JP2001050606A - 電子冷凍装置 - Google Patents
電子冷凍装置Info
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- JP2001050606A JP2001050606A JP11228347A JP22834799A JP2001050606A JP 2001050606 A JP2001050606 A JP 2001050606A JP 11228347 A JP11228347 A JP 11228347A JP 22834799 A JP22834799 A JP 22834799A JP 2001050606 A JP2001050606 A JP 2001050606A
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- air
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- cooling
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
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- Health & Medical Sciences (AREA)
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Epidemiology (AREA)
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Devices For Blowing Cold Air, Devices For Blowing Warm Air, And Means For Preventing Water Condensation In Air Conditioning Units (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ペルチェ効果を用いて温調を正確に行うこと
ができる電子冷凍装置を提供する。 【解決手段】 吸い込み空気を冷却し、その空気を設定
温度まで再加熱してスピンナー等の環境に供給するため
の精密温調装置において、空気の冷却源としてペルチェ
モジュールユニット１３を用い、そのペルチェモジュー
ルユニット１３のヒートシンク温度を検出すると共にそ
の温度が設定温度となるようにペルチェモジュールユニ
ット１３に供給するスイッチング電源３２を制御するよ
うにしたものである。
ができる電子冷凍装置を提供する。 【解決手段】 吸い込み空気を冷却し、その空気を設定
温度まで再加熱してスピンナー等の環境に供給するため
の精密温調装置において、空気の冷却源としてペルチェ
モジュールユニット１３を用い、そのペルチェモジュー
ルユニット１３のヒートシンク温度を検出すると共にそ
の温度が設定温度となるようにペルチェモジュールユニ
ット１３に供給するスイッチング電源３２を制御するよ
うにしたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、精密温調装置に係
り、特に、フロンを用いないで精密温調できる電子冷凍
装置に関するものである。
り、特に、フロンを用いないで精密温調できる電子冷凍
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ステッパ露光装置などに用いられるスピ
ンナー装置に対して、冷凍装置からなる精密温調装置
で、温湿度制御された空気を供給して高精度な空気環境
（温度・湿度）を維持するようにしている。
ンナー装置に対して、冷凍装置からなる精密温調装置
で、温湿度制御された空気を供給して高精度な空気環境
（温度・湿度）を維持するようにしている。
【０００３】従来、冷凍サイクルを用いた冷凍機におい
ては、冷凍サイクルの能力は定格運転され、蒸発器で吸
い込み空気を、設定温度（例えば２３℃）に対して５℃
低い温度（１８℃）にし、再熱ヒータで設定温度まで加
熱するようにしている。
ては、冷凍サイクルの能力は定格運転され、蒸発器で吸
い込み空気を、設定温度（例えば２３℃）に対して５℃
低い温度（１８℃）にし、再熱ヒータで設定温度まで加
熱するようにしている。
【０００４】冷凍装置で設定可能温度範囲は２０〜２５
℃、設定可能湿度範囲は３０〜５０％、吹き出し温度精
度は、設定温度に対して±０．０５℃の性能が必要であ
り、また吹き出し風量は、１．９〜３．０ｍ3 ／ｍｉｎ
の可変範囲で、しかも、設定風量±１０％以内の性能が
必要である。
℃、設定可能湿度範囲は３０〜５０％、吹き出し温度精
度は、設定温度に対して±０．０５℃の性能が必要であ
り、また吹き出し風量は、１．９〜３．０ｍ3 ／ｍｉｎ
の可変範囲で、しかも、設定風量±１０％以内の性能が
必要である。
【０００５】この冷凍サイクルの蒸発器での蒸発温度
は、冷凍サイクルの凝縮器に供給する冷却水の流量を制
御することで、蒸発器で冷却空気温度を調整し、再熱ヒ
ータではその通電量を制御することで吹き出し空気を設
定温度に対して±０．０５℃となるように調整してい
る。
は、冷凍サイクルの凝縮器に供給する冷却水の流量を制
御することで、蒸発器で冷却空気温度を調整し、再熱ヒ
ータではその通電量を制御することで吹き出し空気を設
定温度に対して±０．０５℃となるように調整してい
る。
【０００６】また、吹き出し風量の変化に対しては、空
気をバイパスさせて風量調整するようにしている。
気をバイパスさせて風量調整するようにしている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、冷凍サ
イクルは、定格運転されており、蒸発器での風量を一定
に保ちつつ、吹き出し風量をバイパス回路で調整して
も、冷却水温度が１６〜３２℃で変化し、幅広い吹き出
し空気量変化に対応して蒸発温度を的確に制御する必要
があり、制御が複雑になる問題がある。
イクルは、定格運転されており、蒸発器での風量を一定
に保ちつつ、吹き出し風量をバイパス回路で調整して
も、冷却水温度が１６〜３２℃で変化し、幅広い吹き出
し空気量変化に対応して蒸発温度を的確に制御する必要
があり、制御が複雑になる問題がある。
【０００８】ところで、近年環境問題からフロンレスタ
イプの空調ユニットが求められており、電子冷凍ユニッ
トを用いたフロンレスの空調ユニットが検討されつつあ
る。
イプの空調ユニットが求められており、電子冷凍ユニッ
トを用いたフロンレスの空調ユニットが検討されつつあ
る。
【０００９】この電子冷凍ユニットは、図４に示すよう
にＰ型半導体素子５１とＮ型半導体素子５２からなる熱
電半導体５０を、金属電極５３，５４，５５でπ型に直
列結合し、Ｎ型半導体素子５１からＰ型半導体素子５２
に電流を流すとペルチェ効果によって電子が一方向に移
動し、金属電極５３側が冷却面となり、Ｎ型半導体素子
５１の金属電極５４とＰ型半導体素子５２の金属電極５
５が放熱面となる。
にＰ型半導体素子５１とＮ型半導体素子５２からなる熱
電半導体５０を、金属電極５３，５４，５５でπ型に直
列結合し、Ｎ型半導体素子５１からＰ型半導体素子５２
に電流を流すとペルチェ効果によって電子が一方向に移
動し、金属電極５３側が冷却面となり、Ｎ型半導体素子
５１の金属電極５４とＰ型半導体素子５２の金属電極５
５が放熱面となる。
【００１０】この電子冷凍ユニットの放熱側の金属電極
５４，５５に放熱器を取り付け、冷却面側の金属電極５
３に冷却フィンを取り付け、冷却フィンで空気を冷却す
ることができる。
５４，５５に放熱器を取り付け、冷却面側の金属電極５
３に冷却フィンを取り付け、冷却フィンで空気を冷却す
ることができる。
【００１１】しかしながら、放熱側の冷却水温度が低く
なったり、風量（風速）が低下するとペルチェの効率
（冷却能力）が上昇し、冷却フィン側でフロストが発生
してしまう問題があり、上述した性能を出すことは困難
である。
なったり、風量（風速）が低下するとペルチェの効率
（冷却能力）が上昇し、冷却フィン側でフロストが発生
してしまう問題があり、上述した性能を出すことは困難
である。
【００１２】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、ペルチェ効果を用いて温調を正確に行うことができ
る電子冷凍装置を提供することにある。
し、ペルチェ効果を用いて温調を正確に行うことができ
る電子冷凍装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の発明は、吸い込み空気を冷却し、その空
気を設定温度まで再加熱してスピンナー等の環境に供給
するための精密温調装置において、空気の冷却源として
ペルチェモジュールユニットを用い、そのペルチェモジ
ュールユニットのヒートシンク温度を検出すると共にそ
の温度が任意の設定温度となるようにペルチェモジュー
ルに供給するスイッチング電源を制御するようにした電
子冷凍装置である。
に、請求項１の発明は、吸い込み空気を冷却し、その空
気を設定温度まで再加熱してスピンナー等の環境に供給
するための精密温調装置において、空気の冷却源として
ペルチェモジュールユニットを用い、そのペルチェモジ
ュールユニットのヒートシンク温度を検出すると共にそ
の温度が任意の設定温度となるようにペルチェモジュー
ルに供給するスイッチング電源を制御するようにした電
子冷凍装置である。
【００１４】請求項２の発明は、ペルチェモジュールユ
ニットが、ペルチェモジュールの放熱側に設けた熱交換
器と冷却面側に設けた冷却フィンからなるヒートシンク
からなり、そのヒートシンクで空気が冷却される請求項
１記載の電子冷凍装置である。
ニットが、ペルチェモジュールの放熱側に設けた熱交換
器と冷却面側に設けた冷却フィンからなるヒートシンク
からなり、そのヒートシンクで空気が冷却される請求項
１記載の電子冷凍装置である。
【００１５】請求項３の発明は、ヒートシンクに温度セ
ンサを設け、そのヒートシンクの温度が任意の設定温度
となるようにペルチェモジュールに印加する直流電圧
を、スイッチング電源で時間比例制御あるいは印可する
直流電圧を電圧制御する請求項２記載の電子冷凍装置で
ある。
ンサを設け、そのヒートシンクの温度が任意の設定温度
となるようにペルチェモジュールに印加する直流電圧
を、スイッチング電源で時間比例制御あるいは印可する
直流電圧を電圧制御する請求項２記載の電子冷凍装置で
ある。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適一実施の形態
を添付図面に基づいて詳述する。
を添付図面に基づいて詳述する。
【００１７】図１において、ケーシング１０の上部に空
気吸い込み通路１１が形成され、下部に温調された空気
の吹き出し通路１２が形成され、その間のケーシング１
０内に、空気吸い込み通路１１からの空気を冷却するペ
ルチェモジュールユニット１３が収容された冷却室１４
が形成され、その冷却室１４に送風機１５が収容された
空気吸い込み室１６が形成され、その送風機１５の吹き
出し口１５ａと空気の吹き出し通路１２を結んで送風通
路１７が形成される。
気吸い込み通路１１が形成され、下部に温調された空気
の吹き出し通路１２が形成され、その間のケーシング１
０内に、空気吸い込み通路１１からの空気を冷却するペ
ルチェモジュールユニット１３が収容された冷却室１４
が形成され、その冷却室１４に送風機１５が収容された
空気吸い込み室１６が形成され、その送風機１５の吹き
出し口１５ａと空気の吹き出し通路１２を結んで送風通
路１７が形成される。
【００１８】空気吸い込み室１６には仕切板１８が設け
られ、その仕切板１８にて、再熱ヒータ１９が収容され
る再熱室２０と、加湿器２１が収容された加湿室２２が
区画形成される。
られ、その仕切板１８にて、再熱ヒータ１９が収容され
る再熱室２０と、加湿器２１が収容された加湿室２２が
区画形成される。
【００１９】送風通路１７にはオリフィス２３と風量調
整ダンパ２４が接続されると共に、オリフィス２３の前
後の差圧を計測する差圧計２５が設けられ、その差圧計
２５にて風量調整ダンパ２４の開度が調整されるように
なっている。
整ダンパ２４が接続されると共に、オリフィス２３の前
後の差圧を計測する差圧計２５が設けられ、その差圧計
２５にて風量調整ダンパ２４の開度が調整されるように
なっている。
【００２０】ペルチェモジュールユニット１３は、図２
（ａ），図２（ｂ）に示すようにペルチェモジュール２
６の放熱側に冷却水の通る熱交換器２７が設けられ、冷
却側に多数のフィンプレート２８からなるヒートシンク
２９が設けられて構成される。
（ａ），図２（ｂ）に示すようにペルチェモジュール２
６の放熱側に冷却水の通る熱交換器２７が設けられ、冷
却側に多数のフィンプレート２８からなるヒートシンク
２９が設けられて構成される。
【００２１】このペルチェモジュール２６は、熱交換器
２７とヒートシンク２９間に複数個設けられると共にそ
のペルチェモジュール２６外の熱交換器２７とヒートシ
ンク２９間に断熱材３０が設けられる。
２７とヒートシンク２９間に複数個設けられると共にそ
のペルチェモジュール２６外の熱交換器２７とヒートシ
ンク２９間に断熱材３０が設けられる。
【００２２】このペルチェモジュールユニット１３は、
冷却室１４に多数設けられると共にそのペルチェモジュ
ール２６同士が電気的に直列乃至並列接続され、電源ラ
イン３１を介してスイッチング電源３２に接続され、ま
た各熱交換器２７の冷却水も直列乃至並列に流れるよう
に各流路が接続されると共に冷却水供給ライン３４と冷
却水排出ライン３５に接続される。
冷却室１４に多数設けられると共にそのペルチェモジュ
ール２６同士が電気的に直列乃至並列接続され、電源ラ
イン３１を介してスイッチング電源３２に接続され、ま
た各熱交換器２７の冷却水も直列乃至並列に流れるよう
に各流路が接続されると共に冷却水供給ライン３４と冷
却水排出ライン３５に接続される。
【００２３】ペルチェモジュールユニット１３には、温
度センサ３６が接続され、その温度センサ３６が調節計
３７に接続されると共にＦＥＴリレー３８を介してスイ
ッチング電源３２を制御するようになっている。
度センサ３６が接続され、その温度センサ３６が調節計
３７に接続されると共にＦＥＴリレー３８を介してスイ
ッチング電源３２を制御するようになっている。
【００２４】また加湿器２１には、減圧用キャピラリー
チューブ４０が接続されて加湿用給水が供給されるよう
になっている。
チューブ４０が接続されて加湿用給水が供給されるよう
になっている。
【００２５】空気の吹き出し通路１２から吹き出された
温調空気はセンサ４２で温度等が検出され、その検出値
が調節計４３に入力され、その調節計４３で、それぞれ
ソリッドステータスリレー４４，４５を介して再熱ヒー
タ１９と加湿器２１を制御するようになっている。
温調空気はセンサ４２で温度等が検出され、その検出値
が調節計４３に入力され、その調節計４３で、それぞれ
ソリッドステータスリレー４４，４５を介して再熱ヒー
タ１９と加湿器２１を制御するようになっている。
【００２６】なお、図１中、４７は、空気吸い込み室１
６で生じたドレインの排出管、４８はスイッチング電源
３２の冷却用空気の排気、４９はキャスタである。
６で生じたドレインの排出管、４８はスイッチング電源
３２の冷却用空気の排気、４９はキャスタである。
【００２７】次に本発明の作用を説明する。
【００２８】空気吸い込み通路１１からの空気は、ペル
チェモジュールユニット１３により設定温度（例えば２
３℃）に対して５℃低い１８℃に冷却され、再熱ヒータ
１９で、設定温度（２３℃）に再加熱され、加湿器２１
で加湿され、送風機１５より、風通路１７、空気の吹き
出し通路１２より、図には示していないがダクト等を介
してスピンナーに供給されて空気環境を設定温度±０．
０５℃に維持する。
チェモジュールユニット１３により設定温度（例えば２
３℃）に対して５℃低い１８℃に冷却され、再熱ヒータ
１９で、設定温度（２３℃）に再加熱され、加湿器２１
で加湿され、送風機１５より、風通路１７、空気の吹き
出し通路１２より、図には示していないがダクト等を介
してスピンナーに供給されて空気環境を設定温度±０．
０５℃に維持する。
【００２９】この際、吹き出し風量は、差圧計２５でオ
リフィス２３前後の差圧を検出し、風量調整ダンパ２４
を制御し、設定風量±１０％以内に抑える。
リフィス２３前後の差圧を検出し、風量調整ダンパ２４
を制御し、設定風量±１０％以内に抑える。
【００３０】本発明においては、ペルチェモジュールユ
ニット１３で空気を冷却する際に、ペルチェモジュール
ユニット１３に供給する直流電圧を時間比例制御した
り、電圧制御することで、幅広い風量変化に対応し、か
つヒートシンク２９にフロストを発生させることなく冷
却できるようにしたものである。
ニット１３で空気を冷却する際に、ペルチェモジュール
ユニット１３に供給する直流電圧を時間比例制御した
り、電圧制御することで、幅広い風量変化に対応し、か
つヒートシンク２９にフロストを発生させることなく冷
却できるようにしたものである。
【００３１】図３は、ペルチェモジュールユニット１３
のヒートシンク２９の温度制御のブロック図を示したも
のである。
のヒートシンク２９の温度制御のブロック図を示したも
のである。
【００３２】先ず、ペルチェモジュールユニット１３に
は、一次電源４６からスイッチング電源３２で、例えば
１２Ｖの直流電圧が印可され、熱交換器２７には冷却水
が供給されてヒートシンク２９が冷却面となって、空気
を冷却する。
は、一次電源４６からスイッチング電源３２で、例えば
１２Ｖの直流電圧が印可され、熱交換器２７には冷却水
が供給されてヒートシンク２９が冷却面となって、空気
を冷却する。
【００３３】この際、ペルチェモジュールユニット１３
の熱交換器２７に流す冷却水は、温度が一定ではなく温
度が低すぎるとヒートシンク２９が０℃以下となってフ
ロスト（霜付き）が発生してしまう。また、設定風量が
少ない場合も同様にフロストが発生する。
の熱交換器２７に流す冷却水は、温度が一定ではなく温
度が低すぎるとヒートシンク２９が０℃以下となってフ
ロスト（霜付き）が発生してしまう。また、設定風量が
少ない場合も同様にフロストが発生する。
【００３４】そこで、温度センサ３６でヒートシンク２
９の温度を検出し、温度調節計３７にてＦＥＴリレー３
８を介してスイッチング電源３２を時間比例制御するこ
とで、ヒートシンク２９を０℃以上、例えば２℃の設定
温度に保って冷却するようにしたものである。
９の温度を検出し、温度調節計３７にてＦＥＴリレー３
８を介してスイッチング電源３２を時間比例制御するこ
とで、ヒートシンク２９を０℃以上、例えば２℃の設定
温度に保って冷却するようにしたものである。
【００３５】このスイッチング電源３２を制御すること
で、設定風量変化に対応してペルチェモジュールユニッ
ト１３での熱交換量を自在に調整でき、通常のフロンを
用いた冷凍機のフル運転に比べて、風量調整のためのバ
イパス回路や凝縮器側の温度制御が不要となると共に、
冷却水温度は低いほどコストが低減でき、しかも霜付き
を発生させることがない。
で、設定風量変化に対応してペルチェモジュールユニッ
ト１３での熱交換量を自在に調整でき、通常のフロンを
用いた冷凍機のフル運転に比べて、風量調整のためのバ
イパス回路や凝縮器側の温度制御が不要となると共に、
冷却水温度は低いほどコストが低減でき、しかも霜付き
を発生させることがない。
【００３６】また、ヒートシンクの温度制御を行うこと
で、冷却水の温度変動の影響を低減できる。
で、冷却水の温度変動の影響を低減できる。
【００３７】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、ペルチェ
モジュールユニットを用いることで、フロンレスの精密
温調が可能となり、しかもペルチェモジュールユニット
のヒートシンク温度を設定温度になるようにペルチェモ
ジュールに供給する直流電源を制御することで、幅広い
風量変化と冷却水の温度変化に対してフロストを発生さ
せることなく、適正に冷却して精密温調することが可能
となる。
モジュールユニットを用いることで、フロンレスの精密
温調が可能となり、しかもペルチェモジュールユニット
のヒートシンク温度を設定温度になるようにペルチェモ
ジュールに供給する直流電源を制御することで、幅広い
風量変化と冷却水の温度変化に対してフロストを発生さ
せることなく、適正に冷却して精密温調することが可能
となる。
【図１】本発明の一実施の形態を示す図である。
【図２】図１におけるペルチェモジュールユニットの詳
細を示す図である。
細を示す図である。
【図３】本発明において、ペルチェモジュールユニット
のヒートシンク温度制御のブロックを示す図である。
のヒートシンク温度制御のブロックを示す図である。
【図４】電子冷凍装置の原理図である。
１０ ケーシング １１ 空気吸い込み通路 １２ 空気吹き出し通路 １３ ペルチェモジュールユニット １５ 送風機 １９ 再熱ヒータ ２９ ヒートシンク ３２ スイッチング電源 ３６ 温度センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 馬場 喜隆 千葉県船橋市習志野４丁目９番３号 株式 会社朝日工業社機器事業部内 Ｆターム(参考） 3L050 BC05 5F046 JA07 JA24
Claims (3)
- 【請求項１】 吸い込み空気を冷却し、その空気を設定
温度まで再加熱してスピンナー等の環境に供給するため
の精密温調装置において、空気の冷却源としてペルチェ
モジュールユニットを用い、そのペルチェモジュールユ
ニットのヒートシンク温度を検出すると共にその温度が
任意の設定温度となるようにペルチェモジュールに供給
するスイッチング電源を制御するようにしたことを特徴
とする電子冷凍装置。 - 【請求項２】 ペルチェモジュールユニットが、ペルチ
ェモジュールの放熱側に設けた熱交換器と冷却面側に設
けた冷却フィンからなるヒートシンクからなり、そのヒ
ートシンクで空気が冷却される請求項１記載の電子冷凍
装置。 - 【請求項３】 ヒートシンクに温度センサを設け、その
ヒートシンクの温度が任意の設定温度となるようにペル
チェモジュールに印加する直流電圧をスイッチング電源
で時間比例制御あるいは印可する直流電圧を電圧制御す
る請求項２記載の電子冷凍装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11228347A JP2001050606A (ja) | 1999-08-12 | 1999-08-12 | 電子冷凍装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11228347A JP2001050606A (ja) | 1999-08-12 | 1999-08-12 | 電子冷凍装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001050606A true JP2001050606A (ja) | 2001-02-23 |
Family
ID=16875051
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11228347A Pending JP2001050606A (ja) | 1999-08-12 | 1999-08-12 | 電子冷凍装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001050606A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100678474B1 (ko) | 2005-02-28 | 2007-02-02 | 삼성전자주식회사 | 스피너 설비 |
| JP2007167717A (ja) * | 2005-12-19 | 2007-07-05 | Matsushita Electric Works Ltd | 静電霧化装置 |
-
1999
- 1999-08-12 JP JP11228347A patent/JP2001050606A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100678474B1 (ko) | 2005-02-28 | 2007-02-02 | 삼성전자주식회사 | 스피너 설비 |
| JP2007167717A (ja) * | 2005-12-19 | 2007-07-05 | Matsushita Electric Works Ltd | 静電霧化装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040525 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040715 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041005 |