JP2001044467A - 集積型薄膜太陽電池の洗浄装置 - Google Patents
集積型薄膜太陽電池の洗浄装置Info
- Publication number
- JP2001044467A JP2001044467A JP11215178A JP21517899A JP2001044467A JP 2001044467 A JP2001044467 A JP 2001044467A JP 11215178 A JP11215178 A JP 11215178A JP 21517899 A JP21517899 A JP 21517899A JP 2001044467 A JP2001044467 A JP 2001044467A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film solar
- solar cell
- photoelectric conversion
- integrated thin
- cells
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Abstract
(57)【要約】
【課題】出力特性，絶縁特性及び耐電圧特性が優れた集
積型薄膜太陽電池を提供することにある。 【解決手段】集積型薄膜太陽電池１を光電変換セルの分
割ライン１ａと平行または分割ライン１ａと直交する方
向に搬送するコンベア１２と，このコンベア１２による
集積型薄膜太陽電池１の搬送中に光電変換セルに向かっ
て洗浄水を噴射する噴射ノズル機構１６と，光電変換セ
ルの分割ラインと交差して配置され，搬送洗浄中に前記
複数のセルのうちの正極側と負極側のセルまたはそれら
に近いセル及び前記周縁領域と摺擦して電気的に導通さ
せて同電位とする導電ブラシ機構１７とを具備したこと
を特徴とする。
積型薄膜太陽電池を提供することにある。 【解決手段】集積型薄膜太陽電池１を光電変換セルの分
割ライン１ａと平行または分割ライン１ａと直交する方
向に搬送するコンベア１２と，このコンベア１２による
集積型薄膜太陽電池１の搬送中に光電変換セルに向かっ
て洗浄水を噴射する噴射ノズル機構１６と，光電変換セ
ルの分割ラインと交差して配置され，搬送洗浄中に前記
複数のセルのうちの正極側と負極側のセルまたはそれら
に近いセル及び前記周縁領域と摺擦して電気的に導通さ
せて同電位とする導電ブラシ機構１７とを具備したこと
を特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は，太陽エネルギー
を直接電気エネルギーに変換する集積型薄膜太陽電池の
洗浄装置に関する。
を直接電気エネルギーに変換する集積型薄膜太陽電池の
洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガラス基板に透明電極層，アモルファス
半導体層，裏面電極層を形成した集積型薄膜光電変換装
置としての薄膜太陽電池は，その製造のための原材料が
少なくてすみ，かつ大面積の集積型太陽電池が絶縁基板
上に直接作製可能であることから，低コストの太陽電池
として注目されている。
半導体層，裏面電極層を形成した集積型薄膜光電変換装
置としての薄膜太陽電池は，その製造のための原材料が
少なくてすみ，かつ大面積の集積型太陽電池が絶縁基板
上に直接作製可能であることから，低コストの太陽電池
として注目されている。
【０００３】この薄膜太陽電池の製造においては，ＣＶ
Ｄ法やスパッタリング法などによる薄膜の堆積ステップ
とレーザスクライブ法などによるパターニングステップ
の適宜の繰り返しや組合せを含む製造プロセスによっ
て，所望の構造が形成される。通常は，１枚の絶縁基板
上に複数の光電変換セルが電気的に直列接続された集積
型構造が採用され，屋外用途のための電力用太陽電池で
は，例えば９０ｃｍ×４５ｃｍの大面積の基板が用いら
れる。
Ｄ法やスパッタリング法などによる薄膜の堆積ステップ
とレーザスクライブ法などによるパターニングステップ
の適宜の繰り返しや組合せを含む製造プロセスによっ
て，所望の構造が形成される。通常は，１枚の絶縁基板
上に複数の光電変換セルが電気的に直列接続された集積
型構造が採用され，屋外用途のための電力用太陽電池で
は，例えば９０ｃｍ×４５ｃｍの大面積の基板が用いら
れる。
【０００４】図７は，このような集積型薄膜太陽電池１
の構造の断面図であり，絶縁基板としてのガラス基板２
上に第１電極層３，アモルファスシリコンなどからなる
半導体光電変換層５及び第２電極層７が順次積層されて
おり，パターニングによって半導体光電変換層５に設け
られた接続用開口溝６を介して互いに左右に隣接し合う
光電変換セルが電気的に直列に接続されている。
の構造の断面図であり，絶縁基板としてのガラス基板２
上に第１電極層３，アモルファスシリコンなどからなる
半導体光電変換層５及び第２電極層７が順次積層されて
おり，パターニングによって半導体光電変換層５に設け
られた接続用開口溝６を介して互いに左右に隣接し合う
光電変換セルが電気的に直列に接続されている。
【０００５】第１電極層３としては，一般に酸化錫（Ｓ
ｎＯ２ ），酸化亜鉛（ＺｎＯ），酸化インジウム錫
（ＩＴＯ）等の透明導電膜が用いられ，また，第２電極
層７としては銀（Ａｇ），アルミニウム（Ａｌ），クロ
ム（Ｃｒ）等の金属膜が用いられる。
ｎＯ２ ），酸化亜鉛（ＺｎＯ），酸化インジウム錫
（ＩＴＯ）等の透明導電膜が用いられ，また，第２電極
層７としては銀（Ａｇ），アルミニウム（Ａｌ），クロ
ム（Ｃｒ）等の金属膜が用いられる。
【０００６】このように構成された集積型薄膜太陽電池
１は，次のような方法で製造される。まず，ガラス基板
２上にＳｎＯ２ ，ＺｎＯ，ＩＴＯ等の透明導電膜が第
１電極層３として堆積され，その第１電極層３を複数の
光電変換セルに対応する複数の領域に分離するために，
レーザスクライブ法によって下部電極分離溝４が形成さ
れる。すなわち，これらの下部電極分離溝４は，図７の
紙面に直交する方向に直線状に延びている。そして，複
数の領域に分離された第１電極層３を覆うように，プラ
ズマＣＶＤ法を用いて，ｐｉｎ接合を含む非晶質シリコ
ンの半導体光電変換層５が堆積される。この半導体光電
変換層５には，左右に隣接する光電変換セルを電気的に
直列接続するための接続用開口溝６がレーザスクライブ
法によって形成される。これらの接続用開口溝６も，図
７の紙面に垂直な方向に直線状に延びている。続いて，
これらの接続用開口溝６を埋めかつ半導体光電変換層５
を覆うように，Ａｇ，Ａｌ，Ｃｒ等の金属膜の単層また
は複層が第２電極層７を複数の光電変換セルに対応する
複数の領域に分離するように，上部電極分離溝８がレー
ザスクライブ法によって形成される。
１は，次のような方法で製造される。まず，ガラス基板
２上にＳｎＯ２ ，ＺｎＯ，ＩＴＯ等の透明導電膜が第
１電極層３として堆積され，その第１電極層３を複数の
光電変換セルに対応する複数の領域に分離するために，
レーザスクライブ法によって下部電極分離溝４が形成さ
れる。すなわち，これらの下部電極分離溝４は，図７の
紙面に直交する方向に直線状に延びている。そして，複
数の領域に分離された第１電極層３を覆うように，プラ
ズマＣＶＤ法を用いて，ｐｉｎ接合を含む非晶質シリコ
ンの半導体光電変換層５が堆積される。この半導体光電
変換層５には，左右に隣接する光電変換セルを電気的に
直列接続するための接続用開口溝６がレーザスクライブ
法によって形成される。これらの接続用開口溝６も，図
７の紙面に垂直な方向に直線状に延びている。続いて，
これらの接続用開口溝６を埋めかつ半導体光電変換層５
を覆うように，Ａｇ，Ａｌ，Ｃｒ等の金属膜の単層また
は複層が第２電極層７を複数の光電変換セルに対応する
複数の領域に分離するように，上部電極分離溝８がレー
ザスクライブ法によって形成される。
【０００７】これらの上部電極分離溝８も図７の紙面に
直交する方向に直線状に延びており，かつ好ましくは第
１電極層３に至る深さを有している。このようにして，
図７に示されるような集積型薄膜太陽電池が完成する。
直交する方向に直線状に延びており，かつ好ましくは第
１電極層３に至る深さを有している。このようにして，
図７に示されるような集積型薄膜太陽電池が完成する。
【０００８】一般に，図７に示すような集積型薄膜太陽
電池の製造においては，光入射側の透明電極からなる第
１電極層３やその反対側の裏面金属電極としての第２電
極層７を形成するときに，ガラス基板２の端面や下面に
透明導電材料や金属材料が回り込んで付着する。このた
め，集積される個々の光電変換セルが基板上面で互いに
分離されていても，基板端面や基板下面に付着した透明
導電材料や金属材料を介して互いに導通し，その集積型
薄膜太陽電池１の出力特性が低下させられる。
電池の製造においては，光入射側の透明電極からなる第
１電極層３やその反対側の裏面金属電極としての第２電
極層７を形成するときに，ガラス基板２の端面や下面に
透明導電材料や金属材料が回り込んで付着する。このた
め，集積される個々の光電変換セルが基板上面で互いに
分離されていても，基板端面や基板下面に付着した透明
導電材料や金属材料を介して互いに導通し，その集積型
薄膜太陽電池１の出力特性が低下させられる。
【０００９】この問題を改善するために，図８の平面図
に示すように，集積型薄膜太陽電池１の第２電極層７及
び上部電極分離溝８を含むセル集積領域とその周縁に沿
った周縁領域１０とを互いに電気的に分離する絶縁ライ
ンとしての周縁分離溝９がレーザスクライブ法によって
形成される。すなわち，周縁分離溝９を形成することに
よって，基板端面や基板下面に付着した透明導電材料や
金属材料による光電変換セル相互間の短絡が防止され，
集積型薄膜太陽電池１の出力特性，絶縁特性，及び耐電
圧特性が改善される。
に示すように，集積型薄膜太陽電池１の第２電極層７及
び上部電極分離溝８を含むセル集積領域とその周縁に沿
った周縁領域１０とを互いに電気的に分離する絶縁ライ
ンとしての周縁分離溝９がレーザスクライブ法によって
形成される。すなわち，周縁分離溝９を形成することに
よって，基板端面や基板下面に付着した透明導電材料や
金属材料による光電変換セル相互間の短絡が防止され，
集積型薄膜太陽電池１の出力特性，絶縁特性，及び耐電
圧特性が改善される。
【００１０】レーザスクライブ法によって形成される周
縁分離溝９は，一般に０．０５ｍｍ〜１．０ｍｍの範囲
内の幅を有し，このスクライブラインによってセル集積
領域と周縁領域１０とが電気的に分離される。このよう
な周縁分離溝９が形成された後に，集積型薄膜太陽電池
１の第２電極層７上を封止する前に，その集積型薄膜太
陽電池１を清浄にすることを目的として水洗浄が行われ
る。このような水洗浄の間に，その集積型薄膜太陽電池
１は製造工程室内の光を受けて発電し，起電力を発生す
る。ここで，例えば６３段のセル集積段数を有する集積
型薄膜太陽電池１は，１段当りに約０．８５Ｖの開放電
圧を有している。すなわち，このような集積型薄膜太陽
電池１の正極側と負極側では，電位差が約５３Ｖにもな
る。
縁分離溝９は，一般に０．０５ｍｍ〜１．０ｍｍの範囲
内の幅を有し，このスクライブラインによってセル集積
領域と周縁領域１０とが電気的に分離される。このよう
な周縁分離溝９が形成された後に，集積型薄膜太陽電池
１の第２電極層７上を封止する前に，その集積型薄膜太
陽電池１を清浄にすることを目的として水洗浄が行われ
る。このような水洗浄の間に，その集積型薄膜太陽電池
１は製造工程室内の光を受けて発電し，起電力を発生す
る。ここで，例えば６３段のセル集積段数を有する集積
型薄膜太陽電池１は，１段当りに約０．８５Ｖの開放電
圧を有している。すなわち，このような集積型薄膜太陽
電池１の正極側と負極側では，電位差が約５３Ｖにもな
る。
【００１１】このように正負両極間で約５３Ｖの電位差
がある状態で，図８に示すように，洗浄工程において絶
縁ライン９ａの一部を覆うように水滴Ｗがいずれかのセ
ルに付着すれば，周縁領域１０はその水滴Ｗの付着した
段のセルと短絡し，その段のセルの電位に等しくなる。
この結果，水滴Ｗより正極側の段のセルと周縁領域１０
との間では，セルが周縁領域１０に対して高電位とな
る。他方，水滴Ｗより負極側の段のセルと周縁領域１０
との間では，セルに対して周縁領域１０の方が高電位に
なる。
がある状態で，図８に示すように，洗浄工程において絶
縁ライン９ａの一部を覆うように水滴Ｗがいずれかのセ
ルに付着すれば，周縁領域１０はその水滴Ｗの付着した
段のセルと短絡し，その段のセルの電位に等しくなる。
この結果，水滴Ｗより正極側の段のセルと周縁領域１０
との間では，セルが周縁領域１０に対して高電位とな
る。他方，水滴Ｗより負極側の段のセルと周縁領域１０
との間では，セルに対して周縁領域１０の方が高電位に
なる。
【００１２】このような電位差がある状態で，図９に示
されているように別の新たな水滴Ｗ １ ，Ｗ２ が絶縁
ライン９ａを覆うように付着すれば，それらの水滴Ｗ
１ ，Ｗ２ 中には電位差が存在するので，周縁領域１
０とセルとの間で低電位側から高電位側に向かって例え
ば銀の金属電極層から銀のマイグレーションが発生し，
樹枝状の銀結晶Ｋ１ ，Ｋ２ が成長する。このような
銀のマイグレーションが起こる速度は，水滴のようなイ
オンパスが形成された場合には，電解速度が数百Ｖ／ｍ
ｍであれば，その成長速度が０．１ｍｍ／秒に近い大き
な値となる。このようにして，洗浄工程において金属電
極層から金属マイグレーションが発生し，セル集積領域
と周縁領域１０との間に絶縁不良が生じる。
されているように別の新たな水滴Ｗ １ ，Ｗ２ が絶縁
ライン９ａを覆うように付着すれば，それらの水滴Ｗ
１ ，Ｗ２ 中には電位差が存在するので，周縁領域１
０とセルとの間で低電位側から高電位側に向かって例え
ば銀の金属電極層から銀のマイグレーションが発生し，
樹枝状の銀結晶Ｋ１ ，Ｋ２ が成長する。このような
銀のマイグレーションが起こる速度は，水滴のようなイ
オンパスが形成された場合には，電解速度が数百Ｖ／ｍ
ｍであれば，その成長速度が０．１ｍｍ／秒に近い大き
な値となる。このようにして，洗浄工程において金属電
極層から金属マイグレーションが発生し，セル集積領域
と周縁領域１０との間に絶縁不良が生じる。
【００１３】実際の洗浄工程では集積型薄膜太陽電池１
がコンベアで洗浄チャンバ内へ搬送されるので，水洗浄
が開始される際には，前方からの水の飛沫が集積型薄膜
太陽電池１上に付着する。そして，このような飛沫によ
る水滴が，図８に示されるように，周縁分離溝９内で金
属イオンマイグレーションを生じさせる。しかも，この
マイグレーションによる樹枝状金属結晶の成長速度が十
分に速いので，集積型薄膜太陽電池１全体を水が覆って
すべてのセルが同電位になる前に，セルと周縁領域１０
との間の電位差に起因して，金属マイグレーションによ
る金属樹枝状晶の短絡通路が形成されてしまう。すなわ
ち，金属電極層からのイオンマイグレーションによって
セル集積領域と周縁領域とが導通させられ，集積型薄膜
太陽電池１の出力特性，絶縁特性及び耐電圧特性が低下
させられる原因となっている。
がコンベアで洗浄チャンバ内へ搬送されるので，水洗浄
が開始される際には，前方からの水の飛沫が集積型薄膜
太陽電池１上に付着する。そして，このような飛沫によ
る水滴が，図８に示されるように，周縁分離溝９内で金
属イオンマイグレーションを生じさせる。しかも，この
マイグレーションによる樹枝状金属結晶の成長速度が十
分に速いので，集積型薄膜太陽電池１全体を水が覆って
すべてのセルが同電位になる前に，セルと周縁領域１０
との間の電位差に起因して，金属マイグレーションによ
る金属樹枝状晶の短絡通路が形成されてしまう。すなわ
ち，金属電極層からのイオンマイグレーションによって
セル集積領域と周縁領域とが導通させられ，集積型薄膜
太陽電池１の出力特性，絶縁特性及び耐電圧特性が低下
させられる原因となっている。
【００１４】そこで，前述のような問題を解決するため
に，本出願人は，特開平１０−２０９４７７号公報に示
すように，集積型薄膜太陽電池１の水洗工程において
は，直列に接続された複数のセルのうちの正極と負極の
セルまたはそれらに近いセルと周縁との間を導電体によ
って電気的にショートさせ，水洗工程の完了後に前記シ
ョートさせる導電体を除去することにより，集積型薄膜
太陽電池１の周縁分離溝中にイオンマイグレーションに
よる短絡を生じさせることのない洗浄を可能にした。
に，本出願人は，特開平１０−２０９４７７号公報に示
すように，集積型薄膜太陽電池１の水洗工程において
は，直列に接続された複数のセルのうちの正極と負極の
セルまたはそれらに近いセルと周縁との間を導電体によ
って電気的にショートさせ，水洗工程の完了後に前記シ
ョートさせる導電体を除去することにより，集積型薄膜
太陽電池１の周縁分離溝中にイオンマイグレーションに
よる短絡を生じさせることのない洗浄を可能にした。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら，特開平
１０−２０９４７７号公報に示すように，集積型薄膜太
陽電池１の水洗工程の前に，直列に接続された複数のセ
ルのうちの正極側と負極側のセルを同電位にするため
に，微小短絡領域を設け，水洗工程後に，その微小短絡
領域をレーザによってカットしたり，あるいは正極側と
負極側とをリード線によって接続し，水洗工程後に，そ
のリード線を取外すことが行われている。
１０−２０９４７７号公報に示すように，集積型薄膜太
陽電池１の水洗工程の前に，直列に接続された複数のセ
ルのうちの正極側と負極側のセルを同電位にするため
に，微小短絡領域を設け，水洗工程後に，その微小短絡
領域をレーザによってカットしたり，あるいは正極側と
負極側とをリード線によって接続し，水洗工程後に，そ
のリード線を取外すことが行われている。
【００１６】従って，集積型薄膜太陽電池１の水洗工程
前と水洗工程後に面倒な作業が必要となっている。
前と水洗工程後に面倒な作業が必要となっている。
【００１７】この発明は，前記事情に着目してなされた
もので，その目的とするところは，集積型薄膜太陽電池
の水洗工程前及び水洗工程後に，直列に接続された複数
の光電変換セルのうちの正極側と負極側のセルを同電位
にするための面倒な作業が必要なく、出力特性，絶縁特
性及び耐電圧特性が優れた集積型薄膜太陽電池を得るこ
とができる集積型薄膜太陽電池の洗浄装置を提供するこ
とにある。
もので，その目的とするところは，集積型薄膜太陽電池
の水洗工程前及び水洗工程後に，直列に接続された複数
の光電変換セルのうちの正極側と負極側のセルを同電位
にするための面倒な作業が必要なく、出力特性，絶縁特
性及び耐電圧特性が優れた集積型薄膜太陽電池を得るこ
とができる集積型薄膜太陽電池の洗浄装置を提供するこ
とにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】この発明は，前記目的を
達成するために，請求項１は，絶縁基板上に順次積層さ
れた第１電極層，半導体光電変換層及び第２電極層を含
む積層体を備え，前記第１電極層と第２電極層の少なく
とも一方は金属層を含み，前記積層体は周縁分離溝によ
って光電変換セル集積領域と周縁領域とに分離されてお
り，前記光電変換セル集積領域は複数の光電変換セルを
形成するように分割ラインによって分割され，かつそれ
ら複数の光電変換セルの少なくとも一部は電気的に直列
に接続されている集積型薄膜太陽電池の洗浄装置であっ
て，前記集積型薄膜太陽電池を前記光電変換セルの分割
ラインと平行または分割ラインと直交する方向に搬送す
る搬送手段と，この搬送手段による集積型薄膜太陽電池
の搬送中に光電変換セルに向かって洗浄水を噴射する洗
浄水噴射手段と，前記光電変換セルの分割ラインと交差
して配置され，搬送洗浄中に前記複数の光電変換セルの
うちの正極側と負極側のセルまたはそれらに近いセル及
び前記周縁領域と摺擦して電気的に導通させて同電位と
する導電摺擦手段とを具備したことを特徴とする。
達成するために，請求項１は，絶縁基板上に順次積層さ
れた第１電極層，半導体光電変換層及び第２電極層を含
む積層体を備え，前記第１電極層と第２電極層の少なく
とも一方は金属層を含み，前記積層体は周縁分離溝によ
って光電変換セル集積領域と周縁領域とに分離されてお
り，前記光電変換セル集積領域は複数の光電変換セルを
形成するように分割ラインによって分割され，かつそれ
ら複数の光電変換セルの少なくとも一部は電気的に直列
に接続されている集積型薄膜太陽電池の洗浄装置であっ
て，前記集積型薄膜太陽電池を前記光電変換セルの分割
ラインと平行または分割ラインと直交する方向に搬送す
る搬送手段と，この搬送手段による集積型薄膜太陽電池
の搬送中に光電変換セルに向かって洗浄水を噴射する洗
浄水噴射手段と，前記光電変換セルの分割ラインと交差
して配置され，搬送洗浄中に前記複数の光電変換セルの
うちの正極側と負極側のセルまたはそれらに近いセル及
び前記周縁領域と摺擦して電気的に導通させて同電位と
する導電摺擦手段とを具備したことを特徴とする。
【００１９】請求項２は，請求項１の前記導電摺擦手段
は，集積型薄膜太陽電池の搬送方向と平行または搬送方
向と交差する方向に架設された導電支持体と，この導電
支持体に設けられ光電変換セル集積領域及び周縁領域と
摺擦する導電ブラシとから構成されていることを特徴と
する。
は，集積型薄膜太陽電池の搬送方向と平行または搬送方
向と交差する方向に架設された導電支持体と，この導電
支持体に設けられ光電変換セル集積領域及び周縁領域と
摺擦する導電ブラシとから構成されていることを特徴と
する。
【００２０】前記構成によれば，集積型薄膜太陽電池が
搬送手段によって搬送中に洗浄水噴射手段から洗浄水が
集積型薄膜太陽電池に噴射され，洗浄されるとともに，
この搬送洗浄中に導電ブラシからなる導電摺擦手段が光
電変換セル集積領域及び周縁領域と摺擦して電気的に導
通状態として同電位に保つことができる。従って，集積
型薄膜太陽電池全体を洗浄水が覆ってすべてのセルが同
電位になる前に，セルと周縁領域との間の電位差に起因
して，金属マイグレーションによる金属樹枝状晶の短絡
通路が形成されてしまうという問題を解消できる。
搬送手段によって搬送中に洗浄水噴射手段から洗浄水が
集積型薄膜太陽電池に噴射され，洗浄されるとともに，
この搬送洗浄中に導電ブラシからなる導電摺擦手段が光
電変換セル集積領域及び周縁領域と摺擦して電気的に導
通状態として同電位に保つことができる。従って，集積
型薄膜太陽電池全体を洗浄水が覆ってすべてのセルが同
電位になる前に，セルと周縁領域との間の電位差に起因
して，金属マイグレーションによる金属樹枝状晶の短絡
通路が形成されてしまうという問題を解消できる。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下，この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。
面に基づいて説明する。
【００２２】図１〜図４は第１の実施形態を示し，図１
は集積型薄膜太陽電池の洗浄装置の概略的斜視図，図２
は同洗浄装置の概略的側面図，図３は要部を拡大した縦
断側面図、図４は導電ブラシ機構の斜視図である。
は集積型薄膜太陽電池の洗浄装置の概略的斜視図，図２
は同洗浄装置の概略的側面図，図３は要部を拡大した縦
断側面図、図４は導電ブラシ機構の斜視図である。
【００２３】集積型薄膜太陽電池１は，図７の場合と同
様であり，絶縁基板としてのガラス基板２上に酸化錫
（ＳｎＯ２ ），酸化亜鉛（ＺｎＯ），酸化インジウム
錫（ＩＴＯ）等の透明導電膜からなる第１電極層３，ア
モルファスシリコンなどからなる半導体光電変換層５及
び銀（Ａｇ），アルミニウム（Ａｌ），クロム（Ｃｒ）
等の金属膜からなる第２電極層７が順次積層されてお
り，パターニングによって半導体層５に設けられた接続
用開口溝６を介して互いに左右に隣接し合う光電変換セ
ルが電気的に直列に接続されている。さらに、第１電極
層３を複数の光電変換セルに対応する複数の領域に分離
するために，レーザスクライブ法によって下部電極分離
溝４が形成される。
様であり，絶縁基板としてのガラス基板２上に酸化錫
（ＳｎＯ２ ），酸化亜鉛（ＺｎＯ），酸化インジウム
錫（ＩＴＯ）等の透明導電膜からなる第１電極層３，ア
モルファスシリコンなどからなる半導体光電変換層５及
び銀（Ａｇ），アルミニウム（Ａｌ），クロム（Ｃｒ）
等の金属膜からなる第２電極層７が順次積層されてお
り，パターニングによって半導体層５に設けられた接続
用開口溝６を介して互いに左右に隣接し合う光電変換セ
ルが電気的に直列に接続されている。さらに、第１電極
層３を複数の光電変換セルに対応する複数の領域に分離
するために，レーザスクライブ法によって下部電極分離
溝４が形成される。
【００２４】前述のように構成された集積型薄膜太陽電
池１を洗浄する洗浄装置１１は、集積型薄膜太陽電池１
を載置して搬送する搬送手段としてのコンベア１２を備
えており，これは例えばメッシュ状または梯子状で、通
水性を有するエンドレスベルトによって形成され，駆動
機構（図示しない）によって矢印方向に走行するように
なっている。
池１を洗浄する洗浄装置１１は、集積型薄膜太陽電池１
を載置して搬送する搬送手段としてのコンベア１２を備
えており，これは例えばメッシュ状または梯子状で、通
水性を有するエンドレスベルトによって形成され，駆動
機構（図示しない）によって矢印方向に走行するように
なっている。
【００２５】コンベア１２は走行方向に複数の水洗チャ
ンバ１３や温風乾燥機（図示しない）を備えた乾燥チャ
ンバ１４が順次設けられ，トンネル状に構成されてお
り，各チャンバ１３，１４の境界には短冊状に切断され
たゴムまたはポリマーシートからなるカーテン１５が設
けられている。
ンバ１３や温風乾燥機（図示しない）を備えた乾燥チャ
ンバ１４が順次設けられ，トンネル状に構成されてお
り，各チャンバ１３，１４の境界には短冊状に切断され
たゴムまたはポリマーシートからなるカーテン１５が設
けられている。
【００２６】水洗チャンバ１３の内部にはコンベア１２
の上面に向かって洗浄水噴射手段としての噴射ノズル機
構１６と導電摺擦手段としての導電ブラシ機構１７が設
けられている。
の上面に向かって洗浄水噴射手段としての噴射ノズル機
構１６と導電摺擦手段としての導電ブラシ機構１７が設
けられている。
【００２７】噴射ノズル機構１６は，図３に示すよう
に，コンベア１２の走行方向に直交する方向に架設さ
れ，洗浄水供給源（図示しない）と連通するパイプ１８
にコンベア１２の上面に向かって開口する多数のノズル
孔１９を有している。
に，コンベア１２の走行方向に直交する方向に架設さ
れ，洗浄水供給源（図示しない）と連通するパイプ１８
にコンベア１２の上面に向かって開口する多数のノズル
孔１９を有している。
【００２８】また，導電ブラシ機構１７は，図３及び図
４に示すように，コンベア１２の走行方向に直交する方
向に架設された金属製の導電支持体２０と，この導電支
持体２０に設けられた導電ブラシ２１とから構成されて
いる。導電支持体２０は帯状金属板を略逆Ｕ字状に湾曲
することにより形成され，この内部にはカーボン，ステ
ンレス，アクリル等の可撓性を有する細線束からなる導
電ブラシ２１を両面テープ２２によって接着されてい
る。そして，導電ブラシ２１の先端２１ａがコンベア１
２の上面に載置された集積型薄膜太陽電池１の光電変換
セル集積領域及び周縁領域と摺擦し，所謂パンタグラフ
式に電気的に導通状態として同電位に保つようになって
いる。
４に示すように，コンベア１２の走行方向に直交する方
向に架設された金属製の導電支持体２０と，この導電支
持体２０に設けられた導電ブラシ２１とから構成されて
いる。導電支持体２０は帯状金属板を略逆Ｕ字状に湾曲
することにより形成され，この内部にはカーボン，ステ
ンレス，アクリル等の可撓性を有する細線束からなる導
電ブラシ２１を両面テープ２２によって接着されてい
る。そして，導電ブラシ２１の先端２１ａがコンベア１
２の上面に載置された集積型薄膜太陽電池１の光電変換
セル集積領域及び周縁領域と摺擦し，所謂パンタグラフ
式に電気的に導通状態として同電位に保つようになって
いる。
【００２９】次に，第１の実施形態の作用について説明
する。
する。
【００３０】洗浄装置１１のコンベア１２は駆動機構に
よって矢印方向に走行しており，被洗浄物としての集積
型薄膜太陽電池１がその分割ライン１ａを走行方向と平
行にした状態にコンベア１２に移載されると、コンベア
１２の走行に伴って集積型薄膜太陽電池１は水洗チャン
バ１３に導入される。水洗チャンバ１３内においては，
コンベア１２の上面に向かって導電ブラシ２１が設置さ
れ，さらに噴射ノズル機構１６のノズル孔１９から洗浄
水が噴射している。
よって矢印方向に走行しており，被洗浄物としての集積
型薄膜太陽電池１がその分割ライン１ａを走行方向と平
行にした状態にコンベア１２に移載されると、コンベア
１２の走行に伴って集積型薄膜太陽電池１は水洗チャン
バ１３に導入される。水洗チャンバ１３内においては，
コンベア１２の上面に向かって導電ブラシ２１が設置さ
れ，さらに噴射ノズル機構１６のノズル孔１９から洗浄
水が噴射している。
【００３１】従って，集積型薄膜太陽電池１は走行中に
ノズル孔１９から噴射される洗浄水によって洗浄される
とともに、導電ブラシ２１の先端２１ａは走行中の集積
型薄膜太陽電池１の光電変換セル集積領域及び周縁領域
と摺擦し，電気的に導通状態として同電位に保たれ、周
縁分離溝９において電位差が存在しないので，イオンマ
イグレーションが生じることなく，セル集積領域及び周
縁領域とが金属の樹枝状晶によって短絡されることがな
い。洗浄が完了した集積型薄膜太陽電池１は乾燥チャン
バ１４に導入されると，温風によって乾燥された後，洗
浄装置１１から搬出される。
ノズル孔１９から噴射される洗浄水によって洗浄される
とともに、導電ブラシ２１の先端２１ａは走行中の集積
型薄膜太陽電池１の光電変換セル集積領域及び周縁領域
と摺擦し，電気的に導通状態として同電位に保たれ、周
縁分離溝９において電位差が存在しないので，イオンマ
イグレーションが生じることなく，セル集積領域及び周
縁領域とが金属の樹枝状晶によって短絡されることがな
い。洗浄が完了した集積型薄膜太陽電池１は乾燥チャン
バ１４に導入されると，温風によって乾燥された後，洗
浄装置１１から搬出される。
【００３２】従って，集積型薄膜太陽電池１の水洗工程
前及び水洗工程後に，直列に接続された複数の光電変換
セルのうちの正極側と負極側のセルを同電位にするため
の面倒な作業が必要なく、出力特性，絶縁特性及び耐電
圧特性が優れた集積型薄膜太陽電池１を得ることができ
る。
前及び水洗工程後に，直列に接続された複数の光電変換
セルのうちの正極側と負極側のセルを同電位にするため
の面倒な作業が必要なく、出力特性，絶縁特性及び耐電
圧特性が優れた集積型薄膜太陽電池１を得ることができ
る。
【００３３】図５及び図６は第２の実施形態を示し，第
１の実施形態と同一構成部分は同一番号を付して説明を
省略する。第１の実施形態は集積型薄膜太陽電池１をそ
の分割ラインと平行に搬送する場合について説明した
が，本実施形態は，集積型薄膜太陽電池１をコンベア１
２によってその分割ライン１ａと直交する方向に搬送す
る場合である。
１の実施形態と同一構成部分は同一番号を付して説明を
省略する。第１の実施形態は集積型薄膜太陽電池１をそ
の分割ラインと平行に搬送する場合について説明した
が，本実施形態は，集積型薄膜太陽電池１をコンベア１
２によってその分割ライン１ａと直交する方向に搬送す
る場合である。
【００３４】コンベア１２の上面に向かって洗浄水噴射
手段としての噴射ノズル機構１６と導電摺擦手段として
の導電ブラシ機構１７が設けられている。噴射ノズル機
構１６は，図５及び図６に示すように，コンベア１２の
走行方向に直交する方向に架設され，洗浄水供給源（図
示しない）と連通するパイプ１８にコンベア１２の上面
に向かって開口する多数のノズル孔１９を有している。
手段としての噴射ノズル機構１６と導電摺擦手段として
の導電ブラシ機構１７が設けられている。噴射ノズル機
構１６は，図５及び図６に示すように，コンベア１２の
走行方向に直交する方向に架設され，洗浄水供給源（図
示しない）と連通するパイプ１８にコンベア１２の上面
に向かって開口する多数のノズル孔１９を有している。
【００３５】また，導電ブラシ機構１７は，コンベア１
２の走行方向と平行に架設された金属製の導電支持体２
０と，この導電支持体２０に設けられた導電ブラシ２１
とから構成されている。導電ブラシ２１の先端２１ａが
コンベア１２の上面に載置された集積型薄膜太陽電池１
の光電変換セル集積領域及び周縁領域と摺擦して電気的
に導通状態として同電位に保つようになっている。
２の走行方向と平行に架設された金属製の導電支持体２
０と，この導電支持体２０に設けられた導電ブラシ２１
とから構成されている。導電ブラシ２１の先端２１ａが
コンベア１２の上面に載置された集積型薄膜太陽電池１
の光電変換セル集積領域及び周縁領域と摺擦して電気的
に導通状態として同電位に保つようになっている。
【００３６】次に，第２の実施形態の作用について説明
する。
する。
【００３７】コンベア１２は矢印方向に走行しており，
被洗浄物としての集積型薄膜太陽電池１がその分割ライ
ンを走行方向と直交した状態にコンベア１２に移載され
ると、コンベア１２の走行に伴って集積型薄膜太陽電池
１は水洗チャンバ１３に導入される。水洗チャンバ１３
内においては，コンベア１２の上面に向かって導電ブラ
シ２１が設置され，さらに噴射ノズル機構１６のノズル
孔１９から洗浄水が噴射している。
被洗浄物としての集積型薄膜太陽電池１がその分割ライ
ンを走行方向と直交した状態にコンベア１２に移載され
ると、コンベア１２の走行に伴って集積型薄膜太陽電池
１は水洗チャンバ１３に導入される。水洗チャンバ１３
内においては，コンベア１２の上面に向かって導電ブラ
シ２１が設置され，さらに噴射ノズル機構１６のノズル
孔１９から洗浄水が噴射している。
【００３８】従って，集積型薄膜太陽電池１は走行中に
ノズル孔１９から噴射される洗浄水によって洗浄される
とともに、導電ブラシ２１の先端２１ａは走行中の集積
型薄膜太陽電池１の光電変換セル集積領域及び周縁領域
と摺擦し，電気的に導通状態として同電位に保たれる。
このため，周縁分離溝９において電位差が存在しないの
で，イオンマイグレーションが生じることなく，セル集
積領域及び周縁領域とが金属の樹枝状晶によって短絡さ
れることがない。
ノズル孔１９から噴射される洗浄水によって洗浄される
とともに、導電ブラシ２１の先端２１ａは走行中の集積
型薄膜太陽電池１の光電変換セル集積領域及び周縁領域
と摺擦し，電気的に導通状態として同電位に保たれる。
このため，周縁分離溝９において電位差が存在しないの
で，イオンマイグレーションが生じることなく，セル集
積領域及び周縁領域とが金属の樹枝状晶によって短絡さ
れることがない。
【００３９】なお，前記各実施形態においては，集積型
薄膜太陽電池を搬送する手段としてエンドレスベルトか
らなるコンベアを用いたが，ローラコンベア等の通水性
を有するものであればよい。また、導電ブラシ機構は、
導電支持体の長手方向に亘って導電ブラシを密に設けた
が，光電変換セルの間隔に対応したピッチに設けてもよ
い。
薄膜太陽電池を搬送する手段としてエンドレスベルトか
らなるコンベアを用いたが，ローラコンベア等の通水性
を有するものであればよい。また、導電ブラシ機構は、
導電支持体の長手方向に亘って導電ブラシを密に設けた
が，光電変換セルの間隔に対応したピッチに設けてもよ
い。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように，この発明によれ
ば，集積型薄膜太陽電池を搬送手段によって搬送中に洗
浄水噴射手段から洗浄水が集積型薄膜太陽電池に噴射さ
れ，洗浄されるとともに，この搬送洗浄中に導電摺擦手
段が光電変換セル集積領域及び周縁領域と摺擦して電気
的に導通状態として同電位に保つことができる。従っ
て，集積型薄膜太陽電池全体を洗浄水が覆ってすべての
セルが同電位になる前に，セルと周縁領域との間の電位
差に起因して，金属マイグレーションによる金属樹枝状
晶の短絡通路が形成されてしまうという問題を解消でき
る。
ば，集積型薄膜太陽電池を搬送手段によって搬送中に洗
浄水噴射手段から洗浄水が集積型薄膜太陽電池に噴射さ
れ，洗浄されるとともに，この搬送洗浄中に導電摺擦手
段が光電変換セル集積領域及び周縁領域と摺擦して電気
的に導通状態として同電位に保つことができる。従っ
て，集積型薄膜太陽電池全体を洗浄水が覆ってすべての
セルが同電位になる前に，セルと周縁領域との間の電位
差に起因して，金属マイグレーションによる金属樹枝状
晶の短絡通路が形成されてしまうという問題を解消でき
る。
【００４１】また、集積型薄膜太陽電池の水洗工程前及
び水洗工程後に，直列に接続された複数のセルのうちの
正極側と負極側のセルを同電位にするための面倒な作業
が必要なく、出力特性，絶縁特性及び耐電圧特性が優れ
た集積型薄膜太陽電池を得ることができる。
び水洗工程後に，直列に接続された複数のセルのうちの
正極側と負極側のセルを同電位にするための面倒な作業
が必要なく、出力特性，絶縁特性及び耐電圧特性が優れ
た集積型薄膜太陽電池を得ることができる。
【図１】この発明の第１の実施形態を示す集積型薄膜太
陽電池の洗浄装置の概略的斜視図。
陽電池の洗浄装置の概略的斜視図。
【図２】同実施形態の洗浄装置の概略的側面図。
【図３】同実施形態の要部を拡大した縦断側面図。
【図４】同実施形態の導電ブラシ機構の斜視図。
【図５】この発明の第２の実施形態を示す集積型薄膜太
陽電池の洗浄装置の概略的斜視図。
陽電池の洗浄装置の概略的斜視図。
【図６】同実施形態の要部を拡大した縦断側面図。
【図７】一般的な集積型薄膜太陽電池の一部を拡大した
縦断側面図。
縦断側面図。
【図８】一般的な集積型薄膜太陽電池の平面図。
【図９】一般的な集積型薄膜太陽電池の平面図。
１…集積型薄膜太陽電池 １ａ…分割ライン １２…コンベア １６…噴射ノズル機構 １７…導電ブラシ機構
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3B116 AA02 AA46 AB14 BA02 BA22 BB22 BB33 CC01 CC03 CD34 3B201 AA02 AA46 AB14 BA02 BA22 BB22 BB33 CB15 CB25 CC11 CD34 5F051 AA05 BA12 CA40 DA04 EA10 EA11 EA16 FA02 FA03 FA04 FA06 GA03
Claims (2)
- 【請求項１】 絶縁基板上に順次積層された第１電極
層，半導体光電変換層及び第２電極層を含む積層体を備
え，前記第１電極層と第２電極層の少なくとも一方は金
属層を含み，前記積層体は周縁分離溝によって光電変換
セル集積領域と周縁領域とに分離されており，前記光電
変換セル集積領域は複数の光電変換セルを形成するよう
に平行する分割ラインによって分割され，かつそれら複
数の光電変換セルの少なくとも一部は電気的に直列に接
続されている集積型薄膜太陽電池の洗浄装置であって，
前記集積型薄膜太陽電池を前記光電変換セルの分割ライ
ンと平行または分割ラインと直交する方向に搬送する搬
送手段と，この搬送手段による集積型薄膜太陽電池の搬
送中に光電変換セルに向かって洗浄水を噴射する洗浄水
噴射手段と，前記光電変換セルの分割ラインと交差して
配置され，搬送洗浄中に前記複数の光電変換セルのうち
の正極側と負極側のセルまたはそれらに近いセル及び前
記周縁領域と摺擦して電気的に導通させて同電位とする
導電摺擦手段とを具備したことを特徴とする集積型薄膜
太陽電池の洗浄装置。 - 【請求項２】 前記導電摺擦手段は，集積型薄膜太陽電
池の搬送方向と平行または搬送方向と交差する方向に架
設された導電支持体と，この導電支持体に設けられ光電
変換セル集積領域及び周縁領域と摺擦する導電ブラシと
から構成されていることを特徴とする請求項１記載の集
積型薄膜太陽電池の洗浄装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11215178A JP2001044467A (ja) | 1999-07-29 | 1999-07-29 | 集積型薄膜太陽電池の洗浄装置 |
| AU22440/00A AU772539B2 (en) | 1999-07-29 | 2000-03-21 | Method for cleaning photovoltaic module and cleaning apparatus |
| DE60042994T DE60042994D1 (de) | 1999-07-29 | 2000-03-22 | Verfahren zur Reinigung von photovoltaischen Modulen und Reinigungsvorrichtung |
| US09/532,197 US6506260B1 (en) | 1999-07-29 | 2000-03-22 | Method for cleaning photovoltaic module and cleaning apparatus |
| EP09166633A EP2141735B1 (en) | 1999-07-29 | 2000-03-22 | Method for cleaning photovoltaic module and cleaning apparatus |
| EP00106257A EP1073095B1 (en) | 1999-07-29 | 2000-03-22 | Method for cleaning photovoltaic module and cleaning apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11215178A JP2001044467A (ja) | 1999-07-29 | 1999-07-29 | 集積型薄膜太陽電池の洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001044467A true JP2001044467A (ja) | 2001-02-16 |
Family
ID=16667971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11215178A Pending JP2001044467A (ja) | 1999-07-29 | 1999-07-29 | 集積型薄膜太陽電池の洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001044467A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040028151A (ko) * | 2002-09-30 | 2004-04-03 | 은석기 | 다목적 전동 청소기 |
| KR100954530B1 (ko) | 2009-11-10 | 2010-04-22 | (주)하이레벤 | 태양광 발전설비의 효율향상설비 |
| WO2010116691A1 (ja) | 2009-04-07 | 2010-10-14 | カワサキプラントシステムズ株式会社 | 薄膜太陽電池パネルの高圧液噴射洗浄装置および方法 |
| JP2011023665A (ja) * | 2009-07-17 | 2011-02-03 | Sanyo Electric Co Ltd | 太陽電池モジュール |
| JP2013051257A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Kyocera Corp | 光電変換装置 |
| JP2014195765A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板の洗浄処理装置及び洗浄処理方法 |
| CN107210208A (zh) * | 2015-02-15 | 2017-09-26 | 盛美半导体设备（上海）有限公司 | 防掉落的半导体器件清洗装置以及具有该装置的工艺腔 |
| CN109848108A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-06-07 | 中芳特纤股份有限公司 | 一种去除ppta助熔盐的超声波清洗方法及其系统 |
-
1999
- 1999-07-29 JP JP11215178A patent/JP2001044467A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040028151A (ko) * | 2002-09-30 | 2004-04-03 | 은석기 | 다목적 전동 청소기 |
| WO2010116691A1 (ja) | 2009-04-07 | 2010-10-14 | カワサキプラントシステムズ株式会社 | 薄膜太陽電池パネルの高圧液噴射洗浄装置および方法 |
| US9079226B2 (en) | 2009-04-07 | 2015-07-14 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | High-pressure liquid jet cleaner and high-pressure liquid jet cleaning method for cleaning thin film solar cell panel |
| JP2011023665A (ja) * | 2009-07-17 | 2011-02-03 | Sanyo Electric Co Ltd | 太陽電池モジュール |
| KR100954530B1 (ko) | 2009-11-10 | 2010-04-22 | (주)하이레벤 | 태양광 발전설비의 효율향상설비 |
| JP2013051257A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Kyocera Corp | 光電変換装置 |
| JP2014195765A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板の洗浄処理装置及び洗浄処理方法 |
| CN107210208A (zh) * | 2015-02-15 | 2017-09-26 | 盛美半导体设备（上海）有限公司 | 防掉落的半导体器件清洗装置以及具有该装置的工艺腔 |
| CN107210208B (zh) * | 2015-02-15 | 2020-05-19 | 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 | 防掉落的半导体器件清洗装置以及具有该装置的工艺腔 |
| CN109848108A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-06-07 | 中芳特纤股份有限公司 | 一种去除ppta助熔盐的超声波清洗方法及其系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2141735B1 (en) | Method for cleaning photovoltaic module and cleaning apparatus | |
| JPS62190882A (ja) | 薄膜太陽電池の集積直列接続方法 | |
| JPH0472392B2 (ja) | ||
| JPS5994473A (ja) | 太陽電池の製造方法および装置 | |
| CN102403400B (zh) | 薄膜型太阳能电池的制造装置和制造方法 | |
| US20120291836A1 (en) | Array of thin-film photovoltaic cells having an etchant-resistant electrode an an integrated bypass diode associated with a plurality of cells and a panel incorporating the same | |
| US20120276681A1 (en) | Serial connection of thin-layer solar cells | |
| US20100263719A1 (en) | Thin-Film Solar Cell Module | |
| CN101919067B (zh) | 薄膜型太阳能电池及其制造方法 | |
| JPH0983001A (ja) | 集積化薄膜太陽電池 | |
| JP2001044467A (ja) | 集積型薄膜太陽電池の洗浄装置 | |
| CN1037052A (zh) | 生产串联连接的薄膜太阳电池阵列的方法 | |
| CN104538468A (zh) | 硅基薄膜太阳能电池及其制造方法 | |
| JP3746410B2 (ja) | 薄膜太陽電池の製造方法 | |
| JP3619390B2 (ja) | 集積型薄膜太陽電池の製造方法 | |
| JP2001177136A (ja) | 薄膜太陽電池の製造方法ならびに粉体噴射法による薄膜基板貫通孔加工装置およびパターニング装置 | |
| US7939444B2 (en) | Manufacturing methods of thin film solar cell and thin film solar cell module | |
| KR101120100B1 (ko) | 박막태양전지모듈 및 그 제조방법과 모듈 상호간의 연결방법 | |
| KR100901745B1 (ko) | 박막 태양전지 및 모듈 제조방법 | |
| JP4646532B2 (ja) | 薄膜のパターニング方法およびパターニング装置、ならびに薄膜太陽電池の製造方法 | |
| JP2001156308A (ja) | 太陽電池基板の乾燥方法及びその装置 | |
| JPH06268241A (ja) | 薄膜太陽電池およびその製造方法 | |
| JPH0758351A (ja) | 薄膜太陽電池の製造方法 | |
| US20180102452A1 (en) | Corrosion resistant photovoltaic modules | |
| JPH10209477A (ja) | 集積型薄膜光電変換装置の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060616 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081023 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081111 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090623 |