JP2001051213A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2001051213A5
JP2001051213A5 JP1999222066A JP22206699A JP2001051213A5 JP 2001051213 A5 JP2001051213 A5 JP 2001051213A5 JP 1999222066 A JP1999222066 A JP 1999222066A JP 22206699 A JP22206699 A JP 22206699A JP 2001051213 A5 JP2001051213 A5 JP 2001051213A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric element
modulation device
light modulation
mirror
extending
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1999222066A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2001051213A (ja
JP3800287B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP22206699A priority Critical patent/JP3800287B2/ja
Priority claimed from JP22206699A external-priority patent/JP3800287B2/ja
Publication of JP2001051213A publication Critical patent/JP2001051213A/ja
Publication of JP2001051213A5 publication Critical patent/JP2001051213A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3800287B2 publication Critical patent/JP3800287B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

JP22206699A 1999-08-05 1999-08-05 光変調デバイス及びその製造方法並びに表示装置 Expired - Fee Related JP3800287B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22206699A JP3800287B2 (ja) 1999-08-05 1999-08-05 光変調デバイス及びその製造方法並びに表示装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22206699A JP3800287B2 (ja) 1999-08-05 1999-08-05 光変調デバイス及びその製造方法並びに表示装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2001051213A JP2001051213A (ja) 2001-02-23
JP2001051213A5 true JP2001051213A5 (https=) 2004-08-26
JP3800287B2 JP3800287B2 (ja) 2006-07-26

Family

ID=16776587

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22206699A Expired - Fee Related JP3800287B2 (ja) 1999-08-05 1999-08-05 光変調デバイス及びその製造方法並びに表示装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3800287B2 (https=)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4510429B2 (ja) * 2003-11-19 2010-07-21 財団法人国際科学振興財団 マスク描画手法、及びマスク描画装置
US7016014B2 (en) * 2004-02-27 2006-03-21 Asml Netherlands B.V Lithographic apparatus and device manufacturing method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3993343B2 (ja) ガルバノマイクロミラー
JP2950417B2 (ja) 非対称剛性構造を有する光経路変換アクチュエータ及びその駆動方法
KR100243190B1 (ko) 가동미러장치 및 그 제조방법
RU2125347C1 (ru) Матрица управляемых тонкопленочных отражателей, предназначенная для использования в оптической проекционной системе, и способ ее изготовления
JP3283881B2 (ja) Ｍ×ｎ個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ及びその製造方法
JPH10508118A (ja) 光投射システムで用いられる薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ
JPS6057051B2 (ja) 光偏向装置
US7224097B2 (en) Comb-shaped actuator with off centered electrodes
JP3639978B2 (ja) 光スイッチ
JP3561544B2 (ja) Ｍ×ｎ薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ及びその製造方法
JP3500497B2 (ja) 光スイッチ
JP2001051213A5 (https=)
JP4098792B2 (ja) ミラー装置
KR980003668A (ko) 박막형 광로조절장치의 액츄에이터 및 제조방법
JP2001100119A5 (https=)
JP2017211402A (ja) 電気光学装置、電子機器、および電気光学装置の製造方法
JP3761869B2 (ja) 光スキャナ
KR100349941B1 (ko) 광 스위칭을 위한 마이크로 액추에이터 및 그 제조방법
JP3869438B2 (ja) Ｍｅｍｓ素子、その製造方法及び光ディバイス
JP4816282B2 (ja) アクチュエータ
JP3800287B2 (ja) 光変調デバイス及びその製造方法並びに表示装置
JP2001013425A5 (https=)
JP2006133412A (ja) 空間光変調素子
JPH07218845A (ja) ミラーデバイス及びその製造方法
JP2007030090A (ja) 微小構造体の形成方法