JP2001084934A - 絞り支持装置 - Google Patents
絞り支持装置Info
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- JP2001084934A JP2001084934A JP25726799A JP25726799A JP2001084934A JP 2001084934 A JP2001084934 A JP 2001084934A JP 25726799 A JP25726799 A JP 25726799A JP 25726799 A JP25726799 A JP 25726799A JP 2001084934 A JP2001084934 A JP 2001084934A
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- inner cylinder
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Abstract
(57)【要約】
【課 題】 電子顕微鏡の電子ビームの絞りであって
高電圧が印加される前記絞りを支持する装置において、
鏡筒外部に設けた手動操作部材により前記絞りの位置調
整を行えるようにすること。 【解決手段】 内筒（６）によりＺ軸に垂直なＸ軸方向
に移動可能に支持され且つ外端部に操作部材着脱部（１
８f）を有し、内端部に絞り（１６）を支持する絞り支
持部材（Ｓ１）と、外筒（４）を気密に貫通して前記Ｘ
軸方向に移動可能に支持され、内端部に前記操作部材着
脱部（１８f）に着脱可能な内端着脱部（３１）を有
し、外端部に作業者が操作する外部操作部（３０）を有
する操作部材（２８）とを備えた絞り支持装置。
高電圧が印加される前記絞りを支持する装置において、
鏡筒外部に設けた手動操作部材により前記絞りの位置調
整を行えるようにすること。 【解決手段】 内筒（６）によりＺ軸に垂直なＸ軸方向
に移動可能に支持され且つ外端部に操作部材着脱部（１
８f）を有し、内端部に絞り（１６）を支持する絞り支
持部材（Ｓ１）と、外筒（４）を気密に貫通して前記Ｘ
軸方向に移動可能に支持され、内端部に前記操作部材着
脱部（１８f）に着脱可能な内端着脱部（３１）を有
し、外端部に作業者が操作する外部操作部（３０）を有
する操作部材（２８）とを備えた絞り支持装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子顕微鏡装置等
の電子ビームを使用して試料の観察、分析等を行う電子
ビーム装置で使用する絞りを支持する絞り支持装置に関
し、特に、所定範囲のエネルギの電子ビームを通過させ
るために使用する絞り支持装置に関する。
の電子ビームを使用して試料の観察、分析等を行う電子
ビーム装置で使用する絞りを支持する絞り支持装置に関
し、特に、所定範囲のエネルギの電子ビームを通過させ
るために使用する絞り支持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】前記絞り支持装置としては従来、次に説
明する技術（Ｊ01）が知られている。 （Ｊ01）図７に示す技術 図７は従来の絞りが組み込まれた電子顕微鏡の説明図で
ある。図７において、透過型電子顕微鏡０１は、真空に
保持される鏡筒内部の上端部に設けた電子銃０２を有し
ている。電子銃０２の高電圧が印加されるエミッタ（図
示せず）から放出されて引出電極により引き出された電
子ビームＢは、モノクロメータ０３によりエネルギに応
じて分散される。分散した電子ビームＢの中で、ある特
定のエネルギ範囲の電子ビームＢのみが絞り０４により
選択される。前記絞り０４はモノクロメータ０３に固定
されている。前記従来技術において何らかの理由により
絞りの交換または位置調整の必要が生じた場合は、真空
状態を解除して大気圧下で調節する。モノクロメータに
より選択された電子ビームＢは、加速管０６により加速
され、対物レンズ０７により調整されて、試料ホルダＨ
に支持された試料に照射される。試料を透過した電子ビ
ームＢは絞り０８によりビーム径を絞られて、拡大レン
ズ径９により拡大され、下方の蛍光板またはＣＣＤカメ
ラ０１０等に入射する。
明する技術（Ｊ01）が知られている。 （Ｊ01）図７に示す技術 図７は従来の絞りが組み込まれた電子顕微鏡の説明図で
ある。図７において、透過型電子顕微鏡０１は、真空に
保持される鏡筒内部の上端部に設けた電子銃０２を有し
ている。電子銃０２の高電圧が印加されるエミッタ（図
示せず）から放出されて引出電極により引き出された電
子ビームＢは、モノクロメータ０３によりエネルギに応
じて分散される。分散した電子ビームＢの中で、ある特
定のエネルギ範囲の電子ビームＢのみが絞り０４により
選択される。前記絞り０４はモノクロメータ０３に固定
されている。前記従来技術において何らかの理由により
絞りの交換または位置調整の必要が生じた場合は、真空
状態を解除して大気圧下で調節する。モノクロメータに
より選択された電子ビームＢは、加速管０６により加速
され、対物レンズ０７により調整されて、試料ホルダＨ
に支持された試料に照射される。試料を透過した電子ビ
ームＢは絞り０８によりビーム径を絞られて、拡大レン
ズ径９により拡大され、下方の蛍光板またはＣＣＤカメ
ラ０１０等に入射する。
【０００３】前記透過型電子顕微鏡０１では、試料を透
過した電子ビームＢのエネルギスペクトルによる元素分
析を行う場合、あるいはスペクトル中のピークのケミカ
ルシフト（元素が化学結合したとき、結合の仕方により
わずかに異なるエネルギ準位の相違）を測定して元素間
の結合状態を調べる場合、試料に電子ビームＢを照射す
る電子顕微鏡の照射系に電子ビームモノクロメータ０３
を組み込み、試料を照射する電子ビーム（照射ビーム）
Ｂのエネルギ幅を小さくすると、スペクトルのエネルギ
分解能が高くなり、分析に有利となる。この場合、エネ
ルギ分布が所定範囲の電子ビームＢを使用するため、モ
ノクロメータ０３により、エネルギの異なる電子ビーム
Ｂを分散させ、分散面に絞りを挿入して、一定のエネル
ギ幅のみを選択することになる。前記絞りは例えば、次
の場合に位置調節する必要がある。 （１）前記エネルギ幅選択のために複数のスリットを設
けた絞りの位置調整をする場合。 （２）モノクロメータ０３をオフとして、輝度の高いビ
ームをエネルギ分散せずに用いる場合に光軸より絞り０
４を外す場合。
過した電子ビームＢのエネルギスペクトルによる元素分
析を行う場合、あるいはスペクトル中のピークのケミカ
ルシフト（元素が化学結合したとき、結合の仕方により
わずかに異なるエネルギ準位の相違）を測定して元素間
の結合状態を調べる場合、試料に電子ビームＢを照射す
る電子顕微鏡の照射系に電子ビームモノクロメータ０３
を組み込み、試料を照射する電子ビーム（照射ビーム）
Ｂのエネルギ幅を小さくすると、スペクトルのエネルギ
分解能が高くなり、分析に有利となる。この場合、エネ
ルギ分布が所定範囲の電子ビームＢを使用するため、モ
ノクロメータ０３により、エネルギの異なる電子ビーム
Ｂを分散させ、分散面に絞りを挿入して、一定のエネル
ギ幅のみを選択することになる。前記絞りは例えば、次
の場合に位置調節する必要がある。 （１）前記エネルギ幅選択のために複数のスリットを設
けた絞りの位置調整をする場合。 （２）モノクロメータ０３をオフとして、輝度の高いビ
ームをエネルギ分散せずに用いる場合に光軸より絞り０
４を外す場合。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】（前記（Ｊ01）の問題
点）モノクロメータの分散面が電子ビーム加速管０６の
高電圧側にあると、電子顕微鏡のアースされた鏡筒外壁
に装着した絞り装置に高電圧が印加されるため、絞り装
置を手動操作することができない。また、高電圧側に絞
りの位置をリモートコントロールするための絞り駆動装
置を設けようとすれば、リモートコントロール等の駆動
装置の対アースの絶縁距離の確保のため、構造が大きく
なる。それに伴い外筒は絶縁ガス空間を挟んで更に巨大
となる。したがって、電子ビームＢの加速管０６部分が
非常に大きなものとなり、非実用的となる。また、高真
空を必要とする電子銃内部に複雑な構造を持ち込むこと
になる。
点）モノクロメータの分散面が電子ビーム加速管０６の
高電圧側にあると、電子顕微鏡のアースされた鏡筒外壁
に装着した絞り装置に高電圧が印加されるため、絞り装
置を手動操作することができない。また、高電圧側に絞
りの位置をリモートコントロールするための絞り駆動装
置を設けようとすれば、リモートコントロール等の駆動
装置の対アースの絶縁距離の確保のため、構造が大きく
なる。それに伴い外筒は絶縁ガス空間を挟んで更に巨大
となる。したがって、電子ビームＢの加速管０６部分が
非常に大きなものとなり、非実用的となる。また、高真
空を必要とする電子銃内部に複雑な構造を持ち込むこと
になる。
【０００５】本発明は、前述の事情に鑑み、下記の記載
内容（Ｏ01），（Ｏ02）を課題とする。 （Ｏ01）電子顕微鏡の電子ビームの絞りであって高電圧
が印加される前記絞りを支持する装置において、鏡筒外
部に設けた手動操作部材により前記絞りの位置調整を行
えるようにすること。 （Ｏ02）前記絞りが電子ビームの加速管の高電圧側に配
置されている場合でも、手動操作可能な絞り位置調整装
置を提供すること。
内容（Ｏ01），（Ｏ02）を課題とする。 （Ｏ01）電子顕微鏡の電子ビームの絞りであって高電圧
が印加される前記絞りを支持する装置において、鏡筒外
部に設けた手動操作部材により前記絞りの位置調整を行
えるようにすること。 （Ｏ02）前記絞りが電子ビームの加速管の高電圧側に配
置されている場合でも、手動操作可能な絞り位置調整装
置を提供すること。
【０００６】
【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決す
るために案出した本発明を説明するが、本発明の要素に
は、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実
施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。ま
た、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する
理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明
の範囲を実施例に限定するためではない。
るために案出した本発明を説明するが、本発明の要素に
は、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実
施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。ま
た、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する
理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明
の範囲を実施例に限定するためではない。
【０００７】（本発明）前記課題を解決するために、本
発明の絞り支持装置は、下記の要件（Ａ01）〜（Ａ05）
を備えたことを特徴とする、（Ａ01）上下方向に延びる
Ｚ軸線に沿った電子ビーム（Ｂ）の通路が内部に形成さ
れた内筒（６）および前記内筒（６）の外側に配置され
た外筒（４）を有し、前記内筒（６）および外筒（４）
間に絶縁ガス収容空間（Ａ１）が形成された鏡筒
（２）、（Ａ02）前記内筒（６）により前記Ｚ軸に垂直
なＸ軸方向に移動可能に支持され且つ外端部に操作部材
着脱部（１８f）を有し、内端部に絞り（１６）を支持
する絞り支持部材（Ｓ１）、（Ａ03）前記絞り支持部材
（Ｓ１）の内端部に支持され且つ異なる形状のビーム通
過孔が形成された絞り（１６）、（Ａ04）前記絞り支持
部材（Ｓ１）または絞り（１６）の表面と内筒（６）と
の間に設けられ、前記内筒（６）の内側の空間（Ａ２）
を外側の前記絶縁ガス収容空間（Ａ１）に対して気密に
遮断する気密保持部材（２４）、（Ａ05）前記外筒
（４）を気密に貫通して前記Ｘ軸方向に移動可能に支持
され、内端部に前記操作部材着脱部（１８f）に着脱可
能な内端着脱部（３１）を有し、外端部に作業者が操作
する外部操作部（３０）を有する操作部材（２８）。
発明の絞り支持装置は、下記の要件（Ａ01）〜（Ａ05）
を備えたことを特徴とする、（Ａ01）上下方向に延びる
Ｚ軸線に沿った電子ビーム（Ｂ）の通路が内部に形成さ
れた内筒（６）および前記内筒（６）の外側に配置され
た外筒（４）を有し、前記内筒（６）および外筒（４）
間に絶縁ガス収容空間（Ａ１）が形成された鏡筒
（２）、（Ａ02）前記内筒（６）により前記Ｚ軸に垂直
なＸ軸方向に移動可能に支持され且つ外端部に操作部材
着脱部（１８f）を有し、内端部に絞り（１６）を支持
する絞り支持部材（Ｓ１）、（Ａ03）前記絞り支持部材
（Ｓ１）の内端部に支持され且つ異なる形状のビーム通
過孔が形成された絞り（１６）、（Ａ04）前記絞り支持
部材（Ｓ１）または絞り（１６）の表面と内筒（６）と
の間に設けられ、前記内筒（６）の内側の空間（Ａ２）
を外側の前記絶縁ガス収容空間（Ａ１）に対して気密に
遮断する気密保持部材（２４）、（Ａ05）前記外筒
（４）を気密に貫通して前記Ｘ軸方向に移動可能に支持
され、内端部に前記操作部材着脱部（１８f）に着脱可
能な内端着脱部（３１）を有し、外端部に作業者が操作
する外部操作部（３０）を有する操作部材（２８）。
【０００８】（本発明の作用）前記構成を備えた本発明
の絞り支持装置では、絞り（１６）の位置を調節する時
以外は、操作部材（２８）の内端着脱部（３１）は、操
作部材着脱部（１８f）から離れた位置に保持されてい
る。前記内端着脱部（３１）が操作部材着脱部（１８
f）から離れた状態においては、外筒（４）に支持され
た前記絞り支持部材（Ｓ１）の操作部材（２８）は、前
記絞り支持部材（Ｓ１）に高電圧が印加されても、高電
圧の影響を受けない。したがって、この状態で電子ビー
ム（Ｂ）を出射して試料の顕微分析を行うことができ
る。前記絞り（１６）の位置を調節するには、操作部材
（２８）の内端着脱部（３１）を前進させ、操作部材着
脱部（１８f）に嵌合させた状態で進退移動させること
により、所定の位置に調節することができる。前記絞り
（１６）の位置を調節した後に、操作部材（２８）を、
絞り支持部材（Ｓ１）から離脱させて後退させることに
より、高電圧が印加されても影響を受けない位置（操作
部材着脱部（１８f）から離れた位置）に戻すことがで
きる。
の絞り支持装置では、絞り（１６）の位置を調節する時
以外は、操作部材（２８）の内端着脱部（３１）は、操
作部材着脱部（１８f）から離れた位置に保持されてい
る。前記内端着脱部（３１）が操作部材着脱部（１８
f）から離れた状態においては、外筒（４）に支持され
た前記絞り支持部材（Ｓ１）の操作部材（２８）は、前
記絞り支持部材（Ｓ１）に高電圧が印加されても、高電
圧の影響を受けない。したがって、この状態で電子ビー
ム（Ｂ）を出射して試料の顕微分析を行うことができ
る。前記絞り（１６）の位置を調節するには、操作部材
（２８）の内端着脱部（３１）を前進させ、操作部材着
脱部（１８f）に嵌合させた状態で進退移動させること
により、所定の位置に調節することができる。前記絞り
（１６）の位置を調節した後に、操作部材（２８）を、
絞り支持部材（Ｓ１）から離脱させて後退させることに
より、高電圧が印加されても影響を受けない位置（操作
部材着脱部（１８f）から離れた位置）に戻すことがで
きる。
【０００９】
【実施例】次に図面を参照しながら、本発明の実施の形
態の具体例（実施例）を説明するが、本発明は以下の実
施例に限定されるものではない。 （実施例１）図１は本発明の絞り支持装置の実施例１が
透過型電子顕微鏡（電子ビーム装置）に装着された状態
の要部説明図で、操作部材と絞りとが離脱した状態を示
す図である。図２は同実施例１の要部説明図で、操作部
材と絞りとが連結した状態を示す図である。
態の具体例（実施例）を説明するが、本発明は以下の実
施例に限定されるものではない。 （実施例１）図１は本発明の絞り支持装置の実施例１が
透過型電子顕微鏡（電子ビーム装置）に装着された状態
の要部説明図で、操作部材と絞りとが離脱した状態を示
す図である。図２は同実施例１の要部説明図で、操作部
材と絞りとが連結した状態を示す図である。
【００１０】図１、図２において、絞り支持装置Ｓが装
着される透過型電子顕微鏡１の鏡筒２は、上端部仕切り
壁３、外側壁（外筒）４および上端壁５を有している。
前記各壁３〜５内部の空間Ａには、内筒６が配置され、
内筒６には電子銃７およびモノクロメータ８が支持され
ている。前記モノクロメータ８の下方に配置された加速
管９は前記上端仕切り壁３に支持されている。前記各壁
３〜５内部の空間Ａは、前記内筒６および加速管９によ
りその外側の不活性ガス室（絶縁ガス収容空間）Ａ１と
内側の真空室（空間）Ａ２に分割されている。また、前
記内筒６外側にはシールドカバー１０が配置されてい
る。前記シールドカバー１０には前記絞り支持装置Ｓが
貫通する貫通孔１０aが形成されている。前記絞り支持
装置Ｓに支持された絞り１６は、前記モノクロメータ８
と加速管９との間に配置される。前記電子銃７から出射
した電子ビームＢはモノクロメータ８でエネルギに応じ
て分散され、絞り１６を通過した所定エネルギの電子ビ
ームＢのみが加速管９に入射する。
着される透過型電子顕微鏡１の鏡筒２は、上端部仕切り
壁３、外側壁（外筒）４および上端壁５を有している。
前記各壁３〜５内部の空間Ａには、内筒６が配置され、
内筒６には電子銃７およびモノクロメータ８が支持され
ている。前記モノクロメータ８の下方に配置された加速
管９は前記上端仕切り壁３に支持されている。前記各壁
３〜５内部の空間Ａは、前記内筒６および加速管９によ
りその外側の不活性ガス室（絶縁ガス収容空間）Ａ１と
内側の真空室（空間）Ａ２に分割されている。また、前
記内筒６外側にはシールドカバー１０が配置されてい
る。前記シールドカバー１０には前記絞り支持装置Ｓが
貫通する貫通孔１０aが形成されている。前記絞り支持
装置Ｓに支持された絞り１６は、前記モノクロメータ８
と加速管９との間に配置される。前記電子銃７から出射
した電子ビームＢはモノクロメータ８でエネルギに応じ
て分散され、絞り１６を通過した所定エネルギの電子ビ
ームＢのみが加速管９に入射する。
【００１１】図３は前記図１に示す操作部材と絞りが離
脱した状態の拡大説明図である。図４は前記図２に示す
操作部材と絞りが連結した状態の拡大説明図である。図
５は同実施例１の絞りおよびそれを支持する部材の拡大
説明図である。図３〜図５において前記絞り１６はブラ
ケット１７（図５参照）に連結され、ブラケット１７
は、円筒状のスライダ１８の内端壁に支持されている。
スライダ１８の上側部には、被ガイド凹溝１８aが形成
され、外端部にはフランジ１８bが形成され、下側部に
は３個の位置決め凹部１８c，１８d，１８eが形成され
ている。また、スライダ１８の円筒状の側壁にはＬ型の
ピン係合溝（操作部材着脱部）１８fが形成されてい
る。前記スライダ１８を内外にスライド可能に支持する
スライダ支持部材１９は、前記内筒６の内面に固定され
た外側円筒部材２０と、その内側にネジで固定された内
側円筒部材２１と、前記内側円筒部材２１の内面に固定
されたキー２２とを有している。
脱した状態の拡大説明図である。図４は前記図２に示す
操作部材と絞りが連結した状態の拡大説明図である。図
５は同実施例１の絞りおよびそれを支持する部材の拡大
説明図である。図３〜図５において前記絞り１６はブラ
ケット１７（図５参照）に連結され、ブラケット１７
は、円筒状のスライダ１８の内端壁に支持されている。
スライダ１８の上側部には、被ガイド凹溝１８aが形成
され、外端部にはフランジ１８bが形成され、下側部に
は３個の位置決め凹部１８c，１８d，１８eが形成され
ている。また、スライダ１８の円筒状の側壁にはＬ型の
ピン係合溝（操作部材着脱部）１８fが形成されてい
る。前記スライダ１８を内外にスライド可能に支持する
スライダ支持部材１９は、前記内筒６の内面に固定され
た外側円筒部材２０と、その内側にネジで固定された内
側円筒部材２１と、前記内側円筒部材２１の内面に固定
されたキー２２とを有している。
【００１２】前記内側円筒部材２１に固定されたキー２
２は前記被ガイド凹溝１８aに嵌合し、スライダ１８
は、内側円筒部材２１に対して回転不能且つスライド可
能に支持されている。内側円筒部材２１の下部内周面に
は位置決め部材収容凹部２１aが形成されており、位置
決め部材収容凹部２１aには弾性位置決め部材２３が収
容され、固定されている。弾性位置決め部材２３は内方
に突出する係止部２３aを有しており、係止部２３aはス
ライダ１８がスライド移動したときに、位置決め凹部１
８c，１８d，１８eに弾性的に嵌合し、嵌合した位置で
スライダ１８を係止する。前記内側円筒部材２１の外端
と前記フランジ１８bとの間にはベローズ（気密保持部
材）２４が設けられており、ベローズ２４の内外は気密
に遮断されている。前記符号１７〜２４で示された要素
により絞り支持装置Ｓの絞り支持部材Ｓ１が構成されて
いる。
２は前記被ガイド凹溝１８aに嵌合し、スライダ１８
は、内側円筒部材２１に対して回転不能且つスライド可
能に支持されている。内側円筒部材２１の下部内周面に
は位置決め部材収容凹部２１aが形成されており、位置
決め部材収容凹部２１aには弾性位置決め部材２３が収
容され、固定されている。弾性位置決め部材２３は内方
に突出する係止部２３aを有しており、係止部２３aはス
ライダ１８がスライド移動したときに、位置決め凹部１
８c，１８d，１８eに弾性的に嵌合し、嵌合した位置で
スライダ１８を係止する。前記内側円筒部材２１の外端
と前記フランジ１８bとの間にはベローズ（気密保持部
材）２４が設けられており、ベローズ２４の内外は気密
に遮断されている。前記符号１７〜２４で示された要素
により絞り支持装置Ｓの絞り支持部材Ｓ１が構成されて
いる。
【００１３】図６は同実施例１の操作部材の分解斜視図
である。図３、図４、図６において、前記鏡筒２の外側
壁４の外側面には、円筒状の操作部材支持筒２６が固定
されている。操作部材支持筒２６には操作部材貫通孔２
６aが形成されており、また、外端側面に目印２６bが設
けられており、操作部材貫通孔２６aにはＯリング２７
が装着されている。前記操作部材貫通孔２６aには操作
部材２８がスライド可能且つ回転可能に支持されてい
る。操作部材２８は、ロッド部２９と、その外端部に設
けた操作用ノブ（外部操作部）３０と、内端部に設けた
係止ピン（内端着脱部）３１および抜け止め部材（Ｃク
リップ，Ｅクリップ等）３２とを有している。抜け止め
部材３２は、前記操作部材２８を操作部材貫通孔２６a
の外側から内側に貫通させ、外側壁４の内側でロッド部
２９内端にはめ込まれている。前記抜け止め部材３２
は、内方および外方に進退移動する操作部材２８の外端
側の移動位置を規制して、操作部材２８の外方への抜止
めを防止している。
である。図３、図４、図６において、前記鏡筒２の外側
壁４の外側面には、円筒状の操作部材支持筒２６が固定
されている。操作部材支持筒２６には操作部材貫通孔２
６aが形成されており、また、外端側面に目印２６bが設
けられており、操作部材貫通孔２６aにはＯリング２７
が装着されている。前記操作部材貫通孔２６aには操作
部材２８がスライド可能且つ回転可能に支持されてい
る。操作部材２８は、ロッド部２９と、その外端部に設
けた操作用ノブ（外部操作部）３０と、内端部に設けた
係止ピン（内端着脱部）３１および抜け止め部材（Ｃク
リップ，Ｅクリップ等）３２とを有している。抜け止め
部材３２は、前記操作部材２８を操作部材貫通孔２６a
の外側から内側に貫通させ、外側壁４の内側でロッド部
２９内端にはめ込まれている。前記抜け止め部材３２
は、内方および外方に進退移動する操作部材２８の外端
側の移動位置を規制して、操作部材２８の外方への抜止
めを防止している。
【００１４】ロッド部２９の外端部の側面には目印ライ
ンＬと目印マークＭ１，Ｍ２，Ｍ３が彫られ且つ色が付
けられている。前記目印ラインＬは図４から分かるよう
に内端側部分Ｌ１と外端側部分Ｌ２とを有しており、そ
れらはロッド部２９の外側面の周方向にずれた位置に形
成されている。前記目印マークＭ１，Ｍ２，Ｍ３は外端
側部分Ｌ２上に形成されている。
ンＬと目印マークＭ１，Ｍ２，Ｍ３が彫られ且つ色が付
けられている。前記目印ラインＬは図４から分かるよう
に内端側部分Ｌ１と外端側部分Ｌ２とを有しており、そ
れらはロッド部２９の外側面の周方向にずれた位置に形
成されている。前記目印マークＭ１，Ｍ２，Ｍ３は外端
側部分Ｌ２上に形成されている。
【００１５】前記目印ラインＬの内端側部分Ｌ１と前記
目印２６b（図３参照）との円周方向の位置が一致して
いる状態で、操作部材２８を内端側に移動したとき、内
筒６に設けられた内筒貫通孔６aおよび前記内筒６の内
面に固定された外側円筒部材２０に設けられた外側円筒
部材貫通孔２０aを通り、前記係止ピン３１がＬ型のピ
ン係合溝１８fの軸方向に延びる溝部分に嵌合するよう
に形成されている。また、係止ピン３１がＬ型のピン係
合溝１８fの軸方向に延びる部分に嵌合した状態で操作
部材２８をさらに前進させると係止ピン３１はＬ型のピ
ン係合溝１８fの角部分（軸方向に延びる部分と円周方
向に延びる部分との接続部）に当接する。その状態で操
作部材２８を回転させると、係止ピン３１はＬ型のピン
係合溝１８fの円周方向に延びる溝に移動し、図４に示
す位置となる。このとき、前記目印ラインＬの外端側部
分Ｌ２と前記目印２６b（図３参照）との円周方向の位
置が一致する。この一致する状態で、操作部材２８の進
退移動により前記スライダ１８を軸方向に移動させるこ
とができる。そして、前記目印マークＭ１，Ｍ２，Ｍ３
が目印２６bと一致する位置は、前記係止部２３aが凹部
１８c，１８d，１８eに弾性的に嵌合する位置である。
前記符号２６〜３２で示された要素により絞り支持装置
Ｓの操作部Ｓ２が構成されている。
目印２６b（図３参照）との円周方向の位置が一致して
いる状態で、操作部材２８を内端側に移動したとき、内
筒６に設けられた内筒貫通孔６aおよび前記内筒６の内
面に固定された外側円筒部材２０に設けられた外側円筒
部材貫通孔２０aを通り、前記係止ピン３１がＬ型のピ
ン係合溝１８fの軸方向に延びる溝部分に嵌合するよう
に形成されている。また、係止ピン３１がＬ型のピン係
合溝１８fの軸方向に延びる部分に嵌合した状態で操作
部材２８をさらに前進させると係止ピン３１はＬ型のピ
ン係合溝１８fの角部分（軸方向に延びる部分と円周方
向に延びる部分との接続部）に当接する。その状態で操
作部材２８を回転させると、係止ピン３１はＬ型のピン
係合溝１８fの円周方向に延びる溝に移動し、図４に示
す位置となる。このとき、前記目印ラインＬの外端側部
分Ｌ２と前記目印２６b（図３参照）との円周方向の位
置が一致する。この一致する状態で、操作部材２８の進
退移動により前記スライダ１８を軸方向に移動させるこ
とができる。そして、前記目印マークＭ１，Ｍ２，Ｍ３
が目印２６bと一致する位置は、前記係止部２３aが凹部
１８c，１８d，１８eに弾性的に嵌合する位置である。
前記符号２６〜３２で示された要素により絞り支持装置
Ｓの操作部Ｓ２が構成されている。
【００１６】（実施例１の作用）前記構成を備えた実施
例の絞り支持装置Ｓは、絞り１６の位置を調節する時以
外は、図１、図３に示すように操作部Ｓ２が絞り支持部
材Ｓ１から離れた位置に保持されている。この操作部Ｓ
２が絞り支持部材Ｓ１から離れた状態においては、鏡筒
２の外側壁４に支持された操作部Ｓ２は、前記絞り支持
部材Ｓ１に高電圧が印加されても、高電圧の影響を受け
ない。したがって、この状態で、電子銃７から電子ビー
ムＢを出射して試料の顕微分析を行うことができる。前
記絞り１６の位置を調整する時には、前記図１、図３の
状態から操作部Ｓ２を前進（鏡筒２の内部に移動）させ
る。その際、前記目印ラインＬの内端側部分Ｌ１と前記
目印２６b（図３参照）との円周方向の位置を一致させ
た状態で、操作部材２８を前進させると、係止ピン３１
がＬ型のピン係合溝１８fの軸方向に延びる溝部分に嵌
合する。
例の絞り支持装置Ｓは、絞り１６の位置を調節する時以
外は、図１、図３に示すように操作部Ｓ２が絞り支持部
材Ｓ１から離れた位置に保持されている。この操作部Ｓ
２が絞り支持部材Ｓ１から離れた状態においては、鏡筒
２の外側壁４に支持された操作部Ｓ２は、前記絞り支持
部材Ｓ１に高電圧が印加されても、高電圧の影響を受け
ない。したがって、この状態で、電子銃７から電子ビー
ムＢを出射して試料の顕微分析を行うことができる。前
記絞り１６の位置を調整する時には、前記図１、図３の
状態から操作部Ｓ２を前進（鏡筒２の内部に移動）させ
る。その際、前記目印ラインＬの内端側部分Ｌ１と前記
目印２６b（図３参照）との円周方向の位置を一致させ
た状態で、操作部材２８を前進させると、係止ピン３１
がＬ型のピン係合溝１８fの軸方向に延びる溝部分に嵌
合する。
【００１７】係止ピン３１がＬ型のピン係合溝１８fの
軸方向に延びる部分に嵌合した状態で操作部材２８をさ
らに前進させると係止ピン３１はＬ型のピン係合溝１８
fの角部分（軸方向に延びる部分と円周方向に延びる部
分との接続部）に当接する。その状態で操作部材２８を
回転させると、係止ピン３１はＬ型のピン係合溝１８f
の円周方向に延びる溝に移動し、図４に示す位置とな
る。このとき、前記目印ラインＬの外端側部分Ｌ２と前
記目印２６b（図３参照）との円周方向の位置が一致す
る。この一致する状態で、操作部材２８の進退移動によ
り前記スライダ１８を軸方向に移動させることができ
る。そして、前記目印マークＭ１，Ｍ２，Ｍ３が目印２
６bと一致する位置は、前記係止部２３aが凹部１８c，
１８d，１８eに弾性的に嵌合する位置である。したがっ
て、前記目印マークＭ１，Ｍ２またはＭ３を目印２６b
に合わせることにより絞り１６の位置を所定の位置に調
節することができる。
軸方向に延びる部分に嵌合した状態で操作部材２８をさ
らに前進させると係止ピン３１はＬ型のピン係合溝１８
fの角部分（軸方向に延びる部分と円周方向に延びる部
分との接続部）に当接する。その状態で操作部材２８を
回転させると、係止ピン３１はＬ型のピン係合溝１８f
の円周方向に延びる溝に移動し、図４に示す位置とな
る。このとき、前記目印ラインＬの外端側部分Ｌ２と前
記目印２６b（図３参照）との円周方向の位置が一致す
る。この一致する状態で、操作部材２８の進退移動によ
り前記スライダ１８を軸方向に移動させることができ
る。そして、前記目印マークＭ１，Ｍ２，Ｍ３が目印２
６bと一致する位置は、前記係止部２３aが凹部１８c，
１８d，１８eに弾性的に嵌合する位置である。したがっ
て、前記目印マークＭ１，Ｍ２またはＭ３を目印２６b
に合わせることにより絞り１６の位置を所定の位置に調
節することができる。
【００１８】前記絞り１６の位置を調節した後で、前記
操作部Ｓ２を回転させて係止ピン３１を、Ｌ型のピン係
合溝１８fの軸方向に延びる部分に嵌合する位置に移動
させる。その状態で操作部Ｓ２を後退させることによ
り、操作部Ｓ２を絞り支持部材Ｓ１から離脱させること
ができ、前記図１、図３の状態に戻すことができる。そ
の状態で電子銃７により電子ビームＢを出射すると内筒
６は高電圧が印加されるが、操作部Ｓ２に高電圧が伝わ
ることはない。
操作部Ｓ２を回転させて係止ピン３１を、Ｌ型のピン係
合溝１８fの軸方向に延びる部分に嵌合する位置に移動
させる。その状態で操作部Ｓ２を後退させることによ
り、操作部Ｓ２を絞り支持部材Ｓ１から離脱させること
ができ、前記図１、図３の状態に戻すことができる。そ
の状態で電子銃７により電子ビームＢを出射すると内筒
６は高電圧が印加されるが、操作部Ｓ２に高電圧が伝わ
ることはない。
【００１９】（変更例）以上、本発明の実施例を詳述し
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更
実施例を下記に例示する。 （Ｈ01）係止部２３aを有する弾性位置決め部材２３の
形状は実施例１に示した形状以外の形状のものを使用す
ることが可能である。 （Ｈ02）突出した係止部２３aを凹部１８c，１８d，１
８eに弾性的に嵌合させる代わりに、２３aを凹部として
形成し、１８c，１８d，１８eを突出部として形成する
ことが可能である。
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更
実施例を下記に例示する。 （Ｈ01）係止部２３aを有する弾性位置決め部材２３の
形状は実施例１に示した形状以外の形状のものを使用す
ることが可能である。 （Ｈ02）突出した係止部２３aを凹部１８c，１８d，１
８eに弾性的に嵌合させる代わりに、２３aを凹部として
形成し、１８c，１８d，１８eを突出部として形成する
ことが可能である。
【００２０】
【発明の効果】前述の本発明の絞り支持装置は、下記の
効果を奏することができる。 （Ｅ01）電子顕微鏡の電子ビームの絞りであって高電圧
が印加される絞りを支持する装置において、鏡筒外部に
設けた手動操作部材により前記絞りの位置調整を行うこ
とができる。 （Ｅ02）前記絞りが電子ビームの加速管の高電圧側に配
置されている場合でも、手動操作可能な絞り位置調整装
置を提供することができる。
効果を奏することができる。 （Ｅ01）電子顕微鏡の電子ビームの絞りであって高電圧
が印加される絞りを支持する装置において、鏡筒外部に
設けた手動操作部材により前記絞りの位置調整を行うこ
とができる。 （Ｅ02）前記絞りが電子ビームの加速管の高電圧側に配
置されている場合でも、手動操作可能な絞り位置調整装
置を提供することができる。
【図１】 図１は本発明の絞り支持装置の実施例１が透
過型電子顕微鏡（電子ビーム装置）に装着された状態の
要部説明図で、操作部材と絞りとが離脱した状態を示す
図である。
過型電子顕微鏡（電子ビーム装置）に装着された状態の
要部説明図で、操作部材と絞りとが離脱した状態を示す
図である。
【図２】 図２は同実施例１の要部説明図で、操作部材
と絞りとが連結した状態を示す図である。
と絞りとが連結した状態を示す図である。
【図３】 図３は前記図１に示す操作部材と絞りが離脱
した状態の拡大説明図である。
した状態の拡大説明図である。
【図４】 図４は前記図２に示す操作部材と絞りが連結
した状態の拡大説明図である。
した状態の拡大説明図である。
【図５】 図５は同実施例１の絞りおよびそれを支持す
る部材の拡大説明図である。
る部材の拡大説明図である。
【図６】 図６は同実施例１の操作部材の分解斜視図で
ある。
ある。
【図７】 図７は従来の絞りが組み込まれた電子顕微鏡
の説明図である。
の説明図である。
Ａ１…絶縁ガス収容空間（不活性ガス室）、Ａ２…空間
（真空室）、Ｂ…電子ビーム、１８f…操作部材着脱部
（ピン係合溝）、Ｓ１…絞り支持部材、２…鏡筒、４…
外筒（外側壁）、６…内筒、１６…絞り、２４…気密保
持部材（ベローズ）、２８…操作部材、３０…外部操作
部（操作用ノブ）、３１…内端着脱部（係止ピン）。
（真空室）、Ｂ…電子ビーム、１８f…操作部材着脱部
（ピン係合溝）、Ｓ１…絞り支持部材、２…鏡筒、４…
外筒（外側壁）、６…内筒、１６…絞り、２４…気密保
持部材（ベローズ）、２８…操作部材、３０…外部操作
部（操作用ノブ）、３１…内端着脱部（係止ピン）。
Claims (1)
- 【請求項１】 下記の要件を備えた絞り支持装置 （Ａ01）上下方向に延びるＺ軸線に沿った電子ビームの
通路が内部に形成された内筒および前記内筒の外側に配
置された外筒を有し、前記内筒および外筒間に絶縁ガス
収容空間が形成された鏡筒、（Ａ02）前記内筒により前
記Ｚ軸に垂直なＸ軸方向に移動可能に支持され且つ外端
部に操作部材着脱部を有する絞り支持部材、（Ａ03）前
記絞り支持部材の内端部に支持され且つ異なる形状のビ
ーム通過孔が形成された絞り、（Ａ04）前記絞り支持部
材または絞りの表面と内筒との間に設けられ、前記内筒
の内側の空間を外側の前記絶縁ガス収容空間に対して気
密に遮断する気密保持部材、（Ａ05）前記外筒を気密に
貫通して前記Ｘ軸方向に移動可能に支持され、内端部に
前記操作部材着脱部に着脱可能な内端着脱部を有し、外
端部に作業者が操作する外部操作部を有する操作部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25726799A JP2001084934A (ja) | 1999-09-10 | 1999-09-10 | 絞り支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25726799A JP2001084934A (ja) | 1999-09-10 | 1999-09-10 | 絞り支持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001084934A true JP2001084934A (ja) | 2001-03-30 |
Family
ID=17304017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25726799A Withdrawn JP2001084934A (ja) | 1999-09-10 | 1999-09-10 | 絞り支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001084934A (ja) |
Cited By (25)
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-
1999
- 1999-09-10 JP JP25726799A patent/JP2001084934A/ja not_active Withdrawn
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