JP2001138238A5 - - Google Patents
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Description
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、研磨ユニットに砥液を供給する砥液供給装置に用いられるスラリーポンプであって、２つの回転軸を有するロータに形成されたローブの相互の噛み合いによって送液する容積式回転ポンプを用いることを特徴とするスラリーポンプである。
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、研磨ユニットに砥液を供給する砥液供給装置に用いられるスラリーポンプであって、２つの回転軸を有するロータに形成されたローブの相互の噛み合いによって送液する容積式回転ポンプを用いることを特徴とするスラリーポンプである。
Claims (5)
- 研磨ユニットに砥液を供給する砥液供給装置に用いられるスラリーポンプであって、
２つの回転軸を有するロータに形成されたローブの相互の噛み合いによって送液する容積式回転ポンプを用いることを特徴とするスラリーポンプ。 - 接液部が樹脂製であるか又は樹脂コーティングされていることを特徴とする請求項１に記載のスラリーポンプ。
- 前記回転軸のシール部にシール液空間が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のスラリーポンプ。
- 前記回転軸のシール部にシール液空間へ供給するシール液の圧力を制御する制御機構が設けられていることを特徴とする請求項３に記載のスラリーポンプ。
- 砥液供給タンクと、該砥液供給タンクと研磨ユニットを連絡する配管系と、請求項１ないし４のいずれかに記載のスラリーポンプとを有することを特徴とする砥液供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32673799A JP3883344B2 (ja) | 1999-11-17 | 1999-11-17 | スラリーポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32673799A JP3883344B2 (ja) | 1999-11-17 | 1999-11-17 | スラリーポンプ |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001138238A JP2001138238A (ja) | 2001-05-22 |
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| JP3883344B2 JP3883344B2 (ja) | 2007-02-21 |
Family
ID=18191127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32673799A Expired - Fee Related JP3883344B2 (ja) | 1999-11-17 | 1999-11-17 | スラリーポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3883344B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2007245266A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Daikin Ind Ltd | Ｃｍｐ装置 |
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1999
- 1999-11-17 JP JP32673799A patent/JP3883344B2/ja not_active Expired - Fee Related
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