JP2001040476A - スパッタリング装置用磁気回路 - Google Patents

スパッタリング装置用磁気回路

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JP2001040476A
JP2001040476A JP11212361A JP21236199A JP2001040476A JP 2001040476 A JP2001040476 A JP 2001040476A JP 11212361 A JP11212361 A JP 11212361A JP 21236199 A JP21236199 A JP 21236199A JP 2001040476 A JP2001040476 A JP 2001040476A
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Japan
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permanent magnet
fixed
yoke
pedestal
magnetic circuit
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JP11212361A
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Atsushi Kataoka
淳 片岡
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Tokin Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ターゲットの寸法、材質に合わせて、大き
さ、磁場の調整ができるスパッタリング装置用磁気回路
を提供する。 【解決手段】 角板状のヨーク１の中央部に、高さ方向
に磁化した角柱状の永久磁石２と、外周部に、この永久
磁石２と異極の極性に高さ方向に磁化した角柱状の永久
磁石３を、それぞれ台座４を介してねじ５で固定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、スパッタリング装
置用磁気回路に関し、特に、薄膜製造用のスパッタリン
グ装置のマグネトロン電極に配置される磁気回路に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のスパッタリング装置のマグネトロ
ン電極に配置される磁気回路は、図２に示すように、角
板状のヨーク１１の中央部に、厚み方向に磁化された角
柱状の永久磁石１２が接着、固定され、さらにヨーク１
の外周部に永久磁石１２と反対方向に磁化された永久磁
石１３が接着、固定され、構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のマグネ
トロン電極に配置される磁気回路は、永久磁石をヨーク
に接着している構造のため、ターゲット寸法、材質に合
わせて製造しなければならないという欠点があった。
【０００４】したがって、本発明は、上記の技術的欠点
を解決し、ターゲットの寸法、材質に合わせて、大き
さ、磁場の調整ができるスパッタリング装置用磁気回路
を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、小さく分割し
た永久磁石を台座に固定し、その台座をベースとなるヨ
ークにねじで固定することを特徴とする。
【０００６】即ち、本発明は、板状のヨークの中央部
に、高さ方向に磁化した柱状の永久磁石と、外周部に、
前記永久磁石と異極の極性に高さ方向に磁化した柱状の
永久磁石を、それぞれ台座を介してねじで固定したこと
を特徴とするスパッタリング装置用磁気回路である。
【０００７】永久磁石を分割し、ねじ止めする構成とす
ることで、ターゲットの大きさに合わせて永久磁石を取
り付け、取り外しができ、マグネトロン電極に配置され
る磁気回路の大きさを変更することができるため、ター
ゲットの大きさごとに磁気回路を製造する必要がない。
また、取り付ける永久磁石の特性を変更することでマグ
ネトロン電極の磁場の調整ができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。
【０００９】図１は、本発明のスパッタリング装置のマ
グネトロン電極に配置される磁気回路の斜視図である。
【００１０】本発明のスパッタリング装置用磁気回路
は、図１に示すように、角板状のヨーク１と、角柱状の
永久磁石２、３と、台座４と、ねじ５とから構成され
る。
【００１１】永久磁石２を、ヨーク１側がＮ極、反対側
がＳ極となるように、台座４に固定する。また、永久磁
石３を、ヨーク１側がＳ極、反対側がＮ極となるよう
に、台座４に固定する。更に、ヨーク１の中央部に、永
久磁石２が固定された台座４をねじ５で固定する。ま
た、ヨーク１の外周部に、永久磁石３が固定された台座
４をねじ５で固定する。
【００１２】ねじ５を取り付け、取り外しすることによ
り、永久磁石２、３を移動することができる。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ターゲットの寸法、材質に合わせて、大きさ、磁場の調
整ができるスパッタリング装置用磁気回路を提供するこ
とができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のスパッタリング装置のマグネトロン電
極に配置される磁気回路の斜視図。
【図２】従来のスパッタリング装置のマグネトロン電極
に配置される磁気回路の斜視図。
【符号の説明】
１、１１ ヨーク ２、３、１２、１３ 永久磁石 ４ 台座 ５ ねじ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 板状のヨークの中央部に、高さ方向に磁
    化した柱状の永久磁石と、外周部に、前記永久磁石と異
    極の極性に高さ方向に磁化した柱状の永久磁石を、それ
    ぞれ台座を介してねじで固定したことを特徴とするスパ
    ッタリング装置用磁気回路。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011122195A (ja) * 2009-12-09 2011-06-23 Ulvac Japan Ltd マグネトロンスパッタ電極用の磁石ユニット及びスパッタリング装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2011122195A (ja) * 2009-12-09 2011-06-23 Ulvac Japan Ltd マグネトロンスパッタ電極用の磁石ユニット及びスパッタリング装置
TWI503436B (zh) * 2009-12-09 2015-10-11 Ulvac Inc Magnetron sputtering electrode magnet unit, and sputtering device

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