JP2001041904A - Foreign matter removing apparatus and apparatus for detecting position of foreign matter - Google Patents
Foreign matter removing apparatus and apparatus for detecting position of foreign matterInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、タッチパネルや液
晶パネルの製品検査や修理の際、そのタッチパネル等に
存在する異物を除去する異物除去装置、及びタッチパネ
ルの透明電極上に存在する導電性異物の位置を検出する
異物位置検出装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a foreign matter removing device for removing foreign matter present on a touch panel or the like during product inspection or repair of a touch panel or a liquid crystal panel, and a conductive foreign matter present on a transparent electrode of the touch panel. The present invention relates to a foreign object position detecting device for detecting a position.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、種々の電子機器に利用者が情報を
入力する手段としてタッチパネルが用いられている。こ
のタッチパネルのうち最も一般的に利用されている抵抗
方式のものは、透明の導電性膜からなる透明電極を表面
に形成した１組の絶縁性基板を、該透明電極が対向する
ように張り合わせた構造になっている。また、上記１組
の基板は、対向する透明電極が通常状態で接触しないよ
うに、所定の高さ（例えば５〜１２μｍ）のスペーサを
介して対向している。2. Description of the Related Art Conventionally, a touch panel has been used as a means for a user to input information to various electronic devices. The most commonly used resistance type touch panel of this touch panel has a pair of insulated substrates each having a transparent electrode made of a transparent conductive film formed on the surface thereof and bonded so that the transparent electrodes face each other. It has a structure. Further, the one set of substrates is opposed via a spacer having a predetermined height (for example, 5 to 12 μm) so that the opposed transparent electrodes do not come into contact in a normal state.
【０００３】図４（ａ）及び（ｂ）は、タッチパネルの
要部の概略構成を示す断面図であり、図５は、タッチパ
ネルの概略構成を示す分解斜視図である。図４（ａ）に
示すように、このタッチパネル１は、導電性膜からなる
透明電極（１１ａ，１１ｂ）が通常の状態で接触しない
ように、１組のタッチパネル基板（１２ａ，１２ｂ）を
所定の高さ（例えば、５〜１２μｍ）のスペーサ１３を
介して対向させた構造になっている。そして、図４
（ｂ）に示すように、この上面タッチパネル基板１２ａ
の表面が押圧されると、該上面タッチパネル基板が変形
し、各タッチパネル基板（１２ａ，１２ｂ）の透明電極
（１１ａ，１１ｂ）が互いに接触する。この結果、この
タッチパネルの位置認識部は、上記接触による透明電極
間の抵抗の変化によって、押圧されたか否か及び押圧さ
れた位置を認識する。FIGS. 4A and 4B are cross-sectional views showing a schematic configuration of a main part of the touch panel, and FIG. 5 is an exploded perspective view showing a schematic configuration of the touch panel. As shown in FIG. 4 (a), the touch panel 1 has a predetermined set of touch panel substrates (12a, 12b) so that the transparent electrodes (11a, 11b) made of a conductive film do not contact in a normal state. The structure is such that they face each other via a spacer 13 having a height (for example, 5 to 12 μm). And FIG.
As shown in (b), the upper touch panel substrate 12a
Is pressed, the upper touch panel substrate is deformed, and the transparent electrodes (11a, 11b) of each touch panel substrate (12a, 12b) come into contact with each other. As a result, the position recognition unit of the touch panel recognizes whether or not the pressing has been performed and the position where the pressing has been performed, based on a change in resistance between the transparent electrodes due to the contact.
【０００４】上記タッチパネル基板（１２ａ，１２ｂ）
の絶縁性基板（１４ａ，１４ｂ）上に形成された透明電
極（１１ａ，１１ｂ）は、図５に示すように、互いに直
交するように配置される。各透明電極（１１ａ，１１
ｂ）は、上記絶縁性基板（１４ａ，１４ｂ）上に導電性
膜を被覆した後にエッチング処理を含むフォトリソグラ
フィ法によって絶縁パターンを加工して形成されるが、
最近では、ＹＡＧレーザ等の光ビームを用いて絶縁パタ
ーンを加工するものが提案されている。更に、上記絶縁
性基板（１４ａ，１４ｂ）上のそれぞれに形成された透
明電極（１１ａ，１１ｂ）に電流を供給するため、それ
ぞれの透明電極と直交する縁部に配線パターン１５が形
成される。この配線パターン１５は、主に、銀ペースト
やカーボン等を印刷して形成される。[0004] The touch panel substrate (12a, 12b)
As shown in FIG. 5, the transparent electrodes (11a, 11b) formed on the insulating substrates (14a, 14b) are arranged to be orthogonal to each other. Each transparent electrode (11a, 11
b) is formed by coating a conductive film on the insulating substrate (14a, 14b) and then processing an insulating pattern by a photolithography method including an etching process.
Recently, a method of processing an insulating pattern using a light beam such as a YAG laser has been proposed. Further, in order to supply a current to the transparent electrodes (11a, 11b) formed on the insulating substrates (14a, 14b), a wiring pattern 15 is formed at an edge perpendicular to the respective transparent electrodes. The wiring pattern 15 is formed mainly by printing silver paste, carbon, or the like.
【０００５】上記絶縁性基板（１４ａ，１４ｂ）上に配
線パターン１５を形成する際の製造過程において、該配
線パターンを構成する銀ペーストやカーボン等の導電性
異物や、該絶縁性基板の樹脂粉や上記スペーサ１３のガ
ラス粉等の絶縁性異物が、上記透明電極（１１ａ，１１
ｂ）上に付着してしまう場合がある。このように透明電
極（１１ａ，１１ｂ）上に導電性異物が付着してしまっ
た場合、この導電性異物が付着した付近を指やペン等で
押圧したときに、その異物付着位置で該透明電極が互い
に接触して抵抗が変化し、当該タッチパネル１の位置認
識部が押圧された位置を誤認識してしまうおそれがあ
る。このため、タッチパネル１の製造後において、その
タッチパネル基板（１２ａ，１２ｂ）が互いに接触しな
い程度の押圧力で該タッチパネル基板の表面を押圧しな
がら、上記透明電極（１１ａ，１１ｂ）が互いに対向す
る領域（以下、「電極対向領域」という。）の全部をチ
ェックしていき、該タッチパネル基板が互いに接触する
位置を検出する位置検出作業を行い、この結果に基づい
て該異物を除去する異物除去作業が行われている。In the manufacturing process for forming the wiring pattern 15 on the insulating substrate (14a, 14b), conductive foreign substances such as silver paste and carbon constituting the wiring pattern and resin powder of the insulating substrate are formed. Insulating foreign matters such as glass powder of the spacer 13 and the transparent electrode (11a, 11a)
b) May adhere to the top. When the conductive foreign matter has adhered to the transparent electrodes (11a, 11b) as described above, when the vicinity of the conductive foreign matter attached is pressed with a finger or a pen or the like, the transparent electrode is placed at the foreign matter attached position. May touch each other to change the resistance, and the position recognition unit of the touch panel 1 may erroneously recognize the pressed position. For this reason, after the touch panel 1 is manufactured, the area where the transparent electrodes (11a, 11b) face each other is pressed while pressing the surface of the touch panel substrate with such a pressing force that the touch panel substrates (12a, 12b) do not touch each other. (Hereinafter referred to as “electrode facing area”), a position detecting operation for detecting a position where the touch panel substrates are in contact with each other is performed, and a foreign matter removing operation for removing the foreign matter based on the result is performed. Is being done.
【０００６】また、上記透明電極（１１ａ，１１ｂ）上
に絶縁性異物が付着してしまった場合、この絶縁性異物
が付着した付近を指やペン等で押圧したときに、その異
物付着位置では該透明電極が互いに容易に接触せず、当
該タッチパネル１の位置認識部が押圧された位置を誤認
識してしまうおそれがある。このため、タッチパネル１
の製造後において、そのタッチパネル基板（１２ａ，１
２ｂ）が互いに接触できる程度の押圧力で該タッチパネ
ル基板の表面を押圧しながら、電極対向領域の全部をチ
ェックしていき、該タッチパネル基板が互いに接触しな
い位置を検出する位置検出作業を行い、この結果に基づ
いて該異物を除去する異物除去作業が行われている。When an insulating foreign substance has adhered to the transparent electrodes (11a, 11b), when the area near the insulating foreign substance is pressed with a finger or a pen, the foreign substance adheres to the position where the foreign substance adheres. There is a possibility that the transparent electrodes do not easily contact each other, and the position recognition unit of the touch panel 1 may erroneously recognize the pressed position. Therefore, the touch panel 1
After the manufacture of the touch panel substrate (12a, 1
2b), while pressing the surface of the touch panel substrate with such a pressing force as to make contact with each other, checking the entirety of the electrode facing region, and performing a position detection operation for detecting a position where the touch panel substrate does not contact each other. A foreign matter removing operation for removing the foreign matter based on the result is performed.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の位置
検出作業は、当該製品検査を行う検査作業員の手によっ
て行われていた。具体的には、導電性異物の発見のた
め、上記電極対向領域の一部又は全部を均一に押圧可能
な押圧面を有するおもりを用いて、上記検査作業員が該
電極対向領域を順次押圧して接触箇所を検出し、全電極
対向領域について導電性異物が付着していないかどうか
を検査していた。また、絶縁性異物の発見のため、上記
電極対向領域の一部を均一に押圧可能な押圧面を有する
おもりを用いて、上記検査作業員が該電極対向領域を順
次押圧して感度不足箇所を検出し、全電極対向領域につ
いて絶縁性異物が付着していないかどうかを検査してい
た。このため、この位置検出作業にかかる人的負担が大
きいという問題があった。また、上記検査作業員が検査
する検査対象の量が非常に多いこともあって、その人的
負担に加え、その検査精度が低下してしまうおそれもあ
った。However, the conventional position detection work has been performed by an inspection worker who performs the product inspection. Specifically, for the purpose of finding conductive foreign substances, the inspection operator sequentially presses the electrode facing region using a weight having a pressing surface capable of uniformly pressing part or all of the electrode facing region. Thus, the contact portion was detected to check whether or not conductive foreign matter had adhered to all the electrode facing regions. Further, for the purpose of finding insulating foreign matter, the inspection operator sequentially presses the electrode facing area by using a weight having a pressing surface capable of uniformly pressing a part of the electrode facing area to detect a portion with insufficient sensitivity. Then, it was inspected whether or not the insulating foreign matter was attached to all the electrode facing regions. For this reason, there is a problem that a human burden for this position detection work is large. In addition, since the amount of the inspection target to be inspected by the inspection worker is very large, there is a possibility that the inspection accuracy is reduced in addition to the human burden.
【０００８】また、上記タッチパネル１の位置認識部
は、上記配線パターン１５及び図示しないコネクタを介
して上記透明電極（１１ａ，１１ｂ）に接続されてい
る。この位置認識部は、上記透明電極（１１ａ，１１
ｂ）同士の接触による抵抗の変化によってその異物付着
位置を認識するが、この異物は、導電性異物においては
銀ペーストやカーボン、また絶縁性異物においてはプラ
スチック粉やガラス粉からなる１μｍ程度の粒子である
ため、かなり高い精度で異物除去装置の照準を合わせる
必要がある。このため、従来では、導電性異物の場合も
絶縁性異物の場合も、上述した位置検出作業を行って大
まかな異物付着位置を認識した後、最終的に上記検査作
業員が顕微鏡等を用いてその正確な位置を決定してい
た。このため、その異物除去作業にかかる人的負担が大
きいという問題があった。尚、この問題は、上記タッチ
パネルの透明電極上に存在する異物の除去作業のみなら
ず、デバイス上に存在する微小異物の除去作業や凸欠陥
部の修正作業などでも起こり得る。The position recognition unit of the touch panel 1 is connected to the transparent electrodes (11a, 11b) via the wiring pattern 15 and a connector (not shown). This position recognizing unit is provided with the transparent electrodes (11a, 11a).
b) The adhesion position of the foreign matter is recognized by a change in resistance due to contact between the two. The foreign matter is a particle of about 1 μm made of silver paste or carbon in the case of conductive foreign matter, or plastic powder or glass powder in the case of insulating foreign matter. Therefore, it is necessary to aim the foreign matter removing device with considerably high accuracy. For this reason, conventionally, in the case of both conductive foreign matter and insulating foreign matter, after performing the above-described position detection operation to roughly recognize the position where the foreign matter is attached, the inspection worker finally uses a microscope or the like to finally recognize the position. Its exact position had been determined. For this reason, there has been a problem that a human burden for the foreign matter removing operation is large. This problem can occur not only in the work of removing foreign matter present on the transparent electrode of the touch panel, but also in the work of removing minute foreign matter present on the device and the work of correcting a convex defect.
【０００９】本発明は、以上の問題点に鑑みなされたも
のであり、その第１の目的は、異物の正確な位置を自動
的に検出して、その異物を除去することができる異物除
去装置を提供することである。また、第２の目的は、タ
ッチパネルの透明電極上に存在する導電性異物の位置検
出作業を自動化することができる異物位置検出装置を提
供することである。また、第３の目的は、タッチパネル
の透明電極上に存在する絶縁性異物の位置検出作業を自
動化することができる異物位置検出装置を提供すること
である。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in consideration of the above problems, and a first object of the present invention is to provide a foreign matter removing apparatus capable of automatically detecting an accurate position of a foreign matter and removing the foreign matter. It is to provide. A second object is to provide a foreign matter position detecting device capable of automating a work of detecting the position of a conductive foreign matter present on a transparent electrode of a touch panel. A third object is to provide a foreign matter position detecting device capable of automating the work of detecting the position of an insulating foreign matter present on a transparent electrode of a touch panel.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成す
るために、請求項１乃至９の発明は、所定の部材上に存
在する異物を除去する異物除去装置において、駆動手段
によって移動可能で、該異物が存在する領域を撮像する
撮像手段と、該駆動手段を制御して該撮像手段を撮像位
置に移動させる駆動制御手段と、該撮像手段の撮像画像
中に異物が撮像されたときに、該撮像画像に基づいて該
異物の位置を算出する位置算出手段と、該異物を除去す
る異物除去手段と、該位置算出手段で算出した異物位置
に基づき、該異物除去手段の照準を合わせる照準手段と
を備え、該照準手段により照準が合わせられた異物を該
異物除去手段によって除去することを特徴とするもので
ある。According to a first aspect of the present invention, there is provided a foreign matter removing apparatus for removing foreign matter present on a predetermined member, the movable means being movable by a driving means. An imaging means for imaging an area where the foreign matter is present; a drive control means for controlling the driving means to move the imaging means to an imaging position; and when a foreign matter is captured in an image captured by the imaging means. A position calculating means for calculating the position of the foreign matter based on the captured image; a foreign matter removing means for removing the foreign matter; and aiming of the foreign matter removing means based on the foreign matter position calculated by the position calculating means. And a sighting means, wherein the foreign matter targeted by the aiming means is removed by the foreign matter removing means.
【００１１】この異物除去装置においては、撮像手段を
移動してタッチパネルやデバイス等の部材上に存在する
異物を撮像し、コンピュータ等の位置算出手段により該
撮像画像に基づいて該異物の位置を正確に算出する。従
って、従来、検査作業員が行っていた異物の位置検出作
業を自動化することができるとともに、該異物の位置を
かなり高い精度で検出することができる。また、この異
物除去装置は、上記位置算出手段の算出結果に基づい
て、上記照準手段により異物除去手段の照準を合わせて
上記異物を除去するので、従来検査作業員が行っていた
異物除去作業を自動化することも可能となる。In this foreign matter removing apparatus, an image pickup means is moved to pick up an image of a foreign matter present on a member such as a touch panel or a device, and a position calculating means such as a computer accurately determines the position of the foreign matter based on the taken image. Is calculated. Therefore, it is possible to automate the operation of detecting the position of the foreign substance, which has been conventionally performed by the inspection operator, and to detect the position of the foreign substance with considerably high accuracy. Further, the foreign matter removing device removes the foreign matter by adjusting the aim of the foreign matter removing means by the aiming means based on the calculation result of the position calculating means, so that the foreign matter removing work conventionally performed by the inspection worker can be performed. It can also be automated.
【００１２】尚、上記異物除去手段は、除去対象である
異物の性質や特性等に応じて適宜選択される。例えば、
デバイス上の凸欠陥部を除去する場合には、上記異物除
去手段として、ＹＡＧレーザ等の光ビームを照射して該
凸欠陥部を除去するレーザ装置を適用する。The foreign substance removing means is appropriately selected according to the properties and characteristics of the foreign substance to be removed. For example,
When removing a convex defect portion on a device, a laser device that removes the convex defect portion by applying a light beam such as a YAG laser or the like is applied as the foreign matter removing means.
【００１３】特に、請求項２の発明は、請求項１の異物
除去装置において、上記異物の位置を検出する位置検出
手段を設け、上記駆動制御手段が、該位置検出手段によ
って検出した該異物の位置情報に基づき、上記駆動手段
を制御して上記撮像手段を撮像位置に移動させることを
特徴とするものである。In particular, the invention according to claim 2 is the foreign matter removing device according to claim 1, further comprising position detecting means for detecting the position of the foreign matter, wherein the drive control means detects the position of the foreign matter detected by the position detecting means. On the basis of the position information, the driving means is controlled to move the imaging means to an imaging position.
【００１４】上記請求項１の異物除去装置では、上記撮
像手段を移動しながら、部材上に存在する異物を検出す
るため、部材の大きさによっては、その検出時間にかな
り時間を取られてしまう。そこで、請求項２の異物除去
装置においては、上記撮像手段とは別個の位置検出手段
を用いて異物の位置を検出した後、該位置検出手段の検
出した位置情報に基づいて該撮像手段を該異物の撮像位
置に移動し、該異物の正確な位置を検出する。従って、
まず、短時間で異物を発見することができるような位置
検出手段を用いれば、該異物の位置の検出時間を短縮す
ることが可能となる。In the foreign matter removing device according to the first aspect, since the foreign matter existing on the member is detected while moving the imaging means, a considerable time is required for the detection time depending on the size of the member. . Therefore, in the foreign matter removing device according to claim 2, after detecting the position of the foreign matter by using a position detecting means separate from the imaging means, the imaging means is moved based on the position information detected by the position detecting means. It moves to the imaging position of the foreign matter and detects the exact position of the foreign matter. Therefore,
First, if a position detecting means that can detect a foreign substance in a short time is used, the time for detecting the position of the foreign substance can be reduced.
【００１５】特に、請求項３の発明は、１組の絶縁性基
板を、該絶縁性基板上のそれぞれに形成された電極が互
いに所定間隔を開けて対向するように配置し、一方の絶
縁性基板を押圧して各電極が互いに接触したときに、位
置認識部によってその接触位置での電気的変化に基づい
て接触位置を認識する装置に対して、該電極上に存在す
る導電性異物を除去する請求項２の異物除去装置におい
て、上記位置検出手段を、上記装置の電極対向領域の全
域に対して該電極が互いに接触しない程度の押圧力で上
記一方の絶縁性基板を押圧する押圧手段と、該押圧手段
の押圧動作を制御する押圧動作制御手段とから構成し、
該導電性異物の位置を上記位置認識部により検出するこ
とを特徴とするものである。[0015] In particular, the invention of claim 3 disposes a pair of insulating substrates such that electrodes formed on the insulating substrates face each other at a predetermined interval from each other. When the electrodes are in contact with each other by pressing the substrate, the position recognition unit removes conductive foreign substances present on the electrodes by using a device that recognizes the contact position based on an electrical change at the contact position. 3. The foreign matter removing device according to claim 2, wherein said position detecting means comprises a pressing means for pressing said one insulating substrate with a pressing force of such a degree that said electrodes do not contact each other with respect to the entire area of the electrode facing area of said apparatus. , Comprising a pressing operation control means for controlling the pressing operation of the pressing means,
The position of the conductive foreign matter is detected by the position recognition unit.
【００１６】この異物除去装置は、例えばタッチパネル
の透明電極上に存在する導電性異物を除去する場合に適
用される。この異物除去装置においては、押圧動作制御
手段の制御の下、上記透明電極が互いに接触しない程度
の押圧力で押圧する押圧手段でタッチパネルの表面を押
圧し、該タッチパネルに接続された位置認識部により上
記導電性異物の位置を検出する。このような構成によ
り、従来、検査作業員がおもりを用いて行っていた導電
性異物の位置検出作業を自動化することができる。This foreign matter removing apparatus is applied, for example, when removing a conductive foreign matter present on a transparent electrode of a touch panel. In this foreign matter removing device, under the control of the pressing operation control means, the surface of the touch panel is pressed by pressing means for pressing with a pressing force such that the transparent electrodes do not touch each other, and the position recognition unit connected to the touch panel The position of the conductive foreign matter is detected. With such a configuration, the operation of detecting the position of the conductive foreign matter, which has conventionally been performed by the inspection operator using the weight, can be automated.
【００１７】特に、請求項４の発明は、請求項３の異物
除去装置において、上記押圧手段を、上記電極対向領域
の一部に対して上記電極が互いに接触しない程度の押圧
力で上記一方の絶縁性基板を押圧する押圧部材と、該電
極対向領域の全域を押圧するように該押圧部材を移動す
る押圧部材移動手段とから構成したことを特徴とするも
のである。According to a fourth aspect of the present invention, in the foreign matter removing apparatus according to the third aspect, the pressing means is configured such that the one of the electrodes is pressed against a part of the electrode-facing region by such a pressing force that the electrodes do not contact each other. It is characterized by comprising a pressing member for pressing the insulating substrate, and pressing member moving means for moving the pressing member so as to press the entire area of the electrode facing region.
【００１８】この異物除去装置においては、スキージや
ローラ等の押圧部材を移動させて、上記タッチパネルの
電極対向領域の全域を押圧し、該タッチパネルに接続さ
れた位置認識部により上記導電性異物の位置を検出す
る。検査作業員の代わりに上記タッチパネル表面を押圧
する押圧手段としては、上記電極対向領域全域を一度に
押圧するものであってもよいが、構造の容易化の点で、
本請求項のように押圧部材を移動させて上記電極対向領
域の全域を押圧する構成であるのが好ましい。In this foreign matter removing apparatus, a pressing member such as a squeegee or a roller is moved to press the whole area of the electrode facing area of the touch panel, and the position of the conductive foreign matter is detected by a position recognition unit connected to the touch panel. Is detected. The pressing means for pressing the touch panel surface in place of the inspection operator may be one that presses the entire electrode facing region at once, but in terms of simplification of the structure,
It is preferable that the pressing member is moved to press the entire area of the electrode facing region as in the present invention.
【００１９】また、請求項５の発明は、１組の絶縁性基
板を、該絶縁性基板上のそれぞれに形成された電極が互
いに所定間隔を開けて対向するように配置し、一方の絶
縁性基板を押圧して各電極が互いに接触したときに、位
置認識部によってその接触位置での電気的変化に基づい
て接触位置を認識する装置に対して、該電極上に存在す
る絶縁性異物を除去する請求項２の異物除去装置におい
て、上記位置検出手段を、上記装置の電極対向領域の一
部に対して該電極が互いに接触する程度の押圧力で上記
一方の絶縁性基板を押圧する押圧部材と、該電極対向領
域の全域を押圧するように該押圧部材を移動する押圧部
材移動手段と、該押圧部材及び該押圧部材移動手段の押
圧動作を制御する押圧動作制御手段とから構成し、該導
電性異物の位置を上記位置認識部により検出することを
特徴とするものである。According to a fifth aspect of the present invention, a pair of insulating substrates are arranged such that electrodes formed on the insulating substrates face each other at a predetermined interval. When the electrodes are in contact with each other by pressing the substrate, the position recognition unit removes the insulating foreign matter present on the electrodes by using a device that recognizes the contact position based on an electrical change at the contact position. 3. A foreign matter removing device according to claim 2, wherein said position detecting means presses said one insulating substrate with a pressing force such that said electrodes come into contact with a part of an electrode facing region of said device. And a pressing member moving means for moving the pressing member so as to press the entire area of the electrode facing region, and pressing operation control means for controlling the pressing operation of the pressing member and the pressing member moving means, Locate the conductive foreign matter It is characterized in that detected by serial position recognition unit.
【００２０】この異物除去装置においては、スキージや
ローラ等の押圧部材を移動させて、上記タッチパネルの
電極対向領域の全域を押圧し、該タッチパネルに接続さ
れた位置認識部により上記絶縁性異物の位置を検出す
る。上述したように、導電性異物の位置は互いに電極が
接触した位置から検出することが可能であるため、上記
電極対向領域の全域を押圧する方法で異物位置の検出が
可能であったが、絶縁性異物の位置を検出する場合に
は、該電極対向領域内の所定範囲を押圧したときに上記
位置認識部が検知する電気信号の大きさによって絶縁性
異物が存在する範囲を限定していくことで異物位置の検
出を行う。範囲を限定していく方法としては、所定範囲
を押圧することが可能な押圧面を有する押圧部材で押圧
することで絶縁性異物が存在する範囲を検出した後、そ
の範囲について、今度は該押圧部材よりも更に小さい押
圧面を有する押圧部材により押圧して、該絶縁性異物の
位置を限定していくものが挙げられる。In this foreign matter removing apparatus, a pressing member such as a squeegee or a roller is moved to press the entire area of the electrode facing area of the touch panel, and the position of the insulating foreign matter is detected by a position recognition unit connected to the touch panel. Is detected. As described above, since the position of the conductive foreign matter can be detected from the position where the electrodes are in contact with each other, the foreign matter position can be detected by a method of pressing the entire area of the electrode facing area. When detecting the position of the conductive foreign material, the range in which the insulating foreign material is present is limited by the magnitude of the electric signal detected by the position recognition unit when a predetermined range in the electrode facing region is pressed. To detect the position of the foreign matter. As a method of limiting the range, after detecting a range where the insulating foreign matter is present by pressing with a pressing member having a pressing surface capable of pressing a predetermined range, the range is then detected. One in which the position of the insulating foreign matter is limited by pressing with a pressing member having a pressing surface smaller than the member.
【００２１】また、請求項６の発明は、請求項１、２、
３、４又は５の異物除去装置において、上記駆動手段に
よって、該異物除去手段を上記撮像手段とともに移動可
能に構成したことを特徴とするものである。この異物除
去装置においては、異物除去手段が撮像手段とともに移
動可能に構成されているので、該異物除去手段は、撮像
手段が異物の撮像位置に移動すると同時に異物の位置に
移動することができる。異物除去手段と撮像手段とが別
々に移動する場合、該異物除去手段は、撮像手段との関
係上、上記位置算出手段の算出結果に受け取ってから異
物の位置に移動して照準を合わせる必要があり、上記照
準手段の構成としては、該異物除去手段を異物の位置ま
で移動させる移動手段が必要となる。これに対して、本
請求項の異物除去装置の場合には、上記異物除去手段が
上記撮像手段と一緒に移動して異物の位置まで移動する
ため、上記照準手段の構成としては、該異物除去手段の
照準を該異物位置に合わせるために調節する機構を設け
るだけでよい。従って、上記照準手段の構成を簡素化す
ることができる。The invention according to claim 6 is based on claims 1, 2,
In the foreign matter removing device according to any one of 3, 4 and 5, the foreign matter removing means is configured to be movable together with the imaging means by the driving means. In this foreign matter removing device, since the foreign matter removing means is configured to be movable together with the imaging means, the foreign matter removing means can move to the foreign matter position at the same time that the imaging means moves to the foreign matter imaging position. When the foreign matter removing means and the imaging means move separately, the foreign matter removing means needs to receive the calculation result of the position calculating means and then move to the position of the foreign matter for aiming, because of the relationship with the imaging means. In addition, as a configuration of the aiming means, a moving means for moving the foreign matter removing means to the position of the foreign matter is required. On the other hand, in the case of the foreign matter removing device of the present invention, the foreign matter removing means moves together with the imaging means and moves to the position of the foreign matter. It is only necessary to provide a mechanism for adjusting the aim of the means to the position of the foreign matter. Therefore, the configuration of the aiming means can be simplified.
【００２２】特に、請求項７の発明は、請求項６の異物
除去装置において、上記異物除去手段の照準を予め所定
位置に合わせ、上記駆動制御手段を上記照準手段として
兼用し、該駆動制御手段が、上記位置算出手段で算出し
た異物位置と該所定位置とが同じになるように上記駆動
手段を制御して該異物除去手段の照準を合わせることを
特徴とするものである。この異物除去装置においては、
予め上記異物除去手段の照準を例えば上記撮像手段の撮
像画像の中心点に合わせておき、該中心点が上記位置算
出手段で算出した異物位置にくるように上記撮像手段を
移動することにより、該異物除去手段の照準を該異物の
位置に合わせる。これにより、上記異物除去手段の照準
を合わせるための機構を省略することができ、装置の簡
素化を図ることができる。In particular, the invention according to claim 7 is the foreign matter removing device according to claim 6, wherein the aim of the foreign matter removing means is previously set at a predetermined position, and the drive control means is also used as the aiming means. However, the present invention is characterized in that the driving means is controlled such that the foreign matter position calculated by the position calculating means is equal to the predetermined position, and the aim of the foreign matter removing means is adjusted. In this foreign matter removing device,
By previously setting the aim of the foreign matter removing means to, for example, the center point of the image picked up by the image pickup means, and moving the image pickup means so that the center point is located at the foreign matter position calculated by the position calculating means, The aim of the foreign matter removing means is adjusted to the position of the foreign matter. Thus, a mechanism for aiming the foreign matter removing means can be omitted, and the apparatus can be simplified.
【００２３】また、請求項８の発明は、請求項１、２、
３、４、５、６又は７の異物除去装置において、上記照
準手段による照準合わせが完了した信号を受け取ること
により、上記異物除去手段による異物除去動作を制御す
る異物除去制御手段を設けたことを特徴とするものであ
る。この異物除去装置は、コンピュータ等の異物除去制
御手段により上記異物除去手段の異物除去動作を制御す
る構成であるので、該異物除去手段による異物除去作業
を自動化することができる。従って、本発明の具体的構
成によっては、製品検査や製品の修理の際に行う作業を
すべて自動化することが可能となる。[0023] The invention of claim 8 is the invention according to claims 1, 2,
In the foreign matter removing device of 3, 4, 5, 6, or 7, the foreign matter removing control means for controlling the foreign matter removing operation by the foreign matter removing means by receiving a signal indicating that the aiming by the aiming means is completed is provided. It is a feature. Since the foreign matter removing device is configured to control the foreign matter removing operation of the foreign matter removing means by the foreign matter removing control means such as a computer, the foreign matter removing operation by the foreign matter removing means can be automated. Therefore, depending on the specific configuration of the present invention, it is possible to automate all operations performed during product inspection and product repair.
【００２４】また、請求項９の発明は、請求項１、２、
３、４、５、６、７又は８の異物除去装置において、上
記異物が存在する領域に偏光を照射する偏光照射手段を
設けたことを特徴とするものである。上記撮像手段の撮
像画像に基づいて異物の位置を算出する際、その異物が
ガラス粉等のように透明である場合にはその透明な異物
を該撮像手段で撮像できないおそれがある。しかし、本
請求項の異物除去装置においては、上記透明な異物に偏
光を照射することによって該透明な異物を撮像しやすく
なる。これにより、異物が透明であっても上記撮像手段
の撮像画像に基づいてより確実に異物の位置を算出する
ことが可能となる。[0024] The invention of claim 9 is based on claims 1, 2,
3, 4, 5, 6, 7 or 8 is characterized in that polarized light irradiating means for irradiating polarized light to an area where the foreign substance is present is provided. When calculating the position of a foreign substance based on the image captured by the imaging unit, if the foreign substance is transparent such as glass powder, the transparent foreign substance may not be imaged by the imaging unit. However, in the foreign matter removing apparatus according to the present invention, the transparent foreign matter is irradiated with polarized light, so that the transparent foreign matter can be easily imaged. Thereby, even if the foreign matter is transparent, it is possible to more reliably calculate the position of the foreign matter based on the image captured by the imaging unit.
【００２５】上記第２の目的を達成するために、請求項
１０の発明は、１組の絶縁性基板を、該絶縁性基板上の
それぞれに形成された電極が互いに所定間隔を開けて対
向するように配置し、一方の絶縁性基板を押圧して各電
極が互いに接触したときに、位置認識部によってその接
触位置での電気的変化に基づいて接触位置を認識する装
置に対して、該電極上に存在する導電性異物の位置を検
出する異物位置検出装置において、上記装置の電極対向
領域の全域に対して該電極が互いに接触しない程度の押
圧力で上記一方の絶縁性基板を押圧する押圧手段と、該
押圧手段の押圧動作を制御する押圧動作制御手段とを有
し、該導電性異物の位置を上記位置認識部により検出す
ることを特徴とするものである。According to a tenth aspect of the present invention, in order to achieve the second object, a pair of insulating substrates are opposed to each other on a predetermined interval of electrodes formed on the insulating substrates. When each of the electrodes comes into contact with each other by pressing one of the insulating substrates, the position recognition unit recognizes the contact position based on an electrical change at the contact position. In the foreign matter position detecting device for detecting the position of the conductive foreign matter present on the above, the pressing is performed by pressing the one of the insulating substrates with such a pressing force that the electrodes do not contact each other with respect to the entire area of the electrode facing area of the device. And a pressing operation control means for controlling a pressing operation of the pressing means, wherein the position of the conductive foreign matter is detected by the position recognition unit.
【００２６】この異物位置検出装置は、例えばタッチパ
ネルの透明電極上に存在する導電性異物を除去する場合
に適用される。この異物位置検出装置においては、押圧
動作制御手段の制御の下、上記透明電極が互いに接触し
ない程度の押圧力で押圧する押圧手段でタッチパネルの
表面を押圧し、該タッチパネルに接続された位置認識部
により上記導電性異物の位置を検出する。このような構
成により、従来、検査作業員がおもりを用いて行ってい
た導電性異物の位置検出作業を自動化することができ
る。This foreign matter position detecting device is applied, for example, when removing a conductive foreign matter present on a transparent electrode of a touch panel. In this foreign matter position detecting device, under the control of the pressing operation control means, the surface of the touch panel is pressed by a pressing means for pressing with a pressing force such that the transparent electrodes do not contact each other, and a position recognition unit connected to the touch panel Thus, the position of the conductive foreign matter is detected. With such a configuration, the operation of detecting the position of the conductive foreign matter, which has conventionally been performed by the inspection operator using the weight, can be automated.
【００２７】上記第３の目的を達成するために、請求項
１１の発明は、１組の絶縁性基板を、該絶縁性基板上の
それぞれに形成された電極が互いに所定間隔を開けて対
向するように配置し、一方の絶縁性基板を押圧して各電
極が互いに接触したときに、位置認識部によってその接
触位置での電気的変化に基づいて接触位置を認識する装
置に対して、該電極上に存在する絶縁性異物の位置を検
出する異物位置検出装置において、上記装置の電極対向
領域の一部に対して該電極が互いに接触する程度の押圧
力で上記一方の絶縁性基板を押圧する押圧部材と、該電
極対向領域の全域を押圧するように該押圧部材を移動す
る押圧部材移動手段と、該押圧部材及び該押圧部材移動
手段の押圧動作を制御する押圧動作制御手段とを有し、
該絶縁性異物の位置を上記位置認識部により検出するこ
とを特徴とするものである。In order to achieve the third object, an eleventh aspect of the present invention is directed to a pair of insulating substrates, wherein electrodes formed on each of the insulating substrates face each other at a predetermined interval. When each of the electrodes comes into contact with each other by pressing one of the insulating substrates, the position recognition unit recognizes the contact position based on an electrical change at the contact position. In a foreign matter position detecting device for detecting the position of an insulating foreign matter present above, the one insulating substrate is pressed against a part of the electrode facing region of the device with a pressing force such that the electrodes are in contact with each other. A pressing member, pressing member moving means for moving the pressing member so as to press the entire area of the electrode facing region, and pressing operation control means for controlling a pressing operation of the pressing member and the pressing member moving means. ,
The position of the insulating foreign matter is detected by the position recognition unit.
【００２８】この異物位置検出装置は、例えばタッチパ
ネルの透明電極上に存在する絶縁性異物を除去する場合
に適用される。この異物位置検出装置においては、押圧
動作制御手段が押圧部材及び押圧部材移動手段を制御し
て、上記透明電極が互いに接触する程度の押圧力で押圧
する該押圧部材によりタッチパネルの表面を押圧し、該
タッチパネルに接続された位置認識部により上記絶縁性
異物の存在する範囲を限定していき、該絶縁性異物の位
置を検出する。このような構成により、従来、検査作業
員がおもりを用いて行っていた絶縁性異物の位置検出作
業を自動化することができる。This foreign matter position detecting device is applied, for example, when removing insulating foreign matter present on a transparent electrode of a touch panel. In this foreign matter position detection device, the pressing operation control means controls the pressing member and the pressing member moving means, and presses the surface of the touch panel with the pressing member that presses with a pressing force such that the transparent electrodes contact each other, The range in which the insulating foreign matter is present is limited by the position recognition unit connected to the touch panel, and the position of the insulating foreign matter is detected. With such a configuration, it is possible to automate the operation of detecting the position of the insulating foreign substance, which has conventionally been performed by the inspection operator using the weight.
【００２９】[0029]
【発明の実施の形態】以下、本発明を、ハイブリッド型
のタッチパネルに形成された透明電極上に異物が付着し
ていないかを検査する製品検査工程に適用した実施形態
について説明する。尚、この製品検査工程は、タッチパ
ネルに存在する異物の位置を検出する位置検出作業と、
異物を検出した場合にその異物を除去する異物除去作業
とからなる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment in which the present invention is applied to a product inspection process for inspecting a transparent electrode formed on a hybrid type touch panel for foreign matter adherence will be described. The product inspection process includes a position detection operation for detecting the position of a foreign substance present on the touch panel,
When a foreign substance is detected, the foreign substance is removed.
【００３０】まず、本実施形態に係る製品検査工程全体
について説明する。図１は、本実施形態の製品検査工程
全体の流れを示す説明図である。この製品検査工程で
は、被検査対象であるタッチパネル１を搬送手段として
の真空吸着パッド２を用いて製品検査ステージ３に搬送
する。この製品検査ステージ３では、異物位置検出装置
４により上記タッチパネル１の透明電極上に存在する導
電性異物及び絶縁性異物の位置を検出する。この検出結
果に基づいて、撮像手段としてのＣＣＤカメラ５及び異
物除去手段としてのレーザ装置６とから構成された異物
除去装置７が上記異物位置まで移動し、該ＣＣＤカメラ
でこれら異物を撮像する。撮像された撮像画像は、位置
算出手段としてのコンピュータ８に送られ、該コンピュ
ータにより該撮像画像に撮像された異物位置を算出す
る。そして、上記コンピュータ８により算出された異物
位置データに基づき、上記レーザ装置６の照準を該異物
に合わせて上記タッチパネル１上の異物を除去する。こ
のタッチパネル１上の全ての異物が除去されたら、該タ
ッチパネルを上記真空吸着パッド２によって上記製品検
査ステージから搬送し、製品検査工程が終了する。尚、
この一連の製品検査工程で使用する各装置の動作は、上
記コンピュータ８により制御されている。First, the entire product inspection process according to this embodiment will be described. FIG. 1 is an explanatory diagram showing the flow of the entire product inspection process of the present embodiment. In this product inspection process, the touch panel 1 to be inspected is transported to the product inspection stage 3 using the vacuum suction pad 2 as a transport unit. In the product inspection stage 3, the positions of conductive foreign matter and insulating foreign matter existing on the transparent electrode of the touch panel 1 are detected by the foreign matter position detecting device 4. Based on this detection result, a foreign matter removing device 7 composed of a CCD camera 5 as an imaging means and a laser device 6 as a foreign matter removing means moves to the foreign matter position, and images these foreign matters with the CCD camera. The captured image is sent to a computer 8 as a position calculating unit, and the computer calculates the position of the foreign object captured in the captured image. Then, based on the foreign matter position data calculated by the computer 8, the aim of the laser device 6 is adjusted to the foreign matter, and the foreign matter on the touch panel 1 is removed. When all the foreign matter on the touch panel 1 is removed, the touch panel is transported from the product inspection stage by the vacuum suction pad 2, and the product inspection process ends. still,
The operation of each device used in this series of product inspection processes is controlled by the computer 8.
【００３１】次に、本発明の特徴部分である異物位置検
出装置４の構成について説明する。図２（ａ）は、本実
施形態の異物位置検出装置４の構成例の概略構成を示す
斜視図である。この異物位置検出装置４は、押圧手段を
構成する押圧部材としてのスキージ型押圧部材４ａと、
該スキージ型押圧部材を移動させる押圧部材移動手段と
しての駆動装置４ｂとから構成されている。Next, the structure of the foreign matter position detecting device 4 which is a feature of the present invention will be described. FIG. 2A is a perspective view illustrating a schematic configuration of a configuration example of the foreign substance position detection device 4 of the present embodiment. The foreign matter position detecting device 4 includes a squeegee-type pressing member 4a as a pressing member constituting a pressing unit,
And a driving device 4b as a pressing member moving means for moving the squeegee-type pressing member.
【００３２】このスキージ型押圧部材４ａを用いて導電
性異物の位置検出を行う場合、該スキージ型押圧部材
は、上記タッチパネル１の電極対向領域全域を、その透
明電極が互いに接触しない程度の押圧力で該タッチパネ
ル表面を押圧する。一方、このスキージ型押圧部材４ａ
を用いて絶縁性異物の位置検出を行う場合、該スキージ
型押圧部材は、上記タッチパネル１の電極対向領域全域
を、その透明電極が互いに接触する程度の押圧力で該タ
ッチパネル表面を押圧する。また、上記駆動装置４ｂの
駆動動作は、押圧動作制御手段としても機能する上記コ
ンピュータ８により制御されている。When the position of a conductive foreign substance is detected using the squeegee-type pressing member 4a, the squeegee-type pressing member presses the entire area of the electrode facing area of the touch panel 1 so that the transparent electrodes do not contact each other. To press the touch panel surface. On the other hand, this squeegee-type pressing member 4a
When the position of an insulating foreign substance is detected by using a squeegee, the squeegee-type pressing member presses the entire surface of the touch panel 1 with the pressing force of such a degree that the transparent electrodes are in contact with each other. The driving operation of the driving device 4b is controlled by the computer 8, which also functions as a pressing operation control unit.
【００３３】上記タッチパネル１に対する上記スキージ
型押圧部材４ａの少なくとも接触部は、図２（ａ）中矢
印で示す該スキージ型押圧部材の移動方向に対する電極
対向領域幅と同じ幅を持つように形成されている。ま
た、少なくともこの接触部は、上記タッチパネル１の表
面を傷つけないような材質で形成するか、該タッチパネ
ル表面を傷つけないように加工する。At least the contact portion of the squeegee-type pressing member 4a with the touch panel 1 is formed so as to have the same width as the electrode-facing region width in the moving direction of the squeegee-type pressing member indicated by an arrow in FIG. ing. At least the contact portion is formed of a material that does not damage the surface of the touch panel 1 or is processed so as not to damage the surface of the touch panel.
【００３４】尚、本実施形態では、押圧部材としてスキ
ージ型押圧部材を用いているが、該押圧部材は電極対向
領域全域を押圧できるものであればよく、図２（ｂ）に
示すようなローラ型押圧部材４ｃや、図２（ｃ）に示す
ようなブロック型押圧部材４ｄなども利用することがで
きる。これらローラ型押圧部材４ｃやブロック型押圧部
材４ｄも、上記タッチパネル１の表面を傷つけないよう
な材質で形成するとよい。また、本実施形態では、押圧
手段として、スキージ型押圧部材からなる押圧部材を移
動させて電極対向領域全域を押圧する構成としている
が、導電性異物の位置検出を行う場合には上記電極対向
領域全域を一度に押圧できるものを適用することも可能
である。In this embodiment, a squeegee-type pressing member is used as the pressing member. However, the pressing member may be any as long as it can press the entire electrode-facing area, and a roller as shown in FIG. A mold pressing member 4c, a block-type pressing member 4d as shown in FIG. 2C, and the like can also be used. The roller-type pressing member 4c and the block-type pressing member 4d are also preferably formed of a material that does not damage the surface of the touch panel 1. Further, in the present embodiment, as the pressing means, a pressing member formed of a squeegee-type pressing member is moved to press the entire area of the electrode facing area. It is also possible to apply one that can press the entire area at once.
【００３５】次に、上記異物位置検出装置４の動作につ
いて説明する。タッチパネル１の製造過程において、例
えば、該タッチパネルの配線パターン印刷作業中に、上
記タッチパネル１の互いに対向する透明電極の間に形成
された空間（以下、「電極対向空間」という。）に銀ペ
ースト等の導電性異物が付着又は混入してしまう場合が
ある。また、上記電極対向空間には、このような導電性
異物の他に、ガラス粉や樹脂粉のような絶縁性異物が混
入する場合もある。このような異物が上記電極対向空間
に存在する場合、その異物が付着した部分において、導
電性異物の場合には誤接触が起こり、また絶縁性異物の
場合には接触不良が起こる。この結果、これら異物が上
記電極対向空間に存在することによって、当該タッチパ
ネル１の誤作動が発生してしまうおそれがある。Next, the operation of the foreign matter position detecting device 4 will be described. In the manufacturing process of the touch panel 1, for example, a silver paste or the like is formed in a space (hereinafter, referred to as an “electrode facing space”) formed between the transparent electrodes facing each other on the touch panel 1 during a wiring pattern printing operation of the touch panel. May be attached or mixed. Further, in addition to such conductive foreign substances, insulating foreign substances such as glass powder and resin powder may be mixed into the electrode facing space. When such foreign matter is present in the electrode facing space, erroneous contact occurs in a portion where the foreign matter is attached in the case of a conductive foreign matter, and poor contact occurs in a case of an insulating foreign matter. As a result, the presence of these foreign substances in the electrode facing space may cause the touch panel 1 to malfunction.
【００３６】また、上記異物は、通常、非常に微細なも
のであるため、指やペンで押圧するタッチパネルにおい
ては、上記異物が絶縁性の場合には上記銀ペースト等の
導電性異物に比べて誤作動を引き起こす確率が少ない。
従って、指やペンで押圧するタッチパネルにおける異物
位置検出においては、このような絶縁性異物を必ずしも
除去する必要性はないが、本実施形態では、製品の品質
をより高めるため、導電性異物のみならず絶縁性異物の
位置検出作業も行い、この検出結果に基づいてこれら異
物の除去作業を行う。Further, since the foreign matter is usually very fine, in a touch panel pressed with a finger or a pen, when the foreign matter is insulative, the foreign matter is compared with the conductive foreign matter such as the silver paste. Low probability of causing malfunction.
Therefore, in detecting the position of a foreign substance on a touch panel pressed with a finger or a pen, it is not always necessary to remove such insulating foreign substance, but in the present embodiment, in order to further improve the quality of the product, if only the conductive foreign substance is used, In addition, the work of detecting the position of the insulating foreign matter is also performed, and the work of removing the foreign matter is performed based on the detection result.
【００３７】上記コンピュータ８の制御の下、上記真空
吸着パッド２により上記タッチパネル１が上記製品検査
ステージ３にセットされると、該コンピュータにより上
記駆動装置４ｂが制御されて、上記スキージ型押圧部材
４ａが該タッチパネルの搬送方向の一端部にある検査ス
タート位置に移動する。そして、まず導電性異物の位置
検出を行う。When the touch panel 1 is set on the product inspection stage 3 by the vacuum suction pad 2 under the control of the computer 8, the driving device 4b is controlled by the computer, and the squeegee-type pressing member 4a is controlled. Moves to the inspection start position at one end of the touch panel in the transport direction. Then, first, the position of the conductive foreign matter is detected.
【００３８】検査スタート位置に移動したスキージ型押
圧部材４ａは、上記コンピュータ８に制御されて、上記
タッチパネル１の表面に沿って上記検査スタート位置か
ら電極対向領域の他端まで、図２（ａ）中矢印の方向に
移動する。このとき、このスキージ型押圧部材４ａは、
上記タッチパネル１の透明電極が互いに接触しない程度
の押圧力で該タッチパネル表面を押圧しながら移動して
位置検出作業を行う。The squeegee-type pressing member 4a that has moved to the inspection start position is controlled by the computer 8 to move along the surface of the touch panel 1 from the inspection start position to the other end of the electrode facing area as shown in FIG. Move in the direction of the middle arrow. At this time, the squeegee-type pressing member 4a
The touch panel 1 moves while pressing the surface of the touch panel 1 with such a pressing force that the transparent electrodes do not touch each other to perform a position detecting operation.
【００３９】この位置検出作業において、上記透明電極
上に導電性異物が存在している場合、その部分では互い
に対向する透明電極間の間隔が通常よりも短くなってい
るため、その部分で該透明電極同士が接触してしまう。
このように透明電極同士が接触した位置は、上記タッチ
パネル１に接続された位置認識部で異物位置と認識さ
れ、該位置認識部で認識した異物位置データは、該位置
認識部に接続した上記コンピュータ８に送られる。In this position detecting operation, if there is a conductive foreign matter on the transparent electrode, the interval between the transparent electrodes facing each other is shorter than usual at that portion, and therefore, the transparent foreign material is formed at that portion. The electrodes come into contact with each other.
The position where the transparent electrodes are in contact with each other is recognized as a foreign matter position by the position recognition unit connected to the touch panel 1, and the foreign matter position data recognized by the position recognition unit is based on the computer connected to the position recognition unit. 8
【００４０】一方、導電性異物の位置検出作業が終了し
たら、次に絶縁性異物の位置検出作業を行うため、上記
スキージ型押圧部材４ａは再び検査スタート位置に移動
する。そして、このスキージ型押圧部材４ａは、上記コ
ンピュータ８に制御されて、上記タッチパネル１の表面
に沿って上記検査スタート位置から電極対向領域の他端
まで、図２（ａ）中矢印の方向に移動する。このとき、
このスキージ型押圧部材４ａは、上記タッチパネル１の
透明電極が互いに接触する程度の押圧力で該タッチパネ
ル表面を押圧しながら移動して位置検出作業を行う。On the other hand, when the work of detecting the position of the conductive foreign matter is completed, the squeegee-type pressing member 4a is again moved to the inspection start position to perform the work of detecting the position of the insulating foreign matter. The squeegee-type pressing member 4a is controlled by the computer 8 and moves along the surface of the touch panel 1 from the inspection start position to the other end of the electrode facing region in the direction of the arrow in FIG. I do. At this time,
The squeegee-type pressing member 4a performs a position detecting operation by moving while pressing the surface of the touch panel 1 with such a pressing force that the transparent electrodes of the touch panel 1 contact each other.
【００４１】この位置検出作業において、上記透明電極
上に絶縁性異物が存在している場合、上記スキージ型押
圧部材４ａの当接部分では、該絶縁性異物の存在によ
り、互いに対向する透明電極間が通常では接触するはず
なのに接触しない部分が生じる。このように上記スキー
ジ型押圧部材４ａが上記電極対向領域を移動中に透明電
極同士が互いに接触しない部分が存在したとき、該スキ
ージ型押圧部材４ａの位置が上記タッチパネル１に接続
された位置認識部で認識される。これにより、上記スキ
ージ型押圧部材４ａの移動方向における異物位置の座標
（以下、「Ｘ座標」という。）を認識することができ
る。このとき、上記位置認識部は、上記透明電極間に設
けられたスペーサの位置は除外して認識する。尚、この
スペーサが設けられている付近に絶縁性異物が存在して
いる場合であっても、実際に当該タッチパネルが使用さ
れるときに問題とならないため除去する必要はない。In the position detecting operation, when an insulating foreign substance is present on the transparent electrode, the contact portion of the squeegee-type pressing member 4a causes a gap between the transparent electrodes facing each other due to the presence of the insulating foreign substance. However, there are parts that should normally contact but do not. As described above, when there is a portion where the transparent electrodes do not contact each other while the squeegee-type pressing member 4a is moving in the electrode facing region, the position of the squeegee-type pressing member 4a is changed to the position recognition unit connected to the touch panel 1. Recognized by This makes it possible to recognize the coordinates of the foreign matter position in the moving direction of the squeegee-type pressing member 4a (hereinafter, referred to as “X coordinate”). At this time, the position recognizing unit recognizes the position excluding the position of the spacer provided between the transparent electrodes. It should be noted that even if there is an insulating foreign matter in the vicinity where the spacer is provided, it does not need to be removed because it does not pose a problem when the touch panel is actually used.
【００４２】このように異物位置のＸ座標を認識した
ら、次に上記スキージ型押圧部材４ａは、Ｘ座標を認識
するために移動した方向に対して垂直方向に移動して位
置検出作業を行うため、当該タッチパネル１の搬送方向
に対して垂直方向の一端部にある検査スタート位置に移
動する。そして、再び、上記スキージ型押圧部材４ａは
上記タッチパネル１の透明電極が互いに接触する程度の
押圧力で該タッチパネル表面を押圧しながら移動し、上
記位置認識部で上記スキージ型押圧部材４ａの移動方向
における異物位置の座標（以下、「Ｙ座標」という。）
を認識する。After recognizing the X coordinate of the foreign substance position in this way, the squeegee-type pressing member 4a moves in a direction perpendicular to the direction in which the squeegee-type pressing member moves to recognize the X coordinate, and performs a position detecting operation. Then, the touch panel 1 moves to the inspection start position at one end in the direction perpendicular to the transport direction. Then, again, the squeegee-type pressing member 4a moves while pressing the touch panel surface with a pressing force of such a degree that the transparent electrodes of the touch panel 1 contact each other, and the moving direction of the squeegee-type pressing member 4a is determined by the position recognition unit. (Hereinafter referred to as “Y coordinate”).
Recognize.
【００４３】このようにして異物位置のＸ座標及びＹ座
標を認識することができたら、これらＸ座標及びＹ座標
から導き出される異物位置データは、上記位置認識部に
接続した上記コンピュータ８に送られる。尚、絶縁性異
物の位置検出作業は、導電性異物の位置検出作業のよう
に上記透明電極同士の接触による抵抗の変化によって異
物位置を認識することができないため、絶縁性異物の位
置検出作業では本実施形態のように異物位置を絞り込ん
で認識する必要がある。この異物位置の絞り込み方法
は、絶縁性異物の位置検出作業に使用する異物位置検出
装置の具体的構成によって適宜選択される。例えば、図
２（ｃ）に示すブロック型押圧部材４ｄを利用した異物
位置検出装置においては、はじめに大きめの押圧面を有
するブロック型押圧部材で上記電極対向領域全域を押圧
して絶縁性異物が存在する領域を限定し、その領域を今
度は小さい押圧面を有するブロック型押圧部材で押圧し
て絶縁性異物が存在する領域を更に限定するようにして
異物位置を絞り込んでいく。When the X and Y coordinates of the foreign object position can be recognized in this way, the foreign object position data derived from the X and Y coordinates is sent to the computer 8 connected to the position recognition unit. . In addition, since the position of the insulating foreign object cannot be recognized by the change in resistance due to the contact between the transparent electrodes as in the operation of detecting the position of the conductive foreign object, the position of the insulating foreign object cannot be recognized. As in the present embodiment, it is necessary to narrow down and recognize the position of the foreign matter. The method of narrowing down the foreign matter position is appropriately selected depending on the specific configuration of the foreign matter position detecting device used for the work of detecting the position of the insulating foreign matter. For example, in a foreign matter position detecting device using a block-type pressing member 4d shown in FIG. 2C, first, a block-type pressing member having a large pressing surface is used to press the entire area of the electrode-facing region so that an insulating foreign substance is present. The area where the insulating foreign matter is present is further narrowed down by pressing the area with a block-type pressing member having a small pressing surface.
【００４４】次に、本発明のもう１つの特徴部分である
異物除去装置７の構成及び動作について説明する。図３
は、本実施形態の異物除去装置７の概略構成図である。
この異物除去装置５は、上記タッチパネル１上に存在す
る異物を撮像する撮像手段としてのＣＣＤカメラ５と、
該異物を除去する異物除去手段としてのレーザ装置７
と、該ＣＣＤカメラ及び該レーザ装置を保持して移動可
能なＸ−Ｙステージ９と、該Ｘ−Ｙステージを駆動する
駆動手段としてのリニアモータ１０とから構成されてい
る。上記Ｘ−Ｙステージ９に保持されたＣＣＤカメラ５
は、上記タッチパネル１の表面と垂直となるように該Ｘ
−Ｙステージ上に固定されている。また、上記レーザ装
置６は、上記ＣＣＤカメラ５が撮像する撮像画像の中心
点に照準を合わせた状態で上記Ｘ−Ｙステージ９上に固
定されている。Next, the configuration and operation of the foreign matter removing device 7 which is another characteristic part of the present invention will be described. FIG.
1 is a schematic configuration diagram of a foreign matter removing device 7 of the present embodiment.
The foreign matter removing device 5 includes a CCD camera 5 as an imaging unit that images foreign matter existing on the touch panel 1,
Laser device 7 as foreign matter removing means for removing the foreign matter
And an XY stage 9 that can move while holding the CCD camera and the laser device, and a linear motor 10 as driving means for driving the XY stage. CCD camera 5 held on XY stage 9
Is set to be perpendicular to the surface of the touch panel 1.
-Fixed on the Y stage. Further, the laser device 6 is fixed on the XY stage 9 in a state where the laser device 6 is focused on the center point of the image captured by the CCD camera 5.
【００４５】上記Ｘ−Ｙステージ９を駆動するリニアモ
ータ１０は、駆動制御手段としても機能する上記コンピ
ュータ８に制御されており、該Ｘ−Ｙステージを上記タ
ッチパネル１の表面方向に２次元的に移動させることが
できる。このリニアモータ１０としては、サーボモータ
やステッピングモータ等を適用することができる。The linear motor 10 for driving the XY stage 9 is controlled by the computer 8 which also functions as drive control means, and the XY stage is two-dimensionally moved in the direction of the surface of the touch panel 1. Can be moved. As the linear motor 10, a servo motor, a stepping motor, or the like can be applied.
【００４６】上記コンピュータ８は、上記位置検出作業
により検出された異物位置データを上記位置認識部から
受け取ると、上記リニアモータ１０を制御して、該異物
位置データに対応する異物位置に上記Ｘ−Ｙステージ９
を移動する。これにより、上記Ｘ−Ｙステージ９に搭載
されたＣＣＤカメラ５は、該異物が撮像画像の中心に位
置するように、該異物が存在する領域を撮像する。上記
ＣＣＤカメラ５により撮像された撮像画像データは、位
置算出手段としても機能するコンピュータ８に送られ
る。そして、このコンピュータ８では、上記ＣＣＤカメ
ラ５で撮像した撮像画像の撮像画像データに基づいて、
該撮像画像の基準位置座標である中心点に対する上記異
物位置の座標を算出する。When the computer 8 receives the foreign object position data detected by the position detecting operation from the position recognizing section, the computer 8 controls the linear motor 10 to move the X-ray to the foreign object position corresponding to the foreign object position data. Y stage 9
To move. As a result, the CCD camera 5 mounted on the XY stage 9 captures an image of the area where the foreign substance exists so that the foreign substance is located at the center of the captured image. The image data captured by the CCD camera 5 is sent to a computer 8 which also functions as a position calculating means. In the computer 8, based on the captured image data of the captured image captured by the CCD camera 5,
The coordinates of the foreign matter position with respect to the center point, which is the reference position coordinates of the captured image, are calculated.
【００４７】導電性異物においては、上記位置検出作業
により検出された異物位置がかなり正確であるため、上
記撮像画像の中心点と異物位置とがほぼ同じとなるが、
厳密には、上記タッチパネル１の上面タッチパネル基板
を形成する絶縁性基板や透明電極に厚さムラがあった
り、上記位置認識部の位置認識精度が低い場合には、あ
る程度の誤差が生じる。また、絶縁性異物においては、
上記位置検出作業により検出された異物位置があまり正
確でないため誤差が大きい。特に、本実施形態のように
除去対象の異物が１μｍ程度の微細なものである場合に
は、その異物が導電性であっても上記位置検出作業によ
り検出された異物位置と実際の位置とに誤差が生じるこ
とが多い。In the case of a conductive foreign substance, the position of the foreign substance detected by the above-described position detecting operation is fairly accurate, so that the center point of the captured image and the position of the foreign substance are substantially the same.
Strictly speaking, a certain degree of error occurs when the thickness of the insulating substrate or the transparent electrode forming the upper touch panel substrate of the touch panel 1 is uneven or the position recognition accuracy of the position recognition unit is low. In the case of insulating foreign matter,
The error is large because the foreign matter position detected by the position detecting operation is not very accurate. In particular, when the foreign matter to be removed is as fine as about 1 μm as in the present embodiment, even if the foreign matter is conductive, the foreign matter position detected by the position detection operation and the actual position are different. Errors often occur.
【００４８】このような微細な異物を除去するために
は、かなり高い精度で該異物位置を検出する必要がある
ので、本実施形態では、上記ＣＣＤカメラ５により撮像
された撮像画像データに基づき更に正確な位置検出を行
い、これにより検出された異物位置に上記レーザ装置６
の照準を合わせる作業を行う。In order to remove such minute foreign matter, it is necessary to detect the position of the foreign matter with considerably high accuracy. Therefore, in this embodiment, the foreign matter position is further determined based on the image data captured by the CCD camera 5. An accurate position detection is performed, and the laser device 6
Aim to aim at.
【００４９】上記ＣＣＤカメラ５により撮像された撮像
画像データに基づいて位置検出を行うときに検出対象の
異物がガラス粉等のように透明である場合には、このよ
うな異物を該ＣＣＤカメラによる撮像画像データとして
認識できない場合がある。このような場合であっても異
物を確実に認識するため、偏光照射手段としての偏光器
を設けてもよい。この偏光器としては、例えば、上記タ
ッチパネル１の下方から偏光板を介して光を照射するよ
うなものを用いることができる。この場合、タッチパネ
ル１内の透明な異物も、上記偏光器から照射された偏光
によって黒い影となって上記ＣＣＤカメラ５で撮像する
ことができ、該異物を撮像画像データとして認識するこ
とが可能となる。尚、このときに、上記偏光板が回転す
るような構成とすれば、より確実に異物を撮像すること
が可能となる。When foreign matter to be detected is transparent such as glass powder when position detection is performed based on image data captured by the CCD camera 5, such foreign matter is removed by the CCD camera. In some cases, the image data cannot be recognized as captured image data. Even in such a case, a polarizer may be provided as a polarized light irradiating means in order to reliably recognize the foreign matter. As the polarizer, for example, a polarizer that emits light from below the touch panel 1 via a polarizing plate can be used. In this case, the transparent foreign matter in the touch panel 1 can also be imaged by the CCD camera 5 as a black shadow due to the polarized light emitted from the polarizer, and the foreign matter can be recognized as captured image data. Become. At this time, if the polarizing plate is configured to rotate, it is possible to more reliably image a foreign substance.
【００５０】上記異物の位置座標を算出したコンピュー
タ８は、照準手段としても機能する上記リニアモータ１
０を制御して、該異物位置座標が上記撮像画像の中心点
にくるように、上記Ｘ−Ｙステージ９を移動させる。こ
のＸ−Ｙステージ９上に固定されたレーザ装置６は上記
中心点に照準が合わせられているので、該レーザ装置の
照準を実際に異物が存在する位置に合わせることができ
る。The computer 8, which has calculated the position coordinates of the foreign matter, uses the linear motor 1 which also functions as aiming means.
0, the XY stage 9 is moved so that the coordinates of the position of the foreign matter come to the center point of the captured image. Since the laser device 6 fixed on the XY stage 9 is aimed at the center point, the laser device can be aimed at a position where a foreign substance actually exists.
【００５１】上記レーザ装置６は、Ｑスイッチ６ａで制
御される光源としてのＹＡＧレーザ６ｂと、該ＹＡＧレ
ーザから出射した光ビームとしての近赤外レーザ光（波
長λ＝１０６４ｎｍ）を異物近傍までガイドするステッ
プインデックス型の光ファイバ６ｃとから構成されてい
る。本実施形態では、上記光ファイバ６ｃの光出射端部
６ｄのみが上記Ｘ−Ｙステージ９上に保持され、上記Ｙ
ＡＧレーザ６ｂは製品検査ステージ３の外部に設置され
ている。また、本実施形態では、光源としてＹＡＧレー
ザを用いているが、炭酸ガスレーザ等の赤外光又は可視
光のレーザ光を出射し得る他のレーザや、その他ランプ
等の光源を用いてもよい。The laser device 6 guides a YAG laser 6b as a light source controlled by a Q switch 6a and a near-infrared laser beam (wavelength λ = 1064 nm) as a light beam emitted from the YAG laser to the vicinity of a foreign substance. And a step index type optical fiber 6c. In the present embodiment, only the light emitting end 6 d of the optical fiber 6 c is held on the XY stage 9,
The AG laser 6b is installed outside the product inspection stage 3. In the present embodiment, a YAG laser is used as a light source. However, another laser such as a carbon dioxide gas laser that can emit infrared light or visible laser light, or another light source such as a lamp may be used.
【００５２】上記光ファイバ６ｃは、軸中心部のコア
と、該コアよりも屈折率が小さい外周部のクラッドとに
より構成されている。この光ファイバ６ｃの光出射端部
６ｄは、上記ＣＣＤカメラ５の中心点に照準を合わせた
状態で上記Ｘ−Ｙステージ９上に固定されており、上記
ＹＡＧレーザ６ｂからのレーザ光が図示しないレンズ等
の光学部材のより光ファイバ６ｃのコア内に入射され
る。この光ファイバ６ｃの光出射端部６ｄには、レーザ
光の進行方向下流側に向かってコアの断面積が狭くなる
ようにテーパーが形成されている。このようにコアの断
面積が出射端側に向かって狭くなっているので、該コア
内で多重に反射されてガイドされるレーザ光は、光ビー
ムパワーが低下することなく、そのビーム径が小さくな
っていく。The optical fiber 6c comprises a core at the center of the shaft and a cladding at the outer periphery having a smaller refractive index than the core. The light emitting end 6d of the optical fiber 6c is fixed on the XY stage 9 while aiming at the center point of the CCD camera 5, and the laser light from the YAG laser 6b is not shown. The light enters the core of the optical fiber 6c from an optical member such as a lens. The light emitting end 6d of the optical fiber 6c is tapered so that the cross-sectional area of the core decreases toward the downstream side in the traveling direction of the laser light. Since the cross-sectional area of the core becomes narrower toward the emission end in this manner, the laser beam that is multiple-reflected and guided in the core has a smaller beam diameter without reducing the light beam power. It is becoming.
【００５３】また、上記光出射端部６ｄを保持する上記
Ｘ−Ｙステージ９の保持部の内部にはレンズが取り付け
られている。上記光ファイバ６ｃのコアから出射した小
径のレーザ光は、上記レンズで集光されて出射される。
尚、上記レンズとしては、異物周辺の透明電極のレーザ
光によるダメージを与えないためにも、ＮＡが大きいも
のを使用するのが好ましい。A lens is mounted inside the holding section of the XY stage 9 for holding the light emitting end 6d. The small-diameter laser light emitted from the core of the optical fiber 6c is focused by the lens and emitted.
In addition, it is preferable to use a lens having a large NA in order to prevent the transparent electrode around the foreign matter from being damaged by the laser beam.
【００５４】上記レーザ装置６は、異物除去制御手段と
しても機能するコンピュータ８に制御されている。この
コンピュータ８は、上記レーザ装置６の照準を上記異物
に合わせたら、該レーザ装置６を駆動してレーザ光を出
射させる。これにより、上記タッチパネル１の透明電極
上に存在する導電性異物又は絶縁性異物は加熱して蒸発
する。そして、蒸発した後は上面の透明電極上に極薄い
膜となって付着する。尚、この極薄い膜が導電性異物に
よるものである場合には、上記透明電極の一部となって
存在することになる。一方、この極薄い膜が絶縁性異物
によるものである場合には、該絶縁性異物が微小な粉体
であるので上記透明電極上に形成されるその絶縁性膜の
面積も非常に小さいものとなる。従って、通常指やペン
で押圧されることになるタッチパネルにおいて、このよ
うな絶縁性膜による接触不良が発生することはなく、該
タッチパネルが誤作動を引き起こすことはない。The laser device 6 is controlled by a computer 8 which also functions as foreign matter removal control means. When the computer 8 sets the aim of the laser device 6 to the foreign matter, the computer 8 drives the laser device 6 to emit laser light. Thereby, the conductive foreign matter or the insulating foreign matter existing on the transparent electrode of the touch panel 1 is evaporated by heating. Then, after evaporation, it adheres as an extremely thin film on the transparent electrode on the upper surface. When the extremely thin film is made of a conductive foreign substance, it is present as a part of the transparent electrode. On the other hand, when the extremely thin film is made of insulating foreign matter, the insulating foreign matter is a fine powder, so that the area of the insulating film formed on the transparent electrode is very small. Become. Therefore, in a touch panel that is normally pressed by a finger or a pen, such a contact failure due to the insulating film does not occur, and the touch panel does not cause a malfunction.
【００５５】このように、本実施形態によれば、タッチ
パネルに形成された透明電極上に異物が付着していない
かを検査する製品検査工程を自動化することが可能とな
り、検査作業員の人的負担を軽減し、検査効率を向上さ
せることができる。As described above, according to the present embodiment, it is possible to automate the product inspection process for inspecting whether or not foreign matter is attached to the transparent electrode formed on the touch panel, and it is possible to automate the inspection worker. The burden can be reduced and the inspection efficiency can be improved.
【００５６】本実施形態では、上記レーザ装置６の照準
を予め上記撮像画像の中心点に合わせておき、上記リニ
アモータ１０を移動してその照準を合わせる構成として
いるが、例えば、該レーザ装置から出射されるレーザ光
の出射角を変えて上記コンピュータ８で算出された異物
位置座標に照準をあわせるような照準手段を適用するこ
とも可能である。In this embodiment, the aim of the laser device 6 is previously adjusted to the center point of the captured image, and the linear motor 10 is moved to adjust the aim. It is also possible to apply aiming means for changing the emission angle of the emitted laser light so as to aim at the foreign matter position coordinates calculated by the computer 8.
【００５７】また、本実施形態では、上記異物除去装置
７を移動させて異物を撮像して除去する構成としている
が、該異物除去装置を固定しておいて上記タッチパネル
１を載置した製品検査ステージ３を移動させる構成とし
てもよい。In the present embodiment, the foreign matter removing device 7 is moved to image and remove the foreign matter. However, the foreign matter removing device is fixed and the product inspection on which the touch panel 1 is mounted is performed. The stage 3 may be moved.
【００５８】[0058]
【発明の効果】請求項１乃至９の発明によれば、異物の
正確な位置を自動的に検出して該異物を除去することが
できる異物除去装置を提供することができるという優れ
た効果がある。According to the first to ninth aspects of the present invention, there is provided an excellent effect that a foreign matter removing apparatus capable of automatically detecting an accurate position of a foreign matter and removing the foreign matter can be provided. is there.
【００５９】特に、請求項２の発明によれば、除去対象
の異物の位置を検出する時間を短縮することが可能とな
るという優れた効果がある。In particular, according to the invention of claim 2, there is an excellent effect that the time for detecting the position of the foreign matter to be removed can be shortened.
【００６０】また、請求項３及び４の発明によれば、導
電性異物の位置検出作業を自動化することができるとい
う優れた効果がある。Further, according to the third and fourth aspects of the present invention, there is an excellent effect that the operation of detecting the position of a conductive foreign substance can be automated.
【００６１】また、請求項５の発明によれば、絶縁性異
物の位置検出作業を自動化することができるという優れ
た効果がある。Further, according to the invention of claim 5, there is an excellent effect that the operation of detecting the position of the insulating foreign substance can be automated.
【００６２】また、請求項６及び７の発明によれば、装
置の簡素化を図ることができるという優れた効果があ
る。Further, according to the inventions of claims 6 and 7, there is an excellent effect that the apparatus can be simplified.
【００６３】また、請求項８の発明によれば、製品検査
や製品の修理の際に行う作業をすべて自動化することが
可能となるという優れた効果がある。Further, according to the invention of claim 8, there is an excellent effect that all operations performed during product inspection and product repair can be automated.
【００６４】また、請求項９の発明によれば、異物が透
明であっても異物の位置を検出することができるという
優れた効果がある。Further, according to the ninth aspect of the invention, there is an excellent effect that the position of the foreign matter can be detected even if the foreign matter is transparent.
【００６５】請求項１０の発明によれば、タッチパネル
の透明電極上に存在する導電性異物の位置検出作業を自
動化することができる異物位置検出装置を提供すること
ができるという優れた効果がある。According to the tenth aspect of the present invention, there is an excellent effect that a foreign object position detecting device capable of automating the operation of detecting the position of a conductive foreign object present on the transparent electrode of the touch panel can be provided.
【００６６】請求項１１の発明によれば、タッチパネル
の透明電極上に存在する絶縁性異物の位置検出作業を自
動化することができる異物位置検出装置を提供すること
ができるという優れた効果がある。According to the eleventh aspect of the present invention, there is an excellent effect that it is possible to provide a foreign matter position detecting device capable of automating a work of detecting the position of an insulating foreign matter present on a transparent electrode of a touch panel.
【図１】実施形態に係る異物除去装置による製品検査工
程全体の流れを示す説明図。FIG. 1 is an explanatory diagram showing a flow of an entire product inspection process by a foreign matter removing device according to an embodiment.
【図２】（ａ）は、実施形態に係る異物位置検出装置の
概略構成を示す斜視図。（ｂ）は、実施形態に係る異物
位置検出装置の変形例を示す斜視図。（ｃ）は、実施形
態に係る異物位置検出装置の他の変形例を示す斜視図。FIG. 2A is a perspective view illustrating a schematic configuration of a foreign object position detection device according to an embodiment. (B) is a perspective view showing a modification of the foreign substance position detecting device according to the embodiment. (C) is a perspective view showing another modification of a foreign substance position detecting device concerning an embodiment.
【図３】本実施形態に係る異物除去装置の概略構成図。FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a foreign matter removing device according to the embodiment.
【図４】（ａ）及び（ｂ）は、タッチパネルの要部の概
略構成を示す断面図。4A and 4B are cross-sectional views illustrating a schematic configuration of a main part of a touch panel.
【図５】タッチパネルの概略構成を示す分解斜視図。FIG. 5 is an exploded perspective view showing a schematic configuration of a touch panel.
１ タッチパネル ２ 真空吸着パッド ３ 製品検査ステージ ４ 異物位置検出装置 ４ａ スキージ型押圧部材 ４ｂ 駆動装置 ５ ＣＣＤカメラ ６ レーザ装置 ６ａ Ｑスイッチ ６ｂ ＹＡＧレーザ ７ 異物除去装置 ８ コンピュータ ９ Ｘ−Ｙステージ １０ リニアモータ １１ａ １１ｂ 透明電極 １２ａ １２ｂ タッチパネル基板 １３ スペーサ １４ａ １４ｂ 絶縁性基板 １５ 配線パターン DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Touch panel 2 Vacuum suction pad 3 Product inspection stage 4 Foreign material position detecting device 4a Squeegee type pressing member 4b Drive device 5 CCD camera 6 Laser device 6a Q switch 6b YAG laser 7 Foreign material removing device 8 Computer 9 XY stage 10 Linear motor 11a 11b Transparent electrode 12a 12b Touch panel substrate 13 Spacer 14a 14b Insulating substrate 15 Wiring pattern
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０２Ｆ 1/1333 Ｇ０２Ｆ 1/1333 Ｇ０６Ｆ 3/033 ３６０ Ｇ０６Ｆ 3/033 ３６０Ｚ // Ｂ２３Ｋ 101:36 Ｆターム(参考） 2G051 AA90 AB01 BA10 CA03 CA04 DA07 DA17 EA00 2G060 AA09 AE40 AF20 AG11 EB07 HC10 2H089 HA00 QA16 4E068 CB02 CB08 CC02 DA00 DA08 5B087 AA00 AC14 CC13 CC16 CC41──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G02F 1/1333 G02F 1/1333 G06F 3/033 360 G06F 3/033 360Z // B23K 101: 36 F term ( Reference) 2G051 AA90 AB01 BA10 CA03 CA04 DA07 DA17 EA00 2G060 AA09 AE40 AF20 AG11 EB07 HC10 2H089 HA00 QA16 4E068 CB02 CB08 CC02 DA00 DA08 5B087 AA00 AC14 CC13 CC16 CC41
Claims (11)
物除去装置において、駆動手段によって移動可能で、該
異物が存在する領域を撮像する撮像手段と、該駆動手段
を制御して該撮像手段を撮像位置に移動させる駆動制御
手段と、該撮像手段の撮像画像中に異物が撮像されたと
きに、該撮像画像に基づいて該異物の位置を算出する位
置算出手段と、該異物を除去する異物除去手段と、該位
置算出手段で算出した異物位置に基づき、該異物除去手
段の照準を合わせる照準手段とを備え、該照準手段によ
り照準が合わせられた異物を該異物除去手段によって除
去することを特徴とする異物除去装置。1. A foreign matter removing device for removing foreign matter present on a predetermined member, wherein the image capturing means is movable by a driving means and takes an image of an area where the foreign matter is present, and the driving means is controlled to perform the image taking. Drive control means for moving the means to the imaging position, position calculation means for calculating the position of the foreign substance based on the captured image when a foreign substance is captured in the image captured by the imaging means, and removing the foreign substance And a sighting means for aiming the foreign matter removing means based on the foreign matter position calculated by the position calculating means, and the foreign matter aimed by the aiming means is removed by the foreign matter removing means. A foreign matter removing device characterized by the above-mentioned.
物の位置を検出する位置検出手段を設け、上記駆動制御
手段が、該位置検出手段によって検出した該異物の位置
情報に基づき、上記駆動手段を制御して上記撮像手段を
撮像位置に移動させることを特徴とする異物除去装置。2. The foreign matter removing device according to claim 1, further comprising: position detecting means for detecting a position of the foreign matter, wherein the drive control means performs the driving based on the position information of the foreign matter detected by the position detecting means. A foreign matter removing apparatus, characterized by controlling the means to move the imaging means to an imaging position.
れぞれに形成された電極が互いに所定間隔を開けて対向
するように配置し、一方の絶縁性基板を押圧して各電極
が互いに接触したときに、位置認識部によってその接触
位置での電気的変化に基づいて接触位置を認識する装置
に対して、該電極上に存在する導電性異物を除去する請
求項２の異物除去装置において、上記位置検出手段を、
上記装置の電極対向領域の全域に対して該電極が互いに
接触しない程度の押圧力で上記一方の絶縁性基板を押圧
する押圧手段と、該押圧手段の押圧動作を制御する押圧
動作制御手段とから構成し、該導電性異物の位置を上記
位置認識部により検出することを特徴とする異物除去装
置。3. A set of insulating substrates is disposed such that electrodes formed on the insulating substrates face each other at a predetermined interval, and one of the insulating substrates is pressed to 3. A foreign matter removing device according to claim 2, wherein when the devices contact each other, a conductive foreign matter existing on the electrode is removed by a position recognizing device that recognizes the contact position based on an electrical change at the contact position. In the apparatus, the position detecting means includes:
A pressing unit that presses the one insulating substrate with a pressing force such that the electrodes do not contact each other with respect to the entire area of the electrode facing region of the device, and a pressing operation control unit that controls a pressing operation of the pressing unit. A foreign matter removing apparatus, wherein the position of the conductive foreign matter is detected by the position recognition unit.
圧手段を、上記電極対向領域の一部に対して上記電極が
互いに接触しない程度の押圧力で上記一方の絶縁性基板
を押圧する押圧部材と、該電極対向領域の全域を押圧す
るように該押圧部材を移動する押圧部材移動手段とから
構成したことを特徴とする異物除去装置。4. A foreign matter removing apparatus according to claim 3, wherein said pressing means presses said one insulating substrate with a pressing force to such a degree that said electrodes do not contact each other against a part of said electrode facing region. A foreign matter removing apparatus comprising: a member; and a pressing member moving unit that moves the pressing member so as to press the entire area of the electrode facing region.
れぞれに形成された電極が互いに所定間隔を開けて対向
するように配置し、一方の絶縁性基板を押圧して各電極
が互いに接触したときに、位置認識部によってその接触
位置での電気的変化に基づいて接触位置を認識する装置
に対して、該電極上に存在する絶縁性異物を除去する請
求項２の異物除去装置において、上記位置検出手段を、
上記装置の電極対向領域の一部に対して該電極が互いに
接触する程度の押圧力で上記一方の絶縁性基板を押圧す
る押圧部材と、該電極対向領域の全域を押圧するように
該押圧部材を移動する押圧部材移動手段と、該押圧部材
及び該押圧部材移動手段の押圧動作を制御する押圧動作
制御手段とから構成し、該導電性異物の位置を上記位置
認識部により検出することを特徴とする異物除去装置。5. A set of insulating substrates is disposed such that electrodes formed on the insulating substrates face each other at a predetermined interval, and one of the insulating substrates is pressed to press each of the electrodes. 3. A foreign matter removing device according to claim 2, wherein, when the devices come into contact with each other, an insulating foreign matter present on the electrode is removed by a position recognizing device that recognizes the contact position based on an electrical change at the contact position. In the apparatus, the position detecting means includes:
A pressing member for pressing the one insulating substrate with a pressing force such that the electrodes are in contact with each other with respect to a part of the electrode facing region of the device; and a pressing member for pressing the entire area of the electrode facing region. And a pressing operation control means for controlling the pressing operation of the pressing member and the pressing member moving means, wherein the position of the conductive foreign matter is detected by the position recognition unit. Foreign matter removing device.
置において、該異物除去手段を上記撮像手段とともに移
動可能に構成したことを特徴とする異物除去装置。6. A foreign matter removing apparatus according to claim 1, wherein said foreign matter removing means is movable together with said image pickup means.
物除去手段の照準を予め所定位置に合わせ、上記駆動制
御手段を上記照準手段として兼用し、該駆動制御手段
が、上記位置算出手段で算出した異物位置と該所定位置
とが同じになるように上記駆動手段を制御して該異物除
去手段の照準を合わせることを特徴とする異物除去装
置。7. The foreign matter removing device according to claim 6, wherein the aim of said foreign matter removing means is previously set at a predetermined position, and said drive control means is also used as said aiming means, and said drive control means is said position calculating means. A foreign matter removing apparatus, wherein the driving means is controlled so that the calculated foreign matter position and the predetermined position are the same, and the aim of the foreign matter removing means is adjusted.
物除去装置において、上記照準手段による照準合わせが
完了した信号を受け取ることにより、上記異物除去手段
による異物除去動作を制御する異物除去制御手段を設け
たことを特徴とする異物除去装置。8. The foreign matter removing device according to claim 1, 2, 3, 4, 5, 6, or 7, wherein the foreign matter removing operation by the foreign matter removing means is performed by receiving a signal indicating that the aiming by the aiming means is completed. A foreign matter removing device provided with foreign matter removing control means for controlling.
の異物除去装置において、上記異物が存在する領域に偏
光を照射する偏光照射手段を設けたことを特徴とする異
物除去装置。9. The method of claim 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7 or 8.
3. The foreign matter removing device according to claim 1, further comprising a polarized light irradiating means for irradiating polarized light to the region where the foreign matter is present.
それぞれに形成された電極が互いに所定間隔を開けて対
向するように配置し、一方の絶縁性基板を押圧して各電
極が互いに接触したときに、位置認識部によってその接
触位置での電気的変化に基づいて接触位置を認識する装
置に対して、該電極上に存在する導電性異物の位置を検
出する異物位置検出装置において、上記装置の電極対向
領域の全域に対して該電極が互いに接触しない程度の押
圧力で上記一方の絶縁性基板を押圧する押圧手段と、該
押圧手段の押圧動作を制御する押圧動作制御手段とを有
し、該導電性異物の位置を上記位置認識部により検出す
ることを特徴とする異物位置検出装置。10. A set of insulating substrates is arranged such that electrodes formed on the insulating substrates face each other at a predetermined interval, and one of the insulating substrates is pressed to A foreign object position detecting device for detecting the position of a conductive foreign object present on the electrode, for a device for recognizing a contact position based on an electrical change at the contact position by a position recognizing unit when the two are in contact with each other A pressing means for pressing said one insulating substrate with a pressing force of such a degree that said electrodes do not contact each other with respect to the entire area of the electrode facing region of said apparatus, and pressing operation control means for controlling the pressing operation of said pressing means Wherein the position recognition unit detects the position of the conductive foreign matter by using the position recognition unit.
それぞれに形成された電極が互いに所定間隔を開けて対
向するように配置し、一方の絶縁性基板を押圧して各電
極が互いに接触したときに、位置認識部によってその接
触位置での電気的変化に基づいて接触位置を認識する装
置に対して、該電極上に存在する絶縁性異物の位置を検
出する異物位置検出装置において、上記装置の電極対向
領域の一部に対して該電極が互いに接触する程度の押圧
力で上記一方の絶縁性基板を押圧する押圧部材と、該電
極対向領域の全域を押圧するように該押圧部材を移動す
る押圧部材移動手段と、該押圧部材及び該押圧部材移動
手段の押圧動作を制御する押圧動作制御手段とを有し、
該絶縁性異物の位置を上記位置認識部により検出するこ
とを特徴とする異物位置検出装置。11. A set of insulating substrates is disposed such that electrodes formed on the insulating substrates face each other at a predetermined interval, and one of the insulating substrates is pressed to A foreign matter position detecting device for detecting the position of an insulating foreign matter present on the electrode when the two parts contact each other based on an electrical change at the contact position by a position recognizing unit. In the device, a pressing member that presses the one insulating substrate with a pressing force such that the electrodes come into contact with a part of the electrode facing region of the device, and the pressing member presses the entire region of the electrode facing region. A pressing member moving unit that moves the pressing member, and a pressing operation control unit that controls a pressing operation of the pressing member and the pressing member moving unit,
A foreign matter position detecting device, wherein the position of the insulating foreign matter is detected by the position recognition unit.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21916899A JP2001041904A (en) | 1999-08-02 | 1999-08-02 | Foreign matter removing apparatus and apparatus for detecting position of foreign matter |
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|---|---|---|---|
| JP21916899A JP2001041904A (en) | 1999-08-02 | 1999-08-02 | Foreign matter removing apparatus and apparatus for detecting position of foreign matter |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001041904A true JP2001041904A (en) | 2001-02-16 |
Family
ID=16731277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21916899A Withdrawn JP2001041904A (en) | 1999-08-02 | 1999-08-02 | Foreign matter removing apparatus and apparatus for detecting position of foreign matter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001041904A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107567369A (en) * | 2015-02-27 | 2018-01-09 | 伊利诺斯工具制品有限公司 | Enhancing vision system with active welder guiding |
| US9950359B2 (en) | 2013-11-13 | 2018-04-24 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Rotary roller surface cleaning method and rotary roller surface cleaning apparatus |
| CN114594623A (en) * | 2022-04-20 | 2022-06-07 | 合肥京东方显示技术有限公司 | Repairing device and repairing method of liquid crystal panel |
-
1999
- 1999-08-02 JP JP21916899A patent/JP2001041904A/en not_active Withdrawn
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| US10406638B2 (en) | 2015-02-27 | 2019-09-10 | Illinois Tool Works Inc. | Augmented vision system with active welder guidance |
| US11524368B2 (en) | 2015-02-27 | 2022-12-13 | Illinois Tool Works Inc. | Augmented vision system with active welder guidance |
| CN114594623A (en) * | 2022-04-20 | 2022-06-07 | 合肥京东方显示技术有限公司 | Repairing device and repairing method of liquid crystal panel |
| CN114594623B (en) * | 2022-04-20 | 2024-04-12 | 合肥京东方显示技术有限公司 | Repairing device and repairing method for liquid crystal panel |
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