JP2001143215A - 磁気ヘッドとその製造方法および磁気記録再生装置 - Google Patents
磁気ヘッドとその製造方法および磁気記録再生装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐摩耗性に優れるとともに、基板の摩耗に伴
う磁気テープとなじみにより、磁気テープとの良好な接
触も確保できる磁気ヘッドを提供する。 【解決手段】 非磁性材料からなる基板４と、その基板
に支持されて磁気テープとの間の信号変換に寄与するＭ
Ｒ素子部１とを備え、磁気テープと接触摺動させるテー
プ摺動面が、基板の面とその中央部に位置するＭＲ素子
部１の面とを含み、当該テープ摺動面に耐摩耗性の保護
膜２を設けた磁気ヘッド。保護膜２は、少なくともＭＲ
素子部１を含むテープ摺動面の一部を被覆し、テープ摺
動面内の基板４の一部を露出している。
う磁気テープとなじみにより、磁気テープとの良好な接
触も確保できる磁気ヘッドを提供する。 【解決手段】 非磁性材料からなる基板４と、その基板
に支持されて磁気テープとの間の信号変換に寄与するＭ
Ｒ素子部１とを備え、磁気テープと接触摺動させるテー
プ摺動面が、基板の面とその中央部に位置するＭＲ素子
部１の面とを含み、当該テープ摺動面に耐摩耗性の保護
膜２を設けた磁気ヘッド。保護膜２は、少なくともＭＲ
素子部１を含むテープ摺動面の一部を被覆し、テープ摺
動面内の基板４の一部を露出している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＶＴＲ、テープス
トリーマーなどの高密度に記録された磁気記録媒体から
情報を再生するために使用される磁気ヘッドとその製造
方法およびこれを用いた磁気記録再生装置に関する。
トリーマーなどの高密度に記録された磁気記録媒体から
情報を再生するために使用される磁気ヘッドとその製造
方法およびこれを用いた磁気記録再生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】昨今、映像信号のディジタル化やコンピ
ュータ関連技術の進歩によって、日々取り扱う情報量は
飛躍的に増加してきている。そして、これらを蓄積、保
存、再生するディジタルＶＴＲやテープストリーマ機器
においては、大量の情報を高速かつ適切に扱えるよう
に、磁気記録再生系の能力をこれまで以上に改善する必
要性が高まってきている。
ュータ関連技術の進歩によって、日々取り扱う情報量は
飛躍的に増加してきている。そして、これらを蓄積、保
存、再生するディジタルＶＴＲやテープストリーマ機器
においては、大量の情報を高速かつ適切に扱えるよう
に、磁気記録再生系の能力をこれまで以上に改善する必
要性が高まってきている。
【０００３】しかし、従来から幅広く使われてきたイン
ダクティブ型磁気ヘッドは、そのヘッド自身の能力限
界、例えば磁性材料の透磁率の物理的限界により磁気抵
抗を無限に小さくすることができないため、結果として
面記録密度の大幅な改善が難しい状態になりつつある。
ダクティブ型磁気ヘッドは、そのヘッド自身の能力限
界、例えば磁性材料の透磁率の物理的限界により磁気抵
抗を無限に小さくすることができないため、結果として
面記録密度の大幅な改善が難しい状態になりつつある。
【０００４】一方で、インダクティブ型磁気ヘッドとは
異なる再生原理を用いた磁気ヘッドが開発、実用化され
ている。すなわち、磁気抵抗効果を用いたいわゆるＭＲ
ヘッドである。回転ドラムを有するヘリカルスキャン型
磁気テープ装置においても、このＭＲヘッドを利用して
装置の記録密度を高めようという取り組みが始まってい
る。
異なる再生原理を用いた磁気ヘッドが開発、実用化され
ている。すなわち、磁気抵抗効果を用いたいわゆるＭＲ
ヘッドである。回転ドラムを有するヘリカルスキャン型
磁気テープ装置においても、このＭＲヘッドを利用して
装置の記録密度を高めようという取り組みが始まってい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ＭＲヘッドを
ヘリカルスキャン型磁気テープ装置に搭載するために
は、摩耗についての課題を解決しなければならない。な
ぜなら、ＭＲヘッドはその特徴を生かすため、従来のイ
ンダクティブ型ヘッドと比較してスロートハイトが小さ
く設計されおり、テープ摺動による摩耗によりスロート
ハイトがゼロに近づくと、本来のＭＲヘッドの特性を発
揮できないという問題を有している。
ヘリカルスキャン型磁気テープ装置に搭載するために
は、摩耗についての課題を解決しなければならない。な
ぜなら、ＭＲヘッドはその特徴を生かすため、従来のイ
ンダクティブ型ヘッドと比較してスロートハイトが小さ
く設計されおり、テープ摺動による摩耗によりスロート
ハイトがゼロに近づくと、本来のＭＲヘッドの特性を発
揮できないという問題を有している。
【０００６】そこで、摩耗の課題を解決する一つの方法
として、ヘッドを構成する主体となる基板にＡｌ2Ｏ3−
ＴｉＣ（以下アルチックと称する）などの硬い基板を用
いることが考えられる。この方法によれば、基板の摩耗
は抑制されるが、基板以外の部分、例えばＭＲヘッドの
磁気シールド部分やＭＲヘッドをカバーするカバー膜部
分の摩耗が進み、アルチック基板表面とＭＲヘッド表面
に段差が生じる、いわゆる偏摩耗が生じてスペーシング
ロスが発生し、出力が次第に低下してくる現象が発生す
る。
として、ヘッドを構成する主体となる基板にＡｌ2Ｏ3−
ＴｉＣ（以下アルチックと称する）などの硬い基板を用
いることが考えられる。この方法によれば、基板の摩耗
は抑制されるが、基板以外の部分、例えばＭＲヘッドの
磁気シールド部分やＭＲヘッドをカバーするカバー膜部
分の摩耗が進み、アルチック基板表面とＭＲヘッド表面
に段差が生じる、いわゆる偏摩耗が生じてスペーシング
ロスが発生し、出力が次第に低下してくる現象が発生す
る。
【０００７】更に他の、摩耗、偏摩耗の対策手段とし
て、摺動面全体に保護膜を形成することが、例えば特開
平６−１１９６１３号公報に開示されている。保護膜
は、スペーシングロスを考慮して約３０ｎｍとごく薄く
形成され、テープ摺動に対して殆ど摩耗しない強度を有
することが特徴である。しかしながら、上記保護膜を摺
動面全体に形成した磁気ヘッドは、保護膜が殆ど摩耗し
ないことから、ヘリカルスキャン型磁気テープ装置（以
下回転ドラムと称する）に搭載した後に、摺動面の形状
をなじませることが困難であり、結果的に磁気テープと
の良好な接触が得られ難い。良好な接触とはすなわち、
磁気テープとの隙間（スペーシングロス）が小さいこと
である。隙間が小さい方が、磁気テープからの信号を有
効に読みとることが容易に可能になる。
て、摺動面全体に保護膜を形成することが、例えば特開
平６−１１９６１３号公報に開示されている。保護膜
は、スペーシングロスを考慮して約３０ｎｍとごく薄く
形成され、テープ摺動に対して殆ど摩耗しない強度を有
することが特徴である。しかしながら、上記保護膜を摺
動面全体に形成した磁気ヘッドは、保護膜が殆ど摩耗し
ないことから、ヘリカルスキャン型磁気テープ装置（以
下回転ドラムと称する）に搭載した後に、摺動面の形状
をなじませることが困難であり、結果的に磁気テープと
の良好な接触が得られ難い。良好な接触とはすなわち、
磁気テープとの隙間（スペーシングロス）が小さいこと
である。隙間が小さい方が、磁気テープからの信号を有
効に読みとることが容易に可能になる。
【０００８】本発明は、摩耗、あるいは偏摩耗を生じ難
く、しかも磁気テープとの良好な接触が得られる磁気ヘ
ッドを提供することを目的とする。また、その製造方法
を提供し、さらに、そのような磁気ヘッドを用いて、上
記の課題を解決した磁気記録再生装置を提供することを
目的とする。
く、しかも磁気テープとの良好な接触が得られる磁気ヘ
ッドを提供することを目的とする。また、その製造方法
を提供し、さらに、そのような磁気ヘッドを用いて、上
記の課題を解決した磁気記録再生装置を提供することを
目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明の磁気ヘッドは、基板と、その基板に支持
されて磁気テープとの間の信号変換に寄与する変換部と
を備え、磁気テープと接触摺動させるテープ摺動面が、
基板の面とその中央部に位置する変換部の面とを含み、
当該テープ摺動面に耐摩耗性の保護膜を設けた磁気ヘッ
ドを前提とする。そして、保護膜は、テープ摺動面にお
ける少なくとも変換部を含む一部を被覆し、基板の一部
を露出していることを特徴とする。この構成により、耐
摩耗性に優れるとともに、磁気テープとの良好な接触も
確保できる磁気ヘッドを実現できる。
めに、本発明の磁気ヘッドは、基板と、その基板に支持
されて磁気テープとの間の信号変換に寄与する変換部と
を備え、磁気テープと接触摺動させるテープ摺動面が、
基板の面とその中央部に位置する変換部の面とを含み、
当該テープ摺動面に耐摩耗性の保護膜を設けた磁気ヘッ
ドを前提とする。そして、保護膜は、テープ摺動面にお
ける少なくとも変換部を含む一部を被覆し、基板の一部
を露出していることを特徴とする。この構成により、耐
摩耗性に優れるとともに、磁気テープとの良好な接触も
確保できる磁気ヘッドを実現できる。
【００１０】上記構成において、変換部をＭＲ素子によ
り構成することができる。また、これらの構成の装置を
回転ドラムに搭載した磁気ヘッド装置を構成することが
できる。さらに、その磁気ヘッド装置を具備した磁気記
録再生装置を構成することができる。
り構成することができる。また、これらの構成の装置を
回転ドラムに搭載した磁気ヘッド装置を構成することが
できる。さらに、その磁気ヘッド装置を具備した磁気記
録再生装置を構成することができる。
【００１１】本発明の磁気ヘッドの製造方法は、複数の
磁気ヘッド部を有するバー状のブロックを作製する工程
と、ブロック前面のテープ接触摺動面に、少なくとも各
磁気ヘッド部を被覆しブロック材料の一部を露出するよ
うに保護膜を形成する工程と、ブロックからヘッドチッ
プを切り出す工程とを有することを特徴とする。
磁気ヘッド部を有するバー状のブロックを作製する工程
と、ブロック前面のテープ接触摺動面に、少なくとも各
磁気ヘッド部を被覆しブロック材料の一部を露出するよ
うに保護膜を形成する工程と、ブロックからヘッドチッ
プを切り出す工程とを有することを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】（実施の形態１）本発明の実施の
形態１における磁気ヘッドについて図面を参照して説明
する。
形態１における磁気ヘッドについて図面を参照して説明
する。
【００１３】図１は、本発明の実施の形態１における薄
膜磁気ヘッドの斜視図である。図１においてＭＲ素子部
１は、ＮｉＦｅあるいはＦｅＣｏなどの異方性磁気抵抗
効果を有する薄膜磁性材料、あるいは巨大磁気抵抗効果
を有する磁性材料の磁気抵抗効果を利用した、磁気ヘッ
ドの磁電変換部を構成する。ＭＲ素子部１は、スパッタ
リング法と蒸着法により薄膜を形成し、フォトリソグラ
フィーとイオンミリング法及びケミカルエッチング法を
駆使して作成することが出来る。図１のＭＲ素子部１
は、Ｚｎフェライトからなる非磁性材料４により挟持さ
れている。ヘッド表面には、ＭＲ素子部１を保護する目
的で少なくともテープ摺動面の一部に保護膜２が３０ｎ
ｍの厚みで形成されている。３は、ＭＲ素子部１から出
力を得るためのヘッド端子である。
膜磁気ヘッドの斜視図である。図１においてＭＲ素子部
１は、ＮｉＦｅあるいはＦｅＣｏなどの異方性磁気抵抗
効果を有する薄膜磁性材料、あるいは巨大磁気抵抗効果
を有する磁性材料の磁気抵抗効果を利用した、磁気ヘッ
ドの磁電変換部を構成する。ＭＲ素子部１は、スパッタ
リング法と蒸着法により薄膜を形成し、フォトリソグラ
フィーとイオンミリング法及びケミカルエッチング法を
駆使して作成することが出来る。図１のＭＲ素子部１
は、Ｚｎフェライトからなる非磁性材料４により挟持さ
れている。ヘッド表面には、ＭＲ素子部１を保護する目
的で少なくともテープ摺動面の一部に保護膜２が３０ｎ
ｍの厚みで形成されている。３は、ＭＲ素子部１から出
力を得るためのヘッド端子である。
【００１４】保護膜２は、例えばプラズマＣＶＤ法によ
って作製したダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）を
用いて形成することができるが、ヘッドの保護を目的と
しているので、硬質の非磁性材料であれば、他の材料を
用いることもできる。また保護膜２の厚みは、スペーシ
ングロスを考慮して５０ｎｍ以下が望ましい。
って作製したダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）を
用いて形成することができるが、ヘッドの保護を目的と
しているので、硬質の非磁性材料であれば、他の材料を
用いることもできる。また保護膜２の厚みは、スペーシ
ングロスを考慮して５０ｎｍ以下が望ましい。
【００１５】図２は、図１の薄膜磁気ヘッドが磁気テー
プ６に当接した状態を示す断面図である。図２におい
て、保護膜２の長さ（Ａ）は、磁気テープ６が走行した
時の磁気テープ６による接触摺動痕５の長さ（Ｂ）より
小さい。従って、接触摺動痕５が形成されるテープ摺動
面内に非磁性材料４が露出することになる。
プ６に当接した状態を示す断面図である。図２におい
て、保護膜２の長さ（Ａ）は、磁気テープ６が走行した
時の磁気テープ６による接触摺動痕５の長さ（Ｂ）より
小さい。従って、接触摺動痕５が形成されるテープ摺動
面内に非磁性材料４が露出することになる。
【００１６】本実施の形態の構成によれば、回転ドラム
に搭載された後でも、テープ走行により非磁性材料４を
摩耗させることが可能になる。それによりテープなじみ
を最適化することができる。よって磁気テープと良好な
接触状態を持つ磁気ヘッドを得ることが出来る。尚、Ｍ
Ｒ素子部１の上面には保護膜があるため、ＭＲ素子部１
が摩耗により影響を受ける問題は発生しない。
に搭載された後でも、テープ走行により非磁性材料４を
摩耗させることが可能になる。それによりテープなじみ
を最適化することができる。よって磁気テープと良好な
接触状態を持つ磁気ヘッドを得ることが出来る。尚、Ｍ
Ｒ素子部１の上面には保護膜があるため、ＭＲ素子部１
が摩耗により影響を受ける問題は発生しない。
【００１７】（実施の形態２）図３は、本発明の実施の
形態２における磁気記録再生装置を示す走行系概略図で
ある。２１は回転ドラム装置、３５は実施の形態１の構
成を有する薄膜磁気ヘッドである。３６は記録ヘッド、
２０は供給リール、２２は巻き取りリール、２３，２
４，２５，２８，２９，３１は回転ポスト、２６，２７
は傾斜ポスト、３０はキャプスタン、３２はピンチロー
ラー、３３はテンションアーム、３４は磁気テープであ
る。供給リール２０に巻かれた磁気テープ３４は、ピン
チローラー３２とキャプスタン３０による引き込み動作
で走行し、傾斜ポスト２６、２７による案内で回転ドラ
ム装置２１に搭載されたヘッド３５、３６に押し付けら
れ、ピンチローラー３２とキャプスタン３０の間を通っ
て巻き取りリール２２に巻き取られていく。回転ドラム
装置２１は、上回転ドラム方式であり薄膜磁気ヘッド３
５、記録ヘッド３６は、回転ドラム側面から２５μｍ突
き出して各２個取付けられている。
形態２における磁気記録再生装置を示す走行系概略図で
ある。２１は回転ドラム装置、３５は実施の形態１の構
成を有する薄膜磁気ヘッドである。３６は記録ヘッド、
２０は供給リール、２２は巻き取りリール、２３，２
４，２５，２８，２９，３１は回転ポスト、２６，２７
は傾斜ポスト、３０はキャプスタン、３２はピンチロー
ラー、３３はテンションアーム、３４は磁気テープであ
る。供給リール２０に巻かれた磁気テープ３４は、ピン
チローラー３２とキャプスタン３０による引き込み動作
で走行し、傾斜ポスト２６、２７による案内で回転ドラ
ム装置２１に搭載されたヘッド３５、３６に押し付けら
れ、ピンチローラー３２とキャプスタン３０の間を通っ
て巻き取りリール２２に巻き取られていく。回転ドラム
装置２１は、上回転ドラム方式であり薄膜磁気ヘッド３
５、記録ヘッド３６は、回転ドラム側面から２５μｍ突
き出して各２個取付けられている。
【００１８】本発明の磁気記録再生装置は、薄膜磁気ヘ
ッド３５に設けた保護膜により摩耗を抑制できるため、
スローハイトの小さいＭＲヘッドを用いて高いヘッド出
力を得られる。
ッド３５に設けた保護膜により摩耗を抑制できるため、
スローハイトの小さいＭＲヘッドを用いて高いヘッド出
力を得られる。
【００１９】また保護膜の形状・寸法が適切に調整され
ているので、回転ドラム搭載後にテープ摺動面の形状を
なじませることが出来、安定で良好なテープ接触状態を
有する磁気記録再生装置を得ることが出来る。
ているので、回転ドラム搭載後にテープ摺動面の形状を
なじませることが出来、安定で良好なテープ接触状態を
有する磁気記録再生装置を得ることが出来る。
【００２０】（実施の形態３）図４〜図９は、本発明の
実施の形態３における磁気ヘッドの製造方法を示す工程
図である。
実施の形態３における磁気ヘッドの製造方法を示す工程
図である。
【００２１】先ず図４に示すように、Ｚｎフェライトか
らなる非磁性基板４、１４を準備し、非磁性基板４上
に、スパッタリング法、蒸着法、ファトリソグラフィー
およびイオンミリング法とケミカルエッチング法を駆使
して、磁気抵抗効果を利用したＭＲ素子部１を形成し
た。ここではトラック幅５μmとした。
らなる非磁性基板４、１４を準備し、非磁性基板４上
に、スパッタリング法、蒸着法、ファトリソグラフィー
およびイオンミリング法とケミカルエッチング法を駆使
して、磁気抵抗効果を利用したＭＲ素子部１を形成し
た。ここではトラック幅５μmとした。
【００２２】続いて図５に示すように、図４の工程で作
成したＭＲ素子部１を形成した非磁性基板４を、もう一
方のＺｎフェライトからなる非磁性基板１４と突き合わ
せて接着し、ヘッドバーを作成した。接着は、エポキシ
系接着剤（図示せず）を用いて行った。接着材による接
着層の厚みは薄いほうがよいため、接着温度と圧力を所
定の値に制御した。
成したＭＲ素子部１を形成した非磁性基板４を、もう一
方のＺｎフェライトからなる非磁性基板１４と突き合わ
せて接着し、ヘッドバーを作成した。接着は、エポキシ
系接着剤（図示せず）を用いて行った。接着材による接
着層の厚みは薄いほうがよいため、接着温度と圧力を所
定の値に制御した。
【００２３】次に図６のように、ヘッド摺動面の長手方
向７の曲率半径を、取付けるドラム装置に最適な値とな
るように円筒研磨機を使って研磨し、ヘッド摺動面８を
形成した。
向７の曲率半径を、取付けるドラム装置に最適な値とな
るように円筒研磨機を使って研磨し、ヘッド摺動面８を
形成した。
【００２４】さらに図７のように、ヘッドの長手方向に
ダイシングソー使って溝９を形成し、ヘッド摺動面８の
幅方向の曲率部１０を、ラッピングテープで研磨して形
成した。この時摺動面に形成した溝９により、テープ研
磨時のラッピングテープの接触状態が良好となり、所望
のヘッド形状を得ることが出来る。溝９の深さは、研磨
量より十分大きくした。また、溝９の位置は、例えばヘ
ッドチップとして切り出す際にチップ幅が１５０μｍに
なるような位置とし、溝幅は３０μｍとした。
ダイシングソー使って溝９を形成し、ヘッド摺動面８の
幅方向の曲率部１０を、ラッピングテープで研磨して形
成した。この時摺動面に形成した溝９により、テープ研
磨時のラッピングテープの接触状態が良好となり、所望
のヘッド形状を得ることが出来る。溝９の深さは、研磨
量より十分大きくした。また、溝９の位置は、例えばヘ
ッドチップとして切り出す際にチップ幅が１５０μｍに
なるような位置とし、溝幅は３０μｍとした。
【００２５】次に図８のように、表面形状を整えた薄膜
磁気ヘッドの摺動面８を、所望の位置に保護膜が形成さ
れるよう窓１２を開けたマスク１１で覆い、上面から例
えばプラズマＣＶＤ法を用いて耐摩耗性の高い保護膜２
（図９に図示）を３０ｎｍの厚さに形成した。保護膜２
の厚みは、スペーシングロスから考慮して５０ｎｍ以下
が望ましい。ここではマスク１１の窓１２の大きさは、
保護膜２がテープ接触摺動面より内側に形成されるよう
に、長さＣを２００μｍとし、幅Ｄはチップ幅全面に保
護膜２が形成されるよう１６０μｍとした。
磁気ヘッドの摺動面８を、所望の位置に保護膜が形成さ
れるよう窓１２を開けたマスク１１で覆い、上面から例
えばプラズマＣＶＤ法を用いて耐摩耗性の高い保護膜２
（図９に図示）を３０ｎｍの厚さに形成した。保護膜２
の厚みは、スペーシングロスから考慮して５０ｎｍ以下
が望ましい。ここではマスク１１の窓１２の大きさは、
保護膜２がテープ接触摺動面より内側に形成されるよう
に、長さＣを２００μｍとし、幅Ｄはチップ幅全面に保
護膜２が形成されるよう１６０μｍとした。
【００２６】次に図９のように、図８で形成したヘッド
バーから厚み１５０μｍのヘッドチップを切り出した。
バーから厚み１５０μｍのヘッドチップを切り出した。
【００２７】最後に図１０のように、切り出したヘッド
チップを、ベースプレート１３に貼り付け、回転型薄膜
磁気ヘッドを作成した。
チップを、ベースプレート１３に貼り付け、回転型薄膜
磁気ヘッドを作成した。
【００２８】以上の工程により、磁気ヘッドのテープと
接触摺動する面の少なくとも一部に、当該磁気ヘッドを
構成する主体である基板材料が露出するよう様な状態に
保護膜を形成した磁気ヘッドを製造することができる。
本実施の形態の製造方法によれば、１ヘッドバー当たり
３個の磁気ヘッドを製造することが出来る。ヘッドバー
を長くすれば磁気ヘッドの製造個数をさらに増やすこと
ができ、コスト低減を図ることが出来る。
接触摺動する面の少なくとも一部に、当該磁気ヘッドを
構成する主体である基板材料が露出するよう様な状態に
保護膜を形成した磁気ヘッドを製造することができる。
本実施の形態の製造方法によれば、１ヘッドバー当たり
３個の磁気ヘッドを製造することが出来る。ヘッドバー
を長くすれば磁気ヘッドの製造個数をさらに増やすこと
ができ、コスト低減を図ることが出来る。
【００２９】以上の実施の形態１から３においては、磁
気ヘッドとしてＭＲヘッド部を有する薄膜磁気ヘッドを
例にして説明したが、その他の薄膜磁気ヘッド、あるい
は非磁性体層と磁性体層との積層体よりなる積層型の磁
気ヘッドやＭＩＧ（Ｍｅｔａｌ Ｉｎ Gａｐ）ヘッド
に対しても同様の効果を得ることが可能である。
気ヘッドとしてＭＲヘッド部を有する薄膜磁気ヘッドを
例にして説明したが、その他の薄膜磁気ヘッド、あるい
は非磁性体層と磁性体層との積層体よりなる積層型の磁
気ヘッドやＭＩＧ（Ｍｅｔａｌ Ｉｎ Gａｐ）ヘッド
に対しても同様の効果を得ることが可能である。
【００３０】尚、上記の実施の形態において、摺動面に
形成する保護膜として、ダイヤモンドライクカーボンを
形成した例について説明したが、この他に立方晶窒化ホ
ウ素膜、ＳｉＣ、ＣｒＮ、ダイヤモンド、炭素、Ｔｉ
Ｎ、ＴｉＣ、Ｓｉ３Ｎ４、Ａｌ２Ｏ３、ＴａＣ、ＺｒＣ
等の薄膜を形成してもよい。
形成する保護膜として、ダイヤモンドライクカーボンを
形成した例について説明したが、この他に立方晶窒化ホ
ウ素膜、ＳｉＣ、ＣｒＮ、ダイヤモンド、炭素、Ｔｉ
Ｎ、ＴｉＣ、Ｓｉ３Ｎ４、Ａｌ２Ｏ３、ＴａＣ、ＺｒＣ
等の薄膜を形成してもよい。
【００３１】さらには、本発明は上述した実施の形態の
みに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しな
い範囲で種々の変更を加えることが出来る。
みに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しな
い範囲で種々の変更を加えることが出来る。
【００３２】
【発明の効果】以上のように本発明の磁気ヘッドによれ
ば、高密度記録に適し耐摩耗性に優れた磁気ヘッドを提
供することが出来る。さらにはその磁気ヘッドを用いる
ことにより、磁気ヘッドと磁気テープとの接触が良好で
磁気テープからの信号を有効に読みとることが可能な磁
気記録再生装置を提供することが出来る。
ば、高密度記録に適し耐摩耗性に優れた磁気ヘッドを提
供することが出来る。さらにはその磁気ヘッドを用いる
ことにより、磁気ヘッドと磁気テープとの接触が良好で
磁気テープからの信号を有効に読みとることが可能な磁
気記録再生装置を提供することが出来る。
【図１】 本発明の実施の形態１における薄膜磁気ヘッ
ドの斜視図
ドの斜視図
【図２】 本発明の実施の形態１における薄膜磁気ヘッ
ドの断面図
ドの断面図
【図３】 本発明の実施の形態２における磁気記録再生
装置の走行系概略図
装置の走行系概略図
【図４】 本発明の実施の形態３における、薄膜磁気ヘ
ッドの製造方法の一工程を示す斜視図
ッドの製造方法の一工程を示す斜視図
【図５】 同製造方法の他の工程を示す斜視図
【図６】 同製造方法の他の工程を示す斜視図
【図７】 同製造方法の他の工程を示す斜視図
【図８】 同製造方法の他の工程を示す斜視図
【図９】 同製造方法の他の工程を示す斜視図
【図１０】 同製造方法の他の工程を示す正面図
１ ＭＲ素子部 ２ 保護膜 ３ ヘッド端子 ４、１４ 非磁性基板 ５ 磁気テープ摺動痕 ６、３４ 磁気テープ ８ ヘッド摺動面 ９ 溝 １１ マスク １２ 窓 １３ ベースプレート ２０ 供給リール ２１ 回転ドラム装置 ２２ 巻き取りリール ２３、２４、２５、２８、２９、３１ 回転ポスト ２６、２７ 傾斜ポスト ３０ キャプスタン ３２ ピンチローラー ３３ テンションアーム ３５ 薄膜磁気ヘッド ３６ 記録ヘッド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長谷川 博幸 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 長谷川 賢治 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 高橋 健 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5D034 AA03 BA03 BA17 BA19 BB02 CA01 DA07 5D111 AA23 DD30 GG09 HH12 JJ21 KK07
Claims (5)
- 【請求項１】 基板と、前記基板に支持されて磁気テー
プとの間の信号変換に寄与する変換部とを備え、前記磁
気テープと接触摺動させるテープ摺動面が、前記基板の
面とその中央部に位置する前記変換部の面とを含み、前
記テープ摺動面に耐摩耗性の保護膜を設けた磁気ヘッド
において、 前記保護膜は、前記テープ摺動面における少なくとも前
記変換部を含む一部を被覆し前記基板の一部を露出して
いることを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項２】 変換部がＭＲ素子により構成されている
請求項１に記載の磁気ヘッド。 - 【請求項３】 請求項１または２に記載の磁気ヘッドを
回転ドラムに搭載した磁気ヘッド装置。 - 【請求項４】 請求項３に記載の磁気ヘッド装置を具備
したことを特徴とする磁気記録再生装置。 - 【請求項５】 複数の磁気ヘッド部を有するバー状のブ
ロックを作製する工程と、前記ブロック前面のテープ接
触摺動面に、少なくとも前記各磁気ヘッド部を被覆し前
記ブロック材料の一部を露出するように保護膜を形成す
る工程と、前記ブロックからヘッドチップを切り出す工
程とを有することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32029699A JP2001143215A (ja) | 1999-11-10 | 1999-11-10 | 磁気ヘッドとその製造方法および磁気記録再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32029699A JP2001143215A (ja) | 1999-11-10 | 1999-11-10 | 磁気ヘッドとその製造方法および磁気記録再生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001143215A true JP2001143215A (ja) | 2001-05-25 |
Family
ID=18119931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32029699A Pending JP2001143215A (ja) | 1999-11-10 | 1999-11-10 | 磁気ヘッドとその製造方法および磁気記録再生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001143215A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009048745A (ja) * | 2007-08-22 | 2009-03-05 | Hitachi Maxell Ltd | リニア記録型磁気ヘッドアセンブリ、およびそれを用いた磁気テープ装置 |
-
1999
- 1999-11-10 JP JP32029699A patent/JP2001143215A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009048745A (ja) * | 2007-08-22 | 2009-03-05 | Hitachi Maxell Ltd | リニア記録型磁気ヘッドアセンブリ、およびそれを用いた磁気テープ装置 |
| US8035929B2 (en) | 2007-08-22 | 2011-10-11 | Hitachi Maxell, Ltd. | Magnetic head assembly and magnetic tape driving apparatus |
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