JP2001108440A - 圧電振動ジャイロ - Google Patents
圧電振動ジャイロInfo
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Abstract
く、自己診断を行うことができる、自己診断機能回路を
有する圧電振動ジャイロを得る。 【解決手段】 駆動電極端子15と一対の検出電極端子
13,17とをもつ圧電振動子10と、前記圧電振動子
10に駆動信号を供給する駆動回路と、前記一対の検出
電極端子13,17からの出力電圧を処理してジャイロ
出力信号を出力する検出回路とで構成される圧電振動ジ
ャイロにおいて、前記圧電振動子10の一対の検出電極
端子13,17の出力電圧を入力する加算増幅回路31
と、前記加算増幅回路31の出力電圧を入力する整流回
路34と、前記整流回路34の出力信号を時間積分する
積分回路35と、予め定められた一定直流電圧を出力す
る定電圧回路32と、前記積分回路35の出力電圧と定
電圧回路の出力電圧を入力するコンパレータ33とで構
成される自己診断機能回路を有することを特徴とする圧
電振動ジャイロ。
Description
メラあるいは自動車等に用いられる圧電振動ジャイロに
関し、特に自己診断機能回路を有する圧電振動ジャイロ
に関する。
メラの手ぶれ補正や、船舶、自動車等の移動体に搭載さ
れる機器類の姿勢制御する制御装置や、自動車のナビゲ
ーションシステム等の幅広い分野で用いられている。ま
た、最近では、自動車のロールオーバー用エアバッグシ
ステムにも応用されようとしている。
る物体に回転角速度が与えられると、その振動方向と直
角方向にコリオリ力を生じるという力学現象を利用した
ジャイロスコープに属ずる。この圧電振動ジャイロを構
成する圧電振動子は、互いに直交する2つの方向の励振
とその検出とが可能であるように構成した振動系を形成
している。この振動系において、一方の入力側で振動を
励振した状態で圧電振動子自体を回転させると、上述し
たコリオリ力の作用によって、この振動と直角な方向に
力が働き、他方の出力端子で振動が励振される。
る振動の大きさは、圧電振動子の入力端子の振動の大き
さおよび圧電振動子の回転角速度に比例する。そこで、
圧電振動子の入力端子における振動励振のための駆動電
圧を一定にした状態で、出力端子からの検出電圧の大き
さを検出すると、回転角速度の大きさを求めることがで
きる。
電振動子の概略構造の例を示したもので、図4(a)
は、圧電振動子10の斜視図、図4(b)は圧電振動子
10の中央部における断面図である。
ックス11からなる。圧電セラミックス11の外周面上
には、等角間隔かつ長さ方向と平行な位置に7個の帯状
の電極端子12〜18が形成されている。これら7本の
帯状の電極端子12と13,13と14,14と15、
15と16、16と17、17と18の全ての間隔は、
等角度で配置され、かつ、図4(a)に示すように、互
いに長手方向に平行に延びている。
沿って1つおきに位置するアース用帯状電極12、1
4、16、18は、アース用で、それらの両端は、図4
(a)に示すように、環状のアース用電極端子19a、
19bに接続されている。
子であり、更に、残りの一対の検出電極端子13、17
が、検出用の端子である。これら各電極12〜18は、
円柱状圧電セラミックス11の側曲面にスクリーン印刷
により直接形成され、圧電振動子10が製造される。
す図である。図8は、各端子における出力電圧波形を示
したものである。ここで、図7より、回路部分は、差動
増幅回路21’、加算増幅回路22’、同期検波回路2
3’、および移相回路24’により構成される。
電セラミックス11の一対の検出電極端子13、17か
ら得られる2系統の検出電圧のうちの1系統は、加算増
幅回路22’の2個の入力端子に入力され、合成された
加算電圧として出力され、後段の同期検波回路と移相回
路へ、それぞれ入力される。
の共振周波数に等しい周波数の一定の駆動電圧を駆動電
極端子15に印加する。これらの加算増幅回路22’お
よび移相回路24’は、圧電振動子10を屈曲振動の共
振周波数で発振させる自励発振回路として機能する。
えられていない場合、一対の検出電極端子13、17か
らは、図8(a)、図8(b)のように、同振幅同位相
の電圧が出力されている。この2系統の電圧が、差動増
幅回路21’と加算増幅回路22’に入力され、図8
(c)、図8(d)のように、差動増幅回路21’の出
力は零、加算増幅回路22’の出力は2倍の振幅の電圧
になる。
3’に入力され、その出力は、図8(e)のように、零
となって、ジャイロ出力端子25’へ出力される。
られた場合、一方の検出用帯状電極からは、図8(f)
のように、静止時の電圧に回転角速度に比例した電圧に
加算された電圧が出力され、もう一方の検出用帯状電極
からは、図8(g)のように、静止時の電圧から回転角
速度に比例した電圧に減算された電圧が出力される。
図8(i)のように、回転角速度に比例した電圧が2倍
に出力され、加算増幅回路22’の出力は、図8(h)
のように、静止時と同じ電圧が出力されている。これら
の出力電圧は、同期検波回路23’に入力され、図8
(j)のように、回転方向の応じた極性をもって、か
つ、その回転角速度に比例した直流電圧をジャイロ出力
端子25’へ出力する。
動車のロールオーバー用エアバッグシステムにも用いら
れようとしている。このような人の生命保護に関わるシ
ステムに使用されるセンサには、センサ自体に正常に動
作しているかを検知する自己診断機能が要求される。
極端子と駆動電極端子からの電気的信号を取り出す、あ
るいは入力するリード線が断線または短絡した場合に、
圧電振動ジャイロは異常な信号を出力し、その結果、エ
アバッグを誤作動させ、自動車の運転者が危険な状態に
陥る可能性が生じるからである。
り、圧電振動ジャイロに使用される自己診断回路が公開
されている。
された自己診断付き圧電振動ジャイロの回路のブロック
図である。
対の検出電極端子13、17の出力電圧が加算増幅回路
31’に入力される。正常時には、この加算増幅回路3
1’の出力はある電圧の正弦波であり、その最大値は、
定電圧回路32’の出力電圧より高く、かつ、最小値は
定電圧回路32’の出力電圧より低いので、加算増幅回
路31’の出力電圧と定電圧回路32’の出力電圧を比
較するコンパレータ33’の出力電圧、即ち、自己診断
出力端子36’からは、図5(c)に示すように、パル
ス波が出力される。
め、圧電振動子の駆動周波数と同じである。また、振動
子の破損等の異常が起きた場合、加算増幅回路31’の
出力電圧は零になるか減少し、定電圧回路32’の出力
電圧よりも常に低くなり、その結果、自己診断出力端子
36’は、図5(d)に示すように、理論“L”を出力
する。
により、圧電振動ジャイロの異常を検知することが可能
となる。
断機能回路を有する圧電振動ジャイロにおいては、以下
の問題点があった。即ち、エアバッグシステム等では、
信号をデジタル処理するが一般的であり、そのサンプリ
ング周波数は、せいぜい数kHzである。
駆動周波数は、このサンプリング周波数よりも、はるか
に大きい。そのため、このようなジャイロの自己診断出
力をパルス波で出力すると、自己診断出力を正確に処理
することができないという問題がある。また、この自己
診断回路では、差動増幅回路21’や同期検波回路2
3’の検出回路の異常を検知することできないという問
題もある。
テムに影響を与えることなく、自己診断を行うことがで
きる、自己診断機能回路を有する圧電振動ジャイロを提
供することにある。
能回路を有する圧電振動ジャイロは、駆動電極端子と一
対の検出電極端子とを持つ圧電振動子と、圧電振動子に
駆動信号を供給する駆動回路と、前記一対の検出電極端
子からの出力を処理してジャイロ出力信号を出力する検
出回路とで構成される圧電振動ジャイロであって、前記
圧電振動子の一対の検出電極端子の出力を入力する加算
増幅回路と、前記加算増幅回路の出力を入力する整流回
路と、前記整流回路の出力信号を時間積分する積分回路
と、予め定められた一定直流電圧を出力する定電圧回路
と、前記積分回路の出力と定電圧回路の出力を入力する
コンパレータとで構成される自己診断機能回路を有する
ものである。
出電極端子とを持つ圧電振動子と、前記圧電振動子に駆
動信号を供給する駆動回路と、前記一対の検出電極端子
からの出力を処理してジャイロ出力信号を出力する検出
回路とで構成される圧電振動ジャイロにおいて、前記圧
電振動子の一対の検出電極端子の出力を入力する加算増
幅回路と、前記加算増幅回路の出力を入力する整流回路
と、前記整流回路の出力信号を時間積分する積分回路
と、予め定められた一定直流電圧を出力する定電圧回路
と、前記積分回路の出力と定電圧回路の電圧を入力する
コンパレータとで構成される自己診断機能回路を有する
圧電振動ジャイロである。
の検出電極端子とを持つ圧電振動子と、前記圧電振動子
に駆動信号を供給する駆動回路と、前記一対の検出端子
からの出力を処理してジャイロ出力信号を出力する検出
回路とで構成される圧電振動ジャイロにおいて、第1の
発振回路と、前記第1の発振回路と出力の異なる第2の
発振回路を備え、前記第1の発振回路の出力信号と前記
圧電振動子の一対の検出電極端子の片方の出力信号と、
前記第2の発振回路の出力信号と前記圧電振動子の一対
の検出電極端子のもう一方の出力信号が、各々どちらか
一方の信号のみを前記差動増幅回路あるいは加算増幅回
路に入力させる第1および第2の切換器とで構成される
自己診断機能回路を有する圧電振動ジャイロである。
出電極端子とを持つ圧電振動子と、前記圧電振動子に駆
動信号を供給する駆動回路と、前記一対の検出端子から
の出力を処理してジャイロ出力信号を出力する検出回路
とで構成される圧電振動ジャイロにおいて、発振回路
と、前記発振回路の出力を変圧する変圧器を備え、前記
発振回路の出力信号と前記圧電振動子の一対の検出電極
端子の片方の出力信号とを切り換える第1の切換器と、
前記変圧器の信号と前記圧電振動子の一対の検出電極端
子のもう一方の出力信号を切り換える第2の切換器とで
構成される自己診断機能回路を有する圧電振動ジャイロ
である。
ャイロの自己診断機能回路と、前記2番目の圧電振動ジ
ャイロの自己診断機能回路とを複合した自己診断機能回
路を有する圧電振動ジャイロである。
ャイロの自己診断機能回路と、前記3番目の圧電振動ジ
ャイロの自己診断機能回路とを複合した自己診断機能回
路を有する圧電振動ジャイロである。
下、説明する。
よる自己診断機能回路を有する圧電振動ジャイロの構成
を示した図である。図1において、圧電振動ジャイロ
は、圧電振動子10と、後段の処理回路にて構成されて
おり、回転角度の検出原理は、先の図7の基本構成と同
様である。
の処理回路の中で、加算増幅回路31、定電圧回路3
2,コンパレータ33、整流回路34、積分回路35か
ら構成される。加算増幅回路31の2つの入力端子は、
圧電振動子10の一対の検出電極端子13および17に
接続されている。
34の入力端子に接続されている。整流回路34の出力
端子は、積分回路35の入力端子に接続されている。ま
た、積分回路35の出力端子は、コンパレータ33の入
力端子に接続されている。一方、定電圧回路32の出力
端子は、コンパレータ33の入力端子に接続されてい
る。加算増幅回路31は、一対の検出電極端子13、1
7から得られる2系統の検出電圧のうちの1系統につい
て加算して加算電圧を出力する。整流回路34および積
分回路35は、加算電圧を直流電圧に変える。定電圧回
路32は、予め定めた一定電圧を出力する。コンパレー
タ33は、直流電圧と一定電圧を比較して、比較結果を
出力する。この出力結果は、自己診断出力端子26から
の自己診断信号として出力される。
己診断機能回路の動作について、具体的な数値を例に挙
げて説明する。ここでは、以下の事項を仮定する。即
ち、圧電振動ジャイロの基準電圧が2.5Vとする。圧
電振動ジャイロが静止状態において、2つの検出端子1
3、17からは、上記基準電圧2.5Vを基準にして各
同位相で1.5Vp-p、周波数16kHzの交流電圧が出
力される。言い換えると、直流成分が2.5Vであっ
て、それに振幅0.75Vの交流電圧が重畳されてた電
圧である。
加算され、整流回路34で整流された後、積分回路35
として、抵抗20kΩ、コンデンサ68000pFから
なるローパスフィルタを用いると、3.5Vの直流電圧
が出力される。
一方が断線した場合、断線した方の検出端子からの出力
電圧は0Vp-p となり、その結果、積分回路の出力電圧
は3.1Vとなる。ここで、定電圧回路32の出力電圧
を3.3Vに設定しておけば、正常時は積分回路35の
出力電圧は、常に定電圧回路32の出力電圧より高く、
図5(a)に示すように、コンパレータ33の出力は論
理“H”レベルの信号となる。逆に、検出電極端子1
3,17のどちらか一方が断線する異常時には、積分回
路35の出力電圧は定電圧回路の出力電圧よりも常に低
く、図5(b)に示すように、コンパレータ33の出力
は論理“L”レベルの信号となる。
己診断回路出力として外部で監視することにより、圧電
振動ジャイロの異常を検出することができる。また、上
記で説明した異常の他に、次の各場合の異常、即ち、2
つの検出端子の両方の断線、駆動端子の断線、圧電振動
子の破損および駆動回路の破損の異常も、2つの検出端
子から出力電圧の低下を招くため、同様に検知すること
が可能となる。
よる自己診断機能回路を有する圧電振動ジャイロの構成
を示した図である。図2において、圧電振動ジャイロ
は、圧電振動子10と、後段の処理回路にて構成されて
おり、角速度の検出原理は、先の図7の基本構成と同様
である。図2にて、自己診断機能回路の構成は、第1の
発振回路41、第2の発振回路42、第1の切換器4
3、第2の切換器44からなる。
の入力端子に接続されている。第1の発振回路41の出
力端子は、第1の切換器43の入力端子に接続されてい
る。第1の切換器43の出力端子は、差動増幅回路21
の入力端子および加算増幅回路22の入力端子と接続さ
れている。検出電極端子13は、第2の切換器44の入
力端子と接続されている。第2の発振回路42の出力端
子は、第2の切換器44の入力端子と接続されている。
第2の切換器44の出力端子は差動増幅回路21の入力
端子および加算増幅回路22の入力端子と接続されてい
る。
力端子があるが、どちらか一方の入力端子と接続してい
ており、接続端子を自由に切り換えることができる。こ
れにより、圧電振動子10の検出電極端子17の出力電
圧、または第1の発振回路41の出力電圧のどちらかが
選択された差動増幅回路21および加算増幅回路22に
入力されることになる。
しており、検出電極端子13の出力電圧、または第2の
発振回路42の出力電圧のどちらかが選択されて差動増
幅回路21および加算増幅回路22に入力されることに
なる。
合において、第1の切換器43は、圧電振動子10の検
出電極端子17の出力電圧を、差動増幅回路21および
加算増幅回路22に入力し、また、第2の切換器44
は、圧電振動子10の検出電極端子13の出力電圧を差
動増幅回路21および加算増幅回路22に入力して回転
角速度を検知する。
合には、第1の切換器43は、第1の発振回路41の出
力信号を差動増幅回路21および加算増幅回路22に入
力する。また、第2の切換器44は、第2の発振回路4
2の出力信号を差動増幅回路21および加算増幅回路2
2に入力する。
発振回路42は、同位相の異なる出力電圧を出力してい
る。差動増幅回路21および同期検波回路23が正常な
場合、この2つの発振回路の差分に回路の増幅度を乗じ
たものがジャイロ出力端子26に出力される。ところ
が、差動増幅回路21または同期検波回路23に何らか
の異常が生じた場合、2つの発振回路の差分に回路の増
幅度を乗じた電圧がジャイロ出力兼自己診断出力端子2
6から出力されなくなる。
異なる2つの発振回路を検出回路に接続し、ジャイロ出
力兼自己診断出力端子26を監視することにより、検出
回路の異常を検知することができる。ジャイロ出力兼自
己診断出力端子26は、第1の切換器43、第2の切換
器44の接続状態により自己診断出力を出力すことにな
る。
信号は同電圧で位相を変えてもよい。なぜならば、位相
を変えることでも差分を生じることになるので、正常に
動作している差動増幅回路21に入力すれば、差分が増
幅されてジャイロ出力兼自己診断出力端子26に出力さ
れるからである。
した自己診断機能回路と複合して組み合わせることによ
り、圧電振動ジャイロの構成要素である、圧電振動子お
よび後段処理回路について、それぞれの異常を検知する
ことが可能となる。
よる自己診断機能回路を有する圧電振動ジャイロの構成
を示した図である。図3において、圧電振動ジャイロ
は、圧電振動子10と、後段の処理回路にて構成されて
おり、回転角度の検出原理は、先の図7の基本構成の場
合と同様である。
1、第1の切換器43、第2の切換器44、変圧器45
から成る。検出端子17は、第1の切換器43の入力端
子に接続されている。発振回路41の出力端子は、第1
の切換器43の入力端子に接続されている。
入力端子に接続されている。切換器43の出力端子は、
差動増幅回路21の入力端子および加算増幅回路22の
入力端子と接続されている。
入力端子と接続されている。変圧器45出力端子は、第
2の切換器44の入力端子と接続されている。第2の切
換器44の出力端子は、差動増幅回路21の入力端子お
よび加算増幅回路22の入力端子と接続されている。
つ発振回路を用いたが、本実施例3では、変圧器45を
用いることにより、発振回路41から直接の出力電圧
と、発振回路41の出力信号を変圧器45に介して変圧
された出力電圧を差動増幅回路21および加算増幅回路
22入力している。即ち、出力の異なる2つの信号を差
動増幅回路21および加算増幅回路22入力することに
なり、先の実施例2と同様の自己診断機能を有する。
した自己診断機能回路と複合して組み合わせることによ
り、圧電振動ジャイロの構成要素である、圧電振動子あ
るいは、後段処理回路全体について、それぞれの異常を
検知することが可能となる。
付き圧電振動ジャイロによれば、それを構成する圧電振
動子、あるいは後段処理回路の異常が発生した場合、そ
れを検知することが可能な圧電振動ジャイロが得られ
る。
テム等に影響を与えることなく、自己診断を行うことが
できる、自己診断機能回路を有する圧電振動ジャイロを
提供できるものである。
成を示す図。
成を示す図。
成を示す図。
造を示す図。図4(a)はその斜視図、図4(b)は、
図4(a)での中央部における断面図。
される自己診断信号を示す図。図5(a)は、本発明の
実施例1の圧電振動ジャイロでの正常時の場合の自己診
断出力端子での出力電圧を示す図、図5(b)は、本発
明の実施例1の圧電振動ジャイロ異常時の場合の自己診
断出力端子での出力電圧を示す図、図5(c)は、従来
の圧電振動ジャイロでの正常時の自己診断出力端子での
出力電圧を示す図、図5(d)は、従来の圧電振動ジャ
イロでの異常時の自己診断出力端子での出力電圧を示す
図。
イロの構成を示す図。
の各回路部分の出力電圧波形を示す図。図8(a)は、
圧電振ジャイロ静止時の検出用帯状電極の出力電圧波形
を示す図、図8(b)は、圧電振ジャイロ静止時の検出
電極端子の出力電圧波形を示す図、図8(c)は、圧電
振ジャイロ静止時の加算回路の出力電圧波形を示す図、
図8(d)は、圧電振ジャイロ静止時の差動回路の出力
電圧波形を示す図、図8(e)は、圧電振ジャイロ静止
時の同期検波回路の出力波形を示す図、図8(f)は、
圧電振ジャイロ回転時の検出用帯状電極の出力電圧波形
を示す図、図8(g)は、圧電振ジャイロ回転時の検出
用帯状電極の出力電圧波形を示す図、図8(h)は、圧
電振ジャイロ回転時の加算回路の出力電圧波形を示す
図、図8(i)は、圧電振ジャイロ回転時の差動回路の
出力波形を示す図、図8(j)は、圧電振ジャイロ回転
時の同期検波回路の出力波形を示す図。
Claims (5)
- 【請求項1】 駆動電極端子と一対の検出電極端子とを
持つ圧電振動子と、前記圧電振動子に駆動信号を供給す
る駆動回路と、前記一対の検出電極端子からの出力を処
理してジャイロ出力信号を出力する検出回路とで構成さ
れる圧電振動ジャイロにおいて、前記圧電振動子の一対
の検出電極端子の出力を入力する加算増幅回路と、前記
加算増幅回路の出力を入力する整流回路と、前記整流回
路の出力信号を時間積分する積分回路と、予め定められ
た一定直流電圧を出力する定電圧回路と、前記積分回路
の出力と定電圧回路の出力を入力するコンパレータとで
構成される自己診断機能回路を有することを特徴とする
圧電振動ジャイロ。 - 【請求項2】 前記駆動電極端子と一対の検出電極端子
とを持つ圧電振動子と、前記圧電振動子に駆動信号を供
給する駆動回路と、前記一対の検出端子からの出力を処
理してジャイロ出力信号を出力する検出回路とで構成さ
れる圧電振動ジャイロにおいて、第1の発振回路と、前
記第1の発振回路と出力の異なる第2の発振回路を備
え、前記第1の発振回路の出力信号と前記圧電振動子の
一対の検出電極端子の片方の出力信号と、前記第2の発
振回路の出力信号と前記圧電振動子の一対の検出電極端
子のもう一方の出力信号が、各々どちらか一方の信号の
みを前記差動増幅回路あるいは加算増幅回路に入力させ
る第1および第2の切換器とで構成される自己診断機能
回路を有することを特徴とする圧電振動ジャイロ。 - 【請求項3】 駆動電極端子と一対の検出電極端子とを
持つ圧電振動子と、前記圧電振動子に駆動信号を供給す
る駆動回路と、前記一対の検出端子からの出力を処理し
てジャイロ出力信号を出力する検出回路とで構成される
圧電振動ジャイロにおいて、発振回路と、前記発振回路
の出力電圧を変圧する変圧器を備え、前記発振回路の出
力信号と前記圧電振動子の一対の検出電極端子の片方の
出力信号とを切り換える第1の切換器と、前記変圧器の
信号と前記圧電振動子の一対の検出電極端子のもう一方
の出力信号を切り換える第2の切換器とで構成される自
己診断機能回路を有することを特徴とする圧電振動ジャ
イロ。 - 【請求項4】 請求項1に記載した圧電振動ジャイロの
自己診断機能回路と、請求項2に記載した圧電振動ジャ
イロの自己診断機能回路とを複合した自己診断機能回路
を有することを特徴とする圧電振動ジャイロ。 - 【請求項5】 請求項1に記載した圧電振動ジャイロの
自己診断機能回路と請求項3に記載した圧電振動ジャイ
ロの自己診断機能回路とを複合した自己診断機能回路を
有することを特徴とする圧電振動ジャイロ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28362199A JP2001108440A (ja) | 1999-10-05 | 1999-10-05 | 圧電振動ジャイロ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28362199A JP2001108440A (ja) | 1999-10-05 | 1999-10-05 | 圧電振動ジャイロ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001108440A true JP2001108440A (ja) | 2001-04-20 |
Family
ID=17667893
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28362199A Withdrawn JP2001108440A (ja) | 1999-10-05 | 1999-10-05 | 圧電振動ジャイロ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001108440A (ja) |
-
1999
- 1999-10-05 JP JP28362199A patent/JP2001108440A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041119 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041207 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050207 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A761 | Written withdrawal of application |
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