JP2001124516A - レーザー光を用いた非接触式の伸縮変位量測定法。 - Google Patents
レーザー光を用いた非接触式の伸縮変位量測定法。Info
- Publication number
- JP2001124516A JP2001124516A JP30638199A JP30638199A JP2001124516A JP 2001124516 A JP2001124516 A JP 2001124516A JP 30638199 A JP30638199 A JP 30638199A JP 30638199 A JP30638199 A JP 30638199A JP 2001124516 A JP2001124516 A JP 2001124516A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- amount
- sample
- laser light
- reference line
- movement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】試料の伸縮変位量を、レーザー光のスペックル
パターンを利用した非接触式でありながら汎用の画像解
析プログラムを用いて、比較的安価で簡単かつ確実に測
定する。 【解決手段】試料表面の第一標線相当点とこの第一標線
相当点から所要の距離をおいた第二標線相当点とにレー
ザー光を照射する。伸縮変位量測定時における上記レー
ザー光の反射した散乱光のスペックルパターンをＣＣＤ
などの撮像素子によってディジタルデータ化する。次い
で、ディジタルデータを粒子の画像データに変換した
後、ＰＩＶ解析プログラムによって解析する。解析は、
干渉縞を粒子の表出したものとして捉え、変位前後の画
像から第一及び第二標線相当点の移動量を個別に算出
し、両移動量から第一及び第二標線相当点間の試料の伸
縮変位量を得る。
パターンを利用した非接触式でありながら汎用の画像解
析プログラムを用いて、比較的安価で簡単かつ確実に測
定する。 【解決手段】試料表面の第一標線相当点とこの第一標線
相当点から所要の距離をおいた第二標線相当点とにレー
ザー光を照射する。伸縮変位量測定時における上記レー
ザー光の反射した散乱光のスペックルパターンをＣＣＤ
などの撮像素子によってディジタルデータ化する。次い
で、ディジタルデータを粒子の画像データに変換した
後、ＰＩＶ解析プログラムによって解析する。解析は、
干渉縞を粒子の表出したものとして捉え、変位前後の画
像から第一及び第二標線相当点の移動量を個別に算出
し、両移動量から第一及び第二標線相当点間の試料の伸
縮変位量を得る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザー光のスペ
ックルパターンを粒子の画像データに変換し、この画像
データをＰＩＶ（「Particle Image Velocimetry」）プ
ログラムによって解析することにより、試料の伸縮変位
量を測定する測定法に関するものである。
ックルパターンを粒子の画像データに変換し、この画像
データをＰＩＶ（「Particle Image Velocimetry」）プ
ログラムによって解析することにより、試料の伸縮変位
量を測定する測定法に関するものである。
【０００２】
【従来技術】レーザー光を用いた非接触式の歪み（伸び
もしくは縮み）測定法として、特公平６１−２７６８１
号や特開平７−４９２８号に開示の技術がある。この技
術は、試料に対して１個所または測定すべき歪み方向に
所定の距離を隔てた２個所からレーザー光を照射し、そ
の反射光をイメージセンサに入力してスペックルパター
ンを測定する。そして、照射位置での変形前後のスペッ
クルパターンデータの相互相関関数を算出してスペック
ルパターンの移動量を求める、あるいは２個所の移動量
の差から上記２個所の歪み量を算出する。
もしくは縮み）測定法として、特公平６１−２７６８１
号や特開平７−４９２８号に開示の技術がある。この技
術は、試料に対して１個所または測定すべき歪み方向に
所定の距離を隔てた２個所からレーザー光を照射し、そ
の反射光をイメージセンサに入力してスペックルパター
ンを測定する。そして、照射位置での変形前後のスペッ
クルパターンデータの相互相関関数を算出してスペック
ルパターンの移動量を求める、あるいは２個所の移動量
の差から上記２個所の歪み量を算出する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来技術は、スペックルパターンを一次元イメージセ
ンサによって光電変換し、その電気信号の強弱によって
ディジタル化されたスペックルパターンデータを得、こ
れを直接解析することによって移動量を算出する。この
ため、スペックルパターンの解析に専用の解析プログラ
ムの開発が必要であり、高価にならざるを得ない。ま
た、解析プログラムの操作を習得するにも時間がかか
る。
た従来技術は、スペックルパターンを一次元イメージセ
ンサによって光電変換し、その電気信号の強弱によって
ディジタル化されたスペックルパターンデータを得、こ
れを直接解析することによって移動量を算出する。この
ため、スペックルパターンの解析に専用の解析プログラ
ムの開発が必要であり、高価にならざるを得ない。ま
た、解析プログラムの操作を習得するにも時間がかか
る。
【０００４】本発明の目的は、レーザー光のスペックル
パターンを利用した非接触式でありながら、汎用の画像
解析プログラムを用いて試料の伸縮変位量を比較的安価
で簡単かつ確実に測定する、測定法を提供することにあ
る。
パターンを利用した非接触式でありながら、汎用の画像
解析プログラムを用いて試料の伸縮変位量を比較的安価
で簡単かつ確実に測定する、測定法を提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を達成するための手段】本発明は、上記した目的
を達成するために次の構成を備える。すなわち、請求項
１の発明は、先ず、試料表面の第一標線相当点とこの第
一標線相当点から所要の距離をおいた第二標線相当点と
にレーザー光を照射し、 伸縮変位量測定時における上
記レーザー光の反射した散乱光のスペックルパターンを
撮像素子、例えばＣＣＤ（電荷結合素子）によってディ
ジタルデータ化する。次いで、上記ディジタルデータを
粒子の画像データに変換した後、ＰＩＶ解析プログラム
によって解析する。ＰＩＶ解析プログラムは、流体解析
法の一つで、流体中の粒子画像から流れのベクトルマッ
プを作成し、流れの方向と速さなど種々の解析を行う。
本発明では、解析は、干渉縞を粒子の表出したものとし
て捉え、変位前後の画像から第一及び第二標線相当点の
移動量を個別に算出し、両移動量から第一及び第二標線
相当点間の試料の伸縮変位量を得る。レーザー光は、各
標線相当点に個別に照射し、あるいは一つのレーザー光
源からシート光を両標線相当点間に跨るようにして照射
する。シート光の場合には、撮像素子はレンズ付きのも
のを利用するなど適宜選択される。
を達成するために次の構成を備える。すなわち、請求項
１の発明は、先ず、試料表面の第一標線相当点とこの第
一標線相当点から所要の距離をおいた第二標線相当点と
にレーザー光を照射し、 伸縮変位量測定時における上
記レーザー光の反射した散乱光のスペックルパターンを
撮像素子、例えばＣＣＤ（電荷結合素子）によってディ
ジタルデータ化する。次いで、上記ディジタルデータを
粒子の画像データに変換した後、ＰＩＶ解析プログラム
によって解析する。ＰＩＶ解析プログラムは、流体解析
法の一つで、流体中の粒子画像から流れのベクトルマッ
プを作成し、流れの方向と速さなど種々の解析を行う。
本発明では、解析は、干渉縞を粒子の表出したものとし
て捉え、変位前後の画像から第一及び第二標線相当点の
移動量を個別に算出し、両移動量から第一及び第二標線
相当点間の試料の伸縮変位量を得る。レーザー光は、各
標線相当点に個別に照射し、あるいは一つのレーザー光
源からシート光を両標線相当点間に跨るようにして照射
する。シート光の場合には、撮像素子はレンズ付きのも
のを利用するなど適宜選択される。
【０００６】試料の伸縮変位量が、固定位置にあるレー
ザー光源と撮像素子によって測定できる範囲を超えた場
合、請求項２の発明が対応する。請求項２の発明は、試
料表面の第一標線相当点とこの第一標線相当点から所要
の距離をおいた第二標線相当点とにレーザー光を照射
し、伸縮変位量測定時における上記レーザー光の反射し
た散乱光のスペックルパターンを撮像素子によりディジ
タルデータ化し、このディジタルデータを粒子の画像デ
ータに変換した後、ＰＩＶ解析プログラムによって解析
することにより、第一及び第二標線相当点の移動量を個
別に算出する点では、請求項１と共通する。異なる点
は、標線相当点の移動量に対応してレーザー光照射位置
と撮像素子の位置を、第一標線相当点あるいは第二標線
相当点を追尾するように移動変化させる点にある。試料
の伸縮変位量は、この変化量と上記移動量とから算出さ
れる。
ザー光源と撮像素子によって測定できる範囲を超えた場
合、請求項２の発明が対応する。請求項２の発明は、試
料表面の第一標線相当点とこの第一標線相当点から所要
の距離をおいた第二標線相当点とにレーザー光を照射
し、伸縮変位量測定時における上記レーザー光の反射し
た散乱光のスペックルパターンを撮像素子によりディジ
タルデータ化し、このディジタルデータを粒子の画像デ
ータに変換した後、ＰＩＶ解析プログラムによって解析
することにより、第一及び第二標線相当点の移動量を個
別に算出する点では、請求項１と共通する。異なる点
は、標線相当点の移動量に対応してレーザー光照射位置
と撮像素子の位置を、第一標線相当点あるいは第二標線
相当点を追尾するように移動変化させる点にある。試料
の伸縮変位量は、この変化量と上記移動量とから算出さ
れる。
【０００７】
【実施の最良の形態】以下、本発明を図示した実施例に
基づいて詳説する。図１は、本発明方法のブロック図、
図２はこれを適用した装置の概念構成図である。図中符
号１は、測定対象となる試料で、第一標線相当点Ａと第
二標線相当点Ｂとの間の伸縮変位量が測定される。２と
３は、第一標線相当点Ａあるいは第二標線相当点Ｂにレ
ーザー光をそれぞれほぼ垂直に照射する第一半導体レー
ザーと第二半導体レーザーで、本実施例では両レーザー
は光の波長を異にする。
基づいて詳説する。図１は、本発明方法のブロック図、
図２はこれを適用した装置の概念構成図である。図中符
号１は、測定対象となる試料で、第一標線相当点Ａと第
二標線相当点Ｂとの間の伸縮変位量が測定される。２と
３は、第一標線相当点Ａあるいは第二標線相当点Ｂにレ
ーザー光をそれぞれほぼ垂直に照射する第一半導体レー
ザーと第二半導体レーザーで、本実施例では両レーザー
は光の波長を異にする。
【０００８】４と５は、各半導体レーザーの反射光が入
力する位置に設置された第一及び第二のＣＣＤである。
反射光（図2中破線矢印）は、標線相当点表面の微細な
凹凸によってランダムな干渉パターンであるスペックル
パターンを成す。このスペックルパターンは、各ＣＣＤ
４，５に捉えられることによって、ディジタルデータ化
される。このディジタルデータは、入力ポートを介して
コンピュータ６に入力される。入力されたディジタルデ
ータは、微細な粒子が不規則的に集合、離散した画像デ
ータに適宜変換されて記録される。画像データへの変換
は、コンピュータ入力前であっても良い。
力する位置に設置された第一及び第二のＣＣＤである。
反射光（図2中破線矢印）は、標線相当点表面の微細な
凹凸によってランダムな干渉パターンであるスペックル
パターンを成す。このスペックルパターンは、各ＣＣＤ
４，５に捉えられることによって、ディジタルデータ化
される。このディジタルデータは、入力ポートを介して
コンピュータ６に入力される。入力されたディジタルデ
ータは、微細な粒子が不規則的に集合、離散した画像デ
ータに適宜変換されて記録される。画像データへの変換
は、コンピュータ入力前であっても良い。
【０００９】コンピュータ６には、一般的なＰＩＶ解析
プログラムトがインストールされている。例えば第一Ｃ
ＣＤ４を介して入力され、変換された第一標線相当点Ａ
の移動前後の画像データは、ＰＩＶ解析プログラムによ
ってベクトルマップが作成され、これに基づいて移動量
が計算される。第二標線相当点Ｂからの反射光も同様に
して画像データとして記録され、解析されて移動量が計
算される。これら両移動量を比較し、演算することによ
って第一標線相当点Ａと第二標線相当点Ｂとの間の試料
１の変位量が算出される。比較演算にあたっては、市販
された別の一般的な計算プログラムが用いられる。ま
た、必要があれば、歪み曲線を描画するプログラムが組
込まれる。
プログラムトがインストールされている。例えば第一Ｃ
ＣＤ４を介して入力され、変換された第一標線相当点Ａ
の移動前後の画像データは、ＰＩＶ解析プログラムによ
ってベクトルマップが作成され、これに基づいて移動量
が計算される。第二標線相当点Ｂからの反射光も同様に
して画像データとして記録され、解析されて移動量が計
算される。これら両移動量を比較し、演算することによ
って第一標線相当点Ａと第二標線相当点Ｂとの間の試料
１の変位量が算出される。比較演算にあたっては、市販
された別の一般的な計算プログラムが用いられる。ま
た、必要があれば、歪み曲線を描画するプログラムが組
込まれる。
【００１０】第一及び第二の半導体レーザー２，３とＣ
ＣＤ４，５は、それぞれユニット化され、個別に追尾装
置７，８を有する。追尾装置７，８は、例えば半導体レ
ーザー２，３とＣＣＤ４，５のユニットを制御信号に基
づいて試料表面と平行移動させる駆動機構とその駆動源
としてのステッピングモータなどから成る。制御信号
は、第一標線相当点Ａあるいは第二標線相当点Ｂの移動
量が、例えば、固定された半導体レーザー２，３のスポ
ット径を超えたときあるいはＣＣＤの受光面積を超えた
ときに、コンピュータに組み込まれた追尾装置駆動制御
プログラムから発せられる。この制御信号によって、半
導体レーザー２，３とＣＣＤ４，５のユニットは、所定
の方向（標線相当点の移動方向）に所定距離だけ（標線
相当点の移動距離）移動変化する。これにより、レーザ
ー光は、常に第一もしくは第二標線相当点Ａ，Ｂに照射
するよう位置決め修正される。一方、ＣＣＤ４，５は、
レーザー光の反射光を確実に受光する位置に位置決め修
正される。
ＣＤ４，５は、それぞれユニット化され、個別に追尾装
置７，８を有する。追尾装置７，８は、例えば半導体レ
ーザー２，３とＣＣＤ４，５のユニットを制御信号に基
づいて試料表面と平行移動させる駆動機構とその駆動源
としてのステッピングモータなどから成る。制御信号
は、第一標線相当点Ａあるいは第二標線相当点Ｂの移動
量が、例えば、固定された半導体レーザー２，３のスポ
ット径を超えたときあるいはＣＣＤの受光面積を超えた
ときに、コンピュータに組み込まれた追尾装置駆動制御
プログラムから発せられる。この制御信号によって、半
導体レーザー２，３とＣＣＤ４，５のユニットは、所定
の方向（標線相当点の移動方向）に所定距離だけ（標線
相当点の移動距離）移動変化する。これにより、レーザ
ー光は、常に第一もしくは第二標線相当点Ａ，Ｂに照射
するよう位置決め修正される。一方、ＣＣＤ４，５は、
レーザー光の反射光を確実に受光する位置に位置決め修
正される。
【００１１】この追尾動作に伴なう半導体レーザー２，
３及びＣＣＤ４，５の追尾変化量と標線相当点Ａ，Ｂの
移動量とによって、第一及び第二標線相当点Ａ，Ｂの全
体変位を知ることができる。これによって、試料の２点
間の歪み量を求めるＪＩＳ基準に等価な歪み量が得られ
る。
３及びＣＣＤ４，５の追尾変化量と標線相当点Ａ，Ｂの
移動量とによって、第一及び第二標線相当点Ａ，Ｂの全
体変位を知ることができる。これによって、試料の２点
間の歪み量を求めるＪＩＳ基準に等価な歪み量が得られ
る。
【００１２】
【発明の効果】本発明によれば、レーザー光のスペック
ルパターンを撮像素子によってディジタルデータ化し、
このディジタルデータを画像データに変換し、伸縮変位
前後の画像をＰＩＶプログラムによって解析することで
試料の伸縮変位量を得るようにしたので、一次元的な電
気信号の強弱によって直接的に解析する従来例とは異な
り、二次元的な汎用の画像解析プログラムによって比較
的安価でかつ容易にしかも精度良く、伸縮変位量を測定
することができる。また、請求項２に係る本発明によれ
ば、試料の伸縮変位量に対応してレーザー光の照射位置
と撮像素子の位置とを移動変化させているので、伸縮変
位量が大きな場合にも２つの標線間の試料の変位量を確
実に測定でき、ＪＩＳ基準に適合する測定を行うことが
できる。
ルパターンを撮像素子によってディジタルデータ化し、
このディジタルデータを画像データに変換し、伸縮変位
前後の画像をＰＩＶプログラムによって解析することで
試料の伸縮変位量を得るようにしたので、一次元的な電
気信号の強弱によって直接的に解析する従来例とは異な
り、二次元的な汎用の画像解析プログラムによって比較
的安価でかつ容易にしかも精度良く、伸縮変位量を測定
することができる。また、請求項２に係る本発明によれ
ば、試料の伸縮変位量に対応してレーザー光の照射位置
と撮像素子の位置とを移動変化させているので、伸縮変
位量が大きな場合にも２つの標線間の試料の変位量を確
実に測定でき、ＪＩＳ基準に適合する測定を行うことが
できる。
【図１】本発明の一実施例に係る測定法を示すブロック
図。
図。
【図２】図１の方法を適用する装置の概念構成図。
１ 試料 ２ 第一半導体レーザー ３ 第二半導体レーザー ４ 第一ＣＣＤ ５ 第二ＣＣＤ ７，８ 追尾装置 Ａ 第一標線相当点 Ｂ 第二標線相当点
Claims (2)
- 【請求項１】試料表面の第一標線相当点とこの第一標線
相当点から所要の距離をおいた第二標線相当点とにレー
ザー光を照射し、 伸縮変位量測定時における上記レーザー光の反射した散
乱光のスペックルパターンを撮像素子によりディジタル
データ化し、 このディジタルデータを粒子の画像データに変換した
後、ＰＩＶ解析プログラムによって解析することによ
り、第一及び第二標線相当点の移動量を個別に算出し、
両移動量から第一及び第二標線相当点間の試料の伸縮変
位量を得る、 ことを特徴とするレーザー光を用いた非接触式の伸縮変
位量測定法。 - 【請求項２】試料表面の第一標線相当点とこの第一標線
相当点から所要の距離をおいた第二標線相当点とにレー
ザー光を照射し、 伸縮変位量測定時における上記レーザー光の反射した散
乱光のスペックルパターンを撮像素子によりディジタル
データ化し、 このディジタルデータを粒子の画像データに変換した
後、ＰＩＶ解析プログラムによって解析することによ
り、第一及び第二標線相当点の移動量を個別に算出し、 上記移動量に対応して第一標線相当点あるいは第二標線
相当点を追尾するように、レーザー光照射位置と上記撮
像素子の位置とを変化させ、 この変化量と上記移動量とから試料の伸縮変位量を得
る、 ことを特徴とするレーザー光を用いた非接触式の伸縮変
位量測定法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30638199A JP2001124516A (ja) | 1999-10-28 | 1999-10-28 | レーザー光を用いた非接触式の伸縮変位量測定法。 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30638199A JP2001124516A (ja) | 1999-10-28 | 1999-10-28 | レーザー光を用いた非接触式の伸縮変位量測定法。 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001124516A true JP2001124516A (ja) | 2001-05-11 |
Family
ID=17956353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30638199A Pending JP2001124516A (ja) | 1999-10-28 | 1999-10-28 | レーザー光を用いた非接触式の伸縮変位量測定法。 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001124516A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7514032B2 (en) * | 2002-07-02 | 2009-04-07 | Fina Technology, Inc. | Polymer processability evaluation through on-line image processing |
| CN100552431C (zh) * | 2004-05-12 | 2009-10-21 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 激光散斑干涉测量方法及装置 |
| CN102778196A (zh) * | 2011-05-10 | 2012-11-14 | 长春理工大学 | 一种基于激光标定的图像尺寸测量方法 |
| CN103185040A (zh) * | 2013-04-07 | 2013-07-03 | 江苏大学 | 用于轴流泵叶轮进口横截面piv流场测试的进口管 |
| CN103424082A (zh) * | 2013-07-30 | 2013-12-04 | 四川华腾公路试验检测有限责任公司 | 一种非接触式钢筋形变测量装置及测量方法 |
| CN104482873A (zh) * | 2014-09-18 | 2015-04-01 | 哈尔滨工业大学 | 临近空间气球变形测量方法 |
| CN110806356A (zh) * | 2019-09-11 | 2020-02-18 | 浙江超威创元实业有限公司 | 一种正极片延展量检测方法 |
| CN113175889A (zh) * | 2021-05-28 | 2021-07-27 | 中国科学院空天信息创新研究院 | 飞艇囊体应变在线监测装置 |
| GB2618524A (en) * | 2022-05-02 | 2023-11-15 | Imetrum Ltd | Non-contact deformation monitoring system |
-
1999
- 1999-10-28 JP JP30638199A patent/JP2001124516A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7514032B2 (en) * | 2002-07-02 | 2009-04-07 | Fina Technology, Inc. | Polymer processability evaluation through on-line image processing |
| CN100552431C (zh) * | 2004-05-12 | 2009-10-21 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 激光散斑干涉测量方法及装置 |
| CN102778196A (zh) * | 2011-05-10 | 2012-11-14 | 长春理工大学 | 一种基于激光标定的图像尺寸测量方法 |
| CN103185040A (zh) * | 2013-04-07 | 2013-07-03 | 江苏大学 | 用于轴流泵叶轮进口横截面piv流场测试的进口管 |
| CN103424082A (zh) * | 2013-07-30 | 2013-12-04 | 四川华腾公路试验检测有限责任公司 | 一种非接触式钢筋形变测量装置及测量方法 |
| CN104482873A (zh) * | 2014-09-18 | 2015-04-01 | 哈尔滨工业大学 | 临近空间气球变形测量方法 |
| CN104482873B (zh) * | 2014-09-18 | 2017-09-19 | 哈尔滨工业大学 | 临近空间气球变形测量方法 |
| CN110806356A (zh) * | 2019-09-11 | 2020-02-18 | 浙江超威创元实业有限公司 | 一种正极片延展量检测方法 |
| CN110806356B (zh) * | 2019-09-11 | 2022-01-28 | 浙江超威创元实业有限公司 | 一种正极片延展量检测方法 |
| CN113175889A (zh) * | 2021-05-28 | 2021-07-27 | 中国科学院空天信息创新研究院 | 飞艇囊体应变在线监测装置 |
| CN113175889B (zh) * | 2021-05-28 | 2023-03-14 | 中国科学院空天信息创新研究院 | 飞艇囊体应变在线监测装置 |
| GB2618524A (en) * | 2022-05-02 | 2023-11-15 | Imetrum Ltd | Non-contact deformation monitoring system |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3206843B2 (ja) | ３次元画像計測装置 | |
| CN110132374B (zh) | 一种自补偿式激光液位测量系统 | |
| JP2001124516A (ja) | レーザー光を用いた非接触式の伸縮変位量測定法。 | |
| JP2771594B2 (ja) | 物体の変位測定方法及び装置 | |
| JPH05249699A (ja) | 露光装置における位置決め装置 | |
| JP5130513B2 (ja) | ３次元変位ひずみ計測方法及び装置 | |
| JP3629568B2 (ja) | 架線検査方法および架線検査装置 | |
| TWI730749B (zh) | 陣列式3d影像建置裝置及其方法 | |
| JPH10185514A (ja) | コイル位置検出装置 | |
| JP2004279137A (ja) | 動的形状及び動的位置の同時測定装置 | |
| JP3723881B2 (ja) | 軌道間隔測定方法および軌道間隔測定装置 | |
| WO2013051624A1 (ja) | 速度計測装置 | |
| JP3201297B2 (ja) | コイル位置検出装置 | |
| JP2626611B2 (ja) | 物体形状測定方法 | |
| JPS62168007A (ja) | 形状認識装置 | |
| JP3225500B2 (ja) | 距離測定装置 | |
| JP3381420B2 (ja) | 突起検出装置 | |
| JP3112537B2 (ja) | 光学的三次元形状測定方法と測定装置 | |
| RU2153647C2 (ru) | Устройство для контроля линейных размеров по принципу триангуляции | |
| JP3966800B2 (ja) | 表面検査装置 | |
| JPH0285704A (ja) | 間隙測定装置 | |
| JPH11344321A (ja) | 非接触三次元物体形状測定方法および装置 | |
| JPH11211470A (ja) | 距離測定装置 | |
| JPS61191908A (ja) | 形状測定方法 | |
| JP6500586B2 (ja) | 検査装置及び検査方法 |