、異なる倍速のディスクドライバーに使用される
場合でも、スライダーの表面形状を改めて最適化する必
要がないものである。
るサスペンションアーム・アクチュエーターは、光学記
録／再生装置の光学読み書きヘッドに適用されて、光学
読み書きヘッドを搭載するものであって、サスペンショ
ンアーム部材と、圧電膜と、圧電膜の表面に配置される
電極とから構成されるものである。現行の読み書きヘッ
ド構造を変更する必要がなく、また、その他の部材を増
設する必要がないという状況のもとに、圧電膜技術を利
用して作製される圧電サスペンションアーム・アクチュ
エーターが、フライング読み書きヘッドとディスクとの
間の距離を保持して、両者を接触させることなく、フラ
イング読み書きヘッドとディスクとの間で摩擦および衝
撃が発生することを回避し、ディスク表面にコーティン
グされた保護潤滑膜が損傷されることを防止できるもの
である。さらに、このような圧電サスペンションアーム
・アクチュエーターは、能動的にフライング読み書きヘ
ッドとディスクとの間の距離を保持することができると
ともに、異なる倍速のディスクドライバーに使用される
場合でも、スライダーの表面形状を改めて最適化する必
要がないものである。
【００１２】以下、この発明にかかる好適な実施例を図
面に基づいて説明する。図２において、圧電材料（Piez
oelectrics）は、電気エネルギーを機械エネルギーに変
換する特性を有するものであり、電圧作用を受けた時に
機械応力を発生させて、形状変化を引き起こすものであ
る。参考座標系（ｘ，ｙ，ｚ）のｘ，ｙ，ｚ方向は、参
考方向であり、外部からの電場作用を印加されていない
圧電膜２００ａが点線で示されている。もしも圧電膜２
００ａのｚ方向に外部から電場を印加すると、圧電材料
が変形するものであって、例えば圧電膜２００ａが外部
からの電場を印加された後は、ｘ，ｙ，ｚ方向へ変形し
て圧電膜２００ｂを形成する。従って、圧電膜が構造部
材上に貼り付けられ、圧電膜が外部から電場を印加され
て変形した時には、圧電膜が貼り付けられた構造部材も
変形するので、圧電膜の表面電極形態を変化および／ま
たは外部から印加される電場を変化させることにより、
圧電膜に等価力を発生させ、構造部材に所定の形状変化
を発生させるという目的を達成することができる。
面に基づいて説明する。図２において、圧電材料（Piez
oelectrics）は、電気エネルギーを機械エネルギーに変
換する特性を有するものであり、電圧作用を受けた時に
機械応力を発生させて、形状変化を引き起こすものであ
る。参考座標系（ｘ，ｙ，ｚ）のｘ，ｙ，ｚ方向は、参
考方向であり、外部からの電場作用を印加されていない
圧電膜２００ａが点線で示されている。もしも圧電膜２
００ａのｚ方向に外部から電場を印加すると、圧電材料
が変形するものであって、例えば圧電膜２００ａが外部
からの電場を印加された後は、ｘ，ｙ，ｚ方向へ変形し
て圧電膜２００ｂを形成する。従って、圧電膜が構造部
材上に貼り付けられ、圧電膜が外部から電場を印加され
て変形した時には、圧電膜が貼り付けられた構造部材も
変形するので、圧電膜の表面電極形態を変化および／ま
たは外部から印加される電場を変化させることにより、
圧電膜に等価力を発生させ、構造部材に所定の形状変化
を発生させるという目的を達成することができる。
【００１３】図３において、フライング光学読み書きヘ
ッド３００の対物レンズ３０２を搭載するサスペンショ
ンアーム・アクチュエーター３０４は、その構造動力分
析によれば、サスペンションプレートと見なすことがで
きるから、この発明の装置を圧電膜プレート理論に基づ
いて設計することができる。すなわち、フライング光学
読み書きヘッド３００中に対物レンズ３０２を設けて、
サスペンションアーム・アクチュエーター３０４により
支持し、ディスク３０６からデータを読み出したり、あ
るいはディスク３０６にデータを書き込んだりすること
ができる。そして、サスペンションアーム・アクチュエ
ーター３０４は、固定端３０８に固定され、サスペンシ
ョンアーム部材、圧電膜、電極などを備えるが、その配
置関係は後述する。
ッド３００の対物レンズ３０２を搭載するサスペンショ
ンアーム・アクチュエーター３０４は、その構造動力分
析によれば、サスペンションプレートと見なすことがで
きるから、この発明の装置を圧電膜プレート理論に基づ
いて設計することができる。すなわち、フライング光学
読み書きヘッド３００中に対物レンズ３０２を設けて、
サスペンションアーム・アクチュエーター３０４により
支持し、ディスク３０６からデータを読み出したり、あ
るいはディスク３０６にデータを書き込んだりすること
ができる。そして、サスペンションアーム・アクチュエ
ーター３０４は、固定端３０８に固定され、サスペンシ
ョンアーム部材、圧電膜、電極などを備えるが、その配
置関係は後述する。
【００１４】図４（ａ）において、圧電サスペンション
アーム４００ａは、図３のサスペンションアーム・アク
チュエーター３０４に相当するものであって、サスペン
ションアーム部材４０２ａおよび圧電膜４０４ａを含
み、圧電膜４０４ａがサスペンションアーム部材４０２
ａ表面に密着するように貼り付けられている。外部から
電場が印加されない状態では、サスペンションアーム部
材４０２ａおよび圧電膜４０４ａから構成される圧電サ
スペンションアーム４００ａが平坦状態を示している。
アーム４００ａは、図３のサスペンションアーム・アク
チュエーター３０４に相当するものであって、サスペン
ションアーム部材４０２ａおよび圧電膜４０４ａを含
み、圧電膜４０４ａがサスペンションアーム部材４０２
ａ表面に密着するように貼り付けられている。外部から
電場が印加されない状態では、サスペンションアーム部
材４０２ａおよび圧電膜４０４ａから構成される圧電サ
スペンションアーム４００ａが平坦状態を示している。
【００１５】図４（ｂ）において、図４（ａ）と同様
に、圧電サスペンションアーム４００ｂは、図３のサス
ペンションアーム・アクチュエーター３０４に相当する
ものであって、サスペンションアーム部材４０２ｂおよ
び圧電膜４０４ｂを含み、圧電膜４０４ｂがサスペンシ
ョンアーム部材４０２ａ表面に密着するように貼り付け
られている。圧電膜４０４ｂに外部から電場が印加され
る時、例えばｚ軸方向へ電圧が印加された時、圧電膜４
０４ｂが電場作用で変形するので、サスペンションアー
ム部材４０２ｂが変形する。このような外部から電場を
印加することにより変形する特性を利用して、圧電サス
ペンションアーム４００ｂを変形させ、フライング光学
読み書きヘッドとディスクとの間隔を制御するととも
に、対物レンズの焦点位置を調整することができる。図
４中、サスペンションアーム部材４０２ａ，４０２ｂ表
面の圧電膜４０４ａ，４０４ｂは、その材料を例えばＰ
ＺＴ（ＰｂＺｒＯ３とＰｂＴｉＯ３との固溶体。チタン
酸ジルコン酸鉛ともいう）セラミック薄膜または二フッ
化ポリビニル（Polyvinylidene Fluoride =ＰＶＤＦ）
からなる重合物薄膜とすることができる。
に、圧電サスペンションアーム４００ｂは、図３のサス
ペンションアーム・アクチュエーター３０４に相当する
ものであって、サスペンションアーム部材４０２ｂおよ
び圧電膜４０４ｂを含み、圧電膜４０４ｂがサスペンシ
ョンアーム部材４０２ａ表面に密着するように貼り付け
られている。圧電膜４０４ｂに外部から電場が印加され
る時、例えばｚ軸方向へ電圧が印加された時、圧電膜４
０４ｂが電場作用で変形するので、サスペンションアー
ム部材４０２ｂが変形する。このような外部から電場を
印加することにより変形する特性を利用して、圧電サス
ペンションアーム４００ｂを変形させ、フライング光学
読み書きヘッドとディスクとの間隔を制御するととも
に、対物レンズの焦点位置を調整することができる。図
４中、サスペンションアーム部材４０２ａ，４０２ｂ表
面の圧電膜４０４ａ，４０４ｂは、その材料を例えばＰ
ＺＴ（ＰｂＺｒＯ３とＰｂＴｉＯ３との固溶体。チタン
酸ジルコン酸鉛ともいう）セラミック薄膜または二フッ
化ポリビニル（Polyvinylidene Fluoride =ＰＶＤＦ）
からなる重合物薄膜とすることができる。
【００１６】＜第１実施例＞図５において、この発明に
かかる光学読み書きヘッドの第１実施例を示すと、レー
ザー光束が光源５００から発射され、分光器（Splitte
r）５０２を透過して、光束をコリメーター（Collimato
r）５０４に導く。光束がコリメーター５０４により校
正されてから、その方向を反射鏡５０６で偏向され、光
束が対物レンズ５０８を通過した後、光ディスク５１０
上に焦点合せされて、光ディスク５１０のデータを読み
出す。なお、光源５００を例えば６５０ナノメーター
（Nanometer = nm）レーザーダイオードおよび７８０ナ
ノメーターレーザーダイオードを含むレーザーダイオー
ドとし、光ディスク５１０を例えばＣＤならびにＤＶＤ
など異なる規格の光ディスクとすることができる。光束
が光ディスク５１０で反射され、対物レンズ５０８およ
び反射鏡５０６ならびにコリメーター５０４を経て、分
光器５０２により光束を光検出器（Photo Detector）５
１２に導光する。また、光学読み書きヘッド中に圧電サ
スペンションアーム・アクチュエーター５１４を配置し
て、対物レンズ５０８を搭載ならびに支持するととも
に、対物レンズ５０８と光ディスク５１０との間隔を制
御して、対物レンズ５０８に対するフォーカッシングサ
ーボ制御を行うが、その構造は後述する。
かかる光学読み書きヘッドの第１実施例を示すと、レー
ザー光束が光源５００から発射され、分光器（Splitte
r）５０２を透過して、光束をコリメーター（Collimato
r）５０４に導く。光束がコリメーター５０４により校
正されてから、その方向を反射鏡５０６で偏向され、光
束が対物レンズ５０８を通過した後、光ディスク５１０
上に焦点合せされて、光ディスク５１０のデータを読み
出す。なお、光源５００を例えば６５０ナノメーター
（Nanometer = nm）レーザーダイオードおよび７８０ナ
ノメーターレーザーダイオードを含むレーザーダイオー
ドとし、光ディスク５１０を例えばＣＤならびにＤＶＤ
など異なる規格の光ディスクとすることができる。光束
が光ディスク５１０で反射され、対物レンズ５０８およ
び反射鏡５０６ならびにコリメーター５０４を経て、分
光器５０２により光束を光検出器（Photo Detector）５
１２に導光する。また、光学読み書きヘッド中に圧電サ
スペンションアーム・アクチュエーター５１４を配置し
て、対物レンズ５０８を搭載ならびに支持するととも
に、対物レンズ５０８と光ディスク５１０との間隔を制
御して、対物レンズ５０８に対するフォーカッシングサ
ーボ制御を行うが、その構造は後述する。
【００１７】＜第２実施例＞図６（ａ）において、この
発明にかかるサスペンションアーム・アクチュエーター
の第２実施例を示すと、そのサスペンションアーム・ア
クチュエーター６００ａは、図３のサスペンションアー
ム・アクチュエーター３０４に相当するものであって、
サスペンションアーム部材６０２がプレート構造を有
し、図４中のサスペンションアーム部材４０２ａ，４０
２ｂに相当するものである。第１電極６０６ａが、サス
ペンションアーム部材６０２の表面に貼り付けられ、圧
電膜６０４ａが第１電極６０６ａの表面に配置されると
ともに密着されて、第１電極６０６ａをサスペンション
アーム部材６０２と圧電膜６０４ａとの間に配置してい
る。第２電極６０６ｂは、圧電膜６０４ａの表面に貼り
付けられ、圧電膜６０４ａを第１電極６０６ａと第２電
極６０６ｂとの間に配置している。そして、圧電膜６０
４ａの材料としては、図４中の圧電膜４０４ａ，４０４
ｂと同様に、例えばＰＺＴセラミック薄膜または二フッ
化ポリビニル（ＰＶＤＦ）重合物薄膜とすることができ
る。また、第１電極６０６ａと第２電極６０６ｂとを外
部電源６０８に接続して、外部から電場を印加する。
発明にかかるサスペンションアーム・アクチュエーター
の第２実施例を示すと、そのサスペンションアーム・ア
クチュエーター６００ａは、図３のサスペンションアー
ム・アクチュエーター３０４に相当するものであって、
サスペンションアーム部材６０２がプレート構造を有
し、図４中のサスペンションアーム部材４０２ａ，４０
２ｂに相当するものである。第１電極６０６ａが、サス
ペンションアーム部材６０２の表面に貼り付けられ、圧
電膜６０４ａが第１電極６０６ａの表面に配置されると
ともに密着されて、第１電極６０６ａをサスペンション
アーム部材６０２と圧電膜６０４ａとの間に配置してい
る。第２電極６０６ｂは、圧電膜６０４ａの表面に貼り
付けられ、圧電膜６０４ａを第１電極６０６ａと第２電
極６０６ｂとの間に配置している。そして、圧電膜６０
４ａの材料としては、図４中の圧電膜４０４ａ，４０４
ｂと同様に、例えばＰＺＴセラミック薄膜または二フッ
化ポリビニル（ＰＶＤＦ）重合物薄膜とすることができ
る。また、第１電極６０６ａと第２電極６０６ｂとを外
部電源６０８に接続して、外部から電場を印加する。
【００１８】＜第３実施例＞図６（ｂ）において、この
発明にかかるサスペンションアーム・アクチュエーター
の第３実施例を示すと、そのサスペンションアーム・ア
クチュエーター６００ｂは、図６（ａ）に類似したもの
であり、同様に、図３中のサスペンションアーム・アク
チュエーター３０４に相当するものであって、プレート
構造を有するサスペンションアーム部材６０２の表面上
に複数個の圧電膜ならびに電極を備えたものである。そ
して、圧電膜と電極とを交互に積み重ね方式によりサス
ペンションアーム部材６０２の表面上に貼り付けてい
る。図示したように、第１電極６０６ａ、第１圧電膜６
０４ａ、第２電極６０６ｂ、第２圧電膜６０４ｂ、第３
電極６０６ｃを順番にサスペンションアーム部材６０２
の表面に積み重ねている。また、第１および第２圧電膜
の材料としては、ＰＺＴセラミック薄膜または二フッ化
ポリビニル（ＰＶＤＦ）重合物薄膜とすることができ
る。さらに、第１〜第３電極６０６ａ，６０６ｂ，６０
６ｃを外部電源６０８に接続して、外部から電場を印加
する。
発明にかかるサスペンションアーム・アクチュエーター
の第３実施例を示すと、そのサスペンションアーム・ア
クチュエーター６００ｂは、図６（ａ）に類似したもの
であり、同様に、図３中のサスペンションアーム・アク
チュエーター３０４に相当するものであって、プレート
構造を有するサスペンションアーム部材６０２の表面上
に複数個の圧電膜ならびに電極を備えたものである。そ
して、圧電膜と電極とを交互に積み重ね方式によりサス
ペンションアーム部材６０２の表面上に貼り付けてい
る。図示したように、第１電極６０６ａ、第１圧電膜６
０４ａ、第２電極６０６ｂ、第２圧電膜６０４ｂ、第３
電極６０６ｃを順番にサスペンションアーム部材６０２
の表面に積み重ねている。また、第１および第２圧電膜
の材料としては、ＰＺＴセラミック薄膜または二フッ化
ポリビニル（ＰＶＤＦ）重合物薄膜とすることができ
る。さらに、第１〜第３電極６０６ａ，６０６ｂ，６０
６ｃを外部電源６０８に接続して、外部から電場を印加
する。
【００１９】上記したサスペンションアーム・アクチュ
エーター６００ｂは、サスペンションアーム部材６０２
上に順番に積み重ねられた第１電極６０６ａ、第１圧電
膜６０４ａ、第２電極６０６ｂ、第２圧電膜６０４ｂ、
第３電極６０６ｃにより構成され、この発明にかかる第
３実施例を説明するためのものであって、この発明の範
囲を制限するためのものではない。従って、さらに多く
の圧電膜ならびに電極を交互に積み重ねる方式によりサ
スペンションアーム部材６０２表面上に堆積して、ディ
スクの上下動による各種の偏差を補償するとともに、能
動的かつ精確にフライング光学読み書きヘッドとディス
クとの間隔を制御することができる。
エーター６００ｂは、サスペンションアーム部材６０２
上に順番に積み重ねられた第１電極６０６ａ、第１圧電
膜６０４ａ、第２電極６０６ｂ、第２圧電膜６０４ｂ、
第３電極６０６ｃにより構成され、この発明にかかる第
３実施例を説明するためのものであって、この発明の範
囲を制限するためのものではない。従って、さらに多く
の圧電膜ならびに電極を交互に積み重ねる方式によりサ
スペンションアーム部材６０２表面上に堆積して、ディ
スクの上下動による各種の偏差を補償するとともに、能
動的かつ精確にフライング光学読み書きヘッドとディス
クとの間隔を制御することができる。
【００２０】＜第４実施例＞図７において、この発明に
かかるサスペンションアーム・アクチュエーターの第４
実施例を示すと、図３と類似したものであって、フライ
ング光学読み書きヘッド７００が、圧電サスペンション
アーム・アクチュエーター７０２により搭載支持され
て、ディスク７０４からのデータ読み出し、またはディ
スク７０４へのデータ書き込みを行うことができる。そ
して、圧電サスペンションアーム・アクチュエーター７
０２が固定端７０６によって固定され、フライング光学
読み書きヘッド７００の傾斜角度をゼロあるいは最小と
なるようにしなければならない。
かかるサスペンションアーム・アクチュエーターの第４
実施例を示すと、図３と類似したものであって、フライ
ング光学読み書きヘッド７００が、圧電サスペンション
アーム・アクチュエーター７０２により搭載支持され
て、ディスク７０４からのデータ読み出し、またはディ
スク７０４へのデータ書き込みを行うことができる。そ
して、圧電サスペンションアーム・アクチュエーター７
０２が固定端７０６によって固定され、フライング光学
読み書きヘッド７００の傾斜角度をゼロあるいは最小と
なるようにしなければならない。
【００２１】図８において、この発明にかかる圧電サス
ペンションアーム・アクチュエーターは、構造動力分析
上ではサスペンションアーム・プレートと見なすことが
できるから、図８（ａ）に第１態様を示し、図８（ｂ）
に第２態様を示し、図８（ｃ）に第３態様を示してい
る。従って、この発明にかかる圧電サスペンションアー
ム・アクチュエーター（８００ａ，８００ｂ，８００
ｃ）は、圧電膜の形状変化を利用するとともに、積み重
ね原理により例えば第１態様と第２態様とを重ね合せ
て、その重ね合わせ態様により圧電サスペンションアー
ム・アクチュエーターの運動を制御し、フライング光学
読み書きヘッドの傾斜角度をゼロとする目的を達成し
て、傾斜角度の制限に適合させようとするものである。
ペンションアーム・アクチュエーターは、構造動力分析
上ではサスペンションアーム・プレートと見なすことが
できるから、図８（ａ）に第１態様を示し、図８（ｂ）
に第２態様を示し、図８（ｃ）に第３態様を示してい
る。従って、この発明にかかる圧電サスペンションアー
ム・アクチュエーター（８００ａ，８００ｂ，８００
ｃ）は、圧電膜の形状変化を利用するとともに、積み重
ね原理により例えば第１態様と第２態様とを重ね合せ
て、その重ね合わせ態様により圧電サスペンションアー
ム・アクチュエーターの運動を制御し、フライング光学
読み書きヘッドの傾斜角度をゼロとする目的を達成し
て、傾斜角度の制限に適合させようとするものである。
【００２２】圧電サスペンションアーム・アクチュエー
ターに外部から電場を印加することにより、第１態様ま
たは第２態様を出現、あるいは第１態様および第２態様
を重ね合わせた態様を出現させることができるので、１
層以上の圧電膜に特定パターンの電極を組み合わせて、
必要な態様に対応させるとともに、積み重ね原理を運用
して、フライング光学読み書きヘッドの傾斜角度を制限
するという目的を達成することができる。図９（ａ）
（ｂ）は、それぞれ第１パターン電極ならびに第２パタ
ーン電極を形成した実施例を示すものである。
ターに外部から電場を印加することにより、第１態様ま
たは第２態様を出現、あるいは第１態様および第２態様
を重ね合わせた態様を出現させることができるので、１
層以上の圧電膜に特定パターンの電極を組み合わせて、
必要な態様に対応させるとともに、積み重ね原理を運用
して、フライング光学読み書きヘッドの傾斜角度を制限
するという目的を達成することができる。図９（ａ）
（ｂ）は、それぞれ第１パターン電極ならびに第２パタ
ーン電極を形成した実施例を示すものである。
【００２３】図９（ａ）（ｂ）において、図８（ａ）〜
（ｃ）を同時に参照すると分かりやすいように、特定パ
ターンの電極（９００ａ，９００ｂ）を利用して、圧電
膜に外部から電場を印加し、サスペンションアーム・ア
クチュエーター９０２に必要とする形態変化を発生させ
ることによって、ディスクの上下動による偏差を補償す
るとともに、能動的にフライング光学読み書きヘッドと
ディスクとの間隔を制御するものである。この発明にか
かるサスペンションアーム・アクチュエーターについて
言えば、もしも更に精確な運動制御を得たいとするなら
ば、その構造動力分析の結果のうち良好な形態を導入す
るとともに、サスペンションアーム部材上に対応する圧
電膜ならびに電極を重ね合わせれば、サスペンションア
ーム・アクチュエーターに対して更に精確な運動制御を
行うことができる。
（ｃ）を同時に参照すると分かりやすいように、特定パ
ターンの電極（９００ａ，９００ｂ）を利用して、圧電
膜に外部から電場を印加し、サスペンションアーム・ア
クチュエーター９０２に必要とする形態変化を発生させ
ることによって、ディスクの上下動による偏差を補償す
るとともに、能動的にフライング光学読み書きヘッドと
ディスクとの間隔を制御するものである。この発明にか
かるサスペンションアーム・アクチュエーターについて
言えば、もしも更に精確な運動制御を得たいとするなら
ば、その構造動力分析の結果のうち良好な形態を導入す
るとともに、サスペンションアーム部材上に対応する圧
電膜ならびに電極を重ね合わせれば、サスペンションア
ーム・アクチュエーターに対して更に精確な運動制御を
行うことができる。
【００２４】この発明にかかるサスペンションアーム・
アクチュエーターの製作方法は、典型的なサスペンショ
ンアーム（Suspension Arm）構造上に１層または多層の
例えば二フッ化ポリビニル（Polyvinylidene Fluoride
= ＰＶＤＦ）重合物圧電膜あるいはＰＺＴセラミック圧
電膜を貼り付けたり、サスペンションアーム・アクチュ
エーター表面に圧電膜を直接メッキ付けしたりすること
ができる。従って、この発明にかかるサスペンションア
ーム・アクチュエーターを光ディスクドライバーの保存
装置に応用する時には、典型的な例として、光ディスク
ドライバーの光学読み書きヘッドをあげることができ
る。また、図３に示した圧電サスペンションアーム・ア
クチュエーター３０４は、ニアフィールド光ディスクド
ライバー構造、例えばニアフィールド光学フライング読
み書きヘッドに応用することができる。
アクチュエーターの製作方法は、典型的なサスペンショ
ンアーム（Suspension Arm）構造上に１層または多層の
例えば二フッ化ポリビニル（Polyvinylidene Fluoride
= ＰＶＤＦ）重合物圧電膜あるいはＰＺＴセラミック圧
電膜を貼り付けたり、サスペンションアーム・アクチュ
エーター表面に圧電膜を直接メッキ付けしたりすること
ができる。従って、この発明にかかるサスペンションア
ーム・アクチュエーターを光ディスクドライバーの保存
装置に応用する時には、典型的な例として、光ディスク
ドライバーの光学読み書きヘッドをあげることができ
る。また、図３に示した圧電サスペンションアーム・ア
クチュエーター３０４は、ニアフィールド光ディスクド
ライバー構造、例えばニアフィールド光学フライング読
み書きヘッドに応用することができる。
【００２５】以上のごとく、この発明を好適な実施例に
より開示したが、もとより、この発明を制限するためで
はなく、当業者であれば容易に理解できるように、この
発明の技術思想の範囲内において、適当な変更ならびに
修正が当然なされうるものであるから、その特許権保護
の範囲は、特許請求の範囲および、それと均等な領域を
基準として定めなければならない。
より開示したが、もとより、この発明を制限するためで
はなく、当業者であれば容易に理解できるように、この
発明の技術思想の範囲内において、適当な変更ならびに
修正が当然なされうるものであるから、その特許権保護
の範囲は、特許請求の範囲および、それと均等な領域を
基準として定めなければならない。
【００２６】
【発明の効果】従来技術において、光ディスクが回転す
る時に発生するエアークッションを利用して、フライン
グ光学読み書きヘッドに対するフォーカッシング・サー
ボ制御を行っていたので、フライング光学読み書きヘッ
ドとディスクとに摩擦および／または衝撃が発生してフ
ライング光学読み書きヘッドおよび／またはディスクが
損傷を受けるという問題が発生していた。しかしなが
ら、上記した構成から分かるように、この発明にかかる
サスペンションアーム・アクチュエーターは、サスペン
ションアーム部材上に圧電膜および電極を重ね合わせて
外部から電場を印加することにより、能動的にサスペン
ションアーム・アクチュエーターの運動ならびにフライ
ング光学読み書きヘッドとディスクとの間隔を制御する
とともに、フライング光学読み書きヘッドの傾斜角度を
制御し、かつディスクの上下動に起因する各種の偏差を
制御することができる。従って、この発明にかかるサス
ペンションアーム・アクチュエーターは、光ディスクま
たはフライング光学読み書きヘッドが損傷を受けること
を防止するとともに、フライング光学読み書きヘッドを
異なる倍速のディスクドライバーに使用する際の適用性
を拡大することができる。また、圧電膜技術を利用する
ことにより、現行の読み書きヘッドに適応させることが
できるので、現行の読み書きヘッド構造をそのまま使用
できるとともに、スライダーの表面形状を回転速度に合
せて最適化する必要がない。従って、産業上の利用価値
が高い。
る時に発生するエアークッションを利用して、フライン
グ光学読み書きヘッドに対するフォーカッシング・サー
ボ制御を行っていたので、フライング光学読み書きヘッ
ドとディスクとに摩擦および／または衝撃が発生してフ
ライング光学読み書きヘッドおよび／またはディスクが
損傷を受けるという問題が発生していた。しかしなが
ら、上記した構成から分かるように、この発明にかかる
サスペンションアーム・アクチュエーターは、サスペン
ションアーム部材上に圧電膜および電極を重ね合わせて
外部から電場を印加することにより、能動的にサスペン
ションアーム・アクチュエーターの運動ならびにフライ
ング光学読み書きヘッドとディスクとの間隔を制御する
とともに、フライング光学読み書きヘッドの傾斜角度を
制御し、かつディスクの上下動に起因する各種の偏差を
制御することができる。従って、この発明にかかるサス
ペンションアーム・アクチュエーターは、光ディスクま
たはフライング光学読み書きヘッドが損傷を受けること
を防止するとともに、フライング光学読み書きヘッドを
異なる倍速のディスクドライバーに使用する際の適用性
を拡大することができる。また、圧電膜技術を利用する
ことにより、現行の読み書きヘッドに適応させることが
できるので、現行の読み書きヘッド構造をそのまま使用
できるとともに、スライダーの表面形状を回転速度に合
せて最適化する必要がない。従って、産業上の利用価値
が高い。
【図１】 従来技術にかかるフライング光学ヘッド構造
を示し（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
を示し（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
【図２】 圧電材料の外部電場印加による形状変化を示
す説明図である。
す説明図である。
【図３】 この発明にかかるサスペンションアーム・ア
クチュエーターのフライング光学ヘッド構造を示す側面
図である。
クチュエーターのフライング光学ヘッド構造を示す側面
図である。
【図４】 この発明にかかるサスペンションアーム・ア
クチュエーターの外部電場印加による形状変化を示す説
明図である。
クチュエーターの外部電場印加による形状変化を示す説
明図である。
【図５】 この発明にかかる光学読み書きヘッド構造を
示す構成図である。
示す構成図である。
【図６】 この発明にかかる別な光学読み書きヘッド構
造を示す説明断面図である。
造を示す説明断面図である。
【図７】 この発明にかかるサスペンションアーム・ア
クチュエーターをフライング光学読み書きヘッドに応用
した時の運動状態を示す側面図である。
クチュエーターをフライング光学読み書きヘッドに応用
した時の運動状態を示す側面図である。
【図８】 この発明にかかる圧電サスペンションアーム
・アクチュエーターの運動形態を示す説明側面図であ
る。
・アクチュエーターの運動形態を示す説明側面図であ
る。
【図９】 第１態様および第２態様を発生させる電極形
態を示す説明断面図である。
態を示す説明断面図である。
３００ フライング光学読み書きヘッド ３０２ 対物レンズ ３０４ （圧電）サスペンションアーム・アクチュエ
ーター ３０６ 光ディスク ３０８ 固定端 ５００ 光源 ５０２ 分光器 ５０４ コリメーター ５０６ 反射鏡 ５０８ 対物レンズ ５１０ 光ディスク ５１２ 光検出器 ５１４ （圧電）サスペンションアーム・アクチュエ
ーター ７００ フライング光学読み書きヘッド ７０２ （圧電）サスペンションアーム・アクチュエ
ーター ７０４ 光ディスク ７０６ 固定端
ーター ３０６ 光ディスク ３０８ 固定端 ５００ 光源 ５０２ 分光器 ５０４ コリメーター ５０６ 反射鏡 ５０８ 対物レンズ ５１０ 光ディスク ５１２ 光検出器 ５１４ （圧電）サスペンションアーム・アクチュエ
ーター ７００ フライング光学読み書きヘッド ７０２ （圧電）サスペンションアーム・アクチュエ
ーター ７０４ 光ディスク ７０６ 固定端
Claims (8)
- 【請求項１】 少なくとも、サスペンションアーム部材
と、 前記サスペンションアーム部材の表面に配置される第１
電極と、 前記第１電極の表面に配置され、前記第１電極を前記サ
スペンションアーム部材との間に位置させる圧電膜と、 前記圧電膜の表面に配置され、前記圧電膜を前記第１電
極との間に位置させる第２電極とを具備するサスペンシ
ョンアーム・アクチュエーター。 - 【請求項２】 少なくとも、サスペンションアーム部材
と、 前記サスペンション・アーム部材の表面に積み重ね方式
により配置される複数個の圧電膜と、 前記した複数個の圧電膜と交互に積み重ね方式により前
記サスペンションアーム部材の表面に配置されるととも
に、それぞれ前記サスペンションアーム部材と前記した
複数個の圧電膜の１つとの間および隣り合う前記圧電膜
の間ならびに前記した複数個の圧電膜のうち別な表面に
配置される複数個の電極とを具備するサスペンションア
ーム・アクチュエーター。 - 【請求項３】 光ディスクドライバーを含む記憶装置に
使用されるものであって、 少なくとも、サスペンショ
ンアーム部材と、 前記サスペンションアーム部材の表面に配置される第１
電極と、 前記第１電極の表面に配置され、前記第１電極を前記サ
スペンションアーム部材との間に位置させる圧電膜と、 前記圧電膜の表面に配置され、前記圧電膜を前記第１電
極との間に位置させる第２電極とを具備する記憶装置に
用いられる読み書きヘッドの対物レンズ・アクチュエー
ター。 - 【請求項４】 光ディスクドライバーを含む記憶装置に
使用されるものであって、 少なくとも、サスペンションアーム部材と、 前記サスペンションアーム部材の表面に積み重ね方式に
より配置される複数個の圧電膜と、 前記した複数個の圧電膜と交互に積み重ね方式により前
記サスペンションアーム部材の表面に配置されるととも
に、それぞれ前記サスペンションアーム部材と前記した
複数個の圧電膜の１つとの間および隣り合う前記圧電膜
の間ならびに前記した複数個の圧電膜のうち別な表面に
配置される複数個の電極とを具備する記憶装置に用いら
れる読み書きヘッドの対物レンズ・アクチュエーター。 - 【請求項５】 少なくとも、光源と、 前記光源に光学的に接続され、前記光源が発射する光束
を受光する分光器と、 前記分光器に光学的に接続され、前記分光器を通過する
光束を受光するコリメーターと、 前記コリメーターに光学的に接続され、前記コリメータ
ーを通過する光束の方向を偏向させる反射鏡と、 前記反射鏡に光学的に接続され、光束を光ディスクにフ
ォーカッシングする対物レンズと、 前記対物レンズに接続され、前記対物レンズおよび前記
光ディスク間の距離を制御するとともに、前記対物レン
ズに対するフォーカッシング・サーボ制御を行うもので
あって、 サスペンションアーム部材と、 前記サスペンションアーム部材の表面に配置される第１
電極と、 前記第１電極の表面に配置され、前記第１電極を前記サ
スペンションアーム部材との間に位置させる圧電膜と、 前記圧電膜の表面に配置され、前記圧電膜を前記第１電
極との間に位置させる第２電極とを有する対物レンズ・
アクチュエーターと、 前記分光器に光学的に接続され、前記光ディスクにより
反射されるとともに、前記対物レンズおよび前記反射鏡
ならびに前記コリメーターにより導光されてから、前記
反射鏡で偏向された光束を受光する光検出器とを具備す
る光学読み書きヘッド。 - 【請求項６】 少なくとも、光源と、 前記光源に光学的に接続され、前記光源が発射する光束
を受光する分光器と、 前記分光器に光学的に接続され、前記分光器を通過する
光束を受光するコリメーターと、 前記コリメーターに光学的に接続され、前記コリメータ
ーを通過する光束の方向を偏向させる反射鏡と、 前記反射鏡に光学的に接続され、光束を光ディスクにフ
ォーカッシングする対物レンズと、 前記対物レンズに接続され、前記対物レンズおよび前記
光ディスク間の距離を制御するとともに、前記対物レン
ズに対するフォーカッシング・サーボ制御を行うもので
あって、 サスペンションアーム部材と、 前記サスペンションアーム部材の表面に積み重ね方式に
より配置される複数個の圧電膜と、 前記した複数個の圧電膜と交互に積み重ね方式により前
記サスペンションアーム部材の表面に配置されるととも
に、それぞれ前記サスペンションアーム部材と前記した
複数個の圧電膜の１つとの間および隣り合う前記圧電膜
の間ならびに前記した複数個の圧電膜のうち別な表面に
配置される複数個の電極とを有する対物レンズ・アクチ
ュエーターと、 前記分光器に光学的に接続され、前記光ディスクにより
反射されるとともに、前記対物レンズおよび前記反射鏡
ならびに前記コリメーターにより導光されてから、前記
反射鏡で偏向された光束を受光する光検出器とを具備す
る光学読み書きヘッド。 - 【請求項７】 上記圧電膜が、その材料としてＰＺＴを
含むものである請求項１〜６いずれか１項記載のアクチ
ュエーターまたは光学読み書きヘッド。 - 【請求項８】 上記圧電膜が、その材料として二フッ化
ポリビニルを含むものである請求項１〜６いずれか１項
記載のアクチュエーターまたは光学読み書きヘッド。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW088119553A TW455844B (en) | 1999-11-09 | 1999-11-09 | Suspension arm actuator |
| TW88119553 | 1999-11-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001143425A true JP2001143425A (ja) | 2001-05-25 |
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ID=21642968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33188499A Pending JP2001143425A (ja) | 1999-11-09 | 1999-11-22 | サスペンションアーム・アクチュエーター |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JP2001143425A (ja) |
| TW (1) | TW455844B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6879469B2 (en) | 2002-11-27 | 2005-04-12 | National Chiao Tung University | Adjusting mechanism for flying pickup head in data storage device |
| CN103268767A (zh) * | 2013-05-08 | 2013-08-28 | 广东欧珀移动通信有限公司 | 光碟播放器的激光拾取单元高度控制方法 |
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-
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- 1999-12-30 US US09/474,995 patent/US20020089916A1/en not_active Abandoned
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|---|---|---|---|---|
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