JP2001031438A - シリカベースの光ファイバの製造方法 - Google Patents

シリカベースの光ファイバの製造方法

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JP2001031438A
JP2001031438A JP2000179740A JP2000179740A JP2001031438A JP 2001031438 A JP2001031438 A JP 2001031438A JP 2000179740 A JP2000179740 A JP 2000179740A JP 2000179740 A JP2000179740 A JP 2000179740A JP 2001031438 A JP2001031438 A JP 2001031438A
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optical fiber
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silica
mcvd
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James William Fleming Jr
ウィリアム フレミング ジュニア. ジェイムス
John Burnette Macchesney
バーネット マッケニー ジョン
Patrick W Wisk
ウィリアム ウィスク パトリック
Man F Yan
フェイ ヤン マン
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 シリカベースの光ファイバ形成する方法を提
供すること。 【解決手段】 本発明の方法は、VAD法により生成さ
れたコアロッドとこのコアロッドの上でMCVD法によ
り生成されたチューブをコラップッスすることにより光
プリフォームを形成し、この光プリフォームから光ファ
イバを引き抜く。本発明の方法は、コアロッドを高速で
製造できるVAD法の利点と複雑な屈折率プロファイル
を有する基板チューブを形成するMCVD法の両方の利
点を利用している。その結果本発明の方法は、製造コス
トが低下することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリカベースの光
ファイバとその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】シリカベースの光ファイバは最も開発が
進んだ状態となり、光ファイバの特性、例えば低損失、
所望の分散および/または分散傾斜、カットオフ波長、
高い精度の形状が作り出されるようになっている。しか
し依然として低損失で高品質の光ファイバが求められて
いる。
【0003】シリカベースの光ファイバのバルクは、2
つの方法の何れかの方法で形成されている。すなわち一
方の製造方法は、軸方向堆積(vapor axial depositio
n;VAD)であり、他方の製造方法は、修正化学気相堆積
(modifiled chemical vapor deposition;MCVD)であ
る。この両方の方法とも公知であり、詳細な説明は割愛
する。これに関しては例えば、J.B.Machesney et al.,c
hapter 15 of "MaterialsScience and Technorogy",Vo
l.9とJ.Zarzycki,editor,pp.751-780,VCH Verlagsgesel
lschaft,Weinheim,Germany,incorporated herein by re
ferenceを参照のこと。
【0004】この2つの方法は、その技術的特徴のみな
らずその強度、利点と欠点も異なる。例えばVAD法
は、非常に早く効率的に大きなプリフォームを形成で
き、その結果従来のあるいは分散シフト形のシングルモ
ードファイバを約1,000kmの長さにわたって製造で
きる。しかしVADは複雑な屈折率プロファイル(例え
ば図2に示すようなプロファイル)を有するような光フ
ァイバの製造にはむいていない。
【0005】他法MCVD法は複雑な屈折率プロファイ
ルを有する光ファイバを製造できる。このような屈折率
プロファイルは、コアの周囲に屈折率リング/またはに
トレンチをを有し、高容量(マルチチャネル)システム
に必要とされる分散を管理できる。しかし従来のMCV
D法によるガラス堆積は、比較的速度が遅く(例;従来
のGe−dopeのコア材料に対しては0.25mgSi
2/分)、また比較的ゆっくりと堆積したガラスでも
って基板チューブをコッラップスしているが高温を必要
とする。更にまた従来のMCVD法は生成できるコアロ
ッドのサイズでは限界があり、そしてMCVDにより製
造された光ファイバは中心屈折率「ディップ(沈下)」
が形成されてしまう。
【0006】標準の(125μm直径)シングルモード
(SM)の光ファイバを数百kmにわたって製造できる光
ファイバプリフォームは、従来のMCVD法により製造
されたコアロッドにシリカ製のジャッケットでオーバー
クラッド層を形成することにより製造されている。この
ようなコアロッドは最終的光ファイバの「光伝搬」領域
を提供するのに十分な直径を有してはいる。多くの場合
コアロッドは複雑な構造を有し、例えば半径方向に組成
を変えて低損失のみならず所定の分散あるいは非線形の
影響を有し、個々のSMファイバ上に複数(例;80
個)のチャネルを多重化できるようになっている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、複雑
な屈折率プロファイルを有する光伝搬領域を有する光フ
ァイバの製造方法を提供することであり、さらにまた1
200kmの長さのSM(シングルモード)ファイバを提
供し、かつ低コストで例えばMCVDにより生成された
光伝搬領域を具備する類似の光ファイバのメーターあた
りの製造コストよりも安いコストで製造できる方法を提
供する。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の光ファイバの製
造方法は、VAD法により生成されたコアとそれを包囲
するMCVD法により生成された領域を有するプリフォ
ームを提供する。
【0009】本発明の光ファイバの製造方法は、シリカ
ベースの材料を高速で堆積し、屈折率で中心部のディッ
プをなくしてコアロッドを急速に形成するVAD法を利
用している。本発明の方法は最大屈折率ncの中央領域
を有するコアロッドを有し、それを包囲する有効屈折率
1を有するVAD法により生成された内側クラッド層
領域が包囲し、さらにこの内側クラッド層領域をMCV
D法により生成されたクラッド層で包囲するものであ
る。別の実施例においては本発明の方法は半径方向にほ
ぼ一定な最大屈折率ncを有するVAD法により生成さ
れたコアロッドとそれを包囲するMCVD法により生成
された材料層を用いる。さらに他の実施例においてはこ
のコア領域は傾斜屈折率を有する。
【0010】本発明の方法は様々なドーパント材料を有
するシリカベースの材料を堆積するためにMCVD法を
用い、そして複雑な屈折率プロファイルを生成するMC
VD法を利用する。
【0011】本発明の方法によれば1200km以上の長
さの光ファイバを製造でき、かつ従来のMCVD法に比
べて比較的高速に光ファイバプリフォームを製造でき
る。本発明の特徴は、複雑な屈折率プロファイルを有す
る光ファイバを低コストで製造できる。さらに本発明は
グレートインデックスファイバとステップインデックス
ファイバの両方を製造できる。
【0012】
【発明の実施の形態】図1は、本発明により製造された
光ファイバプリフォームの屈折率プロファイルを表す屈
折率プロファイルの測定結果である。数字11−14は
それぞれVADにより生成したアップドープ(屈折率上
昇用にドープした)コアロッドとMCVD法により生成
したダウンドープ(屈折率を低下させるようドープし
た)内側クラッド材料層と既存のダウンドープのシリカ
チューブから形成したダウンドープのクラッド層と既存
のアンドープ(ドーピングしていない)のシリカチュー
ブから形成したクラッド材料層をそれぞれ示す。後者の
材料は約62mm直径のプリフォームとなるのに十分な
直径のゾル−ゲルシリカチューブから得られたものであ
る。従来通り屈折率は、100×n0(n−n0)で定義
された相対的屈折率百分率差(%Δ)で規定する。ここ
でnは、光ファイバ(例;コア)のある領域の屈折率を
表し、n0は、アンドープ(純粋)の融解シリカ材料の
屈折率を表す。
【0013】図1から判るようにプリフォームのコアは
0.3%Δで、MCVDクラッド層は、−0.08%Δ
で基板チューブから形成したクラッド層は−0.08%
Δで基板チューブから形成した外側クラッド層は0%Δ
である。
【0014】図2は本発明により形成された別の光ファ
イバプリフォームの屈折率プロファイルを表す図であ
る。プリフォームのVAD法により生成した材料は、ド
ープしたコア21とアンドープの内側クラッド層22で
あり、VAD法により生成した材料はアンドープの屈折
リング23であり、チューブから抽出した材料はアンド
ープの外側クラッド層24,25である。外側クラッド
層24はMCVD用の基板チューブにより与えられ、外
側クラッド層25はゾル−ゲルにより生成されたガラス
チューブにより与えられる。
【0015】コンピュータモデルでは図2のプリフォー
ムが生成した光ファイバの有効コア面積はAeff=5
5.4μm2で、カットオフ波長はλc=1.78μm
で1.55μmの正分散では5.410ps/nm・k
mで1.55μmでの分散傾斜D slopeは0.051p
s/nm2 kmで曲げ半径16mmのマイクロベンディ
ング損失は、0.56dB/kmである。このような特
徴を有する光ファイバは、ルーセント テクノロジー社
のトゥルーウエイブファイバであり、コア領域と内側ク
ラッド層領域の特徴に関しては従来のMCVD法により
生成されたコアと内側クラッド層を有する従来の光ファ
イバとは異なる。
【0016】実験例1 GeO2ドープ(Δ〜0.33%)になるまでドープし
た6mmの直径のコアロッドをVADとエッチングによ
り従来方法で製造した。市販のFドープ(Δ〜−0.0
8%)のシリカチューブ(内径が22mmで外形が28
mm)の内側の壁にFドープのシリカ(Δ〜−0.08
%)を従来のMCVD法により堆積した。16回のMC
VDトーチを通した結果、基板チューブ内に84.8m
2のFドープのシリカの堆積が得られた。
【0017】その上にMCVD法により生成した材料層
を具備したチューブをその後VAD法で生成したコアロ
ッドを収納できるのに十分な内径まで部分的にコラップ
ッスした。コアロッドをその後MCVD法により堆積し
た層を具備する部分的にコラップッスした基板チューブ
内に挿入し、このロッドはロッドの上にチューブをコラ
ップッスする従来法により、さらにオーバークラッドし
てクラッド層を取り付けた。このオーバークラッドされ
たロッド(二重のクラッド層を有するロッド)をその後
21.07mm直径から16.72mm直径まで引き延
ばし、その後さらにFドープの22×28mmチューブ
でもってオーバークラッドした。その結果得られたロッ
ドは市販のアンドープチューブ(25mmの内径と63
mmの外径)でもってさらにオーバークラッドした。そ
の結果得られたプリフォームの直径は61.6mmで屈
折率プロファイルは、図1に示したとおりである。
【0018】光ファイバを従来方法によりプリフォーム
から引き抜いた。この光ファイバの直径はそれぞれ12
5μm,130μm,135μmであった。光ファイバ
の損失スペクトラムを図3に示す。OTDR測定では平
均減衰率が1310nmに対しては0.415dB/k
mで1557nm波長に対しては0.261dB/km
である。
【0019】本発明の光ファイバの減衰率は従来方法に
より製造した光ファイバよりも若干高いが、本発明の方
法は従来方法で製造した光ファイバに比べて減衰率を改
善できると期待されている。たとえば最適なプロセスに
おいて最大の注意を払ってVAD/MCVDインタフェ
ースの160μm内のプリフォーム材料の汚染を阻止す
る。実験ではこれはVADコアロッドとMCVDチュー
ブの内側表面のインシチュのプラズマエッチングを行っ
た。その結果最適なプロセスは、VADコアロッドにM
CVDチューブを被せる前にVADコアロッドおよび/
またはMCVDチューブをCl2処理をすることを含
む。
【0020】実験例2 光ファイバプリフォームを次のようにして製造した。1
2mm直径のGeO2をドープしたVAD製のコアロッ
ドでその有効屈折率Δが0.33%のものを用意した。
4mm厚のFドープのMCVD法により堆積した(Δ=
−0.08%)を20×26mm直径を有するダウンド
ープした(Δ=−0.08%)の基板チューブの内壁に
形成した。このチューブをコアロッド上に従来通りにコ
ラップッスした。この後このロッド上に26×32mm
直径のダウンドープしたオーバークラッドチューブ(Δ
=−0.08%)にコラップッスした。その後さらにロ
ッド上に32×125mm直径のアンドープのシリカ製
のオーバークラッドチューブをコラップッスした。
【0021】かくして形成したプリフォームは標準の1
10cmの長さのチューブ内に堆積した200mm2
断面積のMCVD法により生成した環状領域を含む。こ
のMCVD法により生成された材料は全部で484gm
堆積した。堆積速度は1.2gm/分で、このMCVD
材料を堆積するのに必要な時間は440分であった。高
速堆積レートのMCVDは、米国特許出願第09/11
2,069号(出願日が1998年7月8日で発明者が
P.F.Glodis etal.で発明の名称が「Hi
gh Rate MCVD MEthod for Making an Optical Fiber Pr
eform」)に開示されている。
【0022】かくして形成されたプリフォームから約1
20kmの長さの125μm直径のシングルモードファ
イバが従来法により引き抜かれた。
【0023】上記の説明は本発明の一実施例で本発明は
様々な光ファイバを製造する様々なプロセスで実現でき
る。これらの全てのプロセスは複雑な屈折率を有するよ
うにMCVD法により生成されたガラスアップドープ、
ダウンドープ、アンドープあるいはドープした層により
包囲されたアップドープのコア領域を有するVAD法に
より製造されたガラスロッドに共通のものである。VA
D法により製造されたコアロッドは、対応するMCVD
法により生成されたコアロッドの一部のコストで生成す
ることができ、MCVD法により生成されたコアロッド
をVAD法で生成された材料で置換することにより、製
造コストを下げることができる。かくして本発明による
光ファイバは、全ての光学的に活性な材料(コアと内側
クラッド層)がMCVD法により生成されたシリカベー
スのガラスであるような類似の従来の光ファイバの製造
コストよりも安い製造コストである。
【0024】図4は本発明の方法を示すフローチャート
図である。VAD法により生成されたコアロッドとMC
VD法により生成されたチューブとを用意し、このチュ
ーブをコアロッド上にコラップッスし、さらにオーバー
クラッド層をこのコラップッスしたチューブ上にコラッ
プッスし、そして光ファイバをかくして形成されたプリ
フォームから引き抜く。
【0025】図5は本発明によるシングルモード光ファ
イバの断面図を示し、番号51−54は、それぞれVA
D法により生成されたコア51と、VAD法により生成
された内側クラッド層52と、MCVD法により生成さ
れた領域(例;屈折率リング)53と、光学的に不活性
なチューブから形成されたクラッド層54とを示す。こ
のVAD法により生成されたコア51は中心部の屈折率
「ディップ」が存在せず、MCVD法により生成された
屈折率リング53は、MCVD法により生成した材料を
示す屈折率「リップル」を示す。図1はMCVD法によ
り生成されたガラス12内のこのようなリップルを示
す。
【0026】本明細書に開示した屈折率プロファイル
は、本発明の一実施例であり、様々な屈折率プロファイ
ルを有するプリフォームが本発明により製造できる。例
えばVAD法により生成されたコア領域は、傾斜屈折率
を有し、そして同じくVAD法で生成された内側クラッ
ド層領域の屈折率はn0以下である。この内側の屈折率
領域はn0よりも大きい屈折率を有するMCVD法によ
り生成された屈折率リングにより接触して包囲されてい
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるプリフォームの屈折率プロファイ
ルを表す図
【図2】本発明による別のプリフォームの屈折率インデ
ックスを表す図
【図3】図1のプリフォームから引き抜かれた光ファイ
バの減衰対波長の関係を表すグラフ
【図4】本発明による光ファイバの製造プロセスのフロ
ーチャート図
【図5】本発明のシングルモード光ファイバの断面図
【符号の説明】
51 VAD生成のコア 52 VAD生成の内側クラッド層 53 MCVD生成層 54 チューブ引き抜きクラッド層
フロントページの続き (71)出願人 596077259 600 Mountain Avenue, Murray Hill, New Je rsey 07974−0636U.S.A. (72)発明者 ジェイムス ウィリアム フレミング ジ ュニア. アメリカ合衆国、07090 ニュージャージ ー、ウェストフィールド、タトル パーク ウェイ 245 (72)発明者 ジョン バーネット マッケニー アメリカ合衆国、08833 ニュージャージ ー、レバノン、クレイトタウン ロード 2 (72)発明者 パトリック ウィリアム ウィスク アメリカ合衆国、08812 ニュージャージ ー、グリーンブロック、ゴールドストリー ト 19 (72)発明者 マン フェイ ヤン アメリカ合衆国、07922 ニュージャージ ー、バークレー ハイツ、ハイランド サ ークル 75

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (A) 最大屈折率ncを有するコア領
    域を含むシリカベースのコアロッドを用意するステップ
    と、 (B) nc未満の屈折率n1を有する第1クラッド材料
    層を含むシリカベースのクラッド材料層で前記コアロッ
    ドを包囲するステップと、 (C) 前記コアロッド上に第1クラッド層をコラップ
    ッスするプロセスにより、光ファイバプリフォームを形
    成するステップと、 (D) 前記光ファイバプリフォームから光ファイバを
    引き抜くステップと、を有し、 (E) 前記用意されたコアロッドはVAD法により形
    成され、中心屈折率ディップが存在せず、 (F) 前記第1クラッド層は、MCVD法により形成
    されシリカベースの基板チューブ内に第1クラッド材料
    を堆積して形成されることを特徴とするシリカベースの
    光ファイバの製造方法。
  2. 【請求項2】 前記コアロッドはnc未満の屈折率n2
    第2クラッド層を含むことを特徴とする請求項1記載の
    方法。
  3. 【請求項3】 n2はn0にほぼ等しく、n0は融解シリ
    カの屈折率である。ことを特徴とする請求項2記載の方
    法。
  4. 【請求項4】 n1>n2であることを特徴とする請求項
    3記載の方法。
  5. 【請求項5】 前記コアロッドは、ncに等しい屈折率
    を有する材料製であることを特徴とする請求項1記載の
    方法。
  6. 【請求項6】 前記(C)ステップの後に、前記第1
    クラッド層領域は前記コアロッドに接触して包囲するこ
    とを特徴とする請求項5記載の方法。
  7. 【請求項7】 n1<n0で、n0は融解シリカの屈折率
    であることを特徴とする請求項6記載の方法。
  8. 【請求項8】 最大屈折率ncのコアと前記コアを包囲
    する屈折率n1の第1クラッド層領域を有するシリカベ
    ースの光ファイバにおいて、 (A) 前記コアはVAD法により形成され、中心屈折
    率ディップが存在せず、 (B) 前記第1クラッド層領域はMCVD法により形
    成され、シリカベースの基板チューブ内に第1クラッド
    材料を堆積することにより形成されることを特徴とする
    シリカベースの光ファイバ。
  9. 【請求項9】 前記第1クラッド層領域は、前記コアを
    接触して包囲することを特徴とする請求項8記載の光フ
    ァイバ。
  10. 【請求項10】 前記第1クラッド層領域は、前記コア
    領域から離間していることを特徴とする請求項8記載の
    光ファイバ。
  11. 【請求項11】 光ファイバはシングルモードファイバ
    であることを特徴とする請求項8記載の光ファイバ。
  12. 【請求項12】 前記コアは、傾斜屈折率を有すること
    を特徴とする請求項8記載の光ファイバ。 【請求13】 前記光ファイバはステップインデックス
    ファイバであることを特徴とする請求項8記載の光ファ
    イバ。
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