JP2001062685A - 研削装置 - Google Patents
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- JP2001062685A JP2001062685A JP24064699A JP24064699A JP2001062685A JP 2001062685 A JP2001062685 A JP 2001062685A JP 24064699 A JP24064699 A JP 24064699A JP 24064699 A JP24064699 A JP 24064699A JP 2001062685 A JP2001062685 A JP 2001062685A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 寸法精度の高い加工ワ−クを与え
る研削装置の提供。 【解決手段】 左右方向に往復移動可能なテ−ブ
ル上のチャックに固定されたワ−クにワ−ク上方に設け
られたノズルより冷風を吹き付けつつ回転する砥石でワ
−ク表面を研削する研削装置であって、前記チャックの
ノズルの冷風吹き出し方向の左側とは逆のチャック右端
側に冷風遮蔽体を設けたことを特徴とする研削装置。
る研削装置の提供。 【解決手段】 左右方向に往復移動可能なテ−ブ
ル上のチャックに固定されたワ−クにワ−ク上方に設け
られたノズルより冷風を吹き付けつつ回転する砥石でワ
−ク表面を研削する研削装置であって、前記チャックの
ノズルの冷風吹き出し方向の左側とは逆のチャック右端
側に冷風遮蔽体を設けたことを特徴とする研削装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、左右方向に往復移
動可能なテ−ブル上のチャックに固定されたワ−ク（被
研削物）にワ−ク上方に設けられたノズルより−１０℃
〜−４０℃の冷風を吹き付けつつ回転する砥石でワ−ク
表面を研削する冷風研削装置において、寸法精度の優れ
た研削加工ワ−クを与える研削装置に関する。
動可能なテ−ブル上のチャックに固定されたワ−ク（被
研削物）にワ−ク上方に設けられたノズルより−１０℃
〜−４０℃の冷風を吹き付けつつ回転する砥石でワ−ク
表面を研削する冷風研削装置において、寸法精度の優れ
た研削加工ワ−クを与える研削装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】左右方向に往復移動可能なテ−ブル上に
載せられたワ−クにノズルより冷風または研削液を供給
しつつ回転する砥石によりワ−クを研削する研削装置は
知られている（特開昭５５−８３５６７号、同５９−５
９３４９号、同６１−１７３８５１号、特開平４−１３
５５２号）。図３と図４に平面研削装置の一例を示す。
図において、１は平面研削装置、２はワ−ク、３は砥
石、４は水平方向（Ｘ軸方向）に往復移動可能なテ−ブ
ル、５は作業台部、６は電磁チャック、７は前後方向
（Ｚ軸方向）に往復移動可能なサドル、８は操作盤、８
ｂは砥石上下切り込み手動パルス発生器ボタン、９はコ
ラム、１０は砥石頭、１１は砥石軸、１２は砥石３を垂
直方向（Ｙ軸方向）に移動する昇降機構、１３はモ−タ
−、１４は螺合体、１５はネジ軸、１６は軸受、１７は
安全保護カバ−、１８は研削液または冷風供給ノズル、
１９はフレ−ム、２０はタンク、２１はフィルタ−、２
２はポンプ、２３は砥石軸モ−タ−、２４は制御ウニッ
ト部である。装置によっては手動パルス発生器ボタン８
ｂが手動パルス発生ハンドルと設計変更されることもあ
る。
載せられたワ−クにノズルより冷風または研削液を供給
しつつ回転する砥石によりワ−クを研削する研削装置は
知られている（特開昭５５−８３５６７号、同５９−５
９３４９号、同６１−１７３８５１号、特開平４−１３
５５２号）。図３と図４に平面研削装置の一例を示す。
図において、１は平面研削装置、２はワ−ク、３は砥
石、４は水平方向（Ｘ軸方向）に往復移動可能なテ−ブ
ル、５は作業台部、６は電磁チャック、７は前後方向
（Ｚ軸方向）に往復移動可能なサドル、８は操作盤、８
ｂは砥石上下切り込み手動パルス発生器ボタン、９はコ
ラム、１０は砥石頭、１１は砥石軸、１２は砥石３を垂
直方向（Ｙ軸方向）に移動する昇降機構、１３はモ−タ
−、１４は螺合体、１５はネジ軸、１６は軸受、１７は
安全保護カバ−、１８は研削液または冷風供給ノズル、
１９はフレ−ム、２０はタンク、２１はフィルタ−、２
２はポンプ、２３は砥石軸モ−タ−、２４は制御ウニッ
ト部である。装置によっては手動パルス発生器ボタン８
ｂが手動パルス発生ハンドルと設計変更されることもあ
る。
【０００３】研削中、最適な加工条件を引き出すため砥
石３はツル−イング、ドレッシングされる。ツル−イン
グとは砥石外周面が研削面となる円筒研削においては砥
石の真円出し、振れ取りを意味し、総型研削作業の成形
を意味するときは形を仕上げる作業（型直し）を意味す
る。ドレッシングとは、目詰まりや目つぶれを生じた研
削砥石の使用面（研削面）に適当なドレッサを当てて鈍
化した砥粒を破砕あるいは脱落させて新しい切れ刃を作
り出す作業をいう。
石３はツル−イング、ドレッシングされる。ツル−イン
グとは砥石外周面が研削面となる円筒研削においては砥
石の真円出し、振れ取りを意味し、総型研削作業の成形
を意味するときは形を仕上げる作業（型直し）を意味す
る。ドレッシングとは、目詰まりや目つぶれを生じた研
削砥石の使用面（研削面）に適当なドレッサを当てて鈍
化した砥粒を破砕あるいは脱落させて新しい切れ刃を作
り出す作業をいう。
【０００４】左右方向に往復移動可能なテ−ブル４上の
チャック６に固定されたワ−ク２にワ−ク上方に設けら
れたノズルより−１０℃〜−４０℃の冷風（冷風ミスト
も含む）を吹き付けつつ回転する砥石３でワ−ク表面を
研削する作業が１〜１０時間と長時間続づくとワ−クを
固定しているチャックの冷風が当る右側部分のチャック
中央部分よりも過冷却となり、チャック右側部分が数μ
ｍ中央部よりも反り上がる傾向にあり、チャックの右側
部分に位置するワ−ク部分がチャック端部分に位置する
ワ−ク部分よりも研削され過ぎとなる。
チャック６に固定されたワ−ク２にワ−ク上方に設けら
れたノズルより−１０℃〜−４０℃の冷風（冷風ミスト
も含む）を吹き付けつつ回転する砥石３でワ−ク表面を
研削する作業が１〜１０時間と長時間続づくとワ−クを
固定しているチャックの冷風が当る右側部分のチャック
中央部分よりも過冷却となり、チャック右側部分が数μ
ｍ中央部よりも反り上がる傾向にあり、チャックの右側
部分に位置するワ−ク部分がチャック端部分に位置する
ワ−ク部分よりも研削され過ぎとなる。
【０００５】特に、図１に示すようにワ−クの寸法がピ
ン、コア、金型部品のように小さく、１枚の電磁チャッ
ク上に数個も固定されてバイアス送りで複数個研削加工
され、１時間に５０〜６０個ものワ−ク製品が仕上が
り、かつ、このバイアス研削が数時間も継続されて何千
個もの製品研削が行なわれる場合、製品の高さ寸法に５
〜７μｍのバラツキが生じることは、部品の用途が精密
機械部品であるときは許されることではなく、寸法の振
れがプラスマイナス１μｍとなるように選別して納品さ
れることがユ−ザ−より要求され、選別作業に手間が要
する。また、製品ロス率が高い。
ン、コア、金型部品のように小さく、１枚の電磁チャッ
ク上に数個も固定されてバイアス送りで複数個研削加工
され、１時間に５０〜６０個ものワ−ク製品が仕上が
り、かつ、このバイアス研削が数時間も継続されて何千
個もの製品研削が行なわれる場合、製品の高さ寸法に５
〜７μｍのバラツキが生じることは、部品の用途が精密
機械部品であるときは許されることではなく、寸法の振
れがプラスマイナス１μｍとなるように選別して納品さ
れることがユ−ザ−より要求され、選別作業に手間が要
する。また、製品ロス率が高い。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、長時間研削
加工を行なっても寸法の振れが小さい製品を与える研削
装置の提供を目的とする。
加工を行なっても寸法の振れが小さい製品を与える研削
装置の提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１の発明
は、左右方向に往復移動可能なテ−ブル上のチャックに
固定されたワ−クにワ−ク上方に設けられたノズルより
冷風を吹き付けつつ回転する砥石でワ−ク表面を研削す
る研削装置であって、前記チャックのノズルの冷風吹き
出し方向の左側とは逆のチャック右端側に冷風遮蔽体を
設けたことを特徴とする研削装置を提供するものであ
る。
は、左右方向に往復移動可能なテ−ブル上のチャックに
固定されたワ−クにワ−ク上方に設けられたノズルより
冷風を吹き付けつつ回転する砥石でワ−ク表面を研削す
る研削装置であって、前記チャックのノズルの冷風吹き
出し方向の左側とは逆のチャック右端側に冷風遮蔽体を
設けたことを特徴とする研削装置を提供するものであ
る。
【０００８】従来装置では、チャックが過冷却（例えば
研削装置の据付場所の室温が２５℃で、研削装置のテ−
ブル、サドル、コラム、砥石頭の温度も室温となるよう
に冷却油を循環させて加工作業部の温度を制御している
場合に、約２２〜２３℃となる。）となるのが、チャッ
ク右端側に冷風遮蔽体を設けることにより、チャック温
度もほぼ室温を保ち、製品寸法の振れもプラスマイナス
１μｍ以内となる。
研削装置の据付場所の室温が２５℃で、研削装置のテ−
ブル、サドル、コラム、砥石頭の温度も室温となるよう
に冷却油を循環させて加工作業部の温度を制御している
場合に、約２２〜２３℃となる。）となるのが、チャッ
ク右端側に冷風遮蔽体を設けることにより、チャック温
度もほぼ室温を保ち、製品寸法の振れもプラスマイナス
１μｍ以内となる。
【０００９】本発明の請求項２の発明は、前記研削装置
において、冷風遮蔽体が、ワ−クの高さ（ｈ）と略同等
の高さ（Ｈ）を有し、かつ、テ−ブルが左方向の移動か
ら右方向の移動に反転する際にテ−ブルが左方向にオ−
バ−ラ−ンしてチャック右端がノズルの冷風吹き出し口
の真下から離れる長さ（ｌ）以上の幅（ｗ）を有する冷
風遮蔽体であることを特徴とする。
において、冷風遮蔽体が、ワ−クの高さ（ｈ）と略同等
の高さ（Ｈ）を有し、かつ、テ−ブルが左方向の移動か
ら右方向の移動に反転する際にテ−ブルが左方向にオ−
バ−ラ−ンしてチャック右端がノズルの冷風吹き出し口
の真下から離れる長さ（ｌ）以上の幅（ｗ）を有する冷
風遮蔽体であることを特徴とする。
【００１０】テ−ブルが左方向の移動から右方向の移動
に反転する際にテ−ブルが左方向にオ−バ−ラ−ンして
チャック右端がノズルの冷風吹き出し口の真下から長さ
（ｌ）離れた際、ノズルより吹き出された冷風を遮断す
るには、冷風遮蔽体の高さ（Ｈ）が、ワ−クの高さ
（ｈ）と略同等（同一か、５ｍｍ以内低い）の高さ必要
であり、かつ、チャック右端が過冷却されないように冷
風遮蔽体の幅はｌ以上必要である。
に反転する際にテ−ブルが左方向にオ−バ−ラ−ンして
チャック右端がノズルの冷風吹き出し口の真下から長さ
（ｌ）離れた際、ノズルより吹き出された冷風を遮断す
るには、冷風遮蔽体の高さ（Ｈ）が、ワ−クの高さ
（ｈ）と略同等（同一か、５ｍｍ以内低い）の高さ必要
であり、かつ、チャック右端が過冷却されないように冷
風遮蔽体の幅はｌ以上必要である。
【００１１】本発明の請求項３の発明は、前記冷風遮蔽
体として、ワ−クの高さと略同等の高さを有する板をチ
ャック右端に垂直に起立させたものと、テ−ブルが左方
向の移動から右方向の移動に反転する際にテ−ブルが左
方向にオ−バ−ラ−ンしてチャック右端がノズルの冷風
吹き出し口の真下から離れる長さ以上の幅を有する板を
チャック右端に水平方向設けたものであることを特徴と
する。
体として、ワ−クの高さと略同等の高さを有する板をチ
ャック右端に垂直に起立させたものと、テ−ブルが左方
向の移動から右方向の移動に反転する際にテ−ブルが左
方向にオ−バ−ラ−ンしてチャック右端がノズルの冷風
吹き出し口の真下から離れる長さ以上の幅を有する板を
チャック右端に水平方向設けたものであることを特徴と
する。
【００１２】冷風遮蔽体の重量を減少することができ、
テ−ブル往復移動に要するモ−タ−の負荷を軽減するこ
とができる。
テ−ブル往復移動に要するモ−タ−の負荷を軽減するこ
とができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明を更に
詳細に説明する。図１は、本発明の研削装置において、
砥石頭と、冷風ノズルと、チャック、冷風遮蔽体、テ−
ブルおよび複数のワ−クの位置関係を示す斜視図、図２
は別の態様を示す冷風遮蔽体とチャックの位置関係を示
す斜視図である。
詳細に説明する。図１は、本発明の研削装置において、
砥石頭と、冷風ノズルと、チャック、冷風遮蔽体、テ−
ブルおよび複数のワ−クの位置関係を示す斜視図、図２
は別の態様を示す冷風遮蔽体とチャックの位置関係を示
す斜視図である。
【００１４】図１および図２において、２はワ−ク、３
は砥石、４はテ−ブル、６はチャック、６０は冷風遮蔽
体であり、ワ−クは９個チャック上に３列ｘ３行に均等
に配置されており、テ−ブル４はチャック６を載せて左
右方向（Ｘ軸方向）に往復移動可能である。距離ｌは、
テ−ブルが左方向の移動から右方向の移動に反転する際
にテ−ブルが左方向にオ−バ−ラ−ンした際のチャック
右端からノズルの冷風吹き出し口の真下までの距離、ｗ
は冷風遮蔽体の幅、Ｈは冷風遮蔽体の高さ、ｈはワ−ク
の高さである。
は砥石、４はテ−ブル、６はチャック、６０は冷風遮蔽
体であり、ワ−クは９個チャック上に３列ｘ３行に均等
に配置されており、テ−ブル４はチャック６を載せて左
右方向（Ｘ軸方向）に往復移動可能である。距離ｌは、
テ−ブルが左方向の移動から右方向の移動に反転する際
にテ−ブルが左方向にオ−バ−ラ−ンした際のチャック
右端からノズルの冷風吹き出し口の真下までの距離、ｗ
は冷風遮蔽体の幅、Ｈは冷風遮蔽体の高さ、ｈはワ−ク
の高さである。
【００１５】冷風遮蔽体の高さ（Ｈ）はワ−クの高さ
（ｈ）と略同等（同一か、３ｍｍ以内低い）の高さ必要
であり、かつ、チャック右端が過冷却されないように冷
風遮蔽体の幅（ｗ）は前記オ−バ−ラ−ンの距離ｌ以上
必要である。冷風遮蔽体は、図１で示すように２枚の板
を使用して形成してもよいし、図２に示すように１／４
楕円柱であってもよい。冷風遮蔽体６０の素材として
は、金属、樹脂、セラミック、木等が利用できる。樹脂
は、ＦＲＰであってもよいし、発泡体であってもよい。
（ｈ）と略同等（同一か、３ｍｍ以内低い）の高さ必要
であり、かつ、チャック右端が過冷却されないように冷
風遮蔽体の幅（ｗ）は前記オ−バ−ラ−ンの距離ｌ以上
必要である。冷風遮蔽体は、図１で示すように２枚の板
を使用して形成してもよいし、図２に示すように１／４
楕円柱であってもよい。冷風遮蔽体６０の素材として
は、金属、樹脂、セラミック、木等が利用できる。樹脂
は、ＦＲＰであってもよいし、発泡体であってもよい。
【００１６】砥石３は、例えば図３、図４に示す研削装
置の回転軸１０にフランジを用いて具備される。テ−ブ
ル４上の電磁チャック６に固定されたワ−ク２の表面に
冷風をノズルより吹き付けながら回転する砥石３を下降
させ、テ−ブル４を左右方向（Ｘ軸方向）に往復移動、
サドル７を前後方向（Ｚ軸方向）に移動しながらワ−ク
を研削する。
置の回転軸１０にフランジを用いて具備される。テ−ブ
ル４上の電磁チャック６に固定されたワ−ク２の表面に
冷風をノズルより吹き付けながら回転する砥石３を下降
させ、テ−ブル４を左右方向（Ｘ軸方向）に往復移動、
サドル７を前後方向（Ｚ軸方向）に移動しながらワ−ク
を研削する。
【００１７】実施例１ 図３に示す研削装置の長さ６００ｍｍ、幅３００ｍｍ、
高さ５０ｍｍの電磁チャック上に、図１に示す２枚のス
テンレス製遮蔽板を取り付け（幅３００ｍｍ、高さ４５
ｍｍ、厚み５ｍｍの板を垂直に、幅１００ｍｍ、長さ３
００ｍｍ、厚み５ｍｍの板を水平に取り付け）、円柱二
段重ねのワ−ク（上の円柱は直径２０ｍｍ、高さ２０ｍ
ｍ、下の円柱は直径５０ｍｍ、高さ２０ｍｍ：ワ−ク高
さは４０ｍｍ、材質 ＳＫ−３）を次の条件でバイアス
研削した。研削は、８時間連続して行った。チャックの
最大オ−バ−ラ−ンの距離は３６ｍｍであった。なお、
研削装置のコラム、テ−ブル、サドル、砥石軸頭には、
研削装置が据え付けられている２５℃の室温に対し、２
℃以内の振れ幅の温度に保たれるよう潤滑油を供給・循
環させた。
高さ５０ｍｍの電磁チャック上に、図１に示す２枚のス
テンレス製遮蔽板を取り付け（幅３００ｍｍ、高さ４５
ｍｍ、厚み５ｍｍの板を垂直に、幅１００ｍｍ、長さ３
００ｍｍ、厚み５ｍｍの板を水平に取り付け）、円柱二
段重ねのワ−ク（上の円柱は直径２０ｍｍ、高さ２０ｍ
ｍ、下の円柱は直径５０ｍｍ、高さ２０ｍｍ：ワ−ク高
さは４０ｍｍ、材質 ＳＫ−３）を次の条件でバイアス
研削した。研削は、８時間連続して行った。チャックの
最大オ−バ−ラ−ンの距離は３６ｍｍであった。なお、
研削装置のコラム、テ−ブル、サドル、砥石軸頭には、
研削装置が据え付けられている２５℃の室温に対し、２
℃以内の振れ幅の温度に保たれるよう潤滑油を供給・循
環させた。
【００１８】 加工条件： 使用砥石 ： ＰＡ／ＷＡ６０Ｈ１２Ｖ 砥石寸法 ： 直径３３２ｍｍ、厚み３８ｍｍ、内径１２７ｍｍ 砥石回転数 ： １５００ｍｍ／分 テ−ブル速度： ２２ｍ／分 前後送り速度： ３２０ｍｍ／分 総切込量 ： １０μｍ 切込量 ： ２μｍ Ｘ ５回 スパ−クアウト： ２回 −３０℃の冷風 ： １ｍ3／時間（植物性潤滑油を３．９ｃｃ／時間含有）
【００１９】ドレス条件 ： 砥石回転数 ： １５００／分 切込量 ： ０．０２ｍｍ 送り速度 ： ３００ｍｍ／分
【００２０】各１時間目毎のワ−ク中央（Ｎｏ．５）の
表面温度およびチャックの中央温度を測定したところ、
いずれも２４．３〜２５．１℃間にあり、振れ幅は小さ
かった。また、各１時間目毎のワ−クの高さを測定し、
Ｎｏ．１のワ−クの高さに対する各Ｎｏ．２〜Ｎｏ．９
のワ−クの高さの差を測定した結果は、表１に示すよう
であり、最大バラツキ幅は２μｍであった。
表面温度およびチャックの中央温度を測定したところ、
いずれも２４．３〜２５．１℃間にあり、振れ幅は小さ
かった。また、各１時間目毎のワ−クの高さを測定し、
Ｎｏ．１のワ−クの高さに対する各Ｎｏ．２〜Ｎｏ．９
のワ−クの高さの差を測定した結果は、表１に示すよう
であり、最大バラツキ幅は２μｍであった。
【００２１】比較例１ 実施例１において、チャックに２枚のステンレス製遮蔽
板を取り付けない外は同様にしてワ−クの研削加工を行
った。各１時間目毎のワ−ク中央（Ｎｏ．５）の表面温
度およびチャックの中央温度を測定したところ、いずれ
も２０．０〜２１．５℃間にあり、振れ幅は小さかっ
た。また、各１時間目毎のワ−クの高さを測定し、Ｎ
ｏ．１のワ−クの高さに対する各Ｎｏ．２〜Ｎｏ．９の
ワ−クの高さの差を測定した結果は、表２に示すようで
あり、最大バラツキ幅は５μｍであった。
板を取り付けない外は同様にしてワ−クの研削加工を行
った。各１時間目毎のワ−ク中央（Ｎｏ．５）の表面温
度およびチャックの中央温度を測定したところ、いずれ
も２０．０〜２１．５℃間にあり、振れ幅は小さかっ
た。また、各１時間目毎のワ−クの高さを測定し、Ｎ
ｏ．１のワ−クの高さに対する各Ｎｏ．２〜Ｎｏ．９の
ワ−クの高さの差を測定した結果は、表２に示すようで
あり、最大バラツキ幅は５μｍであった。
【００２２】
【表１】 （単位 μｍ）
【００２３】
【表２】 （単位 μｍ）
【００２４】
【発明の効果】本発明のチャックに冷風遮蔽体を取り付
けた研削装置は、テ−ブルがオ−バ−ラ−ンした際の冷
風によるワ−ク、チャックの過冷却が防止され、寸法精
度の良好な加工製品を得ることができる。
けた研削装置は、テ−ブルがオ−バ−ラ−ンした際の冷
風によるワ−ク、チャックの過冷却が防止され、寸法精
度の良好な加工製品を得ることができる。
【図１】 研削装置の砥石頭と、冷風ノズルと、チャ
ック、冷風遮蔽体、テ−ブルおよび複数のワ−クの位置
関係を示す斜視図である。
ック、冷風遮蔽体、テ−ブルおよび複数のワ−クの位置
関係を示す斜視図である。
【図２】 別の態様を示す冷風遮蔽体とチャックの位
置関係を示す斜視図である。本発明の組み合わせ砥石の
一部を切り欠いた斜視図である。
置関係を示す斜視図である。本発明の組み合わせ砥石の
一部を切り欠いた斜視図である。
【図３】 研削装置の斜視図である。
【図４】 研削装置の正面図である。
１ 平面研削装置 ２ ワ−ク ３ 砥石 ４ テ−ブル ６ 電磁チャック ７ サドル １０ 砥石軸頭 ６０ 冷風遮蔽体
Claims (3)
- 【請求項１】 左右方向に往復移動可能なテ−ブル上の
チャックに固定されたワ−クにワ−ク上方に設けられた
ノズルより冷風を吹き付けつつ回転する砥石でワ−ク表
面を研削する研削装置であって、前記チャックのノズル
の冷風吹き出し方向の左側とは逆のチャック右端側に冷
風遮蔽体を設けたことを特徴とする研削装置。 - 【請求項２】 冷風遮蔽体は、ワ−クの高さと略同等の
高さを有し、かつ、テ−ブルが左方向の移動から右方向
の移動に反転する際にテ−ブルが左方向にオ−バ−ラ−
ンしてチャック右端がノズルの冷風吹き出し口の真下か
ら離れる長さ以上の幅を有する冷風遮蔽体であることを
特徴とする、請求項１に記載の研削装置。 - 【請求項３】 冷風遮蔽体は、ワ−クの高さと略同等の
高さを有する板をチャック右端に垂直に起立させたもの
と、テ−ブルが左方向の移動から右方向の移動に反転す
る際にテ−ブルが左方向にオ−バ−ラ−ンしてチャック
右端がノズルの冷風吹き出し口真下から離れる長さ以上
の幅を有する板をチャック右端に水平方向設けたもので
あることを特徴とする、請求項２に記載の研削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24064699A JP2001062685A (ja) | 1999-08-27 | 1999-08-27 | 研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24064699A JP2001062685A (ja) | 1999-08-27 | 1999-08-27 | 研削装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001062685A true JP2001062685A (ja) | 2001-03-13 |
Family
ID=17062601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24064699A Pending JP2001062685A (ja) | 1999-08-27 | 1999-08-27 | 研削装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001062685A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003053662A (ja) * | 2001-08-17 | 2003-02-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工歪除去装置 |
| JP2004025358A (ja) * | 2002-06-25 | 2004-01-29 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | ガラス基板の研削装置 |
| JP2011177842A (ja) * | 2010-03-02 | 2011-09-15 | Ebara Corp | 研磨装置及び研磨方法 |
-
1999
- 1999-08-27 JP JP24064699A patent/JP2001062685A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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