JP2001044466A - Method and system for cleaning integrated thin film solar cell - Google Patents

Method and system for cleaning integrated thin film solar cell

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JP2001044466A
JP2001044466A JP11215177A JP21517799A JP2001044466A JP 2001044466 A JP2001044466 A JP 2001044466A JP 11215177 A JP11215177 A JP 11215177A JP 21517799 A JP21517799 A JP 21517799A JP 2001044466 A JP2001044466 A JP 2001044466A
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JP
Japan
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photoelectric conversion
film solar
solar cell
cleaning
integrated thin
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JP11215177A
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Japanese (ja)
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Masashi Hiraishi
Masataka Kondo
Hideo Yamagishi
英雄 山岸
将史 平石
正隆 近藤
Original Assignee
Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd
鐘淵化学工業株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an integrated thin film solar cell having excellent output characteristics, insulation characteristics and breakdown voltage strength characteristics. SOLUTION: The cleaning system for integrated thin film solar cell comprising a laminate of a first electrode layer, a semiconductor photoelectric conversion layer and a second electrode layer formed sequentially on an insulating substrate wherein the laminate is separated into a photoelectric conversion cell integrating region and a peripheral region by laser scribing and the photoelectric conversion cell integrating region is separated into a plurality of photoelectric conversion cells at least a part thereof connected in series electrically comprises a cleaning tank 12 containing cleaning liquid, a roller conveyor 15 disposed in the cleaning tank 12 and carrying an integrated thin film solar cell 1 while immersing into pure water W, and an oscillator 17 for imparting ultrasonic oscillation to the pure water W.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は,太陽エネルギー
を直接電気エネルギーに変換する集積型薄膜太陽電池の
洗浄方法及びその装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for cleaning an integrated thin-film solar cell which directly converts solar energy into electric energy.
【0002】[0002]
【従来の技術】ガラス基板に透明電極層,アモルファス
半導体層,裏面電極層を形成した集積型薄膜光電変換装
置としての薄膜太陽電池は,その製造のための原材料が
少なくてすみ,かつ大面積の集積型太陽電池が絶縁基板
上に直接作製可能であることから,低コストの太陽電池
として注目されている。
2. Description of the Related Art A thin-film solar cell as an integrated thin-film photoelectric conversion device in which a transparent electrode layer, an amorphous semiconductor layer, and a back electrode layer are formed on a glass substrate requires a small amount of raw materials for its manufacture and has a large area. Since an integrated solar cell can be directly manufactured on an insulating substrate, it is attracting attention as a low-cost solar cell.
【0003】この薄膜太陽電池の製造においては,CV
D法やスパッタリング法などによる薄膜の堆積ステップ
とレーザスクライブ法などによるパターニングステップ
の適宜の繰り返しや組合せを含む製造プロセスによっ
て,所望の構造が形成される。通常は,1枚の絶縁基板
上に複数の光電変換セルが電気的に直列接続された集積
型構造が採用され,屋外用途のための電力用太陽電池で
は,例えば90cm×45cmの大面積の基板が用いら
れる。
In the production of this thin-film solar cell, CV
A desired structure is formed by a manufacturing process including an appropriate repetition or combination of a thin film deposition step by a D method or a sputtering method and a patterning step by a laser scribe method or the like. Usually, an integrated structure in which a plurality of photoelectric conversion cells are electrically connected in series on a single insulating substrate is employed. For a power solar cell for outdoor use, for example, a substrate having a large area of 90 cm × 45 cm is used. Is used.
【0004】図7は,このような集積型薄膜太陽電池1
の構造の断面図であり,絶縁基板としてのガラス基板2
上に第1電極層3,アモルファスシリコンなどからなる
半導体光電変換層5及び第2電極層7が順次積層されて
おり,パターニングによって半導体光電変換層5に設け
られた接続用開口溝6を介して互いに左右に隣接し合う
光電変換セルが電気的に直列に接続されている。
FIG. 7 shows such an integrated thin-film solar cell 1.
FIG. 2 is a cross-sectional view of the structure of FIG.
A first electrode layer 3, a semiconductor photoelectric conversion layer 5 made of amorphous silicon, and the like, and a second electrode layer 7 are sequentially stacked thereon, and are patterned through connection opening grooves 6 provided in the semiconductor photoelectric conversion layer 5. The photoelectric conversion cells adjacent to each other on the left and right are electrically connected in series.
【0005】第1電極層3としては,一般に酸化錫(S
nO),酸化亜鉛(ZnO),酸化インジウム錫
(ITO)等の透明導電膜が用いられ,また,第2電極
層7としては銀(Ag),アルミニウム(Al),クロ
ム(Cr)等の金属膜が用いられる。
The first electrode layer 3 is generally made of tin oxide (S
nO 2 ), zinc oxide (ZnO), indium tin oxide (ITO) or the like, and a transparent conductive film such as silver (Ag), aluminum (Al), chromium (Cr), or the like. A metal film is used.
【0006】このように構成された集積型薄膜太陽電池
1は,次のような方法で製造される。まず,ガラス基板
2上にSnO,ZnO,ITO等の透明導電膜が第
1電極層3として堆積され,その第1電極層3を複数の
光電変換セルに対応する複数の領域に分離するために,
レーザスクライブ法によって下部電極分離溝4が形成さ
れる。すなわち,これらの下部電極分離溝4は,図7の
紙面に直交する方向に直線状に延びている。そして,複
数の領域に分離された第1電極層3を覆うように,プラ
ズマCVD法を用いて,pin接合を含む非晶質シリコ
ンの半導体光電変換層5が堆積される。この半導体光電
変換層5には,左右に隣接する光電変換セルを電気的に
直列接続するための接続用開口溝6がレーザスクライブ
法によって形成される。これらの接続用開口溝6も,図
7の紙面に垂直な方向に直線状に延びている。続いて,
これらの接続用開口溝6を埋めかつ半導体光電変換層5
を覆うように,Ag,Al,Cr等の金属膜の単層また
は複層が第2電極層7を複数の光電変換セルに対応する
複数の領域に分離するように,上部電極分離溝8がレー
ザスクライブ法によって形成される。
The integrated thin-film solar cell 1 constructed as described above is manufactured by the following method. First, a transparent conductive film such as SnO 2 , ZnO, or ITO is deposited as a first electrode layer 3 on a glass substrate 2, and the first electrode layer 3 is separated into a plurality of regions corresponding to a plurality of photoelectric conversion cells. In
The lower electrode separation groove 4 is formed by the laser scribe method. That is, these lower electrode separation grooves 4 extend linearly in a direction perpendicular to the paper surface of FIG. Then, a semiconductor photoelectric conversion layer 5 of amorphous silicon including a pin junction is deposited using a plasma CVD method so as to cover the first electrode layer 3 separated into a plurality of regions. In the semiconductor photoelectric conversion layer 5, a connection opening groove 6 for electrically connecting left and right adjacent photoelectric conversion cells in series is formed by a laser scribe method. These connection opening grooves 6 also extend linearly in a direction perpendicular to the paper surface of FIG. continue,
These connection opening grooves 6 are filled and the semiconductor photoelectric conversion layer 5 is filled.
The upper electrode separation groove 8 is formed so that a single layer or a plurality of layers of a metal film such as Ag, Al, and Cr separates the second electrode layer 7 into a plurality of regions corresponding to a plurality of photoelectric conversion cells. It is formed by a laser scribe method.
【0007】これらの上部電極分離溝8も図7の紙面に
直交する方向に直線状に延びており,かつ好ましくは第
1電極層3に至る深さを有している。このようにして,
図7に示されるような集積型薄膜太陽電池が完成する。
The upper electrode separation grooves 8 also extend linearly in a direction perpendicular to the plane of FIG. 7 and preferably have a depth reaching the first electrode layer 3. In this way,
An integrated thin-film solar cell as shown in FIG. 7 is completed.
【0008】ところで,接続用開口溝6や上部電極分離
溝8をレーザスクライブ法によって加工すると,溝の内
部及び周辺に切り滓やバリ等のパーティクルが発生し,
この切り滓やバリ等のパーティクルをそのまま残してお
くと,光電変換セル相互間の短絡が発生し,集積型薄膜
太陽電池1の出力特性,絶縁特性,及び耐電圧特性が低
下させられる原因となる。
When the connection opening groove 6 and the upper electrode separation groove 8 are processed by the laser scribe method, particles such as chips and burrs are generated inside and around the groove.
If particles such as swarf and burrs are left as they are, a short circuit occurs between the photoelectric conversion cells, which causes the output characteristics, insulation characteristics, and withstand voltage characteristics of the integrated thin-film solar cell 1 to deteriorate. .
【0009】そこで,従来においては,特開平7−79
007号公報に示すように,ガラス基板側からレーザ光
を照射したり,特開平10−242489号公報に示す
ように,YAGレーザの第4高調波を用いた裏面反射電
極加工し,レーザ加工で発生する切り滓やバリを低減さ
せる技術が検討されている。
Therefore, conventionally, Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-79
As shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. 007-007, laser light is irradiated from the glass substrate side, or as shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-242489, a back reflection electrode processing using the fourth harmonic of a YAG laser is performed. Techniques for reducing generated chips and burrs are being studied.
【0010】また,特開平9−8337号公報に示すよ
うに,レーザスクライブによって溝を形成した後,溶断
残滓を除去するために水洗等の洗浄処理を施したり,特
開昭60−110178号公報に示すように,レーザス
クライブによって溝を形成した後,集積型薄膜太陽電池
を洗浄液に浸漬して超音波洗浄を行うことにより切り滓
等を除去する方法が知られている。
Further, as shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-8337, after a groove is formed by laser scribing, a cleaning process such as water washing is performed to remove the fusing residue. As shown in (1), a method is known in which after forming grooves by laser scribing, an integrated thin-film solar cell is immersed in a cleaning liquid and subjected to ultrasonic cleaning to remove chips and the like.
【0011】[0011]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら,特開平
7−79007号公報はバリを低減できるものの,発生
したバリを除去できないとともに,加工速度が遅く,非
能率的である。また,特開平10−242489号公報
は,レーザパワーと安定性及び加工速度が遅く,非能率
的である。特開平9−8337号公報及び特開昭60−
110178号公報は,表面に付着した切り滓等は取り
除くことができるものの,溝の奥部の切り滓を取り除く
には超音波を付与する時間が長くかかり,またバリまで
除去できないという問題がある。
However, although Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-79007 can reduce burrs, it cannot remove generated burrs, is slow in processing speed, and is inefficient. Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 10-242489 is inefficient because the laser power, stability and processing speed are slow. JP-A-9-8337 and JP-A-60-60
In Japanese Patent No. 110178, although the swarf and the like adhering to the surface can be removed, there is a problem that it takes a long time to apply ultrasonic waves to remove the swarf at the back of the groove, and it is impossible to remove burrs.
【0012】この発明は,前記事情に着目してなされた
もので,その目的とするところは,集積型薄膜太陽電池
の製造工程のレーザスクライブによって発生したパーテ
ィクルを短時間に確実に除去でき,出力特性,絶縁特性
及び耐電圧特性が優れた集積型薄膜太陽電池を得ること
ができる集積型薄膜太陽電池の洗浄方法及びその装置を
提供することにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to remove particles generated by laser scribing in a manufacturing process of an integrated type thin film solar cell in a short time without fail. An object of the present invention is to provide a method and an apparatus for cleaning an integrated thin-film solar cell capable of obtaining an integrated thin-film solar cell having excellent characteristics, insulation characteristics and withstand voltage characteristics.
【0013】[0013]
【課題を解決するための手段】この発明は,前記目的を
達成するために,請求項1は,絶縁基板上に順次積層さ
れた第1電極層,半導体光電変換層及び第2電極層を含
む積層体を備え,前記積層体をレーザスクライブ法によ
り光電変換セル集積領域と周縁領域とに分離し,前記光
電変換セル集積領域をレーザスクライブ法により複数の
光電変換セルに分離し,複数の光電変換セルの少なくと
も一部は電気的に直列に接続されている集積型薄膜太陽
電池の洗浄方法であって,前記集積型薄膜太陽電池を洗
浄液中に浸漬した状態で搬送させるとともに,前記洗浄
液に超音波振動を付与し,レーザスクライブによって発
生したパーティクルを除去することを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention comprises a first electrode layer, a semiconductor photoelectric conversion layer, and a second electrode layer sequentially laminated on an insulating substrate. A stacked body, wherein the stacked body is separated into a photoelectric conversion cell integration region and a peripheral region by a laser scribing method, and the photoelectric conversion cell integration region is separated into a plurality of photoelectric conversion cells by a laser scribing method; A method for cleaning an integrated thin-film solar cell in which at least some of the cells are electrically connected in series, wherein the integrated thin-film solar cell is transported in a state of being immersed in a cleaning liquid, and an ultrasonic wave is applied to the cleaning liquid. Vibration is applied to remove particles generated by laser scribing.
【0014】請求項2は、絶縁基板上に順次積層された
第1電極層,半導体光電変換層及び第2電極層を含む積
層体を備え,前記積層体をレーザスクライブ法により光
電変換セル集積領域と周縁領域とに分離し,前記光電変
換セル集積領域をレーザスクライブ法により複数の光電
変換セルに分離し,複数の光電変換セルの少なくとも一
部は電気的に直列に接続されている集積型薄膜太陽電池
の洗浄装置であって,洗浄液を収容した洗浄槽と,この
洗浄槽の内部に設けられ前記集積型薄膜太陽電池を洗浄
液中に浸漬した状態で搬送させる搬送機構と,前記洗浄
液に超音波振動を付与する超音波振動子とを具備したこ
とを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a laminated body including a first electrode layer, a semiconductor photoelectric conversion layer, and a second electrode layer which are sequentially laminated on an insulating substrate, and the laminated body is formed by a laser scribing method. And a peripheral region, wherein the photoelectric conversion cell integrated region is separated into a plurality of photoelectric conversion cells by a laser scribing method, and at least a part of the plurality of photoelectric conversion cells is electrically connected in series. A cleaning device for a solar cell, comprising: a cleaning tank containing a cleaning liquid; a transport mechanism provided inside the cleaning tank for transporting the integrated thin-film solar cell in a state of being immersed in the cleaning liquid; And an ultrasonic vibrator for applying vibration.
【0015】請求項3は、請求項2の前記超音波振動子
の出力を,0.2〜1.0W/cm にしたことを特
徴とする。
A third aspect of the present invention is the ultrasonic transducer according to the second aspect.
Output of 0.2 to 1.0 W / cm 2Specially
Sign.
【0016】請求項4は、絶縁基板上に順次積層された
第1電極層,半導体光電変換層及び第2電極層を含む積
層体を備え,前記積層体をレーザスクライブ法により光
電変換セル集積領域と周縁領域とに分離し,前記光電変
換セル集積領域をレーザスクライブ法により複数の光電
変換セルに分離し,複数の光電変換セルの少なくとも一
部は電気的に直列に接続されている集積型薄膜太陽電池
の洗浄方法であって,前記集積型薄膜太陽電池の積層体
の表面に回転ブラシを摺擦させるとともに,高圧エアー
を吹き付け,レーザスクライブによって発生したパーテ
ィクルを除去することを特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a stacked body including a first electrode layer, a semiconductor photoelectric conversion layer, and a second electrode layer sequentially stacked on an insulating substrate, and the stacked body is formed by a laser scribing method. And a peripheral region, wherein the photoelectric conversion cell integrated region is separated into a plurality of photoelectric conversion cells by a laser scribing method, and at least a part of the plurality of photoelectric conversion cells is electrically connected in series. A method for cleaning a solar cell, wherein a rotating brush is rubbed against the surface of the stacked body of the integrated thin-film solar cell, and high-pressure air is blown to remove particles generated by laser scribing.
【0017】請求項5は、絶縁基板上に順次積層された
第1電極層,半導体光電変換層及び第2電極層を含む積
層体を備え,前記積層体をレーザスクライブ法により光
電変換セル集積領域と周縁領域とに分離し,前記光電変
換セル集積領域をレーザスクライブ法により複数の光電
変換セルに分離し,複数の光電変換セルの少なくとも一
部は電気的に直列に接続されている集積型薄膜太陽電池
の洗浄方法であって,前記集積型薄膜太陽電池の積層体
のスクライブラインに沿って高圧エアーを吹き付け,レ
ーザスクライブによって発生したパーティクルを除去す
ることを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a laminated body including a first electrode layer, a semiconductor photoelectric conversion layer, and a second electrode layer which are sequentially laminated on an insulating substrate, and the laminated body is formed by a laser scribing method. And a peripheral region, wherein the photoelectric conversion cell integrated region is separated into a plurality of photoelectric conversion cells by a laser scribing method, and at least a part of the plurality of photoelectric conversion cells is electrically connected in series. A method for cleaning a solar cell, wherein high-pressure air is blown along a scribe line of a stacked body of the integrated thin-film solar cell to remove particles generated by laser scribe.
【0018】請求項6は、絶縁基板上に順次積層された
第1電極層,半導体光電変換層及び第2電極層を含む積
層体を備え,前記積層体をレーザスクライブ法により光
電変換セル集積領域と周縁領域とに分離し,前記光電変
換セル集積領域をレーザスクライブ法により複数の光電
変換セルに分離し,複数の光電変換セルの少なくとも一
部は電気的に直列に接続されている集積型薄膜太陽電池
の洗浄方法であって,前記集積型薄膜太陽電池の積層体
のスクライブラインに沿って高圧水を噴射し,レーザス
クライブによって発生したパーティクルを除去すること
を特徴とする。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a laminated body including a first electrode layer, a semiconductor photoelectric conversion layer, and a second electrode layer which are sequentially laminated on an insulating substrate, and the laminated body is formed by a laser scribing method. And a peripheral region, wherein the photoelectric conversion cell integrated region is separated into a plurality of photoelectric conversion cells by a laser scribing method, and at least a part of the plurality of photoelectric conversion cells is electrically connected in series. A method for cleaning a solar cell, wherein high-pressure water is injected along a scribe line of a stacked body of the integrated thin-film solar cell to remove particles generated by laser scribe.
【0019】請求項7は、絶縁基板上に順次積層された
第1電極層,半導体光電変換層及び第2電極層を含む積
層体を備え,前記積層体をレーザスクライブ法により光
電変換セル集積領域と周縁領域とに分離し,前記光電変
換セル集積領域をレーザスクライブ法により複数の光電
変換セルに分離し,複数の光電変換セルの少なくとも一
部は電気的に直列に接続されている集積型薄膜太陽電池
の洗浄装置であって,前記集積型薄膜太陽電池を積層体
を上向きにして支持する載置台と,この載置台に振動を
付与する振動発生器と,前記集積型薄膜太陽電池の上面
に対向して設けられ,前記積層体のスクライブラインに
沿って移動しながらスクライブラインに沿って高圧エア
ーを吹き付ける高圧エアー噴射ノズルとを具備したこと
を特徴とする。
A seventh aspect of the present invention includes a stacked body including a first electrode layer, a semiconductor photoelectric conversion layer, and a second electrode layer sequentially stacked on an insulating substrate, and the stacked body is formed by a laser scribing method in a photoelectric conversion cell integrated area. And a peripheral region, wherein the photoelectric conversion cell integrated region is separated into a plurality of photoelectric conversion cells by a laser scribing method, and at least a part of the plurality of photoelectric conversion cells is electrically connected in series. A cleaning device for a solar cell, comprising: a mounting table for supporting the integrated thin-film solar cell with a stacked body facing upward; a vibration generator for applying vibration to the mounting table; And a high-pressure air injection nozzle that is provided to face and blows high-pressure air along the scribe line while moving along the scribe line of the laminate.
【0020】請求項1〜3によれば,集積型薄膜太陽電
池を洗浄液中を搬送させながら洗浄液に超音波振動を付
与して超音波洗浄できる。
According to the first to third aspects, ultrasonic cleaning can be performed by applying ultrasonic vibration to the cleaning liquid while transporting the integrated thin-film solar cell in the cleaning liquid.
【0021】請求項4によれば,集積型薄膜太陽電池の
表面に回転ブラシを摺擦させ,パーティクルを掻き落と
し、さらに高圧エアーを吹き付けることができる。
According to the fourth aspect, the surface of the integrated thin-film solar cell can be rubbed with a rotating brush to scrape off particles and blow high-pressure air.
【0022】請求項5によれば,集積型薄膜太陽電池の
スクライブラインに沿って高圧エアーを吹き付けること
ができる。
According to the fifth aspect, high-pressure air can be blown along the scribe line of the integrated thin-film solar cell.
【0023】請求項6によれば,集積型薄膜太陽電池の
スクライブラインに沿って高圧水を噴射することができ
る。
According to the sixth aspect, high-pressure water can be injected along the scribe line of the integrated thin-film solar cell.
【0024】請求項7によれば,集積型薄膜太陽電池に
振動を付与しながらスクライブラインに沿って高圧エア
ーを吹き付けることができる。
According to the seventh aspect, high pressure air can be blown along the scribe line while applying vibration to the integrated thin film solar cell.
【0025】[0025]
【発明の実施の形態】以下,この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0026】図1は第1の実施形態を示し,図1は集積
型薄膜太陽電池の洗浄装置の概略的側面図である。ま
ず,被洗浄物としての集積型薄膜太陽電池1について説
明すると,図7の場合と同様であり,絶縁基板としての
ガラス基板2上に酸化錫(SnO),酸化亜鉛(Z
nO),酸化インジウム錫(ITO)等の透明導電膜か
らなる第1電極層3,アモルファスシリコンなどからな
る半導体光電変換層5及び銀(Ag),アルミニウム
(Al),クロム(Cr)等の金属膜からなる第2電極
層7が順次積層されており,パターニングによって半導
体光電変換層5に設けられた接続用開口溝6を介して互
いに左右に隣接し合う光電変換セルが電気的に直列に接
続されている。
FIG. 1 shows a first embodiment, and FIG. 1 is a schematic side view of an apparatus for cleaning an integrated thin-film solar cell. First, the integrated thin-film solar cell 1 as an object to be cleaned will be described in the same manner as in FIG. 7, in which tin oxide (SnO 2 ) and zinc oxide (Z
a first electrode layer 3 made of a transparent conductive film such as nO) or indium tin oxide (ITO); a semiconductor photoelectric conversion layer 5 made of amorphous silicon or the like; and a metal such as silver (Ag), aluminum (Al) or chromium (Cr). A second electrode layer 7 composed of a film is sequentially laminated, and photoelectric conversion cells adjacent to each other on the left and right are electrically connected in series via a connection opening groove 6 provided in the semiconductor photoelectric conversion layer 5 by patterning. Have been.
【0027】さらに,第1電極層3を複数の光電変換セ
ルに対応する複数の領域に分離するために,レーザスク
ライブ法によって下部電極分離溝4が形成される。さら
に,接続用開口溝6を埋めかつ半導体光電変換層5を覆
うように,Ag,Al,Cr等の金属膜の単層または複
層が第2電極層7を複数の光電変換セルに対応する複数
の領域に分離するように,上部電極分離溝8がレーザス
クライブ法によって形成されている。
Further, in order to separate the first electrode layer 3 into a plurality of regions corresponding to a plurality of photoelectric conversion cells, a lower electrode separation groove 4 is formed by a laser scribe method. Further, a single layer or multiple layers of a metal film of Ag, Al, Cr or the like corresponds to the plurality of photoelectric conversion cells so as to fill the connection opening groove 6 and cover the semiconductor photoelectric conversion layer 5. An upper electrode separation groove 8 is formed by a laser scribe method so as to separate the plurality of regions.
【0028】従って,図7(b)に示すように,集積型
薄膜太陽電池1の上部電極分離溝8(以下,スクライブ
ライン8という)にはレーザスクライブによって発生し
た切り滓やバリ等のパーティクルPが残った状態にあ
る。なお、上部電極分離溝8を例として図7(b)に示
したが、パーティクルは他のレーザスクライブ工程でも
発生する。各スクライブ工程で発生するこのパーティク
ルを除去することで絶縁の良好な集積型薄膜太陽電池を
布土間利欲製造できる。
Therefore, as shown in FIG. 7B, particles P such as chips and burrs generated by laser scribing are formed in the upper electrode separating grooves 8 (hereinafter referred to as scribe lines 8) of the integrated type thin film solar cell 1. Is in a state that remains. Although the upper electrode separation groove 8 is shown in FIG. 7B as an example, particles are also generated in another laser scribe process. By removing the particles generated in each scribe step, an integrated thin-film solar cell with good insulation can be manufactured between cloths.
【0029】次に,前述のように構成された集積型薄膜
太陽電池1を洗浄する洗浄装置11について説明する
と,上部を開口した洗浄槽12を備えている。洗浄槽1
2の長手方向の一端の側壁には集積型薄膜太陽電池1の
搬入口13が設けられ,他端の側壁には搬出口14が設
けられている。洗浄槽12の内部及び外部の搬入口13
及び搬出口14と略同一高さ位置には集積型薄膜太陽電
池1をその積層体を上向きにして水平に搬送するローラ
コンベア15が設けられている。これらローラコンベア
15を構成するローラ15aは回転駆動機構(図示しな
い)によって回転し,この上面に載置された集積型薄膜
太陽電池1が搬入口13から洗浄槽12に搬入され,搬
出口14から搬出されるようになっている。
Next, a description will be given of a cleaning apparatus 11 for cleaning the integrated thin-film solar cell 1 configured as described above. The cleaning apparatus 11 includes a cleaning tank 12 having an open top. Cleaning tank 1
A carry-in port 13 of the integrated thin-film solar cell 1 is provided on a side wall of one end in the longitudinal direction of 2, and a carry-out port 14 is provided on a side wall of the other end. Loading port 13 inside and outside cleaning tank 12
A roller conveyor 15 for transporting the integrated thin-film solar cell 1 horizontally with its stacked body facing upward is provided substantially at the same height as the carry-out port 14. The rollers 15a constituting these roller conveyors 15 are rotated by a rotation drive mechanism (not shown), and the integrated thin-film solar cell 1 placed on the upper surface is carried into the washing tank 12 from the carry-in port 13 and from the carry-out port 14. It is designed to be carried out.
【0030】洗浄槽12の底部には洗浄液,例えば純水
Wを供給する純水供給口16が設けられ,この純水供給
口16は純水供給源(図示しない)と接続されている。
さらに,洗浄槽12の内底部には超音波振動子17(出
力:0.2〜1.0W/cm )が設けられている。
なお,18は水切りエアーナイフである。
At the bottom of the cleaning tank 12, a cleaning liquid such as pure water
A pure water supply port 16 for supplying W is provided.
The port 16 is connected to a pure water supply source (not shown).
Further, an ultrasonic vibrator 17 (exit) is provided at the inner bottom of the cleaning tank 12.
Force: 0.2-1.0W / cm 2) Is provided.
Reference numeral 18 denotes a drainer air knife.
【0031】また,前記純水の純度は,純水供給源ある
いは純水製造装置の出口で,比抵抗が16〜18MΩ・
cm(25℃),微粒子数が0.2μm以上のもの10
0〜150個/ml,生菌数が0〜10個/ml,有機
物が0.5〜1.0ppmである。
The purity of the pure water is determined at a pure water supply source or at an outlet of a pure water producing apparatus so that the specific resistance is 16 to 18 MΩ.
cm (25 ° C.), the number of fine particles of which is 0.2 μm or more 10
0 to 150 cells / ml, viable cell count is 0 to 10 cells / ml, and organic matter is 0.5 to 1.0 ppm.
【0032】次に,前述のように構成された洗浄装置1
1を用いて集積型薄膜太陽電池1を洗浄する方法につい
て説明する。純水供給口16から洗浄槽12に純水Wを
供給し,純水Wの水位が搬入口13及び搬出口14に達
すると,この搬入口13及び搬出口14から溢水する。
従って,純水Wの水位は常に一定に保たれる。超音波振
動子17に通電して超音波振動させると,純水Wに超音
波振動が伝播される。
Next, the cleaning apparatus 1 constructed as described above is used.
A method for cleaning the integrated thin-film solar cell 1 using the method 1 will be described. Pure water W is supplied from the pure water supply port 16 to the washing tank 12, and when the level of the pure water W reaches the carry-in port 13 and the carry-out port 14, the water overflows from the carry-in port 13 and the carry-out port 14.
Therefore, the water level of the pure water W is always kept constant. When the ultrasonic vibrator 17 is energized and ultrasonically vibrated, the ultrasonic vibration is propagated to the pure water W.
【0033】この状態で,集積型薄膜太陽電池1をロー
ラコンベア15に載置すると,集積型薄膜太陽電池1は
搬入口13から洗浄槽12の純水W中に搬送される。こ
のとき,純水Wは超音波振動が伝播されているため,集
積型薄膜太陽電池1のスクライブライン8の内部に残っ
ていた切り滓やバリ等のパーティクルPは除去され,パ
ーティクルPは溢水とともに排出または純水Wに沈殿
し、パーティクルPが集積型薄膜太陽電池1に再び付着
することはなく,また洗浄槽12の汚染が低減されると
いう効果がある。
When the integrated thin-film solar cell 1 is placed on the roller conveyor 15 in this state, the integrated thin-film solar cell 1 is transported from the entrance 13 into the pure water W in the cleaning tank 12. At this time, since the ultrasonic vibration of the pure water W is propagated, particles P such as chips and burrs remaining inside the scribe line 8 of the integrated thin-film solar cell 1 are removed, and the particles P are removed together with the overflow. There is an effect that the particles P are not discharged or settled in the pure water W, and the particles P do not adhere to the integrated thin-film solar cell 1 again, and the contamination of the cleaning tank 12 is reduced.
【0034】さらに、集積型薄膜太陽電池1を搬送中に
連続的に洗浄することにより,多数の異基板を連続的に
洗浄でき,また,超音波振動子17上を移動するので,局
所的ではなく,一様に超音波振動を付与できるという効
果がある。
Further, by continuously cleaning the integrated thin-film solar cell 1 during transportation, a large number of different substrates can be continuously cleaned. However, there is an effect that ultrasonic vibration can be uniformly applied.
【0035】洗浄が完了した集積型薄膜太陽電池1は搬
出口14から洗浄槽12の外部に排出されるとともに,
集積型薄膜太陽電池1に付着している純水W及びパーテ
ィクルPは水切りエアーナイフ18から噴射する高圧エ
アーによって吹き飛ばされる。従って,集積型薄膜太陽
電池1を洗浄槽12の純水W中を通過させるだけで連続
的に洗浄できる。
The integrated thin-film solar cell 1 whose cleaning has been completed is discharged from the discharge port 14 to the outside of the cleaning tank 12, and
The pure water W and the particles P adhering to the integrated thin-film solar cell 1 are blown off by the high-pressure air jetted from the drain air knife 18. Therefore, the integrated thin-film solar cell 1 can be continuously cleaned only by passing it through the pure water W of the cleaning tank 12.
【0036】なお,本実施形態においては,集積型薄膜
太陽電池1を搬送する手段としてローラコンベア15を
採用したが,例えばメッシュ状または梯子状で,通水性
を有するエンドレスベルトによって搬送するようにして
もよく,洗浄液は純水Wに限定されず,水道水あるいは
化学洗浄液でもよい。ここで,化学洗浄液とは,洗剤を含
んだ水やアセトン,メタノール,エタノール,トリクレ
ン,フレオン等の有機溶剤を含む。
In this embodiment, the roller conveyor 15 is employed as a means for transporting the integrated thin-film solar cell 1. However, for example, the roller is transported by an endless belt having a water permeability in a mesh or ladder shape. The cleaning liquid is not limited to pure water W, but may be tap water or a chemical cleaning liquid. Here, the chemical cleaning liquid includes water containing detergent and organic solvents such as acetone, methanol, ethanol, trichlene, and freon.
【0037】図2は第2の実施形態を示し,第1の実施
形態と同一構成部分は同一番号を付して説明を省略す
る。集積型薄膜太陽電池1をそのスクライブライン8と
平行に搬送するローラコンベア15の途中にはトンネル
状の洗浄ボックス21が設けられている。この洗浄ボッ
クス21の内部には複数の回転ブラシ22及び高圧エア
ーノズル23が設けられている。
FIG. 2 shows a second embodiment. The same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and the description is omitted. A tunnel-like cleaning box 21 is provided in the middle of the roller conveyor 15 for transporting the integrated thin-film solar cell 1 in parallel with the scribe line 8. A plurality of rotating brushes 22 and a high-pressure air nozzle 23 are provided inside the cleaning box 21.
【0038】回転ブラシ22は,回転駆動機構(図示し
ない)によって回転する回転軸24と,この回転軸24
の周囲に植毛したナイロン等のブラシ毛25とからな
り,ロール状に構成されている。そして,ブラシ毛25
の先端が集積型薄膜太陽電池1の表面及びスクライブラ
イン8の内部に摺擦し,スクライブライン8の内部に残
っていた切り滓やバリ等のパーティクルPは除去するよ
うになっている。さらに,回転ブラシ22による摺擦部
には高圧エアーノズル23から高圧エアーが吹き付けら
れ,パーティクルPを吹き飛ばすようになっている。
The rotating brush 22 has a rotating shaft 24 rotated by a rotation driving mechanism (not shown), and a rotating shaft 24.
And brush bristles 25 made of nylon or the like, which are planted around the periphery, and configured in a roll shape. And brush hair 25
Are rubbed against the surface of the integrated thin-film solar cell 1 and the inside of the scribe line 8 to remove particles P such as chips and burrs remaining inside the scribe line 8. Further, high-pressure air is blown from a high-pressure air nozzle 23 to the rubbing portion by the rotating brush 22 to blow off the particles P.
【0039】次に,本実施形態の作用について説明す
る。
Next, the operation of the present embodiment will be described.
【0040】回転ブラシ22を矢印方向に回転させると
ともに,高圧エアーノズル23から高圧エアーを吹き付
けた状態で,集積型薄膜太陽電池1をローラコンベア1
5に載置すると,集積型薄膜太陽電池1は洗浄ボックス
21の内部に搬送される。そして,集積型薄膜太陽電池
1が回転ブラシ22に到達すると,ブラシ毛25の先端
が集積型薄膜太陽電池1の表面及びスクライブライン8
の内部を摺擦し,スクライブライン8の内部に残ってい
た切り滓やバリ等のパーティクルPを除去する。同時
に,回転ブラシ22による摺擦部に高圧エアーノズル2
3から高圧エアーが吹き付けられるため,パーティクル
Pは吹き飛ばされる。洗浄が完了した集積型薄膜太陽電
池1は洗浄ボックス21の外部に排出され,集積型薄膜
太陽電池1を洗浄ボックス21の内部を通過させるだけ
で連続的に洗浄できる。
While rotating the rotating brush 22 in the direction of the arrow and blowing high-pressure air from the high-pressure air nozzle 23, the integrated thin-film solar cell 1 is
5, the integrated thin-film solar cell 1 is transported into the cleaning box 21. When the integrated thin-film solar cell 1 reaches the rotating brush 22, the tip of the brush bristles 25 moves to the surface of the integrated thin-film solar cell 1 and the scribe line 8.
Is rubbed to remove particles P such as chips and burrs remaining inside the scribe line 8. At the same time, the high pressure air nozzle 2
Since the high-pressure air is blown from 3, the particles P are blown off. The washed integrated thin-film solar cell 1 is discharged to the outside of the washing box 21 and can be continuously washed only by passing the integrated thin-film solar cell 1 through the inside of the washing box 21.
【0041】図3は第3の実施形態を示し,第1の実施
形態と同一構成部分は同一番号を付して説明を省略す
る。本実施形態は,集積型薄膜太陽電池1のスクライブ
ラインに沿って高圧エアーノズル26をスキャンしてス
クライブライン8の内部のパーティクルPを吹き飛ばす
ようにしたものである。
FIG. 3 shows the third embodiment, and the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof will be omitted. In the present embodiment, the high-pressure air nozzle 26 is scanned along the scribe line of the integrated thin-film solar cell 1 to blow off particles P inside the scribe line 8.
【0042】集積型薄膜太陽電池1は載置台27に水平
状態に載置されている。載置台27の上部にはX軸ガイ
ドレール28が設けられ,このX軸ガイドレール28に
はY軸ガイドレール29が直交して設けられている。X
軸ガイドレール28及びY軸ガイドレール29にはそれ
ぞれモータによって駆動されるボールスクリュー28
a,29aが設けられ,Y軸ガイドレール29はX軸ガ
イドレール28に沿ってX方向に移動自在である。ま
た,Y軸ガイドレール29にはボールスクリュー29a
によってY方向に移動自在なノズルヘッド30が設けら
れ,このノズルヘッド30には前記高圧エアーノズル2
6が下向きに設けられている。
The integrated thin-film solar cell 1 is mounted on a mounting table 27 in a horizontal state. An X-axis guide rail 28 is provided on the mounting table 27, and a Y-axis guide rail 29 is provided on the X-axis guide rail 28 at right angles. X
A ball screw 28 driven by a motor is provided on each of the axis guide rail 28 and the Y axis guide rail 29.
a, 29 a are provided, and the Y-axis guide rail 29 is movable in the X direction along the X-axis guide rail 28. The Y-axis guide rail 29 has a ball screw 29a.
A nozzle head 30 is provided which is movable in the Y direction.
6 is provided downward.
【0043】従って,高圧エアーノズル26は集積型薄
膜太陽電池1の上部においてXY方向に移動自在であ
り,5〜20気圧の高圧エアー供給源(図示しない)と
接続されている。
Accordingly, the high-pressure air nozzle 26 is movable in the XY directions above the integrated thin-film solar cell 1, and is connected to a high-pressure air supply source (not shown) of 5 to 20 atm.
【0044】次に,本実施形態の作用について説明す
る。
Next, the operation of the present embodiment will be described.
【0045】モータによってボールスクリュー28a,
29aを回転駆動し,高圧エアーノズル26を集積型薄
膜太陽電池1の一側側のスクライブライン8に位置決め
した後,高圧エアーノズル26から高圧エアーを噴射す
る。そして,ボールスクリュー29aの回転によって高
圧エアーノズル26をスクライブライン8に沿ってY方
向に移動すると,スクライブライン8の内部に残ってい
た切り滓やバリ等のパーティクルPは高圧エアーによっ
て吹き飛ばされる。
The ball screw 28a,
After the high-pressure air nozzle 26 is driven to rotate and the high-pressure air nozzle 26 is positioned on the scribe line 8 on one side of the integrated thin-film solar cell 1, high-pressure air is injected from the high-pressure air nozzle 26. When the high-pressure air nozzle 26 is moved in the Y direction along the scribe line 8 by the rotation of the ball screw 29a, particles P such as chips and burrs remaining inside the scribe line 8 are blown off by the high-pressure air.
【0046】1本のスクライブライン8の洗浄が完了し
たところで,ボールスクリュー28aを駆動して高圧エ
アーノズル26をX方向に移動して次のスクライブライ
ン8に位置決めする。そして,再び高圧エアーノズル2
6から高圧エアーを噴射しながらボールスクリュー29
aの回転によって高圧エアーノズル26をスクライブラ
インに沿ってY方向に移動する。この操作を繰り返すこ
とにより,集積型薄膜太陽電池1のスクライブライン8
の内部に残っていた切り滓やバリ等のパーティクルPを
高圧エアーによってすべて吹き飛ばすことができる。
When the cleaning of one scribe line 8 is completed, the ball screw 28a is driven to move the high-pressure air nozzle 26 in the X direction to position the next scribe line 8. And again, high pressure air nozzle 2
Ball screw 29 while injecting high pressure air from 6
The high pressure air nozzle 26 is moved in the Y direction along the scribe line by the rotation of a. By repeating this operation, the scribe line 8 of the integrated thin-film solar cell 1 is
Particles P such as chips and burrs remaining in the inside can be blown off by high-pressure air.
【0047】なお,本実施形態においては,1本の高圧
エアーノズル26によってスクライブライン8を1本ず
つ洗浄するようにしたが,複数本の高圧エアーノズル2
6をスクライブライン8の間隔に対応して複数本隣接し
て設け,同時に洗浄するようにしてもよい。さらに,高
圧エアーノズル26をXY方向に移動するようにした
が,集積型薄膜太陽電池1を載置する載置台27をXY
テーブルに載置して集積型薄膜太陽電池1をXY方向に
移動するようにしてもよい。
In the present embodiment, the scribe lines 8 are cleaned one by one by one high-pressure air nozzle 26, but a plurality of high-pressure air nozzles 2 are cleaned.
A plurality of 6 may be provided adjacent to each other at intervals of the scribe line 8 so as to be cleaned at the same time. Further, the high-pressure air nozzle 26 is moved in the XY directions, but the mounting table 27 on which the integrated thin-film solar cell 1 is mounted is moved in the XY direction.
The integrated thin-film solar cell 1 may be placed on a table and moved in the XY directions.
【0048】また,高圧エアーノズル26に代わって高
圧水噴射ノズルを設け,高圧水を集積型薄膜太陽電池1
に向かって噴射して洗浄してもよく,高圧水に限らず,
アセトン,アルコール,トリクレン,フレオン液体,塩
酸液でもよい。
Further, a high-pressure water injection nozzle is provided in place of the high-pressure air nozzle 26 to supply high-pressure water to the integrated thin-film solar cell 1.
Cleaning may be performed by spraying toward
Acetone, alcohol, trichlene, Freon liquid, hydrochloric acid liquid may be used.
【0049】図4は第4の実施形態を示し,第1,2の
実施形態と同一構成部分は同一番号を付して説明を省略
する。本実施形態は,集積型薄膜太陽電池1に高圧水を
噴射し,スクライブライン8の内部のパーティクルPを
吹き飛ばすようにしたものである。
FIG. 4 shows a fourth embodiment, in which the same components as those in the first and second embodiments are assigned the same reference numerals and description thereof is omitted. In this embodiment, high-pressure water is injected into the integrated thin-film solar cell 1 to blow off particles P inside the scribe line 8.
【0050】集積型薄膜太陽電池1をそのスクライブラ
イン8と平行に搬送するローラコンベア15の途中には
スクライブライン8と直交する高圧水噴射ノズル機構3
1が設けられ,この高圧水噴射ノズル機構31は高圧水
供給源(図示しない)に接続されている。高圧水噴射ノ
ズル機構31には集積型薄膜太陽電池1に向かって高圧
水を噴射する複数個の噴射ノズル32が設けられてい
る。
In the middle of the roller conveyor 15 for transporting the integrated thin-film solar cell 1 in parallel with the scribe line 8, a high-pressure water jet nozzle mechanism 3 orthogonal to the scribe line 8 is provided.
The high-pressure water injection nozzle mechanism 31 is connected to a high-pressure water supply source (not shown). The high-pressure water injection nozzle mechanism 31 is provided with a plurality of injection nozzles 32 for injecting high-pressure water toward the integrated thin-film solar cell 1.
【0051】次に,本実施形態の作用について説明す
る。
Next, the operation of the present embodiment will be described.
【0052】噴射ノズル32から高圧水を噴射した状態
で,集積型薄膜太陽電池1をローラコンベア15に載置
すると,集積型薄膜太陽電池1は搬送される。そして,
集積型薄膜太陽電池1が噴射ノズル32の下部に到達す
ると,高圧水が集積型薄膜太陽電池1の表面及びスクラ
イブライン8に噴射され,スクライブライン8の内部に
残っていた切り滓やバリ等のパーティクルPを除去され
る。洗浄が完了した集積型薄膜太陽電池1は洗浄ボック
ス21の外部に排出され,集積型薄膜太陽電池1を洗浄
ボックス21の内部を通過させるだけで連続的に洗浄で
きる。
When the integrated thin-film solar cell 1 is placed on the roller conveyor 15 in a state where high-pressure water is injected from the injection nozzle 32, the integrated thin-film solar cell 1 is transported. And
When the integrated thin-film solar cell 1 reaches the lower part of the spray nozzle 32, high-pressure water is sprayed on the surface of the integrated thin-film solar cell 1 and the scribe line 8, and the slag and burrs remaining inside the scribe line 8 are removed. Particles P are removed. The washed integrated thin-film solar cell 1 is discharged to the outside of the washing box 21 and can be continuously washed only by passing the integrated thin-film solar cell 1 through the inside of the washing box 21.
【0053】図5は第5の実施形態を示し,第1,2の
実施形態と同一構成部分は同一番号を付して説明を省略
する。本実施形態は,集積型薄膜太陽電池1のスクライ
ブライン8の内部のパーティクルPを粘着部材によって
除去するようにしたものである。
FIG. 5 shows a fifth embodiment, in which the same components as those in the first and second embodiments are assigned the same reference numerals and description thereof is omitted. In the present embodiment, particles P inside the scribe lines 8 of the integrated thin-film solar cell 1 are removed by an adhesive member.
【0054】集積型薄膜太陽電池1をそのスクライブラ
イン8と平行に搬送するローラコンベア15の途中には
粘着ローラ33が軸受34によって回転自在及び軸方向
に移動自在に設けられている。この粘着ローラ33はモ
ータ35によって矢印方向に回転し,かつ外周面の粘着
面33aが集積型薄膜太陽電池1の上面に転接するよう
になっている。粘着面33aは,例えば0.01〜0.
05N/mmの範囲の粘着強度を有し,スクライブライ
ン8の内部に残っていた切り滓やバリ等のパーティクル
Pを粘着除去できるようになっている。
In the middle of the roller conveyor 15 for transporting the integrated thin-film solar cell 1 in parallel with the scribe line 8, an adhesive roller 33 is provided rotatably and axially movable by a bearing 34. The adhesive roller 33 is rotated by a motor 35 in the direction of the arrow, and the adhesive surface 33a on the outer peripheral surface is brought into rolling contact with the upper surface of the integrated thin-film solar cell 1. The adhesive surface 33a is, for example, 0.01-0.
It has an adhesive strength in the range of 05 N / mm, and can remove particles P such as chips and burrs remaining inside the scribe line 8 by adhesive.
【0055】次に,本実施形態の作用について説明す
る。
Next, the operation of the present embodiment will be described.
【0056】粘着ローラ33をモータ35によって矢印
方向に回転させた状態で,集積型薄膜太陽電池1をロー
ラコンベア15に載置すると,ローラコンベア15によ
って搬送される。そして,集積型薄膜太陽電池1が粘着
ローラ33の下部に到達すると,集積型薄膜太陽電池1
の上面は粘着ローラ33の粘着面33aに転接する。従
って,集積型薄膜太陽電池1の表面及びスクライブライ
ン8に残っていた切り滓やバリ等のパーティクルPが粘
着面33aに粘着除去された後,外部に搬送される。こ
のように集積型薄膜太陽電池1を粘着ローラ33の下部
を通過させるだけで連続的に洗浄できる。また,粘着面
33aに切り滓やバリ等のパーティクルPが粘着し,粘
着力が弱ってきた場合には,粘着ローラ33を軸方向に
移動することにより,粘着面33aの全面を使用するこ
とができる。
When the integrated thin-film solar cell 1 is placed on the roller conveyor 15 while the adhesive roller 33 is rotated in the direction of the arrow by the motor 35, the roller is conveyed by the roller conveyor 15. When the integrated thin-film solar cell 1 reaches the lower portion of the adhesive roller 33, the integrated thin-film solar cell 1
Is in rolling contact with the adhesive surface 33a of the adhesive roller 33. Accordingly, particles P such as chips and burrs remaining on the surface of the integrated thin-film solar cell 1 and the scribe line 8 are adhered to the adhesive surface 33a and then transported to the outside. Thus, the integrated thin-film solar cell 1 can be continuously cleaned only by passing it under the adhesive roller 33. When particles P such as chips and burrs adhere to the adhesive surface 33a and the adhesive force is weakened, the entire surface of the adhesive surface 33a can be used by moving the adhesive roller 33 in the axial direction. it can.
【0057】図6は第6の実施形態を示し,第1の実施
形態と同一構成部分は同一番号を付して説明を省略す
る。本実施形態は,集積型薄膜太陽電池1に振動を付与
した状態で,高圧エアーを吹き付け,スクライブライン
8の内部のパーティクルPを吹き飛ばすようにしたもの
である。
FIG. 6 shows a sixth embodiment. The same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted. In the present embodiment, high-pressure air is blown while applying vibration to the integrated thin-film solar cell 1 to blow off particles P inside the scribe line 8.
【0058】集積型薄膜太陽電池1は振動発生器36
(例えば5〜40KHz)を内蔵した載置台37に載置
されている。載置台37の上部には集積型薄膜太陽電池
1のスクライブラインと直交する高圧エアーノズル機構
38が設けられている。この高圧エアーノズル機構38
は高圧エアー供給源(図示しない)と接続されていると
ともに,両端部がガイドレール39に支持され,スクラ
イブライン8と平行に移動するようになっている。さら
に,高圧エアーノズル機構38には集積型薄膜太陽電池
1の幅方向全体に亘って高圧エアーを吹き付けるように
全長に亘って多数の噴射ノズル40が設けられている。
The integrated thin-film solar cell 1 has a vibration generator 36.
(For example, 5 to 40 KHz). A high-pressure air nozzle mechanism 38 orthogonal to the scribe line of the integrated thin-film solar cell 1 is provided above the mounting table 37. This high pressure air nozzle mechanism 38
Is connected to a high-pressure air supply source (not shown), and both ends are supported by guide rails 39 so as to move in parallel with the scribe line 8. Further, the high-pressure air nozzle mechanism 38 is provided with a large number of injection nozzles 40 over the entire length so as to blow high-pressure air over the entire width of the integrated thin-film solar cell 1 in the width direction.
【0059】次に,本実施形態の作用について説明す
る。
Next, the operation of the present embodiment will be described.
【0060】振動発生器36を駆動すると,載置台37
に載置された集積型薄膜太陽電池1がストローク0.5
mm以下で振動する。同時に噴射ノズル40から高圧エ
アーを集積型薄膜太陽電池1の上面に吹き付けると,高
圧エアーによって集積型薄膜太陽電池1の表面及びスク
ライブライン8の内部に残っていた切り滓やバリ等のパ
ーティクルPが吹き飛ばされる。さらに,高圧エアーノ
ズル機構38を集積型薄膜太陽電池1のスクライブライ
ン8に沿って移動することにより,集積型薄膜太陽電池
1の全面に亘って短時間に洗浄できる。
When the vibration generator 36 is driven, the mounting table 37
The integrated thin-film solar cell 1 placed on the
It vibrates below mm. Simultaneously, when high-pressure air is blown from the injection nozzle 40 onto the upper surface of the integrated thin-film solar cell 1, particles P, such as chips and burrs, remaining on the surface of the integrated thin-film solar cell 1 and inside the scribe line 8 due to the high-pressure air. Blown away. Further, by moving the high-pressure air nozzle mechanism 38 along the scribe line 8 of the integrated thin-film solar cell 1, the entire surface of the integrated thin-film solar cell 1 can be cleaned in a short time.
【0061】なお,本実施形態においては,高圧エアー
ノズル機構38を設けたが,高圧水噴射ノズル機構によ
って高圧水を集積型薄膜太陽電池1の向かって噴出して
もよい。さらに,高圧エアーノズル機構38をスクライ
ブライン8に沿って移動したが,載置台37を移動させ
るようにしてもよい。
Although the high-pressure air nozzle mechanism 38 is provided in the present embodiment, high-pressure water may be jetted toward the integrated thin-film solar cell 1 by the high-pressure water jet nozzle mechanism. Furthermore, although the high-pressure air nozzle mechanism 38 has been moved along the scribe line 8, the mounting table 37 may be moved.
【0062】[0062]
【発明の効果】以上説明したように,この発明によれ
ば,集積型薄膜太陽電池の製造工程のレーザスクライブ
によって発生した切り滓,バリ等のパーティクルを短時
間に確実に除去でき,出力特性,絶縁特性及び耐電圧特
性が優れた集積型薄膜太陽電池を得ることができる。さ
らに、集積型薄膜太陽電池を搬送中に連続的に洗浄する
ことにより,多数の異基板を連続的に洗浄でき,また,超
音波振動子上を移動するので,局所的ではなく,一様に超
音波振動を付与できるという効果がある。
As described above, according to the present invention, particles such as chips and burrs generated by laser scribing in the manufacturing process of an integrated type thin film solar cell can be reliably removed in a short time, and the output characteristics and An integrated thin-film solar cell having excellent insulation characteristics and withstand voltage characteristics can be obtained. Furthermore, by continuously cleaning the integrated thin-film solar cells during transportation, a large number of different substrates can be continuously cleaned, and since they move on the ultrasonic vibrator, they can be uniformly, not locally. There is an effect that ultrasonic vibration can be applied.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図1】この発明の第1の実施形態を示す洗浄装置の縦
断側面図。
FIG. 1 is a vertical sectional side view of a cleaning apparatus according to a first embodiment of the present invention.
【図2】この発明の第2の実施形態を示す洗浄装置の縦
断側面図。
FIG. 2 is a vertical sectional side view of a cleaning apparatus according to a second embodiment of the present invention.
【図3】この発明の第3の実施形態を示す洗浄装置の斜
視図。
FIG. 3 is a perspective view of a cleaning apparatus according to a third embodiment of the present invention.
【図4】この発明の第4の実施形態を示す洗浄装置の斜
視図。
FIG. 4 is a perspective view of a cleaning apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.
【図5】この発明の第5の実施形態を示す洗浄装置の斜
視図。
FIG. 5 is a perspective view of a cleaning apparatus according to a fifth embodiment of the present invention.
【図6】この発明の第6の実施形態を示す洗浄装置の斜
視図。
FIG. 6 is a perspective view of a cleaning apparatus according to a sixth embodiment of the present invention.
【図7】一般的な集積型薄膜太陽電池を示し,(a)は
縦断側面図,(b)は一部を拡大した縦断側面図。
7A and 7B show a general integrated thin-film solar cell, in which FIG. 7A is a longitudinal sectional side view, and FIG.
【符号の説明】[Explanation of symbols]
1…集積型薄膜太陽電池 8…スクライブライン 11…洗浄装置 12…洗浄槽 15…ローラコンベア 17…超音波振動子 22…回転ブラシ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Integrated thin-film solar cell 8 ... Scribe line 11 ... Cleaning device 12 ... Cleaning tank 15 ... Roller conveyor 17 ... Ultrasonic vibrator 22 ... Rotary brush

Claims (7)

    【特許請求の範囲】[Claims]
  1. 【請求項1】 絶縁基板上に順次積層された第1電極
    層,半導体光電変換層及び第2電極層を含む積層体を備
    え,前記積層体をレーザスクライブ法により光電変換セ
    ル集積領域と周縁領域とに分離し,前記光電変換セル集
    積領域をレーザスクライブ法により複数の光電変換セル
    に分離し,複数の光電変換セルの少なくとも一部は電気
    的に直列に接続されている集積型薄膜太陽電池の洗浄方
    法であって,前記集積型薄膜太陽電池を洗浄液中に浸漬
    した状態で搬送させるとともに,前記洗浄液に超音波振
    動を付与し,レーザスクライブによって発生したパーテ
    ィクルを除去することを特徴とする集積型薄膜太陽電池
    の洗浄方法。
    1. A laminate comprising a first electrode layer, a semiconductor photoelectric conversion layer, and a second electrode layer sequentially laminated on an insulating substrate, wherein the laminate is formed by a laser scribing method with a photoelectric conversion cell integrated region and a peripheral region. The photoelectric conversion cell integrated region is separated into a plurality of photoelectric conversion cells by a laser scribe method, and at least a part of the plurality of photoelectric conversion cells is electrically connected in series. A cleaning method, wherein the integrated thin-film solar cell is transported in a state of being immersed in a cleaning liquid, and ultrasonic vibration is applied to the cleaning liquid to remove particles generated by laser scribing. Cleaning method for thin-film solar cells.
  2. 【請求項2】 絶縁基板上に順次積層された第1電極
    層,半導体光電変換層及び第2電極層を含む積層体を備
    え,前記積層体をレーザスクライブ法により光電変換セ
    ル集積領域と周縁領域とに分離し,前記光電変換セル集
    積領域をレーザスクライブ法により複数の光電変換セル
    に分離し,複数の光電変換セルの少なくとも一部は電気
    的に直列に接続されている集積型薄膜太陽電池の洗浄装
    置であって,洗浄液を収容した洗浄槽と,この洗浄槽の
    内部に設けられ前記集積型薄膜太陽電池を洗浄液中に浸
    漬した状態で搬送させる搬送機構と,前記洗浄液に超音
    波振動を付与する超音波振動子とを具備したことを特徴
    とする集積型薄膜太陽電池の洗浄装置。
    2. A laminate comprising a first electrode layer, a semiconductor photoelectric conversion layer, and a second electrode layer sequentially laminated on an insulating substrate, wherein the laminate is formed by a laser scribing method with a photoelectric conversion cell integrated region and a peripheral region. The photoelectric conversion cell integrated region is separated into a plurality of photoelectric conversion cells by a laser scribe method, and at least a part of the plurality of photoelectric conversion cells is electrically connected in series. A cleaning device, a cleaning tank containing a cleaning liquid, a transport mechanism provided inside the cleaning tank for transporting the integrated thin-film solar cell in a state of being immersed in the cleaning liquid, and applying ultrasonic vibration to the cleaning liquid. A cleaning apparatus for an integrated thin-film solar cell, comprising:
  3. 【請求項3】 前記超音波振動子の出力を,0.2〜
    1.0W/cmにしたことを特徴とする請求項2記
    載の集積型薄膜太陽電池の洗浄装置。
    3. The output of the ultrasonic transducer is set to 0.2 to
    3. The cleaning apparatus for an integrated thin-film solar cell according to claim 2, wherein the cleaning power is set to 1.0 W / cm 2 .
  4. 【請求項4】 絶縁基板上に順次積層された第1電極
    層,半導体光電変換層及び第2電極層を含む積層体を備
    え,前記積層体をレーザスクライブ法により光電変換セ
    ル集積領域と周縁領域とに分離し,前記光電変換セル集
    積領域をレーザスクライブ法により複数の光電変換セル
    に分離し,複数の光電変換セルの少なくとも一部は電気
    的に直列に接続されている集積型薄膜太陽電池の洗浄方
    法であって,前記集積型薄膜太陽電池の積層体の表面に
    回転ブラシを摺擦させるとともに,高圧エアーを吹き付
    け,レーザスクライブによって発生したパーティクルを
    除去することを特徴とする集積型薄膜太陽電池の洗浄方
    法。
    4. A laminated body including a first electrode layer, a semiconductor photoelectric conversion layer, and a second electrode layer sequentially laminated on an insulating substrate, wherein the laminated body is formed by a laser scribing method with a photoelectric conversion cell integrated region and a peripheral region. The photoelectric conversion cell integrated region is separated into a plurality of photoelectric conversion cells by a laser scribe method, and at least a part of the plurality of photoelectric conversion cells is electrically connected in series. A cleaning method, wherein a rotating brush is rubbed against a surface of a stacked body of the integrated thin film solar cell, and high pressure air is blown to remove particles generated by laser scribing. Cleaning method.
  5. 【請求項5】 絶縁基板上に順次積層された第1電極
    層,半導体光電変換層及び第2電極層を含む積層体を備
    え,前記積層体をレーザスクライブ法により光電変換セ
    ル集積領域と周縁領域とに分離し,前記光電変換セル集
    積領域をレーザスクライブ法により複数の光電変換セル
    に分離し,複数の光電変換セルの少なくとも一部は電気
    的に直列に接続されている集積型薄膜太陽電池の洗浄方
    法であって,前記集積型薄膜太陽電池の積層体のスクラ
    イブラインに沿って高圧エアーを吹き付け,レーザスク
    ライブによって発生したパーティクルを除去することを
    特徴とする集積型薄膜太陽電池の洗浄方法。
    5. A laminate comprising a first electrode layer, a semiconductor photoelectric conversion layer, and a second electrode layer sequentially laminated on an insulating substrate, wherein the laminate is formed by a laser scribing method with a photoelectric conversion cell integrated region and a peripheral region. The photoelectric conversion cell integrated region is separated into a plurality of photoelectric conversion cells by a laser scribe method, and at least a part of the plurality of photoelectric conversion cells is electrically connected in series. A method for cleaning an integrated thin-film solar cell, comprising blowing high-pressure air along a scribe line of a stacked body of the integrated thin-film solar cell to remove particles generated by laser scribing.
  6. 【請求項6】 絶縁基板上に順次積層された第1電極
    層,半導体光電変換層及び第2電極層を含む積層体を備
    え,前記積層体をレーザスクライブ法により光電変換セ
    ル集積領域と周縁領域とに分離し,前記光電変換セル集
    積領域をレーザスクライブ法により複数の光電変換セル
    に分離し,複数の光電変換セルの少なくとも一部は電気
    的に直列に接続されている集積型薄膜太陽電池の洗浄方
    法であって,前記集積型薄膜太陽電池の積層体のスクラ
    イブラインに沿って高圧水を噴射し,レーザスクライブ
    によって発生したパーティクルを除去することを特徴と
    する集積型薄膜太陽電池の洗浄方法。
    6. A laminate comprising a first electrode layer, a semiconductor photoelectric conversion layer, and a second electrode layer sequentially laminated on an insulating substrate, wherein the laminate is formed by a laser scribing method with a photoelectric conversion cell integrated region and a peripheral region. The photoelectric conversion cell integrated region is separated into a plurality of photoelectric conversion cells by a laser scribe method, and at least a part of the plurality of photoelectric conversion cells is electrically connected in series. A method for cleaning an integrated thin-film solar cell, comprising spraying high-pressure water along a scribe line of a stacked body of the integrated thin-film solar cell to remove particles generated by laser scribing.
  7. 【請求項7】 絶縁基板上に順次積層された第1電極
    層,半導体光電変換層及び第2電極層を含む積層体を備
    え,前記積層体をレーザスクライブ法により光電変換セ
    ル集積領域と周縁領域とに分離し,前記光電変換セル集
    積領域をレーザスクライブ法により複数の光電変換セル
    に分離し,複数の光電変換セルの少なくとも一部は電気
    的に直列に接続されている集積型薄膜太陽電池の洗浄装
    置であって,前記集積型薄膜太陽電池を積層体を上向き
    にして支持する載置台と,この載置台に振動を付与する
    振動発生器と,前記集積型薄膜太陽電池の上面に対向し
    て設けられ,前記積層体のスクライブラインに沿って移
    動しながらスクライブラインに沿って高圧エアーを吹き
    付ける高圧エアー噴射ノズルとを具備したことを特徴と
    する集積型薄膜太陽電池の洗浄装置。
    7. A laminated body including a first electrode layer, a semiconductor photoelectric conversion layer, and a second electrode layer sequentially laminated on an insulating substrate, wherein the laminated body is formed by a laser scribing method with a photoelectric conversion cell integrated region and a peripheral region. The photoelectric conversion cell integrated region is separated into a plurality of photoelectric conversion cells by a laser scribe method, and at least a part of the plurality of photoelectric conversion cells is electrically connected in series. A cleaning device, comprising: a mounting table that supports the integrated thin-film solar cell with the stacked body facing upward; a vibration generator that imparts vibration to the mounting table; And a high-pressure air injection nozzle for blowing high-pressure air along the scribe line while moving along the scribe line of the laminate. Pond cleaning equipment.
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