JP2001119963A - ピエゾアクチュエータ、ピエゾ制御弁、ピエゾインジェクタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ピエゾアクチュエータ（ピエゾスタック）と
弁体とを適正な当接力で当接させるために、ピッチの異
なる２つのネジを用いて、２つのネジのピッチの差だけ
ピエゾアクチュエータを移動させることで、精度良く初
期値の調整ができるようにしたピエゾアクチュエータ
１、ピエゾ制御弁、またはピエゾインジェクタ１００の
提供。 【解決手段】 ピエゾスタック１１の一方の端面を固定
壁４０に、他方の端面を下部ピストン６にそれぞれ当接
して支持するとともに、調整ネジ５によって固定壁４０
の軸方向の位置を調整可能としたピエゾアクチュエータ
１において、調整ネジ５は、ピッチの異なる２個のネジ
部を有し、一方のネジ部が固定壁４０を有する支持体に
設けたネジ部と螺合し、他方のネジ部がピエゾスタック
１１のケーシング１０に設けたネジ部と螺合している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ピエゾスタック
に加える初期荷重の設定を正確にしたピエゾアクチュエ
ータ、該ピエゾアクチュエータを用いたピエゾ制御弁お
よび該ピエゾ制御弁を組み込んだ内燃機関のピエゾイン
ジェクタに関する。

【０００２】

【従来の技術】薄膜状の電極の間に薄膜状に形成したピ
エゾ素子（圧電素子）を挟み、これを積層して棒状に成
形したピエゾスタックは、ピエゾ（圧電）アクチュエー
タとして使用されている。このピエゾアクチュエータの
変位を弁体に伝達して弁の開閉を行うピエゾ制御弁は、
ディーゼルなど内燃機関の燃料噴射弁に組み込まれてピ
エゾインジェクタに適用されており、特開平９−１８４
４６３号公報、アメリカ合衆国特許第５７４０９６９号
公報などに提案されている。

【０００３】これらのピエゾアクチュエータ、ピエゾ制
御弁、ピエゾインジェクタは、ピエゾスタックの変位量
が微小であるため、組付けたときにピエゾアクチュエー
タと可動体または弁体（以下、弁体と称する）とが過不
足ない力で当接していることが重要である。当接力が不
足したり隙間がある場合には、ピエゾスタック（ピエゾ
アクチュエータ）の変位を正確に弁体など被動体に伝え
ることができない。また、当接力が過剰であれば、ピエ
ゾアクチュエータが変位する前に開弁の状態となり、閉
弁することが不可能になる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ピエゾアクチュエータ
と弁体とを適正な当接力で当接させるために、調整ネジ
を使用することは、上記従来の技術文献にも記載がある
が実際には極めて困難である。当接力の調整は２μｍ以
下の精度を要するが、たとえばピッチ１ｍｍのネジで
は、５度の回転でも１４μｍの軸方向の変位が生じてし
まい、微調整は不可能に近い。

【０００５】この発明の目的は、ピエゾアクチュエータ
（ピエゾスタック）と弁体とを適正な当接力で当接させ
るために、ピッチの異なる２つのネジを用いて、２つの
ネジのピッチの差だけピエゾアクチュエータを移動させ
ることで、精度良く初期値の調整ができるようにしたピ
エゾアクチュエータ、ピエゾ制御弁、ピエゾインジェク
タを提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】［請求項１について］調
整ネジは、ピッチの異なる２個のネジ部を有し、一方の
ネジ部が固定壁を有する支持体に設けたネジ部と螺合
し、他方のネジ部がピエゾスタックのケーシングに設け
たネジ部と螺合している。たとえば、一方のネジ部のピ
ッチを１．０ｍｍ、他方のネジ部のピッチを０．９ｍｍ
とすると、ボルト１回転に対し０．１ｍｍの差だけ移動
する。すなわち５度の回転に対して１．４μｍだけ移動
する。これにより、適正な初期値の調整が容易にできる
ピエゾアクチュエータ、ピエゾ制御弁、ピエゾインジェ
クタが得られる。

【０００７】［請求項２について］支持体に軸方向スリ
ットを設け、該スリットと係合するキー、ピン、ビスに
より固定壁の軸方向の変位を許容しながら回り止めを行
うことができる。

【０００８】［請求項３について］支持体の調整ネジ側
の面に溝を形成するとともに調整ネジに軸方向の貫通孔
を設け、調整ネジを挿通させたドライバー様の工具また
は治具を溝に係合させることにより、調整ネジを締め込
む際の支持体の回り止めを行うことができる。

【０００９】［請求項４について］ピエゾ制御弁は、請
求項１〜３のいずれかに記載のピエゾアクチュエータの
他の端面に当接する可動体により弁の開閉を行うことが
できる。

【００１０】［請求項５について］ピエゾインジェクタ
は、請求項４に記載のピエゾ制御弁によって、ノズルニ
ードルの背圧室に導入した高圧流体を排出することによ
り、ノズルニードルをリフトさせることができ、燃料噴
射装置に好適である。

【００１１】［請求項６について］ピエゾインジェクタ
は、請求項４に記載のピエゾ制御弁が、請求項５に記載
のノズルニードル背圧室を低圧源または高圧源のいずれ
かへの導通を選択的に切替えするための三方弁である。
部品点数が少なく、構成が簡単であり、燃料噴射装置に
好適である。

【００１２】［請求項７について］ピエゾインジェクタ
は、ピエゾアクチュエータに電荷を注入した状態におい
て、三方弁に所定の着座力が得られるように調整ネジに
より固定壁の位置を調整する構成である。このため、ピ
エゾアクチュエータの初期位置を容易に設定することが
できる。

【００１３】［請求項８について］ピエゾインジェクタ
は、ピエゾアクチュエータに電荷を注入した状態におい
て、ピエゾアクチュエータの電圧が所定値になるように
調整ネジによって固定壁の位置を調整する構成である。
このため、ピエゾアクチュエータの初期位置を正確に設
定することができる。

【００１４】［請求項９について］ピエゾインジェクタ
において、調整ネジは、ピッチの異なる２個のネジ部を
有し、一方のネジ部が固定壁を有する支持体に設けたネ
ジ部と螺合し、他方のネジ部がピエゾアクチュエータの
ケーシングに設けたネジ部と螺合している。これによ
り、ピエゾアクチュエータの初期位置を、容易、且つ精
密に設定することができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１は、ディーゼル機関の燃料噴
射に用いられるピエゾインジェクタ１００を示す。ピエ
ゾインジェクタ１００は、ピエゾアクチュエータ１、三
方弁２および燃料噴射ノズル３を同軸的に連結した構造
を有する。ピエゾアクチュエータ１と三方弁２とは、ピ
エゾアクチュエータ１によって開閉されるピエゾ弁２０
０を構成している。

【００１６】ピエゾアクチュエータ１は、円筒状のケー
シング１０内の下部に同軸的に円柱状のピエゾスタック
１１が収容されている。ケーシング１０またはピエゾス
タック１１は円以外の断面を有する筒体または柱体であ
ってもよい。ケーシング１０内の上部には、ピエゾスタ
ック１１の支持体であり、下端面がピエゾスタック１１
の上端面１Ａに当接して固定壁４０となっている上部ピ
ストン４が軸方向に摺動自在に嵌め込まれている。上部
ピストン４（支持体）の上のケーシング１０内にはボル
ト状の調整ネジ５が嵌め込まれている。ピエゾスタック
１１の下には、上端面がピエゾスタック１１の下端面１
Ｂに当接して可動体となる下部ピストン６が配されてい
る。

【００１７】調整ネジ５には、２個のネジ部として、こ
の実施例では上部に大径外ねじ５１、下部に同じ向きの
小径外ねじ５２が設けられている。ケーシング１０の上
端部には内ねじ１２が設けられており、上部ピストン４
（支持体）の上面には、内ねじ４１付き穴４２が形成さ
れている。大径外ネジ５１は内ねじ１２と螺合し、小径
外ネジ５２は、内ねじ４１に螺合している

【００１８】大径外ネジ５１のピッチは小径外ネジ５２
のピッチより僅かに大きく、たとえば大径外ネジ５１の
ピッチを１．０ｍｍ、小径外ネジ５２のピッチを０．９
ｍｍとしている。上部ピストン４は、外周の下部に形成
した周溝４３にＯリング４４が嵌め込まれており、該Ｏ
リング４４によりケーシング１０の内周壁との気密が保
持されている。なお、気密の保持は、他のシール手段を
用いてもよい。

【００１９】調整ネジ５の頭にはマイナスまたはプラス
溝５４が設けてあり、ドライバ等の工具でこの調整ネジ
５を締め込んで行くと、１回転で調整ネジ５は下方に１
ｍｍ沈み、上部ピストン４は調整ネジ５に対して０．９
ｍｍ持ち上がる。よって上部ピストン４はケーシング１
０の中に０．１ｍｍ沈み込み、固定壁４０の微調整が可
能になる。

【００２０】このとき、上部ピストン４の回転を防止す
る手段として、上部ピストン４の外周の上部にスリット
４５を設けるとともに、ケーシング１０の半径方向から
ねじ込んだビス４６の先端がスリット４５内に嵌まり込
むようにしている。上部ピストン４の回転防止手段は、
上部ピストン４の軸方向の移動を許容し回転を阻止でき
るものであれば他の機構が採用できることは当然であ
る。

【００２１】バルブボディ２０は、上部ボディ２０Ａお
よび下部ボディ２０Ｂとからなる。下部ボディ２０Ｂと
ノズルボディ３０は、円筒状のノズルホルダ２０Ｃに外
嵌され、ノズルホルダ２０Ｃの上端部に形成された内ね
じが上部ボディ２０Ａの下端に設けられた外ねじに螺着
されることにより上部ボディ２０Ａに締結されている。
三方弁２はバルブボディ２０の内部に設けた油圧制御室
（弁室）２１内に球状の弁体２２を収容している。

【００２２】上部ボディ２０Ａは、上部に径大孔２３、
中間部に径中孔２４、下部に径小孔２５を有し、下端に
前記油圧制御室（弁室）２１の上部を形成する円錐状の
凹所が設けられている。下部ボディ２０Ｂは、上端に前
記油圧制御室（弁室）２１の下部を形成する逆円錐状の
凹所が設けられている。

【００２３】下部ピストン（可動体）６は、前記径大孔
２３および径中孔２４に摺動自在に嵌め込まれた大径部
６１および中径部６２と、前記径小孔２５を挿通して弁
室２１内の球状の弁体２２に当接するプッシュロッド６
３からなる。下部ピストン６は、大径部６１と、バルブ
ボディ２０の径中孔２４との間に介装された皿バネ１３
により上方へ付勢されている。

【００２４】ピエゾスタック１１は、円柱状または角柱
状で１００Ｖ〜２００Ｖの電圧を印加することによって
電荷を注入され、軸方向に伸長する。電圧をゼロにする
事によって電荷が放出され軸方向に収縮して元の長さに
戻る。ピエゾスタック１１は、リード線１４によって外
部のコントローラ（図示せず）から電荷の注入、放出が
制御される。ピエゾスタック１１の伸長、収縮による変
位はピエゾスタック１１の下端面１Ｂで生じ、上端面１
Ａは上部ピストン４の固定壁４０によって固定位置に保
たれる。

【００２５】下部ピストン６の大径部６１と径大孔２３
とのクリアランスは５μｍから１５μｍと比較的大きく
設定してあり、ピエゾスタック１１をドライに保つため
のシールとして周溝６４を形成するとともにＯリング６
５を嵌め込んでいる。中径部６２と径中孔２４とのクリ
アランスは、１〜４μｍと比較的に小さく、プッシュロ
ッド６３の軸心が確保できるようにしている。プッシュ
ロッド６３の下端は、油圧制御室２１内においてボール
状の弁体２２と当接している。

【００２６】油圧制御室２１は、上端にスピルポート２
Ａ、下端に高圧ポート２Ｂ、側部に背圧ポート２Ｃの３
つのポートを有し、スピルポート２Ａと高圧ポート２Ｂ
はテーパーシート２ａ、２ｂを有している。弁体２２
は、テーパーシート２ａに着座してスピルポート２Ａを
閉塞し、テーパーシート２ｂに着座して高圧ポート２Ｂ
を閉塞する。スピルポート２Ａは、下部ピストン６の中
径部６２とプッシュロッド６３とで形成される肩部６６
に設けられるスピル室２６と導通しており、スピル室２
６はドレーン通路２７と導通している。

【００２７】ドレーン通路２７は、上部ボディ２０Ａに
外部への開口２Ｄを有し、外部の低圧源（例えば燃料タ
ンク）と導通している。また、径大孔２３の下端部、す
なわち下部ピストン６の肩部６７もドレーン通路２７と
導通している。高圧ポート２Ｂは高圧通路２８と導通し
ており、高圧通路２８は上部ボディ２０Ａの外部への開
口２Ｅを有し、外部の高圧源（たとえばコモンレールと
呼ばれる高圧燃料リザーバやサプライポンプ）と導通し
ている。

【００２８】燃料噴射ノズル３は、ノズルボディ３０内
にノズルニードル３１と、該ノズルニードル３１を駆動
させるコマンドピストン３２を配した構造を有する。コ
マンドピストン３２の上部は、下部ボディ２０Ｂに設け
られたシリンダ２９内に摺動可能に収納されており、シ
リンダ２９内に於けるコマンドピストン３２の上部空間
が背圧室３３を形成している。背圧ポート２Ｃは、燃料
噴射ノズル３のコマンドピストン３２の頂部に設けられ
た背圧室３３と常に導通している。

【００２９】コマンドピストン３２の下端にはフランジ
３４が形成されており、ノズルボディ３０の上部に設け
たスプリング室３５内にて配設されたスプリング３６に
より下方に付勢されている。スプリング室３５はドレー
ン通路２７と導通している。コマンドピストン３２の下
端面は、スプリング室３５内においてノズルニードル３
１の上端面に当接しており、背圧室３３の油圧とスプリ
ング３６の付勢力により、ノズルニードル３１を下方に
付勢し、ノズルニードル３１が噴射口３７を閉じるよう
に働く。

【００３０】ノズルニードル３１は、ノズルボディ３０
の下部に設けた油溜３８内にて直径が上部径大から下部
径小に変わり、その肩部３９には油溜３８の油圧が上向
きに作用する。ノズルニードル３１のいずれの直径もコ
マンドピストン３２の直径より小さく設定されている。
油溜３８は、ノズルボディ３０、下部ボディ２０Ｂ、上
部ボディ２０Ａを貫通して設けた高圧通路２８と導通し
ている。

【００３１】つぎに、ピエゾインジェクタ１００の作用
を説明する。始動時においてはピエゾスタック１１には
電荷が注入されておらず、収縮の状態にあり、プッシュ
ロッド６３の先端は油圧制御室２１から上方に引っ込ん
でいる。弁体２２は自重によりテーパーシート２ｂに着
座し、高圧ポート２Ｂを閉塞している。高圧通路２８に
外部の高圧源から高圧の燃料油が供給されると、その高
圧燃料は高圧ポート２Ｂより油圧制御室２１に流入し、
その際に弁体２２をテーパーシート２ａに押し付けてス
ピルポート２Ａを閉塞する。

【００３２】このとき、プッシュロッド６３の先端が弁
体２２に当接した状態になる。油圧制御室２１の高圧燃
料は、背圧ポート２Ｃを介して背圧室３３に流入し、コ
マンドピストン３２に下向きの力として作用する。高圧
通路２８の高圧燃料は、油溜３８にも流入し、ノズルニ
ードル３１の肩部３９に作用してこれを上昇させようと
働くが、肩部３９の面積よりもコマンドピストン３２の
面積の方が大きいため、ノズルニードル３１は下端に位
置して噴射口３７を閉塞状態に維持する。

【００３３】燃料噴射は、つぎのようになされる。ピエ
ゾスタック１１に電圧を印加し、これに電荷を注入する
と、ピエゾスタック１１は伸長し、プッシュロッド６３
が弁体２２をテーパーシート２ａから押し下げてテーパ
ーシート２ｂに押し付ける。これにより、油圧制御室２
１はドレーン通路２７と導通し、高圧通路２８との導通
を遮断される。よって、油圧制御室２１は低圧となり、
背圧室３３も低圧となってコマンドピストン３２の下方
への付勢力は低下して、ノズルニードル３１は上昇し噴
射口３７を油溜３８に対して開放するため、噴射口３７
から外部に対しての燃料噴射が開始される。

【００３４】燃料噴射の停止は、つぎの様になされる。
ピエゾスタック１１の電荷を放出させるとピエゾスタッ
ク１１は収縮し、プッシュロッド６３の先端は油圧制御
室２１から引っ込む。この結果、弁体２２は高圧ポート
２Ｂから流入する燃料圧によってテーパーシート２ｂを
離れ、テーパーシート２ａに押し付けられてスピルポー
ト２Ａを閉塞する。よって、制御油圧室２１の油圧は高
圧通路２８と同じ値まで上昇し、同時に背圧室３３の油
圧も上昇するのでコマンドピストン３２は下降し、ノズ
ルニードル３１に噴射口３７を閉塞させるので燃料噴射
は停止する。

【００３５】この動作において上部ピストン４の位置は
重要である。もし、ピエゾスタック１１の電荷が放出さ
れ、収縮の状態にあるときに、上部ピストン４の位置が
下すぎた場合、プッシュロッド６３は油圧制御室２１内
に突き出して弁体２２をテーパーシート２ａに着座させ
ず、油圧制御室２１をドレーン通路２７に導通させたま
まとなる。このため、過度の場合は燃料噴射を停止させ
ることができず、そうでなくても高圧燃料のドレーン通
路２７への流出、すなわちエネルギーロスの増大を招
く。

【００３６】もしピエゾスタック１１の電荷が供給され
伸長の状態にあるときに、上部ピストン４の位置が上過
ぎた場合、プッシュロッド６３の油圧制御室２１内への
突出量が不足して弁体２２をテーパーシート２ｂに着座
させることができず、油圧制御室２１を高圧通路２８に
導通させたままとなる。このため、過度の場合は燃料噴
射を開始させることができず、そうでなくても高圧燃料
のドレーン通路２７への流出、すなわちエネルギーロス
の増大を招く。

【００３７】上部ピストン４の最適位置は、ピエゾスタ
ック１１が伸長した状態で、テーパーシート２ｂへの着
座力が所定値に確保されることであって、この調整は高
圧通路２８の燃料圧がゼロの時に行うことができる。こ
れの調整を図２により説明する。ピエゾスタック１１に
駆動電圧Ｖ1 より所定量低い電圧Ｖ2 を印加して電荷を
注入し、電気的にオープン状態で調整ネジ５を締め込ん
で行くと、上部ピストン４は下降し、弁体２２をテーパ
ーシート２ｂに押し付けてゆく。

【００３８】押し付け力の発生するネジ締め込み量がθ
1 であって、θ1 まではピエゾスタック１１の電圧はＶ
2 を維持する。ネジ込み量がθ1 を越えると着座力Ｆに
比例してピエゾスタック１１の電圧も上昇し、駆動電圧
Ｖ1 に達したところで所定の着座力Ｆ1 が得られるよう
に予め電圧Ｖ2 が設定してある。駆動電圧Ｖ1 に達する
まで調整ネジ５を締め込むことにより、上部ピストン４
の位置を最適に設定することが可能になる。

【００３９】初期設定を行っても、調整ネジ５が緩むこ
ともあるため、調整ネジ５に接着剤の塗布を行ってから
前記調整を行うか、調整後に調整ネジ５の外部への突出
し部をかしめるか、またはスポット溶接をする等の緩み
止め手段を講じることが望ましい。またケーシング１０
とピエゾスタック１１との熱膨張差により、前記着座力
が変化するために、ケーシング１０にはインバー等の低
熱膨張材を用いることが望ましい。

【００４０】図３はピエゾインジェクタ１００の第２実
施例を示す。この実施例では、上部ピストン（支持体）
４の上端から外ネジ４７を延設するとともに、調整ネジ
５は、締め込むための手掛かりである六角部５Ａを有
し、内ねじ５５付き貫通穴５６を設けている。また、上
部ピストン４の回り止めとして、上部ピストン４の頂面
に溝４８を設け、該溝４８に貫通穴５６を挿通してドラ
イバなど差し込み、調整ネジ５を締め込む際の上部ピス
トン４の回転阻止を行う。

【００４１】図４はピエゾインジェクタ１００の第３実
施例を示す。この実施例では、図１に示す上部ピストン
４を袋ナット状の支持体７に形成している。ピエゾスタ
ック１１の上端は袋ナット状の支持体７で固定されてお
り、リード線１４はこの支持体７の頂面を貫通して外部
に取り出されている。調整ネジ８はリング状で外ねじ８
１、内ねじ８２を有し、締め込むための手掛かりとして
下部に六角部８３が設けてある。

【００４２】調整ネジ８の外ねじ８１は支持体７の内ね
じ７１と、調整ネジ８の内ねじ８２はケーシング１０の
雄ねじ１９とそれぞれ螺合する。内ねじ８２は外ねじ８
１より僅かにピッチが大きく、調整ネジ８を支持体７側
に締め込んで行くと支持体７は徐々に下方に移動する。
尚ピッチは外ねじ８１が内ねじ８２よりも大きくてもよ
く、その場合は調整ネジ８をケーシング１０側に締め込
んで行くと、支持体７は徐々に下方に移動する。支持体
７とケーシング１０の気密のためにＯリング７２が用い
られている。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例のピエゾインジェクタの断面図であ
る。

【図２】ネジ締め込み量とピエゾ電圧または着座力の特
性グラフである。

【図３】第２実施例のピエゾインジェクタの断面図であ
る。

【図４】第３実施例のピエゾインジェクタの断面図であ
る。

【符号の説明】

１００ ピエゾインジェクタ ２００ ピエゾ弁 １ ピエゾアクチュエータ １０ ケーシング １１ ピエゾスタック ２ 三方弁 ２０ バルブボディ ３ 燃料噴射ノズル ３０ ノズルボディ ３１ ノズルニードル ４ 上部ピストン ４０ 固定壁 ４５ スリット ４６ ビス ４８ 溝 ５ 調整ネジ ５１ 大径外ねじ（一方のネジ部） ５２ 小径外ねじ（他方のネジ部） ６ 下部ピストン（可動体） ７ 支持体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｆ１６Ｋ 11/044 Ｆ１６Ｋ 11/044 Ｚ 31/02 31/02 Ａ 51/00 51/00 Ｚ (72)発明者 楢原 義広 愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 株式会 社デンソー内 (72)発明者 近藤 利雄 愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 株式会 社デンソー内 Ｆターム(参考） 3G066 AA07 AB02 AD12 BA57 BA58 CC06T CC08T CC57 CC64T CC67 CC68U CE13 CE27 3H062 AA02 AA13 BB04 BB33 CC07 DD03 EE06 FF41 HH03 HH10 3H066 AA01 BA21 3H067 AA02 CC44 CC60 DD05 DD12 DD32 DD43 ED20 FF17 GG14

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 柱状のピエゾスタックの一方の端面を固
   定壁に、他方の端面を可動体にそれぞれ当接して支持す
   るとともに、調整ネジによって前記固定壁の軸方向の位
   置を調整可能としたピエゾアクチュエータにおいて、 前記調整ネジは、ピッチの異なる２個のネジ部を有し、
   一方のネジ部が前記固定壁を有する支持体に設けたネジ
   部と螺合し、他方のネジ部が前記ピエゾスタックのケー
   シングに設けたネジ部と螺合していることを特徴とする
   ピエゾアクチュエータ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のピエゾアクチュエータ
   において、前記支持体に軸方向スリットを設け、該スリ
   ットと係合するキー、ピン、ビスにより前記固定壁の軸
   方向の変位を許容しながら回り止めを行うことを特徴と
   するピエゾアクチュエータ。
3. 【請求項３】 請求項１に記載のピエゾアクチュエータ
   において、前記支持体の調整ネジ側の面に溝を形成する
   とともに前記調整ネジに軸方向の貫通孔を設け、前記調
   整ネジを挿通させたドライバー様の工具または治具を前
   記溝に係合させることにより、前記調整ネジを締め込む
   際の前記支持体の回り止めを行うとしたことを特徴とす
   るピエゾアクチュエータ。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載のピエゾ
   アクチュエータの他の端面に当接する可動体により弁の
   開閉を行うピエゾ制御弁。
5. 【請求項５】 請求項４に記載のピエゾ制御弁によっ
   て、ノズルニードルの背圧室に導入した高圧流体を排出
   することにより、前記ノズルニードルをリフトさせるこ
   とを特徴とするピエゾインジェクタ。
6. 【請求項６】 請求項４に記載のピエゾ制御弁が、請求
   項５に記載のノズルニードル背圧室を低圧源または高圧
   源のいずれかへの導通を選択的に切替えするための三方
   弁であることを特徴とするピエゾインジェクタ。
7. 【請求項７】 調整ネジによってその位置が調整可能な
   固定壁に一端を固定されたピエゾスタックの他端に当接
   する可動体を有するピエゾアクチュエータと、該可動体
   により駆動される三方弁とからなるピエゾ制御弁とを備
   え、該三方弁によってノズルニードルの背圧室が高圧源
   または低圧源のいずれかへ導通を選択的に切替されるピ
   エゾインジェクタにおいて、 前記ピエゾアクチュエータに電荷を注入した状態におい
   て、前記三方弁に所定の着座力が得られるように前記調
   整ネジにより前記固定壁の位置を調整することを特徴と
   するピエゾインジェクタ。
8. 【請求項８】 請求項７に記載のピエゾインジェクタに
   おいて、前記ピエゾアクチュエータに電荷を注入した状
   態において該ピエゾアクチュエータの電圧が所定値にな
   るように前記調整ネジによって固定壁の位置を調整する
   ことを特徴とするピエゾインジェクタ。
9. 【請求項９】 請求項７または８に記載のピエゾインジ
   ェクタにおいて、前記調整ネジは、ピッチの異なる２個
   のネジ部を有し、一方のネジ部が前記固定壁を有する支
   持体に設けたネジ部と螺合し、他方のネジ部がピエゾア
   クチュエータのケーシングに設けたネジ部と螺合してい
   ることを特徴とするピエゾインジェクタ。