JPH0665613B2 - 石英ガラス管 - Google Patents
石英ガラス管Info
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- JPH0665613B2 JPH0665613B2 JP60198347A JP19834785A JPH0665613B2 JP H0665613 B2 JPH0665613 B2 JP H0665613B2 JP 60198347 A JP60198347 A JP 60198347A JP 19834785 A JP19834785 A JP 19834785A JP H0665613 B2 JPH0665613 B2 JP H0665613B2
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
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- C03B37/01211—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments by inserting one or more rods or tubes into a tube
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- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03B2201/08—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、通信用の光ファイバ、イメージスコープ用の
マルチプルファイバなどの光伝送体の製造に好適に用い
られる石英ガラス管に関する。
マルチプルファイバなどの光伝送体の製造に好適に用い
られる石英ガラス管に関する。
硼素ドープされた石英ガラス層を石英ガラス管の内表面
に、例えばCVD法により内付する場合、ドーパントと
して用いられた硼素元素が石英ガラス管に含まれている
水分を吸収して、硼素ドープ石英ガラス層のOH基含有
量を高める問題がある。かかる石英ガラス管を用いて光
伝送体を製造した場合には、伝送損失の小さい光伝送体
を得難い。
に、例えばCVD法により内付する場合、ドーパントと
して用いられた硼素元素が石英ガラス管に含まれている
水分を吸収して、硼素ドープ石英ガラス層のOH基含有
量を高める問題がある。かかる石英ガラス管を用いて光
伝送体を製造した場合には、伝送損失の小さい光伝送体
を得難い。
本発明は、上記の問題を解決するために、OH基含有量
が200ppb以下の低OH石英ガラス管の内表面に硼素
ドープされた石英ガラス層が形成されてなる石英ガラス
管を提案する。
が200ppb以下の低OH石英ガラス管の内表面に硼素
ドープされた石英ガラス層が形成されてなる石英ガラス
管を提案する。
〔作用〕 たとえ硼素ドーパントの水吸収作用が働いても、内付さ
れる石英ガラス管自体がOH基含有量200ppb以下の
ものであるために、硼素ドープ石英ガラス層のOH基含
有量の増大は実質上生じない。
れる石英ガラス管自体がOH基含有量200ppb以下の
ものであるために、硼素ドープ石英ガラス層のOH基含
有量の増大は実質上生じない。
低OH石英ガラス管は天然石英からなるものであっても
合成石英からなるものであってもよいが、下記の方法で
求めたOH基含有量が200ppb以下であることが必須
である。それよりOH基含有量が多いと、硼素ドープ石
英ガラス層のOH基含有量が光伝送路、特に通信用光フ
ァイバの伝送特性に悪影響を及ぼす程に増大する。従っ
て、本発明において用いる低OH石英ガラス管として
は、OH基含有量が100ppb以下、特に50ppb以下の
ものが好ましい。
合成石英からなるものであってもよいが、下記の方法で
求めたOH基含有量が200ppb以下であることが必須
である。それよりOH基含有量が多いと、硼素ドープ石
英ガラス層のOH基含有量が光伝送路、特に通信用光フ
ァイバの伝送特性に悪影響を及ぼす程に増大する。従っ
て、本発明において用いる低OH石英ガラス管として
は、OH基含有量が100ppb以下、特に50ppb以下の
ものが好ましい。
OH基含有量:被検石英ガラスをコアとし、その外側
に、無水のクラッド層を有する光ファイバを線引により
作成し、この光ファイバにつき波長1.38μmにおける損
失値L1(dB/km)を測定し、次の式により算出する。
に、無水のクラッド層を有する光ファイバを線引により
作成し、この光ファイバにつき波長1.38μmにおける損
失値L1(dB/km)を測定し、次の式により算出する。
OH基含有量(ppm)=0.0185×(L1−L0) ここにL0は、上記被検光ファイバがOH基を含まない
と仮定したときの波長1.38μmにおける推定損失値(dB
/km)である。
と仮定したときの波長1.38μmにおける推定損失値(dB
/km)である。
低OH石英ガラス管の内壁への硼素ドープされた石英ガ
ラス層の形成は、たとえばSiCl4、SiF4などの
SiO2生成物質と、BCl3、BF3などの硼素源を
有する材料とを用いてCVD法など周知の方法にて行う
ことができる。特にBF3とSiCl4との混合物、B
Cl3とSiF4との混合物など、硼素とフッ素とが共
にドープされることが好ましく、特に、ドープ材料とし
てBF3を用いることが好ましい。
ラス層の形成は、たとえばSiCl4、SiF4などの
SiO2生成物質と、BCl3、BF3などの硼素源を
有する材料とを用いてCVD法など周知の方法にて行う
ことができる。特にBF3とSiCl4との混合物、B
Cl3とSiF4との混合物など、硼素とフッ素とが共
にドープされることが好ましく、特に、ドープ材料とし
てBF3を用いることが好ましい。
以下、実施例、比較例により本発明を一層詳細に説明す
る。以下において、部、%はいずれも重量部、重量%を
意味する。
る。以下において、部、%はいずれも重量部、重量%を
意味する。
実施例1 OH基含有量150ppbの合成石英からなる外径20m
m、厚さ1.5mmの石英ガラス管の内壁に、SiCl4、B
F3およびO2の混合ガスを用いて、常法に従って硼素
とフッ素とでドープされた▲n20 D▼が1.4485、厚さ0.8
mmの石英ガラスクラッド層を形成した。
m、厚さ1.5mmの石英ガラス管の内壁に、SiCl4、B
F3およびO2の混合ガスを用いて、常法に従って硼素
とフッ素とでドープされた▲n20 D▼が1.4485、厚さ0.8
mmの石英ガラスクラッド層を形成した。
実施例2〜4、比較例1 用いた石英ガラス管のOH基含有量が、それぞれ100
ppb(実施例2)、50ppb(実施例3)、20ppb(実
施例4)、200,000ppb(比較例1)、である点において
のみ異なり、他は上記実施例1と同様にしてクラッド層
が内付けられた石英ガラス管を得た。
ppb(実施例2)、50ppb(実施例3)、20ppb(実
施例4)、200,000ppb(比較例1)、である点において
のみ異なり、他は上記実施例1と同様にしてクラッド層
が内付けられた石英ガラス管を得た。
比較例2 SiCl4、BF3、O2の混合ガスに代わって、Si
F4とO2との混合ガスを用い、フッ素のみがドープさ
れた▲n20 D▼が1.4480であるクラッド層を内付けした
点においてのみ比較例1と異なる方法にてクラッド層内
付け石英ガラス管を得た。
F4とO2との混合ガスを用い、フッ素のみがドープさ
れた▲n20 D▼が1.4480であるクラッド層を内付けした
点においてのみ比較例1と異なる方法にてクラッド層内
付け石英ガラス管を得た。
OH基含有量が、20ppb、外径8mmの純石英ガラスロ
ッドを上記で得た各石英ガラス管に挿入し、特公昭59
−24092の実施例13と同じ方法および表面処理ガ
ラスを用いてロッド・イン・チューブ法にて光ファイバ
母材を、次いで該母材を2,000℃で線引きし、ウレタン
樹脂プリコートを施してコア径60μm、クラッド厚1
5μm、プリコート層を除くファイバ外径150μmの
光ファイバを得た。
ッドを上記で得た各石英ガラス管に挿入し、特公昭59
−24092の実施例13と同じ方法および表面処理ガ
ラスを用いてロッド・イン・チューブ法にて光ファイバ
母材を、次いで該母材を2,000℃で線引きし、ウレタン
樹脂プリコートを施してコア径60μm、クラッド厚1
5μm、プリコート層を除くファイバ外径150μmの
光ファイバを得た。
前記の方法で測定した各実施例、比較例からの光ファイ
バのOH基含有量(コアのOH基含有量の全量とクラッ
ド層のOH基含有量の一部とが測定にかかる)は、それ
ぞれ実施例1が25ppb、実施例2:22ppb、実施例
3:20ppb、実施例4:20ppb、比較例1:1000
ppb、比較例2:30ppbであった。
バのOH基含有量(コアのOH基含有量の全量とクラッ
ド層のOH基含有量の一部とが測定にかかる)は、それ
ぞれ実施例1が25ppb、実施例2:22ppb、実施例
3:20ppb、実施例4:20ppb、比較例1:1000
ppb、比較例2:30ppbであった。
これらの結果から、各実施例および硼素をドーパントと
して用いない比較例2においては、クラッド層OH基含
有量の増加量は極く僅かであるが、比較例1における増
加は著しいことが明らかである。
して用いない比較例2においては、クラッド層OH基含
有量の増加量は極く僅かであるが、比較例1における増
加は著しいことが明らかである。
ドーパントとしての硼素は、石英ガラス光ファイバ製造
上極めて重要なものであることは周知の通りであり、一
方、硼素ドーパントは、前記した水吸収作用を有するも
のであるが、本発明により水吸収作用の問題が解消す
る。
上極めて重要なものであることは周知の通りであり、一
方、硼素ドーパントは、前記した水吸収作用を有するも
のであるが、本発明により水吸収作用の問題が解消す
る。
Claims (3)
- 【請求項1】OH基含有量が、200ppb以下の低OH
石英ガラス管の内表面に硼素ドープされた石英ガラス層
が形成されてなることを特徴とする石英ガラス管。 - 【請求項2】低OH石英ガラス管が、天然または合成の
石英ガラス管である特許請求の範囲第(1)項記載の石英
ガラス管。 - 【請求項3】硼素ドープされた石英ガラス層が、ドープ
材料としてBF3を用い、CVD法により形成されたも
のである特許請求の範囲第(1)項および第(2)項記載の石
英ガラス管。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60198347A JPH0665613B2 (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 | 石英ガラス管 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60198347A JPH0665613B2 (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 | 石英ガラス管 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6259543A JPS6259543A (ja) | 1987-03-16 |
JPH0665613B2 true JPH0665613B2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=16389607
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60198347A Expired - Fee Related JPH0665613B2 (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 | 石英ガラス管 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0665613B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999047953A1 (fr) * | 1998-03-16 | 1999-09-23 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Voie de transmission optique a multiplexage en longueur d'onde et fibre optique utilisee a cet effet |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0357055Y2 (ja) * | 1987-07-15 | 1991-12-25 | ||
JPH09118183A (ja) * | 1995-10-25 | 1997-05-06 | Yazaki Corp | 自動車用電子ユニット |
US6105396A (en) * | 1998-07-14 | 2000-08-22 | Lucent Technologies Inc. | Method of making a large MCVD single mode fiber preform by varying internal pressure to control preform straightness |
JP4079204B2 (ja) * | 1998-11-09 | 2008-04-23 | 信越石英株式会社 | 光ファイバ母材用石英ガラス管及びその製造方法 |
EP1061054A1 (en) * | 1999-06-18 | 2000-12-20 | Lucent Technologies Inc. | Method of making optical fiber by a rod-in tube process and fiber made by the method |
DE10025176A1 (de) * | 2000-05-24 | 2001-12-06 | Heraeus Quarzglas | Verfahren für die Herstellung einer optischen Faser und Vorform für eine optische Faser |
-
1985
- 1985-09-06 JP JP60198347A patent/JPH0665613B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
清水紀夫著「ガラス繊維と光ファイバー」技報堂出版(1983.12.15)P.111〜112 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999047953A1 (fr) * | 1998-03-16 | 1999-09-23 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Voie de transmission optique a multiplexage en longueur d'onde et fibre optique utilisee a cet effet |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6259543A (ja) | 1987-03-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |