JP2001113103A - 真空脱気装置 - Google Patents
真空脱気装置Info
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- JP2001113103A JP2001113103A JP29534799A JP29534799A JP2001113103A JP 2001113103 A JP2001113103 A JP 2001113103A JP 29534799 A JP29534799 A JP 29534799A JP 29534799 A JP29534799 A JP 29534799A JP 2001113103 A JP2001113103 A JP 2001113103A
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- Pending
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- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
Abstract
香族系物質及びオレフィン系物質が溶出する恐れがない
ようにすると同時に、脱気用チューブを短く細く形成し
ても所定の脱気効果が効率良く得られるようにする。 【解決手段】 気体のみを通し液体の透過を阻止する脱
気用チューブ3として、粒子状プラスチック基材に揮発
性が高く芳香族系物質及びオレフィン系物質を含まない
単一溶液からなる分散液を添加してペースト化したもの
を押出し焼成してなるチューブ内3a,3b,…内に長
手方向に沿って線材6を内蔵させ該線材の外周面と当該
チューブ内周面との間に被脱気液体を流通させるための
空隙7を形成したチューブを複数本用いてなる。
Description
に、気体のみを通し液体の透過を阻止する性質を有する
材料でチューブ(中空管)状に形成された脱気用チュー
ブを設置し、真空容器内を真空ポンプ等で減圧した状態
で脱気用チューブ内に被脱気液体を流通させることによ
り、脱気用チューブを通して被脱気液体からその溶存気
体を脱気するようにした真空脱気装置に関するものであ
る。この種の真空脱気装置は、例えば液体クロマトグラ
フにおいて試薬液(溶媒やサンプル液等)中に溶け込ん
でいる気体を移送中に除去する(脱気する)など、各種
理化学・分析機器や製薬,半導体,液晶等を含む各種の
生産プロセス設備等において、液体(被脱気液体)から
溶存気体を除去するのに使用される。
器で分析を行なう場合に、測定データの信頼性を向上さ
せる上でサンプル液や溶媒,緩衝液等から溶存気体を除
去する(脱気する)が、その際に用いる脱気装置には上
記サンプル液や溶媒,緩衝液等と接触する部分に、気体
のみを通し液体の透過を阻止するフッ素系の脱気用チュ
ーブが使用される。
ーブは、通常、粉末状のフッ素系プラスチック基材にガ
ソリン留分(ナフサ,ホワイトオイル等)を添加混合さ
せてペースト化し、それを押出し高温下(約100℃〜
400℃)で焼成することにより製造される。その際、
上記ガソリン留分などの低沸点液体は、焼成中に蒸発し
除去されることになっている。しかし乍ら、実際には、
低沸点液体特に芳香族系物質及びオレフィン系物質は完
全には蒸発せず、脱気用チューブ中に少量残留する。こ
れら脱気用チューブ中に残留した物質は、脱気用チュー
ブに液体(被脱気液体)が接触した時に遊離して被脱気
液体中に溶出し、液体クロマトグラフ装置などによる測
定結果や各種生産プロセスでの品質維持管理に悪影響を
もたらすことになる。
気効率を向上させるためには、脱気用チューブ内を流通
する被脱気液体を脱気用チューブの中心部よりも膜面
(チューブの内周面)にできるだけ近い位置を移動させ
ることが好ましい。 そこで、実公昭63−49285
号公報に開示されたごとく、脱気用チューブ内に線材を
内蔵設置させることにより、本来なら脱気用チューブの
中心部を流通してしまう被脱気液体を脱気用チューブの
内周面にできるだけ近い位置を移動させるように工夫さ
れた脱気用チューブが提案された。しかし乍ら、実際問
題として、チューブに線材を内蔵させると、被脱気液体
の流通抵抗が増大して圧損が増加するため、全体の脱気
効率、すなわち所定量の被脱気液体に対して所定の脱気
効果を得るために要する時間等も含めた全体の脱気効率
が低下してしまう。この点を改善するためには、被脱気
液体を流通させるための送液ポンプとしてより大きなポ
ンプを用いることが考えられるが、そうすると装置の大
型化及びコストアップを来たしてしまう。
来の不具合に鑑みてなされたものであり、分析機器等に
よる測定結果や各種生産プロセスでの品質維持管理に悪
影響をもたらす芳香族系物質及びオレフィン系物質が、
脱気用チューブに接触した液体(被脱気液体)中に溶出
する恐れがないと同時に、1本の長い脱気用チューブを
用いた場合よりも所定量の被脱気液体に対して所定の脱
気効果を得るために要する時間等も含めた全体の脱気効
率を向上させることが出来ると共に、使用する脱気用チ
ューブ全体の内容積を大幅に小さくすることが可能とな
り、その結果、被脱気液体が少量であったり或いは高価
な場合に特に有用な真空脱気装置を提供せんとするもの
である。
発明の真空脱気装置は、真空容器内に気体のみを通し液
体の透過を阻止する脱気用チューブを設置し、該真空容
器内を減圧することにより上記脱気用チューブ内を流通
している液体から溶存気体を脱気するようにした真空脱
気装置において、前記脱気用チューブとして、粒子状プ
ラスチック基材に揮発性が高く芳香族系物質及びオレフ
ィン系物質を含まない単一溶液からなる分散液を添加し
てペースト化したものを押出し焼成してなるチューブ内
に長手方向に沿って線材を内蔵させ該線材の外周面と当
該チューブ内周面との間に被脱気液体を流通させるため
の空隙を形成したチューブを複数本用いてなる事を特徴
としたものである。本発明の好ましい実施態様として
は、前記分散液として、不飽和炭化水素を含まない直鎖
状パラフィン系物質の揮発性が良く芳香族系物質及びオ
レフィン系物質を含まない単一溶液を用い、そして、前
記プラスチック基材としてはポリテトラフルオロエチレ
ン(PTFE)を用いる。また、前記脱気用チューブ
は、所定の脱気効果を発揮する1本の長い脱気用チュー
ブよりも内径を細く且つ全長(複数本の脱気用チューブ
を合計した長さ)をほぼ同じか又は長く形成することが
好ましい。
について図面に基づいて詳細に説明するが、本発明は図
示実施例のものに限定されるものではない。
従来と同様に、真空容器1と真空容器1内を減圧するた
めの真空ポンプ2と、真空容器1内に収容設置されて被
脱気液体を流通させるための脱気用チューブ3等とで構
成され、更に必要に応じて、真空容器1内部の減圧の程
度を検知する圧力センサー4や、真空容器1と真空ポン
プ2との間に設置されて一定圧力で動作する逆止弁5等
が付加され、脱気用チューブ3の液入口部31と液出口
部32に液体クロマトグラフ等の外部機器が接続され
る。
重合体などからなる気体のみを通し液体の透過を阻止す
る公知の材料を用いて所要の内径及び長さを有する中空
管状(チューブ状)に形成された複数本のチューブ3
a,3b,…を並列状に束ねてなり、真空容器1の内部
に設置すると共に、各脱気用チューブ3a,3b,…の
少なくとも液入口部31並びに液出口部32をそれぞれ
一体に結束せしめ、一体に結束された液入口部31と液
出口部32を真空容器1の外部にそれぞれ臨ませて設置
し、真空容器1の内部を真空ポンプ2で減圧コントロー
ルしながら被脱気液体Lを脱気用チューブ3の液入口部
31から脱気用チューブ3内に流通させると、液出口部
32から出てくる間に当該被脱気液体から溶存液体が脱
気される仕組みになっている。
粒子状のプラスチック基材に分散液を添加混合してペー
スト化し、ペースト化されたプラスチック基材を押出し
機でチューブ状押出し成形して、高温下(約100℃〜
400℃)で焼成することにより製造される。尚、本明
細書において、「粒子状」なる表現には、微粒子状態の
ものも含むものとする。
のに適用可能なプラスチック基材としては、気体のみを
通し液体の透過を阻止するフッ素系のプラスチック基
材、具体的には、ポリテトラフルオロエチレン(PTF
E)やフッ素化エチレンプロピレン(FEP),エチレ
ンテトラフルオロエチレン(ETFE)等のフッ素を含
む重合体を挙げることができるが、本発明はこれらの重
合体に限定されるものではない。
する分散液としては、揮発性が高く芳香族系物質及びオ
レフィン系物質を含まない単一溶液を用いる。具体的に
は、不飽和炭化水素を含まない直鎖状パラフィン系物質
等の揮発性が高く芳香族系物質及びオレフィン系物質を
含まない単一溶液を分散液として用いる。
エチレン(以下、PTFEと略記する。)を用い、分散
液として不飽和炭化水素を含まない直鎖状パラフィン系
物質を用い、粒子状PTFEに上記分散液を添加し混合
して、ペースト状のPTFEを作成した。このペースト
状PTFEを押出し機でチューブ状に押出し成形して焼
成し、脱気用チューブを得た。上記得られたPTFE製
の脱気用チューブを、液体クロマトグラフ装置において
サンプル液や溶媒,緩衝液等から予め気体を除去する
(脱気する)ための真空脱気装置に組込み、勾配溶離液
体クロマトグラフ法により検出した。ちなみに、勾配溶
離液体クロマトグラフ法では、クロマトグラフ操作中に
移動相(溶媒)の濃度が連続的に変化し、移動相中に遊
離した汚染物質は分離カラム内の勾配溶離中に濃縮され
て、勾配中の対応する溶離剤の比率で溶出する。従っ
て、例えば紫外線吸収のある芳香族系物質が検出器(紫
外線吸収検出器)に入ると、測定に干渉する。
検出したクロマトグラムを示し、は従来品のPTFE
製脱気用チューブを組込んだ液体クロマトグラフから得
られたものであり、は上記実施例により製造されたP
TFE製の脱気用チューブを組込んだ液体クロマトグラ
フから得られたものである。尚、検出には、アセトニト
リル−水混合物を用い、検出器として波長210nmの
紫外線吸収検出器を使用した。
TFE製脱気用チューブ()では、液体クロマトグラ
フにおける測定結果に悪影響(誤り)をもたらす汚染が
生じているのに対して、本発明の上記実施例により製造
されたPTFE製脱気用チューブ()では、ほぼ平坦
なベースラインを示し、サンプルの定量的測定に干渉が
ほとんど認められないことが理解される。
…の内部には、その長手方向に沿って線材6を内蔵さ
せ、線材6の外周面と脱気用チューブ3a,3b,…の
内周面との間に被脱気液体Lを流通させるための空隙7
を形成せしめる。
その外径を脱気用チューブ3の内径と同じか少し細く形
成してなり、各脱気用チューブ3a,3b,…内に長手
方向に沿って(脱気用チューブのほぼ全長にわたって)
挿入し内蔵させ、当該線材6の外周面と脱気用チューブ
3a,3b,…の内周面との間に液体を流通させるため
の空隙7を形成するものである。従って、この線材6の
断面形状は、挿入された線材6の外周面と脱気用チュー
ブ3の内周面との間に液体を流通させるための空隙7を
形成できるものであれば、その断面形状が円形状や楕円
形状でも、又は図示例のごとく三角形状や四角形状等の
多角形状でも良く、更には複数本の線材を撚って形成し
たものでも良い。
b,…で形成されている脱気用チューブ3は、所定の脱
気効果を発揮する1本の長い脱気用チューブと比較し
て、各脱気用チューブ3a,3b,…の内径を細く形成
すると共に、各脱気用チューブ3a,3b,…の長さを
短く且つ全長(複数本の脱気用チューブ3a,3b,…
を合計した長さ)をほぼ同じか又は長く形成する。
体のみを通し液体の透過を阻止する脱気用チューブとし
て、粒子状プラスチック基材に揮発性が高く芳香族系物
質及びオレフィン系物質を含まない単一溶液からなる分
散液を添加してペースト化したものを押出し焼成してな
るものを用いたので、被脱気液体と接触する脱気用チュ
ーブに芳香族系物質及びオレフィン系物質が元より存在
せず、従って、この脱気用チューブに被脱気液体が接触
した時に芳香族系物質及びオレフィン系物質が遊離して
被脱気液体中に溶出する恐れが全くなくなる。その結
果、液体クロマトグラフ装置等による測定結果や各種生
産プロセスでの品質維持管理に悪影響(測定誤差など)
をもたらす恐れが全くなくなる。
の長手方向に沿って線材を内蔵させ該線材の外周面と当
該チューブ内周面との間に液体を流通させるための空隙
を形成してなるチューブを複数本用いてなるので、1本
当りの脱気用チューブを観察すると、線材がなければ脱
気用チューブの内周面から遠く離れた位置を流通してし
まう脱気用チューブの中心部を移動する被脱気液体を、
チューブの内周面にできるだけ近い位置を移動させるこ
とができ、且つ脱気に寄与する脱気用チューブの膜面
積、すなわち脱気用チューブ内周面の面積は、線材の外
周面が脱気用チューブの内周面に接触していなければ線
材の有無に関係なく同じとなる。従って、同じ内径を有
する脱気用チューブと比較した場合、脱気効率を大幅に
向上させることが出来、所定の脱気効果・効率を得ると
すれば、使用する脱気用チューブの長さを短く且つ細く
形成することが可能となり、その結果、装置全体の小型
化を図ることが出来る。
とにより、1本の長い脱気用チューブを用いて所定の脱
気効果を期待する場合と比較して、各脱気用チューブ1
本当りの長さを短く且つ細く形成しても全体として所定
の脱気効果を得ることが可能となる。従って、各脱気用
チューブ内に線材を内蔵させたことにより各脱気用チュ
ーブ1本当りの圧損が増加しても、各脱気用チューブが
短いので、全体の脱気効率(所定量の被脱気液体に対し
て所定の脱気効果を得るために要する時間等を含めた全
体の脱気効率)が低下するようなことがないだけでな
く、被脱気液体を流通させるための送液ポンプとして大
型のポンプを必要とせず、装置全体の小型化を期するこ
とさえ可能となる。
置によれば、脱気用チューブを、所定の脱気効果を発揮
する1本の長い脱気用チューブよりも内径を細く且つ全
長(複数本の脱気用チューブを合計した長さ)を長く形
成してなるので、脱気効果・効率を低下させることなく
被脱気液体を流通させる脱気用チューブ全体の内容積を
減少させることが可能となる。その結果、脱気に要する
時間を短縮することが出来、脱気にかかる作業効率を向
上させることが出来ると共に、例えば液体クロマトグラ
フにおいて行なわれる試薬液(溶媒やサンプル液等)の
交換や洗浄など、脱気用チューブ内を迅速(短時間)に
洗浄することが可能となる。しかも、脱気用チューブ全
体の内容積を減少させることが可能となるので、液体ク
ロマトグラフに用いる試薬液(溶媒やサンプル液等)の
ように、被脱気液体が少量であったり或いは高価な場合
でも被脱気液体を無駄なく有効に使用することが出来、
従って必要サンプルの微量化、ひいてはサンプル採取の
負荷軽減化を図ることが可能となる。
(b)はその断面模式図を示す。
ロマトグラム。
気用)チューブ 31:液入口部 32:液出口部 4:圧力センサー 5:逆止弁 6:線材 7:空隙
Claims (4)
- 【請求項1】 真空容器内に気体のみを通し液体の透
過を阻止する脱気用チューブを設置し、該真空容器内を
減圧することにより上記脱気用チューブ内を流通してい
る液体から溶存気体を脱気するようにした真空脱気装置
において、前記脱気用チューブとして、粒子状プラスチ
ック基材に揮発性が高く芳香族系物質及びオレフィン系
物質を含まない単一溶液からなる分散液を添加してペー
スト化したものを押出し焼成してなるチューブ内に長手
方向に沿って線材を内蔵させ該線材の外周面と当該チュ
ーブ内周面との間に被脱気液体を流通させるための空隙
を形成したチューブを複数本用いてなる事を特徴とする
真空脱気装置。 - 【請求項2】 前記分散液が、不飽和炭化水素を含まな
い直鎖状パラフィン系物質であることを特徴とした請求
項1記載の真空脱気装置。 - 【請求項3】 前記プラスチック基材が、ポリテトラフ
ルオロエチレンであることを特徴とした請求項1記載の
真空脱気装置。 - 【請求項4】 前記脱気用チューブを、所定の脱気効果
を発揮する1本の長い脱気用チューブよりも内径を細く
且つ全長(複数本の脱気用チューブを合計した長さ)を
ほぼ同じか又は長く形成してなる請求項1記載の真空脱
気装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29534799A JP2001113103A (ja) | 1999-10-18 | 1999-10-18 | 真空脱気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29534799A JP2001113103A (ja) | 1999-10-18 | 1999-10-18 | 真空脱気装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001113103A true JP2001113103A (ja) | 2001-04-24 |
Family
ID=17819442
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29534799A Pending JP2001113103A (ja) | 1999-10-18 | 1999-10-18 | 真空脱気装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001113103A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111424306A (zh) * | 2020-04-13 | 2020-07-17 | 厦门通富微电子有限公司 | 一种气泡剥离装置及电镀液电镀系统 |
-
1999
- 1999-10-18 JP JP29534799A patent/JP2001113103A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111424306A (zh) * | 2020-04-13 | 2020-07-17 | 厦门通富微电子有限公司 | 一种气泡剥离装置及电镀液电镀系统 |
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