JP2001126236A - 磁気ディスク用基板および磁気ディスク - Google Patents

磁気ディスク用基板および磁気ディスク

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JP2001126236A
JP2001126236A JP30206199A JP30206199A JP2001126236A JP 2001126236 A JP2001126236 A JP 2001126236A JP 30206199 A JP30206199 A JP 30206199A JP 30206199 A JP30206199 A JP 30206199A JP 2001126236 A JP2001126236 A JP 2001126236A
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glass
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Masahiro Abe
真博 阿部
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NGK Insulators Ltd
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    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C3/00Glass compositions
    • C03C3/04Glass compositions containing silica
    • C03C3/076Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
    • C03C3/097Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing phosphorus, niobium or tantalum
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C10/00Devitrified glass ceramics, i.e. glass ceramics having a crystalline phase dispersed in a glassy phase and constituting at least 50% by weight of the total composition
    • C03C10/0018Devitrified glass ceramics, i.e. glass ceramics having a crystalline phase dispersed in a glassy phase and constituting at least 50% by weight of the total composition containing SiO2, Al2O3 and monovalent metal oxide as main constituents
    • C03C10/0027Devitrified glass ceramics, i.e. glass ceramics having a crystalline phase dispersed in a glassy phase and constituting at least 50% by weight of the total composition containing SiO2, Al2O3 and monovalent metal oxide as main constituents containing SiO2, Al2O3, Li2O as main constituents

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Abstract

(57)【要約】 【課題】リチウムダイシリケート、β−クリストバライ
トおよびトリジマイト相を有するSiO2 −Al23
−Li2 O系の磁気ディスク用基板用結晶化ガラスにお
いて、結晶粒子を微細化し、熱膨張係数を小さくし、ガ
ラスからのリチウムの溶出を防止する。 【解決手段】結晶化ガラスの主結晶相がペタライト相お
よびリチウムダイシリケート相であり、副結晶相がβ−
クリストバライト相およびトリジマイト相であり、リー
トベルト定量法による各結晶相の定量値が以下の範囲内
にある(30重量%≦リチウムダイシリケート相≦45
重量%、20重量%≦ペタライト相≦35重量%、3重
量%≦β−クリストバライト相≦10重量%、3重量%
≦トリジマイト相≦10重量%)。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク用基
板および磁気ディスクに関するものである。
【0002】
【従来の技術】磁気ディスク用基板には、所定の熱膨張
係数、平滑な面及び高強度等が要求されているが、最近
それに加えて耐候性が良い材料が要求されている。磁気
ディスク基板用途では、室温付近の熱膨張係数が60〜
90×10-7/k程度のガラスが要求されている。ハー
ドディスクのさらなる記録密度の向上のためには、磁気
ヘッドの浮上量を低下させなければならず、基板には一
層高い平滑な面が求められている。更に、磁性膜は、ア
ルカリ金属イオンと反応すると特性の低下を招く。この
ため、基板から磁性膜へのアルカリ金属イオンの侵入
は、極力避けなければならない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】これまでのクリストバ
ライト相とリチウムダイシリケート相とを主結晶とする
結晶化ガラス、あるいは、α−石英相とリチウムダイシ
リケート相を主結晶とする結晶化ガラスでは、いずれも
結晶粒子が粗大化しやすく、そのために精密研磨後の表
面粗さがあまり小さくならないという問題があった。特
に、α−石英相とリチウムダイシリケート相とを主結晶
とする結晶化ガラスにおいては、熱膨張係数が100×
10-7/k程度であり、磁気ディスクとしては大きすぎ
る。また、クリストバライト相とリチウムダイシリケー
ト相とを主結晶とする結晶化ガラス、あるいは、α−石
英相とリチウムダイシリケート相とを主結晶とする結晶
化ガラスでは、基板からのリチウムの溶出量が多く、磁
性膜に与える影響が懸念されていた。
【0004】例えば、特開平10−226532号公報
では、ガラスの化学的耐久性が、特定の組成と関連して
述べられており、また、化学的耐久性がガラスの重量変
化によって説明されており、リチウムの溶出については
述べられていない。
【0005】本発明の課題は、リチウムダイシリケート
相およびβ−クリストバライト相を有するSiO2 −A
23 −Li2 O系の結晶化ガラスにおいて、結晶粒
子の凝集や結晶粒子の粗大化を抑制し、−50℃〜+7
0℃の熱膨張係数を小さくし、かつ結晶化ガラスからの
リチウムの溶出を防止することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、結晶化ガラス
からなる磁気ディスク用基板であって、結晶化ガラスの
主結晶相がペタライト相(Li2 O・Al23・8S
iO2 )およびリチウムダイシリケート相(Li2 O・
2SiO2 )であり、副結晶相がβ−クリストバライト
相およびトリジマイト相であり、リートベルト定量法に
よる各結晶相の定量値が以下の範囲内にあることを特徴
とする。 30重量%≦リチウムダイシリケート相≦45重量% 20重量%≦ペタライト相 ≦35重量% 3重量%≦β−クリストバライト相 ≦10重量% 3重量%≦トリジマイト相 ≦10重量%
【0007】本発明の磁気ディスク用基板用の結晶化ガ
ラスは、主結晶相がペタライト相、リチウムダイシリケ
ート相(Li2 O・2SiO2 )であり、副結晶相とし
てβ−クリストバライト相およびトリジマイト相を含有
している。この系の結晶化ガラスにおいては、所定量の
β−クリストバライト相を副結晶相として析出させるこ
とによって、結晶化ガラスの全体の熱膨張係数を上昇さ
せ、これによって結晶化ガラスの熱膨張係数(−50℃
〜+70℃)を65〜85×10-7/kに調節してい
る。
【0008】本発明者は、特にこの結晶系の結晶化ガラ
スにおいて、少量の酸化マグネシウムを添加すると、結
晶化ガラス中のペタライト相の生成量が増加することを
見出した。この系の結晶化ガラスにおいては、MgOが
ペタライト相の核の数を増やす効果があるものと考えら
れる。
【0009】このようにして、上記の割合のペタライト
相を、リチウムダイシリケート相、β−クリストバライ
ト相およびトリジマイト相に加えて析出させることによ
って、結晶化ガラスからのリチウムの溶出量が著しく減
少することを見出し、本発明に到達した。
【0010】結晶化ガラスからのリチウムの溶出量が著
しく減少した理由は、明確ではない。まず、前記の結晶
系を有する結晶化ガラスにおいて、ペタライト相が多量
に生成すると、ペタライト結晶中にLi2 Oが取り込ま
れるので、残留ガラス中のLi2 Oの量が減る。ペタラ
イト結晶中のリチウムイオンは、残留ガラス中のリチウ
ムイオンよりも、易動度が小さい。従って、ペタライト
相が多量に生成すると、結晶化ガラスからのリチウムの
溶出量が減少するものとも考えられる。
【0011】しかし、実際にリチウムの溶出実験を行っ
てみると、本発明の結晶化ガラスにおいては、このよう
な機構では説明できないほど顕著にリチウムの溶出が抑
制されることを発見した。即ち、上記の議論が正しいも
のとすれば、リチウムの溶出量が、残留ガラス中のリチ
ウムの含有量にほぼ比例するはずである。しかし、実際
には、本発明の結晶化ガラスにおいては、リチウムの溶
出量の減少はこの予測を超えて顕著であり、残留ガラス
中のリチウムの溶出量も減少しているようである。この
理由は明らかではないが、一部のMgOが残留ガラス中
に残り、残留ガラス中におけるリチウムの移動を抑制す
る働きをしている可能性がある。
【0012】なお、特公平6−29152号公報に記載
の基板用結晶化ガラスは、0.5〜7.5重量%の酸化
マグネシウムを含有しており、これによって原ガラスの
溶解性を改善し、成形時の乳白化を防止し、α−クリス
トバライト相の過度の析出を抑制している。また、特許
第2516553号公報では、基板用結晶化ガラスに
0.5〜5.5重量%の酸化マグネシウムを含有させ、
α−石英の結晶粒子をランダムに析出させることで、二
次粒子構造を析出させている。特開平9−208260
号公報に記載の結晶化ガラスは、0.5重量%−3重量
%の酸化マグネシウムを含有させている。これが0.5
重量%未満であると、α−クリストバライト相が増加
し、3.0重量%を超えると、α−石英相が増加する。
特開平11−16143号公報記載の磁気ディスク基板
用結晶化ガラスは、0.5〜4.8重量%の酸化マグネ
シウムを含有しており、リチウムダイシリケート相、α
−石英相、α−クリストバライト相の結晶粒子を球状形
態に析出させている。しかし、いずれの文献においても
前記のような特定結晶系において、酸化マグネシウムを
添加してペタライト相を析出させるという知見は得られ
ていない。
【0013】本発明の結晶化ガラス中の各結晶相の組成
は、以下のようにすることが一層好ましい。 35重量%≦リチウムダイシリケート相≦40重量% 25重量%≦ペタライト相≦ 30重量% 4重量%≦β−クリストバライト相≦ 8重量% 4重量%≦トリジマイト相≦ 8重量%
【0014】本発明の結晶化ガラスの結晶化度は、60
重量%以上が好ましく、70重量%以上が更に好まし
い。
【0015】結晶化ガラスの熱膨張係数は、−50℃−
+70℃において、65−85×10-7/kであること
が好ましく、70−80×10-7/kであることが更に
好ましい。
【0016】クリストバライトには、低温相のα相と高
温相のβ相とがある。JCPDSカードによると、β相
の三強線は、下表のとおりである。ただし、回折角度
は、銅のKa線を使用した場合のX線回折角度の計算値
である。
【0017】
【表1】
【0018】回折角度の測定値から見て、本発明の結晶
化ガラスで生成しているクリストバライトは、β相であ
る。本来は、結晶化後、冷却に伴って、クリストバライ
ト相は、βからα相に転移するはずである。しかし、本
発明の結晶化ガラスの組成および結晶相では、β相が安
定化され、室温までβ相の構造が保存されている。β相
が安定化されている原因は、クリストバライトの化学組
成が純粋なSiO2 ではなく、一部の珪素原子が他の元
素によって置換されているためと考えられる。
【0019】また、本発明の結晶化ガラスの各結晶相を
同定するのに使用したJCPDSカードNo.を表2に
示し、また各結晶子の径とLi2 Oの含有量とを表3に
示す。
【0020】
【表2】
【0021】
【表3】
【0022】本発明の結晶化ガラスの製造方法はむろん
限定されないが、例えば以下のようにすることができ
る。
【0023】原ガラスにおけるSiO2 の量を70重量
%以上とすることによって、β−クリストバライト相を
生成させやすくなり、80重量%以下とすることによっ
て、原ガラスの溶融を容易にできる。更に好ましくは、
SiO2 の量は、73重量%以上であり、78重量%以
下である。
【0024】原ガラスにおけるLi2 Oの量を8重量%
以上とすることによって、リチウムダイシリケート相が
得られやすくなる。Li2 Oの量が12重量%を超える
と、結晶化ガラスの耐候性が低下しやすい。更に好まし
くは、Li2 Oの量は、9重量%以上であり、11重量
%以下である。
【0025】Al23 の量を3重量%以上とすること
によって、ペタライト相の生成量が増加する。Al2
3 の量を6重量%以下とすることによって、α−石英相
の生成を抑制でき、α−石英相による表面粗さの劣化を
防止でき、かつβ−クリストバライト相が生成しやすく
なる。更に好ましくは、Al23 の量は、4重量%以
上である。
【0026】P25 の量が1重量%未満であると、所
望の結晶が析出しない。P25 の量が3重量%を超え
ると、結晶化ガラスが失透しやすい。更に好ましくは、
25 の量は、1.5重量%以上であり、2.5重量
%以下である。
【0027】MgOの量を0.1重量%以上とすると、
ペタライト相が生成しやすい。MgOの量を0.4重量
%以下とすることによって、α−石英相の生成を抑制で
き、α−石英相による表面粗さの劣化を防止でき、かつ
β−クリストバライト相が生成しやすくなる。更に好ま
しくは、MgOの量は0.2重量%以上である。
【0028】ZrO2 を1重量%以上含有させることに
よって、α−石英相の生成を抑制できる。ZrO2 の量
を6重量%以下とすることによって、溶解性が良好にな
る。更に好ましくは、ZrO2 の量は4重量%以下であ
る。
【0029】K2 Oを0〜4重量%含有させることがで
きる。K2 Oは、ガラスの溶融温度を低下させる。K2
Oの含有量が4重量%を越えると、結晶化ガラスの結晶
化率が低下しやすい。更に好ましくは、K2 Oの量は、
1重量%以上であり、3重量%以下である。
【0030】Sb23 を0−1重量%含有させること
が好ましい。Sb23は、ガラスを脱泡させる。Sb2
3 の量は1重量%で十分である。更に好ましくは、
Sb23 の量は、0.1重量%以上、0.3重量%以
下である。
【0031】結晶化ガラス中には、CaOを0〜3重量
%、BaOを0〜3重量%、ZnOを0−3重量%含有
させることができる。これらは、原ガラスの溶解温度を
低下させる。
【0032】また、結晶化ガラス中には、他の成分を含
有させることができる。まず、TiO2 、SnO2 、白
金等の貴金属のフッ化物を、単独で、または2種以上混
合して、含有させることができる。
【0033】As23 を0〜2重量%含有させること
もできる。これは、ガラス溶融の際の清澄剤である。B
23 を0〜3重量%含有させることもできる。
【0034】原ガラスを製造する際には、上記の各金属
原子を含有する各原料を、上記の重量比率に該当するよ
うに混合し、この混合物を溶融させる。この原料として
は、各金属原子の酸化物、炭酸塩、硝酸塩、リン酸塩、
水酸化物を例示することができる。また、原ガラスを熱
処理して結晶化させる際の雰囲気としては、大気雰囲
気、還元雰囲気、水蒸気雰囲気、加圧雰囲気等を選択す
ることができる。
【0035】また、上記の製造方法において原ガラスを
加熱する際には、少なくとも500℃以上の温度領域で
の温度上昇速度を50〜300℃/時間に制御すること
によって結晶核の生成を進行させることが好ましい。ま
た、510−540℃の温度領域内で2〜5時間保持す
ることによって結晶核の生成を進行させることが好まし
い。結晶化温度は、750−800℃とすることが好ま
しい。
【0036】上記の結晶化ガラスからなる素材を、砥粒
によって精密研磨加工する工程では、いわゆるラッピン
グ、ポリッシング等、公知の精密研磨加工方法によって
研磨し、磁気ディスク用基板を作成できる。また、本発
明の磁気ディスク用基板の主面上には、下地処理層、磁
性膜、保護膜等を形成することができ、更に保護膜上に
潤滑剤を塗布することができる。
【0037】
【実施例】(親ガラスの製造)表4、表5に示す、各種
金属酸化物の重量比になるように、各金属を含む化合物
を混合した。この混合物250gを容積200ccの白
金ルツボに入れ、1400℃で6時間熱処理し、溶融し
た。炉の温度を1350℃に落として、1時間保持した
後、カーボン製の型に原ガラスを流しだし、成形した。
500℃で1時間アニールした後、徐冷して、円盤状の
親ガラスを得た。
【0038】この親ガラスから、寸法5×30×厚さ
0.85mm、および寸法φ72mm×厚さ1.5mm
(注:リング状試料のもとになるもの)の各板状試料を
切り出した。なお、各板状試料の両面は、#400の砥
石で仕上げ加工した。
【0039】(結晶化工程)各板状試料を、窒素雰囲気
中で、厚さ5mmのカーボン板に挟んだ状態で結晶化さ
せた。結晶化のスケジュールは、各形成温度(520
℃)まで250℃/時間で昇温し、520℃で1.0時
間保持し、結晶化温度(760℃)まで150℃/時間
で昇温し、760で4時間保持し、室温まで150℃/
時間で降温した。
【0040】(結晶相の同定)X線出力50kV・30
0mAのX線回折装置(RINT2500)を使用した
(2θ=10〜60°、ステップ幅0.02°、Fix
ed Time 10秒、スリットDS=SS=0.5
°、RS=0.15°)。このX線回折装置の入射側に
は、Ge(111)湾曲型モノクロメーターを備える光
学系を設けた。アルミナを内部標準試料とするリートベ
ルト解析法(解析ソフト:「RIETAN」)により、
結晶化ガラス中の各結晶相の結晶化率を求めた。「RI
ETAN」による結晶の定量は、F.Izumi.らが、「J.Ap
pl.Crystallogr. 」, 20,411(1987) に述べている。
【0041】(熱膨張係数αの測定)結晶化の終わっ
た、寸法5×30×厚さ0.85mmの板状試料を切断
し、長さ20mmの測定試料を作成した。熱膨張率測定
装置(マックサイエンス製「TD5000S」)で、試
験試料の熱膨張率を−75°〜+110°の範囲で測定
した。−50℃を基準にして、+70℃までの熱膨張係
数を計算した。
【0042】(精密研磨加工)円盤状の結晶化済の試料
を厚さ1mmまで研磨したのち、直径67mmの円盤を
切り出した。次いで、円盤の内径、外径を加工し、エッ
ジにポリッシュ加工を施し、外径65.00mm、内径
20.25mmのリング状基板を得た。ついでリング状
基板を、ペレット研削盤で厚さ0.685mmまで研削
した。ついで、両面ポリッシュ盤および1.2μmの酸
化セリウム砥粒を使って、試料の厚さが0.640mm
になるまでリング状基板をポリッシュ加工した。更に、
0.7μmの酸化セリウム砥粒を使って、2段階目のポ
リッシュ加工を行い、厚さ0.635mmの精密研磨体
を得た。
【0043】(表面粗さの測定)シリコン製のカンチレ
バー(共振周波数300kHz)を用いた、原子間力顕
微鏡(PSI製M5)のタッピングモードで、精密研磨
体の表面の中心線平均表面粗さ(Ra)を測定した。
【0044】(Li溶出量の測定)前記のリング状の精
密研磨体と純水50mlとを、シリコン製の容積300
mlの密閉容器に入れた。精密研磨体の両面から溶出す
るように、シリコン製の棒を精密研磨体の下に置いた。
クリーンオーブンに密閉容器を入れ、80℃で、22時
間保持し、純水中にリチウムを溶出させた。溶出済の水
の中のリチウム含有量を、原子吸光度法によって測定し
た。
【0045】(微構造観察)前記の精密研磨体を5%フ
ッ酸水溶液で3分間エッチングした後、走査型電子顕微
鏡で結晶の大きさを観察した。
【0046】(抗折強度測定)前記の精密研磨体から、
寸法2×20mmの棒状の試料を切り出し、下スパン1
0mm、上スパン5mm、クロスヘッドスピード0.5
mm/minの条件で4点曲げ試験を行い、抗折強度を
求めた。
【0047】
【表4】
【0048】
【表5】
【0049】比較例1、2、実施例1、2を見ると、ペ
タライト相が増加するのにつれて、リチウムの溶出量が
著しく減少する傾向があった。ただし、比較例2では、
β−クリストバライト相の析出量が2重量%であり、ま
たα−石英相が生成した。そして、このα−石英相が凝
集形態をとっていたために、精密研磨後の表面粗さRa
が8オングストロームに増加した。
【0050】また、原ガラスの組成に着目すると、Mg
Oの含有量が増加するにつれて、ペタライト相の量が増
加し、β−クリストバライト相およびトリジマイト相の
量が減少した。これは、MgOが、ペタライト相ののも
とになる結晶核を増やす効果を持っているためであろ
う。また、ペタライト相の増加割合よりも、リチウム溶
出量の減少割合の方がはるかに大きい。このため、一部
のMgOが残留ガラス中に存在し、リチウムの移動を抑
制する効果を持っているものと思われる。
【0051】実施例3、4、5を見ると、やはりペタラ
イト相の増加によってリチウム溶出量が減少している。
また、Raも6オングストローム以下となり、αも所望
範囲に納まっていた。また、実施例3、4、5のいずれ
の組成においても、MgOを含有させることによる、ペ
タライト相の増加とリチウム溶出量の低下が見られる。
【0052】実施例6、7においては、TiO2 やZn
Oを同時に含有させているが、やはりリチウム溶出量が
減少した。
【0053】実施例2の試料の抗折強度を測定したとこ
ろ、180MPaであった。
【0054】図1は、実施例2の試料の走査型電子顕微
鏡写真であり、図2は、比較例2の写真である。比較例
2では、α−石英の凝集体が観察された。
【0055】図3には、実施例3のX線回折チャートの
一部を示す。23.9〜24.8°付近に3本のピーク
が見える。この3本のピークのうち、左端のピーク(2
3.9°付近)がペタライトのメインピークである。ペ
タライトのメインピークが比較的に大きくなっている。
解析結果より、ペタライト:20重量%、リチウムダイ
シリケート:38重量%、β−クリストバライト相:8
重量%、トリジマイト相:8重量%が得られた。他の実
施例、比較例の各結晶化ガラスの結晶相も同様に定量し
た。
【0056】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、リ
チウムダイシリケート相、β−クリストバライト相およ
びトリジマイト相を有するSiO2 −Al23−Li2
O系の結晶化ガラスにおいて、結晶粒子の粗大化を抑
制し、−50℃〜+70℃における熱膨張係数を小さく
し、かつガラスからのリチウムの溶出を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例2の結晶化ガラスの走査型電子
顕微鏡写真である。
【図2】比較例2の結晶化ガラスの走査型電子顕微鏡写
真である。
【図3】実施例3の結晶化ガラスのX線回折チャートで
ある。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4G062 AA11 BB01 DA07 DB03 DC01 DD03 DE01 DF01 EA03 EA04 EB01 EC01 EC02 EC03 ED02 EE01 EF01 EG01 FA01 FB01 FC03 FD01 FE01 FF01 FG01 FH01 FJ01 FK01 FL01 GA01 GA10 GB01 GC01 GD01 GE01 HH01 HH03 HH05 HH07 HH09 HH11 HH13 HH15 HH17 HH20 JJ01 JJ03 JJ04 JJ05 JJ07 KK01 KK03 KK05 KK07 KK10 MM27 NN30 NN34 QQ01 QQ03 QQ06 QQ09 5D006 CB04 CB07 DA03

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】結晶化ガラスからなる磁気ディスク用基板
    であって、 前記結晶化ガラスの主結晶相がペタライト相およびリチ
    ウムダイシリケート相であり、副結晶相がβ−クリスト
    バライト相およびトリジマイト相であり、リートベルト
    定量法による各結晶相の定量値が以下の範囲内にあるこ
    とを特徴とする、磁気ディスク用基板。 30重量%≦リチウムダイシリケート相≦45重量% 20重量%≦ペタライト相 ≦35重量% 3重量%≦β−クリストバライト相 ≦10重量% 3重量%≦トリジマイト相 ≦10重量%
  2. 【請求項2】前記結晶化ガラスが以下の酸化物組成を有
    することを特徴とする、請求項1記載の磁気ディスク用
    基板。 70重量%≦SiO2 ≦ 80重量% 8重量%≦Li2 O≦ 12重量% 3重量%≦Al23 ≦ 6重量% 1重量%≦P25 ≦ 3重量% 0.1重量%≦MgO≦ 0.4重量% 1重量%≦ZrO2 ≦ 6重量% 0重量%≦K2 O≦ 4重量% 0重量%≦Sb23 ≦ 1重量%
  3. 【請求項3】前記結晶化ガラスの−50℃〜+70℃に
    おける熱膨張係数が、65〜85×10-7/kであるこ
    とを特徴とする、請求項1または2記載の磁気ディスク
    用基板。
  4. 【請求項4】精密研磨後の中心線平均表面粗さRaが2
    −6オングストロームであることを特徴とする、請求項
    1−3のいずれか一つの請求項に記載の磁気ディスク用
    基板。
  5. 【請求項5】請求項1−4のいずれか一つの請求項に記
    載の磁気ディスク用基板と、この磁気ディスク用基板の
    平滑面上に形成されている下地膜と、この下地膜上の金
    属磁性層とを備えていることを特徴とする、磁気ディス
    ク。
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