JP2001040476A - スパッタリング装置用磁気回路 - Google Patents
スパッタリング装置用磁気回路Info
- Publication number
- JP2001040476A JP2001040476A JP11212361A JP21236199A JP2001040476A JP 2001040476 A JP2001040476 A JP 2001040476A JP 11212361 A JP11212361 A JP 11212361A JP 21236199 A JP21236199 A JP 21236199A JP 2001040476 A JP2001040476 A JP 2001040476A
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- JP
- Japan
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- permanent magnet
- fixed
- yoke
- pedestal
- magnetic circuit
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ターゲットの寸法、材質に合わせて、大き
さ、磁場の調整ができるスパッタリング装置用磁気回路
を提供する。 【解決手段】 角板状のヨーク1の中央部に、高さ方向
に磁化した角柱状の永久磁石2と、外周部に、この永久
磁石2と異極の極性に高さ方向に磁化した角柱状の永久
磁石3を、それぞれ台座4を介してねじ5で固定する。
さ、磁場の調整ができるスパッタリング装置用磁気回路
を提供する。 【解決手段】 角板状のヨーク1の中央部に、高さ方向
に磁化した角柱状の永久磁石2と、外周部に、この永久
磁石2と異極の極性に高さ方向に磁化した角柱状の永久
磁石3を、それぞれ台座4を介してねじ5で固定する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、スパッタリング装
置用磁気回路に関し、特に、薄膜製造用のスパッタリン
グ装置のマグネトロン電極に配置される磁気回路に関す
る。
置用磁気回路に関し、特に、薄膜製造用のスパッタリン
グ装置のマグネトロン電極に配置される磁気回路に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来のスパッタリング装置のマグネトロ
ン電極に配置される磁気回路は、図2に示すように、角
板状のヨーク11の中央部に、厚み方向に磁化された角
柱状の永久磁石12が接着、固定され、さらにヨーク1
の外周部に永久磁石12と反対方向に磁化された永久磁
石13が接着、固定され、構成されている。
ン電極に配置される磁気回路は、図2に示すように、角
板状のヨーク11の中央部に、厚み方向に磁化された角
柱状の永久磁石12が接着、固定され、さらにヨーク1
の外周部に永久磁石12と反対方向に磁化された永久磁
石13が接着、固定され、構成されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のマグネ
トロン電極に配置される磁気回路は、永久磁石をヨーク
に接着している構造のため、ターゲット寸法、材質に合
わせて製造しなければならないという欠点があった。
トロン電極に配置される磁気回路は、永久磁石をヨーク
に接着している構造のため、ターゲット寸法、材質に合
わせて製造しなければならないという欠点があった。
【0004】したがって、本発明は、上記の技術的欠点
を解決し、ターゲットの寸法、材質に合わせて、大き
さ、磁場の調整ができるスパッタリング装置用磁気回路
を提供することにある。
を解決し、ターゲットの寸法、材質に合わせて、大き
さ、磁場の調整ができるスパッタリング装置用磁気回路
を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、小さく分割し
た永久磁石を台座に固定し、その台座をベースとなるヨ
ークにねじで固定することを特徴とする。
た永久磁石を台座に固定し、その台座をベースとなるヨ
ークにねじで固定することを特徴とする。
【0006】即ち、本発明は、板状のヨークの中央部
に、高さ方向に磁化した柱状の永久磁石と、外周部に、
前記永久磁石と異極の極性に高さ方向に磁化した柱状の
永久磁石を、それぞれ台座を介してねじで固定したこと
を特徴とするスパッタリング装置用磁気回路である。
に、高さ方向に磁化した柱状の永久磁石と、外周部に、
前記永久磁石と異極の極性に高さ方向に磁化した柱状の
永久磁石を、それぞれ台座を介してねじで固定したこと
を特徴とするスパッタリング装置用磁気回路である。
【0007】永久磁石を分割し、ねじ止めする構成とす
ることで、ターゲットの大きさに合わせて永久磁石を取
り付け、取り外しができ、マグネトロン電極に配置され
る磁気回路の大きさを変更することができるため、ター
ゲットの大きさごとに磁気回路を製造する必要がない。
また、取り付ける永久磁石の特性を変更することでマグ
ネトロン電極の磁場の調整ができる。
ることで、ターゲットの大きさに合わせて永久磁石を取
り付け、取り外しができ、マグネトロン電極に配置され
る磁気回路の大きさを変更することができるため、ター
ゲットの大きさごとに磁気回路を製造する必要がない。
また、取り付ける永久磁石の特性を変更することでマグ
ネトロン電極の磁場の調整ができる。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。
する。
【0009】図1は、本発明のスパッタリング装置のマ
グネトロン電極に配置される磁気回路の斜視図である。
グネトロン電極に配置される磁気回路の斜視図である。
【0010】本発明のスパッタリング装置用磁気回路
は、図1に示すように、角板状のヨーク1と、角柱状の
永久磁石2、3と、台座4と、ねじ5とから構成され
る。
は、図1に示すように、角板状のヨーク1と、角柱状の
永久磁石2、3と、台座4と、ねじ5とから構成され
る。
【0011】永久磁石2を、ヨーク1側がN極、反対側
がS極となるように、台座4に固定する。また、永久磁
石3を、ヨーク1側がS極、反対側がN極となるよう
に、台座4に固定する。更に、ヨーク1の中央部に、永
久磁石2が固定された台座4をねじ5で固定する。ま
た、ヨーク1の外周部に、永久磁石3が固定された台座
4をねじ5で固定する。
がS極となるように、台座4に固定する。また、永久磁
石3を、ヨーク1側がS極、反対側がN極となるよう
に、台座4に固定する。更に、ヨーク1の中央部に、永
久磁石2が固定された台座4をねじ5で固定する。ま
た、ヨーク1の外周部に、永久磁石3が固定された台座
4をねじ5で固定する。
【0012】ねじ5を取り付け、取り外しすることによ
り、永久磁石2、3を移動することができる。
り、永久磁石2、3を移動することができる。
【0013】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ターゲットの寸法、材質に合わせて、大きさ、磁場の調
整ができるスパッタリング装置用磁気回路を提供するこ
とができた。
ターゲットの寸法、材質に合わせて、大きさ、磁場の調
整ができるスパッタリング装置用磁気回路を提供するこ
とができた。
【図1】本発明のスパッタリング装置のマグネトロン電
極に配置される磁気回路の斜視図。
極に配置される磁気回路の斜視図。
【図2】従来のスパッタリング装置のマグネトロン電極
に配置される磁気回路の斜視図。
に配置される磁気回路の斜視図。
1、11 ヨーク 2、3、12、13 永久磁石 4 台座 5 ねじ
Claims (1)
- 【請求項1】 板状のヨークの中央部に、高さ方向に磁
化した柱状の永久磁石と、外周部に、前記永久磁石と異
極の極性に高さ方向に磁化した柱状の永久磁石を、それ
ぞれ台座を介してねじで固定したことを特徴とするスパ
ッタリング装置用磁気回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11212361A JP2001040476A (ja) | 1999-07-27 | 1999-07-27 | スパッタリング装置用磁気回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11212361A JP2001040476A (ja) | 1999-07-27 | 1999-07-27 | スパッタリング装置用磁気回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001040476A true JP2001040476A (ja) | 2001-02-13 |
Family
ID=16621287
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11212361A Withdrawn JP2001040476A (ja) | 1999-07-27 | 1999-07-27 | スパッタリング装置用磁気回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001040476A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011122195A (ja) * | 2009-12-09 | 2011-06-23 | Ulvac Japan Ltd | マグネトロンスパッタ電極用の磁石ユニット及びスパッタリング装置 |
-
1999
- 1999-07-27 JP JP11212361A patent/JP2001040476A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011122195A (ja) * | 2009-12-09 | 2011-06-23 | Ulvac Japan Ltd | マグネトロンスパッタ電極用の磁石ユニット及びスパッタリング装置 |
TWI503436B (zh) * | 2009-12-09 | 2015-10-11 | Ulvac Inc | Magnetron sputtering electrode magnet unit, and sputtering device |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051207 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20060512 |