JP3990205B2

JP3990205B2 - Polishing equipment

Info

Publication number: JP3990205B2
Application number: JP2002180800A
Authority: JP
Inventors: 貴重白鳥; 幸治石崎; 真司横山
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2002-06-21
Filing date: 2002-06-21
Publication date: 2007-10-10
Anticipated expiration: 2022-06-21
Also published as: JP2004025314A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、比較的小径の光学素子等の被研磨物を球心揺動により研磨する研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光学素子としてのレンズ等の曲面を研磨する研磨装置では、研磨工具としての砥石とレンズとを任意の押圧力で当て付けた状態で、それらの相互回転による接触面の滑りと、その滑り面に研磨剤を介在させることによる微量研削により表面仕上げを行っている。この研磨機においては、砥石の形状誤差等を排除すると共に面精度を向上させるため、レンズあるいは砥石側を揺動運転させている。例えば、特公平６−２２７９９号公報には、このような揺動運動を行うのに加えて、揺動面方向への直動機構を設けることにより大口径レンズにも対応するようになっている。
【０００３】
図６及び図７は、このような揺動を行いながら研磨する場合の従来の概念を示し、下軸受１２０の回転軸１２１にその回転軸１６１が一致するように上軸受１６０が上方に配置されている。下軸受１２０は砥石１４０を保持しており、モータ１１０が駆動することにより、砥石１４０を保持した状態で所定の回転数で回転する。
【０００４】
上軸受１６０の下端にはレンズ１５０が保持されている。レンズ１５０は下軸受１２０の方向に任意の押圧力で押し出されるように、また、外力によって回転可能なように上軸受１６０に保持されている。
【０００５】
下軸受１２０側の砥石１４０と上軸受１６０側のレンズ１５０は、その曲率中心点が下軸受１２０の回転軸１２１及び上軸受１６０の回転軸１６１の延長線上にあるように形状が関連付けられており、レンズ１５０は上軸受１６０により砥石１４０に圧接されているため、レンズ１５０及び砥石１４０の曲率中心点が空間上で一致している。
【０００６】
この曲率中心点を揺動中心ｄとして、設定角度により上軸受１６０が円弧運転する。その際に、上軸受１６０の回転軸１６１の軌跡が描く平面は、下軸受１２０の回転軸１２１と同一平面となる。この状態で、砥石１４０を回転させながら、その摺動抵抗によりレンズ１５０を追従回転させるか、あるいはレンズ１５０を強制的に回転し、接触面に生じる抵抗により研磨加工を行う。
【０００７】
この場合、砥石１４０あるいはレンズ１５０の回転中心付近は周速が遅いため、外周付近と比べて加工速度が遅れる。このため、研磨加工を行う際には、砥石１４０とレンズ１５０の回転中心をずらすことが行われている。また、クセのない良好な仕上げを行うために、レンズ１５０と砥石１４０との接触箇所を分散させる必要があり、このために上軸受１６０が揺動して接触箇所を逐次移動させている。
【０００８】
図６においては、上軸受１６０の揺動幅の中心軸が下軸受１２０と一致しているが、図７においては、下軸受１２０とある任意の角度を持った位置を揺動幅中心としている。これらの揺動幅中心や揺動幅角度、砥石やレンズの回転数等はレンズの種類や加工条件によって異ならせるかあるいは複数を組み合わせて使用するものである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
以上の従来技術では、比較的小径のレンズを研磨する際に、次のような問題点を有している。
【００１０】
図８（ａ）、（ｂ）は、研磨工具としての砥石１４０を示す。同図（ａ）は凹面レンズ用の砥石であり、凹面レンズに合わせて円弧状の凸形状となっており、（ｂ）は凸面レンズ用の砥石であり、凸面レンズに合わせて円弧状の凹面形状となっている。これら砥石１４０には、レンズと砥石の接触面に研削液を介在させたり、研磨によって生じるスラッジを研磨面から排出するために、十字形状等の溝３０が形成されている。この溝３０は、レンズ径が小さくなるのにつれて砥石径に対して占める割合が増大するものである。例えば、レンズ径が直径２ｍｍ程度の場合、溝幅は０．３ｍｍ程度となり、砥石の研磨面の多くを溝３０が占めることとなる。
【００１１】
図９は、図６で示す揺動運動によってレンズ１５０が砥石１４０に対して描く軌跡３１を示している。砥石１４０には十字形状の溝３０が形成されており、溝３０の交点であり且つ砥石１４０の回転中心である位置においては、溝３０の対角線に従ってレンズ１５０と砥石１４０とが接触しない円が形成される。軌跡３１は、上軸受１６０が揺動した際に、レンズ１５０と砥石１４０との非接触部が描く円の移動する状態を表している。揺動幅が小さい場合、砥石１４０の溝３０の幅が大きく、レンズ１５０の中心部においては砥石１４０への接触が極めて少ない部分が生じている。これに加えて、回転中心付近は外周部に比べ周速が劣るため、研磨進行速度に遅れが生じる。このため、レンズにクセが生じる等の品質不良や研磨効率が低下する問題が発生する。
【００１２】
図７に示すように、上軸受１６０の回転軸１６１の揺動中心を下軸受１２０の回転軸１２１に対して傾斜させた場合の軌跡は、図９における揺動軌跡３１がその揺動方向にスライド移動するため、溝３０の中心と揺動幅中心とがずれる。このため、図６のような問題点は、若干改善される。しかしながら、小径レンズの場合には、レンズ径に対して溝幅が大きいことから、揺動角度や揺動中心角度を大きくする必要があり、このように大きくした場合には、レンズ１５０と砥石１４０とが上軸受１６０による押圧により接触状態が保持されているだけであるため、揺動中にレンズ１５０と砥石１４０とが外れて研磨ができなくなる問題を有している。
【００１３】
本発明は、このような従来の問題点を考慮してなされたものであり、小径レンズ等の小さなワークに対しても、高効率且つ高精度で研磨することが可能な研磨装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１の発明の研磨装置は、
ワークと砥石とを所定の圧力で接触させながら相互に回転及び球心揺動させることにより研磨を行う研磨装置において、円弧状の凸または凹の研磨面を有する前記砥石を保持して回転させる工具回転機構と、前記砥石の研磨面に対応した凹または凸の曲面を有するワークを回転可能に保持するワーク回転機構と、前記砥石の前記研磨面と前記ワークの前記曲面とが接触面として当て付けられ前記工具回転機構の回転軸と前記ワーク回転機構の回転軸との交点が前記砥石の曲率中心と一致された状態で、前記砥石の曲率中心を通る軸を揺動軸として、前記工具回転機構の回転軸と前記ワーク回転機構の回転軸とを相対的に揺動させる揺動機構と、前記揺動機構により揺動される前記工具回転機構の回転軸または前記ワーク回転機構の回転軸の揺動平面と交差する平面内で、前記砥石の曲率中心を中心としてワーク回転機構の回転軸を傾斜させて角度調整し、前記工具回転機構の回転軸と前記ワーク回転機構の回転軸とを交差させる軸傾斜機構と、を備え、前記ワーク回転機構の回転軸を傾斜させる角度調整は、前記揺動機構の揺動軸を軸として一端が取り付けられた上軸アームにおける、前記砥石の曲率中心を中心とする上軸アームの曲面に沿って移動することにより行われることを特徴とする。
【００１５】
この発明では、揺動機構が工具回転機構の回転軸またはワーク回転機構の回転軸を揺動させる際に、軸傾斜機構が揺動平面と交差する平面内で、砥石の曲率中心を中心としてワーク回転機構の回転軸を傾斜させて角度調整することにより、砥石に対するワークの接触部位を任意に変更することができる。従って、研磨速度をワークの全面で均等にすることができると共に、砥石に溝が形成されていてもワークと砥石との接触を良好に行うことができる。このため、径の小さなワークであっても、揺動角度や揺動中心角度を大きくする必要なく、高効率且つ高精度で研磨することができる。
【００１６】
請求項２から４の発明は、請求項１記載の研磨装置であって、前記軸傾斜機構による前記ワーク回転機構の回転軸を傾斜させる角度調整は、ワークへの研磨時に前記角度調整を任意の角度で行って固定または連続的または断続的に行うことを特徴とする。
【００１７】
この発明では、ワークの研磨時に、ワーク回転機構の回転軸の角度調整を行うため、研磨状態に応じた調整を行うことができ、高精度な研磨を行うことができる。
また、請求項１記載の研磨装置であって、前記工具回転機構は、前記砥石を回転可能に支持する下軸受を有することを特徴とする。また、前記ワーク回転機構は、前記ワークを回転可能かつ前記砥石に対して加圧可能に支持する上軸受を有することを特徴とする。また、前記ワーク回転機構の回転軸を傾斜させる角度調整は、前記揺動機構の揺動軸を軸として一端が取り付けられた上軸アームにおける、前記砥石の曲率中心を中心とする上軸アームの曲面に沿って、前記上軸受を支持する移動ブロックを移動することにより行われることを特徴とする。また、前記砥石は、前記研磨面に溝を有することを特徴とする。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図示する実施の形態により、具体的に説明する。なお、各実施の形態において、同一の部材には同一の符号を付して対応させてある。
【００１９】
（実施の形態１）
図１〜図３は、本発明の実施の形態１を示し、図１は研磨装置の全体の斜視図である。この実施の形態の研磨装置は、図１に示すように、下軸受２と、上軸受１１と、上軸アーム８とを備えている。
【００２０】
下軸受２の上端には砥石クランプ３が取り付けられており、砥石クランプ３に、工具としての砥石４が着脱自在に保持されている。下軸受２の下端には、正逆方向に回転自在で且つ回転数の設定が可能な砥石用モータ１が配置されており、砥石用モータ１の駆動によって砥石４が回転するようになっている。従って、砥石用モータ１、下軸受２及び砥石クランプ３によって砥石４を保持して回転させる工具回転機構４０が構成されている。
【００２１】
砥石４はその中心軸が下軸受２の回転軸と同軸となるように砥石クランプ３に保持されている。この下軸受２の回転軸は、工具回転機構４０の回転軸４１となっている。なお、砥石用モータ１としては、サーボモータ、ステッピングモータ、インダクションモータ等のモータを使用することができる。
【００２２】
また、下軸受２は、回転軸４１方向へ上下動自在な機構（図示省略）が組まれており、これにより、砥石４を任意の高さで停止可能となっている。この上下動機構としては、サーボモータやパルスモータと直動ガイドの組み合わせ等、適宜選択することができる。
【００２３】
上軸受１１の下端からはシャフト７が軸方向に延びており、上軸受１１はシャフト７を回転可能とすると共に、任意の力量で下方に加圧可能としている。シャフト７の先端には、レンズ保持手段を有したジョイント６が取り付けられ、レンズ保持手段にワークとしてのレンズ５が脱着自在に保持されている。上軸受１の上端には、シャフト７を任意の回転数で回転可能とするレンズ用モータ１２が取り付けられている。このような上軸受１１、ジョイント６及びレンズ用モータ１２は、レンズ５を回転可能に保持するワーク回転機構４３を構成している。このワーク回転機構４３の回転軸４４は、工具回転機構４０の回転軸４１と交差するようになっている。
【００２４】
以上のような工具回転機構４０及びワーク回転機構４３を設けることにより、レンズ５と砥石４とが所定の接触圧で接触した状態で相互に回転し、この加圧状態での回転によってレンズ５の研磨を行う。なお、レンズ５が砥石４の回転に伴って追従回転して研磨を行う場合には、レンズ用モータ１２を駆動しないか、省いても良い。
【００２５】
上軸アーム８は、工具回転機構４０及びワーク回転機構４３の間に挿入されている。上軸アーム８は上方に滑らかに湾曲した形状となっており、レール９がその長さ方向に沿って形成されている。この上軸アーム８には、移動ブロック１０がレール９に沿って移動可能に取り付けられている。移動ブロック１０は、その下面が上軸アーム８の曲面と同じ曲面となっていることにより、レール９に沿って上軸アーム８上を滑らかに移動することが可能となっている。
【００２６】
移動ブロック１０には、上軸受１１が支持されており、これによりワーク回転機構４３の全体が移動ブロック１０と共に上軸アーム８上を移動可能となっている。この場合、ワーク回転機構４３の回転軸４４が上軸アーム８の曲率中心と交差すると共に下軸受２の回転軸（工具回転機構４０の回転軸４１）と交差するように移動ブロック１０の移動及び停止が行われるものである。
【００２７】
このような上軸アーム８及び移動ブロック１０は、後述する揺動機構４７が描く揺動平面と交差する平面内でワーク回転機構４３の回転軸４４を工具回転機構４０の回転軸４１に対して角度調整する軸傾斜機構４５を構成する。
【００２８】
この場合、移動ブロック１０の移動は、上軸アーム８に取り付けられた傾斜用モータ１３の駆動によって行われるものであり、傾斜用モータ１３と移動ブロック１０とが図示を省略した動力伝達手段によって連結されている。動力伝達手段としては、タイミングベルト、ワイヤ、スチールベルト等であっても良く、上軸アーム８の曲面自体をリニアパルスモータとしても良く、油圧駆動や空圧駆動あるいは傾斜用モータ１３を設けることなく、手動による移動であっても良い。
【００２９】
上軸アーム８は、揺動軸受１４の軸１４ａに取り付けられており、揺動軸受１４の他端には、角度割り出し可能な揺動用モータ１５が取り付けられている。揺動用モータ１５は、サーボモータ、パルスモータ、シンクロナスモータ、インダクションモータ等を用いることができる。このような構成では、揺動用モータ１５の駆動によって上軸アーム８が揺動軸受１４の軸１４ａを中心に揺動するものであり、上軸アーム８の揺動によってワーク回転機構４３の回転軸４４が工具回転機構４０の回転軸４１に対して揺動する。このため、揺動軸受１４、揺動用モータ１５及び上軸アーム８が揺動機構４７を構成している。
【００３０】
なお、下軸受２の上下動に代えて、揺動軸受１４がその構成物と共に上下動及び任意の高さで停止自在としても良い。
【００３１】
この実施の形態において、上軸アーム８の曲面の中心線は、揺動軸受１４の軸１４ａの延長軸（揺動軸）４８と工具回転機構４０（下軸受２）の回転軸４１との交点になるよう設定されるものである。これにより、ワーク回転機構４３（上軸受１１）の回転軸４４は、上軸受１１が上軸アーム８上のどの位置にあっても、工具回転機構４０の（下軸受２）の回転軸４１と一致させることが可能となっている。
【００３２】
次に、この実施の形態の作用を説明する。
【００３３】
砥石４は、砥石用モータ１により任意の回転数で矢印ｃのように回転するが、回転方向はこれに定まるものではない。レンズ５は、レンズ用モータ１２が駆動することにより、その回転を伝達するシャフト７及びジョイント６を介して任意の回転数で回転する。また、レンズ５は上軸受１１内に設けられている加圧機構により砥石４に対して設定された圧力で圧接された状態となる。
【００３４】
傾斜用モータ１３は、上軸アーム８上の曲面に沿った矢印ｂで示す方向の任意の位置に移動ブロック１０を移動させる。これにより、工具回転機構４０（下軸受２）の回転軸４１とワーク回転機構４３（上軸受１１）の回転軸４４とのなす角度を矢印ａで示す揺動平面と交差する平面内で調整することができる。この調整においては、移動ブロック１０を矢印ｂで示すＹ軸傾斜の方向に任意の角度に停止させても良く、または角度を固定することなく任意にその角度を変更しても良く、さらには、移動ブロック１０を上軸アーム８上で揺動運動させることにより、角度調整を連続的に行っても良い。
【００３５】
一方、揺動軸受１４の軸１４ａは、揺動用モータ１５による任意の角度及び任意の速度の揺動を上軸アーム８に伝達する。これにより、ワーク回転機構４３を介して上軸アーム８に間接的に設けられたレンズ５は、砥石４に対して揺動軸４８を中心にして矢印ａで示す方向に揺動する。この揺動を行う際には、下軸受２または揺動軸受１４はその上下機構により、揺動中心とレンズ曲率中心とが一致するよう高さを補正する。
【００３６】
図２は、以上によって行われる揺動を示している。傾斜用モータ１３の駆動により移動ブロック１０が移動することにより、上軸受１１は下軸受２に対して、揺動中心ｄを軸として任意の角度ｅで傾斜する。これにより、上軸受１１は角度ｅの平面内で揺動し、レンズ５の研磨が行われる。
【００３７】
図３は、図２の状態における砥石４に対してのレンズ５の軌跡３２を示し、砥石４には、図８と同様に十字状の溝３０が形成されている。図９の従来におけるレンズの中心部付近の軌跡３１に対し、上軸１１を角度ｅで傾斜させることにより、軌跡３２が砥石４の中心から砥石４の外周部側に移動し、この状態でレンズ５の研磨が行われる。
【００３８】
このような研磨では、レンズ５と砥石４の周速の遅い部分を常時、確実にずらすことが可能となり、同時に砥石４の溝３０による加工不足部分をなくすことが可能となる。これにより、レンズ５の全体を均一に研磨することができ、小径のレンズ５であっても、揺動角度や揺動中心角度を大きくすることなく、高効率且つ高精度で研磨することができる。
【００３９】
なお、この実施の形態では、工具回転機構４０（下軸受２）を固定し、ワーク回転機構（上軸受１１）を傾斜しているが、工具回転機構４０（下軸受２）を傾斜し、ワーク回転機構（上軸受１１）を固定しても同様な効果を得ることが可能である。
【００４０】
（実施の形態２）
図４及び図５は、本発明の実施の形態２を示す。この実施の形態では、実施の形態１において上軸アーム側８が有している軸傾斜機構４５及び揺動機構４７を上下に分離した構成としたものである。
【００４１】
砥石４が取り付けられた下軸受２はＬ字形の下軸アーム２０に支持され、下軸アーム２０が揺動軸受１４に取り付けられている。すなわち、下軸アーム２０はその上部が揺動軸受１４の軸１４ａに取り付けられており、揺動用モータ１５が駆動することにより、下軸アーム２０が揺動軸４８を中心にして矢印ａで示す方向に揺動するようになっている。これにより、下軸受２も下軸アーム２０と一体となって矢印ａ方向に揺動する。
【００４２】
この実施の形態においても、下軸受２は工具回転機構４０の構成部材となっており、その回転軸４１は揺動機構４７の構成部材である揺動軸受１４の軸１４ａと直交している。また、この直交点には、ワーク回転機構４３の構成部材である、上軸受１１の回転軸４４も交差するようになっている。
【００４３】
上軸アーム２２はＬ字形となっており、ワーク５を着脱自在に保持する上軸受１１がこの上軸アーム２２に起立上に取り付けられている。また、上軸アーム２２は、傾斜軸受２１の傾斜軸２５に取り付けられている。傾斜軸受２１は傾斜用モータ１３を備えており、傾斜用モータ１３が駆動することにより、上軸アーム２２、すなわち上軸受１１が矢印ｂで示す方向に沿って任意の角度で傾斜するようになっている。
【００４４】
この実施の形態において、上軸受１１はワーク回転機構４３の構成部材、傾斜軸受２１は軸傾斜機構の構成部材となっており、上軸受１１の回転軸４４は傾斜軸受２１の傾斜軸２５と交差している。また、傾斜軸受２１の傾斜軸２５は揺動機構４７（揺動軸受１４）の揺動軸４８とも交差している。
【００４５】
この実施の形態の作用において、揺動用モータ１５は、揺動軸受１４の揺動軸４８を揺動させることにより、揺動軸４８を中心に下軸アーム２０を矢印ａで示すＸ軸傾斜の方向に揺動する。これにより下軸受２は、下軸アーム２０と共にＸ軸傾斜の方向への揺動を行い、同時に下軸アーム２０の取付面に対して、上下に微動を行い、砥石４及びレンズ５の曲率中心を揺動軸４８に一致させる。
【００４６】
傾斜用モータ１３は傾斜軸受２１の傾斜軸２５を駆動することにより、上軸受１１が任意の位置になるよう位置決めする。あるいは、この作動は下軸受２側が行っても良い。
【００４７】
上軸アーム２２及び上軸受１１は、傾斜用モータ１３の駆動により矢印ｂで示すＹ軸傾斜ｂの方向への任意の角度変化や揺動が可能となっている。これにより、傾斜用モータ１３あるい揺動用モータ１５によって上軸受１１と下軸受２とに角度を設けることができる。従って、揺動中において、実施の形態１と同様に、回転軸４１，４４が常に相互に任意の角度で交差する。ここで、上軸受１１の加圧により、レンズ５を砥石４に圧接したままで傾斜用モータ１３あるいは揺動用モータ１５を停止したり間欠駆動したり、あるいは揺動駆動することにより、図３と同様の軌跡を得ることが可能となる。なお、この際には、上下軸の構成は入れ替わっても構わない。
【００４８】
図５は、傾斜用モータ１３及び揺動用モータ１５の双方が運転を行った際における砥石４に対するレンズ５の軌跡３３を示す。Ｙ軸傾斜ｂとＸ軸傾斜ａとが同時に行われることにより、レンズ４の軌跡３３を、砥石５の全体的に分散させることが可能となる。
【００４９】
このような実施の形態においても、実施の形態１と同様に、レンズ５と砥石４の周速の遅い部分をずらすことが可能となり、しかも砥石４の溝３０による加工不足部分をなくすことが可能となるため、レンズ５の全体を均一に研磨することができ、小径のレンズ５であっても、揺動角度や揺動中心角度を大きくすることなく、高効率且つ高精度で研磨することができる。また、この実施の形態では、Ｘ軸傾斜の方向とＹ軸傾斜の方向への傾斜角度を変更させることにより、砥石４とレンズ５との接触を分散させることが可能となるため、さらに研磨精度を向上させることができ、砥石４の形状の安定化や耐久性をも向上させることが可能となる。
【００５０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ワーク回転機構の回転軸と工具回転機構の回転軸との角度付けを行い、この状態での揺動研磨が可能となるため、小径のワークに対しても精度良く研磨加工を行うことができる。また、径の大きなワークにおいても同様な高精度な加工を行うことができる。さらに、回転軸の角度付けをワーク加工中に可変する場合においては、砥石の形状をより精度良く保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１の全体斜視図である。
【図２】（ａ）及び（ｂ）は実施の形態１の作動を示す斜視図及び正面図である。
【図３】実施の形態１の研磨時におけるレンズの軌跡を示す平面図である。
【図４】本発明の実施の形態２の全体斜視図である。
【図５】実施の形態２の研磨時におけるレンズの軌跡を示す平面図である。
【図６】（ａ）及び（ｂ）は、従来における研磨時の作動の斜視図及び正面図である。
【図７】（ａ）及び（ｂ）は、別の従来における研磨時の作動の斜視図及び正面図である。
【図８】（ａ）及び（ｂ）は、砥石の斜視図である。
【図９】従来における研磨時のレンズの軌跡を示す平面図である。
【符号の説明】
４砥石
５レンズ
４０工具回転機構
４１工具回転機構の回転軸
４３ワーク回転機構
４４ワーク回転機構の回転軸
４５軸傾斜機構
４７揺動機構[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a polishing apparatus for polishing an object to be polished such as an optical element having a relatively small diameter by swinging a ball center.
[0002]
[Prior art]
In a polishing apparatus that polishes a curved surface such as a lens as an optical element, the contact surface slips due to their mutual rotation in a state in which a grindstone as a polishing tool and a lens are applied with an arbitrary pressing force, and the sliding surface Surface finishing is performed by micro-grinding with an abrasive. In this polishing machine, the lens or the grindstone side is oscillated to eliminate the shape error of the grindstone and improve the surface accuracy. For example, in Japanese Patent Publication No. 6-22799, in addition to performing such a swinging motion, a linear motion mechanism in the swinging surface direction is provided to cope with a large-aperture lens. .
[0003]
6 and 7 show a conventional concept in the case of polishing while performing such swinging, and the upper bearing 160 is arranged on the upper side so that the rotating shaft 161 coincides with the rotating shaft 121 of the lower bearing 120. ing. The lower bearing 120 holds the grindstone 140 and rotates at a predetermined number of rotations while holding the grindstone 140 when the motor 110 is driven.
[0004]
A lens 150 is held at the lower end of the upper bearing 160. The lens 150 is held by the upper bearing 160 so as to be pushed out with an arbitrary pressing force in the direction of the lower bearing 120 and to be rotatable by an external force.
[0005]
The shapes of the grinding wheel 140 on the lower bearing 120 side and the lens 150 on the upper bearing 160 side are related so that the center of curvature is on the extension line of the rotating shaft 121 of the lower bearing 120 and the rotating shaft 161 of the upper bearing 160. Since the lens 150 is pressed against the grindstone 140 by the upper bearing 160, the center of curvature of the lens 150 and the grindstone 140 coincide in space.
[0006]
With this curvature center point as the swing center d, the upper bearing 160 operates in an arc according to the set angle. At this time, the plane drawn by the locus of the rotating shaft 161 of the upper bearing 160 is the same plane as the rotating shaft 121 of the lower bearing 120. In this state, while the grindstone 140 is rotated, the lens 150 is rotated following the sliding resistance, or the lens 150 is forcibly rotated, and polishing is performed by the resistance generated on the contact surface.
[0007]
In this case, since the peripheral speed is low near the rotation center of the grindstone 140 or the lens 150, the processing speed is delayed as compared with the vicinity of the outer periphery. For this reason, when polishing is performed, the rotation centers of the grindstone 140 and the lens 150 are shifted. Further, in order to achieve a good finish without habit, it is necessary to disperse the contact portions between the lens 150 and the grindstone 140, and for this purpose, the upper bearing 160 is swung to sequentially move the contact portions.
[0008]
In FIG. 6, the center axis of the swing width of the upper bearing 160 coincides with the lower bearing 120, but in FIG. 7, a position having an arbitrary angle with the lower bearing 120 is the center of the swing width. . These rocking width centers, rocking width angles, grindstones, lens rotation speeds, and the like are different depending on the type of lens and processing conditions, or a plurality of them are used in combination.
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
The above prior art has the following problems when polishing a relatively small diameter lens.
[0010]
FIGS. 8A and 8B show a grindstone 140 as a polishing tool. The figure (a) is a grindstone for a concave lens, which has an arcuate convex shape to match the concave lens, and (b) is a grindstone for a convex lens, arcuate concave surface to match the convex lens. It has a shape. In these grindstones 140, a cross-shaped groove 30 is formed in order to allow a grinding liquid to intervene on the contact surface between the lens and the grindstone, and to discharge sludge generated by polishing from the polished surface. The ratio of the grooves 30 to the grindstone diameter increases as the lens diameter decreases. For example, when the lens diameter is about 2 mm, the groove width is about 0.3 mm, and the groove 30 occupies most of the polished surface of the grindstone.
[0011]
FIG. 9 shows a locus 31 drawn by the lens 150 with respect to the grindstone 140 by the swinging motion shown in FIG. A cross-shaped groove 30 is formed in the grindstone 140, and a circle where the lens 150 and the grindstone 140 do not contact with each other along the diagonal of the groove 30 is formed at the intersection of the grooves 30 and the rotation center of the grindstone 140. Is done. The locus 31 represents a state in which a circle drawn by a non-contact portion between the lens 150 and the grindstone 140 moves when the upper bearing 160 swings. When the swinging width is small, the width of the groove 30 of the grindstone 140 is large, and a portion with very little contact with the grindstone 140 is generated at the center of the lens 150. In addition, since the peripheral speed near the rotation center is inferior to that of the outer peripheral part, the polishing progress speed is delayed. For this reason, problems such as poor quality such as generation of a lens and a decrease in polishing efficiency occur.
[0012]
As shown in FIG. 7, the locus when the oscillation center of the rotary shaft 161 of the upper bearing 160 is tilted with respect to the rotary shaft 121 of the lower bearing 120 is such that the oscillation locus 31 in FIG. Due to the sliding movement, the center of the groove 30 and the center of the swinging width are shifted. For this reason, the problem as shown in FIG. 6 is slightly improved. However, in the case of a small-diameter lens, since the groove width is large with respect to the lens diameter, it is necessary to increase the swing angle and the swing center angle. In this case, the lens 150 and the grindstone 140 are increased. However, the lens 150 and the grindstone 140 are disengaged during the swinging and cannot be polished because only the contact state is maintained by the pressing by the upper bearing 160.
[0013]
The present invention has been made in consideration of such conventional problems, and provides a polishing apparatus capable of polishing a small workpiece such as a small-diameter lens with high efficiency and high accuracy. With the goal.
[0014]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a polishing apparatus according to claim 1 comprises:
A tool for holding and rotating the grindstone having an arcuate convex or concave polishing surface in a polishing apparatus that performs polishing by rotating and rotating the ball center with each other while contacting the workpiece and the grindstone at a predetermined pressure. A rotating mechanism, a workpiece rotating mechanism that rotatably holds a workpiece having a concave or convex curved surface corresponding to the polishing surface of the grindstone, and the polishing surface of the grindstone and the curved surface of the workpiece are applied as contact surfaces In the state where the intersection of the rotation axis of the tool rotation mechanism and the rotation axis of the workpiece rotation mechanism is coincident with the center of curvature of the grindstone, the axis passing through the center of curvature of the grindstone is used as the swing axis, and the tool rotation mechanism A swing mechanism for relatively swinging the rotating shaft of the workpiece rotating mechanism and the rotating shaft of the workpiece rotating mechanism, and swinging of the rotating shaft of the tool rotating mechanism or the rotating shaft of the workpiece rotating mechanism swung by the swinging mechanism. In a plane which intersects the plane, the axis is inclined rotation axis of the work rotating mechanism angularly adjusted, crossing the rotational axis of the rotary shaft and the workpiece rotating mechanism of the tool rotation mechanism around a center of curvature of said grindstone And an angle adjustment for inclining the rotation axis of the workpiece rotation mechanism, centering on the center of curvature of the grindstone in an upper shaft arm having one end attached around the oscillation axis of the oscillation mechanism. done by moving along the curved surface of the upper shaft arm and said Rukoto.
[0015]
In the present invention, when the swing mechanism swings the rotating shaft of the tool rotating mechanism or the rotating shaft of the workpiece rotating mechanism, the workpiece is centered on the center of curvature of the grindstone in the plane where the shaft tilting mechanism intersects the swing plane. By adjusting the angle by inclining the rotation shaft of the rotation mechanism, the contact portion of the workpiece with the grindstone can be arbitrarily changed. Therefore, the polishing rate can be made uniform over the entire surface of the workpiece, and even if a groove is formed on the grindstone, the contact between the workpiece and the grindstone can be performed satisfactorily. For this reason, even a work having a small diameter can be polished with high efficiency and high accuracy without the need to increase the swing angle or the swing center angle.
[0016]
The invention of claim 2 to 4 is the polishing apparatus according to claim 1, wherein the angle adjustment for inclining the rotation axis of the work rotation mechanism by the shaft inclination mechanism is performed arbitrarily when the work is polished on the work. It is characterized in that it is performed at an angle and is fixed or performed continuously or intermittently.
[0017]
In the present invention, since the angle of the rotation shaft of the work rotation mechanism is adjusted at the time of polishing the work, adjustment according to the polishing state can be performed, and high-precision polishing can be performed.
Further, a polishing apparatus according to claim 1, before Symbol tool rotating mechanism is characterized in that it has a lower bearing for rotatably supporting said grinding wheel. The work rotation mechanism may include an upper bearing that supports the work so that the work can rotate and pressurize the grindstone. The angle adjustment for inclining the rotation axis of the workpiece rotation mechanism is performed by adjusting the upper axis arm centered on the center of curvature of the grindstone in the upper axis arm having one end attached with the oscillation axis of the oscillation mechanism as an axis. It is performed by moving a moving block that supports the upper bearing along a curved surface. Moreover, the said grindstone has a groove | channel on the said grinding | polishing surface, It is characterized by the above-mentioned.
[0018]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to embodiments illustrated in the drawings. In each embodiment, the same members are assigned the same reference numerals.
[0019]
(Embodiment 1)
1 to 3 show a first embodiment of the present invention, and FIG. 1 is a perspective view of the entire polishing apparatus. As shown in FIG. 1, the polishing apparatus of this embodiment includes a lower bearing 2, an upper bearing 11, and an upper shaft arm 8.
[0020]
A grindstone clamp 3 is attached to the upper end of the lower bearing 2, and a grindstone 4 as a tool is detachably held on the grindstone clamp 3. At the lower end of the lower bearing 2, a grindstone motor 1 that can rotate in the forward and reverse directions and whose rotation speed can be set is disposed, and the grindstone 4 is rotated by driving the grindstone motor 1. . Accordingly, a tool rotating mechanism 40 that holds and rotates the grindstone 4 by the grindstone motor 1, the lower bearing 2, and the grindstone clamp 3 is configured.
[0021]
The grindstone 4 is held by the grindstone clamp 3 so that the center axis thereof is coaxial with the rotation axis of the lower bearing 2. The rotating shaft of the lower bearing 2 is a rotating shaft 41 of the tool rotating mechanism 40. As the grindstone motor 1, a motor such as a servo motor, a stepping motor, or an induction motor can be used.
[0022]
In addition, the lower bearing 2 is assembled with a mechanism (not shown) that can move up and down in the direction of the rotation shaft 41, whereby the grindstone 4 can be stopped at an arbitrary height. As the vertical movement mechanism, a combination of a servo motor, a pulse motor and a linear guide can be selected as appropriate.
[0023]
The shaft 7 extends in the axial direction from the lower end of the upper bearing 11, and the upper bearing 11 can rotate the shaft 7 and pressurize downward with an arbitrary amount of force. A joint 6 having a lens holding means is attached to the tip of the shaft 7, and a lens 5 as a work is detachably held by the lens holding means. A lens motor 12 that allows the shaft 7 to rotate at an arbitrary rotational speed is attached to the upper end of the upper bearing 1. The upper bearing 11, the joint 6, and the lens motor 12 constitute a work rotation mechanism 43 that holds the lens 5 rotatably. The rotating shaft 44 of the workpiece rotating mechanism 43 intersects with the rotating shaft 41 of the tool rotating mechanism 40.
[0024]
By providing the tool rotating mechanism 40 and the workpiece rotating mechanism 43 as described above, the lens 5 and the grindstone 4 rotate with each other with a predetermined contact pressure, and the rotation of the lens 5 by the rotation in this pressurized state. Polish. When the lens 5 performs polishing by following the rotation of the grindstone 4, the lens motor 12 may not be driven or may be omitted.
[0025]
The upper shaft arm 8 is inserted between the tool rotation mechanism 40 and the workpiece rotation mechanism 43. The upper shaft arm 8 has a shape smoothly curved upward, and a rail 9 is formed along the length direction thereof. A moving block 10 is attached to the upper shaft arm 8 so as to be movable along the rail 9. Since the lower surface of the moving block 10 is the same curved surface as the curved surface of the upper shaft arm 8, the moving block 10 can smoothly move on the upper shaft arm 8 along the rail 9.
[0026]
An upper bearing 11 is supported on the moving block 10, whereby the entire work rotation mechanism 43 can move on the upper shaft arm 8 together with the moving block 10. In this case, the moving block 10 is moved and moved so that the rotating shaft 44 of the workpiece rotating mechanism 43 intersects the center of curvature of the upper shaft arm 8 and the rotating shaft of the lower bearing 2 (the rotating shaft 41 of the tool rotating mechanism 40). A stop is to be made.
[0027]
The upper shaft arm 8 and the moving block 10 are configured such that the rotation shaft 44 of the work rotation mechanism 43 is moved with respect to the rotation shaft 41 of the tool rotation mechanism 40 in a plane that intersects a swing plane drawn by a swing mechanism 47 described later. A shaft tilt mechanism 45 for adjusting the angle is configured.
[0028]
In this case, the movement of the moving block 10 is performed by driving a tilting motor 13 attached to the upper shaft arm 8, and the tilting motor 13 and the moving block 10 are connected by power transmission means (not shown). Has been. The power transmission means may be a timing belt, a wire, a steel belt, or the like, and the curved surface of the upper shaft arm 8 may be a linear pulse motor, without providing a hydraulic drive, pneumatic drive, or tilting motor 13. Manual movement may also be used.
[0029]
The upper shaft arm 8 is attached to the shaft 14 a of the swing bearing 14, and a swing motor 15 capable of indexing is attached to the other end of the swing bearing 14. As the oscillating motor 15, a servo motor, a pulse motor, a synchronous motor, an induction motor, or the like can be used. In such a configuration, the upper shaft arm 8 swings about the shaft 14 a of the swing bearing 14 by driving the swing motor 15, and the rotation shaft of the workpiece rotating mechanism 43 is driven by the swing of the upper shaft arm 8. 44 swings with respect to the rotating shaft 41 of the tool rotating mechanism 40. For this reason, the rocking bearing 14, the rocking motor 15 and the upper shaft arm 8 constitute a rocking mechanism 47.
[0030]
Instead of the vertical movement of the lower bearing 2, the rocking bearing 14 may move up and down together with its components and stop at any height.
[0031]
In this embodiment, the center line of the curved surface of the upper shaft arm 8 is the intersection of the extension shaft (swing shaft) 48 of the shaft 14a of the swing bearing 14 and the rotation shaft 41 of the tool rotating mechanism 40 (lower bearing 2). Is set to be Thereby, the rotating shaft 44 of the workpiece rotating mechanism 43 (upper bearing 11) is the same as the rotating shaft 41 of the (lower bearing 2) of the tool rotating mechanism 40 regardless of the position of the upper bearing 11 on the upper shaft arm 8. It is possible to match.
[0032]
Next, the operation of this embodiment will be described.
[0033]
The grindstone 4 is rotated by the grindstone motor 1 at an arbitrary rotation number as indicated by an arrow c, but the rotation direction is not limited to this. When the lens motor 12 is driven, the lens 5 rotates at an arbitrary number of rotations via the shaft 7 and the joint 6 that transmit the rotation. Further, the lens 5 is brought into a pressure contact state with the pressure set on the grindstone 4 by a pressurizing mechanism provided in the upper bearing 11.
[0034]
The tilting motor 13 moves the moving block 10 to an arbitrary position in the direction indicated by the arrow b along the curved surface on the upper shaft arm 8. As a result, the angle formed by the rotating shaft 41 of the tool rotating mechanism 40 (lower bearing 2) and the rotating shaft 44 of the workpiece rotating mechanism 43 (upper bearing 11) is adjusted within a plane that intersects the swing plane indicated by the arrow a. be able to. In this adjustment, the moving block 10 may be stopped at an arbitrary angle in the direction of the Y-axis inclination indicated by the arrow b, or the angle may be arbitrarily changed without fixing the angle. The angle adjustment may be performed continuously by swinging the moving block 10 on the upper shaft arm 8.
[0035]
On the other hand, the shaft 14 a of the rocking bearing 14 transmits the rocking at an arbitrary angle and an arbitrary speed by the rocking motor 15 to the upper shaft arm 8. As a result, the lens 5 provided indirectly on the upper shaft arm 8 via the workpiece rotation mechanism 43 swings in the direction indicated by the arrow a with respect to the grindstone 4 about the swing shaft 48. When this swinging is performed, the height of the lower bearing 2 or the swinging bearing 14 is corrected by the vertical mechanism so that the center of swinging and the center of lens curvature coincide.
[0036]
FIG. 2 shows the swinging performed as described above. When the moving block 10 is moved by driving the tilting motor 13, the upper bearing 11 is tilted with respect to the lower bearing 2 at an arbitrary angle e about the swing center d. As a result, the upper bearing 11 swings in the plane of the angle e, and the lens 5 is polished.
[0037]
FIG. 3 shows a locus 32 of the lens 5 with respect to the grindstone 4 in the state of FIG. 2, and the grindstone 4 is formed with a cross-shaped groove 30 as in FIG. By tilting the upper shaft 11 at an angle e with respect to the locus 31 near the center of the conventional lens in FIG. 9, the locus 32 moves from the center of the grindstone 4 to the outer peripheral side of the grindstone 4, and in this state the lens Polishing 5 is performed.
[0038]
In such polishing, the slow peripheral portions of the lens 5 and the grindstone 4 can always be surely shifted, and at the same time, the portion of the grindstone 4 that is not processed due to the grooves 30 can be eliminated. As a result, the entire lens 5 can be uniformly polished, and even the small-diameter lens 5 can be polished with high efficiency and high accuracy without increasing the swing angle and the swing center angle. .
[0039]
In this embodiment, the tool rotation mechanism 40 (lower bearing 2) is fixed and the workpiece rotation mechanism (upper bearing 11) is inclined. However, the tool rotation mechanism 40 (lower bearing 2) is inclined and the workpiece is rotated. Even if the rotation mechanism (upper bearing 11) is fixed, the same effect can be obtained.
[0040]
(Embodiment 2)
4 and 5 show Embodiment 2 of the present invention. In this embodiment, the shaft tilting mechanism 45 and the swinging mechanism 47 provided on the upper shaft arm side 8 in the first embodiment are separated vertically.
[0041]
The lower bearing 2 to which the grindstone 4 is attached is supported by an L-shaped lower shaft arm 20, and the lower shaft arm 20 is attached to the rocking bearing 14. That is, the upper portion of the lower shaft arm 20 is attached to the shaft 14 a of the rocking bearing 14, and the lower shaft arm 20 is indicated by an arrow a centering on the rocking shaft 48 when the rocking motor 15 is driven. It swings in the direction. As a result, the lower bearing 2 also swings in the direction of arrow a together with the lower shaft arm 20.
[0042]
Also in this embodiment, the lower bearing 2 is a constituent member of the tool rotating mechanism 40, and its rotating shaft 41 is orthogonal to the shaft 14 a of the swinging bearing 14 that is a constituent member of the swinging mechanism 47. Further, the rotation axis 44 of the upper bearing 11, which is a component member of the workpiece rotation mechanism 43, also intersects with the orthogonal point.
[0043]
The upper shaft arm 22 is L-shaped, and an upper bearing 11 that detachably holds the workpiece 5 is attached to the upper shaft arm 22 in a standing manner. Further, the upper shaft arm 22 is attached to the tilt shaft 25 of the tilt bearing 21. The tilt bearing 21 includes a tilt motor 13, and when the tilt motor 13 is driven, the upper shaft arm 22, that is, the upper bearing 11 tilts at an arbitrary angle along the direction indicated by the arrow b. ing.
[0044]
In this embodiment, the upper bearing 11 is a component of the workpiece rotation mechanism 43, the tilt bearing 21 is a component of the shaft tilt mechanism, and the rotation shaft 44 of the upper bearing 11 intersects the tilt shaft 25 of the tilt bearing 21. is doing. The tilt shaft 25 of the tilt bearing 21 also intersects with the swing shaft 48 of the swing mechanism 47 (the swing bearing 14).
[0045]
In the operation of this embodiment, the swinging motor 15 swings the swinging shaft 48 of the swinging bearing 14 so that the lower shaft arm 20 is tilted along the X axis indicated by the arrow a around the swinging shaft 48. Swing in the direction. As a result, the lower bearing 2 swings in the X-axis tilt direction together with the lower shaft arm 20, and at the same time, finely moves up and down with respect to the mounting surface of the lower shaft arm 20, so that the center of curvature of the grindstone 4 and the lens 5 Is made to coincide with the swing shaft 48.
[0046]
The tilt motor 13 drives the tilt shaft 25 of the tilt bearing 21 to position the upper bearing 11 at an arbitrary position. Alternatively, this operation may be performed by the lower bearing 2 side.
[0047]
The upper shaft arm 22 and the upper bearing 11 are capable of arbitrary angle change and swing in the direction of the Y-axis tilt b indicated by the arrow b by driving the tilt motor 13. Thus, the upper bearing 11 and the lower bearing 2 can be angled by the tilting motor 13 or the swinging motor 15. Accordingly, during the swinging, the rotating shafts 41 and 44 always intersect each other at an arbitrary angle, as in the first embodiment. Here, when the upper bearing 11 is pressed, the tilting motor 13 or the swinging motor 15 is stopped, intermittently driven, or swingably driven while the lens 5 is in pressure contact with the grindstone 4. A similar trajectory can be obtained. In this case, the configuration of the vertical axis may be changed.
[0048]
FIG. 5 shows a locus 33 of the lens 5 with respect to the grindstone 4 when both the tilting motor 13 and the swinging motor 15 are operated. By simultaneously performing the Y-axis tilt b and the X-axis tilt a, the trajectory 33 of the lens 4 can be dispersed throughout the grindstone 5.
[0049]
In such an embodiment as well, as in the first embodiment, it is possible to shift the portion where the peripheral speed of the lens 5 and the grindstone 4 is slow, and it is also possible to eliminate the portion of the grindstone 4 where the machining is insufficient due to the groove 30. Therefore, the entire lens 5 can be uniformly polished, and even a small-diameter lens 5 can be polished with high efficiency and high accuracy without increasing the swing angle and the swing center angle. it can. In this embodiment, the contact between the grindstone 4 and the lens 5 can be dispersed by changing the tilt angle in the X-axis tilt direction and the Y-axis tilt direction. It is possible to improve the stability of the shape of the grindstone 4 and the durability.
[0050]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the rotation axis of the workpiece rotation mechanism and the rotation axis of the tool rotation mechanism are angled, and swing polishing in this state is possible. However, polishing can be performed with high accuracy. Further, the same high-precision machining can be performed even on a workpiece having a large diameter. Furthermore, when the angle of the rotating shaft is varied during workpiece machining, the shape of the grindstone can be maintained with higher accuracy.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an overall perspective view of a first embodiment of the present invention.
2A and 2B are a perspective view and a front view showing the operation of the first embodiment, respectively. FIG.
3 is a plan view showing a locus of a lens at the time of polishing according to Embodiment 1. FIG.
FIG. 4 is an overall perspective view of a second embodiment of the present invention.
5 is a plan view showing a locus of a lens at the time of polishing according to Embodiment 2. FIG.
FIGS. 6A and 6B are a perspective view and a front view, respectively, of a conventional polishing operation.
7A and 7B are a perspective view and a front view of another conventional operation during polishing, respectively.
FIGS. 8A and 8B are perspective views of a grindstone. FIG.
FIG. 9 is a plan view showing a locus of a lens during conventional polishing.
[Explanation of symbols]
4 Grinding wheel 5 Lens 40 Tool rotating mechanism 41 Rotating shaft 43 of tool rotating mechanism Work rotating mechanism 44 Rotating shaft 45 of workpiece rotating mechanism Axis tilting mechanism 47 Oscillating mechanism

Claims

In a polishing apparatus that performs polishing by rotating and rotating the ball center with each other while contacting the workpiece and the grindstone at a predetermined pressure,
A tool rotation mechanism for holding and rotating the grindstone having an arcuate convex or concave polishing surface;
A workpiece rotation mechanism that rotatably holds a workpiece having a concave or convex curved surface corresponding to the polishing surface of the grindstone;
In a state where the polishing surface of the grindstone and the curved surface of the workpiece are applied as contact surfaces, and the intersection of the rotation axis of the tool rotation mechanism and the rotation axis of the workpiece rotation mechanism is coincident with the center of curvature of the grindstone. A swing mechanism that swings relative to the rotation shaft of the tool rotation mechanism and the rotation shaft of the workpiece rotation mechanism, with an axis passing through the center of curvature of the grindstone as a swing axis;
The rotation axis of the workpiece rotation mechanism is centered on the center of curvature of the grindstone within a plane that intersects the rotation axis of the rotation mechanism of the tool rotation mechanism or the rotation axis of the rotation mechanism of the workpiece rotation mechanism. An axis tilt mechanism that tilts and adjusts the angle, and intersects the rotation axis of the tool rotation mechanism and the rotation axis of the workpiece rotation mechanism;
The angle adjustment for inclining the rotation axis of the work rotation mechanism is an upper axis arm centered on the center of curvature of the grindstone in the upper axis arm attached at one end about the oscillation axis of the oscillation mechanism polishing apparatus performed by moving along the curved surface, characterized in Rukoto.

2. The angle adjustment for inclining the rotation axis of the workpiece rotation mechanism is performed by fixing at an arbitrary angle within a plane intersecting the swing plane when polishing the workpiece. The polishing apparatus as described.

The angle adjustment for inclining the rotation axis of the workpiece rotation mechanism is characterized in that the angle is intermittently changed in a plane intersecting the swing plane when polishing the workpiece. The polishing apparatus as described.

2. The polishing apparatus according to claim 1, wherein the angle adjustment for inclining the rotation axis of the workpiece rotating mechanism is continuously performed in a plane intersecting the swing plane when polishing the workpiece. .

The polishing apparatus according to claim 1, wherein the tool rotation mechanism includes a lower bearing that rotatably supports the grindstone.

The polishing apparatus according to claim 1, wherein the work rotation mechanism includes an upper bearing that supports the work so as to be rotatable and capable of being pressed against the grindstone.

The angle adjustment for inclining the rotation axis of the work rotation mechanism is performed on the curved surface of the upper axis arm centered on the center of curvature of the grindstone in the upper axis arm attached at one end about the oscillation axis of the oscillation mechanism. The polishing apparatus according to claim 6 , wherein the polishing is performed by moving a moving block that supports the upper bearing along the moving block.

The grinding wheel, polishing apparatus according to any one of claims 1 to 7, characterized in that it comprises a groove in the polishing surface.