JP2001039537A - ケースの受け渡し装置 - Google Patents

ケースの受け渡し装置

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JP2001039537A
JP2001039537A JP21937999A JP21937999A JP2001039537A JP 2001039537 A JP2001039537 A JP 2001039537A JP 21937999 A JP21937999 A JP 21937999A JP 21937999 A JP21937999 A JP 21937999A JP 2001039537 A JP2001039537 A JP 2001039537A
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container
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佳久 志谷
Koichi Sugano
菅野  孝一
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 薄板状の製品を収納したケースないし収納す
るためのケースを搬送し、クリーンルーム内とケースの
受け渡しする際に、ゴミ発生が極めて少ないケース受け
渡し装置を提供する。 【解決手段】 ケースを収納してクリーンルーム外を搬
送移動するコンテナで、外雰囲気に影響されない、高い
密封性を有し、且つ、クリーンルーム内とケースの受け
渡しを行うための第1のドア131を設けたコンテナ1
30と、クリーンルーム内とコンテナとの間でケースの
受け渡しを行うために、クリーンルーム110の外部と
の境部に設けられ、ほぼ第1のドアと同じサイズ、形状
を有する第2のドア111と、第1のドアを第2のドア
にほぼ重なるように近づけた際に、第1のドアと第2の
ドアの外側全周に渡り、コンテナとクリーンルーム間の
隙間を、密閉する第1の密閉機構150と、第1のドア
と第2のドアの内側全周に渡り、第1のドアと第2のド
アとの間を、密閉する第2の密閉機構155とを備え
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子を作製
する際に用いられる、フォトマスク、マスクブランク
ス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を収納したケ
ース、ないし収納するためのケースを搬送し、クリーン
ルーム内と前記ケースの受け渡しする、ケース受け渡し
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体素子(チップ)の高密度化
は激しく、0.35μm設計ルールの64MDRAMの
量産もすでに始められ、0.25μm設計ルールの25
6MDRAMの時代へと移ろうとしている。更に、最近
では、コスト低減を目指したチップ縮小が著しく、64
MDRAMを0.25設計ルールまで微細化して、ある
いは、256MDRAMを0.18設計ルールまで微細
化してチップ縮小化を行っている。仮に、64MDRA
Mを0.2μm設計ルールとすると、約16MDRAM
と同じチップ寸法となり、ビットコストは16Mの約1
/4になる。ウエハサイズの大サイズ化をせず、現装置
でコスト低減が達成されることとなる。0.18μm設
計ルールは開発完了し、2000年には0.15μm設
計ルールが開発完了予定とされている。このような中、
ウエハへ直接縮小投影するためのレチクルについても、
ますます高精度、高品質のものが求められるようになっ
てきた。
【0003】このため、半導体素子を形成するためのレ
チクル、およびこれらを作製するためのマスク(以降、
これらを総称してフォトマスク呼ぶ)や、これに用いら
れるマスクブランクス、ガラス基板については、その保
管、搬送についても、品質的に悪影響がでない方法が求
められるようになってきた。一般に、フォトマスク、マ
スクブランクス、ガラス基板は、所定のケース(ボック
ス)に収納された状態で保管、搬送されて、各工程で処
理されるが、所定のコンテナにケースを入れた状態で搬
送する場合がある。
【0004】従来、クリーンルームの外からクリーンル
ーム内へケースの受け渡しを行う場合、ケースをビニー
ル袋で密封し搬送した後、エアーパスボックスを介して
製品の受け渡しをしていた。しかし、この方法では、外
部に付着したゴミがエアーパスボックスの能力で落とし
きれず、クリーンルーム内へ侵入するため、多くのケー
スをクリーンルーム内に入れることにより、クリーンル
ームのクリーン度の低下を招くということもある。近年
の半導体素子の高い集積化に伴い、ケースのクリーンル
ーム内への搬入に起因するクリーン度の低下が、品質に
及ぼす影響が無視出来なくなってきた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】このように、近年の半
導体素子の高集積化に伴い、フォトマスク、マスクブラ
ンクス、ガラス基板を、クリーンルームの外からクリー
ンルーム内へ搬入する際に起こるクリーン度の低下が、
無視できなくなってきて、その対応が求められていた。
本発明は、これに対応するもので、フォトマスク、マス
クブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を
収納したケースないし収納するためのケースを搬送し、
クリーンルーム内と前記ケースを受け渡しする際に、ゴ
ミ発生が極めて少ない、もしくはほとんど無い、ケース
受け渡し装置を提供しようとするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明のケース受け渡し
装置は、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基
板、ウエハ等の薄板状の製品を収納したケースないし収
納するためのケースを、クリーンルーム内と外とで受け
渡しする、ケース受け渡し装置であって、ケースを収納
してクリーンルーム外を搬送移動するためのコンテナ
で、外雰囲気に影響されない、高い密封性を有し、且
つ、クリーンルーム内とケースの受け渡しを行うための
第1のドアを設けたコンテナと、クリーンルーム内と前
記コンテナとの間でケースの受け渡しを行うために、ク
リーンルームの外部との境部に設けられ、ほぼ第1のド
アと同じサイズ、形状を有する第2のドアと、第1のド
アを第2のドアにほぼ重なるように近づけた際に、第1
のドアと第2のドアの外側全周に渡り、コンテナとクリ
ーンルーム間の隙間を、密閉する第1の密閉機構と、第
1のドアと第2のドアの内側全周に渡り、第1のドアと
第2のドアとの間を、密閉する第2の密閉機構とを備え
ており、ケースの受け渡しの際には、第1のドアを第2
のドアにほぼ重なるように近づけ、第1の密閉機構によ
り、第1のドアと第2のドアの外側全周に渡り、コンテ
ナとクリーンルーム間の隙間を密閉した状態で、且つ、
第2の密閉機構により、第1のドアと第2のドアの内側
全周に渡り、第1のドアと第2のドアとの間を、密閉し
た状態で、第1のドアと、第2のドアとを一体化した状
態で同時に開き、コンテナとクリーンルーム間で、ケー
スの受け渡しを行うものであることを特徴とするもので
ある。そして、上記1において、第2のドアのクリーン
ルームとは反対側に、エアーシヤワールームを併設した
もので、エアーシヤワールーム内において、コンテナ、
クリーンルーム間でケースの受け渡しを行うものである
ことを特徴とするものであり、コンテナは、その断面が
円弧状で、略半円筒状の、上へ突出した屋根部を設けた
ものであることを特徴とするものである。また、上記に
おいて、第1の密閉機構、第2の密閉機構は、それぞ
れ、パッキンをコンテナとクリーンルーム間の隙間に介
在させ、第1のドアと第2のドアとの間に介在させ、密
閉するものであることを特徴とするものである。また、
上記において、密閉機構により密閉する際に、第1のド
アと第2のドアとの間隔を、所定幅にするように、コン
テナを移動させるスライド機構を備えていることを特徴
とするものである。
【0007】
【作用】本発明のケース受け渡し装置は、このような構
成にすることにより、フォトマスク、マスクブランク
ス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を収納したケ
ースないし収納するためのケースを搬送し、クリーンル
ーム内と前記ケースを受け渡しする際に、ゴミの発生が
極めて少ない、もしくはほとんど無い、ケース受け渡し
装置の提供を可能とするものである。これにより、近年
の半導体素子の高集積化に対応できる品質を確保でき、
量産にも対応できるものとしている。具体的には、ケー
スを収納してクリーンルーム外を搬送移動するためのコ
ンテナで、外雰囲気に影響されない、高い密封性を有
し、且つ、クリーンルーム内とケースの受け渡しを行う
ための第1のドアを設けたコンテナと、クリーンルーム
内と前記コンテナとの間でケースの受け渡しを行うため
に、クリーンルームの外部との境部に設けられ、ほぼ第
1のドアと同じサイズ、形状を有する第2のドアと、第
1のドアを第2のドアにほぼ重なるように近づけた際
に、第1のドアと第2のドアの外側全周に渡り、コンテ
ナとクリーンルーム間の隙間を、密閉する第1の密閉機
構と、第1のドアと第2のドアの内側全周に渡り、第1
のドアと第2のドアとの間を、密閉する第2の密閉機構
とを備えており、ケースの受け渡しの際には、第1のド
アを第2のドアにほぼ重なるように近づけ、第1の密閉
機構により、第1のドアと第2のドアの外側全周に渡
り、コンテナとクリーンルーム間の隙間を密閉した状態
で、且つ、第2の密閉機構により、第1のドアと第2の
ドアの内側全周に渡り、第1のドアと第2のドアとの間
を、密閉した状態で、第1のドアと、第2のドアとを一
体化した状態で同時に開き、コンテナとクリーンルーム
間で、ケースの受け渡しを行うものであることにより、
更には、第2のドアのクリーンルームとは反対側に、エ
アーシヤワールームを併設したもので、エアーシヤワー
ルーム内において、コンテナ、クリーンルーム間でケー
スの受け渡しを行うものであることにより、これを達成
している。
【0008】詳しくは、第1の密閉機構と第2の密閉機
構とを備えたもので、ケースの受け渡しの際には、第1
のドアを第2のドアにほぼ重なるように近づけ、第1の
密閉機構により、第1のドアと第2のドアの外側全周に
渡り、コンテナとクリーンルーム間の隙間を密閉した状
態で、且つ、第2の密閉機構により、第1のドアと第2
のドアの内側全周に渡り、第1のドアと第2のドアとの
間を密閉した状態で、第1のドアと、第2のドアとを一
体化した状態で同時に開き、コンテナとクリーンルーム
間で、ケースの受け渡しを行うことにより、コンテナ内
部とクリーンルームとが外部とは遮断された状態で、即
ち、コンテナ内部とクリーンルームとが外部の影響を殆
ど受けることが無く、ケースの受け渡しを行うことがで
きる。この場合、第1のドア、第2のドアを一体化して
同時に開ける際に、外部にさらされていた一部の領域
に、気流の流れを殆ど発生しないようにでき、これによ
り、この部分からのゴミ発生は殆ど無くできる。
【0009】エアーシヤワールーム内において、コンテ
ナ、クリーンルーム間でケースの受け渡し行うものであ
ることにより、密閉機構により密封される第1のドアと
第2のドアの外側の、外部にさらされていた一部の領
域、あるいは第1のドア、第2のドアの、外部にさらさ
れていた一部の領域、あるいは密閉機構部に付いたゴミ
については、取れるものは、受け渡しをする前に、エア
ーシヤワーにて、予め取り除かれるため、第1の密閉機
構、第2の密閉機構により、各部の密閉を行い、第1の
ドア第2のドアを一体的にして開いて、ケースの受け渡
しをする際には、それらの領域からのゴミ発生を殆ど無
くできる。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態の例を挙げて
説明する。図1(a)は本発明のケースの受け渡し装置
の概略構成を示した断面図で、図1(b)は密閉機構を
説明するための断面図で、図1(c)は図1(b)のA
2に示すドアのロック機構を説明するための拡大断面図
で、図2(a)は図1(a)のA1側からみた上面図
で、図2(b)は図2(a)のB1−B2における密閉
機構の断面図である。尚、図1(b)では、ロック機構
の嵌合部は省略して示してある。また、図2(b)の点
線は、ドアの外周位置を示すものである。図1、図2
中、110はクリールーム、111はクリーンルーム搬
入搬出用ドア(第2のドアとも言う)、112は(クリ
ーンルームの)壁部、115はロック部、115Aは嵌
合部、120はエアーシヤワールーム、130はコンテ
ナ、131はコンテナの搬入搬出用ドア(第1のドアと
も言う)、135は嵌合部、137は車部、140はシ
リンダー、145は移動部、150は第1の密閉機構、
151、152はパッキン、155は第2の密閉機構、
156、157はパッキンである。
【0011】本発明のケース受け渡し装置の実施の形態
の第1の例を、以下、図1、図2に基づいて説明する。
本例は、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基
板、ウエハ等の薄板状の製品を収納したケースないし収
納するためのケースを、クリーンルーム内とクリーンル
ーム外とで受け渡しする、ケース受け渡し装置であっ
て、ケースを収納してクリーンルーム110外を搬送移
動するためのコンテナで、外雰囲気に影響されない、高
い密封性を有し、且つ、クリーンルーム110内とケー
スの受け渡しを行うためのコンテナの搬入搬出用ドア
(第1のドアとも言う)131を設けたコンテナ130
と、クリーンルーム110内とコンテナ130との間で
ケースの受け渡しを行うために、クリーンルーム110
の外部との境部に設けられ、ほぼ第1のドア131と同
じサイズ、形状を有する、クリーンルーム搬入搬出用ド
ア(第2のドアとも言う)111とを備え、且つ、第2
のドア111のクリーンルーム110の外部側に、エア
ーシヤワールーム120を併設したもので、エアーシヤ
ワールーム120内にコンテナ130を置いて、コンテ
ナ130、クリーンルーム110間でケースの受け渡し
を行うものである。尚、第1のドア131はコンテナ1
30の外側に開くドアで、第2のドア111はクリーン
ルーム110の内側に開くドアである。
【0012】そして、本例では、第1のドア131と第
2のドア111の外側全周に渡り、コンテナ130とク
リーンルーム110間の隙間を、密閉する第1の密閉機
構と、第1のドア131と第2のドア111の内側全周
に渡り、第1のドア131と第2のドア111との間
を、密閉する第2の密閉機構とを備えている。図1
(b)に示すように、コンテナ130の第1のドア13
1と、クリーンルーム110の第2のドア111とが、
重なるようにして、両者が近づくと、コンテナ側のパッ
キン151とクリーンルーム側のパッキン152とは互
いに接触し、コンテナ側のパッキン156とクリーンル
ーム側のパッキン157とは互いに接触する。パッキン
151、152は図2(b)に示すように、第1のドア
131(第2のドア111)の周囲の外側全体に渡り設
けられており、パッキン156、157は図2(b)に
示すように、第1のドア131(第2のドア111)の
周囲の内側全体に渡り設けられているため、パッキン1
51と152の組、パッキン156と157の組が、そ
れぞれが、1つの密閉機構として働く。ここでは、パッ
キン151と152の組、パッキン156と157の組
を、それぞれ、第1の密閉機構150、第2の密閉機構
155と言っている。パッキン151と152とが、図
1(b)に示すように、密着することにより、コンテナ
130外の雰囲気(ここではエアーシヤワールーム12
0の雰囲気)を遮断できる。また、パッキン156と1
57とが、図1(b)に示すように、密着することによ
り、コンテナ130外の雰囲気に触れた、第1のドア1
31と第2のドア111の大部分の領域を、コンテナ1
30内、クリーンルーム110内と遮断できる。
【0013】また、本例では、図1(a)に示すよう
に、エアーシヤワールーム120内には、コンテナ13
0をクリールーム110側に、移動させるための、シリ
ンダー140、移動部145からなる移動機構が設けら
れている。これにより、エアーシヤワールーム120内
に、コンテナ130が搬入された後、コンテナ130の
第1のドア131と、クリーンルーム110の第2のド
ア111とが、ほぼ重なるようにして、両者を近接させ
ることができる。コンテナ130の車部137が、所定
位置で移動部145上に乗り、シリンダ140の駆動に
より、クリールーム110側に移動される。尚、駆動機
構であるシリンダに代え、電気モータ等の別の手段を使
っても良い。また、図1(a)における点線は、コンテ
ナ130がクリールーム110側に移動された後の状態
を示している。
【0014】また、本例では、図1(b)に示すよう
に、パッキン151と152とが、およびパッキン15
6と157とが、密着した状態で、第1のドア131と
第2のドア111とを一体的に開閉できるように、両者
を一体的に固定するロック機構を設けている。図1
(b)に示すように、パッキン151と152とが、お
よびパッキン156と157とが、密着した状態で、図
1(c)に示すように、第1のドア131と第2のドア
111とは、ロック部115により、クリーンルーム側
から、ロックされる。コンテナ130の第1のドア13
1に固定された嵌合部135と、クリーンルーム110
側の第2のドア111に固定された嵌合部115Aとが
嵌合して、ロックされる。尚、ここでは、嵌合部135
は、第1のドア131と第2のドア111との間隔を、
嵌合部135の幅以上に制御するものでもある。
【0015】次いで、本例装置の動作および本例装置を
用いたケースの受け渡しの1例を、以下、図1、図2に
基づき、簡単に説明しておく。レジストを塗布した後の
マスクブランクスをケースに詰め、コンテナ130に入
れ、搬送し(図2(a)のの位置に相当)、目的とす
るクリーンルーム110へ搬入する例である。まず、
の位置から、エアーシヤワー120へ、コンテナ130
を車部137で移動させ、の位置にて止める。車部1
37は、図1(a)に示す、所定位置の移動部145に
載った状態となる。この位置で、十分エアーシヤワーを
コンテナ130にかけ、コンテナ表面に付着したゴミの
中でとれ易いゴミを除去しておく。特に、パッキン15
1、152、156、157、あるいはドア131、1
11の外周部に付着し、とれ易いゴミは十分エアーシャ
ワーをかけ除去しておく。
【0016】次いで、シリンダー140を駆動すること
により、移動部145をクリーンルーム110側に移動
し、コンテナ130の第1のドア131が、クリンール
ーム110側の第2のドア111に重なるようにして、
近接させ、図1(b)に示すように、パッキン151と
152とを、およびパッキン156と157とを、密着
した状態とする。これにより、第1のドア131と第2
のドア111の外側で、コンテナ130とクリーンルー
ム120間の隙間を密閉し、且つ、第1のドア131と
第2のドア111との間を、その周囲で密閉する。
【0017】次いで、ロック部115にて、第2のドア
111に固定された嵌合部115Aと、第1のドア13
1に固定された嵌合部135とを嵌合する。これによ
り、第1のドア131と第2のドア111とを一体的に
して、パッキン156,157との密閉状態を維持しな
がら、開くこと可能としている。尚、ロックを行った
後、必要に応じて、第1のドア131、第2のドア11
1が開けるように、ドアロックを解除しておく。
【0018】次いで、第1のドア131と第2のドア1
11とを、一体的にして、開き、コンテナ130内のケ
ース(図示していない)を、クリーンルーム110内へ
搬入する。第1のドア131と第2のドア111とを、
一体的にして、開いた状態で、コンテナ130内部とク
リールーム110内とは、通じることとなるが、コンテ
ナ130内部およびクリールーム110内は、パッキン
151と152による密閉で、エアーシヤワー120と
は遮断された状態となる。また、両ドア間のパッキン1
56と157により密閉された領域も、コンテナ130
内部とクリーンルーム110内とは、遮断されたことと
なる。
【0019】ケースをコンテナ130からクリーンル−
ム110内へ搬入し終えた後、第1のドア131と第2
のドア111とを、一体的にして、閉じ、ロック部11
5により、第1のドア131に固定された嵌合部135
と嵌合した、第2のドア111に固定された嵌合部11
5Aを外し、コンテナ130をクリーンルルーム110
側から離れる方向に移動できる状態とする。尚、嵌合部
115Aを外した後、必要に応じて、第1のドア13
1、第2のドア111を閉じた状態で、それぞれ、ドア
ロックをしておく。
【0020】次いで、シリンダー140を、移動部14
5がクリーンルーム110から離れる方向に駆動して、
コンテナ130を所定の位置まで、クリーンルーム11
0から離す。この後、コンテナ130が所定の位置に来
たらシリンダー140の駆動を止め、移動部145を止
め、コンテナ130をエアーシヤワー120から取り出
し、所望の位置へと、その車部137にて運ぶ。
【0021】以上のようにして、コンテナ130からク
リーンルーム110へのケースの搬入は行われるケース
の搬出も、搬入の場合と同様な装置動作で行われる。こ
こではその説明は省略する。
【0022】本発明のケース受け渡し装置の実施の形態
の第2の例を挙げる。第2の例は、第1の例において、
エアーシヤワールーム120を持たないものである。本
例は、クリーンルーム外側が比較的クリーン度が良い場
合に適用でき、クリーンルーム110の、クリーン度の
低下を招くことは、ほとんど無く、実用に耐えるもので
ある。
【0023】実施の形態の第1の例や第2の例の変形例
としては、密閉機構150、155やロック機構(11
5、115A、135)に代え、別の形態で、同じ機能
を持たせたものが、挙げられる。また、シリンダー14
0を用いた移動の仕方に代え、別の移動形態を用いたも
のが挙げられる。また、コンテナ内のクリーン度を維持
するために、クリーンユニット(ファン+フィルタ)を
用いて、コンテナ内にクリーンエアを供給しても良い。
コンテナ重量によっては、自走式にしたものも挙げられ
る。
【0024】
【発明の効果】本発明は、上記のように、フォトマス
ク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状
の製品を収納したケースないし収納するためのケースを
搬送し、クリーンルーム内と前記ケースの受け渡しする
際に、ゴミ発生が極めて少ない、もしくはほとんど無
い、ケース受け渡し装置の提供を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(a)は本発明のケースの受け渡し装置の
概略構成を示した断面図で、図1(b)は密閉機構を説
明するための断面図で、図1(c)は図1(b)のA2
に示すドアのロック機構を説明するための拡大断面図で
ある。
【図2】図2(a)は図1(a)のA1側からみた上面
図で、図2(b)は図2(a)のB1−B2における密
閉機構の断面図である。
【符号の説明】
110 クリールーム 111 クリーンルーム搬入搬出用ドア(第
2のドアとも言う) 112 (クリーンルームの)壁部 115 ロック部 115A 嵌合部 120 エアーシヤワールーム 130 コンテナ 131 コンテナの搬入搬出用ドア(第1の
ドアとも言う) 135 嵌合部 137 車部 140 シリンダー 145 移動部 150 第1の密閉機構 151、152 パッキン 155 第2の密閉機構 156、157 パッキン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 21/68 H01L 21/68 T (72)発明者 成住 顕 東京都新宿区市谷加賀町一丁目1番1号 大日本印刷株式会社内 Fターム(参考) 3F022 AA08 BB08 BB09 EE09 5F031 CA02 CA05 CA07 DA09 EA20 FA03 NA02 NA09 NA10 NA18 PA26

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 フォトマスク、マスクブランクス、ガラ
    ス基板、ウエハ等の薄板状の製品を収納したケースない
    し収納するためのケースを、クリーンルーム内と外とで
    受け渡しする、ケース受け渡し装置であって、ケースを
    収納してクリーンルーム外を搬送移動するためのコンテ
    ナで、外雰囲気に影響されない、高い密封性を有し、且
    つ、クリーンルーム内とケースの受け渡しを行うための
    第1のドアを設けたコンテナと、クリーンルーム内と前
    記コンテナとの間でケースの受け渡しを行うために、ク
    リーンルームの外部との境部に設けられ、ほぼ第1のド
    アと同じサイズ、形状を有する第2のドアと、第1のド
    アを第2のドアにほぼ重なるように近づけた際に、第1
    のドアと第2のドアの外側全周に渡り、コンテナとクリ
    ーンルーム間の隙間を、密閉する第1の密閉機構と、第
    1のドアと第2のドアの内側全周に渡り、第1のドアと
    第2のドアとの間を、密閉する第2の密閉機構とを備え
    ており、ケースの受け渡しの際には、第1のドアを第2
    のドアにほぼ重なるように近づけ、第1の密閉機構によ
    り、第1のドアと第2のドアの外側全周に渡り、コンテ
    ナとクリーンルーム間の隙間を密閉した状態で、且つ、
    第2の密閉機構により、第1のドアと第2のドアの内側
    全周に渡り、第1のドアと第2のドアとの間を、密閉し
    た状態で、第1のドアと、第2のドアとを一体化した状
    態で同時に開き、コンテナとクリーンルーム間で、ケー
    スの受け渡しを行うものであることを特徴とするケース
    受け渡し装置。
  2. 【請求項2】 請求項1において、第2のドアのクリー
    ンルームとは反対側に、エアーシヤワールームを併設し
    たもので、エアーシヤワールーム内において、コンテ
    ナ、クリーンルーム間でケースの受け渡しを行うもので
    あることを特徴とするケース受け渡し装置。
  3. 【請求項3】 請求項2において、コンテナは、その断
    面が円弧状で、略半円筒状の、上へ突出した屋根部を設
    けたものであることを特徴とするケース受け渡し装置。
  4. 【請求項4】 請求項1ないし3において、第1の密閉
    機構、第2の密閉機構は、それぞれ、パッキンをコンテ
    ナとクリーンルーム間の隙間に介在させ、第1のドアと
    第2のドアとの間に介在させ、密閉するものであること
    を特徴とするケース受け渡し装置。
  5. 【請求項5】 請求項1ないし4において、密閉機構に
    より密閉する際に、第1のドアと第2のドアとの間隔
    を、所定幅にするように、コンテナを移動させるスライ
    ド機構を備えていることを特徴とするケース受け渡し装
    置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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