JP2001121391A - Polishing plate combining method - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光学レンズやミラ
ー等の光学素子を研磨する研磨皿、特に発泡ポリウレタ
ンシートを貼着した研磨皿の研磨球面を形成するための
研磨皿の合わせ方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polishing dish for polishing an optical element such as an optical lens or a mirror, and more particularly to a method for aligning a polishing dish for forming a polishing spherical surface of a polishing dish having a foamed polyurethane sheet attached thereto. It is.
【０００２】[0002]
【従来の技術】光学レンズやミラー等の光学素子を研磨
する研磨工程においては、研磨球面に発泡ポリウレタン
シート（単にウレタンパッドという。）を貼着した研磨
皿が用いられており、この種の研磨皿における研磨球面
の形成および修正には、実開昭６１−６４９４８号公報
等にも記載されているように、近年、ダイヤモンドの砥
粒および金属材料を主成分として焼結した略ダイヤモン
ドペレット皿（以下、単にダイヤモンドペレット皿とい
う。）が用いられている。2. Description of the Related Art In a polishing process for polishing an optical element such as an optical lens or a mirror, a polishing plate in which a foamed polyurethane sheet (hereinafter simply referred to as a urethane pad) is adhered to a polishing spherical surface is used. As described in Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 61-64948 and the like, in recent years, as described in Japanese Unexamined Utility Model Publication No. 61-64948, a substantially diamond pellet dish obtained by sintering diamond abrasive grains and a metal material as main components has been used. Hereinafter, it is simply referred to as a diamond pellet dish.).
【０００３】この従来一般に採用されている研磨皿の研
磨面を形成する方法について図３の（ａ）および（ｂ）
を参照して説明すると、１０１は、研磨面にウレタンパ
ッド１０２を貼着した研磨皿であり、１０５は金属製本
体１０３にダイヤモンドの砥粒および金属材料を主成分
として焼結したダイヤモンドペレット皿１０４を貼り付
けた合わせ工具であり、合わせ工具１０５は、オスカー
タイプ研磨機にて上軸アーム１１０に対して垂直に設定
したカンザシ１１１により支持され、ダイヤモンドペレ
ット皿１０４を研磨皿１０１のウレタンパッド１０２に
当接させている。そして、研磨皿１０１を矢印ａ方向に
回転させて、合わせ工具１０５のダイヤモンドペレット
皿１０４を矢印ｂ方向に従属回転させるとともに、合わ
せ工具１０５をカンザシ１１１を介して図３の（ｂ）に
矢印ｃで示すように揺動運動させ、このウレタンパッド
１０２とダイヤモンドペレット皿１０４の相対運動によ
り、ウレタンパッド１０２の研磨面１０６を形成してい
る。FIGS. 3 (a) and 3 (b) show a method of forming a polished surface of a polishing plate which is generally employed in the prior art.
Reference numeral 101 denotes a polishing plate having a polishing surface to which a urethane pad 102 is adhered, and reference numeral 105 denotes a diamond pellet plate 104 obtained by sintering a metal body 103 with diamond abrasive grains and a metal material as main components. The bonding tool 105 is supported by a screwdriver 111 set perpendicular to the upper shaft arm 110 by an Oscar type polishing machine, and the diamond pellet plate 104 is attached to the urethane pad 102 of the polishing plate 101. Abutting. Then, the polishing plate 101 is rotated in the direction of the arrow a to rotate the diamond pellet plate 104 of the fitting tool 105 in the direction of the arrow b, and the fitting tool 105 is rotated through the kansashi 111 in the direction of the arrow c in FIG. The rocking movement is performed as shown by, and the polishing surface 106 of the urethane pad 102 is formed by the relative movement between the urethane pad 102 and the diamond pellet dish 104.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来技術における研磨皿のウレタンパッドの研磨球面
を合わせ工具のダイヤモンドペレット皿で形成する方法
においては、合わせ工具のダイヤモンドペレット皿の半
開角は研磨皿の半開角に対して同等の角度もしくはやや
小さい角度に設定されており、また、機械剛性に関わる
振動等の発生あるいは前記ダイヤモンドペレット皿がウ
レタンパッドの研磨面全域に作用されないこと等のため
に、ウレタンパッドの表面を均一な球面に形成すること
ができない場合がある。そのために、ダイヤモンドペレ
ット皿の揺動運動量を研磨皿の半開角に対して３５％〜
４５％にして、ウレタンパッドの表面を均一な球面に形
成するようにしている。しかし、前記研磨皿の半開角に
対して３５％〜４５％とする揺動運動量は過大であるた
めに、合わせ工具のダイヤモンドペレット皿の球面精度
の安定性および持続性が得られなくなる。したがって、
合わせ工具のダイヤモンドペレット皿の球面精度出しを
頻繁に行なわなければならず、また、このようなダイヤ
モンドペレット皿を用いて球面形状を形成した研磨皿に
よる研磨加工においても面精度が得られず、作業能率が
低下するという問題点を有していた。However, in the method of forming the polishing spherical surface of the urethane pad of the polishing dish with the diamond pellet dish of the aligning tool in the above-mentioned prior art, the half-open angle of the diamond pellet dish of the aligning tool is determined by the polishing dish. It is set to an angle equal to or slightly smaller than the half-opening angle of the half-open angle, and in order to prevent vibration or the like related to mechanical rigidity or the diamond pellet dish from acting on the entire polishing surface of the urethane pad, etc. In some cases, the surface of the urethane pad cannot be formed into a uniform spherical surface. Therefore, the swinging momentum of the diamond pellet dish is set to 35% or more of the half opening angle of the polishing dish.
By setting it to 45%, the surface of the urethane pad is formed into a uniform spherical surface. However, since the swinging momentum of 35% to 45% with respect to the half opening angle of the polishing dish is excessive, the stability and the sustainability of the spherical accuracy of the diamond pellet dish of the aligning tool cannot be obtained. Therefore,
It is necessary to frequently perform the spherical precision of the diamond pellet dish of the assembling tool, and the surface precision cannot be obtained even in the polishing process using the polishing dish that has formed a spherical shape using such a diamond pellet dish. There was a problem that the efficiency was reduced.
【０００５】そこで、本発明は、上述の従来技術の有す
る未解決の問題点に鑑みてなされたものであって、ウレ
タンパッドを貼着した研磨皿の研磨球面を形成する合わ
せ工具のダイヤモンドペレット皿の球面精度の持続性お
よび安定性を向上させるとともにウレタンパッドの表面
を均一な球面精度に形成することができる研磨皿の合わ
せ方法を提供することを目的とするものである。Accordingly, the present invention has been made in view of the above-mentioned unsolved problems of the prior art, and is directed to a diamond pellet dish of a mating tool for forming a polished spherical surface of a polishing dish to which a urethane pad is adhered. It is an object of the present invention to provide a method for aligning a polishing dish which can improve the durability and stability of the spherical accuracy of the above and can form the surface of the urethane pad with uniform spherical accuracy.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の研磨皿の合わせ方法は、光学素子の研磨加
工に使用されるウレタンパッドを貼着した研磨皿の研磨
表面を、ダイヤモンドの砥粒および金属材料を主成分と
して焼結したダイヤモンドペレット皿を用いてオスカー
タイプ研磨機にて形成する研磨皿の合わせ方法におい
て、前記ダイヤモンドペレット皿を傾斜角をもって前記
研磨皿のウレタンパッドに当接させて該ウレタンパッド
の研磨球面に形成することを特徴とする。In order to achieve the above object, a method for aligning a polishing plate according to the present invention comprises the steps of: polishing a polishing surface of a polishing plate to which a urethane pad used for polishing an optical element is adhered; In a method of aligning a polishing dish formed by an Oscar-type polishing machine using a diamond pellet dish sintered mainly of abrasive grains and a metal material, the diamond pellet dish is brought into contact with a urethane pad of the polishing dish at an inclined angle. The urethane pad is formed into a polished spherical surface.
【０００７】本発明の研磨皿の合わせ方法においては、
前記ダイヤモンドペレット皿の傾斜角を前記研磨皿の半
開角に対して１０％〜３０％の角度に設定することが好
ましく、また、前記ダイヤモンドペレット皿の揺動運動
量を前記研磨皿の半開角に対して２０％〜３０％の範囲
で設定することが好ましい。In the method for aligning a polishing dish according to the present invention,
Preferably, the inclination angle of the diamond pellet dish is set to an angle of 10% to 30% with respect to the half-open angle of the polishing dish, and the swinging momentum of the diamond pellet dish is set to the half-open angle of the polishing dish. Is preferably set in the range of 20% to 30%.
【０００８】[0008]
【作用】本発明の研磨皿の合わせ方法によれば、合わせ
工具のダイヤモンドペレット皿に傾斜角をつけかつ揺動
運動量を小さくすることにより、具体的には、ダイヤモ
ンドペレット皿の傾斜角を研磨皿の半開角に対して１０
％〜３０％の角度に設定し、ダイヤモンドペレット皿の
揺動運動量を研磨皿の半開角に対して２０％〜３０％に
小さく設定することにより、研磨皿のウレタンパッドの
表面を均一な研磨球面に形成でき、さらに、合わせ工具
のダイヤモンドペレット皿の球面精度の持続性および安
定性が得られる。また、均一な球面精度に形成された研
磨皿のウレタンパッドによる研磨工程においても初期面
精度の再現性を向上させさらに安定性も得られる。According to the method of aligning a polishing dish of the present invention, the angle of inclination of the diamond pellet dish and the swinging momentum of the diamond pellet dish of the aligning tool are reduced. 10 for half-open angle of
% To 30%, and the swinging momentum of the diamond pellet dish is set to a small value of 20% to 30% with respect to the half-open angle of the polishing dish, so that the surface of the urethane pad of the polishing dish is uniformly polished. In addition, the continuity and stability of the spherical accuracy of the diamond pellet dish of the mating tool can be obtained. Further, even in a polishing process using a urethane pad of a polishing plate formed with uniform spherical accuracy, reproducibility of the initial surface accuracy is improved, and further stability is obtained.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
【００１０】図１は、本発明の研磨皿の合わせ方法の一
実施例を説明するための図であって、（ａ）は合わせ工
具のダイヤモンドペレット皿により研磨皿の研磨球面を
形成する状態を示す模式図であり、（ｂ）は合わせ工具
のダイヤモンドペレット皿の揺動運動を示す正面から見
た模式図である。FIG. 1 is a view for explaining an embodiment of a method for aligning a polishing dish according to the present invention. FIG. 1A shows a state in which a polishing spherical surface of a polishing dish is formed by a diamond pellet dish of a matching tool. FIG. 4B is a schematic diagram showing the swinging motion of the diamond pellet dish of the aligning tool as viewed from the front, in which FIG.
【００１１】図１において、１は、研磨面にウレタンパ
ッド２を貼着した研磨皿であり、５は金属製本体３にダ
イヤモンドの砥粒および金属材料を主成分として焼結し
たダイヤモンドペレット皿４を接着剤で貼り付けた合わ
せ工具であり、合わせ工具５は、オスカータイプ研磨機
の上軸アーム１０に対して調整ねじ１２により角度調整
可能に取り付けられるカンザシ１１により支持され、研
磨皿１のウレタンパッド２の研磨球面をダイヤモンドペ
レット皿４により形成する際に、合わせ工具５のダイヤ
モンドペレット皿４は、図１の（ａ）に示すように、調
整ねじ１２によるカンザシ１１の傾斜により、研磨皿１
のウレタンパッド２に対して傾斜させて当接させる。こ
の合わせ工具５の研磨皿１に対する傾斜角度は、研磨皿
１の半開角θ1 に対して１０％〜３０％の傾斜角θ2 に
設定することが好ましく、そして、合わせ工具５の図１
の（ｂ）に示す矢印ｃ方向の揺動運動は、研磨皿１の半
開角θ1 に対して２０％〜３０％の揺動運動量となるよ
うに設定することが好ましい。In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a polishing dish having a polishing surface to which a urethane pad 2 is adhered. Reference numeral 5 denotes a diamond pellet dish 4 formed by sintering a metal body 3 containing diamond abrasive grains and a metal material as main components. The bonding tool 5 is supported by a screw 11 which is attached to the upper shaft arm 10 of the Oscar type polishing machine so that the angle can be adjusted by an adjusting screw 12, and the urethane of the polishing plate 1 is When the polishing spherical surface of the pad 2 is formed by the diamond pellet dish 4, the diamond pellet dish 4 of the mating tool 5 is adjusted by the inclination of the screw 11 by the adjusting screw 12 as shown in FIG.
To make contact with the urethane pad 2 at an angle. It is preferable that the angle of inclination of the aligning tool 5 with respect to the polishing plate 1 be set to an inclination angle θ 2 of 10% to 30% with respect to the half-open angle θ 1 of the polishing plate 1.
Swinging movement of the arrow c direction shown in the (b) is preferably set relative to the half-open angle theta 1 of the polisher 1 as a 20% to 30% of the oscillating movement amount.
【００１２】合わせ工具５の研磨皿１に対する傾斜角θ
2 において、研磨皿１の半開角θ1に対して１０％以下
の傾斜角θ2 の設定では、ダイヤモンドペレット皿４の
半開角は研磨皿１の半開角に対して合わせ工具５の同等
もしくはやや小さい角度に設定されているため、回転す
る研磨皿１の中心部と回転するダイヤモンドペレット皿
４の中心部が近い位置で当接することになる。この場合
回転する研磨皿１および回転するダイヤモンドペレット
皿４各々の中心部の周速は０に近いため前記傾斜角θ2
では研磨皿１の中心部は外周部と比較して合わせ作用が
進行しない現象が発生する。その結果合わせの終了した
研磨皿１は不均一な球面精度となってしまうことがあっ
た。一方、３０％以上の傾斜角θ2 の設定にした場合、
研磨皿１からのダイヤモンドペレット皿４のはみ出し量
が多くカンザシ１１によって研磨皿１へ伝達される合わ
せ荷重が研磨皿１の球面全域へ作用されない現象となり
不均一な球面精度となっていた。以上のことから、合わ
せ工具５の研磨皿１に対する傾斜角θ2 は、前述したよ
うに、研磨皿１の半開角θ1 に対して１０％〜３０％の
角度に設定することが好ましい。The inclination angle θ of the setting tool 5 with respect to the polishing dish 1
In 2 , when the inclination angle θ 2 is set to 10% or less with respect to the half opening angle θ 1 of the polishing dish 1, the half opening angle of the diamond pellet dish 4 is equal to or slightly equal to the half opening angle of the polishing dish 1. Since the angle is set to be small, the center of the rotating polishing dish 1 and the center of the rotating diamond pellet dish 4 come into contact at a position close to each other. In this case, since the peripheral speed at the center of each of the rotating polishing dish 1 and the rotating diamond pellet dish 4 is close to 0, the inclination angle θ 2
In such a case, a phenomenon occurs in which the central portion of the polishing plate 1 does not proceed with the aligning action as compared with the outer peripheral portion. As a result, the polishing dish 1 after the completion of the alignment may have non-uniform spherical accuracy. On the other hand, when the inclination angle θ 2 is set to 30% or more,
The amount of protrusion of the diamond pellet dish 4 from the polishing dish 1 is large, and the matching load transmitted to the polishing dish 1 by the wrench 11 is not applied to the entire spherical surface of the polishing dish 1, resulting in uneven spherical precision. From the above, the inclination angle theta 2 with respect to the polisher 1 mating tool 5 is, as described above, it is preferable to set to 10% to 30% of the angle to the half-open angle theta 1 of the polisher 1.
【００１３】また、もう一つの合わせ条件である図１の
（ｂ）に示す矢印ｃ方向の揺動運動については、研磨皿
１の半開角θ1 に対して２０％以下の設定とした場合、
ダイヤモンドペレット皿４と研磨皿１の当接する部分が
限られた範囲となってしまう。この場合ダイヤモンドペ
レット皿４の球面精度を研磨皿１へ転写する合わせ工程
では、ダイヤモンドペレット皿４の球面精度の効き率が
非常に高いものとなり、ダイヤモンドペレット皿４の球
面精度をほぼ真球面に作り込む製作精度が必要であっ
た。一方、研磨皿１の半開角θ1 に対して３０％以上に
設定した場合、前記問題点は解消されるが揺動角度が最
大になった時に合わせ時にカンザシ１１から伝達される
合わせ荷重が研磨皿１の球面全域へ均一に作用されなく
なり、合わせ中の振動発生がおこり、合わせ転写性が悪
くなることがあった。以上のことから、合わせ工具５の
図１の（ｂ）に示す矢印ｃ方向の揺動運動は、研磨皿１
の半開角θ1 に対して２０％〜３０％の揺動運動量とな
るように設定することが好ましいところである。[0013] The oscillating motion of the arrow c direction shown in the FIG. 1 is another mating condition (b), when 20% or less of the settings for the half-open angle theta 1 of the polisher 1,
The portion where the diamond pellet dish 4 and the polishing dish 1 contact each other is limited. In this case, in the aligning step of transferring the spherical accuracy of the diamond pellet dish 4 to the polishing dish 1, the efficiency of the spherical accuracy of the diamond pellet dish 4 becomes very high, and the spherical accuracy of the diamond pellet dish 4 is made substantially spherical. It was necessary to have a manufacturing precision that fits. On the other hand, when set to 30% or more with respect to the half-open angle theta 1 of the polisher 1, the load adjustment the although problems are solved transferred from hairpin 11 upon mating when the oscillation angle becomes maximum polishing In some cases, the uniform transfer was not performed on the entire spherical surface of the plate 1, and vibration occurred during alignment, resulting in poor alignment transferability. From the above, the swinging motion of the aligning tool 5 in the direction of arrow c shown in FIG.
It is where is preferable to set the relative half-open angle theta 1 so that the rocking motion amount from 20% to 30%.
【００１４】合わせ工具５のダイヤモンドペレット皿４
を前述した傾斜角θ2 をもって傾斜させてウレタンパッ
ド２上に当接させ、研磨皿１を矢印ａ方向に回転させる
とともに合わせ工具５のダイヤモンドペレット皿４をカ
ンザシ１１を介して矢印ｃ方向に前述した揺動運動量と
なるように揺動運動させる。このとき、合わせ工具５の
ダイヤモンドペレット皿４は研磨皿１の矢印ａ方向の回
転により矢印ｂ方向に従属回転する。[0014] Diamond pellet dish 4 of the matching tool 5
Is tilted at the above-mentioned inclination angle θ 2 to abut on the urethane pad 2, the polishing plate 1 is rotated in the direction of arrow a, and the diamond pellet plate 4 of the assembling tool 5 is moved in the direction of arrow c via the wrench 11. Rocking motion so as to achieve the rocking momentum. At this time, the diamond pellet dish 4 of the setting tool 5 is rotated in the direction of arrow b by the rotation of the polishing dish 1 in the direction of arrow a.
【００１５】この研磨皿１と合わせ工具５の相対運動に
よって、合わせ工具５のダイヤモンドペレット皿４によ
り研磨皿１のウレタンパッド２の表面を均一な研磨球面
６に形成することができ、さらに、合わせ工具５のダイ
ヤモンドペレット皿４の球面精度の持続性および安定性
が得られる。The surface of the urethane pad 2 of the polishing dish 1 can be formed into a uniform polishing spherical surface 6 by the diamond pellet dish 4 of the matching tool 5 by the relative movement of the polishing dish 1 and the mating tool 5. The continuity and stability of the spherical accuracy of the diamond pellet dish 4 of the tool 5 can be obtained.
【００１６】次に、本発明の研磨皿の合わせ方法の具体
例および作用効果についてさらに説明する。Next, specific examples of the method for aligning the polishing plates of the present invention and the effects thereof will be further described.
【００１７】合わせ工具５のダイヤモンドペレット皿４
は、凹形状で、曲率半径が４．１４ｍｍに形成されたも
のを用い、研磨皿１の半開角θ1 は９０°とした。本発
明における合わせ条件として、ダイヤモンドペレット皿
４の傾斜角θ2 を研磨皿１の半開角θ1 （＝９０°）に
対して２０％の１８°に設定し、そして、ダイヤモンド
ペレット皿４の揺動運動量を研磨皿１の半開角θ1 （＝
９０°）に対して２５％の２２．５°に設定した。この
ような合わせ条件において、実際にオスカータイプ研磨
機を用いて複数の研磨皿に対して合わせ加工を行ない、
研磨皿の合わせ数に対するダイヤモンドペレット皿の曲
率半径の経時変化を測定した。その結果を図２に図示す
る。なお、図２において、横軸は研磨皿の合わせ数
（皿）を示し、縦軸はダイヤモンドペレット皿の曲率半
径を示す。[0017] Diamond Pellet Dish 4 of Matching Tool 5
Is a concave shape having a radius of curvature of 4.14 mm, and the half opening angle θ 1 of the polishing dish 1 is 90 °. As the matching conditions in the present invention, the inclination angle θ 2 of the diamond pellet dish 4 is set to 18%, which is 20% of the half-open angle θ 1 (= 90 °) of the polishing dish 1, and the swing of the diamond pellet dish 4 is set. The dynamic momentum is calculated by calculating the half-open angle θ 1 (=
90 °) was set to 22.5 ° of 25%. Under such alignment conditions, actually perform alignment processing on a plurality of polishing plates using an Oscar type polishing machine,
The change over time of the radius of curvature of the diamond pellet dish with respect to the number of polishing dishes was measured. The result is illustrated in FIG. In FIG. 2, the horizontal axis indicates the number of plates (plates) to be polished, and the vertical axis indicates the radius of curvature of the diamond pellet plates.
【００１８】一方、従来技術における合わせ条件は、合
わせ工具のダイヤモンドペレット皿の傾斜角θ2 は０°
であり、揺動運動量を研磨皿の半開角θ1 （＝９０°）
に対して４０％の３６．０°と設定し、合わせ工具のダ
イヤモンドペレット皿は前記のものと同様に凹形状で曲
率半径が４．１４ｍｍのものを用い、研磨皿の半開角θ
1 も同様に９０°のものを用いた。そして、同様に、実
際に複数の研磨皿に対して合わせ加工を行ない、研磨皿
の合わせ数に対するダイヤモンドペレット皿の曲率半径
の経時変化を測定し、その結果を図２に図示する。On the other hand, the matching condition in the prior art is that the inclination angle θ 2 of the diamond pellet dish of the matching tool is 0 °.
And the swinging momentum is the half-open angle θ 1 (= 90 °) of the polishing dish.
Is set to 36.0 °, which is 40% of that of the above, and the diamond pellet dish of the matching tool has a concave shape and a radius of curvature of 4.14 mm similarly to the above, and the half opening angle θ of the polishing dish is used.
Similarly, 1 was used at 90 °. Then, similarly, a plurality of polishing plates are actually subjected to the alignment process, and the change over time of the radius of curvature of the diamond pellet plate with respect to the number of the alignment of the polishing plates is measured. The results are shown in FIG.
【００１９】以上のように、合わせ工具のダイヤモンド
ペレット皿の球面精度の持続性について本発明と従来技
術とを比較評価した結果は、図２から明らかなように、
従来技術の合わせ条件による場合には、ダイヤモンドペ
レット皿の曲率半径は、研磨皿のわずかな合わせ数で、
大きく変化している。そのため、ダイヤモンドペレット
皿の球面精度を維持するためには、ダイヤモンドペレッ
ト皿の球面精度出しを頻繁に行なわなければならない。
これに対して、本発明に基づいて合わせ条件を設定した
場合においては、ダイヤモンドペレット皿の曲率半径は
ほとんど経時変化することがなく、ダイヤモンドペレッ
ト皿の曲率半径の持続性および安定性が得られることが
確認できる。さらに、本発明に基づいて合わせ条件を設
定したダイヤモンドペレット皿を用いて形成した研磨皿
のウレタンパッドの表面は均一な球面精度を得ることが
でき、研磨加工においても初期面精度の再現性を向上さ
せることができる。As described above, the result of comparing and evaluating the continuity of the spherical accuracy of the diamond pellet dish of the combination tool between the present invention and the prior art is apparent from FIG.
According to the matching conditions of the prior art, the radius of curvature of the diamond pellet dish is a small
It has changed significantly. Therefore, in order to maintain the spherical accuracy of the diamond pellet dish, the spherical accuracy of the diamond pellet dish must be frequently obtained.
On the other hand, when the matching conditions are set based on the present invention, the radius of curvature of the diamond pellet dish hardly changes with time, and the continuity and stability of the radius of curvature of the diamond pellet dish can be obtained. Can be confirmed. Furthermore, the surface of the urethane pad of the polishing dish formed using a diamond pellet dish with matching conditions set in accordance with the present invention can obtain uniform spherical accuracy, and the reproducibility of the initial surface accuracy can be improved even in the polishing process. Can be done.
【００２０】[0020]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の研磨皿の
合わせ方法によれば、合わせ工具のダイヤモンドペレッ
ト皿に傾斜角をつけかつ揺動運動量を小さくすることに
より、研磨皿のウレタンパッドの表面を均一な研磨球面
に形成することができ、さらに、合わせ工具のダイヤモ
ンドペレット皿の球面精度の持続性および安定性が得ら
れる。また、ウレタンパッドが均一な球面精度に形成さ
れた研磨皿による研磨工程においても初期面精度の再現
性を向上させさらに安定性も得られる。As described above, according to the method for aligning the polishing dish of the present invention, the inclination angle of the diamond pellet dish of the aligning tool and the swinging momentum are reduced, so that the urethane pad of the polishing dish is reduced. The surface can be formed into a uniform polished spherical surface, and the continuity and stability of the spherical accuracy of the diamond pellet dish of the mating tool can be obtained. In addition, even in a polishing step using a polishing dish in which urethane pads are formed with uniform spherical accuracy, reproducibility of the initial surface accuracy is improved and stability is obtained.
【図１】本発明の研磨皿の合わせ方法の一実施例を説明
するための図であって、（ａ）は合わせ工具のダイヤモ
ンドペレット皿により研磨皿の研磨球面を形成する状態
を示す模式図であり、（ｂ）は合わせ工具のダイヤモン
ドペレット皿の揺動運動を示す正面から見た模式図であ
る。FIG. 1 is a view for explaining one embodiment of a method for aligning a polishing dish according to the present invention, in which (a) is a schematic view showing a state in which a polishing spherical surface of a polishing dish is formed by a diamond pellet dish of a matching tool. (B) is a schematic view from the front showing the swinging motion of the diamond pellet dish of the aligning tool.
【図２】合わせ工具のダイヤモンドペレット皿の球面精
度の持続性について本発明と従来技術を比較評価した結
果を示す図表である。FIG. 2 is a table showing the results of comparative evaluation of the present invention and the prior art on the continuity of the spherical accuracy of the diamond pellet dish of the assembling tool.
【図３】従来の研磨皿の合わせ方法を説明するための図
であって、（ａ）は合わせ工具のダイヤモンドペレット
皿により研磨皿の研磨表面を形成する状態を示す模式図
であり、（ｂ）は合わせ工具のダイヤモンドペレット皿
の揺動運動を示す正面から見た模式図である。3A and 3B are diagrams for explaining a conventional method of aligning a polishing dish, and FIG. 3A is a schematic diagram illustrating a state in which a polishing surface of the polishing dish is formed by a diamond pellet dish of a matching tool; () Is a schematic view from the front showing the swinging motion of the diamond pellet dish of the aligning tool.
１ 研磨皿 ２ ウレタンパッド ３ 金属製本体 ４ ダイヤモンドペレット皿 ５ 合わせ工具 ６ 研磨球面 １０ 上軸アーム １１ カンザシ １２ 調整ねじ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Polishing dish 2 Urethane pad 3 Metal body 4 Diamond pellet dish 5 Matching tool 6 Polishing spherical surface 10 Upper arm 11 Kansashi 12 Adjustment screw
Claims (3)
ンパッドを貼着した研磨皿の研磨表面を、ダイヤモンド
の砥粒および金属材料を主成分として焼結したダイヤモ
ンドペレット皿を用いてオスカータイプ研磨機にて形成
する研磨皿の合わせ方法において、 前記ダイヤモンドペレット皿を傾斜角をもって前記研磨
皿のウレタンパッドに当接させて該ウレタンパッドの研
磨球面に形成することを特徴とする研磨皿の合わせ方
法。An Oscar-type polishing of a polishing surface of a polishing plate to which a urethane pad used for polishing of an optical element is adhered, using a diamond pellet plate sintered mainly of diamond abrasive grains and a metal material. A method of aligning a polishing dish formed by a grinding machine, comprising: bringing a diamond pellet dish into contact with a urethane pad of the polishing dish at an inclined angle to form a polishing spherical surface of the urethane pad. .
前記研磨皿の半開角に対して１０％〜３０％の角度に設
定することを特徴とする請求項１記載の研磨皿の合わせ
方法。2. The method according to claim 1, wherein an inclination angle of the diamond pellet dish is set to an angle of 10% to 30% with respect to a half-open angle of the polishing dish.
量を前記研磨皿の半開角に対して２０％〜３０％の範囲
で設定することを特徴とする請求項１または２記載の研
磨皿の合わせ方法。3. The method according to claim 1, wherein the swing momentum of the diamond pellet dish is set in a range of 20% to 30% with respect to a half opening angle of the polishing dish. .
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP30623999A JP2001121391A (en) | 1999-10-28 | 1999-10-28 | Polishing plate combining method |
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|---|---|---|---|
| JP30623999A JP2001121391A (en) | 1999-10-28 | 1999-10-28 | Polishing plate combining method |
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| Publication Number | Publication Date |
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|---|---|---|---|
| JP30623999A Pending JP2001121391A (en) | 1999-10-28 | 1999-10-28 | Polishing plate combining method |
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| JP (1) | JP2001121391A (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1999
- 1999-10-28 JP JP30623999A patent/JP2001121391A/en active Pending
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