JP2001121694A - インクジェットヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】弾性壁に圧電素子を接合したときの接着剤によ
る弾性壁の剛性の変化を防止して安定したヘッド特性を
得る。 【解決手段】振動板８の圧電素子５側の露出した面に接
着剤２７で濡れない処理をし、圧電素子５と脚部２６を
接着剤２７で接合するときに、接着剤２７が脚部２６の
側面を伝わって振動板８の露出した面に付着することを
防ぎ、振動板８の剛性が局部的に高くなることを防止す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明はインクジェットプ
リンタに使用するインクジェットヘッド及びその製造方
法、特にヘッド特性の安定化に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録方式はインクジェッ
トヘッドを記録紙上に接触することなく記録することが
できると共に記録プロセスが非常に単純であることやカ
ラー記録にも適することなどから注目されている。この
インクジェット記録方式として種々の方式が提案されて
いるが、現在では記録信号が入力されたときのみインク
を吐出するいわゆるドロップオンデマンド方式が主流に
なっている。このドロップオンデマンド方式の中にはバ
ブルジェット方式とピエゾアクチュエータ方式がある。

【０００３】バブルジェット方式は熱エネルギによって
インク中に発生するバブルを利用するものであり、例え
ば特公昭６１−５９９１３号公報に示されているよう
に、インク流路中にアクチュエータに相当するヒータを
配設し、このヒータでインクを直接瞬間加熱することで
ヒータ表面にバブルを発生させ、この時のインク流路内
の圧力上昇によってインクを液滴化してノズルから飛翔
させる方式である。この方式ではヒータ加熱のための通
電時間は５〜１０μsecであり、ヒータ表面温度は３０
０℃にまで達する。このバブルジェット方式はアクチュ
エータに相当するヒータが非常に小さく、ヘッドの高集
積化や小型化が容易であるという利点を有する反面、ヒ
ータによる基板温度の上昇があるため、繰り返し駆動周
波数をあまり高くできず、また、ヒータによって直接イ
ンクを加熱するために、使用できるインクの種類が制約
されるという欠点がある。

【０００４】これに対してピエゾアクチュエータ方式
は、例えば特公昭６０−８９５３号公報に示されている
ように、液室を形成する容器の壁面にノズルを形成し、
このノズルに対向して液室内に圧電素子を配設し、この
圧電素子を駆動することによってノズル領域に動圧を生
じさせてインクを液滴化してノズルから飛翔させる方式
（以下、第１方式という）と、例えば特開平３−１０８
４６号公報に示されているいるように、加圧液室を構成
する壁面を変形可能な弾性壁とし、この弾性壁の外側に
圧電素子を設け、この圧電素子を用いて加圧液室の壁面
を変形させてその内容積を変化させることにより、加圧
液室内のインクに圧力を与えて液滴化してノズルから飛
翔させる方式（以下、第２方式という）がある。このピ
エゾアクチュエータ方式では圧電素子前面のノズル領域
あるいは加圧液室のパルス的な圧力上昇が必要であり、
圧電素子に印加される電圧波形は数μsec〜数１０μsec
の立ち上がり時間に設定され、インクの補給は圧電素子
の変位を元に戻すことによって行われる。このピエゾア
クチュエータ方式の内の液室内に圧電素子を配設する第
１の方式においては、圧電素子がインクに直接接触する
という問題があるが、加圧液室を設けて圧電素子により
加圧液室の変形可能な壁面を変形させる第２の方式にお
いては、圧電素子がインクに直接接触せず、圧電素子の
発熱も無視できるため、使用するインク種類の制約がな
いという利点がある。

【０００５】このピエゾアクチュエータ方式の第２方式
においてインクジェットヘッドの多チャンネル化を図る
ために、例えば特開平４−１６３５３号公報に示されて
いるように、圧電材からなるグリーンシートを焼結して
形成した基板となる下側導電素子プレート上に下側導電
体層を設け、この下側導電体層上に駆動用圧電素子とな
る圧電素子プレートを設け、さらに、この圧電素子プレ
ート上に上側導電体層を形成し、この積層体を上側導電
体層から下側導電体層までの深さで切断加工して上下面
に導電体層を有する２つの圧電素子プレートに分割し、
更にこの２つの圧電素子プレートを前記切断方面と直交
する方向で切断加工して多数の圧電素子に分割すること
で、列設された複数の圧電素子からなる圧電素子列を２
列配列し、これら圧電素子列の上面、すなわち上側導電
体膜上面にノズルに連通する加圧液室を配置している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このピエゾアクチュエ
ータ方式の第２方式においては、加圧液室に容積変化を
与える弾性壁に圧電素子を接合する必要がある。通常、
このような接合には接着剤が用いられている。この圧電
素子を弾性壁に接着剤で接合するときに接着剤のはみ出
しやブリードが発生すると、弾性壁の剛性が変化してヘ
ッド特性が変化する。このためチャンネル間でヘッド特
性のばらつきの無いものを安定に製造するためには接着
剤のはみ出しやブリードを無くす必要がある。この問題
を解決するためには、例えば特公平２−５２６２５号公
報に示されているように、弾性壁に脚部を設ける方法が
ある。しかしながら弾性壁に脚部を設けても接着剤のは
み出しやブリードによって弾性壁の剛性が変化すること
を完全に抑えることは困難であった。

【０００７】この発明はかかる短所を改善し、弾性壁に
圧電素子を接合したときの接着剤による弾性壁の剛性の
変化を防止して安定したヘッド特性を得ることができる
インクジェットヘッド及びその製造方法を提供すること
を目的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明に係るインクジ
ェットヘッドは、インク室の一部分を形成する振動板を
脚部を介して圧電素子に接着剤で接合し、圧電素子によ
って振動板を変位させてインク室の圧力を高めてノズル
からインク滴を噴射させるインクジェットヘッドにおい
て、振動板の圧電素子側の露出した面に接着剤で濡れな
い処理をしたことを特徴とする。

【０００９】この発明に係る第２のインクジェットヘッ
ドは、振動板の圧電素子側の脚部の取付け部を除いた面
と脚部の側面に接着剤で濡れない処理をしたことを特徴
とする。

【００１０】この発明に係る第３のインクジェットヘッ
ドは、振動板の圧電素子側の全面に接着剤で濡れない処
理をして脚部を取り付けたことを特徴とする。

【００１１】この発明に係る第４のインクジェットヘッ
ドは、圧電素子と接合する部分が拡径した脚部を振動板
と一体に形成し、振動板の脚部の取付け部を除いた面と
脚部の側面に接着剤で濡れない処理をしたことを特徴と
する。

【００１２】上記接着剤で濡れない処理は撥水処理であ
ることが望ましい。

【００１３】また、接着剤で濡れない処理をポリ四ふっ
化エチレン樹脂あるいはポリエチレンの樹脂皮膜で行な
っても良い。

【００１４】この発明に係るインクジェットヘッドの製
造方法は、インク室の一部分を形成する振動板を脚部を
介して圧電素子に接着剤で接合し、圧電素子によって振
動板を変位させてインク室の圧力を高めてノズルからイ
ンク滴を噴射させるインクジェットヘッドの製造方法に
おいて、振動板に脚部となる脚部材を積層し、脚部材の
上面にマスクパターンを形成し、脚部材をエッチングに
より加工して脚部形状を形成し、マスクパターン側から
液状の撥水処理剤で撥水処理して撥水層を形成した後マ
スクパターンを除去することを特徴とする。

【００１５】この発明に係る第２のインクジェットヘッ
ドの製造方法は、振動板に脚部となる脚部材を積層し、
脚部材の上面にマスクパターンを形成し、脚部材を加工
して脚部形状を形成し、マスクパターンを除去してから
脚部の上面にレジスト層を形成し、レジスト層側から液
状の撥水処理剤で撥水処理して撥水を形成した後レジス
ト層を除去することを特徴とする。

【００１６】この発明に係る第３のインクジェットヘッ
ドの製造方法は、圧電素子と接合する部分が拡径した脚
部を振動板と一体に形成し、脚部側から液状の撥水処理
剤で撥水処理して撥水層を形成した後、異方性エッチン
グによって脚部の圧電素子との接合面の撥水層を取り除
くことを特徴とする。

【００１７】

【発明の実施の形態】この発明のインクジェットヘッド
の振動板は圧電素子に脚部を介して接着剤で接合されて
いる。この振動板の圧電素子側の脚部の取付位置以外の
露出した面と脚部の側面には接着剤に濡れないように処
理された皮膜、例えば撥水処理が行なわれた撥水層が形
成され、撥水層を有する脚部の先端部が圧電素子に接着
剤で接合されている。このため圧電素子と脚部を接着剤
で接合するときに、接着剤が脚部の側面を伝わって振動
板の露出した面に付着することを防ぐことができ、振動
板の剛性を高めることを防止して安定したヘッド特性を
得る。

【００１８】

【実施例】図１はこの発明の一実施例のインクジェット
ヘッドの外観斜視図、図２はインクジェットヘッドの分
解斜視図である。図１に示すように、インクジェットヘ
ッド１はアクチュエータユニット２及びアクチュエータ
ユニット２上に接合された液室ユニット３とを有する。
アクチュエータユニット２は、図２に示すように、基板
４の上に２列に配置した圧電素子列５が設けられ、この
２列の圧電素子列５を取り囲むフレーム６が接着剤によ
って基板４に接合している。各圧電素子列５は液室ユニ
ット３内のインクを液滴化して飛翔させるための駆動パ
ルスが与えられている複数の圧電素子（以下、駆動部圧
電素子という）５ａと、駆動部圧電素子５ａ間に位置
し、駆動パルスが与えられずに単に第１液室固定部材と
なる複数の圧電素子（以下、固定部圧電素子という）５
ｂとを交互に配列したバイピッチ構造になっている。

【００１９】液室ユニット３はダイアフラム部７を形成
した振動板８の上に加圧液室流路等を形成する感光体樹
脂フィルム（ドライフィルムレジスト）からなる液室流
路形成部材９を接着し、この液室流路形成部材９上に複
数のノズル１０を有するノズルプレート１１を接着して
形成している。そして振動板８と液室流路形成部材９及
びノズルプレート１１によって圧電素子列５の各駆動部
圧電素子５ａに対向するダイヤフラム部７を有する複数
の加圧液室１２をそれぞれ略独立して形成し、各ノズル
１０を圧電素子列５の各駆動部圧電素子５ａに対向して
配列している。この液室ユニット３はその振動板８が接
着剤によってアクチュエータユニット２の上面に高い剛
性で接合されている。

【００２０】アクチュエータユニット２の基板４は厚さ
が０．５〜５ｍｍ程度に形成され、圧電素子に似た材質
のもの例えばセラミックス等からなり、圧電素子と共に
例えばダイヤモンド砥石による切削が可能なものである
ことが好ましい。基板４上の各圧電素子列５の列設方向
と直交する方向の両端部には各圧電素子列５の個々の駆
動部圧電素子５ａと固定部圧電素子５ｂの対向しない端
面側を接続する個別電極１３が分割溝１４で分割されて
いる。各圧電素子列４間には分割溝１４と直交する方向
に、分割溝１４よりも深い共通溝１５が形成されてい
る。この共通溝１５側には各圧電素子列５の個々の駆動
部圧電素子５ａ及び固定部圧電素子５ｂの対向する端面
側を接続する共通電極１６が形成されている。基板４の
端部に形成したインク供給孔１７にはインク供給パイプ
１８が接続される。

【００２１】圧電素子列５を構成する駆動部圧電素子５
ａと固定部圧電素子５ｂは１０層以上の積層型圧電素子
を用いている。この積層型圧電素子は１層の厚さが２０
〜５０μｍのＰＺＴ（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ₃）と、１
層の厚さが数μｍの銀・パラジュームからなる内部電極
とを交互に積層したものである。このように厚さが２０
〜５０μｍのＰＺＴの積層型とすることにより駆動電圧
の低電圧化を図れ、例えば２０〜５０Ｖのパルス電圧で
圧電素子の電界強度１０００Ｖ／ｍｍを得ることができ
る。この圧電素子として用いる材料はＰＺＴに限られる
ものでなく、一般に圧電素子材料として用いられえるＢ
ａＴｉＯ₃やＰｂＴｉＯ₃，（ＮａＫ）ＮｂＯ₃等の強誘
電体などを用いることもできる。

【００２２】各圧電素子列５の駆動部圧電素子５ａの両
端面には多数の内部電極を１層おきに接続した銀・パラ
ジュームからなる端面電極を設け、各圧電素子列５の各
駆動部圧電素子５ａの対向する端面側の端面電極を基板
４上の共通電極１６に導電性接着剤を介して接続し、各
圧電素子列５の各駆動部圧電素子５ａの対向しない端面
側の端面電極を基板４上の個別電極１３に導電性接着剤
を介して接続している。各個別電極１３と共通電極１６
にはＦＰＣケーブル１９が接続されている。このＦＰＣ
ケーブル１９を介して駆動部圧電素子５ａに駆動パルス
を与えて積層方向に電界を発生し、駆動部圧電素子５ａ
に積層方向の伸びの変位を生じさせる。固定部圧電素子
５ｂも製造工程上、駆動部圧電素子５ａと同様に電極が
設けられているが、駆動パルスを印加しない構成になっ
ている。

【００２３】フレーム６は、図２に示すように、合成樹
脂やセラミックス，金属等からなる板状部材に圧電素子
列５に対応する透孔部２０を穿設して形成していると共
に、端部には基板４のインク供給孔１７に対応する位置
にインク供給孔２１が設けられている。

【００２４】液室ユニット３の液室流路形成部材９は、
図２に示すように、下側液室流路形成部材９ａと上側液
室流路形成部材９ｂを有し、下側液室流路形成部材９ａ
に接合した振動板８は下側液室流路形成部材９ｂ側は平
坦面とし、圧電素子列５側はそれぞれ厚みの異なるダイ
アフラム領域と接合領域及び逃げ領域を形成して、圧電
素子列５の駆動部圧電素子５ａに対応してダイアフラム
部７を形成している。下側液室流路形成部材９ａは振動
板８の上面に接着された感光体樹脂フィルムからなり、
上側液室流路形成部材９ｂと相俟って圧電素子列５の各
駆動部圧電素子５ａに対応して各々独立した加圧液室１
２を形成すると共に、各加圧液室１２へのインク供給路
を兼ねた流体抵抗部２２を形成する多数の内側隔壁部２
３と、加圧液室１２の周囲に共通インク流路２４を形成
する外周隔壁部２５とを有する。内側隔壁部２３は圧電
素子列５が２列に形成されていることに対応して２列に
形成され、各列の間も共通インク流路２４になってい
る。上側液室流路形成部材９ｂは下側液室流路形成部材
９ａとほぼ同様の構成であるが、下側液室流路形成部材
９ａの流体抵抗部２２に相当する部分がない点で異な
る。

【００２５】ノズルプレート１１はＳｉ若しくは金属材
料等によって形成され、インク滴を飛翔させるための微
細孔である多数のノズル１０が設けられており、ノズル
１０の径はインク滴出口側の直径で３５μｍ以下に形成
し、加圧液室１２の中心近傍に対応する位置に設けてあ
る。

【００２６】上記のように構成したインクジェットヘッ
ド１の振動板８と圧電素子５との接合部分の断面を図３
に示す。振動板８は圧電素子５に円錐台状に形成された
脚部２６を介して接着剤２７で接合されている。この振
動板８の圧電素子５側の脚部２６の取付位置以外の露出
した面と脚部２６の側面には接着剤２７に濡れないよう
に処理された皮膜、例えば撥水処理が行なわれた撥水層
２８が形成され、撥水層２８を有する脚部２６の先端部
が圧電素子５に接着剤２７で接合されている。このため
圧電素子５と脚部２６を接着剤２７で接合するときに、
接着剤２７が脚部２６の側面を伝わって振動板８の露出
した面に付着することを防ぐことができ、振動板８の剛
性を高めることを防止して、安定したヘッド特性を得る
ことができる。

【００２７】この撥水層２８と脚部２６を有する振動板
８の製造方法を図４の工程図を参照して説明する。図４
（ａ）に示すように、合成樹脂からなる振動板８に金属
材料からなる脚部材２９をあらかじめ積層しておき、脚
部材２９上にレジスト層のマスクパターン３０を通常の
フォトリゾグラフィ工程を用いて形成する。次ぎに、
（ｂ）に示すように、ウエットエッチングを用いて脚部
材２９をエッチングして円錐台状の脚部２６を形成す
る。その後、（ｃ）に示すように、マスクパターン３０
と脚部２６の前面及び振動板８の上面に液状の撥水剤を
塗布し撥水層２８を形成する。その後、（ｄ）に示すよ
うに、マスクパターン３０を除去して撥水層２８と脚部
２６を有する振動板８を得る。この撥水層２８と脚部２
６を有する振動板８の脚部２６の先端部を駆動部圧電素
子５ａや固定部圧電素子５ｂに接着剤２７で接合する。

【００２８】また、撥水層２８と脚部２６を有する振動
板８の他の製造方法を図５の工程図を参照して説明す
る。図５（ａ）に示すように、合成樹脂からなる振動板
８に金属材料からなる脚部材２９をあらかじめ積層して
おき、脚部材２９上にレジスト層のマスクパターン３０
を通常のフォトリゾグラフィ工程を用いて形成する。次
ぎに、（ｂ）に示すように、ウエットエッチングを用い
て脚部材２９をエッチングして脚部２６を形成する。そ
の後、（ｃ）に示すようにマスクパターン３０をを状居
し、（ｄ）に示すように、脚部２６の上部に転写により
新たにレジスト層３１を形成する。そして、（ｅ）に示
すように、レジスト層３１と脚部２６の前面及び振動板
８の上面に液状の撥水剤を塗布し撥水層２８を形成す
る。その後、（ｆ）に示すように、レジスト層３１を除
去して撥水層２８と脚部２６を有する振動板８を得る。
このように撥水処理時に専用のレジスト層３１を形成す
るから、レジストの選択の自由度が大きく、特に剥離時
の撥水層２８へのダメージを軽減できる。さらに、円錐
台状の脚部２６の形成の方法としてエッチング以外の切
削等他の加工方法を適応することができ、加工の適応範
囲を広くすることができる。

【００２９】上記実施例は撥水層２８を振動板８の圧電
素子側の脚部２６の取付位置以外の露出した面と脚部２
６の側面に設けた場合について説明したが、図６の断面
図に示すように、振動板８の圧電素子５側の全面に撥水
層２８を設け、この撥水層２８に脚部２６を設けても良
い。このように振動板８の圧電素子５側の全面に撥水層
２８を設けることにより、脚部２６の先端部を圧電素子
５に接着剤２７で接合したときに、脚部２６を伝わった
接着剤２７が振動板８の露出した面に付着することを防
ぐことができ、振動板８の実効的な剛性を上げることを
防止して、安定したヘッド特性を得ることができる。

【００３０】上記各実施例は振動板８に円錐台状に形成
した脚部２６を設けた場合について説明したが、図７の
断面図に示すように、先端部が拡径して形成され、振動
板８との連結部が細くなった脚部３２を振動板８と一体
に作製し、振動板８の露出した全面と脚部３２との連結
部に撥水層２８を形成しても良い。この脚部３２と一体
になった振動板８は、例えばＮｉ電鋳や成形等により作
製すれば良い。

【００３１】この脚部３２と一体になった振動板８に撥
水層２８を形成する方法を図８の工程図を参照して説明
する。図８（ａ）に示すように、例えばＮｉ電鋳により
脚部３２と一体になった振動板８を作製する。次ぎに、
（ｂ）に示すように、脚部３２と一体になった振動板８
の脚部３２側から全面に液体の撥水剤を塗布して撥水層
２８を形成する。その後、（ｃ）に示すように、Ｏ₂プ
ラズマ３３を脚部３２側から照射して、（ｄ）に示すよ
うに、脚部３２の先端部の拡径した部分の撥水層２８を
除去する。このようにしてフォトリゾグラフィ工程等を
使用しないで振動板８に撥水層２８を形成することがで
き、撥水層２８を簡単に形成することができるとともに
必要な部分のみに撥水処理を行うことができる。

【００３２】上記各実施例は振動板８に接着剤２７が付
着しないように、振動板８や脚部２６，３２に撥水層２
８を形成して、振動板８が接着剤２７で濡れないように
した場合について説明したが、振動板８の露出した面や
脚部２６，３２の側面にポリ四ふっ化エチレン樹脂やポ
リエチレン等のように接着剤２７に濡れない樹脂皮膜を
形成しても、上記実施例と同様の作用を奏することがで
きる。

【００３３】

【発明の効果】この発明は以上説明したように、振動板
の圧電素子側の露出した面に接着剤で濡れない処理をし
たから、圧電素子と脚部を接着剤で接合するときに、接
着剤が脚部の側面を伝わって振動板の露出した面に付着
することを防ぐことができ、振動板の剛性が局部的に高
くなることを防止して、安定したヘッド特性を得ること
ができる。

【００３４】また、振動板の圧電素子側の脚部の取付け
部を除いた面と脚部の側面に接着剤で濡れない処理をす
ることにより、圧電素子と脚部を接着剤で接合するとき
に、接着剤が脚部の側面を伝わって振動板の露出した面
に付着することをより確実に防ぐことができ、振動板の
剛性が局部的に高くなることを防止して、安定したヘッ
ド特性を得ることができる。

【００３５】さらに、振動板の圧電素子側の全面に接着
剤で濡れない処理をして脚部を取り付けることにより、
接着剤で濡れない処理を簡単にできるとともに圧電素子
と脚部を接着剤で接合するときに、接着剤が脚部の側面
を伝わって振動板の露出した面に付着することを防ぐこ
とができ、振動板の剛性が局部的に高くなることを防止
して、安定したヘッド特性を得ることができる。

【００３６】また、圧電素子と接合する部分が拡径した
脚部を振動板と一体に形成し、振動板の脚部の取付け部
を除いた面と脚部の側面に接着剤で濡れない処理をする
ことにより、脚部を有する振動板を容易に作製できると
ともに接着剤で濡れない処理を簡単にできる。また、圧
電素子と脚部を接着剤で接合するときに、接着剤が脚部
の側面を伝わって振動板の露出した面に付着することを
防ぐことができ、振動板の剛性が局部的に高くなること
を防止して、安定したヘッド特性を得ることができる。

【００３７】この接着剤で濡れない処理として撥水処理
を行なうことにより、簡単な処理で圧電素子と脚部を接
着剤で接合するときに、接着剤が脚部の側面を伝わって
振動板の露出した面に付着することを防ぐことができ
る。

【００３８】また、接着剤で濡れない処理をポリ四ふっ
化エチレン樹脂あるいはポリエチレンの樹脂皮膜で行な
うことにより、圧電素子と脚部を接着剤で接合するとき
に、接着剤が脚部の側面を伝わって振動板の露出した面
に付着することを確実に防ぐことができる。

【００３９】また、振動板に脚部となる脚部材を積層
し、脚部材の上面にマスクパターンを形成し、脚部材を
エッチングにより加工して脚部形状を形成し、マスクパ
ターン側から液状の撥水処理剤で撥水処理して撥水層を
形成した後マスクパターンを除去することにより、撥水
層を有する振動板を容易に製造することができる。

【００４０】さらに、振動板に脚部となる脚部材を積層
し、脚部材の上面にマスクパターンを形成し、脚部材を
加工して脚部形状を形成し、マスクパターンを除去して
から脚部の上面にレジスト層を形成し、レジスト層側か
ら液状の撥水処理剤で撥水処理して撥水を形成した後レ
ジスト層を除去することにより、脚部を任意の加工方法
で加工できるとともに、安定した撥水層を有する振動板
を容易に製造することができる。

【００４１】また、圧電素子と接合する部分が拡径した
脚部を振動板と一体に形成し、脚部側から液状の撥水処
理剤で撥水処理して撥水層を形成した後、異方性エッチ
ングによって脚部の圧電素子との接合面の撥水層を取り
除くことにより、脚部を有する振動板を容易に作製でき
るとともに、必要とする部分に安定した撥水層を形成す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例のインクジェットヘッドの外
観斜視図である。

【図２】上記インクジェットヘッドの分解斜視図であ
る。

【図３】上記実施例の振動板と圧電素子の接合部分を示
す断面図である。

【図４】撥水層を有する振動板と脚部の製造工程図であ
る。

【図５】撥水層を有する振動板と脚部の他の製造工程図
である。

【図６】第２の実施例の振動板と圧電素子の接合部分を
示す断面図である。

【図７】第３の実施例の振動板と圧電素子の接合部分を
示す断面図である。

【図８】第３の実施例の撥水層を有する振動板と脚部の
製造工程図である。

【符号の説明】

１；インクジェットヘッド、２；アクチュエータユニッ
ト、３；液室ユニット、４；基板、５；圧電素子列、
６；フレーム、８；振動板、１０；ノズル、２６；脚
部、２７；接着剤、２８；撥水層。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インク室の一部分を形成する振動板を脚
   部を介して圧電素子に接着剤で接合し、圧電素子により
   振動板を変位させてインク室の圧力を高めてノズルから
   インク滴を噴射させるインクジェットヘッドにおいて、 振動板の圧電素子側の露出した面に接着剤で濡れない処
   理をしたことを特徴とするインクジェットプヘッド。
2. 【請求項２】 インク室の一部分を形成する振動板を脚
   部を介して圧電素子に接着剤で接合し、圧電素子により
   振動板を変位させてインク室の圧力を高めてノズルから
   インク滴を噴射させるインクジェットヘッドにおいて、 振動板の圧電素子側の脚部の取付け部を除いた面と脚部
   の側面に接着剤で濡れない処理をしたことを特徴とする
   インクジェットヘッド。
3. 【請求項３】 インク室の一部分を形成する振動板を脚
   部を介して圧電素子に接着剤で接合し、圧電素子により
   振動板を変位させてインク室の圧力を高めてノズルから
   インク滴を噴射させるインクジェットヘッドにおいて、 振動板の圧電素子側の全面に接着剤で濡れない処理をし
   て脚部を取り付けたことを特徴とするインクジェットヘ
   ッド。
4. 【請求項４】 インク室の一部分を形成する振動板を脚
   部を介して圧電素子に接着剤で接合し、圧電素子により
   振動板を変位させてインク室の圧力を高めてノズルから
   インク滴を噴射させるインクジェットヘッドにおいて、 圧電素子と接合する部分が拡径した脚部を振動板と一体
   に形成し、振動板の脚部の取付け部を除いた面と脚部の
   側面に接着剤で濡れない処理をしたことを特徴とするイ
   ンクジェットヘッド。
5. 【請求項５】 上記接着剤で濡れない処理は撥水処理で
   ある請求項１乃至４のいずれかに記載のインクジェット
   ヘッド。
6. 【請求項６】 上記接着剤で濡れない処理をポリ四ふっ
   化エチレン樹脂あるいはポリエチレンの樹脂皮膜で行な
   う請求項１乃至４のいずれかに記載のインクジェットヘ
   ッド。
7. 【請求項７】 インク室の一部分を形成する振動板を脚
   部を介して圧電素子に接着剤で接合し、圧電素子により
   振動板を変位させてインク室の圧力を高めてノズルから
   インク滴を噴射させるインクジェットヘッドの製造方法
   において、 振動板に脚部となる脚部材を積層し、脚部材の上面にマ
   スクパターンを形成し、脚部材をエッチングにより加工
   して脚部形状を形成し、マスクパターン側から液状の撥
   水処理剤で撥水処理して撥水層を形成した後マスクパタ
   ーンを除去することを特徴とするインクジェットヘッド
   の製造方法。
8. 【請求項８】 インク室の一部分を形成する振動板を脚
   部を介して圧電素子に接着剤で接合し、圧電素子により
   振動板を変位させてインク室の圧力を高めてノズルから
   インク滴を噴射させるインクジェットヘッドの製造方法
   において、 振動板に脚部となる脚部材を積層し、脚部材の上面にマ
   スクパターンを形成し、脚部材を加工して脚部形状を形
   成し、マスクパターンを除去してから脚部の上面にレジ
   スト層を形成し、レジスト層側から液状の撥水処理剤で
   撥水処理して撥水を形成した後レジスト層を除去するこ
   とを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
9. 【請求項９】 インク室の一部分を形成する振動板を脚
   部を介して圧電素子に接着剤で接合し、圧電素子により
   振動板を変位させてインク室の圧力を高めてノズルから
   インク滴を噴射させるインクジェットヘッドの製造方法
   において、 圧電素子と接合する部分が拡径した脚部を振動板と一体
   に形成し、脚部側から液状の撥水処理剤で撥水処理して
   撥水層を形成した後、異方性エッチングによって脚部の
   圧電素子との接合面の撥水層を取り除くことを特徴とす
   るインクジェットヘッドの製造方法。