JP2001133474A - 加速度センサおよびその製造方法 - Google Patents
加速度センサおよびその製造方法Info
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- JP2001133474A JP2001133474A JP31490399A JP31490399A JP2001133474A JP 2001133474 A JP2001133474 A JP 2001133474A JP 31490399 A JP31490399 A JP 31490399A JP 31490399 A JP31490399 A JP 31490399A JP 2001133474 A JP2001133474 A JP 2001133474A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 比較的簡単な方法で感度・共振周波数等の特
性のバラツキ幅を狭くして、低価格で高性能な加速度セ
ンサの提供を可能にする。 【解決手段】 円盤形状に形成した圧電素子１を振動板
３に固定した後に、その振動板３の上面に、圧電素子１
の周面より外方で全周方向に延在するように接着剤１１
を吐出して接着固定し、共振周波数ｆ０・出力レベルの
トリミング調整を行う。
性のバラツキ幅を狭くして、低価格で高性能な加速度セ
ンサの提供を可能にする。 【解決手段】 円盤形状に形成した圧電素子１を振動板
３に固定した後に、その振動板３の上面に、圧電素子１
の周面より外方で全周方向に延在するように接着剤１１
を吐出して接着固定し、共振周波数ｆ０・出力レベルの
トリミング調整を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、振動を電気信号に
変換して加速度を検出する加速度センサおよびその製造
方法に関し、特に車載用に用いられてノッキング制御・
エアバッグ制御等を行うための加速度センサを、バラツ
キを少なく低価格かつ高性能に製造することのできるも
のに関する。
変換して加速度を検出する加速度センサおよびその製造
方法に関し、特に車載用に用いられてノッキング制御・
エアバッグ制御等を行うための加速度センサを、バラツ
キを少なく低価格かつ高性能に製造することのできるも
のに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、実用化されている加速度セン
サとしては、加えられた加速度を電磁型、圧電型、半導
体型等の種々の方式により検出するものが知られてお
り、そのうちの圧電型にあっては、圧電素子に加えられ
る応力で生じる電圧によって加速度を検出する。
サとしては、加えられた加速度を電磁型、圧電型、半導
体型等の種々の方式により検出するものが知られてお
り、そのうちの圧電型にあっては、圧電素子に加えられ
る応力で生じる電圧によって加速度を検出する。
【０００３】この種の圧電型の加速度センサとしては、
例えば、図５および図６に示すようなものがあり、この
加速度センサは、ドーナツ形状に作製して両面に電極１
ａを形成した圧電素子１により構成されており、圧電素
子１は、ケース基部２に立設した支柱２ａに溶接等する
ことにより電気的に接合支持させた円盤形状の金属振動
板３の片面（または両面でもよい）に、接着剤等により
電極１ａの一方を電気的に接合固定されている。
例えば、図５および図６に示すようなものがあり、この
加速度センサは、ドーナツ形状に作製して両面に電極１
ａを形成した圧電素子１により構成されており、圧電素
子１は、ケース基部２に立設した支柱２ａに溶接等する
ことにより電気的に接合支持させた円盤形状の金属振動
板３の片面（または両面でもよい）に、接着剤等により
電極１ａの一方を電気的に接合固定されている。
【０００４】このケース基部２はエンジンなどの測定対
象物に固定するためのネジ部２ｂを有して金属振動体３
と共に圧電素子１のアースとなる一方、圧電素子１の電
極１ａとワイヤボンディングにより電気的に接続された
ピン５がケースカバー６のコネクタ部６ａ内で外部に臨
んで出力端子とされている。なお、ケースカバー６は、
ケース基部２内に挿入して端部２ｃをかしめることによ
り固定されており、ケース基部２との間の端面間にＯリ
ング７を挟むことにより信頼性高く防水構造に固定され
ている。
象物に固定するためのネジ部２ｂを有して金属振動体３
と共に圧電素子１のアースとなる一方、圧電素子１の電
極１ａとワイヤボンディングにより電気的に接続された
ピン５がケースカバー６のコネクタ部６ａ内で外部に臨
んで出力端子とされている。なお、ケースカバー６は、
ケース基部２内に挿入して端部２ｃをかしめることによ
り固定されており、ケース基部２との間の端面間にＯリ
ング７を挟むことにより信頼性高く防水構造に固定され
ている。
【０００５】この加速度センサは、加えられた振動で振
動板３と共に圧電素子１が振動することによって、ケー
ス基部（アース）２とピン（出力端子）５との間に電圧
が発生するので、その電圧を出力として取り出し加速度
（外部振動）を検出するようになっており、一定加速度
に対しては、図７に示すように、共振点ｆ０付近では高
いＱを得られる一方、中・低周波数領域では平坦となる
周波数特性であるので、使用目的に応じて平坦部または
共振点ｆ０近傍の振動出力を使用する。
動板３と共に圧電素子１が振動することによって、ケー
ス基部（アース）２とピン（出力端子）５との間に電圧
が発生するので、その電圧を出力として取り出し加速度
（外部振動）を検出するようになっており、一定加速度
に対しては、図７に示すように、共振点ｆ０付近では高
いＱを得られる一方、中・低周波数領域では平坦となる
周波数特性であるので、使用目的に応じて平坦部または
共振点ｆ０近傍の振動出力を使用する。
【０００６】なお、図５に示す構造の加速度センサ以外
にも、円形に形成した圧電素子の周縁部をクランプする
タイプ、棒状の振動体に形成した圧電素子を片持ちに固
定するタイプ等の種々の方式があり、また、インピーダ
ンス変換回路・アンプ回路等を内部に内蔵するタイプも
ある。さらに、例えば、圧電素子１の電極１ａを径の異
なるリング状に分割し、検出用と自己診断用（駆動用）
として使用し自己診断機能を有するタイプもある。
にも、円形に形成した圧電素子の周縁部をクランプする
タイプ、棒状の振動体に形成した圧電素子を片持ちに固
定するタイプ等の種々の方式があり、また、インピーダ
ンス変換回路・アンプ回路等を内部に内蔵するタイプも
ある。さらに、例えば、圧電素子１の電極１ａを径の異
なるリング状に分割し、検出用と自己診断用（駆動用）
として使用し自己診断機能を有するタイプもある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の加速度センサにあっては、圧電素子１と振動
板３を一体にして振動体とするので、高精度に安定し
て作製するのが困難であり、寸法等のバラツキが感度等
の特性のバラツキの要因になるとともに、不良率を低減
させることを難しくし、特に共振点近傍で使用する共
振タイプではｆ０のバラツキ幅、出力レベル（Ｑ）が重
要であることから寸法精度の高い部品およびその組立が
必要となってコスト高になってしまう、という問題があ
った。
うな従来の加速度センサにあっては、圧電素子１と振動
板３を一体にして振動体とするので、高精度に安定し
て作製するのが困難であり、寸法等のバラツキが感度等
の特性のバラツキの要因になるとともに、不良率を低減
させることを難しくし、特に共振点近傍で使用する共
振タイプではｆ０のバラツキ幅、出力レベル（Ｑ）が重
要であることから寸法精度の高い部品およびその組立が
必要となってコスト高になってしまう、という問題があ
った。
【０００８】本発明は、このような問題を解決するため
になされたもので、比較的簡単な方法により共振周波数
や出力レベル（Ｑ）等の特性のバラツキ幅を狭くするこ
とを可能にし、低価格で高性能な加速度センサを提供す
るものである。
になされたもので、比較的簡単な方法により共振周波数
や出力レベル（Ｑ）等の特性のバラツキ幅を狭くするこ
とを可能にし、低価格で高性能な加速度センサを提供す
るものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の加速度センサの
製造方法は、振動板に圧電素子を固定して、前記圧電素
子の電極の間に生じる圧電により加速度を検出する加速
度センサを製造する場合に、前記振動板に前記圧電素子
を固定した後に、前記振動板または前記圧電素子の一方
あるいは双方に、重りとなる重り材料を固定して特性の
トリミング調整を行うことを特徴としている。ここで、
前記重り材料としては接着機能を有する材料を用いるの
が好ましく、また、前記振動板を円形または多角形に作
製してもよい。
製造方法は、振動板に圧電素子を固定して、前記圧電素
子の電極の間に生じる圧電により加速度を検出する加速
度センサを製造する場合に、前記振動板に前記圧電素子
を固定した後に、前記振動板または前記圧電素子の一方
あるいは双方に、重りとなる重り材料を固定して特性の
トリミング調整を行うことを特徴としている。ここで、
前記重り材料としては接着機能を有する材料を用いるの
が好ましく、また、前記振動板を円形または多角形に作
製してもよい。
【００１０】また、本発明の加速度センサは、上記製造
方法により作製したことを特徴としている。
方法により作製したことを特徴としている。
【００１１】この構成により、振動板や圧電素子の振動
部材の１箇所あるいは２箇所以上の一部または中心の周
囲の全周などに、例えば、重りとなる重り材料の振動体
としてのバランスのずれに応じた量を固定されることに
より、振動体としてのバランスを容易に調整することが
でき、周波数特性や出力特性などをトリミング調整する
ことができる。したがって、当初からの寸法精度を緩和
しつつ容易に特性を高精度に調整することができる。こ
の重り材料は、接着機能を有する樹脂などからなる接着
剤などを用いることにより、容易に振動板や圧電素子の
振動部材に固定することができる。また、振動板を多角
形にすることにより、重り材料を固定する面積を確保す
ることができ、調整を容易に行い得るようにすることが
できる。
部材の１箇所あるいは２箇所以上の一部または中心の周
囲の全周などに、例えば、重りとなる重り材料の振動体
としてのバランスのずれに応じた量を固定されることに
より、振動体としてのバランスを容易に調整することが
でき、周波数特性や出力特性などをトリミング調整する
ことができる。したがって、当初からの寸法精度を緩和
しつつ容易に特性を高精度に調整することができる。こ
の重り材料は、接着機能を有する樹脂などからなる接着
剤などを用いることにより、容易に振動板や圧電素子の
振動部材に固定することができる。また、振動板を多角
形にすることにより、重り材料を固定する面積を確保す
ることができ、調整を容易に行い得るようにすることが
できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に基づいて説
明する。図１および図２は本発明に係る加速度センサお
よびその製造方法の一実施形態を示す図であり、当該製
造方法により作製した加速度センサを示す図である。な
お、本実施形態により作製する加速度センサは、上述し
た従来技術と同様な構成を有することから、図５から図
７を流用して同様な構成には同一の符号を付して説明す
る。
明する。図１および図２は本発明に係る加速度センサお
よびその製造方法の一実施形態を示す図であり、当該製
造方法により作製した加速度センサを示す図である。な
お、本実施形態により作製する加速度センサは、上述し
た従来技術と同様な構成を有することから、図５から図
７を流用して同様な構成には同一の符号を付して説明す
る。
【００１３】まず、加速度センサは、図５および図６に
しめすように、単結晶またはセラミックスなどの圧電材
料をドーナツ形状に形成した上でその両面に製膜した電
極１ａに電圧を印加して分極させた圧電素子１を、ケー
ス基部２の支柱２ａに溶接等した振動板３の片面（また
は両面）に接着剤等により電気的に接合固定した後に、
ケースカバー６をケース基部２に固定して圧電素子１を
防水構造内に収納するとともに、そのコネクタ部６ａ内
のピン５と電極１ａとをワイヤ４のワイヤボンディング
により電気的に接続して製造する。
しめすように、単結晶またはセラミックスなどの圧電材
料をドーナツ形状に形成した上でその両面に製膜した電
極１ａに電圧を印加して分極させた圧電素子１を、ケー
ス基部２の支柱２ａに溶接等した振動板３の片面（また
は両面）に接着剤等により電気的に接合固定した後に、
ケースカバー６をケース基部２に固定して圧電素子１を
防水構造内に収納するとともに、そのコネクタ部６ａ内
のピン５と電極１ａとをワイヤ４のワイヤボンディング
により電気的に接続して製造する。
【００１４】この加速度センサは、従来技術では、各種
構成部品の寸法精度を高精度にして高性能な加速度セン
サを作製していたが、本実施形態では、振動板３の片面
に圧電素子１を固定した後に、ケース基部２をアースに
して圧電素子１に生じる圧電を出力可能に電極１ａにワ
イヤ４をワイヤーボンディングにより接合して、圧電素
子１の電極１ａとアースとの間に生じる電圧をモニタし
つつネジ部２ｂにより固定したケース基部２を加振し、
そのモニタ結果に応じて、図１に示すように、圧電素子
１の周面よりも外方の振動板（振動部材）３の上面に、
全周に延在するように樹脂よりなる接着剤（重り材料）
１１を吐出量を調整しつつ接着固定することにより、共
振周波数ｆ０・出力レベル（Ｑ）のトリミング調整を行
って、この後に、ケースカバー６をケース基部２に固定
して防水構造とする。
構成部品の寸法精度を高精度にして高性能な加速度セン
サを作製していたが、本実施形態では、振動板３の片面
に圧電素子１を固定した後に、ケース基部２をアースに
して圧電素子１に生じる圧電を出力可能に電極１ａにワ
イヤ４をワイヤーボンディングにより接合して、圧電素
子１の電極１ａとアースとの間に生じる電圧をモニタし
つつネジ部２ｂにより固定したケース基部２を加振し、
そのモニタ結果に応じて、図１に示すように、圧電素子
１の周面よりも外方の振動板（振動部材）３の上面に、
全周に延在するように樹脂よりなる接着剤（重り材料）
１１を吐出量を調整しつつ接着固定することにより、共
振周波数ｆ０・出力レベル（Ｑ）のトリミング調整を行
って、この後に、ケースカバー６をケース基部２に固定
して防水構造とする。
【００１５】この共振周波数ｆ０は、中心固定の円形振
動板３の場合、一般的には次の計算式で表され、 ｆ０＝α・ｔ／Ｒ2・（Ｅ／ρ（１−σ2））1/2 α:０．１７２（定数） ｔ:板厚 Ｒ:半径 Ｅ:ヤング率 ρ:密度 σ:ポアソン比
動板３の場合、一般的には次の計算式で表され、 ｆ０＝α・ｔ／Ｒ2・（Ｅ／ρ（１−σ2））1/2 α:０．１７２（定数） ｔ:板厚 Ｒ:半径 Ｅ:ヤング率 ρ:密度 σ:ポアソン比
【００１６】例えば、図１に示す振動板３の板厚ｔが
０．４ｍｍ、半径Ｒが７ｍｍで、 Ｅ＝２×１０11（Ｎ／ｍ2） ρ＝７．８×１０3（ｋｇ／ｍ3） σ＝０．２８ とすると、共振周波数はｆ０＝７．４１（ｋＨｚ）とな
る。なお、実際には、圧電素子１が振動板３に固定され
るため、共振周波数ｆ０は圧電素子１を含む振動部材全
体（振動体）で決まって多少値が違ってくる。
０．４ｍｍ、半径Ｒが７ｍｍで、 Ｅ＝２×１０11（Ｎ／ｍ2） ρ＝７．８×１０3（ｋｇ／ｍ3） σ＝０．２８ とすると、共振周波数はｆ０＝７．４１（ｋＨｚ）とな
る。なお、実際には、圧電素子１が振動板３に固定され
るため、共振周波数ｆ０は圧電素子１を含む振動部材全
体（振動体）で決まって多少値が違ってくる。
【００１７】このように上記式からすると、所望の共振
周波数ｆ０とするには、振動板３の板厚ｔと半径Ｒの寸
法精度を高めるのが一般的であるが、機械的な寸法公差
等から、そのバラツキ幅を小さくするには限界があり、
また、コスト高を招く要因にもなる。そして、この上記
式からわかるように、振動部材の半径Ｒや板厚ｔの影響
が大きいが、同じ板厚ｔでも半径Ｒを変化させることに
より、実験的に確認した結果、共振周波数ｆ０は、約２
〜４％／０．１ｍｍ程度で変化させることができること
がわかっている。
周波数ｆ０とするには、振動板３の板厚ｔと半径Ｒの寸
法精度を高めるのが一般的であるが、機械的な寸法公差
等から、そのバラツキ幅を小さくするには限界があり、
また、コスト高を招く要因にもなる。そして、この上記
式からわかるように、振動部材の半径Ｒや板厚ｔの影響
が大きいが、同じ板厚ｔでも半径Ｒを変化させることに
より、実験的に確認した結果、共振周波数ｆ０は、約２
〜４％／０．１ｍｍ程度で変化させることができること
がわかっている。
【００１８】これと同様に、本実施形態では、振動部材
の一部や中心の周囲の全周に接着剤１１を適宜接着固定
することにより、機械的な抵抗分として働くと共に、重
量を増加させる機能などとしても働いて、振動体として
のバランスを調整することによって、共振周波数ｆ０・
出力レベル（Ｑ）のトリミング調整を行うことができる
ことに想到し、これを実験により確認したところ、前述
の寸法例での実験結果によれば、外周付近の振幅の大き
い部分に接着剤１１を固定する方が大きくトリミング調
整を行うことができ、例えば、全周に１．５〜２ｍｍ幅
程度に調整するシリコン樹脂を大量に吐出して接着固定
した場合で、共振周波数ｆ０を約−１５％程度、共振点
での出力レベルで約−４２％程度と大きく調整すること
ができた。この出力レベルはＱの変化によるものであ
り、大きくＱをダンプすることができる。また、接着剤
１１として、比較的硬いエポキシ系接着剤を用いた場合
で、全周１ｍｍ幅程度の微少に吐出して接着固定した場
合で、共振周波数ｆ０を−１％程度（出力レベルは殆ど
変化無し）に調整することができた。
の一部や中心の周囲の全周に接着剤１１を適宜接着固定
することにより、機械的な抵抗分として働くと共に、重
量を増加させる機能などとしても働いて、振動体として
のバランスを調整することによって、共振周波数ｆ０・
出力レベル（Ｑ）のトリミング調整を行うことができる
ことに想到し、これを実験により確認したところ、前述
の寸法例での実験結果によれば、外周付近の振幅の大き
い部分に接着剤１１を固定する方が大きくトリミング調
整を行うことができ、例えば、全周に１．５〜２ｍｍ幅
程度に調整するシリコン樹脂を大量に吐出して接着固定
した場合で、共振周波数ｆ０を約−１５％程度、共振点
での出力レベルで約−４２％程度と大きく調整すること
ができた。この出力レベルはＱの変化によるものであ
り、大きくＱをダンプすることができる。また、接着剤
１１として、比較的硬いエポキシ系接着剤を用いた場合
で、全周１ｍｍ幅程度の微少に吐出して接着固定した場
合で、共振周波数ｆ０を−１％程度（出力レベルは殆ど
変化無し）に調整することができた。
【００１９】したがって、振動板３の寸法精度を緩和し
ても、その振動板３の外周縁側の全周に延在するように
接着剤１１を吐出し接着固定するのみで、共振周波数ｆ
０・出力レベルをアップさせるトリミング調整を行うこ
とができ、この接着剤１１の吐出量を円周方向に調整す
ることにより共振周波数ｆ０・出力レベルを高精度に調
整することができる。この接着剤１１の固定個所は、全
周に限らず、振動板３のバランス等を考慮して、１箇所
あるいは複数箇所にしてもよく、これにより調整範囲を
大きくすることができるとともにその調整を微調化する
こともできる。
ても、その振動板３の外周縁側の全周に延在するように
接着剤１１を吐出し接着固定するのみで、共振周波数ｆ
０・出力レベルをアップさせるトリミング調整を行うこ
とができ、この接着剤１１の吐出量を円周方向に調整す
ることにより共振周波数ｆ０・出力レベルを高精度に調
整することができる。この接着剤１１の固定個所は、全
周に限らず、振動板３のバランス等を考慮して、１箇所
あるいは複数箇所にしてもよく、これにより調整範囲を
大きくすることができるとともにその調整を微調化する
こともできる。
【００２０】なお、接着剤１１としては、柔らかいもの
や硬いものを適宜選択して使用すればよく、本実施形態
のシリコン樹脂やエポキシ系接着剤に限るものではな
く、また、接着剤自体に限らず、表面に接着機能を塗布
したものや、振動板３側に接着機能を持たせるようにし
ても同様なトリミング調整を行うことができることはい
うまでもない。また、この接着剤１１は、全周に延在さ
せる場合に限らず、１箇所あるいは複数箇所に吐出して
接着固定し、機械的な抵抗分として、また、重量を増加
させる重りなどとして機能させるようにしてもよい。
や硬いものを適宜選択して使用すればよく、本実施形態
のシリコン樹脂やエポキシ系接着剤に限るものではな
く、また、接着剤自体に限らず、表面に接着機能を塗布
したものや、振動板３側に接着機能を持たせるようにし
ても同様なトリミング調整を行うことができることはい
うまでもない。また、この接着剤１１は、全周に延在さ
せる場合に限らず、１箇所あるいは複数箇所に吐出して
接着固定し、機械的な抵抗分として、また、重量を増加
させる重りなどとして機能させるようにしてもよい。
【００２１】このように本実施形態においては、振動体
としてのバランスを容易に調整して、共振周波数ｆ０や
出力レベルなどの特性のトリミング調整を容易に行うこ
とができ、安価に作製可能な寸法精度の部品でも、組立
工程の途中にトリミング工程を入れることにより、加速
度センサとしての特性のバラツキ幅を容易に狭くするこ
とができる。したがって、高性能な加速度センサを低コ
ストに作製することができる。
としてのバランスを容易に調整して、共振周波数ｆ０や
出力レベルなどの特性のトリミング調整を容易に行うこ
とができ、安価に作製可能な寸法精度の部品でも、組立
工程の途中にトリミング工程を入れることにより、加速
度センサとしての特性のバラツキ幅を容易に狭くするこ
とができる。したがって、高性能な加速度センサを低コ
ストに作製することができる。
【００２２】また、本実施形態の第１の他の態様として
は、図２に示すように、接着剤１１を圧電素子１の外周
面と振動板３の上面との双方（境界）に接着固定させる
ように吐出するものであり、この場合には、上述実施形
態よりも接着剤１１が内方に位置するので、接着剤１１
による影響を小さくすることができ、トリミング調整の
微調化を図ることができる。例えば、この他の態様の位
置に、接着剤１１を全周に１．５〜２ｍｍ幅程度でシリ
コン樹脂を大量に吐出した場合で、共振周波数ｆ０を約
−８％程度、共振点での出力レベルで約−３８％程度の
トリミング調整を行うことができた。
は、図２に示すように、接着剤１１を圧電素子１の外周
面と振動板３の上面との双方（境界）に接着固定させる
ように吐出するものであり、この場合には、上述実施形
態よりも接着剤１１が内方に位置するので、接着剤１１
による影響を小さくすることができ、トリミング調整の
微調化を図ることができる。例えば、この他の態様の位
置に、接着剤１１を全周に１．５〜２ｍｍ幅程度でシリ
コン樹脂を大量に吐出した場合で、共振周波数ｆ０を約
−８％程度、共振点での出力レベルで約−３８％程度の
トリミング調整を行うことができた。
【００２３】また、本実施形態の第２の他の態様として
は、図３に示すように、接着剤１１を圧電素子１の電極
１ａ上に接着固定させるように吐出するものであり、こ
の場合には、上述実施形態よりも接着剤１１をさらに内
方に位置させるので、接着剤１１による影響をより小さ
くすることができ、トリミング調整の微調化を図ること
ができる。例えば、この他の態様の位置に、接着剤１１
を全周に１．５〜２ｍｍ幅程度でシリコン樹脂を大量に
吐出した場合で、共振周波数ｆ０を約−２．７％程度、
共振点での出力レベルで約−２３％程度のトリミング調
整を行うことができた。
は、図３に示すように、接着剤１１を圧電素子１の電極
１ａ上に接着固定させるように吐出するものであり、こ
の場合には、上述実施形態よりも接着剤１１をさらに内
方に位置させるので、接着剤１１による影響をより小さ
くすることができ、トリミング調整の微調化を図ること
ができる。例えば、この他の態様の位置に、接着剤１１
を全周に１．５〜２ｍｍ幅程度でシリコン樹脂を大量に
吐出した場合で、共振周波数ｆ０を約−２．７％程度、
共振点での出力レベルで約−２３％程度のトリミング調
整を行うことができた。
【００２４】また、本実施形態の第３の他の態様として
は、図４に示すように、振動板３を六角形などの多角形
に形成することにより、その頂角部に接着剤１１を吐出
する個所を大きく確保することができ、この接着剤１１
を複数箇所に接着固定するようにして、大きなトリミン
グ調整を可能にする一方、その調整を微調化することも
できる。なお、この振動板３の多角形化は、六角形に限
らず、三角形や四角形、また七角形以上であってもよい
ことはいうまでもない。
は、図４に示すように、振動板３を六角形などの多角形
に形成することにより、その頂角部に接着剤１１を吐出
する個所を大きく確保することができ、この接着剤１１
を複数箇所に接着固定するようにして、大きなトリミン
グ調整を可能にする一方、その調整を微調化することも
できる。なお、この振動板３の多角形化は、六角形に限
らず、三角形や四角形、また七角形以上であってもよい
ことはいうまでもない。
【００２５】なお、上述実施形態では、中心固定する振
動板３の場合を一例に説明するが、外周を固定する構造
の場合などにも適用して、同様な作用効果を得るように
してもよいことはいうまでもない。
動板３の場合を一例に説明するが、外周を固定する構造
の場合などにも適用して、同様な作用効果を得るように
してもよいことはいうまでもない。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、振動板
や圧電素子に重り材料を固定して特性のトリミング調整
を行うことにより、振動体としてのバランスを容易に調
整することができ、周波数特性や出力特性のトリミング
などを容易に行って特性を容易に調整することができ
る。したがって、安価に作製可能な寸法精度の部材を用
いても、感度・共振周波数等の特性のバラツキ幅を容易
に狭くすることができ、低価格で高性能という優れた効
果を有するな加速度センサを提供することができる。
や圧電素子に重り材料を固定して特性のトリミング調整
を行うことにより、振動体としてのバランスを容易に調
整することができ、周波数特性や出力特性のトリミング
などを容易に行って特性を容易に調整することができ
る。したがって、安価に作製可能な寸法精度の部材を用
いても、感度・共振周波数等の特性のバラツキ幅を容易
に狭くすることができ、低価格で高性能という優れた効
果を有するな加速度センサを提供することができる。
【図１】本発明に係る加速度センサの製造方法の一実施
形態により作製した加速度センサを示す図であり、
（ａ）はその要部の平面図、（ｂ）はその要部の立面図
である。
形態により作製した加速度センサを示す図であり、
（ａ）はその要部の平面図、（ｂ）はその要部の立面図
である。
【図２】その第１の他の態様を説明する図であり、
（ａ）はその要部の平面図、（ｂ）はその要部の立面図
である。
（ａ）はその要部の平面図、（ｂ）はその要部の立面図
である。
【図３】その第２の他の態様を説明する図であり、
（ａ）はその要部の平面図、（ｂ）はその要部の立面図
である。
（ａ）はその要部の平面図、（ｂ）はその要部の立面図
である。
【図４】その第３の他の態様を説明する図であり、
（ａ）はその要部の平面図、（ｂ）はその要部の立面図
である。
（ａ）はその要部の平面図、（ｂ）はその要部の立面図
である。
【図５】その従来技術を説明する図であり、その全体構
成を示す縦断面図である。
成を示す縦断面図である。
【図６】その圧電素子の組立状態を示す斜視図である。
【図７】その特性を説明するグラフである。
１ 圧電素子 １ａ 表面電極 ２ ケース基部 ３ 振動板 ６ ケースカバー １１ 接着剤（重り材料）
Claims (4)
- 【請求項１】 振動板に圧電素子を固定して、前記圧電
素子の電極の間に生じる圧電により加速度を検出する加
速度センサの製造方法であって、 前記振動板に前記圧電素子を固定した後に、前記振動板
または前記圧電素子の一方あるいは双方に、重りとなる
重り材料を固定して特性のトリミング調整を行うことを
特徴とする加速度センサの製造方法。 - 【請求項２】 前記重り材料として、接着機能を有する
材料を用いることを特徴とする請求項１に記載の加速度
センサの製造方法。 - 【請求項３】 前記振動板を、円形または多角形に作製
することを特徴とする請求項１または２に記載の加速度
センサの製造方法。 - 【請求項４】 上記請求項１から３のいずれかに記載の
製造方法により作製したことを特徴とする加速度セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31490399A JP2001133474A (ja) | 1999-11-05 | 1999-11-05 | 加速度センサおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31490399A JP2001133474A (ja) | 1999-11-05 | 1999-11-05 | 加速度センサおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001133474A true JP2001133474A (ja) | 2001-05-18 |
Family
ID=18059036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31490399A Pending JP2001133474A (ja) | 1999-11-05 | 1999-11-05 | 加速度センサおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001133474A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113985067A (zh) * | 2021-12-29 | 2022-01-28 | 山东利恩斯智能科技有限公司 | 一种平面挠曲式大灵敏度加速度传感器及制作方法 |
-
1999
- 1999-11-05 JP JP31490399A patent/JP2001133474A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113985067A (zh) * | 2021-12-29 | 2022-01-28 | 山东利恩斯智能科技有限公司 | 一种平面挠曲式大灵敏度加速度传感器及制作方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051130 |
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| A977 | Report on retrieval |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080219 |
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