JP2001027575A - エアリークテスト装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 差圧型エアリークテスト装置において、マス
タ側，ワーク側の２つのテスト圧閉鎖系の容積を減少さ
せて、高精度の漏れ検出を行う。 【解決手段】 ベースブロック２０の上面には２つのブ
ロック４０Ａ，４０Ｂが隣り合って固定されている。こ
れらブロック４０Ａ，４０Ｂの対峙面４１間には差圧セ
ンサ６が挟まれ、その上面には開閉弁５ａ，５ｂが装着
されている。ブロック４０Ａ，４０Ｂには分岐エア通路
がそれぞれ形成されている。これら分岐エア通路は、開
閉弁５ａ，５ｂより上流側の通路部分１ａ’，１ｂ’と
下流側の通路部分１ａ”，１ｂ”とを含む。下流側通路
部分１ａ”，１ｂ”は、ベースブロック２０の貫通孔２
０ａ，２０ｂ等を介して、カプセル３５Ａ，３５Ｂに連
なる。差圧センサ６の２つの入力ポートは、これら下流
側通路部分１ａ”，１ｂ”にそれぞれ接続されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ワークの微小の洩
れを検出するためのエアリークテスト装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、小型電子部品等のような小さな
中空部品や密封容器等のワークの洩れを検出するための
エアリークテスト装置は、基端がテスト圧源に接続され
る共通エア通路と、この共通エア通路の先端から分岐す
る第１、第２の分岐エア通路とを備えている。第１、第
２の分岐エア通路の先端は、上記マスタ用収容空間とワ
ーク用収容空間にそれぞれ接続されている。各分岐エア
通路には開閉弁（開閉弁）が設けられている。第１、第
２の分岐エア通路において開閉弁より先端側の通路部分
間には、差圧センサが接続されている。

【０００３】上記エアリークテスト装置にあっては、テ
スト時に、マスタ用収容空間とワーク用収容空間にそれ
ぞれマスタ部品と検査対象のワークをそれぞれ収容し、
テスト圧源からマスタ用収容空間とワーク用収容空間に
テスト圧を供給する。この後、一対の開閉弁を閉じるこ
とにより、マスタ側の系とワーク側の系とをテスト圧で
それぞれ閉鎖し、この状態で、差圧センサからの検出差
圧に基づいてワークの洩れの有無を判定する。

【０００４】従来では、上記共通エア通路、第１，第２
の分岐エア通路は殆どが管で構成されて、上記開閉弁、
差圧センサ、マスタ用，ワーク用の収容空間に接続され
ているため、高精度の漏れ検出ができなかった。その理
由を詳述する。第１，第２の分岐エア通路は、開閉弁よ
り先端側の通路部分が閉鎖系を構成するが、これらが管
により形成されていると閉鎖系の容積が大きくなる。そ
のため、ワークの洩れに対して発生する差圧が小さくな
り、小さな洩れを発見することが困難になる。また、管
は曲げ加工を容易にするために比較的柔らかい材料で形
成されているため、テスト圧が付与された時に管の弾性
変形により閉鎖系の容積が変化する可能性があり、この
点からも検出精度の向上に限界があった。

【０００５】そこで、特開平１０−６２２９６号公報に
開示されたエアリークテスト装置では、分岐エア通路を
全長にわたってブロックに形成することにより、閉鎖系
となる分岐エア通路の容積を減少させ、その変動をも無
くすようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記公報のエアリーク
テスト装置では、１つのブロックに第１，第２の分岐エ
ア通路を形成し、その一面例えば上面に差圧センサ、一
対の開閉弁等を装着している。しかし、この構成では、
差圧センサの２つの入力ポートは、差圧センサの１つの
面に開口して、上記ブロックの第１，第２分岐エア通路
に連なるようになっているため、差圧センサが大型とな
り、これら入力ポートの形状が複雑でその容積が大きか
った。また、上記１つのブロックに２つの独立した分岐
エア通路が形成されるため、これら分岐エア通路に接続
される開閉弁同士の干渉を避けつつ分岐エア通路の対称
性を維持する必要があり、その結果、これら分岐エア通
路が長くなり、その容積が大きかった。したがって、閉
鎖系の容積をより一層減少させて高精度の漏れ検出を行
いたいとの要求に、十分答えられなかった。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の態様は、
基端がテスト圧源に接続される共通エア通路と、この共
通エア通路から分岐する第１，第２の分岐エア通路と、
これら第１，第２の分岐エア通路にそれぞれ設けられた
開閉弁と、これら第１，第２の分岐エア通路において上
記開閉弁より先端側の通路部分間の差圧を検出する差圧
センサとを備え、上記第１，第２分岐エア通路に、マス
タ部品，ワークをそれぞれ接続するか、マスタ部品を収
容するマスタ用収容空間，ワークを収容するワーク用収
容空間をそれぞれ接続し、上記テスト圧源からテスト圧
を付与して上記開閉弁を閉じ、この状態で上記差圧セン
サで検出される差圧に基づいてワークの漏れを検出する
エアリークテスト装置において、隣合う第１，第２のブ
ロックを備え、これら第１，第２ブロックには、上記第
１，第２分岐エア通路がそれぞれ形成されるとともに、
これら第１，第２分岐エア通路を開閉する開閉弁がそれ
ぞれ装着されており、さらに、上記第１，第２ブロック
の互いに対峙する面には、第１，第２分岐エア通路の上
記先端側通路部分にそれぞれ連なる接続穴が開口してお
り、上記差圧センサは、上記第１，第２のブロックの対
峙面間に挟まれて配置されており、この差圧センサの２
つの圧力導入ポートが上記第１，第２のブロックの接続
穴にそれぞれ連なっていることを特徴とする。

【０００８】本発明の第２の態様は、第１態様のエアリ
ークテスト装置において、上記差圧センサが、上記圧力
導入ポートが開口する一対の凸部を有し、これら凸部が
上記第１，第２ブロックの接続穴に挿入されていること
を特徴とする。本発明の第３の態様は、第１,第２態様
のエアリークテスト装置において、さらに、第３のブロ
ックを備え、この第３ブロックの一つの面には、上記第
１，第２ブロックが並んで固定されており、この第３ブ
ロックには、上記第１，第２分岐エア通路の先端側通路
部分の延長部をなす直線状の貫通孔が形成されているこ
とを特徴とする。本発明の第４の態様は、第３態様のエ
アリークテスト装置において、上記第３ブロックには更
に上記共通エア通路が形成され、この共通エア通路は、
上記第１，第２分岐通路の先端側通路部分の延長部と交
わらずに第１，第２ブロックの第１，第２分岐通路に連
なることを特徴とする。

【０００９】本発明の第５態様は、第３,第４態様のエ
アリークテスト装置において、上記開閉弁は、上記第
１，第２ブロックにおいて上記対峙面と直交する面に装
着され、上記第１，第２ブロックには、上記接続穴から
上記対峙面と直交して直線的に延びる第１孔と、この第
１孔と直交して直線的に延び上記第３ブロックの貫通孔
に連なる第２孔と、第１孔と直交して直線的に延び、上
記開閉弁を装着した面に開口して、この開閉弁により開
閉される第３孔とが形成され、これら第１，第２，第３
孔により、上記分岐エア通路の先端側通路部分が構成さ
れていることを特徴とする。本発明の第６態様のエアリ
ークテスト装置において、上記第１，第２ブロックに
は、上記開閉弁の装着面に開閉弁と並んでタンクが装着
されるとともに、このタンク内に補助開閉弁が収容さ
れ、さらに上記第１，第２ブロックには、上記第１孔と
直交して直線的に延び、上記タンクを装着した面に開口
して上記補助開閉弁により開閉される第４孔が形成され
ていることを特徴とする。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の第１の実施形態を
図１〜図４に基づいて説明する。まず、エアリークテス
ト装置の概要について、図１の回路図を用いて説明す
る。このエアリークテスト装置は、エア通路１を備えて
いる。エア通路１は、共通エア通路１ｘと、その下流端
（先端）から分岐した第１、第２の分岐エア通路１ａ、
１ｂを有している。共通エア通路１ｘの上流端（基端）
には圧縮空気圧源２（テスト圧源）が接続されている。
共通エア通路１ｘには、上流側から順にレギュレータ
３、三方電磁弁４が設けられている。この三方電磁弁４
は、一対の分岐エア通路１ａ、１ｂと圧縮空気源２とを
連通させるテスト圧供給位置と、一対の分岐エア通路１
ａ、１ｂを圧縮空気圧源２から遮断して大気に開放させ
る大気開放位置のいずれかを選択するものであり、オフ
状態では大気開放位置にある。

【００１１】分岐エア通路１ａ，１ｂの中途部にはそれ
ぞれ常開の空圧駆動式の開閉弁５ａ、５ｂが設けられて
いる。以下、分岐エア通路１ａ，１ｂにおいて、この開
閉弁５ａ，５ｂと上流端の間を上流側通路部分１ａ’，
１ｂ’（基端側通路部分）と称し、開閉弁５ａ，５ｂと
下流端との間を下流側通路部分１ａ”，１ｂ”（先端側
通路部分）と称す。

【００１２】上記分岐エア通路１ａ、１ｂの下流側通路
部分１ａ”，１ｂ”の中途部には、圧力導入通路１ｃ，
１ｄを介して差圧センサ６の一対の入力ポート６ａ，６
ｂがそれぞれ接続されている。この差圧センサ６は、内
部にダイヤフラムを有し、一対の入力ポート６ａ，６ｂ
の圧力差に応じたダイヤフラムの変形を電圧に変換して
出力する。さらに、分岐エア通路１ａ、１ｂの下流側通
路部分１ａ”，１ｂ”の中途部には、連絡通路１ｅ，１
ｆ、補助開閉弁８ａ，８ｂを介して、同一容積のタンク
７ａ，７ｂがそれぞれ接続されている。

【００１３】上記第１の分岐エア通路１ａの下流端に
は、マスタ部品Ｍを収容するためのマスタ用収容空間９
ａが接続され、第２の分岐エア通路１ｂの下流端には、
検査対象のワークＷ（例えば精密電子部品等）を収容す
るためのワーク用収容空間９ｂが接続される。なお、マ
スタ部品Ｍは、例えばワークＷと同一部品であり、漏れ
が生じないことが確認されているものである。

【００１４】さらに、エアリークテスト装置は、制御部
１０を有している。この制御部１０は、マイクロコンピ
ュータ、メモリ、入出力インターフェイス、駆動手段等
（いずれも図示せず）を含むものである。制御部１０に
は、差圧センサ６からの検出信号が入力される。この制
御部１０は、三方電磁弁４、開閉弁５ａ、５ｂ、補助開
閉弁８ａ，８ｂ、表示器１１、合格ランプ１２、不合格
ランプ１３の制御等を行う機能を有している。

【００１５】上記構成のエアリークテスト装置により、
ワークの漏れテストを行う場合は、まず、マスタ用品Ｍ
とワークＷとをそれぞれの収容空間９ａ，９ｂに収容し
て、これら収容空間９ａ，９ｂを密封状態にする。次
に、三方電磁弁４をオンして、テスト圧を分岐エア通路
１ａ，１ｂを介してマスタ用収容空間９ａとワーク用収
容空間９ｂに供給する。次に開閉弁５ａ、５ｂを閉じる
ことにより、第１分岐エア通路１ａの下流側通路部分１
ａ”とマスタ用収容空間９ａとを含む系をテスト圧で閉
鎖するとともに、第２分岐エア通路１ｂの下流側通路部
分１ｂ”とワーク用収容空間９ｂを含む系もテスト圧で
閉鎖する。

【００１６】ワーク用収容空間９ｂに収容したワークＷ
に傷が無い場合には、ワークＷ内に加圧空気が入り込ま
ず、ワーク側の閉鎖系の圧力は、マスタ側の閉鎖系の圧
力と変わらないので、所定時間経過後の検出差圧はゼロ
であり、制御部１０は、この差圧ゼロに基づき大気圧換
算漏れ量をゼロと演算する。ワークＷに微小の傷がある
場合は、ワークＷの内部に加圧空気が侵入するので、そ
の分だけワーク側閉鎖系の圧力が低下し、それに伴い差
圧センサ６で漏れに応じた差圧が検出される。制御部１
０は、この差圧に対応する大気圧換算の洩れ量を演算す
る。制御部１０は、上記のように演算された大気圧換算
漏れ量を表示器１１に表示させると共に、閾値と比較し
て洩れ判定を行う。洩れ量が閾値より小さいときには、
ワークＷを微小洩れ無しと判定し、閾値より大きい時に
は微小漏れ有りと判定する。

【００１７】次に、タンク７ａ，７ｂの補助開閉弁８
ａ，８ｂを開いて、マスタ側閉鎖系とワーク側閉鎖系の
圧力を、大気圧状態にあるタンク７ａ，７ｂの内部空間
へ逃がす（疑似漏れ）。その後で、再度差圧センサ６で
差圧を検出する。この検出差圧を上記とは異なる閾値と
比較し、大漏れの有無を判定する。

【００１８】なお、上記大漏れ判定の原理は次の通りで
ある。ワークＷに大きな傷がある場合には、テスト圧付
与時にワークＷの内部に加圧空気が一気に入り込み、ワ
ークＷの内部がテスト圧となってしまう。その後、開閉
弁５ａ，５ｂを閉じて、差圧を検出しても、この差圧は
実質的にゼロであり、微小漏れ無しと判断してしまう。
そのため、上記のように、マスタ側閉鎖系とワーク側閉
鎖系に等量の疑似漏れを発生させるのである。ワークＷ
内部が大漏れによってテスト圧になっているとワーク側
閉鎖系の圧力は疑似漏れ後に予期していたよりも高くな
る。換言すれば、大洩れがある場合は、マスタ側とワー
ク側の閉鎖系の容積にワークＷの内容積相当分の差が出
る。このテスト圧状態での容積の差が、上記疑似漏れに
より、差圧となって現れるので、大洩れの有無を判定で
きるのである。

【００１９】微小洩れ発生もなく大洩れ発生もないと判
定したワークＷについては、良品であるとして対応する
合格ランプ１２を点灯させ、微小洩れあるいは大洩れの
ある場合は、ワークＷが不良である判定し、対応する不
合格ランプ１３を点灯させる。次に、制御部１０は、三
方電磁弁４を大気解放位置にし、開閉弁５ａ、５ｂを開
くことにより、マスタ用収容空間９ａとワーク用収容空
間９ｂを大気開放し、その後、タンク７ａ，７ｂの補助
開閉弁８ａ，８ｂを閉じる。

【００２０】次に、図２〜図４を参照しながら、上記エ
アリークテスト装置の具体的構造について説明する。こ
のエアリークテスト装置は、複数例えば５つのワークを
同時に検査することができるようになっている。なお、
図２〜図４では、共通エア通路１ｘの大部分と、圧縮空
気圧源２，レギュレータ３，三方電磁弁４について、図
示を省略している。

【００２１】図２に示すように、エアリークテスト装置
は、水平なテーブル１５を備えている。このテーブル１
５には、四角形の穴１５ａが形成されており、この穴１
５ａに、左右に細長い直方体形状のベースブロック２０
（第３ブロック）が、紙面と直交する方向に複数例えば
５つ並んで挿入されている。このベースブロック２０
は、水平に張り出すフランジ２１を有しており、このフ
ランジ２１が上記テーブル１５の上面に固定されてい
る。各ベースブロック２０の水平をなす平坦な下面に
は、左右に細長い直方体形状の受けブロック２５が固定
されている。この受けブロック２５の下面は、水平をな
す平坦な合わせ面２５ｘとして提供されている。

【００２２】各受けブロック２５の下方には、昇降台３
０が配置されている。この昇降台３０は、図示しない駆
動機構により昇降するようになっている。昇降台３０の
上面にはマスタ用カプセル３５Ａとワーク用カプセル３
５Ｂが左右に離れて設けられている。カプセル３５Ａ，
３５Ｂの上面は同一高さをなし、水平をなす平坦な合わ
せ面３５ｘとして提供される。この合わせ面３５ｘが昇
降台３０の上昇位置で受けブロック２５の合わせ面２５
ｘに接するようになっている。上記カプセル３５Ａ，３
５Ｂの合わせ面３５ｘの中央には、マスタ用収容空間９
ａを構成する凹部とワーク用収容空間９ｂを構成する同
容積の凹部が、それぞれ形成されている。

【００２３】各ベースブロック２０の水平をなす平坦な
上面には、左右に並んで対をなす同形状のマスタ用ブロ
ック４０Ａ（第１ブロック）とワーク用ブロック４０Ｂ
（第２ブロック）が取り付けられている。

【００２４】上記ブロック４０Ａ，４０Ｂの上面には、
非磁性材料からなるマスタ用弁ブロック５０Ａとワーク
用弁ブロック５０Ｂがそれぞれ固定されている。弁ブロ
ック５０Ａは、図１のマスタ側の開閉弁５ａとタンク７
ａと補助開閉弁８ａとを内蔵しており、弁ブロック５０
Ｂは、ワーク側の開閉弁５ｂとタンク７ｂと補助開閉弁
８ｂとを内蔵している。弁ブロック５０Ｂの側面には、
差圧センサ６の出力信号を増幅するアンプ６０が固定さ
れている。

【００２５】次に、上記ブロック２０，２５，４０Ａ，
４０Ｂの通路構造について特に図３を参照しながら詳述
する。各受けブロック２５には、直線状をなす同径，同
容積の２つの垂直貫通孔２５ａ，２５ｂが左右に離れて
形成されており、各ベースブロック２０には、これら貫
通孔２５ａ，２５ｂに気密に連通する同径，同容積の垂
直貫通孔２０ａ，２０ｂが形成されている。上記貫通孔
２０ａ，２５ａは、前述した第１分岐エア通路１ａの下
流側通路部分１ａ”の延長部として提供され、上記貫通
孔２０ｂ，２５ｂは、前述した第２分岐エア通路１ｂの
下流側通路部分１ｂ”の延長部として提供される。

【００２６】上記受けブロック２５の合わせ面２５ｘに
は、上記貫通孔２５ａ，２５ｂの下端開口を囲むように
して、環状の溝が形成されており、この溝にシールリン
グ２７がそれぞれ嵌め込まれている。上記昇降台３０が
上昇してカプセル３５Ａ，３５Ｂの合わせ面３５ｘが受
けプレート２５の合わせ面２５ｘに接した時に、上記カ
プセル３５Ａ，３５Ｂの収容空間９ａ，９ｂが上記シー
ルリング２７で密閉され、受けブロック２５の垂直貫通
孔２０ａ，２０ｂと連通する。

【００２７】ベースブロック２０には、さらに水平に直
線的に延びる径の大きな水平孔２２が形成されている。
この水平孔２２は、前述した共通エア通路１ｘの下流側
部分を構成している。この水平孔２２は、右端が栓で閉
塞され左端が継手２３（図２参照）を介して共通エア通
路１ｘのパイプに接続されている。この共通エア通路１
ｘからは、２つの短い垂直孔２４が上方に延びてベース
ブロック２０の上面に開口している。これら水平孔２
２,垂直孔２４は、上述の貫通孔２０ａ，２０ｂと交わ
らないのは勿論である。

【００２８】上記ブロック４０Ａ，４０Ｂは、対峙面４
１を有している。これら対峙面４１間に前述した差圧セ
ンサ６が挟まれている。この差圧センサ６の両面には上
記入力ポート６ａ，６ｂ（図１参照）が開口する凸部６
ｘが形成されており、これら凸部６ｘは、上記対峙面４
１に開口する接続穴４２に気密に挿入されている。

【００２９】上記ブロック４０Ａ，４０Ｂには、前述し
た第１，第２の分岐エア通路１ａ，１ｂが形成されてい
る。これら分岐エア通路１ａ，１ｂは、ドリルで穿たれ
て直線的に延びる複数の孔からなる。詳述すると、マス
タ用ブロック４０Ａには、上記接続穴４２から水平にか
つ対峙面４１と直交して延びる水平孔４３（第１孔）が
形成されている。この水平孔４３の他端はブロック４０
Ａの側面に開口してダミーブロック６１で塞がれてい
る。この水平孔４３の中間部から垂直孔４４（第２孔）
が下方に延びてブロック４０Ａの下面に開口し、上述し
たベースブロック２０の貫通孔２０ａに連なっている。

【００３０】上記ブロック４０Ａの上面には、左右に離
れて前述した開閉弁５ａ,補助開閉弁８ａのための弁座
４５、４５’が形成されている。弁座４５は対峙面４１
に近接して配置され、弁座４５’は対峙面４１から離れ
て配置されている。これら弁座４５，４５’には、上記
水平孔４３から上方に延びる垂直孔４６（第３孔），垂
直孔４６’（第４孔）の上端が開口している。上記水平
孔４３，垂直孔４４，４６は、前述した分岐エア通路１
ａの下流側通路部分１ａ”として提供される。また、垂
直孔４６’は、前述したタンク７ａへの連絡通路１ｅと
して提供される。

【００３１】さらにブロック４０Ａには、その下面に開
口する垂直孔４７とその上端に連なる水平孔４８とが形
成されている。垂直孔４７は、ベースブロック２０の垂
直孔２４を介して水平孔２２（共通エア通路１ｘ）に連
なっている。水平孔４８は、対峙面４１に開口し栓で塞
がれている。さらに、図４に示すように、水平孔４８か
ら上方に延びる垂直孔４９が形成されており、この垂直
孔４９は、上記弁座４５の近傍においてブロック４０Ａ
の上面に開口している。上記垂直孔４７，４９と水平孔
４８とで、第１分岐エア通路１ａの上流側部分１ａ’が
構成されている。

【００３２】ワーク用ブロック４０Ｂもマスタ用ブロッ
ク４０Ａと同じ通路構造をなしているので、図中同番号
を付してその詳細な説明を省略する。異なるのは、水平
孔４３がブロック４０Ａを貫通せず、その代わりに垂直
孔４６’に連なる短い水平孔４３’を有している点であ
る。この水平孔４３’には、差圧センサ６の診断のため
に、必要に応じて擬似漏れを行う容積変更器６５（図２
参照）が接続されるが通常はこの水平孔４３’は、ダミ
ーブロック６６で塞がれている。

【００３３】上記ワーク用ブロック４０Ｂにおいて、上
記水平孔４３，垂直孔４４，４６は、前述した第２分岐
エア通路１ｂの下流側通路部分１ｂ”として提供され
る。また、垂直孔４６’は、前述したタンク７ｂへの連
絡通路１ｆとして提供される。垂直孔４７，４９と水平
孔４８とで、第２分岐エア通路１ｂの上流側部分１ｂ’
が構成されている。なお、ブロック４０Ａ，４０Ｂにお
いて、上流側通路部分１ａ’，１ｂ’は同容積を有し、
下流側通路部分１ａ”，１ｂ”も同容積を有している。

【００３４】次に、弁ブロック５０Ａ、５０Ｂの内部構
造について、図３を参照しながら説明する。マスタ側の
弁ブロック５０Ａは、その左右部に、隔壁５１で仕切ら
れた下部室５２と上部室５３とを有している。右側の下
部室５２には、上記第１分岐エア通路１ａの下流側の垂
直孔４６と上流側の垂直孔４９が臨んでおり、上記開閉
弁５ａの弁体５４が上下方向にスライド可能に収容され
ている。左側の下部室５２は、前述したタンク７ａとし
て提供され、上記補助開閉弁８ａの弁体５４がスライド
可能に収容されている。左右の上部室５３にはアーマチ
ャ５５が上下方向にスライド可能に収容されおり、その
上端の入力ポート５６は、圧縮エア源に電磁弁（図示し
ない）を介して連なっている。この電磁弁は上記制御部
１０で制御される。

【００３５】上記弁体５４はコイルスプリングによって
弁座４５，４５’から離れる方向に付勢されて開き位置
にあり、上記入力ポート５６からの圧縮エアが付与され
た時にアーマチャ５５が下方に移動し、アーマチャ５５
と弁体５４とに設けられた磁石の反発力によって弁体５
４を下方に移動させて、弁座４５，４５’に着座させ、
閉じ位置にするようになっている。

【００３６】ワーク用弁ブロック５０Ｂもマスタ用弁ブ
ロック５０Ａと対称形をなしており、右側の下部室５２
が、前述したタンク７ｂとして提供される。左側の弁体
５４は開閉弁５ｂに属するものであり、右側の弁体５４
は、補助開閉弁８ｂに属するものである。

【００３７】上記説明から明らかなように、図１におい
て、想像線Ｓで囲った範囲のエア通路が、ブロック２
０，２５，４０Ａ，４０Ｂに穿設されている。図１では
１つの回路Ｓだけが示されているが、共通エア通路１ｘ
は、３方電磁弁４の下流側で分岐して、５つの回路Ｓに
接続されるようになっている。

【００３８】上記構成のエアリークテスト装置により、
ワークの漏れテストを行う場合は、予め５つのカプセル
３５Ａの凹部９ａにそれぞれマスタ部品Ｍを収容してお
く。そして、検査対象となる５つのワークＷを、５つの
カプセル３５Ｂの凹部９ｂに収容して前述したようにリ
ークテストを行う。

【００３９】上記エアリークテスト装置では、分岐エア
通路１ａ，１ｂを先端側の延長部を含めて全てブロック
２０，２５，４０Ａ，４０Ｂに形成し、パイプを用いな
いので、この分岐エア通路１ａ，１ｂの容積を小さくで
き、特に、下流側通路部分１ａ”，１ｂ”すなわち閉鎖
系の容積を減少させることができる。また、穿設された
孔はテスト圧付与により断面積が変化することがないか
ら、テスト圧による閉鎖系の容積変化をなくすことがで
きる。さらに、通路の接続のための部材を必要とせず、
ここでの漏れの可能性を無くすことができる。その結
果、差圧による洩れ検知の感度を高めることができ、精
密小型部品等の微小洩れを高い信頼性で安定して検出す
ることが可能となる。

【００４０】さらに本実施形態では、ブロック４０Ａ，
４０Ｂ間に差圧センサ６が挟まれる構成となっており、
この差圧センサ６は、両面に入力ポート６ａ，６ｂを配
置させ、この入力ポート６ａ，６ｂが中央のダイヤフラ
ム６ｃ（図３参照）に向かって直角に直線状に形成され
るので、差圧センサ６を小型にできるとともに、入力ポ
ート６ａ，６ｂの構造を簡単かつ短くすることができ
る。その結果、上記閉鎖系の容積減少に寄与し、より高
精度の漏れ検出を行うことができる。しかも、上記のよ
うに第１,第２の分岐エア通路１ａ，１ｂがそれぞれ別
のブロック４０Ａ，４０Ｂに形成されているから、その
通路構造を簡単かつ短くすることができ、この点も上記
閉鎖系の容積減少に寄与することができる。

【００４１】また、差圧センサ６の凸部６ｘをブロック
４Ａ．４Ｂの対峙面４１に形成した接続穴４２に挿入す
るので、差圧センサ６の入力ポート６ａ，６ｂと分岐エ
ア通路１ａ，１ｂとを気密性良く連通させることができ
るとともに、差圧センサ６の支持も確実なものとなる。

【００４２】分岐エア通路１ａ，１ｂを形成したブロッ
ク４０Ａ，４０Ｂは、共通のベースブロック２０に固定
されているから、安定した支持がなされる。また、この
ベースブロック２０に共通エア通路１ｘを形成して、ブ
ロック４０Ａ，４０Ｂの分岐エア通路１ａ，１ｂに連ね
たので、回路構成を簡単にすることができる。

【００４３】上記ブロック４０Ａ，４０Ｂにおいて、上
記差圧センサ６が対峙面４１に配置され、上記開閉弁５
ａ，５ｂと対峙面４１と交差する上面に配置されている
ので、比較的短い複数の孔４３，４４，４６により、分
岐エア通路１ａ，１ｂの下流側通路部分１ａ”，１ｂ”
を構成することができる。そのため、これら孔４３，４
４，４５を細いドリルで形成することができ、この点も
閉鎖系の容積減少に寄与することができる。

【００４４】上記実施形態では、ブロック４０Ａ，４０
Ｂにおいて、垂直孔４４は、水平孔４３の任意の位置に
接続可能であり、そのため、この垂直孔４４に対応する
貫通孔２０ａ，２５ａおよび貫通孔２０ｂ，２５ｂの位
置を広い範囲にわたって任意に選択でき、ひいてはカプ
セル３５Ａ，３５Ｂの位置を広い範囲にわたって任意に
選択できる。

【００４５】図５は本発明の第２の実施形態を示す。こ
の実施形態では、受けブロック２５の２つのシールリン
グ２７にマスタ部品（図示しない）とワークＷが直接当
たるようにして接続されている。本実施例では、ワーク
Ｗは電磁弁であり、この電磁弁の弁Ｗａがスプリング
（図示しない）により弁座に当たった状態で、その弁口
Ｗｂのシール性が検査される。上記ワ−クＷは、図示し
ないガイド機構や、押圧シリンダ７０（押圧機構）から
なる装着手段により、受けブロック２５に押し当てら
れ、弁口Ｗｂを構成する非常に小さな空間が貫通孔２５
ｂの開口に連なる。なお、マスタ部品は、常時シールリ
ング２７に当たって貫通孔２５ａに連通しているが、こ
こでは図示しない。

【００４６】上記受けプレート２５は、傷ついた時に容
易に交換できるように用いているが、省いてもよい。そ
の場合には、ベースブロック２０にカプセル３５Ａ，３
５Ｂが当てられたり、ワーク，マスタ部品が直接当てら
れることになる。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の第１の態
様によれば、分岐エア通路１ａ，１ｂをブロックに形成
し、パイプを用いないので、この分岐エア通路の容積を
小さくでき、特に、先端側通路部分すなわち閉鎖系の容
積を減少させることができる。また、穿設された孔はテ
スト圧付与により断面積が変化することがないから、テ
スト圧による閉鎖系の容積変化をなくすことができる。
その結果、差圧による洩れ検知の感度を高めることがで
き、精密小型部品等の微小洩れを高い信頼性で安定して
検出することが可能となる。しかも、第１,第２の分岐
エア通路がそれぞれ第１，第２ブロックに別々に形成さ
れているから、その通路構造を簡単かつ短くすることが
でき、上記閉鎖系の容積減少に寄与し、より高精度の漏
れ検出を行うことができる。また、第１，第２ブロック
間に差圧センサが挟まれる構成となっているので、差圧
センサを小型にできるとともに、この差圧センサの入力
ポートの構造を簡単かつ短くすることができる。その結
果、上記閉鎖系の容積減少に寄与し、より高精度の漏れ
検出を行うことができる。

【００４８】本発明の第２の態様によれば、差圧センサ
の凸部をブロックの対峙面に形成した接続穴に挿入する
ので、差圧センサの入力ポートと分岐エア通路とを気密
性良く連通させることができるとともに、差圧センサの
支持も確実なものとなる。本発明の第３の態様によれ
ば、分岐エア通路を形成した第１，第２のブロックは、
共通の第３ブロックに固定されているから、安定した支
持がなされる。本発明の第４の態様によれば、第３ブロ
ックに共通エア通路を形成して、ブロックの分岐エア通
路に連ねたので、回路構成を簡単にすることができる。

【００４９】本発明の第５の態様によれば、上記第１，
第２ブロックにおいて、上記差圧センサが対峙面に配置
され、上記開閉弁と対峙面と交差する面に配置されてい
るので、比較的短い複数の直線孔により、分岐エア通路
の下流側通路部分を構成することができる。そのため、
これら孔を細くして上記閉鎖系の容積減少に寄与するこ
とができる。本発明の第６の態様によれば、タンクを用
いても、このタンクの装着箇所およびこのタンクと分岐
エア通路を接続する通路の形成に工夫を加えることによ
り、上記閉鎖系の容積を著しく増大させずに済む。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係わるエアリークテス
ト装置の回路図である。

【図２】同エアリークテスト装置を一部断面にして示す
正面図である。

【図３】同エアリークテスト装置の拡大縦断面図であ
る。

【図４】図３においてＩＶ−ＩＶ線に沿う要部断面図で
ある。

【図５】本発明の第２実施形態に係わるエアリークテス
ト装置の要部の断面図である。

【符号の説明】

Ｍ マスタ部品 Ｗ ワーク １ｘ 共通エア通路 １ａ 第１分岐エア通路 １ｂ 第２分岐エア通路 １ａ’，１ｂ’ 上流側通路部分（基端側通路部分） １ａ”，１ｂ” 下流側通路部分（先端側通路部分） ２ 圧縮空気源（テスト圧源） ５ａ，５ｂ 開閉弁（開閉弁） ６ 差圧センサ（圧力センサ） ６ａ，６ｂ 入力ポート ６ｘ 凸部 ７ａ，７ｂ タンク ８ａ，８ｂ 補助開閉弁 ９ａ マスタ用収容空間 ９ｂ ワーク用収容空間 ２０ ベースブロック（第３ブロック） ２０ａ，２０ｂ 貫通孔（先端側通路部分の延長部） ２２ 水平孔（共通エア通路） ４０Ａ マスタ用ブロック（第１ブロック） ４０Ｂ ワーク用ブロック（第２ブロック） ４１ 対峙面 ４２ 接続穴 ４３ 水平孔（第１孔） ４４ 垂直孔（第２孔） ４６ 垂直孔（第３孔） ４６´ 垂直孔（第４孔）

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基端がテスト圧源に接続される共通エア通
   路と、この共通エア通路から分岐する第１，第２の分岐
   エア通路と、これら第１，第２の分岐エア通路にそれぞ
   れ設けられた開閉弁と、これら第１，第２の分岐エア通
   路において上記開閉弁より先端側の通路部分間の差圧を
   検出する差圧センサとを備え、上記第１，第２分岐エア
   通路に、マスタ部品，ワークをそれぞれ接続するか、マ
   スタ部品を収容するマスタ用収容空間，ワークを収容す
   るワーク用収容空間をそれぞれ接続し、上記テスト圧源
   からテスト圧を付与して上記開閉弁を閉じ、この状態で
   上記差圧センサで検出される差圧に基づいてワークの漏
   れを検出するエアリークテスト装置において、 隣合う第１，第２のブロックを備え、これら第１，第２
   ブロックには、上記第１，第２分岐エア通路がそれぞれ
   形成されるとともに、これら第１，第２分岐エア通路を
   開閉する開閉弁がそれぞれ装着されており、 さらに、上記第１，第２ブロックの互いに対峙する面に
   は、第１，第２分岐エア通路の上記先端側通路部分にそ
   れぞれ連なる接続穴が開口しており、 上記差圧センサは、上記第１，第２のブロックの対峙面
   間に挟まれて配置されており、この差圧センサの２つの
   圧力導入ポートが上記第１，第２のブロックの接続穴に
   それぞれ連なっていることを特徴とするエアリークテス
   ト装置。
2. 【請求項２】上記差圧センサが、上記圧力導入ポートが
   開口する一対の凸部を有し、これら凸部が上記第１，第
   ２ブロックの接続穴に挿入されていることを特徴とする
   請求項１に記載のエアリークテスト装置。
3. 【請求項３】さらに、第３のブロックを備え、この第３
   ブロックの一つの面には、上記第１，第２ブロックが並
   んで固定されており、この第３ブロックには、上記第
   １，第２分岐エア通路の先端側通路部分の延長部をなす
   直線状の貫通孔が形成されていることを特徴とする請求
   項１または２に記載のエアリークテスト装置。
4. 【請求項４】上記第３ブロックには更に上記共通エア通
   路が形成され、この共通エア通路は、上記第１，第２分
   岐通路の先端側通路部分の延長部と交わらずに第１，第
   ２ブロックの第１，第２分岐通路に連なることを特徴と
   する請求項３に記載のエアリークテスト装置。
5. 【請求項５】上記開閉弁は、上記第１，第２ブロックに
   おいて上記対峙面と直交する面に装着され、 上記第１，第２ブロックには、上記接続穴から上記対峙
   面と直交して直線的に延びる第１孔と、この第１孔と直
   交して直線的に延び上記第３ブロックの貫通孔に連なる
   第２孔と、第１孔と直交して直線的に延び、上記開閉弁
   を装着した面に開口して、この開閉弁により開閉される
   第３孔とが形成され、これら第１，第２，第３孔によ
   り、上記分岐エア通路の先端側通路部分が構成されてい
   ることを特徴とする請求項３または４に記載のエアリー
   クテスト装置。
6. 【請求項６】上記第１，第２ブロックには、上記開閉弁
   の装着面に開閉弁と並んでタンクが装着されるととも
   に、このタンク内に補助開閉弁が収容され、 さらに上記第１，第２ブロックには、上記第１孔と直交
   して直線的に延び、上記タンクを装着した面に開口して
   上記補助開閉弁により開閉される第４孔が形成されてい
   ることを特徴とする請求項５に記載のエアリークテスト
   装置。