JP2001052304A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

薄膜磁気ヘッド

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JP2001052304A
JP2001052304A JP11221809A JP22180999A JP2001052304A JP 2001052304 A JP2001052304 A JP 2001052304A JP 11221809 A JP11221809 A JP 11221809A JP 22180999 A JP22180999 A JP 22180999A JP 2001052304 A JP2001052304 A JP 2001052304A
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Japan
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thin
sliding surface
medium sliding
film
thin film
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JP11221809A
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English (en)
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Takashi Saito
貴 斉藤
Katsuya Kikuiri
勝也 菊入
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Alps Alpine Co Ltd
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Alps Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、狭トラック化に伴い、トラック幅
が小さくなって媒体摺動面の幅が小さくなった場合であ
っても、円環状に近い理想的な形のコイルを備えさせる
ことができ、コイル巻数を大きくでき易いとともに、記
録効率の良好な薄膜コイル部を備えることができ、製造
時の断線のおそれも生じ難い薄膜磁気ヘッドを提供する
ことを目的とする。 【解決手段】 本発明は、媒体摺動面6をコアブロック
2、3の一面に設け、媒体摺動面に磁極先端部18aを
位置させたヨーク部18を前記コアブロック内に設け、
前記磁極先端部に隣接させて媒体摺動面に磁気ギャップ
WGを形成し、前記ヨーク部の基端部側に薄膜コイル部
16を設け、薄膜コイル部を前記媒体摺動面に交差する
方向に位置する面に沿って環状に形成するとともに、前
記媒体摺動面の幅方向両側に前記媒体摺動面に隣接する
傾斜面7を形成してなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は媒体摺動面を備えた
コアブロックに薄膜コイル部を内蔵した構造を有し、狭
トラック化に対応可能な薄膜磁気ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】VTRなどの磁気ヘッドにあっては、記
録密度の向上と信号記録形態のデジタル化に伴い、トラ
ック幅を年々狭トラック化している状況にある。このよ
うな背景から、従来、フェライトあるいはセラミックか
らなるコア半体に軟磁気特性の優れた金属磁性薄膜を形
成した磁気コア半体を一対、絶縁膜を介して溶着ガラス
等の接合部材で一体化してなる構造のMIG(Metal In
Gap)型の磁気ヘッドが種々用いられてきた。更に近年
では、このMIG型の磁気ヘッドよりも更に狭トラック
化を目的として、薄膜コイルを備えた薄膜磁気ヘッドを
VTR用などの磁気ヘッドとして適用しようとする試み
がなされている。
【0003】図12はこの種の背景に基づいて本発明者
らが想定している薄膜磁気ヘッドの一構成例を示し、図
13はその要部断面構造を示すもので、この例の磁気ヘ
ッドAは、コア半体101、102を溶着ガラス部10
4、105で一体化するとともに、コア半体101、1
02の間に薄膜コイル部106とヨーク部107とから
なる薄膜ヘッド部108を介在させた構造とされてい
る。また、この例の磁気ヘッドAにあっては、コア半体
101、102の最上部に磁気テープに摺動される細長
い磁気媒体摺動面110が形成され、この磁気媒体摺動
面110をその幅方向両側から挟むように段部112、
113が形成されている。即ち、コア半体101、10
2の上部には、段部112、113で挟まれた形の突部
115が形成され、この突部115の上面が媒体摺動面
110とされている。この例の磁気ヘッドAにおいて突
部115を形成するのは、媒体摺動面110を凸曲面状
に加工して磁気テープとのテープタッチを良好とするた
めである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで図12と図1
3に示す従来の磁気ヘッドAにあっては、以下に説明す
る問題点を有していた。テープタッチを確保するために
図13に示すように突部115を設けた構造であると、
近年の磁気記録媒体の狭トラック化に伴い、突部115
を50〜100μm程度の幅に加工する必要を生じる
が、突部115の狭い幅の内側に薄膜コイル部106の
上端部を挿入して内蔵化することになるので、薄膜コイ
ル部106のコイル巻数を多くできない問題があった。
また、コイル巻数を増大するためにコイル幅を小さくす
ると、コイルの導体抵抗が大きくなり、発熱の問題を生
じるとともに、製造時にコイルの断線を引き起こし易い
問題があった。更に、図13に示すように薄膜コイル部
106を仮に矩形環状に設けた場合、形状異方性によっ
て記録電流が増大し、記録効率が低下する問題があっ
た。
【0005】また、図12と図13に示す磁気ヘッドA
を製造するには、段部112、113を形成していない
状態の板状のコア半体101、102を溶着ガラスで接
合した後、回転している円盤状の砥石をコア半体10
1、102の上部両側に押し付けて砥石加工を行なうこ
とで段部112、113を形成することになるが、この
砥石加工中に段部112、113の形成位置を左右方向
にわずかでも間違えると、薄膜コイル部106の外周部
を砥石で損傷させてしまうおそれが高い問題があった。
【0006】本発明は前記の事情に鑑みてなされたもの
で、狭トラック化に伴い、トラック幅が小さくなって媒
体摺動面の幅が小さくなった場合であっても、円環状に
近い理想的な形のコイルを備えさせることができ、コイ
ル巻数を大きくでき易いとともに、記録効率の良好な薄
膜コイル部を備えることができ、製造時の断線のおそれ
も生じ難い薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とす
る。また、本発明は、書込コア部と読出コア部とを具備
する構成であって読出コア部に磁気抵抗効果素子が用い
られた構造の場合、先に説明の優れた薄膜コイル部を設
けることができる上に、磁気抵抗効果素子に備えられる
バイアス層を納まり良くコアブロック内に設けることが
でき、砥石加工時にバイアス層に損傷を与えるおそれの
少ない構造の薄膜磁気ヘッドの提供を目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明は、媒体摺動面がコアブロックの一面に設けら
れ、前記媒体摺動面に磁極先端部を位置させたヨーク部
が前記コアブロック内に設けられ、前記磁極先端部に隣
接させて媒体摺動面側に磁気ギャップが形成され、前記
ヨーク部の基端部側に薄膜コイル部が設けられ、前記薄
膜コイル部が前記媒体摺動面に交差する方向に位置する
面に沿って環状に形成されるとともに、前記媒体摺動面
の幅方向両側に前記媒体摺動面に隣接する傾斜面が形成
されてなることを特徴とする。
【0008】次に本発明は、前記環状の薄膜コイル部に
おいて前記媒体摺動面の幅方向に平行な向きの横幅が、
前記磁極先端部周囲の媒体摺動面の幅よりも大きくされ
てなり、前記両傾斜面の間の領域に前記薄膜コイル部の
ヨーク部側の一部分が位置されてなることを特徴とす
る。媒体摺動面の両側に傾斜面を設けることで、媒体摺
動面の内側に環状でできる限り巻数の大きな薄膜コイル
部を設けることができる。
【0009】本発明は先の構造において、前記薄膜コイ
ル部と前記ヨーク部と前記磁気ギャップとを具備して書
込コア部が構成されるとともに、この書込コア部に隣接
させて読出コア部が形成されてなる複合構造とされてい
ても良い。本発明は先の構造において、前記媒体摺動面
が均一幅に形成されてなるものでも良い。本発明は先の
構造において、前記媒体摺動面が凸曲面とされてなるも
のでも良い。更に本発明は先の構造において、前記読出
コア部が、磁気抵抗効果素子を具備してなることを特徴
とするものでも良い。
【0010】更に本発明は、前記磁気抵抗効果素子が、
磁気抵抗効果膜と、この磁気抵抗効果膜に磁気的バイア
スを印加するバイアス層を備えて構成され、前記バイア
ス層の一側が前記磁気抵抗効果膜にバイアスを印加する
ために磁気抵抗効果膜に近接配置され、前記バイアス層
の他側が磁気抵抗効果膜の外方に延出形成され、バイア
ス層の他側端部が前記傾斜面側に延在されてなることを
特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】「第1実施形態」以下に本発明の
第1実施形態について図面を参照して説明するが、本発
明が以下の実施形態に限定されるものではないことは明
らかである。図1は本発明に係る第1実施形態の薄膜磁
気ヘッドBをVTRなどの磁気記録装置の回転シリンダ
の台板1に取り付けた状態を示す。この実施形態の薄膜
磁気ヘッドBは、板状のコア半体2、3をそれらの側端
面どうしをコア内蔵層5を介して接着一体化して全体と
して板状に形成され、コア半体2、3の面積の大きな側
面の1つ(図1では横倒し状態のコア半体2、3の底面
側)を台板1の上面に接着し、コア半体2、3の一側を
台板1の端部から若干外側に突出させて台板1に固定さ
れている。これらのコア半体2、3はCaTiO3、A
23+TiCなどの耐摩耗性に優れたセラミック材料
あるいはフェライトなどからなる。
【0012】台板1の外側に突出された薄膜磁気ヘッド
Bの一面は細長い凸曲面状に加工されて媒体摺動面6と
され、この媒体摺動面6の幅方向両側に媒体摺動面6を
挟むように傾斜面7、7が連続形成されている。前記媒
体摺動面6はコア半体2、3の面積の大きな側面2a、
3a(図1では薄膜磁気ヘッドBが横倒し状態にされて
いるので上面に位置する)を含む面に沿う半径Rの円弧
に沿う曲面(磁気テープ摺動方向に沿う曲面)とされ、
更に媒体摺動面6はコア半体2の側面2b(先の側面2
aに対して直角に隣接する面)に存在する半径rの円弧
に沿う曲面とされている。例えばコア半体2、3の横幅
0.5〜1mm、高さ1.5〜2mm、幅0.25〜0.5
mmとした場合、媒体摺動面6の幅を150〜200μ
m、前記半径Rを3〜5mm、半径rを1〜2mmとす
ることができる。
【0013】次に、媒体摺動面6の中央部に設けられて
いるコア内蔵層5には書込コア部(インダクティブヘッ
ド)10、14と読出コア部(MRコア部:磁気抵抗コ
ア部)11とが内蔵され、それらは例えば図2〜図4に
示す構造とされている。図2〜図4に詳細に示すように
読出コア部11は、パーマロイ(FeNi)、センダス
ト(Fe-Al-Si合金)等の磁性合金からなる下部シ
ールド層12上に、アルミナ(Al23)などの非磁性
材料により形成されたギャップ層13が設けられ、この
ギャップ層13に、磁気抵抗効果素子が埋設されてい
る。更にその上には、ギャップ層13’、上部シールド
層14が形成されており、この上部シールド層14は、
その上に設けられる書込コア部10の下部コア層と兼用
にされている。
【0014】書込コア部10は、下部コア層と兼用にさ
れた上部シールド層14の上に、ギャップ層15が形成
され、その上に平面的に環状かつ螺旋状となるようにパ
ターン化された薄膜コイル部16が形成され、薄膜コイ
ル部16は絶縁材料層17に囲まれている。絶縁材料層
17の上に形成された上部コア層からなるヨーク部18
は、その磁極先端部18aを媒体摺動面6に出してその
部分において下部コア層と兼用にされた上部シールド層
14に微小間隙をあけて対向され、ヨーク部18の基端
部18bが下部コア層と兼用にされた上部シールド層1
4と磁気的に接続させて設けられ、媒体摺動面6側にヨ
ーク部18の磁極先端部18aを位置させ、この磁極先
端部18aと媒体摺動面6側の上部シールド層14の先
端部との間に書き込み用の磁気ギャップWGが形成され
ている。また、上部コア層18の上にはアルミナなどか
らなる保護層19が設けられ、この保護層19にコア半
体2が接続されて薄膜磁気ヘッドBが構成されている。
【0015】ところで、書込コア部10の薄膜コイル部
16と媒体摺動面6と傾斜面7の位置関係は、図2に示
すように媒体摺動面6にほぼ直交する面に沿って薄膜コ
イル部16とヨーク部18が配置され、ヨーク部18の
先端の磁極先端部18aが媒体摺動面6に露出されると
ともに、薄膜コイル部16の最外周部分の横幅、換言す
ると、媒体摺動面6の幅方向に沿う薄膜コイル部16の
最大直径よりも媒体摺動面6の幅が小さく形成されてい
る。そして、前記傾斜面7、7によって挟まれた領域に
薄膜コイル部16のヨーク部側の一部分が位置するよう
に薄膜コイル部16が配置されている。
【0016】前記読出コア部11は、非磁性膜を強磁性
膜と磁気抵抗効果膜とで挟んだ構造のMR素子あるいは
スピンバルブ型の巨大磁気抵抗効果多層膜素子などから
なる磁気抵抗素子20に電極層21と後述のバイアス層
を接続してなるもので、電極層21から検出電流を流し
た状態の磁気抵抗効果素子20に磁気テープからの漏れ
磁場が作用すると抵抗変化を生じるものである。読出コ
ア部11においては、磁気テープからの漏れ磁界の有無
により磁気抵抗効果膜の電気抵抗が変化するので、この
抵抗変化を読み取ることで磁気テープの磁気記録内容を
読み取ることができる。
【0017】図5は読出コア部11が磁気抵抗効果膜か
ら構成される場合の一構成例を示すもので、この例の読
出コア部11は、軟磁性膜11aと非磁性膜11bと軟
磁性膜11cとを積層してなる断面台形状の磁気抵抗素
子20と、この磁気抵抗素子20の左右両側に磁気抵抗
素子20の端部に被着するように設けられた硬磁性材料
からなるバイアス層11dと、積層体に近い部分のバイ
アス層11d上に被覆された電極層11eとを具備して
構成されている。
【0018】ここで先のバイアス層11dは、軟磁性膜
11aにバイアス磁界を印加して軟磁性膜11aを単磁
区化することでバルクハウゼンノイズを低減するために
設けられるものである。このバイアス層11dは磁気抵
抗効果素子において重要な役割を有するので、重要な層
であるが、効率的に確実にバイアス磁界を印加するため
にバイアス層11dはある程度大きな体積が必要とな
る。このためバイアス層11dは図6に示すように一側
の端部11fにおいて磁気抵抗素子20に被着される
が、他の部分においては磁気抵抗素子20の外側に延出
形成され、その他側端部11gは薄膜コイル部16の延
在する方向に沿って延出形成されて傾斜面7の近傍に配
置されている。
【0019】図7は読出コア部がスピンバルブ式の巨大
磁気抵抗効果素子から構成される場合の構造を示すもの
で、この例の構造ではフリー磁性膜11hと非磁性中間
膜11iとピン止め強磁性膜11jと反強磁性膜11k
とから磁気抵抗素子20が形成され、磁気抵抗素子20
の両側に先の例と同じようにバイアス層11dと電極層
11eとが被着形成されている。
【0020】ここで先のバイアス層11dは、フリー磁
性膜11hにバイアス磁界を印加してフリー磁性膜11
hを単磁区化することでバルクハウゼンノイズを低減す
るために設けられるものである。このバイアス層11d
は磁気抵抗効果素子において重要な役割を有するので、
重要な層であるが、効率的に確実にバイアス磁界を印加
するためにバイアス層11dはある程度大きな体積が必
要となる。このためバイアス層11dは先の構成と同様
に図6に示すように一側の端部11fにおいて磁気抵抗
素子20に被着されるが、他の部分においては磁気抵抗
素子20の外側に延出形成され、その他側端部11gは
薄膜コイル部16の延在する方向に沿って延出形成され
て傾斜面7の近傍に配置されている。
【0021】前記書込コア部10では、薄膜コイル部1
6に記録電流が与えられ、薄膜コイル部16からヨーク
部18に起磁力が与えられる。そして、磁気ギャップW
Gの部分での下部コア層と兼用された上部シールド層1
4とヨーク部18の磁極先端部18aからの漏れ磁界に
より磁気テープ等の磁気記録媒体に磁気信号を記録する
ことができる。
【0022】図1〜図4に示す構造の薄膜磁気ヘッドB
にあっては、媒体摺動面6の幅が薄膜コイル部16の最
大外径よりも小さく形成され、媒体摺動面6の両側に媒
体摺動面6に対して傾斜する傾斜面7、7が設けられて
いるので、薄膜コイル部16を可能な限り媒体摺動面6
に接近させて設け、薄膜コイル部16の最大外径を媒体
摺動面6よりも大きく形成しても、薄膜コイル部16の
周囲に傾斜面7までの間隔を確保できるので、薄膜コイ
ル部16と傾斜面7とが干渉するおそれが従来構造より
も少ない構造とされている。
【0023】この点において、図12と図13を基に先
に説明した構造の如く傾斜面ではなく、段部112、1
13の垂直な側面であると、薄膜コイル部106との干
渉の危険性があるので、薄膜コイル部106の最外径を
突部115の幅よりも大きくはできない。また、段部1
12、113の加工のために砥石加工を行なう場合に図
12と図13に示す構造では段部112、113の形成
位置をわずかでも左右に間違えると薄膜コイル部16の
外周を損傷させてしまうおそれが高いものである。ま
た、薄膜コイル部16と同じように延在したバイアス層
11dにも砥石加工中に損傷を与えてしまうおそれがあ
る。
【0024】これらに対して本実施例構造を採用する
と、媒体摺動面6の加工と傾斜面7の加工を行なう場合
に、図8に示すような傾斜した内側面30を有する凹溝
31を周面に備えた円盤型の砥石33を用いて砥石加工
することができ、この砥石33を加工前の板状のコア半
体2、3の頂部に押し付けつつ加工することで媒体摺動
面6と傾斜面7の加工を同時に行なうことができる。し
かも、傾斜面7、7を形成するのは、砥石33の傾斜し
た内側面30であり、この内側面30は加工の進行に伴
って薄膜コイル部16に斜め上方から徐々に薄膜コイル
部16に接近しながらコア半体1、2を加工してゆくの
で、図12と図13に示す構成の薄膜コイル部106を
加工する場合よりも砥石と薄膜コイル部との間の余裕代
を大きくとることができ、薄膜コイル部16を砥石加工
中に損傷させるおそれも少なくすることができる。
【0025】また、磁気抵抗効果素子からなる読出ヘッ
ド部11のバイアス層11dにおいても砥石加工の際の
問題は先の場合と同様であり、砥石加工時に傾斜面7、
7を形成するのは、砥石33の傾斜した内側面30であ
り、この内側面30は加工の進行に伴ってバイアス層1
1dに対して斜め上方から徐々にバイアス層11dの端
部11gに接近しながらコア半体1、2を加工してゆく
ので、砥石とバイアス層11dとの干渉を避け易く、バ
イアス層11dを砥石加工中に損傷させるおそれを少な
くすることができる。
【0026】更に、この実施形態の構造の薄膜磁気ヘッ
ドBであれば、媒体摺動面6を同一幅に形成しているの
で、磁気テープに対するテープタッチを良好にすること
ができる。また、本実施形態の薄膜磁気ヘッドBにあっ
ては、薄膜コイル部16をコア半体2、3の内部側に内
蔵化しているのでコア半体2、3の外部側に従来巻き付
けていたコイル巻線を行なう必要が無い。これにより、
コイル巻線用の巻線溝あるいは巻線窓が不要になる効果
があり、コア半体2、3の製造工程を簡略化することが
できる。更に巻線溝や巻線窓およびその周囲の巻線を不
要としたので、台板1に取り付ける場合にコア半体2、
3の大部分を台板1の上面に接触させた状態で台板1に
コア半体2、3を接着することができる。よって、コア
半体2、3の台板1に対する取付強度を高くすることが
できる。この点において、従来の巻線溝や巻線窓を備
え、コア半体の外周部に巻線を施していたMIG型等の
磁気ヘッドにあっては、巻線部分まで台板1の外方に突
出させてコア半体を台板1に接着する必要があり、接着
強度不足になり易く、接着面積を確保するためには磁気
コア半体を必要以上に長く形成する必要があったが、本
実施形態の薄膜磁気ヘッドBにあっては、同じ接着面積
を確保する場合は巻線を外部に設けていない分だけコア
半体1、2の台板1からの突出量を小さくすることがで
き、外部からの力に強い接着強度の高い取付構造とする
ことができる。
【0027】更に本実施形態の薄膜磁気ヘッドBにおい
て、コア半体2、3に書込コア部10と読出コア部11
を備えた構成にすることにより、書込コア部10を書込
専用に設計し、読出コア部11を読出専用に設計するこ
とができ、書込と読出にそれぞれ有利な構成のヘッドと
することができ、ヘッド構成の自由度を向上できる効果
がある。特に、読出コア部11として磁気抵抗効果型の
ものを採用すると、微細トラックに対応することがで
き、狭トラック化に容易に対応して記録密度の向上に寄
与できるようになる効果がある。
【0028】図9と図10は本発明の第2実施形態の薄
膜磁気ヘッドCを示すもので、この実施形態の薄膜磁気
ヘッドCは先に説明した薄膜磁気ヘッドBとほぼ同等の
構造であるが、媒体摺動面と傾斜面の形状が一部異なる
ものである。この実施形態の薄膜磁気ヘッドCにあって
は、コア半体2、3の上部に形成された媒体摺動面61
がその長さ方向中央部で幅狭に、その長さ方向両端部側
で幅広に形成されている。以上の構造の薄膜磁気ヘッド
Cにあっても、他の構造は先の実施形態の薄膜磁気ヘッ
ドBと同等であるので、同等の効果を得ることができ
る。この構造の薄膜磁気ヘッドCは砥石加工で媒体摺動
面61と傾斜面71を形成する場合の砥石形状を図8に
示すものと変えることで容易に形成することができる。
【0029】図11は本発明の第3実施形態の薄膜磁気
ヘッドDの構造を示すもので、この形態の薄膜磁気ヘッ
ドDは、媒体摺動面62の両側にヨーク部18よりも短
い段部63を介して傾斜面72、72が形成された例で
ある。この例においても先の第1実施形態の薄膜磁気ヘ
ッドBと同等の効果を得ることができるが、段部63が
形成されているので、磁気テープとの摺動に応じて媒体
対抗面62がどの程度損耗しているか段部63を見るこ
とで容易に把握することができる特徴を有する。
【0030】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、コ
ア半体を接合して一体化してなるとともにヨーク部と薄
膜コイル部を内蔵化した薄膜磁気ヘッド構成において、
媒体摺動面の両側に傾斜面を設けたので、媒体摺動面と
その両側の傾斜面に合わせて最も大きな径の薄膜コイル
部を内蔵化することができる。この点において垂直面を
有する段部に挟まれた突部に薄膜コイル部を内蔵化する
構成では、段部の幅よりも大きなコイルを内蔵化するこ
とはできない。次に、媒体摺動面の幅方向に沿う環状の
薄膜コイル部の横幅よりも媒体摺動面の横幅が小さく形
成され、薄膜コイル部のヨーク部側の位置部分が傾斜面
間に位置していると、垂直面を有する段部に挟まれた突
部に薄膜コイル部を内蔵化する構成に比べて設ける薄膜
コイル部の径を大きく、しかも円形にすることができる
ので、コイル巻数を大きくすることができるとともに効
率の良い記録特性を得ることができる。
【0031】更に、媒体摺動面とそれに隣接する傾斜面
との組み合わせ形状であるならば、媒体摺動面と傾斜面
とを砥石加工する際に、傾斜面と薄膜コイル部の外周部
分との加工代を大きくとれるので、加工中に薄膜コイル
部の外周部分を損傷させるおそれも少ない。また、読出
ヘッド部として磁気抵抗効果素子を適用し、磁気抵抗効
果素子に磁気抵抗効果膜とバイアス膜を備え、バイアス
膜を薄膜コイル部と同様に延出形成させて設けても、媒
体摺動面と傾斜面とを砥石加工する際に、傾斜面と薄膜
コイル部の外周部分との加工代を大きくとれるので、加
工中に薄膜コイル部の外周部分を損傷させるおそれも少
ない。
【0032】本発明において、媒体摺動面とそれに隣接
する傾斜面とするならば、1回の砥石加工により媒体摺
動面と傾斜面とを形成できるので、製造工程の簡略化に
寄与する。また、媒体摺動面の幅を同一にするならば、
磁気テープとの摺動時にテープタッチを良好とすること
ができる。
【0033】本発明において、コア半体に書込コア部と
読出コア部を備えた構成にすることができ、書込コア部
を書込専用に構成し、読出コア部を読出専用に構成する
ことができ、書込と読出にそれぞれ有利な構成のヘッド
とすることができ、ヘッド構成の自由度を向上できる効
果がある。特に、読出コア部として磁気抵抗効果型のも
のを採用すると、微細トラックに対応することができ、
狭トラック化に容易に対応できるようになる効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの第1実
施形態を台板に取り付けた状態を示す斜視図。
【図2】 図2は図1に示す薄膜磁気ヘッドに内蔵され
た書込コア部を示す断面図。
【図3】 図3は図1に示す薄膜磁気ヘッドの要部を断
面とした斜視図。
【図4】 図4は図1に示す薄膜磁気ヘッドの要部断面
図。
【図5】 図5は磁気抵抗効果素子膜の積層構造の一例
を示す断面図。
【図6】 図6は図5に示す磁気抵抗効果素子膜のバイ
アス層と書込コア部のコイルと傾斜面の位置関係を示す
図。
【図7】 図7は磁気抵抗効果素子膜の積層構造の他の
例を示す断面図。
【図8】 図8は図1に示す薄膜磁気ヘッドの媒体摺動
面と傾斜面を砥石加工する状態を示す図。
【図9】 図9は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの第2実
施形態の構成を示す斜視図。
【図10】 図10は同磁気ヘッドの媒体摺動面と傾斜
面を示す平面図。
【図11】 図11は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの第
3実施形態の側面略図。
【図12】 図12は本発明者らが想定している薄膜磁
気ヘッドの一例を示す図。
【図13】 図13は図12に示す薄膜磁気ヘッドの要
部断面図。
【符号の説明】
B…薄膜磁気ヘッド、WG・・・磁気ギャップ、2、3・・・
コア半体、6、61・・・媒体摺動面、7、71・・・傾斜
面、10・・・書込コア部、11・・・読出コア部、12・・・
下部シールド層、14・・・上部シールド層、16・・・薄膜
コイル部、18・・・ヨーク部、18a・・・磁極先端部、1
8b・・・基端部、20・・・磁気抵抗効果膜。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 5/31 G11B 5/31 K 5/39 5/39 Fターム(参考) 5D033 BA32 BB11 5D034 BA02 BA12 BB05 BB12 5D111 AA19 AA23 DD04 DD05 DD17 DD22

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 媒体摺動面がコアブロックの一面に設け
    られ、前記媒体摺動面に磁極先端部を位置させたヨーク
    部が前記コアブロック内に設けられ、前記磁極先端部に
    隣接させて媒体摺動面に磁気ギャップが形成され、前記
    ヨーク部の基端部側に薄膜コイル部が設けられ、前記薄
    膜コイル部が前記媒体摺動面に交差する方向に位置する
    面に沿って環状に形成されるとともに、前記媒体摺動面
    の幅方向両側に前記媒体摺動面に隣接する傾斜面が形成
    されてなることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
  2. 【請求項2】 前記環状の薄膜コイル部において前記媒
    体摺動面の幅方向に平行な向きの横幅が前記磁極先端部
    周囲の媒体摺動面の幅よりも大きくされてなり、前記両
    傾斜面の間の領域に前記薄膜コイル部のヨーク部側の一
    部分が位置されてなることを特徴とする請求項1記載の
    薄膜磁気ヘッド。
  3. 【請求項3】 前記薄膜コイル部と前記ヨーク部と前記
    磁気ギャップとを具備して書込コア部が構成されるとと
    もに、前記書込コア部に隣接させて読出コア部が形成さ
    れた複合構造とされたことを特徴とする請求項1または
    2記載の薄膜磁気ヘッド。
  4. 【請求項4】 前記媒体摺動面が均一幅に形成されてな
    ることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載
    の薄膜磁気ヘッド。
  5. 【請求項5】 前記媒体摺動面が凸曲面とされてなるこ
    とを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の薄
    膜磁気ヘッド。
  6. 【請求項6】 前記読出コア部が、磁気抵抗効果素子を
    具備してなることを特徴とする請求項3ないし5のいず
    れかに記載の薄膜磁気ヘッド。
  7. 【請求項7】 前記磁気抵抗効果素子が、磁気抵抗効果
    膜と、この磁気抵抗効果膜に磁気的バイアスを印加する
    バイアス層を備えて構成され、前記バイアス層の一側が
    前記磁気抵抗効果膜にバイアスを印加するために磁気抵
    抗効果膜に近接配置され、前記バイアス層の他側が磁気
    抵抗効果膜の外方に延出形成され、バイアス層の他側端
    部が前記傾斜面側に延在されてなることを特徴とする請
    求項6記載の薄膜磁気ヘッド。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7106555B2 (en) 2002-11-06 2006-09-12 Alps Electric Co., Ltd. Magnetic head, magnetic tape device including the magnetic head and method for producing the magnetic head

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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