JP2001047350A - Polishing method and device - Google Patents

Polishing method and device

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JP2001047350A
JP2001047350A JP11223217A JP22321799A JP2001047350A JP 2001047350 A JP2001047350 A JP 2001047350A JP 11223217 A JP11223217 A JP 11223217A JP 22321799 A JP22321799 A JP 22321799A JP 2001047350 A JP2001047350 A JP 2001047350A
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JP
Japan
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workpiece
polishing
longitudinal direction
work
polishing tool
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JP11223217A
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Japanese (ja)
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Kenji Ito
研二 伊藤
Norihisa Saito
憲久 斎藤
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Canon Inc
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Canon Inc
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  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To polish a long stretching work uniformly in a short time. SOLUTION: A polishing tool 10 is pressed by a bellow-phragm cylinder 11 to the surface processed of a work W1, which is polished by scanning in longitudinal direction a placing table 20 for the work W1 while the tool 10 is swung in the shorter side direction by a motor 12. If the work W1 is scanned only in the longitudinal direction, surface unevenness, waviness, etc., in the longitudinal direction can not be removed satisfactorily, so that the scan is performed with the table 20 swung in the longitudinal direction by controlling the rotation in regular and reverse direction of a stepping motor 21. At this time, the table 20 is allowed to follow up after a template 23 so that the attitude of the work W1 (inclination) is controlled on the basis of the change in the shape in longitudinal direction, and the polished point on the work W1 is kept vertically with respect to the tool 10.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばトーリック
形状等の曲面状の被加工面を有する長尺なワークを研磨
するための研磨方法および研磨装置に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polishing method and a polishing apparatus for polishing a long workpiece having a curved surface to be processed, for example, a toric shape.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えばトーリックレンズの成形型(トー
リック金型)等を製作する際には、長尺な曲面状の被加
工面を研磨によって鏡面仕上げする工程が必要である。
このような場合に用いる研磨装置としては、トーリック
金型等の長尺なワークの被加工面に研磨工具を押しつけ
て、ワークの被加工面の長手方向に走査しながら、ワー
クの被加工面の短手方向に研磨工具を揺動させて、ワー
クと研磨工具の摺り合わせを行なう工程を繰り返すもの
である。
2. Description of the Related Art For example, when manufacturing a mold for forming a toric lens (a toric mold) or the like, a process of polishing a long curved surface to be mirror-finished by polishing is required.
As a polishing apparatus used in such a case, a polishing tool is pressed against a work surface of a long work such as a toric mold, and the work surface of the work is scanned while scanning in the longitudinal direction of the work surface. The process of oscillating the polishing tool in the lateral direction and rubbing the workpiece and the polishing tool is repeated.

【0003】研磨工具の短手方向の揺動は、研磨工具を
ワークの被加工面に押しつけるための先端がピンジョイ
ントであるカンザシを、揺動機構によって揺動させるこ
とによって行なわれる。また、長手方向の移動すなわち
走査は、ワークを載置した載置台を、直線駆動の駆動機
構によって長手方向へ移動させることによって行なわれ
る。
[0003] The swinging of the polishing tool in the short direction is performed by swinging a kansashi, whose tip is a pin joint, for pressing the polishing tool against the work surface of the workpiece by a swing mechanism. In addition, the movement in the longitudinal direction, that is, scanning, is performed by moving the mounting table on which the work is placed in the longitudinal direction by a linear drive mechanism.

【0004】このようにして、研磨工具を短手方向に揺
動させながらワークを長手方向に送ることでワークの被
加工面を帯状に研磨する工程を繰り返す。
[0004] In this way, the process of polishing the work surface of the work in a belt shape by feeding the work in the longitudinal direction while swinging the polishing tool in the short direction is repeated.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、ワークの長手方向の研磨工具の相対移
動は直線駆動による走査すなわち送りのための移動のみ
であるから、ワークが長尺で長手方向の移動距離が長い
と、高速走査ができず、必要な研磨量を得るための研磨
速度を達成するのが難しい。その結果、加工時間が長く
なり、しかもワークの被加工面に残る長手方向の凹凸や
うねり、あるいは短手方向の加工痕等を完全に除去する
ことはできなかった。
However, according to the above-mentioned prior art, since the relative movement of the polishing tool in the longitudinal direction of the work is only a movement for scanning or feeding by linear drive, the work is long and long. If the moving distance in the direction is long, high-speed scanning cannot be performed, and it is difficult to achieve a polishing speed for obtaining a required polishing amount. As a result, the processing time becomes longer, and it is not possible to completely remove longitudinal irregularities and undulations remaining on the surface to be processed of the work, or processing marks in the lateral direction.

【0006】また、ワークの長手方向の形状変化が大き
い場合は、研磨工具がワークの被加工面の傾きの変化に
追従できずに研磨工具が被加工面から離れてしまい、研
磨ができなくなる。
If the shape of the workpiece changes greatly in the longitudinal direction, the polishing tool cannot follow the change in the inclination of the work surface of the work and the polishing tool separates from the work surface, so that polishing cannot be performed.

【0007】さらに、ワークの長手方向に形状変化があ
り、短手方向の曲率半径が一定である場合は、短手方向
の揺動の中心位置が常に一定であるから、長手方向の形
状変化に伴なって短手方向の揺動半径が変化してしま
い、均一な研磨ができないという未解決の課題もある。
Further, when the workpiece has a shape change in the longitudinal direction and the radius of curvature in the short direction is constant, the center position of the swing in the short direction is always constant. Accordingly, there is an unsolved problem that the swing radius in the short direction changes and uniform polishing cannot be performed.

【0008】本発明は上記従来の技術の有する未解決の
課題に鑑みてなされたものであり、特に長手方向に存在
する凹凸やうねり等を完全に除去し、かつ、加工時間を
短縮できるうえに、あらゆるワークの形状変化に対応し
て均一な研磨を行なうことができる研磨方法および研磨
装置を提供することを目的とするものである。
The present invention has been made in view of the above-mentioned unresolved problems of the prior art, and in particular, it can completely remove irregularities and undulations existing in the longitudinal direction and can shorten the processing time. It is another object of the present invention to provide a polishing method and a polishing apparatus capable of performing uniform polishing in response to a change in the shape of any work.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明の研磨方法は、研磨工具を被加工物に押しつ
けて、該被加工物の短手方向に前記研磨工具を揺動させ
ながら前記被加工物の長手方向に相対的に走査する工程
を有する研磨方法であって、前記研磨工具を前記被加工
物の前記長手方向に相対的に揺動させながら走査するこ
とを特徴とする。
In order to achieve the above object, a polishing method according to the present invention comprises pressing a polishing tool against a workpiece and swinging the polishing tool in a short direction of the workpiece. A polishing method having a step of relatively scanning in the longitudinal direction of the workpiece while scanning the polishing tool while relatively swinging the polishing tool in the longitudinal direction of the workpiece. .

【0010】被加工物を長手方向に移動させるときに、
前記被加工物の形状変化に基づいて前記被加工物の姿勢
または高さを制御するとよい。
When moving the workpiece in the longitudinal direction,
The posture or height of the workpiece may be controlled based on a change in the shape of the workpiece.

【0011】本発明の研磨装置は、研磨工具と、該研磨
工具を被加工物に押しつける押圧手段と、前記研磨工具
を前記被加工物の短手方向に揺動させる短手方向揺動手
段と、前記被加工物をその長手方向に走査する走査手段
と、前記被加工物を前記長手方向に揺動させる長手方向
揺動手段を有することを特徴とする。
A polishing apparatus according to the present invention comprises: a polishing tool; pressing means for pressing the polishing tool against a workpiece; and short-side swing means for swinging the polishing tool in a short direction of the workpiece. A scanning means for scanning the work in the longitudinal direction thereof, and a longitudinal swing means for swinging the work in the longitudinal direction.

【0012】走査手段および長手方向揺動手段が、正逆
回転自在なステッピングモータとボールネジ、および前
記ステッピングモータの正逆回転を制御するコントロー
ラによって構成されているとよい。
It is preferable that the scanning means and the longitudinal swing means are constituted by a stepping motor and a ball screw which can be rotated forward and backward, and a controller which controls forward and reverse rotation of the stepping motor.

【0013】被加工物の長手方向の形状変化に基づいて
前記被加工物の姿勢または高さを制御する一対のテンプ
レートが設けられているとよい。
It is preferable that a pair of templates is provided for controlling the posture or height of the workpiece based on a change in the shape of the workpiece in the longitudinal direction.

【0014】被加工物を載置する載置台が、各テンプレ
ートのガイド面に当接されるカムフォロワと、各テンプ
レートの内側面に当接されるカムフォロワを備えている
とよい。
It is preferable that the mounting table on which the workpiece is mounted has a cam follower abutting on the guide surface of each template and a cam follower abutting on the inner surface of each template.

【0015】[0015]

【作用】研磨工具に対して被加工物を長手方向に相対的
に揺動させながら走査し、短手方向に揺動する研磨工具
との間の摺り合わせによって被加工物の曲面状の被加工
面を研磨する。長手方向に揺動させることで、長手方向
にも充分な研磨速度を確保して、長手方向のうねりや凹
凸を短時間で確実に除去する。これによってトーリック
金型等の加工時間を短縮し、トーリックレンズ等の長尺
部品の生産性を大幅に向上できる。
The workpiece is scanned while the workpiece is relatively swung in the longitudinal direction with respect to the polishing tool, and the workpiece is formed into a curved surface by sliding with the polishing tool which is pivoted in the transverse direction. Polish the surface. By swinging in the longitudinal direction, a sufficient polishing rate is secured also in the longitudinal direction, and undulations and irregularities in the longitudinal direction are reliably removed in a short time. As a result, the processing time of a toric mold or the like can be shortened, and the productivity of long components such as a toric lens can be greatly improved.

【0016】被加工物の長手方向の形状変化に基づいて
被加工物の姿勢を変化させ、研磨点を研磨工具に対して
垂直に保つことで、長手方向の研磨の均一性を向上でき
る。
The uniformity of longitudinal polishing can be improved by changing the posture of the workpiece based on the change in the shape of the workpiece in the longitudinal direction and keeping the polishing point perpendicular to the polishing tool.

【0017】あるいは、被加工物の長手方向の形状変化
に基づいて被加工物の高さを変化させ、研磨点を研磨工
具に対して一定の高さに保つことで、短手方向の研磨の
均一性を向上できる。
Alternatively, the height of the workpiece is changed based on a change in the shape of the workpiece in the longitudinal direction, and the polishing point is maintained at a constant height with respect to the polishing tool, so that polishing in the short direction is performed. Uniformity can be improved.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0019】図1は一実施の形態による研磨方法を示す
もので、トーリック金型等の長尺なワーク(被加工物)
1 の被加工面に、図示しない研磨工具を押しつけて、
ワークW1 の長手方向に矢印Aで示すように相対的に走
査しながら、短手方向に矢印Bで示すように研磨工具を
揺動させ、かつ、矢印Cで示すようにワークW1 の長手
方向にも相対的に揺動させて、ワークW1 と研磨工具と
の間に摺り合わせを行なう。
FIG. 1 shows a polishing method according to an embodiment, and a long work (workpiece) such as a toric mold.
The treated surface of the W 1, is pressed against the polishing tool (not shown)
While relatively scanning as shown in the longitudinal direction of the work W 1 by the arrow A, in the lateral direction to oscillate the polishing tool as indicated by arrow B, and length of the workpiece W 1 as shown by an arrow C also is relatively swinging direction, performs lapping between the workpiece W 1 and the polishing tool.

【0020】例えば、ワークW1 の長手方向の移動は、
矢印Cで示すように前後に揺動しながら、1回の揺動で
少しずつ前進することで、矢印Aで示す走査を行なうも
のとする。これによって、短手方向と同様に長手方向に
も充分な研磨速度を得ることができる。このように長手
方向の研磨速度を充分に上げることで、長手方向の凹凸
やうねり、あるいは短手方向の加工痕等を短時間で完全
に除去できる。
For example, the movement of the work W 1 in the longitudinal direction is as follows.
Scanning indicated by arrow A is performed by advancing a little by one swing while swinging back and forth as indicated by arrow C. As a result, a sufficient polishing rate can be obtained in the longitudinal direction as well as in the lateral direction. By sufficiently increasing the polishing rate in the longitudinal direction, irregularities and undulations in the longitudinal direction, processing marks in the lateral direction, and the like can be completely removed in a short time.

【0021】ワークW1 の長手方向の揺動および走査
は、ワークW1 の被加工面の形状変化に合わせて、ワー
クW1 の傾きを調整しながら行なう。あるいは、研磨工
具に接触するワークW1 の研磨点すなわち加工点の高さ
を一定に保つためにワークW1の高さを変えることで、
均一な研磨を行なう。
The longitudinal direction of the swing and the scanning of the workpiece W 1 is in conformity with the shape change of the processed surface of the workpiece W 1, carried out while adjusting the inclination of the workpiece W 1. Alternatively, by changing the height of the workpiece W 1 to keep the height of the polishing point or working point of the workpiece W 1 in contact with the polishing tool constant,
Perform uniform polishing.

【0022】図2は、上記のように短手方向への揺動
と、長手方向への揺動および走査を行なう機構を備えた
研磨装置を示す。
FIG. 2 shows a polishing apparatus provided with a mechanism for swinging in the short direction and swinging and scanning in the long direction as described above.

【0023】研磨工具10は、押圧手段であるベロフラ
ムシリンダ11によって図示下方へ移動し、ワークW1
の被加工面に押圧され、短手方向揺動手段であるモータ
12の駆動によってワークW1 の短手方向に揺動する。
The polishing tool 10 is moved downward in the figure by a bellow frame cylinder 11 which is a pressing means, and the workpiece W 1 is moved.
Is pressed in the treated surface, swings in the lateral direction of the work W 1 by driving the motor 12 is a lateral direction rocking means.

【0024】ワークW1 を載せた載置台20の長手方向
の走査と揺動は、ステッピングモータ21によって駆動
されるボールネジ22の正逆回転によって行なわれるも
ので、ステッピングモータ21とボールネジ22の正逆
回転を制御する図示しないコントローラによって走査手
段および長手方向揺動手段が構成される。また、ワーク
1 の被加工面の形状変化に近似した曲率を有する一対
のテンプレート23に載置台20を追従させることで、
長手方向の走査や揺動中に、ワークW1 の傾き(姿勢)
または高さが調整され、被加工面に対して研磨工具10
が常に接触して均一な研磨が行なわれる。
The scanning and swinging in the longitudinal direction of the mounting table 20 on which the work W 1 is mounted is performed by forward and reverse rotation of a ball screw 22 driven by a stepping motor 21. The scanning means and the longitudinal swing means are constituted by a controller (not shown) for controlling the rotation. Further, by following the table 20 mounting a pair of templates 23 having a curvature close to the shape change of the processed surface of the workpiece W 1,
During the longitudinal direction of the scanning or oscillating, the inclination of the work W 1 (orientation)
Or the height is adjusted, and the polishing tool 10
Are constantly in contact with each other to perform uniform polishing.

【0025】研磨工具10の短手方向揺動機構を詳しく
説明すると、図5に示すように、モータ12に連結され
たリング13が矢印dの方向に回転し、ベアリング14
a,14bが両端についたロット棒15でリング13と
研磨工具支持体16を連結することにより、研磨工具1
0および研磨工具支持体16が一体となって支点eを中
心に揺動運動を行なうように構成されている。この短手
方向の揺動機構全体を上下動させることにより、ワーク
1 の短手方向の球心に支点eを合わせることができ
る。またリング13とベアリング14aの連結箇所をず
らすことで揺動幅を変えることができる。
The short-side swing mechanism of the polishing tool 10 will be described in detail. As shown in FIG. 5, the ring 13 connected to the motor 12 rotates in the direction of arrow d, and the bearing 14
By connecting the ring 13 and the polishing tool support 16 with lot rods 15 having both ends a and 14b, the polishing tool 1
The polishing tool support 16 and the polishing tool support 16 are integrally formed so as to perform a swinging motion about a fulcrum e. By vertically moving the entire swing mechanism of the lateral direction, it is possible to match the fulcrum e in the lateral direction of the workpiece W 1 spherical center. Further, the swinging width can be changed by shifting the connecting portion between the ring 13 and the bearing 14a.

【0026】研磨工具10は、ベロフラムシリンダ1
1、フローティングジョイント17、リニアスライダ1
8、球座19を連結したものの先端に連結されており、
図5の(b)に示すように、ベロフラムシリンダ11に
矢印fの方向の空圧を任意の圧力で導入すると、研磨工
具10はリニアスライダ18の動きに沿って略垂直方向
に一定荷重でワークW1 に接する。また球座19は、連
結した研磨工具10が全方位に傾斜できるように構成さ
れており、これによって、研磨工具10がワークW1
被加工面の形状に追随することができる。
The polishing tool 10 includes a bellofram cylinder 1
1, floating joint 17, linear slider 1
8, connected to the tip of the ball base 19,
As shown in FIG. 5B, when the pneumatic pressure in the direction of arrow f is introduced into the belofram cylinder 11 at an arbitrary pressure, the polishing tool 10 is moved in a substantially vertical direction along the movement of the linear slider 18 with a constant load. in contact with the workpiece W 1. The ball seat 19, linked polishing tool 10 is configured so as to be inclined in all directions, which makes it possible to polishing tool 10 to follow the shape of the processed surface of the workpiece W 1.

【0027】他方、ワークW1 の長手方向の揺動と走査
は、ワークW1 を乗せた載置台20が一対のテンプレー
ト23のガイド面23a上をボールネジ22の正逆回転
によって移動することによって行なわれる。すなわち、
載置台20と連結された支持体25が、ステッピングモ
ータ21に連結されたボールネジ22の正逆回転によっ
て長手方向に往復移動し、コントローラは、ワークW1
が一回の揺動で少しずつ前進するように制御する。この
ようにして、相対的に研磨工具10が長手方向にワーク
1 上を揺動・走査される。
[0027] On the other hand, scanning the longitudinal direction of the swing of the workpiece W 1 is carried out by placing table 20 carrying the workpiece W 1 is moved on the guide surface 23a of the template pair 23 by normal and reverse rotation of the ball screw 22 It is. That is,
The support 25 connected to the mounting table 20 reciprocates in the longitudinal direction by forward and reverse rotation of the ball screw 22 connected to the stepping motor 21, and the controller moves the work W 1.
Is controlled so that it moves forward little by little by one swing. In this way, relatively polishing tool 10 is swung-scanned over the workpiece W 1 in the longitudinal direction.

【0028】このテンプレート23のガイド面23aの
形状は、図6の(a),(b)に示すように、ワークW
1 の長手面の曲率に近似した曲率をもつ湾曲形状であ
り、研磨工具10と接触するワークW1 の研磨点におい
て被加工面の傾斜を無くして、研磨工具10に対して垂
直に保つように構成される。あるいは、図6の(c)に
示すように、ワーク長手面の形状を水平軸で反転させた
形状を、載置台20に連結したカムフォロア20a,2
0b(図3および図4参照)の間隔で2つ並べたガイド
形状にすることで、研磨点(加工点)の高さを一定に保
ち研磨工具10の球心揺動中心の位置を変化させないよ
うに構成する。
The shape of the guide surface 23a of the template 23 is, as shown in FIGS.
A curved shape having a curvature close to the curvature of the first longitudinal surface, eliminating the inclination of the work surface at the polishing point of the workpiece W 1 in contact with the polishing tool 10, to keep perpendicular to the polishing tool 10 Be composed. Alternatively, as shown in FIG. 6C, cam followers 20 a, 2 connected to the mounting table 20 are obtained by inverting the shape of the work longitudinal surface with respect to the horizontal axis.
0b (see FIG. 3 and FIG. 4), the height of the polishing point (working point) is kept constant, and the position of the center of oscillation of the spherical center of the polishing tool 10 is not changed. The configuration is as follows.

【0029】ワークの傾斜を無くすテンプレートのガイ
ド面の曲率半径Rは以下のように求める。図7および図
8で示すような凸形状のワークW2 および凹形状のワー
クW 3 の場合に、以下の式(1)で表わされるワーク長
手方向の非球面形状を式(2)で表わされる最小二乗法
で近似する。ここでRa は基本曲率、k、Bi は非球面
係数を表わす。
Template Guy for Eliminating Work Inclination
The radius of curvature R of the curved surface is obtained as follows. FIG. 7 and FIG.
Work W having a convex shape as shown in FIG.TwoAnd concave shaped work
W ThreeIn the case of, the work length represented by the following equation (1)
Least-squares method expressing the aspherical shape in the hand direction by equation (2)
Approximation. Where RaIs the basic curvature, k, BiIs aspheric
Indicates a coefficient.

【0030】[0030]

【数1】 (Equation 1)

【0031】[0031]

【数2】 (Equation 2)

【0032】図9および図10に示すように、ワークW
2 ,W3 の長手近似曲率半径をRm、載置台20のカム
フォロア20a,20bの中心からワークセンターの高
さをh、載置台20のカムフォロア20a,20b間の
距離の1/2をB、カムフォロア20aの半径をRrと
すると、求めるテンプレート20のRは、以下の式
(3)および式(4)に示すようになる。
As shown in FIG. 9 and FIG.
2 , the radius of curvature of the longitudinal approximation of W 3 is R m , the height of the work center from the center of the cam followers 20a, 20b of the mounting table 20 is h, and 1/2 of the distance between the cam followers 20a, 20b of the mounting table 20 is B, Assuming that the radius of the cam follower 20a is Rr, the R of the template 20 to be obtained is as shown in the following equations (3) and (4).

【0033】[0033]

【数3】 (Equation 3)

【0034】[0034]

【数4】 (Equation 4)

【0035】また、研磨点の高さを一定に保ち球心揺動
中心の位置を変化させないようにするためのテンプレー
トのガイド面は、式(1)で示す非球面形状を以下の式
(5)のように符号を逆にした形で表わし、これを図6
の(c)のようにカムフォロア20a,20b間の距離
で並べた形状にする。
Further, the guide surface of the template for keeping the height of the polishing point constant and not changing the position of the center of swing of the spherical center has the aspherical shape shown by the equation (1) and the following equation (5). ), The sign is reversed, and this is shown in FIG.
(C), the shapes are arranged at the distance between the cam followers 20a and 20b.

【0036】[0036]

【数5】 (Equation 5)

【0037】次に、載置台20の長手方向の駆動機構を
詳しく説明する。図3に示すように、載置台20は載置
台下部に設けたジョイント24で、ボールネジ22の回
転により長手方向に移動する支持体25を挟むことによ
り、長手方向に駆動するようになっている。
Next, the driving mechanism of the mounting table 20 in the longitudinal direction will be described in detail. As shown in FIG. 3, the mounting table 20 is driven in the longitudinal direction by sandwiching a support 25 that moves in the longitudinal direction by rotation of the ball screw 22 with a joint 24 provided below the mounting table.

【0038】ジョイント24と支持体25は上下方向に
自由度がある状態で連結されており、従って、テンプレ
ート23の形状に沿って載置台20が上下動することが
できる。
The joint 24 and the support 25 are connected with a degree of freedom in the vertical direction, so that the mounting table 20 can move up and down along the shape of the template 23.

【0039】また、図4に示すように、一対のテンプレ
ート23のガイド面23a上を、載置台20の両側面に
設けた4箇所のカムフォロア20a,20bが転がるこ
とで、載置台20が移動する。載置台20の下面には、
別の4個のカムフォロア20c,20dがテンプレート
23の内側面に接するように設けられ、片側2個のカム
フォロア20c,20dは、バネ26を内蔵していて、
常に外側に押し出されてテンプレート23の内側面に押
しつけられるように付勢されている。このようなガイド
機構があるため、一対のテンプレート23の間を載置台
20が傾くことなく、滑らかに移動することができる。
As shown in FIG. 4, the cam followers 20a and 20b provided on both sides of the mounting table 20 roll on the guide surfaces 23a of the pair of templates 23, so that the mounting table 20 moves. . On the lower surface of the mounting table 20,
Another four cam followers 20c and 20d are provided so as to be in contact with the inner surface of the template 23. The two cam followers 20c and 20d on one side incorporate a spring 26, and
It is urged so that it is always pushed outward and pressed against the inner surface of the template 23. With such a guide mechanism, the mounting table 20 can move smoothly between the pair of templates 23 without tilting.

【0040】本実施の形態によれば、直交する2軸の方
向で曲率の異なる長尺のワークの研磨加工において、長
手方向の凹凸やうねり、あるいは短手方向の加工痕等を
短時間で完全に除去するとともに、ワークの被加工面の
形状変化に追随して極めて均等な研磨を行なうことがで
きる。
According to the present embodiment, in the polishing of a long workpiece having different curvatures in the directions of two orthogonal axes, irregularities and undulations in the longitudinal direction, processing marks in the lateral direction, and the like can be completely eliminated in a short time. And very uniform polishing can be performed following changes in the shape of the work surface of the workpiece.

【0041】[0041]

【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、次に記載するような効果を奏する。
Since the present invention is configured as described above, the following effects can be obtained.

【0042】あらゆる形状のワークを均一に研磨できる
うえに、加工時間を大幅に短縮できる。これによって、
トーリックレンズ等の低価格化に大きく貢献できる。
The work of any shape can be uniformly polished and the processing time can be greatly reduced. by this,
This can greatly contribute to lower prices for toric lenses and the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】一実施の形態による研磨方法を説明する図であ
る。
FIG. 1 is a diagram illustrating a polishing method according to an embodiment.

【図2】上記の実施の形態による研磨装置を示す斜視図
である。
FIG. 2 is a perspective view showing a polishing apparatus according to the embodiment.

【図3】長手方向の駆動機構を示す模式立面図である。FIG. 3 is a schematic elevation view showing a driving mechanism in a longitudinal direction.

【図4】図3の装置を示す側面図である。FIG. 4 is a side view showing the apparatus of FIG. 3;

【図5】短手方向の揺動機構を説明する図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a lateral swing mechanism.

【図6】ワークの形状とテンプレートの形状の関係を示
す図である。
FIG. 6 is a diagram illustrating the relationship between the shape of a work and the shape of a template.

【図7】凸形状のワークの形状変化の近似方法を説明す
る図である。
FIG. 7 is a diagram illustrating an approximation method of a shape change of a convex workpiece.

【図8】凹形状のワークの形状変化の近似方法を説明す
る図である。
FIG. 8 is a diagram illustrating an approximate method of shape change of a concave workpiece.

【図9】凸形状のワーク用のテンプレート形状の算出方
法を説明する図である。
FIG. 9 is a diagram illustrating a method for calculating a template shape for a convex workpiece.

【図10】凹形状のワーク用のテンプレート形状の算出
方法を説明する図である。
FIG. 10 is a diagram illustrating a method of calculating a template shape for a concave workpiece.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 研磨工具 11 ベロフラムシリンダ 12 モータ 16 工具支持体 17 フローティングジョイント 20 載置台 20a〜20d カムフォロア 21 ステッピングモータ 22 ボールネジ 23 テンプレート 24 ジョイント 25 支持体 26 バネ Reference Signs List 10 polishing tool 11 bellofram cylinder 12 motor 16 tool support 17 floating joint 20 mounting table 20a to 20d cam follower 21 stepping motor 22 ball screw 23 template 24 joint 25 support 26 spring

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 研磨工具を被加工物に押しつけて、該被
加工物の短手方向に前記研磨工具を揺動させながら前記
被加工物の長手方向に相対的に走査する工程を有する研
磨方法であって、前記研磨工具を前記被加工物の前記長
手方向に相対的に揺動させながら走査することを特徴と
する研磨方法。
1. A polishing method comprising the steps of: pressing a polishing tool against a workpiece, and relatively scanning in the longitudinal direction of the workpiece while swinging the polishing tool in the short direction of the workpiece. A polishing method, wherein scanning is performed while the polishing tool is relatively oscillated in the longitudinal direction of the workpiece.
【請求項2】 被加工物を長手方向に移動させるとき
に、前記被加工物の形状変化に基づいて前記被加工物の
姿勢または高さを制御することを特徴とする請求項1記
載の研磨方法。
2. The polishing method according to claim 1, wherein when the workpiece is moved in the longitudinal direction, the posture or the height of the workpiece is controlled based on a change in the shape of the workpiece. Method.
【請求項3】 研磨工具と、該研磨工具を被加工物に押
しつける押圧手段と、前記研磨工具を前記被加工物の短
手方向に揺動させる短手方向揺動手段と、前記被加工物
をその長手方向に走査する走査手段と、前記被加工物を
前記長手方向に揺動させる長手方向揺動手段を有する研
磨装置。
3. A polishing tool, pressing means for pressing the polishing tool against a workpiece, short-side swing means for swinging the polishing tool in a short direction of the workpiece, and the workpiece And a longitudinal direction swinging means for swinging the workpiece in the longitudinal direction.
【請求項4】 走査手段および長手方向揺動手段が、正
逆回転自在なステッピングモータとボールネジ、および
前記ステッピングモータの正逆回転を制御するコントロ
ーラによって構成されていることを特徴とする請求項3
記載の研磨装置。
4. The scanning means and the longitudinal swinging means are constituted by a stepping motor and a ball screw which can freely rotate forward and backward, and a controller which controls forward and reverse rotation of the stepping motor.
The polishing apparatus according to the above.
【請求項5】 被加工物の長手方向の形状変化に基づい
て前記被加工物の姿勢または高さを制御する一対のテン
プレートが設けられていることを特徴とする請求項3ま
たは4記載の研磨装置。
5. A polishing machine according to claim 3, wherein a pair of templates for controlling the posture or height of the workpiece based on a change in the shape of the workpiece in the longitudinal direction is provided. apparatus.
【請求項6】 被加工物を載置する載置台が、各テンプ
レートのガイド面に当接されるカムフォロワと、各テン
プレートの内側面に当接されるカムフォロワを備えてい
ることを特徴とする請求項5記載の研磨装置。
6. A mounting table on which a workpiece is placed has a cam follower abutting on a guide surface of each template and a cam follower abutting on an inner surface of each template. Item 6. The polishing apparatus according to Item 5.
【請求項7】 カムフォロワをテンプレートの内側面に
押しつけるためのバネが設けられていることを特徴とす
る請求項6記載の研磨装置。
7. The polishing apparatus according to claim 6, further comprising a spring for pressing the cam follower against the inner surface of the template.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101530518B1 (en) * 2014-03-07 2015-06-23 (주)삼영피팅 Grinder for fitting part
CN109514355A (en) * 2018-11-06 2019-03-26 云南北方驰宏光电有限公司 The processing method and system of processing of aspherical cylindrical mirror
CN115946029A (en) * 2023-03-10 2023-04-11 河北通达泵阀集团有限公司 Burnishing device of ball valve case

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