JP2001133363A - 光学式情報記録再生ユニットの光学性能評価システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 信頼度の高い温度特性の評価を行うことが可
能な光学式情報記録再生ユニットの評価装置を提供す
る。 【解決手段】 光学式情報記録再生ユニット１１が収納
され、そこから射出される光束を外部へ導く透過部１７
が設けられ、内部温度を任意に設定可能なチャンバ１０
と、光学式情報記録再生ユニットから射出され、透過部
を透過したレーザ光束の光学性能を測定するための光学
性能測定装置２０とを有し、透過部には所定の開口径を
有する絞り部１７が形成され、絞り部近傍には情報記録
再生ユニットの設計上の光軸と略直交する面に平行な反
射面が設けられ、光学性能測定装置は、対物光学系２４
と、反射部に向けて光束を射出する光源と、反射部によ
り反射された光束を受光する受光手段とを有し、対物光
学系を介して観察される窓部の位置に基づいて位置ずれ
が検出され、受光手段による光束の受光位置に基づいて
光学性能測定装置のチャンバに対する傾角が検出され
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、光情報記録再生
装置などの光学系の光学性能の温度特性を評価する、光
学式情報記録再生装置の評価装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、光学式情報記録再生装置の光
学性能が、環境温度によりどの程度変化するのかを評価
するため、図８に示すような評価装置が用いられてい
る。図８において、検査対象となる光学情報記録再生ユ
ニット１０１が、密閉されたチャンバ１００に設けられ
た台座１０２に取り付けられている。チャンバ内はダク
ト１０３を介して加熱もしくは冷却用の空気が送り込ま
れ、内部温度が変更できるようになっている。光学情報
記録再生ユニット１０１は、対物レンズおよびその駆動
部が組み込まれない状態でチャンバ内に設置され、ユニ
ット内部の光源部（図示せず）から射出されたレーザ光
束（ほぼ平行光）が、チャンバ壁面に設けられた透明部
１０４から、光学性能測定装置１０５に入射する。光学
性能測定装置１０５の光軸（対物レンズ１０６の光軸）
は、チャンバ内に設置された光学式情報記録再生ユニッ
ト１０１の光軸（射出光束の中心光線）と一致してい
る。このような状態で、チャンバ内の温度を変えつつ、
光学式情報記録再生ユニット１０１からの出射レーザ光
束の出射角度、強度分布、波面収差等の光学性能を観測
する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】図９は、温度特性を評
価する際の、従来の光学式情報記録再生ユニット１０１
と光学性能測定装置１０５の位置関係を示す拡大図であ
る。チャンバ内の温度変化により、光学式情報記録再生
ユニット１０１からの射出光が、光学性能評価装置１０
５の光軸に対して傾く。光学性能評価装置１０５に入射
する光束の角度が変化するために、評価装置において測
定されるレーザ光束の出射角度、強度分布、波面収差な
どが変化することになる。

【０００４】図９において、角度θ10は光学性能測定装
置１０５により測定される、光束射出方向のずれ角、θ
11は光学性能測定装置１０５とチャンバ１００の相対的
なずれ角、そしてθ12は光学式情報記録再生装ユニット
１０１のみの温度特性による光束の射出方向のずれ角で
ある。この、従来の構成では、測定の結果得られる角度
θ10は、光学式情報記録再生ユニット１０１の温度特性
によるずれ角θ12と、それ以外の要因によるずれ角（光
学性能測定装置とチャンバの相対的なずれ角）θ11の合
成角である。すなわち、従来の装置では、測定計の各装
置の相対的な位置関係にずれが生じた場合、測定された
光学性能の変化が、光学式情報記録再生ユニットの温度
特性のみによる変化なのか、それとも測定系の温度特性
も含まれた変化なのかを判断することが極めて困難であ
り、信頼度の高い温度特性の評価の妨げとなっていた。

【０００５】この発明は、上述した従来技術の問題に鑑
みてなされたものであり、信頼度の高い温度特性の測定
を行うことが可能な光学式情報記録再生ユニットの評価
システムを提供することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１に記載の光学性能評価システムは、光学式
情報記録再生ユニットが収納され、前記光学式情報記録
再生ユニットから射出される光束を外部へ導く透過部が
設けられ、内部温度を任意に設定することが可能な密閉
されたチャンバと、前記光学式情報記録再生ユニットか
ら射出され、前記透過部を透過したレーザ光束の光学性
能を測定するための光学性能測定装置と、を有し、前記
透過部には所定の開口径を有する絞り部が形成され、前
記絞り部近傍には前記情報記録再生ユニットの設計上の
光軸とほぼ直交する面に平行な反射面が形成されてお
り、前記光学性能測定装置は、対物光学系と、前記反射
部に向けて光束を射出する光源と、前記反射部により反
射された光束を受光する受光手段と、を有し、前記対物
光学系を介して観察される前記窓部の位置に基づいて位
置ずれが検出され、前記受光手段による光束の受光位置
に基づいて前記光学性能測定装置の前記チャンバに対す
る傾角が検出されること、を特徴としている。

【０００７】なお、情報記録再生ユニットの光学性能の
測定には、情報記録再生ユニットの光源を用いても良い
し、情報記録再生ユニットに光源を取り付けない状態で
該チャンバに収納し、外部の光源を基準光源として利用
しても良い。この場合、測定装置から位置あわせの為に
射出される光束を利用して、上記透過部から情報記録再
生ユニットに入射した光束が、情報記録再生ユニット内
の光学部品を通過した後に反射された後、上記透過部か
ら測定装置に入射するようにしても良い。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、この発明に係る光情報記録
再生ユニットの光学性能評価システムについて説明す
る。

【０００９】図１は、本発明の第１の実施形態の評価シ
ステム１の全体構成を示す側面図である。評価システム
１は、被検サンプルである光学式情報記録再生ユニット
（以下記録再生ユニットと略す）１１が取り付けられる
チャンバ１０と、記録再生ユニット１１から射出される
レーザ光束の出射角度、強度分布、波面収差などを測定
するための光学性能測定装置（以下、測定装置と略す）
２０とを有する。

【００１０】チャンバ１０は、補強部材１２によりベー
ス部材３０上に立設されたチャンバ基準部材１４にケー
ス部材１５が取り付けられた構造となっている。ケース
部材１５のチャンバ基準部材側は開口となっており、チ
ャンバ基準部材１４とケース部材１５により、チャンバ
１０が形成されている。チャンバ内部は密閉されてお
り、加熱・冷却装置に接続されたエア・ダクト５が取り
付けられている。チャンバ内部に記録再生ユニット１１
が取り付けられ、エア・ダクト５を介してチャンバ内に
空気を送り込むことにより、チャンバ内部の温度を所望
の温度に設定することができる。

【００１１】測定装置２０は、本体がＹ軸ステージ２１
およびゴニオステージ２２を介して断面Ｌ字状の固定部
材２３に取り付けられており、固定部材２３がＸ軸ステ
ージ２６および回転ステージ２５を介してベース部材３
０に取り付けられている。Ｙ軸ステージ２１は、本体
を、ゴニオステージ２２と共に、図中縦方向（Ｙ軸方
向）に移動させためのステージである。ゴニオステージ
２２は本体を図中矢印ＲＢで示す方向に回動させる。Ｘ
軸ステージ２６は、固定部材２３をＸ軸方向（図１の紙
面に垂直な方向）に移動させることができる。また、回
転ステージ２５は固定部材２３を図中矢印ＲＡで示す方
向に回動させる。

【００１２】図２は、チャンバ内部および測定装置２０
の対物レンズ２４近傍を拡大して示す側面図である。チ
ャンバ基準部材１４のチャンバ内部の面には、基準座面
部１６が数カ所に設けられている。記録再生ユニット１
１は、図２に示すように、その底面が基準座面部１６に
当接された状態でチャンバ内部に保持される。

【００１３】記録再生ユニット１１の温度変化に対する
光学性能を評価する際には、まず、測定装置２０・記録
再生ユニット１１を、両者の光軸が一致するように配置
する。上述のＸ軸ステージ２６、Ｙ軸ステージ２１、ゴ
ニオステージ２２、回転ステージ２５等を適宜調整し
て、チャンバ１０に対する測定装置２０の姿勢を適宜調
整する。なお、以下に述べる位置ずれの補正方法は、初
期位置の設定時にも用いることができる。

【００１４】チャンバー基準部材１４の、光学性能測定
装置２０の対物レンズ２４と対向する位置には、光学的
強度分布などを観測する際の基準となる基準絞り部１７
が形成されており、基準絞り部１７の、光学性能測定装
置２０に面した外縁部には、基準反射部１８が設けられ
ている。基準反射部１８の反射面は、チャンバー基準部
材１４に取り付けられた光学式情報記録再生ユニット１
１から射出されるレーザ光束とほぼ直交する平面に含ま
れる。なお、上記反射部１８を形成するため、チャンバ
基準部材１４は研磨加工可能な金属により形成されてお
り、反射面１８は鏡面仕上げにより形成されている。

【００１５】なお、本実施の形態において、光学式情報
記録再生ユニットは、光源はすでに組み込まれ、かつ対
物レンズ（およびその駆動部）は取り付けられていない
状態でチャンバ１０に装着される。また、光学式情報記
録再生ユニット１１がチャンバ基準部材１４に取り付け
られた状態で、記録再生ユニットに取り付けられるべき
対物レンズ（図２に破線で示す）１９の主平面の位置が
基準絞り１７の位置とほぼ一致するようになっている。
基準絞り１７の径は、記録再生ユニット１１に取り付け
られるべき対物レンズ１９の有効径とほぼ同等か、それ
以上の大きさに設定されている。また、光学性能測定装
置２０は、その対物レンズ２４の焦点位置が基準絞り１
７の位置とほぼ一致するように配置される。

【００１６】図２においては、記録再生ユニット１１か
ら射出される光束は、測定装置２０の光軸とほぼ一致し
ているが、チャンバ内の温度変化により、記録再生ユニ
ット１１から射出される光束は、図２の縦方向（Ｙ軸方
向）に変動すると共に、その射出方向も測定装置２０の
光軸（すわちＸ軸方向）に対し傾く可能性がある。この
時、もしも測定装置２０とチャンバ１０との間で相対的
な位置ずれや、傾角のずれが生じていると、記録再生装
置の温度試験を正確に行うことができなくなる。

【００１７】上記の問題を避けるため、本実施の形態に
おいては、測定装置２０とチャンバ１０との相対的な位
置ずれを検出することができるようになっている。この
装置間の位置ずれについて図３および図４を参照して説
明する。

【００１８】図３は、Ｙ軸方向において測定装置２０と
チャンバ１０の位置がずれている場合の例を示す図であ
る。図中Ｄ1は、記録再生ユニット１１のみの温度特性
に起因する、光束の強度分布の中心の、基準絞り１７の
中心位置からのずれ量（Ｙ軸方向）を示し、Ｄ2は、測
定装置２０とチャンバ１０とのＹ軸方向における相対的
ずれ量を示す。Ｄ0は、測定装置２０の光軸と、記録再
生ユニット１１から射出される光束の強度分布の中心と
のＹ軸方向における距離を示す。

【００１９】測定装置２０の対物レンズは、測定装置２
０の光軸と基準絞り部１７の中心が一致しているとき
に、記録再生ユニット１１から射出され基準絞り部１７
を透過したレーザ光束をすべて取り込むことができるよ
うになっているため、図３のように、基準絞り部１７と
測定装置２０との間にずれがある場合には、そのずれ量
（すなわちＤ２）だけ基準絞り部１７の位置がずれて観
測されることになる。

【００２０】ここで、基準絞り部１７の中心が観測範囲
の中心となるよう、測定装置２０本体をＹ軸ステージに
よりＹ軸方向に移動させることにより、Ｄ2をゼロにす
ることができる。すなわち、基準絞り部１７と測定装置
２０との間の相対的なずれ量Ｄ2をゼロにすることがで
き、記録再生装置のみの温度特性に起因するずれ量Ｄ1
を求めることができる。

【００２１】図４は、測定装置２０とチャンバ１０との
間に相対的な傾角ずれがある場合の例を示す図である。
図中、角度θ1は、記録再生ユニット１１のみの温度特
性に起因する、光束の出射方向の、設計上の光軸からの
ずれを示し、角度θ2は、測定装置２０とチャンバ１０
との間の相対的傾角ずれを示す。θ0は、測定装置２０
の光軸と、記録再生ユニット１１から射出されるレーザ
光束との間の相対的なずれ角を示す。

【００２２】次に図５を参照して、測定装置２０とチャ
ンバ１０との相対位置のずれ量および相対的な傾角の測
定について説明する。図５は、測定装置とチャンバ１０
との相対位置を計測するための測定システムの原理を示
す図である。測定装置２０内部には、ビームスプリッタ
６２、６３を介して基準反射部に入射する光束を射出す
るレーザ光源６１、基準反射部１８で反射された光束
を、ビームスプリッタ６３、６２、コリメートレンズ６
５を介して受光するＣＣＤカメラ６６、同じくビームス
プリッタ６３、６４および結像レンズ６７を介して受光
するＣＣＤカメラ６８とが配置されている。

【００２３】基準反射部１８で反射され、ビームスプリ
ッタ６３のハーフミラー面６３Ａを透過し、ビームスプ
リッタ６４のハーフミラー面６４Ａで反射された光束
は、結像レンズ６７によりＣＣＤカメラ６８の受光面上
で結像する。ＣＣＤカメラ６８の受光面は基準反射部１
８（基準絞り１７）とほぼ共役な位置に配置されてい
る。ＣＣＤカメラ６８により撮像される基準絞り１７の
像の重心位置の、基準位置からのずれ量（Ｘ方向および
Ｙ方向）を検出することにより、測定装置２０とチャン
バ１０との相対的な位置ずれを知ることができる。

【００２４】また、基準反射部１８で反射され、ビーム
スプリッタ６３のハーフミラー面６３Ａで反射され、ビ
ームスプリッタ６２のハーフミラー面６２Ａで反射され
た光束がコリメートレンズ６５を介してＣＣＤカメラ６
６により受光される。ＣＣＤカメラ６６の受光面上に結
像した光点の、チャンバ１０と測定装置２０の相対的な
傾きが０の時の基準位置に対する位置を検出することに
より、チャンバ１０の測定装置２０に対する傾角および
その方向を検出することができる。

【００２５】ＣＣＤカメラ６８で撮像された基準絞りの
像をディスプレイに表示し、これをモニタしながらＸス
テージ２６およびＹステージ２１を調整して、基準絞り
の重心を基準位置（ディスプレイ上の所定位置）に合わ
せることにより、測定装置２０とチャンバ１０との間の
相対的な位置ずれをゼロにする事ができる。また、ＣＣ
Ｄカメラ６６で撮像された光点をディスプレイに表示
し、これをモニタしながら光点がディスプレイ上の所定
位置に来るよう、ゴニオステージ２２により測定装置２
０の傾角を変えることにより、測定装置２０とチャンバ
１０との間の相対的傾角ずれθ2をゼロにすることがで
きる。常温において上記のようにして測定装置２０とチ
ャンバ１０との相対位置を調整した後に、レーザ光源６
１をオフにする。次に、エア・ダクト５を介してチャン
バ１０内に冷気または熱気を送り込むと共にチャンバ１
０内の記録再生ユニット１１の光源を点灯し、基準絞り
から射出された光束を干渉計を用いて計測することによ
り、記録再生ユニット１１のみの温度特性に起因するレ
ーザ光の射出角度の変化を測定することができる。

【００２６】上述のように、測定装置２０とチャンバ１
０との間の相対的な位置ずれ・傾角ずれを修正すること
ができるため、常に記録再生ユニット１１のみの温度特
性を測定することができる。

【００２７】なお、Ｙ軸ステージ２１・ゴニオステージ
２２（さらには、Ｘ軸ステージ２６・回転ステージ２
５）をモータ駆動するよう構成し、上述のずれ量Ｄ2、
ずれ角θ2に基づいて、各ステージをフィードバック制
御するようにすれば、測定装置２０とチャンバ１０との
間のずれを自動修正することも可能である。

【００２８】また、測定装置２０とチャンバ１０との間
の相対的なずれは比較的小さいものであるため、測定装
置２０の位置・姿勢の修正を行わず、測定された位置Ｄ
0、角度θ0と、位置ずれＤ2、傾角ずれθ2とに基づいて
測定値に補正演算を施すことにより、正しい値を求める
ことも可能である。

【００２９】例えば、レーザ強度分布は、基準絞り１７
の位置を検出し、絞り位置に対する相対的な強度分布を
測定すればよい。また、傾角の測定は、まず、ディスプ
レイ上での初期位置を傾角ゼロとの位置とする。この状
態から、もしも傾角にずれが生じれば、ディスプレイ上
の光点が傾角のずれ量の２倍の感度でずれる。このと
き、ディスプレイ上での光点の軌跡の中点を新たな傾角
ゼロの位置として、光学式情報記録再生ユニット１１か
ら射出される光束の角度を測定すればよい。波面収差に
ついては、測定装置２０とチャンバ１０との間の相対的
なずれに起因する見かけ上の絞り位置の移動に合わせ
て、絞り内の領域を測定領域とし、さらに測定された波
面収差に現れるチルト成分のうち傾角のずれによるもの
を差し引くことにより、補正された値を得ることができ
る。

【００３０】図６は、図２に示す構成の第１の変形例を
示す図である。図２に示す実施形態においては、記録再
生ユニット１１には光源が搭載されており、該光源から
射出される光束を測定装置２０により測定するように構
成されていた。本変形例においては、光源が搭載される
前の、光学部品のみが設けられた記録再生ユニット１１
Ａの温度特性を計測することができる。

【００３１】図６に示すように、本変形例においては、
チャンバ基準部材１４に取り付けられたチャンバケース
部材１５には、光源が搭載される前の記録再生ユニット
１１Ａが設置される。記録再生ユニット１１Ａの、図中
下方の側面（光源からの光束が記録再生ユニット１１Ａ
に入射する部位）には開口部１１Ｗが形成されている。
チャンバケース部材１５の、上記開口部１１Ｗと対向す
る部分に窓部１５Ｗが形成されており、上記窓部１５Ｗ
および開口部１１Ｗを介して、チャンバケース部材１５
の外部から光束が記録再生装置内に入射するように、基
準光源４０がチャンバ基準部材１４に取り付けられてい
る。

【００３２】図６では、記録再生ユニットの光学部品
は、図面を単純化するために、２つのプリズム１１Ｐ、
１１Ｑのみを示している。基準光源４０から射出された
レーザ光束は、窓部１５Ｗ、開口部１１Ｗを透過してプ
リズム１１Ｑに入射し、さらにプリズム１１Ｐにより進
行方向が９０度偏向されて、基準絞り部１７から測定装
置２０に向けて射出される。基準光源４０は、温度変化
による波長変化などの特性の変動を抑えるため、チャン
バケース部材１５の外に設けられている。なお、これ以
外の構成は第１の実施形態と同様であり、光束の測定も
第１の実施形態の場合と同様であるため、説明は省略す
る。

【００３３】上記の構成によれば、光源を搭載しない記
録再生ユニットの温度特性も、第１の実施形態と同様に
して、正確に測定することが可能となる。特に、同一の
基準光源４０を光源として検査を行うことができ、基準
光源４０は、チャンバケース部材１５の外部にあるた
め、温度変化が光源に与える影響を除いた温度特性を調
べることが可能になる。

【００３４】図７は、図２に示す構成の第２の変形例を
示す図である。本変形例においても、光源が搭載される
前の、光学部品のみが設けられた記録再生装置の温度特
性を計測することができる。

【００３５】図７に示すように、本変形例においては、
チャンバ基準部材１４に取り付けられたチャンバケース
部材１５には、光源が搭載される前の記録再生ユニット
１１Ａが設置される。記録再生ユニット１１Ａの構造は
第１の変形例と同一である。記録再生ユニット１１Ａの
窓部１１Ｗに対向するチャンバの面は、チャンバ基準部
材１４により構成されており、特に記録再生ユニット１
１Ａの窓部１１Ｗに対向する部位には反射部１４Ｒが形
成されている。反射部１４Ｒは、基準絞り部１７に形成
された反射部１８と同様に、基準部材１４を研磨して鏡
面仕上げすることにより形成する。第２変形例において
は、測定装置側に基準光源７１が設けられており、コリ
メートレンズ７２を介し、ビームスプリッタ７３のハー
フミラー面７３Ａにより反射されて測定装置２０から射
出される。測定装置２０から射出された光束は、基準絞
り部１７を介して記録再生ユニット内部の光学部品内を
透過し、反射部１４Ｒで反射された後、再度記録再生ユ
ニット内部の光学部品を透過し、基準絞り部１７から射
出される。基準絞り部１７から射出された光束は対物レ
ンズ７２を介してビームスプリッタ７３に入射し、ハー
フミラー面７３を透過した光束が干渉計により測定され
る。

【００３６】図７も、図面を単純化するために、記録再
生ユニット１１Ａの光学部品は２つのプリズム１１Ｐ、
１１Ｑのみを示している。基準光源から射出されたレー
ザ光束は、基準絞り部１７からプリズム１１Ｐに入射
し、プリズム１１Ｑへと進む。光束は、記録再生ユニッ
ト１１Ａの窓部１１Ｗを透過し、反射部１４Ｒで反射さ
れる。反射された光束は、再度プリズム１１Ｑに入射
し、さらにプリズム１１Ｐにより進行方向が９０度偏向
されて、基準絞り部１７より測定装置２０に向けて射出
される。

【００３７】上記第２の変形例によっても、光源を搭載
しない記録再生ユニット１１Ａの温度特性を、第１の変
形例と同様にして、正確に測定することができる。

【００３８】なお、第２の変形例においては、図７に示
すように、測定用の光源７１，対物レンズ７２、ビーム
スプリッタ７３を、図５に示すような、測定装置２０と
チャンバ１０との相対的なずれ量および傾角のずれを補
正するための光学系と別に設けられているが、図５の光
学系のみを用いて、両方の機能を達成するようにしても
良い。

【００３９】なお、上述の実施形態及び変形例において
は、対物レンズ及びその駆動部を取り付ける前の記録再
生ユニットから射出される平行光を測定装置で受光して
いるが、対物レンズが組み込まれた状態の記録再生ユニ
ットの、対物レンズ焦点位置のスポットの測定を行うこ
とができるよう、測定装置の光学系を変更してもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態である光学性能評価システム
の全体構成を示す側面図である。

【図２】図１に示す構成における、チャンバ内部および
測定装置の対物レンズ近傍を拡大して示す側面図であ
る。

【図３】Ｙ軸方向において測定装置とチャンバの位置が
ずれている場合の例を示す図である。

【図４】測定装置とチャンバとの間に相対的な傾角ずれ
がある場合の例を示す図である。

【図５】測定装置とチャンバとの間の相対的な位置ずれ
および傾角ずれの検出原理を説明する図である。

【図６】図２に示す構成の第１の変形例を示す図であ
る。

【図７】図２に示す構成の第２の変形例を示す図であ
る。

【図８】従来の光学式情報記録再生ユニットの評価シス
テムの構成を示す図である。

【図９】図７に示す、従来の光学式情報記録再生ユニッ
トと光学性能測定装置の配置を示す拡大図である。

【符号の説明】

１ 光学性能評価システム １０ チャンバ １１ 光学式情報記録再生ユニット １４ チャンバ基準部材 １５ チャンバケース部材 １７ 基準絞り部 １８ 反射部 ２０ 光学性能測定装置 ２１ Ｙ軸ステージ ２２ ゴニオステージ ２３ 固定部材 ２５ 回転ステージ ２６ Ｘ軸ステージ １１Ｗ 窓部 １４Ｒ 反射部 １５Ｗ 透過部 ４０ 基準光源

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光学式情報記録再生ユニットが収納さ
   れ、前記光学式情報記録再生ユニットから射出される光
   束を外部へ導く透過部が設けられ、内部温度を任意に設
   定することが可能な密閉されたチャンバと、前記光学式
   情報記録再生ユニットから射出され、前記透過部を透過
   したレーザ光束の光学性能を測定するための光学性能測
   定装置と、を備えた光学式情報記録再生ユニットの光学
   性能測定評価システムにおいて、 前記透過部には所定の開口径を有する絞り部が形成さ
   れ、 前記絞り部近傍には前記情報記録再生ユニットの設計上
   の光軸とほぼ直交する面に平行な反射面が形成されてお
   り、 前記光学性能測定装置は、対物光学系と、前記反射部に
   向けて光束を射出する測定装置側光源と、前記反射部に
   より反射された光束を受光する受光手段と、を有し、 前記対物光学系を介して観察される前記窓部の位置に基
   づいて位置ずれが検出され、前記受光手段による光束の
   受光位置に基づいて前記光学性能測定装置の前記チャン
   バに対する傾角が検出されること、を特徴とする光学式
   情報記録再生ユニットの光学性能評価システム。
2. 【請求項２】 前記情報記録再生ユニットは、記録再生
   ユニット側光源を備えた状態で前記チャンバに収納さ
   れ、前記光学性能測定装置は、前記記録再生ユニット側
   光源から射出され、前記情報記録再生ユニット内部を通
   って前記透過窓から前記光学性能測定装置へと射出され
   た光束に基づいて光学性能を測定すること、を特徴とす
   る請求項１に記載の光学式情報記録再請求ニットの光学
   性能評価システム。
3. 【請求項３】 前記情報記録再生ユニットは、光源を備
   えない状態で前記チャンバに収納され、前記光学性能測
   定装置は、前記情報記録再生ユニット外部から前記情報
   記録再生ユニットに入射し、前記情報記録再生ユニット
   内部の光学部品を介して前記透過窓から前記光学性能測
   定装置へと射出された光束に基づいて前記情報記録再生
   ユニットの光学性能を測定すること、を特徴とする請求
   項２に記載の光学式情報記録再請求ニットの光学性能評
   価システム。
4. 【請求項４】 光学式情報記録再生ユニットを取り付け
   る基準部材と、 前記光学式情報記録再生ユニットと覆った状態で前記基
   準部材に取り付けられて密閉されたチャンバを構成する
   ケース部材と、 を有し、 前記チャンバの内部温度は任意に設定することが可能で
   あり、 前記基準部材に取り付けられ、前記ケース部材に設けら
   れた窓部を介して前記光学式情報記録再生ユニットに光
   束を入射させる基準光源と、 前記基準光源により射出され前記光学式情報記録再生ユ
   ニット内の光学部品中を通過した後に射出される光束
   を、前記チャンバ外部へ導く透過部が設けられ、 前記光学式情報記録再生ユニットから射出され、前記透
   過部を透過したレーザ光束の光学性能を測定するための
   光学性能測定装置を有し、 前記透過部には所定の開口径を有する絞り部が形成さ
   れ、 前記絞り部近傍には前記情報記録再生ユニットの設計上
   の光軸とほぼ直交する面に平行な反射面が形成されてお
   り、 前記光学性能測定装置は、対物光学系と、前記反射部に
   向けて光束を射出する光源と、前記反射部により反射さ
   れた光束を受光する受光手段と、を有し、 前記対物光学系を介して観察される前記窓部の位置に基
   づいて位置ずれが検出され、前記受光手段による光束の
   受光位置に基づいて前記光学性能測定装置の前記チャン
   バに対する傾角が検出されること、を特徴とする光学式
   情報記録再生ユニットの光学性能評価システム。
5. 【請求項５】 光学式情報記録再生ユニットを取り付け
   る基準部材と、 前記光学式情報記録再生ユニットを覆った状態で前記基
   準部材に取り付けられて密閉されたチャンバを構成する
   ケース部材と、 を有し、 前記チャンバの内部温度は任意に設定することが可能で
   あり、 前記光学式情報記録再生ユニットから射出され、前記ケ
   ース部材に設けられた透過部を透過したレーザ光束の光
   学性能を測定するための光学性能測定装置を有し、 前記光学性能測定装置は、対物光学系と、前記透過部に
   向けて光束を射出する第１の光源とを有し、前記光源か
   ら射出された光束は前記透過部を介して前記情報記録再
   生ユニットに入射し、 前記第１の光源により射出され前記光学式情報記録再生
   ユニット内の光学部品中を通過した光束を、同一光路を
   辿って前記透過部から前記光学性能測定装置に向けて反
   射させるよう配置された反射部が前記チャンバ内部に形
   成されており、 前記透過部には所定の開口径を有する絞り部が形成さ
   れ、前記絞り部近傍には前記情報記録再生ユニットの設
   計上の光軸とほぼ直交する面に平行な反射面が形成され
   ており、前記光学性能測定装置は、前記対物レンズを介
   して前記反射部に向けて光束を射出する第２の光源と、
   前記反射部により反射された光束を受光する受光手段を
   有し、 前記第２の光源からの光束により照明され、前記対物光
   学系を介して観察される前記絞り部近傍に形成された反
   射面の位置に基づいて前記光学性能測定装置と前記情報
   記録再生装置との位置ずれが検出され、前記受光手段に
   よる光束の受光位置に基づいて前記光学性能測定装置の
   前記チャンバに対する傾角が検出すると共に、 前記第１の光源から射出され、前記透過窓を介して、前
   記光学式情報記録再生ユニット内の光学部品中を通過し
   た後に前記反射面により反射されて前記透過部より前記
   光学性能測定装置に戻る光束に基づいて前記記録再生装
   置の光学性能を測定すること、を特徴とする光学式情報
   記録再生ユニットの光学性能評価システム。
6. 【請求項６】 前記第１の光源と前記第２の光源とは、
   同一の光源であることを特徴とする請求項５に記載の光
   学式情報記録再生ユニットの光学性能評価システム。
7. 【請求項７】 前記光学性能測定装置の対物レンズの焦
   点がほぼ前記絞り部の観測面上に位置し、前記光学式情
   報再生ユニットに組み付けられるべき対物レンズの主平
   面が前記絞り部の観測面とほぼ一致していることを特徴
   とする請求項１から請求項６の何れかに記載の光学式情
   報記録再生ユニットの光学性能評価システム。
8. 【請求項８】 前記絞り部の開口径は、前記光学式情報
   再生ユニットに組み付けられるべき対物レンズの有効径
   とほぼ同一かそれ以上であることを特徴とする請求項１
   から請求項７の何れかに記載の光学式情報記録再生ユニ
   ットの光学性能評価システム。
9. 【請求項９】 前記光学性能測定装置の、前記情報記録
   再生ユニットに対する傾角を変更する傾角変更手段と、
   前記光学性能測定装置と前記情報記録再生ユニットと
   の、前記情報記録再生ユニットの設計上の光軸とほぼ直
   交する方向における相対位置を変更する位置変更手段と
   を備えることを特徴とする請求項１から請求項８のいず
   れかに記載の光学式情報記録再生ユニットの光学性能評
   価システム。
10. 【請求項１０】 検出された位置ずれおよび傾角に基づ
    いて、前記傾角変更手段および前記位置変更手段を駆動
    する駆動制御手段を備えることを特徴とする請求項９に
    記載の光学式情報記録再生ユニットの光学性能評価シス
    テム。