JP2001057317A - Method for manufacturing laminated ceramic capacitor - Google Patents

Method for manufacturing laminated ceramic capacitor

Info

Publication number
JP2001057317A
JP2001057317A JP11231101A JP23110199A JP2001057317A JP 2001057317 A JP2001057317 A JP 2001057317A JP 11231101 A JP11231101 A JP 11231101A JP 23110199 A JP23110199 A JP 23110199A JP 2001057317 A JP2001057317 A JP 2001057317A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
green
laminated
internal electrode
block
sheets
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11231101A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takeki Kamata
雄樹 鎌田
Osamu Yamashita
修 山下
Kazumasa Konishi
一誠 小西
Kazuhiro Komatsu
和博 小松
Yoshihiro Yamaguchi
義浩 山口
Satoru Oikawa
悟 及川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP11231101A priority Critical patent/JP2001057317A/en
Publication of JP2001057317A publication Critical patent/JP2001057317A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method for a laminated ceramic capacitor, which is excellent in productivity and is good in the yield of the manufacture of the capacitor. SOLUTION: The manufacturing method of a laminated ceramic capacitor comprises a first process wherein ceramic green sheets 2 and internal electrodes 1 are thermocompression-bonded to each other in a number fewer than a prescribed number, respectively, to form a laminate green block A; a second process wherein sheets 3 for dissolving the steps in the electrodes 1 of a pattern reverse to that of the electrodes 1 are thermocompression-bonded to the non-formation parts of the electrodes 1 on the surface of the block A, and laminate green blocks B7 with the flat surfaces are formed; a third process wherein a plurality of the fellow blocks B7 are laminated to form a laminate green block C8 laminated with the blocks B7, so that the number of lamination of the sheets 3 becomes equal with the numbers of lamination of the sheets 2 and the electrodes 1; and a four process to form invalid layers 9 on both surfaces of the block 8. Here, the thermocompression-bonding in the laminations in the first, second and third processes is performed in a time shorter than two seconds.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は積層セラミックコン
デンサの製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor.

【0002】[0002]

【従来の技術】昨今の積層セラミックコンデンサは電子
機器の小型化に伴い、小型、大容量のものが望まれてお
り、セラミックグリーンシートと内部電極の多積層化が
進んでいる。
2. Description of the Related Art With the recent miniaturization of electronic devices, multilayer ceramic capacitors are desired to have a small size and a large capacity, and the number of stacked ceramic green sheets and internal electrodes is increasing.

【0003】しかしながらセラミックグリーンシートと
内部電極の多積層に伴い、作製した積層体グリーンブロ
ックは内部電極部分と非形成部との厚み段差が大きくな
る。この厚み段差のため積層体グリーンブロック内のセ
ラミックグリーンシートどうしの密着性が低下し内部構
造欠陥(デラミネーション)等が発生し易くなるという
問題があった。これを防止するために、通常はセラミッ
クグリーンシートと内部電極との積層加熱圧着時間を長
く、加圧力を高くし厚み段差の影響を極力受けにくくす
るように工程条件を定めている。
However, with the multi-layering of the ceramic green sheets and the internal electrodes, the thickness difference between the internal electrode portion and the non-formed portion of the manufactured laminated green block increases. Due to this thickness step, there is a problem that the adhesion between the ceramic green sheets in the laminated green block is reduced, and internal structural defects (delamination) and the like are likely to occur. In order to prevent this, usually, the process conditions are set so that the laminating heat-pressing time of the ceramic green sheet and the internal electrode is long, the pressing force is increased, and the influence of the thickness step is minimized.

【0004】以下に従来の積層セラミックコンデンサの
製造方法について図3を用いて説明する。
Hereinafter, a conventional method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor will be described with reference to FIG.

【0005】先ず、主成分のチタン酸バリウム原料粉末
に有機バインダー等を加えて混練しセラミックスラリー
を作製する。
[0005] First, an organic binder or the like is added to a barium titanate raw material powder as a main component and kneaded to prepare a ceramic slurry.

【0006】次に、セラミックスラリーをドクターブレ
ード法を用いキャリアフィルム上に塗布後、乾燥しセラ
ミックグリーンシート2を作製する。
Next, the ceramic slurry is applied onto a carrier film by a doctor blade method, and then dried to produce a ceramic green sheet 2.

【0007】次いで、セラミックグリーンシート2面に
パラジウム等の金属粉末を主成分とする電極ペーストを
印刷、乾燥し所定形状の内部電極1を形成する。
Next, an electrode paste mainly composed of a metal powder such as palladium is printed on the surface of the ceramic green sheet 2 and dried to form an internal electrode 1 having a predetermined shape.

【0008】その後、内部電極1を形成したセラミック
グリーンシート2を所定枚数繰り返し積層した後、セラ
ミックグリーンシート2を所定枚数積層した無効層9を
その両面に積層し積層体グリーンブロックを作製する。
尚、通常の積層条件は、圧着時間を3から10秒、加圧
力を20から500kgf/cm2で行っている。また必要に
応じ、積層体グリーンブロック内に発生する内部電極部
分と非形成部との厚み段差を解消する逆パターンの内部
電極段差解消用シート3を積層することも提案されてい
る。
After that, a predetermined number of the ceramic green sheets 2 on which the internal electrodes 1 are formed are repeatedly laminated, and an ineffective layer 9 in which a predetermined number of the ceramic green sheets 2 are laminated is laminated on both surfaces thereof to produce a laminated green block.
The normal laminating conditions are as follows: a pressing time of 3 to 10 seconds and a pressing force of 20 to 500 kgf / cm 2 . It has also been proposed to stack the internal electrode step eliminating sheet 3 having a reverse pattern for eliminating the thickness step between the internal electrode portion and the non-formed portion generated in the laminate green block, if necessary.

【0009】次に、積層体グリーンブロックを所定のグ
リーンチップ(図示せず)形状に切断した後、これを所
定の温度、雰囲気で脱脂、焼成を行い積層セラミックコ
ンデンサの焼結体を作製する。尚、グリーンチップは相
対向する両端面に、内部電極1の一方の端部がセラミッ
クグリーンシート2を挟んで一層おきに交互に異なる端
面に露出した構造となっている。
Next, after cutting the laminated green block into a predetermined green chip (not shown), the green block is degreased and fired at a predetermined temperature and atmosphere to produce a sintered body of a laminated ceramic capacitor. Note that the green chip has a structure in which one end of the internal electrode 1 is alternately exposed at different end faces every other layer with the ceramic green sheet 2 interposed therebetween at opposite end faces.

【0010】次いで、焼結体の面取りを行った後、内部
電極1の端部が露出した両端面に外部電極(図示せず)
を形成して積層セラミックコンデンサを完成させる。
Next, after chamfering the sintered body, external electrodes (not shown) are provided on both end surfaces where the ends of the internal electrode 1 are exposed.
To complete a multilayer ceramic capacitor.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】前記従来の製造方法で
は、内部電極1を形成したセラミックグリーンシート2
の積層数の増加に加え、逆パターンの内部電極段差解消
用シート3の積層のため、積層体グリーンブロック全体
の作業時間が長くなり生産性が低下するという問題と、
圧着時間を長く、加圧力を高くすることにより、繰り返
しの加熱圧着で下層側のセラミックグリーンシート2と
内部電極1が平面方向に伸び、グリーンチップ形状に切
断した際に切断ずれ不良が発生し易く歩留まりが低下す
るという問題もあった。
In the conventional manufacturing method, the ceramic green sheet 2 on which the internal electrode 1 is formed is provided.
In addition to the increase in the number of stacked layers, the stacking of the internal electrode step eliminating sheet 3 in the reverse pattern causes a problem that the working time of the entire stacked green block is increased and the productivity is reduced.
By increasing the pressing time and increasing the pressing force, the lower ceramic green sheet 2 and the internal electrode 1 extend in the planar direction by repeated heating and pressing, and a cutting misalignment easily occurs when cut into a green chip shape. There was also a problem that the yield was reduced.

【0012】本発明は従来の問題点を解決するもので、
積層体グリーンブロック全体の積層時間を短くし積層セ
ラミックコンデンサの生産性と、歩留まりを向上するこ
とのできる積層セラミックコンデンサの製造方法を提供
することを目的とするものである。
The present invention solves the conventional problems.
It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor capable of shortening the stacking time of the entire multilayer green block and improving the productivity and the yield of the multilayer ceramic capacitor.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明は、セラミックグリーンシートと内部電極を交
互に所定枚数加熱圧着して積層体グリーンブロックを作
製する工程がセラミックグリーンシートと内部電極をそ
れぞれ所定数より少ない枚数加熱圧着して積層体グリー
ンブロックAを作製する第一工程と、次に前記内部電極
と逆パターンの内部電極段差解消用シートを前記第一工
程で作製した積層体グリーンブロックAの表面の内部電
極の非形成部に加熱圧着し表面が平坦な積層体グリーン
ブロックBを作製する第二工程と、次いで第二工程で作
製した積層体グリーンブロックBどうしを複数積層し、
最終的に必要とする層数のセラミックグリーンシートと
内部電極を積層した積層体グリーンブロックCを作製す
る第三工程と、第三工程で作製した積層体グリーンブロ
ックCの両面に無効層を形成する第四工程からなり、か
つ前記第一工程のセラミックグリーンシートと内部電極
の積層、第二工程の逆パターンの内部電極段差解消用シ
ートの積層、および第三工程の積層体グリーンブロック
Cどうしの積層圧着時間を2秒より短い時間で行うこと
により所期の目的を達成するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, according to the present invention, a ceramic green sheet and internal electrodes are formed by alternately heating and pressing a predetermined number of ceramic green sheets and internal electrodes to form a laminated green block. A green sheet A by heating and pressing less than a predetermined number of sheets, respectively, to produce a laminate green block A; A second step of heating and pressing the non-formed portion of the internal electrode on the surface of the block A to produce a laminated green block B having a flat surface, and then laminating a plurality of laminated green blocks B produced in the second step,
A third step of preparing a laminate green block C in which ceramic green sheets and internal electrodes of the required number of layers are laminated, and forming invalid layers on both surfaces of the laminate green block C produced in the third step. The fourth step, and the lamination of the ceramic green sheets and the internal electrodes in the first step, the lamination of the internal electrode step eliminating sheets in the reverse pattern of the second step, and the lamination of the laminate green blocks C in the third step The intended purpose is achieved by performing the crimping time in a time shorter than 2 seconds.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、セラミックグリーンシートと内部電極を交互に所定
数積層加熱圧着して積層体グリーンブロックを作製する
工程がセラミックグリーンシートと内部電極をそれぞれ
所定数より少ない枚数加熱圧着して積層体グリーンブロ
ックAを作製する第一工程と、次に前記内部電極と逆の
パターンの内部電極段差解消用シートを前記第一工程で
作製した積層体グリーンブロックAの表面の内部電極の
非形成部に加熱圧着し表面が平坦な積層体グリーンブロ
ックBを作製する第二工程と、次いで第二工程で作製し
た積層体グリーンブロックBどうしを複数積層し、最終
的に必要とするセラミックグリーンシートと内部電極の
層数を積層した積層体グリーンブロックCを作製する第
三工程と、第三工程で作製した積層体グリーンブロック
Cの両面に無効層を形成する第四工程からなり、かつ前
記第一工程のセラミックグリーンシートと内部電極の積
層、第二工程の逆パターンの内部電極段差解消用シート
の積層および第三工程の積層体グリーンブロックBどう
しの積層圧着時間を2秒より短い時間で行う積層セラミ
ックコンデンサの製造方法であり、第一工程で所定数よ
り少ない数のセラミックグリーンシートと内部電極を加
熱圧着し積層体グリーンブロックAを作製した後、積層
体グリーンブロックAの表面の内部電極の非形成部に逆
パターンの内部電極段差解消用シートを加熱圧着し、表
面が平坦な積層体グリーンブロックBを作製することに
より、第三工程で積層体グリーンブロックBどうしを加
熱圧着する際の加圧力及び熱を均等に加えることがで
き、このため加熱圧着時間を2秒より短い時間で密着さ
せることが可能となる。圧着時間を短くすることで積層
セラミックコンデンサ全体の作用時間が短くなり生産性
が向上する。また積層体グリーンブロックBどうしを積
層することで下層側のセラミックグリーンシート及び内
部電極は繰り返しの加熱、加圧を受ける回数が減り、こ
れに伴い平面方向への伸びが少なくなり、従ってグリー
ンチップに切断した際の切断ずれ不良の発生を防止する
ことができる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS According to the first aspect of the present invention, the step of forming a laminated green block by alternately laminating a predetermined number of ceramic green sheets and internal electrodes by heat and pressure is performed. A first step of preparing a laminate green block A by heat-pressing a number of sheets less than a predetermined number, respectively, and a laminate in which the internal electrode step eliminating sheet having the reverse pattern of the internal electrodes is prepared in the first step. A second step in which a laminate green block B having a flat surface is formed by applying heat and pressure to a portion of the surface of the green block A where an internal electrode is not formed, and then a plurality of laminate green blocks B produced in the second step are laminated. A third step of preparing a laminated green block C in which the number of ceramic green sheets and the number of internal electrodes that are finally required are laminated; A fourth step of forming an ineffective layer on both sides of the produced laminated body green block C, and lamination of the ceramic green sheet and the internal electrode in the first step, and a sheet for eliminating an internal electrode step in a reverse pattern of the second step. This is a method of manufacturing a laminated ceramic capacitor in which the lamination and pressure bonding between the laminated green blocks B in the lamination and the third step are performed in a time shorter than 2 seconds. In the first step, less than a predetermined number of ceramic green sheets and internal electrodes are reduced. After heat-pressing to produce a laminated green block A, a sheet for eliminating internal electrode steps having a reverse pattern is heat-pressed to a portion of the surface of the laminated green block A where no internal electrode is formed, and the laminated green block having a flat surface is formed. By producing B, the pressing force and heat when the laminate green blocks B are heated and pressed together in the third step are evenly distributed. Obtain it possible, Thus it is possible to adhere the heat pressing time is shorter than 2 seconds. By shortening the crimping time, the operation time of the entire multilayer ceramic capacitor is shortened, and the productivity is improved. Also, by laminating the laminate green blocks B, the number of times the lower ceramic green sheet and the internal electrode are subjected to repeated heating and pressurization is reduced, and accordingly, the elongation in the plane direction is reduced. It is possible to prevent the occurrence of cutting misalignment at the time of cutting.

【0015】本発明の請求項2に記載の発明は、第一工
程の内部電極の積層枚数を、一層のセラミックグリーン
シート面に形成した内部電極を加熱圧着した後の内部電
極と非形成部との厚み段差で第二工程で逆パターンの内
部電極段差解消用シートを加熱圧着した後の厚みを除し
た数値より小さい、最も近い整数枚だけ積層する請求項
1に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法であ
り、前記条件を満たす整数枚のセラミックグリーンシー
トと内部電極を交互に加熱圧着を繰り返し積層体グリー
ンブロックAを作製した後、積層体グリーンブロックA
に生じた内部電極と非形成部との厚み段差と、圧縮後の
厚さがほぼ等しくなる厚さの逆パターンの内部電極段差
解消用シートを加熱圧着することにより積層体グリーン
ブロックBの表面は平坦なものになる。即ち、予めセラ
ミックグリーンシート面に形成した内部電極を加熱圧着
することにより生じるセラミックグリーンシート一層ご
との厚み段差と、逆パターンの内部電極段差解消用シー
トを加熱圧着した後の厚さを調整することにより、第一
工程でセラミックグリーンシートと内部電極とを何層交
互に積層した後、逆パターンの内部電極段差解消用シー
トを加熱圧着すれば平坦な積層体グリーンブロックBが
作製できるかを的確に決定することが可能となり、この
ようにして作製した積層体グリーンブロックBどうしを
積層することにより、積層セラミックコンデンサ全体の
積層工程を合理化し生産性と、積層セラミックコンデン
サの歩留まりの向上を図ることができるものである。
According to a second aspect of the present invention, in the first step, the number of laminated internal electrodes is set such that the internal electrodes formed on the surface of one ceramic green sheet are heat-pressed and the internal electrodes and the non-formed portions 2. The method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to claim 1, wherein only the nearest integer number of sheets, which is smaller than a value obtained by dividing the thickness after heat-pressing the internal electrode step eliminating sheet of the reverse pattern in the second step at the thickness step, is obtained. After repeatedly forming the green block A by repeating the thermal compression bonding of the integer number of ceramic green sheets and the internal electrodes satisfying the above conditions, the green block A
The thickness difference between the internal electrode and the non-formed portion caused by the above, and the surface of the laminate green block B is heated and press-bonded to the internal electrode step eliminating sheet having a reverse pattern of a thickness in which the thickness after compression becomes substantially equal. It will be flat. That is, the thickness step of each ceramic green sheet caused by thermocompression bonding of the internal electrode formed on the ceramic green sheet surface in advance and the thickness after thermocompression bonding of the sheet for eliminating the internal electrode step difference of the reverse pattern are adjusted. It is possible to accurately determine how many layers of the ceramic green sheets and the internal electrodes are alternately laminated in the first step, and then a flat laminated green block B can be produced by heat-pressing the internal electrode step eliminating sheet having the reverse pattern. By stacking the green blocks B thus manufactured, the stacking process of the entire multilayer ceramic capacitor can be streamlined, and the productivity and the yield of the multilayer ceramic capacitor can be improved. You can do it.

【0016】本発明の請求項3に記載の発明は、加熱圧
着後の逆パターンの内部電極段差解消用シートの厚み
を、一層当たりの内部電極と非形成部との厚み段差の5
〜30倍とする請求項1または2に記載の積層セラミッ
クコンデンサの製造方法であり、加熱圧着後の逆パター
ンの内部電極段差解消用シートの厚みを、内部電極との
厚み段差の5〜30倍とすることにより、積層体グリー
ンブロックA内に生じる内部電極と非形成部との厚み段
差に起因するセラミックグリーンシートどうしの接着不
良の発生を抑制し、表面が平坦な積層体グリーンブロッ
クBを作製するためであり、また積層体グリーンブロッ
ク全体に対し逆パターンの内部電極段差解消用シートの
積層回数を可能な限り少なくするためでもある。この積
層体グリーンブロックBどうしを積層圧着する際に圧着
時間を短く、加圧力を低くしても積層体グリーンブロッ
クBどうしを確実に密着させることができるため、積層
セラミックコンデンサ全体の生産性と、歩留まりを向上
することが可能となる。尚、逆パターンの内部電極段差
解消用シートの厚さをセラミックグリーンシート一層当
たりの内部電極との厚み段差の5倍未満とすると、厚み
段差を解消する逆パターンの内部電極段差解消用シート
の積層回数が増加し生産性が低下する。一方、厚み段差
の30倍より厚くすると、積層体グリーンブロックAを
作製する際に、厚み段差が大きくなりセラミックグリー
ンシートどうしの接着不良が発生し易くなる。
According to a third aspect of the present invention, the thickness of the internal electrode step eliminating sheet having the reverse pattern after the thermocompression bonding is set to 5 times the thickness step between the internal electrode and the non-formed portion.
The method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to claim 1 or 2, wherein the thickness of the sheet for eliminating the internal electrode step in the reverse pattern after thermocompression bonding is 5 to 30 times the thickness step with the internal electrode. By doing so, the occurrence of poor adhesion between the ceramic green sheets due to the thickness difference between the internal electrode and the non-formed portion generated in the laminate green block A is suppressed, and the laminate green block B having a flat surface is produced. This is also for minimizing the number of laminations of the internal electrode step eliminating sheet having the reverse pattern with respect to the entire laminated green block. When the laminated green blocks B are laminated and pressure-bonded to each other, the pressing time is short, and even when the pressing force is reduced, the laminated green blocks B can be securely adhered to each other. The yield can be improved. If the thickness of the reverse pattern internal electrode step eliminating sheet is less than 5 times the thickness step of the internal electrode per ceramic green sheet, the reverse pattern internal electrode step eliminating sheet that eliminates the thickness step is laminated. The frequency increases and the productivity decreases. On the other hand, when the thickness is more than 30 times the thickness step, the thickness step becomes large when the laminated green block A is manufactured, and the adhesion failure between the ceramic green sheets is likely to occur.

【0017】本発明の請求項4に記載の発明は、セラミ
ックグリーンシートと内部電極の積層、逆パターンの内
部電極段差解消用シートの積層及び積層体グリーンブロ
ックBどうしの積層を20〜100kgf/cm2の加圧力で
行う請求項1から請求項3のいずれか1つに記載の積層
セラミックコンデンサの製造方法であり、それぞれを圧
着する際の加圧力を20〜100kgf/cm2とすること
で、100kgf/cm2以上の高い加圧力を加えた場合に比
較し、加熱圧着装置の加圧時間を短く設定することがで
きると共に、セラミックグリーンシート、内部電極の平
面方向へ伸びを抑制し、グリーンチップに切断した際の
切断ずれ不良の発生を防止することができる。
According to a fourth aspect of the present invention, the lamination of the ceramic green sheets and the internal electrodes, the lamination of the sheet for eliminating the internal electrode steps having the reverse pattern, and the lamination of the laminated green blocks B are performed at 20 to 100 kgf / cm. The method for producing a multilayer ceramic capacitor according to any one of claims 1 to 3, wherein the pressure is set to 20 to 100 kgf / cm 2 by applying a pressure of 20 to 100 kgf / cm 2 . Compared to the case where a high pressing force of 100 kgf / cm 2 or more is applied, the pressing time of the thermocompression bonding device can be set shorter, and the expansion of the ceramic green sheets and internal electrodes in the plane direction is suppressed, and the green chip is formed. It is possible to prevent the occurrence of a cutting misalignment when cutting into pieces.

【0018】以下、本発明の一実施の形態について図1
〜図3を用いて説明する。
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention.
This will be described with reference to FIG.

【0019】図1はセラミックグリーンシートに内部電
極を加熱圧着した状態を示す断面図、図2は逆パターン
の内部電極段差解消用シートの断面図、図3は積層体グ
リーンブロックの断面図である。図において、2はセラ
ミックグリーンシート、1は内部電極、3は逆パターン
の内部電極段差解消用シート、5は台座、6は厚み段
差、7は積層体グリーンブロックB、8は積層体グリー
ンブロックC、9は無効層を示す。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a state in which an internal electrode is heat-pressed on a ceramic green sheet, FIG. 2 is a cross-sectional view of a sheet for eliminating a step of an internal electrode having an inverted pattern, and FIG. 3 is a cross-sectional view of a laminated green block. . In the figure, 2 is a ceramic green sheet, 1 is an internal electrode, 3 is a sheet for eliminating a step of an internal electrode in an inverse pattern, 5 is a pedestal, 6 is a thickness step, 7 is a laminated green block B, 8 is a laminated green block C , 9 indicate an invalid layer.

【0020】先ず、チタン酸バリウムを主成分とする誘
電体粉末、有機バインダ、可塑剤、及び有機溶剤をそれ
ぞれ所定量、秤量、混練しセラミックスラリーを作製す
る。次に、ドクターブレード法を用いてセラミックスラ
リーをキャリアフィルム上に塗布後、乾燥して厚さ10
μmのセラミックグリーンシート2を作製する。次い
で、セラミックグリーンシート2面にニッケル金属粉末
を主成分とする電極ペーストを所定形状の印刷パターン
を用いて印刷後、乾燥し厚さ20μmの内部電極1を形
成したセラミックグリーンシート2を作製する。これと
は別に、前記セラミックスラリーを内部電極1とは逆パ
ターンの印刷マスクを用いキャリアフィルム面に印刷、
乾燥し(表1)に示す逆パターンの内部電極段差解消用
シート3の作製と、セラミックグリーンシート2を所定
枚数加熱圧着し無効層9を作製する。
First, a dielectric slurry containing barium titanate as a main component, an organic binder, a plasticizer, and an organic solvent are respectively weighed, weighed, and kneaded to prepare a ceramic slurry. Next, a ceramic slurry was applied on the carrier film by using a doctor blade method, and then dried to a thickness of 10 mm.
A ceramic green sheet 2 of μm is prepared. Next, an electrode paste mainly composed of nickel metal powder is printed on the surface of the ceramic green sheet 2 using a printing pattern of a predetermined shape, and then dried to form a ceramic green sheet 2 having the internal electrode 1 having a thickness of 20 μm. Separately, the ceramic slurry is printed on a carrier film surface using a printing mask having a pattern opposite to that of the internal electrode 1,
After drying, a sheet 3 for eliminating internal electrode steps having the reverse pattern shown in Table 1 and a predetermined number of ceramic green sheets 2 are heat-pressed to form an ineffective layer 9.

【0021】[0021]

【表1】 [Table 1]

【0022】その後、内部電極1を形成したセラミック
グリーンシート2及び逆パターンの内部電極段差解消用
シート3それぞれを、予め温度100℃、加圧力20〜
120kgf/cm2、加圧時間0.5〜2.0秒で加熱圧着
し、圧着後の内部電極1部との厚み段差6と、逆パター
ンの内部電極段差解消用シート3の厚さを測定し、その
結果を(表1)に示した。この測定結果に基づき、第一
工程のセラミックグリーンシート2と内部電極1との積
層数をそれぞれ決定し、その結果を(表1)に併せて示
した。
Thereafter, each of the ceramic green sheet 2 on which the internal electrode 1 is formed and the internal electrode step eliminating sheet 3 having the reverse pattern are preliminarily heated to a temperature of 100 ° C. and a pressure of 20 to 200 ° C.
Thermocompression bonding is performed at 120 kgf / cm 2 for 0.5 to 2.0 seconds under a pressurization time, and the thickness step 6 with respect to one part of the internal electrode after the pressure bonding and the thickness of the sheet 3 for eliminating the internal electrode step in a reverse pattern are measured. The results are shown in (Table 1). Based on the measurement results, the number of laminations of the ceramic green sheet 2 and the internal electrode 1 in the first step was determined, respectively, and the results are shown together in (Table 1).

【0023】次に、内部電極1を形成した一層目のセラ
ミックグリーンシート2面に、二層目の内部電極1を形
成したセラミックグリーンシート2を内部電極1の長手
方向に所定寸法ずらして重ね、温度100℃、加圧力2
0〜120kgf/cm2、加圧時間0.5〜2.0秒で加熱
圧着を行う。続いて三層目の内部電極1を形成したセラ
ミックグリーンシート2を内部電極1が、一層目の内部
電極1の真上に重なるようにして重ね同条件で加熱圧着
を行う。このようにして内部電極1を形成したセラミッ
クグリーンシート2を一層おき交互に内部電極1の長手
方向に前後させ、(表1)に示すセラミックグリーンシ
ート2と内部電極1の積層数になるように積層加熱圧着
を繰り返し積層体グリーンブロックAを作製する。
Next, the ceramic green sheet 2 on which the second-layer internal electrode 1 is formed is superimposed on the surface of the first-layer ceramic green sheet 2 on which the internal electrode 1 is formed with a predetermined size shifted in the longitudinal direction of the internal electrode 1. Temperature 100 ° C, pressure 2
The thermocompression bonding is performed at 0 to 120 kgf / cm 2 for 0.5 to 2.0 seconds. Subsequently, the ceramic green sheet 2 on which the third-layer internal electrode 1 is formed is stacked so that the internal electrode 1 is directly over the first-layer internal electrode 1, and heat-pressed under the same conditions. The ceramic green sheets 2 on which the internal electrodes 1 are formed in this manner are alternately moved back and forth in the longitudinal direction of the internal electrodes 1 so that the number of laminated ceramic green sheets 2 and the internal electrodes 1 is as shown in Table 1 below. The laminate green block A is prepared by repeating the lamination heat compression.

【0024】次いで、積層体グリーンブロックAの表面
の内部電極1の非形成部に逆パターンの内部電極段差解
消用シート3を重ねて前記条件で積層加熱圧着を行い、
表面が平坦な積層体グリーンブロックB7を作製する。
Then, a sheet 3 for eliminating the internal electrode step in a reverse pattern is placed on the non-formed portion of the internal electrode 1 on the surface of the laminate green block A, and the laminate is heated and pressed under the above conditions.
A laminate green block B7 having a flat surface is manufactured.

【0025】その後、積層体グリーンブロックB7どう
しを複数積層加熱圧着を繰り返し内部電極1の積層数が
120層となるまで積層し積層体グリーンブロックC8
を作製する。
Thereafter, a plurality of laminated green blocks B7 are repeatedly laminated and heated and pressed together until the number of laminated internal electrodes 1 reaches 120, and a laminated green block C8 is formed.
Is prepared.

【0026】次に、積層体グリーンブロックC8の両面
に無効層9を重ね同条件で積層加熱圧着を行い積層体グ
リーンブロックを作製する。
Next, the ineffective layer 9 is superimposed on both surfaces of the laminated green block C8, and the laminate is heated and pressed under the same conditions to produce a laminated green block.

【0027】次いで、積層体グリーンブロックを所定の
グリーンチップ形状に切断を行った後、所定の温度、雰
囲気で脱脂、焼成を行い積層セラミックコンデンサの焼
結体を作製する。尚、グリーンチップは、相対向する両
端面に内部電極1の一方の端部がセラミックグリーンシ
ート2を挟んで一層おき交互に異なる端面に露出した構
造となっている。
Next, after cutting the laminated green block into a predetermined green chip shape, the laminated green block is degreased and fired at a predetermined temperature and atmosphere to produce a sintered body of a laminated ceramic capacitor. The green chip has a structure in which one end of the internal electrode 1 is alternately exposed at different end faces on both sides facing each other with the ceramic green sheet 2 interposed therebetween.

【0028】その後、焼結体の面取りを行った後、内部
電極1の端部が露出した両端面に外部電極を形成し、長
さ3.2mm、幅1.6mmの積層セラミックコンデンサを
完成させた。
Then, after chamfering the sintered body, external electrodes are formed on both end surfaces where the ends of the internal electrode 1 are exposed, and a multilayer ceramic capacitor having a length of 3.2 mm and a width of 1.6 mm is completed. Was.

【0029】本実施の形態1により得られたグリーンチ
ップ及び従来方法で作製したグリーンチップの切断ずれ
不良率と、従来の積層セラミックコンデンサの積層体グ
リーンブロックを作製するのに要した時間を100とし
たときの、本発明の積層体グリーンブロックそれぞれの
作製時間比率を(表1)に示した。
It is assumed that the percentage of defective cutting displacement of the green chip obtained by the first embodiment and the green chip manufactured by the conventional method and the time required for manufacturing the multilayer green block of the conventional multilayer ceramic capacitor are 100. Table 1 shows the production time ratio of each of the green blocks of the laminated body according to the present invention.

【0030】(表1)に示すように、内部電極1の積層
数が5〜30層積層した積層体グリーンブロックAを用
いて作製したグリーンチップは、従来方法と比較して切
断ずれ不良率が極めて少なくなっていることが分かる。
従来方法は下層側のセラミックグリーンシート2及び内
部電極1が120回の繰り返し積層加熱圧着で平面方向
に伸び、その結果切断不良が発生したものと思われる。
しかしながら本発明においても加圧時間が2秒になると
切断不良が発生する傾向が見られる。このため加圧時間
は2秒より短い時間に制御する必要があることが明らか
となる。また、積層体グリーンブロックの作製時間も従
来方法に比較してほぼ半減されることが分かる。尚、本
実施の形態において、内部電極1をセラミックグリーン
シート2面に印刷形成したが、予め、キャリアフィルム
面に内部電極1を印刷形成し、これをセラミックグリー
ンシート2面に熱転写する方法を用いても同様な効果が
ある。また、セラミックグリーンシート2の厚みを20
μmのものを用い、積層体グリーンブロックの内部電極
1を120層としたがこれに制約されるものではない。
As shown in (Table 1), the green chip manufactured by using the green block A in which the number of the internal electrodes 1 is 5 to 30 is lower than that of the conventional method. It can be seen that it is extremely low.
In the conventional method, it is considered that the lower ceramic green sheet 2 and the internal electrode 1 extend in the plane direction by repeated lamination and heating and pressing 120 times, and as a result, a cutting failure is considered to have occurred.
However, also in the present invention, when the pressurization time is 2 seconds, a cutting failure tends to occur. Therefore, it is clear that the pressurization time needs to be controlled to a time shorter than 2 seconds. In addition, it can be seen that the production time of the laminated green block is reduced to almost half as compared with the conventional method. In the present embodiment, the internal electrode 1 is formed by printing on the surface of the ceramic green sheet 2. However, a method is used in which the internal electrode 1 is formed by printing on the surface of the carrier film in advance and thermally transferred to the surface of the ceramic green sheet 2. This has the same effect. In addition, the thickness of the ceramic green sheet 2 is set to 20.
μm, and the internal electrodes 1 of the laminated green block are 120 layers, but the present invention is not limited to this.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上、本発明の積層セラミックコンデン
サの製造方法は、セラミックグリーンシートと内部電極
を交互に所定枚数積層加熱圧着して積層体グリーンブロ
ックを作製する工程を、先ずセラミックグリーンシート
と内部電極それぞれ所定数よりも少ない数を交互に加熱
圧着して積層体グリーンブロックAを作製する第一工程
と、前記内部電極と逆のパターンの内部電極段差解消用
シートを前記第一工程で作製した積層体グリーンブロッ
クAの表面の内部電極の非形成部に加熱圧着し表面が平
坦な積層体グリーンブロックBを作製する第二工程と、
第二工程で作製した積層体グリーンブロックBどうし
を、最終的に必要とするセラミックグリーンシートと、
内部電極の層数になるまで積層を繰り返し積層体グリー
ンブロックCを作製する第三工程と、積層体グリーンブ
ロックCの両面に無効層を積層する第四工程で構成し、
かつそれぞれの積層時間を2秒より短い時間で行うこと
により、積層体グリーンブロック全体の積層時間が短く
なり、積層セラミックコンデンサの生産性と、歩留まり
を向上することが可能となる。
As described above, the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to the present invention comprises the steps of alternately laminating a predetermined number of ceramic green sheets and internal electrodes by heat and pressure to produce a laminated green block. The first step of alternately heat-pressing a smaller number of electrodes than a predetermined number to produce a laminate green block A, and the internal electrode step eliminating sheet having a pattern opposite to that of the internal electrodes was produced in the first step. A second step of heat-pressing the surface of the laminate green block A on the non-formed portion of the internal electrode to produce a laminate green block B having a flat surface;
A ceramic green sheet that finally needs the laminated body green blocks B produced in the second step,
A third step of repeating the lamination until the number of layers of the internal electrode to produce a laminated green block C, and a fourth step of laminating an ineffective layer on both surfaces of the laminated green block C,
In addition, by performing each lamination time in less than 2 seconds, the lamination time of the entire laminated green block is shortened, and the productivity and yield of the laminated ceramic capacitor can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のセラミックグリーンシートに内部電極
を加熱圧着した状態を示す断面図
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a state in which an internal electrode is heated and pressed on a ceramic green sheet of the present invention.

【図2】同逆パターンの内部電極段差解消用シートの断
面図
FIG. 2 is a cross-sectional view of an internal electrode step eliminating sheet having the same reverse pattern.

【図3】積層体グリーンブロックの断面図FIG. 3 is a cross-sectional view of a laminated green block.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 内部電極 2 セラミックグリーンシート 3 逆パターンの内部電極段差解消用シート 5 台座 6 セラミックグリーンシート一層当たり厚み段差 7 積層体グリーンブロックB 8 積層体グリーンブロックC 9 無効層 REFERENCE SIGNS LIST 1 internal electrode 2 ceramic green sheet 3 sheet for eliminating internal electrode step in reverse pattern 5 pedestal 6 thickness step per one ceramic green sheet 7 laminated green block B 8 laminated green block C 9 invalid layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小西 一誠 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 小松 和博 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 山口 義浩 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 及川 悟 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 5E001 AB03 AD00 AD01 AG00 AH05 AJ01 AJ02 5E082 AA01 AB03 BC38 EE04 EE35 FG06 FG18 FG26 FG54 JJ03 JJ15 LL01 LL02 LL03 MM22 MM24 MM32 PP05 PP07 PP09 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Kazumasa Konishi 1006 Kadoma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Kazuhiro Komatsu 1006 Kadoma Kadoma Kadoma City, Osaka Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. ( 72) Inventor Yoshihiro Yamaguchi 1006 Kazuma Kadoma, Osaka Pref. Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Inventor Satoru Oikawa 1006 Odaka Kazuma Kadoma, Osaka Pref. Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. AG00 AH05 AJ01 AJ02 5E082 AA01 AB03 BC38 EE04 EE35 FG06 FG18 FG26 FG54 JJ03 JJ15 LL01 LL02 LL03 MM22 MM24 MM32 PP05 PP07 PP09

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 セラミックグリーンシートと内部電極と
を交互に所定数積層加熱圧着して積層体グリーンブロッ
クを作製する工程がセラミックグリーンシートと内部電
極とをそれぞれ所定数より少ない枚数加熱圧着して積層
体グリーンブロックAを作製する第一工程と、次に前記
内部電極と逆のパターンの内部電極段差解消用グリーン
シートを前記第一の工程で作製した積層体グリーンブロ
ックAの表面の内部電極の非形成部に加熱圧着し表面が
平坦な積層体グリーンブロックBを作製する第二工程
と、次いで第二工程で作製した積層体グリーンブロック
Bどうしを複数枚積層し、最終的に必要とするセラミッ
クグリーンシートと内部電極の積層数となるように積層
した積層体グリーンブロックCを作製する第三工程と、
第三工程で作製した積層体グリーンブロックCの両面に
無効層を形成する第四工程からなり、かつ第一工程のセ
ラミックグリーンシートと内部電極の積層、第二工程の
逆パターンの内部電極段差解消用シートの積層、および
第三工程の積層体グリーンブロックBどうしの積層加熱
圧着時間を2秒より短い時間で行う積層セラミックコン
デンサの製造方法。
1. A step of forming a laminated green block by alternately laminating a predetermined number of ceramic green sheets and internal electrodes by heat and pressure bonding to form a laminated green block by laminating a plurality of ceramic green sheets and internal electrodes by a number smaller than a predetermined number. A first step of producing a body green block A, and then forming a green sheet for eliminating an internal electrode step having a pattern opposite to that of the internal electrodes on the surface of the laminate green block A produced in the first step. A second step of producing a laminated green block B having a flat surface by heat-pressing the formed portion, and then laminating a plurality of laminated green blocks B produced in the second step, and finally forming a ceramic green A third step of producing a laminate green block C laminated to have the number of sheets and internal electrodes,
It consists of a fourth step of forming ineffective layers on both sides of the laminate green block C produced in the third step, and the lamination of the ceramic green sheets and the internal electrodes in the first step, and the internal electrode steps in the reverse pattern of the second step A method for manufacturing a laminated ceramic capacitor, comprising laminating sheets for use and laminating and pressing the laminated green blocks B in the third step in a time shorter than 2 seconds.
【請求項2】 第一工程の内部電極の積層枚数を、一層
のセラミックグリーンシート面に形成した内部電極を加
熱圧着した後の内部電極と非形成部との厚み段差で第二
工程での逆パターンの内部電極段差解消用シートを加熱
圧着した後の厚みを除した数値より小さく、最も近い整
数枚だけ積層する請求項1に記載の積層セラミックコン
デンサの製造方法。
2. The number of laminated internal electrodes in the first step is determined by the thickness difference between the internal electrodes formed on the surface of one ceramic green sheet and the non-formed part after the internal electrodes are heat-pressed, and the number of the internal electrodes is reduced in the second step. The method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to claim 1, wherein only the nearest integer number of sheets, which is smaller than a value obtained by dividing the thickness of the pattern after removing the internal electrode step by heating and pressing, is closest.
【請求項3】 加熱圧着後の逆パターンの内部電極段差
解消用シートの厚みを、セラミックグリーンシート一層
当たりの内部電極と非形成部との厚み段差の5〜30倍
とする請求項1または2に記載の積層セラミックコンデ
ンサの製造方法。
3. The thickness of the sheet for eliminating the internal electrode step in the reverse pattern after thermocompression bonding is 5 to 30 times the thickness step between the internal electrode per one ceramic green sheet and the non-formed portion. 3. The method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to item 1.
【請求項4】 セラミックグリーンシートと内部電極の
積層、逆パターンの内部電極段差解消用シートの積層、
及び積層体グリーンブロックBどうしの積層を20〜1
00kgf/cm2の加圧力で行う請求項1から請求項3のい
ずれか1つに記載の積層セラミックコンデンサの製造方
法。
4. Laminating a ceramic green sheet and an internal electrode, laminating a sheet for eliminating an internal electrode step in a reverse pattern,
And the stack of the green blocks B is 20 to 1
The method for producing a multilayer ceramic capacitor according to claim 1, wherein the method is performed at a pressure of 00 kgf / cm 2 .
JP11231101A 1999-08-18 1999-08-18 Method for manufacturing laminated ceramic capacitor Pending JP2001057317A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11231101A JP2001057317A (en) 1999-08-18 1999-08-18 Method for manufacturing laminated ceramic capacitor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11231101A JP2001057317A (en) 1999-08-18 1999-08-18 Method for manufacturing laminated ceramic capacitor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001057317A true JP2001057317A (en) 2001-02-27

Family

ID=16918326

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11231101A Pending JP2001057317A (en) 1999-08-18 1999-08-18 Method for manufacturing laminated ceramic capacitor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001057317A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010050390A (en) * 2008-08-25 2010-03-04 Murata Mfg Co Ltd Method for manufacturing stacked coil component

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010050390A (en) * 2008-08-25 2010-03-04 Murata Mfg Co Ltd Method for manufacturing stacked coil component

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3306814B2 (en) Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component
JP2004522323A (en) Manufacturing method and manufacturing apparatus for ceramic electronic components
JP2001044071A (en) Manufacture of ceramic electronic component
JP2001057317A (en) Method for manufacturing laminated ceramic capacitor
JP4696410B2 (en) Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component
JPH06283375A (en) Manufacture of layered electronic components
JP2004014668A (en) Manufacturing method of laminated ceramic electronic part
JPH11111560A (en) Production of ceramic electrical component
JP3925434B2 (en) Manufacturing method of ceramic electronic component
JP3521774B2 (en) Manufacturing method of multilayer ceramic capacitor
JPH05175072A (en) Manufacture of laminated ceramic capacitor
JPS6159653B2 (en)
JP2001023854A (en) Manufacture of multilayer ceramic capacitor
JP3538308B2 (en) Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component
JPH06333774A (en) Method for forming electrode of stacked porcelain capacitor and manufacture of stacked porcelain capacitor using the method
JP3094769B2 (en) Manufacturing method of multilayer ceramic capacitor
JPH05101969A (en) Manufacture of monolithic ceramic capacitor
JP3042463B2 (en) Manufacturing method of ceramic electronic components
JPH1126279A (en) Manufacture of laminated ceramic electronic parts
JP2001093773A (en) Method for manufacturing multilayer ceramic capacitor
JPH02138781A (en) Bimorph type piezoelectric element and manufacture thereof
JPH0391220A (en) Manufacture of laminated ceramic capacitor
JPH1126287A (en) Manufacture of multilayered ceramic electronic component
JPH07307240A (en) Manufacture of layered ceramic electronic component
JP2001110667A (en) Manufacture of ceramic electronic component

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20040616

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040629

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040824

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20041207

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20050620