JP2001027358A - 位置検出機能付きパイロット式切換弁 - Google Patents

位置検出機能付きパイロット式切換弁

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 弁部材を駆動するためのピストンを介して該
弁部材の動作位置を検出することができる、位置検出機
能付きパイロット式切換弁を得る。 【解決手段】 スプール6の一端に当接するピストン1
2aの、パイロット圧力室13aから遮断された呼吸室
9側に位置する部分に、位置検出用のマグネット21を
取り付け、このマグネット21と対応するケーシング4
の部分に、該マグネット21からの磁気を検出する磁気
センサー21を取り付ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、マグネットを利用
してスプールなどの弁部材の動作位置を検出できるよう
にした位置検出機能付きパイロット式切換弁に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】マグネットを利用してスプールの切換動
作を監視できるようにしたパイロット式切換弁は、例え
ば実公平7−31021号公報に開示されているように
すでに公知である。この切換弁は、スプールの両端にパ
イロット流体圧を受圧するためのピストンをそれぞれ備
えていて、これらのピストンに作用するパイロット流体
圧によりスプールを切り換えるもので、一方のピストン
にマグネットを取り付けると共に、ケーシングの該マグ
ネットと対応する位置に磁束の変化を検出する検出コイ
ルを取り付け、上記マグネットがピストンと一緒に移動
したときの磁束の変化によって検出コイルに発生する誘
導電圧の大きさから、ピストン即ちスプールの移動速度
を検出し、それが正常であるかどうかということを判断
するものである。
【0003】しかしながら、上記従来の切換弁は、上記
マグネットをピストン端面の圧力室内に露出する位置に
取り付けているため、該マグネットがパイロット流体と
直接接触することになり、このパイロット流体中に水分
や化学ミストが含まれていたり、金属粉のような磁性体
の微細粒子等が含まれていたりすると、それらと接触す
ることによってマグネットが錆びたり腐食したり微細粒
子を吸着するといったような問題を生じ易く、磁力の低
下による検出精度の低下や摺動不良等を引き起こし易い
という欠点があった。
【0004】また、上記切換弁は、マグネットの移動に
伴う磁束の変化によって検出コイルに誘導電圧を発生さ
せ、この誘導電圧の大きさからスプールの移動速度を検
出してその移動速度が正常であるかどうかということを
判定するもので、スプールの動作位置を検出することは
できなかった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の主要な技術的
課題は、弁部材を駆動するためのピストンを介して該弁
部材の動作位置を検出することができる、位置検出機能
付きパイロット式切換弁を提供することにある。
【0006】本発明の他の技術的課題は、上記切換弁に
おいて、位置検出用のマグネットをピストンに取り付け
るに当たり、該マグネットがパイロット流体と接触する
のを防止して該パイロット流体による影響を受けないよ
うにし、安定した検出精度と動作特性とを維持すること
にある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の切換弁によれば、弁部材の一端に設けられ
たピストンに位置検出用のマグネットが取り付けられ、
このマグネットと対応するケーシング部分に、該マグネ
ットからの磁気を検出する磁気センサーが取り付けられ
る。上記マグネットが取り付けられるピストン上の位置
は、該ピストンの一側の、弁部材端面との間に区画され
た呼吸室側の部分である。この呼吸室は、ピストンの反
対側にあるパイロット圧力室とは、該ピストンの外周の
ピストンパッキンによって気密に遮断されていて、パイ
ロット流体が流入しないようになっている。
【0008】上記構成を有する本発明の切換弁は、パイ
ロット圧力室に供給されるパイロット流体により上記ピ
ストンが駆動され、このピストンを介して弁部材が切り
換えられる。そして、上記ピストンと一緒に移動するマ
グネットからの磁束密度が磁気センサーにより検出さ
れ、マグネットの移動に伴う磁束密度の変化によってピ
ストンの動作位置すなわち弁部材の動作位置が検出され
る。
【0009】ここで、上記マグネットをピストンの呼吸
室側の位置に取り付けたので、該マグネットがパイロッ
ト流体と直接接触することがなく、このため、パイロッ
ト体中に水分や化学ミストあるいは金属粉のような磁性
体粒子等が含まれていたとしても、マグネットが錆びた
り腐食したり微細粒子を吸着したりすることによって磁
力低下を来したり、吸着した微細粒子による動作不良等
を生じることがなく、安定した性能を維持することがで
きる。
【0010】本発明の一つの具体的な実施形態によれ
ば、上記マグネットがピストンの外周に設けられると共
に、上記磁気センサーが、ケーシング内におけるピスト
ンの外周に近接する部分に設けられている。
【0011】本発明の他の具体的な実施形態によれば、
上記ピストンの弁部材との対向面に収容室が形成され、
この収容室内に上記マグネットがピストンの受圧面に近
接して位置するように取り付けられ、ケーシングにおけ
る該受圧面と対向する位置に上記磁気センサーが設けら
れている。
【0012】本発明の更に他の具体的な実施形態によれ
ば、切換弁が2つのピストンと2つのパイロット弁とを
有するダブルパイロット式の切換弁であって、2つのパ
イロット弁がケーシングの一端側に集中的に設けられ、
ケーシングの他端側において一方のピストンと該ケーシ
ングとに上記マグネットと磁気センサーとが設けられて
いる。
【0013】本発明においては、少なくともマグネット
を有するピストンは弁部材に連結することができる。
【0014】本発明において好ましくは、上記磁気セン
サーが、マグネットからの磁気をピストンの全ストロー
クにおいて検出可能なるように設置されることにより、
マグネットの変移に伴う磁束密度の変化からピストンの
全動作位置を検出可能なるように構成されていることで
ある。
【0015】これにより、ピストンすなわち弁部材のス
トローク端の位置だけでなく、ストローク途中の位置ま
で知ることができるため、ストローク開始からストロー
ク終了までの弁部材の位置と動作時間との関係から、該
弁部材が正常に動作したかどうかといったようなことを
判別回路によって簡単に判別することができ、この結
果、故障前に予防処置を施すことが可能となって、故障
や事故による作業系統の長時間の運転停止等を未然に防
ぐことができる。
【0016】
【発明の実施の形態】図1は本発明に係る切換弁の第1
実施例を示すもので、ここに例示された切換弁は、1つ
のパイロット弁2で主弁1を切り換えるシングルパイロ
ット式の切換弁である。
【0017】上記主弁1は、5ポート弁としての構成を
有するもので、非磁性体素材からなるケーシング4を含
んでいる。このケーシング4は、直方体状をした第1部
材4aと、その一端に連結されてパイロット弁2を取付
けるためのアダプターを兼ねる第2部材4bと、他端に
連結されてエンドカバーとして機能する第3部材4cと
からなっている。
【0018】上記第1部材4aの上下何れか一方の面に
は、供給ポートPと2つの排出ポートE1,E2とが設
けられ、他方の面には2つの出力ポートA,Bが設けら
れ、第1部材4aの内部には、これらの各ポートが軸線
方向に並んで開口する弁孔5が設けられ、この弁孔5内
に、流路切換用の弁部材である非磁性体素材からなるス
プール6が摺動自在に収容されている。
【0019】上記スプール6の外周には、上記各ポート
間を結ぶ流路同士を相互に区画するための複数のシール
部材7が設けられると共に、スプール6の両端部外周
に、該スプール6の端部が臨む呼吸室9と弁孔5内の作
動流体の流路との間を遮断する端部シール部材8がそれ
ぞれ設けられている。図中10は、スプール6の摺動を
安定化させるためのガイドリングである。
【0020】一方、上記第2部材4b及び第3部材4c
には、スプール6の両端が臨む位置にピストン室11
a,11bがそれぞれ形成されている。第2部材4bに
形成された第1ピストン室11aは大径で、その中には
大径の第1ピストン12aが摺動自在に収容されてお
り、一方の第3部材4cに形成された第2ピストン室1
1bは上記第1ピストン室11aより小径で、その中に
は小径の第2ピストン12bが摺動自在に収容されてい
る。これらのピストン12a,12bはそれぞれ、第2
ピストン12bで代表的に示すようにスプール6の端面
に当接させるか、又は、第1ピストン12aで代表的に
示すようにスプール6と一体に連結されていて、該スプ
ール6と同期して移動するようになっている。ピストン
をスプール6に連結する場合、図示の例では、ピストン
12aに設けたフック14aをスプール6の外周の係止
溝14bに係合させているが、その連結方法は問わな
い。
【0021】そして、上記各ピストン12a,12bの
背面側、即ちスプール6に当接している面とは反対側の
部分には、それぞれ第1及び第2の圧力室13a,13
bが形成され、各ピストン12a,12bとスプール6
との間には、それぞれ外部に開放する呼吸室9,9が形
成されており、これらの圧力室13a,13bと呼吸室
9,9との間は、上記ピストン12a,12bの外周に
取り付けられたピストンパッキン15,15で気密に遮
断されている。
【0022】また、大径の第1ピストン12a側に位置
する上記第1圧力室13aは、パイロット流路16a,
16bにより手動操作機構17及び上記パイロット弁2
を介して上記供給ポートPに連通し、小径の第2ピスト
ン12b側に位置する第2圧力室13bは、パイロット
流路16cを通じて上記供給ポートPに常時連通してい
る。
【0023】そして、上記パイロット弁2がオフの状態
にあって第1圧力室13aにパイロット流体が供給され
ていないときは、第2圧力室13bに供給されているパ
イロット流体圧により第2ピストン12bが押されるた
め、スプール6は図1に示すように左側に移動した第1
切換位置にある。この状態から上記パイロット弁2がオ
ンとなって第1圧力室13aにパイロット流体が供給さ
れると、2つのピストン12a,12bの受圧面積の差
により、第1ピストン12aに作用する流体圧作用力の
方が第2ピストン12bに作用する流体圧作用力より大
きいため、スプール6はこの第1ピストン12aに押さ
れて右側に移動し、第2切換位置に切り換わる。
【0024】また上記手動操作機構17は、操作子17
aを押し下げることによりパイロット流路16a,16
b同士を直接接続させて、第1圧力室13aを供給ポー
トPに連通させるもので、その操作状態はパイロット弁
2がオンになった場合と同じである。
【0025】なお、上記パイロット弁2は、ソレノイド
への通電によってパイロット流路を開閉する電磁操作式
のパイロット弁であって、その構成及び作用は公知のも
のと同じであるため、その具体的な説明は省略する。
【0026】上記切換弁には、スプール6の動作位置を
検出するための位置検出機構20が設けられている。こ
の位置検出機構20は、図2からも分かるように、何れ
か一方のピストン(図示の例では第1ピストン12a)
に取り付けられたマグネット21と、ケーシング4側に
取り付けられて該マグネット21からの磁気を検出する
磁気センサー22とからなるもので、上記マグネット2
1がピストン12aと一緒に移動するときの磁束密度の
変化を磁気センサー22で検出し、その増減からピスト
ン12a即ちスプール6の動作位置を検出するものであ
る。
【0027】上記マグネット21は、合成樹脂や合成ゴ
ムのような軟質の弾性基材中に、磁性を持つ金属粉末を
混合して、円周の一部に切欠を有するリング状に形成し
たもので、上記ピストン12aの外周の、ピストンパッ
キン15よりも呼吸室9側に寄った位置に取り付けられ
ている。即ち、ピストン12aの外周に形成された取付
溝23内に、リング状をした該マグネット21を弾力的
に拡径した状態で嵌め込むことにより、上述した位置に
取り付けられている。
【0028】この場合、マグネット21の厚さを取付溝
23の深さよりも僅かに小さく形成することにより、該
マグネット21の外周面がピストン12aの外周面より
低い位置にあってピストン室11bの内周面に摺接しな
いようにしておくことが望ましく、これにより、マグネ
ット21の摺接によるピストン12aの摺動抵抗の増加
を防止することができるだけでなく、このマグネット2
1が大気中の磁性微細粒子を若干吸着したとしても、そ
れがピストン12aの摺動に悪影響を及ぼすのを防ぐこ
とができる。
【0029】また、このように上記マグネット21を、
ピストン12aの外周の呼吸室9側の位置に取り付ける
ことにより、該マグネット21がパイロット流体と直接
接触するのを防ぐことができるため、該パイロット流体
中に水分や化学ミストあるいは金属粉のような磁性体粒
子等が含まれていたとしても、該マグネット21がそれ
らと接触して錆びたり腐食したりあるいは磁性体粒子を
吸着したりするようなことがなく、磁力の低下による位
置検出精度の低下や、吸着した微細粒子によるピストン
12aの動作不良等を生じることがない。
【0030】一方、上記磁気センサー22は、ケーシン
グ4の第2部材4bに形成された収容室25内に、マグ
ネット21からの磁気をスプール6の全ストロークにお
いて検出できるように、該マグネット21に近接して取
り付けられている。即ちこの磁気センサー22は、ピス
トン12aが何れか一方のストローク端にある場合にマ
グネット21と最も近接して最大の磁束密度を検出し、
ピストン12aが他方のストローク端にある場合にマグ
ネット21から離れて最小の磁束密度を検出するような
位置に設けられている。
【0031】上記磁気センサー22は、リード線26を
通じて図示しない判別回路に接続され、磁束密度に応じ
た検出信号をこの判別回路に出力するようになってい
る。この判別回路には、ピストン12a(従ってスプー
ル6)が正常に動作したときの各動作位置と磁束密度、
動作時間、流体圧力との相互関係など、位置検出に必要
なデータが予め入力されており、磁気センサー22から
の検出信号が入力されると、上記データーに基づいてピ
ストン12aの両ストローク端の位置やストローク中の
各位置などが計測されると共に、ストローク開始からス
トローク終了までのピストン12aの位置と動作時間と
の関係から、該ピストン12a従ってスプール6の動作
が正常であったか否かといったようなことも判別できる
ようになっている。これにより、故障前にその前兆を検
知して予防処置を施すことが可能となり、故障や事故等
の発生により機器の運転を長時間停止するといったよう
な事態を未然に防ぐことができる。なお、検出されたピ
ストン12aの動作位置や動作時間等は、ディスプレイ
装置に数値やグラフ等で表示することができる。
【0032】上記実施例では、1つの磁気センサー22
を設けているが、2つの磁気センサーをピストン12a
の両方のストローク端においてそれぞれマグネット21
と対向する位置に設置することもできる。この場合、ピ
ストン12aが一方のストローク端にある場合は、一方
の磁気センサーが最大の磁束密度を検出して、他方の磁
気センサーが最小の磁束密度を検出し、ピストン12a
他方のストローク端にある場合はその逆になるように、
2つの磁気センサーとマグネットとの位置関係を設定す
ることにより、2つの磁気センサーが検出する磁束密度
の変化の関係からスプール6の動作位置を知ることがで
きる。
【0033】また、上記実施例では、マグネット21を
ピストン12aの外周に取り付けているが、ピストンの
他の場所に取り付けることもできる。図3には、マグネ
ットの取り付け方法が異なる本発明の第2実施例が、パ
イロット弁を2つ有するダブルパイロット式切換弁によ
り代表的に示されている。
【0034】この第2実施例の切換弁は、2つのパイロ
ット弁2a,2bと2つの手動操作機構17a,17b
とを有していて、2つのパイロット弁2a,2bがケー
シング4の一端側(第1ピストン12a側)に集中的に
取り付けられている。また、2つのピストン12a,1
2bは互いに同じ大きさを有して、スプール6に一体に
連結されることなく、該スプール6の端面に当接してい
る。更に、第1圧力室13aがパイロット流路30a、
30bにより第1パイロット弁2a及び第1手動操作機
構17aを介して供給ポートPに連通し、第2圧力室1
3bがパイロット流路30a,30cにより第2パイロ
ット弁2b及び第2手動操作機構17bを介して供給ポ
ートPに連通している。
【0035】上記切換弁は、2つのパイロット弁2a,
2bで第1圧力室13aと第2圧力室13bとにパイロ
ット流体を交互に供給することにより、2つのピストン
12a,12bを駆動してスプール6を切換えるもので
ある。
【0036】上記切換弁においては、位置検出機構20
が、2つのパイロット弁2a,2bが設けられている側
とは反対側である第2ピストン12b側に設けられてい
る。即ち、図4及び5からも分かるように、上記第2ピ
ストン12bには、スプール6との当接面側から受圧面
に向けて軸線方向に延びる収容室31が形成され、この
収容室31の内底部にマグネット21が、上記受圧面に
近接して位置するように取り付けられている。これに対
してケーシング4の第3部材4cには、上記第2ピスト
ン12bの受圧面と対向する壁面部分の裏側の位置に、
該第2部材4bの下面側から上面側に向けて取付溝32
が形成され、この取付溝32内に磁気センサー22が挿
入されて、ねじ33で固定されている。そして、上記第
2ピストン12bの移動によりマグネット21が磁気セ
ンサー22に接近したり遠ざかったりするときの磁束密
度の変化を、上記磁気センサー22で検出するようにな
っている。
【0037】第2実施例の上記以外の構成及び作用ある
いは好ましい変形例等については、実質的に第1実施例
と同じであるため、それらの説明は省略する。
【0038】上記各実施例における位置検出機構20
は、上述したようにピストンの移動に伴う磁束密度の変
化から該スプール6の全動作位置を検出する方式ではな
く、スプール6の両ストローク端で磁気センサーをオン
・オフさせることによって該スプール6の両ストローク
端だけを検出する方式のものであっても良い。
【0039】また、上記第1実施例では、シングルパイ
ロット式切換弁として、大小2つのピストン12a,1
2bを備えたものが示されているが、小径の第2ピスト
ン12bの代わりに復帰ばねを設け、この復帰ばねの付
勢力でスプール6を常時復帰方向に付勢するスプリング
リターンタイプのものであっても良いことは当然であ
る。
【0040】
【発明の効果】以上に詳述したように、本発明によれ
ば、位置検出用のマグネットをピストンに取り付けるこ
とにより、該ピストンを介して該弁部材の動作位置を検
出することができる。しかもその際、上記マグネットを
ピストンの呼吸室側に位置する部分に取り付けることに
より、該マグネットがパイロット流体と接触するのを防
止することができるため、該パイロット流体中に水分や
化学ミストあるいは金属粉のような磁性体粒子等が含ま
れていたとしても、該マグネットがそれらと接触して錆
びたり腐食したりあるいは磁性体粒子を吸着したりする
ようなことがなく、磁力の低下による位置検出精度の低
下や、吸着した微細粒子によるピストンの動作不良等を
生じることがなく、安定した性能を維持することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る切換弁の第1実施例を示す断面図
である。
【図2】図1の要部拡大図である。
【図3】本発明に係る切換弁の第2実施例を示す部分省
略断面図である。
【図4】図3の要部拡大図である。
【図5】図4の要部拡大断面図である。
【符号の説明】
P,E1 ,E2 ,A,B ポート 2,2a,2b パイロット弁 4 ケーシング 5 弁孔 6 スプール 8 端部シール部材 9 呼吸室 11a,11b ピストン室 12a,12b ピストン 13a,13b 圧力室 20 位置検出機構 21 マグネット 22 磁気センサー 31 収容室

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数のポートと;上記各ポートが開口する
    弁孔と;上記ポート及び弁孔を有するケーシングと;上
    記弁孔内に摺動自在に収容された流路切換用の弁部材
    と;上記弁部材の少なくとも一端側に形成されたピスト
    ン室と;上記ピストン室内に摺動自在に収容され、パイ
    ロット流体圧の作用により作動して上記弁部材を切り換
    えるピストンと;上記ピストンと弁部材との間に区画さ
    れた外部に開放する呼吸室と;上記弁部材の端部外周に
    取り付けられ、弁孔内の作動流体流路と上記呼吸室との
    間を遮断する端部シール部材と;上記ピストンの外周に
    取り付けられ、該ピストンの一側のパイロット圧力室と
    上記呼吸室との間を遮断するピストンパッキンと;1つ
    のピストンの上記ピストンパッキンよりも呼吸室側に位
    置する部分に装着された、該ピストンと一緒に変移する
    マグネットと;上記ケーシングにおけるマグネットに近
    接する位置に設けられ、該マグネットからの磁気を検出
    する少なくとも一つの磁気センサーと;上記パイロット
    圧力室にパイロット流体を供給するパイロット弁と;を
    有することを特徴とする位置検出機能付きパイロット式
    切換弁。
  2. 【請求項2】請求項1に記載の切換弁において、上記マ
    グネットがピストンの外周に設けられると共に、上記磁
    気センサーが、ケーシング内における上記ピストン室の
    外周に近接する部分に設けられていることを特徴とする
    もの。
  3. 【請求項3】請求項1に記載の切換弁において、上記ピ
    ストンにおける弁部材との対向面に収容室が形成され、
    この収容室内に上記マグネットがピストンの受圧面に近
    接して位置するように取り付けられ、ケーシングにおけ
    る該受圧面と対向する位置に上記磁気センサーが設けら
    れていることを特徴とするもの。
  4. 【請求項4】請求項1から3の何れかに記載の切換弁に
    おいて、該切換弁が、2つのピストンと2つのパイロッ
    ト弁とを有するダブルパイロット式の切換弁であって、
    2つのパイロット弁がケーシングの一端側に集中的に設
    けられ、ケーシングの他端側において一方のピストンと
    該ケーシングとに上記マグネットと磁気センサーとが設
    けられていることを特徴とするもの。
  5. 【請求項5】請求項1から4までの何れかに記載の切換
    弁において、上記マグネットを有するピストンと弁部材
    とが一体に連結されていることを特徴とするもの。
  6. 【請求項6】請求項1から5までの何れかに記載の切換
    弁において、上記磁気センサーが、マグネットからの磁
    気をピストンの全ストロークにおいて検出可能なるよう
    に設置されていて、マグネットの変移に伴う磁束密度の
    変化からピストンの全動作位置を検出可能なるように構
    成されていることを特徴とするもの。
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US09/593,490 US6220284B1 (en) 1999-07-12 2000-06-14 Pilot operated directional control valve having position detecting function
EP20000305300 EP1069318B1 (en) 1999-07-12 2000-06-23 Pilot operated directional control valve having position detecting function
DE60015020T DE60015020T2 (de) 1999-07-12 2000-06-23 Vorgesteuertes Wegeventil mit Lage-Erfassender Funktion
KR10-2000-0038843A KR100378436B1 (ko) 1999-07-12 2000-07-07 위치검출기능을 가진 파일럿식 스위칭밸브
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202017105347U1 (de) 2016-09-05 2017-09-19 Smc Corporation Geschwindigkeitsauswahlventil

Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3590762B2 (ja) * 2000-09-05 2004-11-17 Smc株式会社 位置検出機能を備えたマニホールドバルブ
JP3609331B2 (ja) * 2000-09-12 2005-01-12 Smc株式会社 位置検出機能を備えたマニホールドバルブ
JP3696075B2 (ja) * 2000-10-06 2005-09-14 Smc株式会社 磁気センサー付き切換弁
JP3637282B2 (ja) * 2001-01-15 2005-04-13 Smc株式会社 磁気センサ付き電磁弁
DE10118163B4 (de) * 2001-04-11 2007-04-19 Robert Bosch Gmbh Brennstoffeinspritzventil
JP2003184826A (ja) * 2001-12-14 2003-07-03 Smc Corp 位置表示機構付き流体圧機器
JP3968647B2 (ja) * 2002-06-11 2007-08-29 Smc株式会社 位置検出機構を備えたマニホールドバルブ
US20050011556A1 (en) * 2003-06-17 2005-01-20 Mariusz Dudzik Spool position detection for a hydraulic valve
FI114735B (fi) * 2003-07-03 2004-12-15 Crane John Safematic Oy Sovitelma keskusvoitelujärjestelmän yhteydessä
US7328719B2 (en) * 2004-08-10 2008-02-12 Ross Operating Valve Company Valve state sensing module
WO2007076750A1 (de) * 2005-12-17 2007-07-12 Luk Lamellen Und Kupplungsbau Beteiligungs Kg Verfahren zur montage einer ventileinrichtung und ventileinrichtung
CN101427106B (zh) * 2006-03-28 2012-02-22 诺格伦有限责任公司 用于连杆的位移传感器
CN101737525B (zh) * 2008-11-10 2011-11-09 费斯托(中国)有限公司 阀装置
EP2228576B1 (de) * 2009-03-10 2010-12-08 FESTO AG & Co. KG Ventileinrichtung
WO2010141132A2 (en) 2009-04-28 2010-12-09 Sikorsky Aircraft Corporation Proximity sensor valve and lock system using same
US8939173B2 (en) * 2010-07-14 2015-01-27 Mac Valves, Inc. Stepper motor operated balanced flow control valve
DE102011107452B4 (de) * 2011-07-07 2024-03-21 Tox Pressotechnik Gmbh & Co. Kg Ventil zur Steuerung einer hydropneumatischen Vorrichtung zur Druckübersetzung sowie hydropneumatische Vorrichtung zur Druckübersetzung mit einem Ventil
CN102913634B (zh) * 2012-10-31 2014-05-14 海门市油威力液压工业有限责任公司 大流量数字双闭环二通插装式比例节流阀
JP5938839B2 (ja) * 2014-02-10 2016-06-22 Smc株式会社 電磁パイロット式スプール弁
CN106104014B (zh) * 2014-03-13 2018-03-30 海德罗诺威什公司 多端口流体切换阀门
DE102016102388A1 (de) * 2016-02-11 2017-08-17 Hoerbiger Automatisierungstechnik Holding Gmbh Proportionalventil
JP6507140B2 (ja) * 2016-11-08 2019-04-24 Ckd株式会社 電磁弁
DE102017208177A1 (de) * 2017-05-16 2018-11-22 Robert Bosch Gmbh Anordnung
CN111201396A (zh) * 2017-11-29 2020-05-26 株式会社富士金 阀、阀的异常诊断方法以及计算机程序
CN112673202A (zh) * 2018-09-07 2021-04-16 Smc株式会社 滑阀
EP3623643A1 (en) * 2018-09-14 2020-03-18 Ratier-Figeac SAS Actuator
JP7254505B2 (ja) * 2018-12-26 2023-04-10 ナブテスコ株式会社 作動流体監視センサ及び流体圧駆動装置
DE102020124541A1 (de) * 2020-09-21 2022-03-24 Woco Industrietechnik Gmbh Stellventilpositionserfassung
JP2022092363A (ja) * 2020-12-10 2022-06-22 住友重機械工業株式会社 スプール型流量制御弁およびその製造方法
DE102021210500A1 (de) * 2021-09-21 2023-03-23 Festo Se & Co. Kg Ventilanordnung und Verfahren

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55124663U (ja) * 1979-02-24 1980-09-04
JPH01150812A (ja) * 1987-12-08 1989-06-13 Nippon Seiko Kk 変位検出装置
JPH0449279U (ja) * 1990-08-31 1992-04-27
JPH04131509A (ja) * 1990-09-19 1992-05-06 Koganei Ltd 流体圧作動機器の位置検出装置
JPH05240209A (ja) * 1991-12-18 1993-09-17 Moog Controls Inc 流体サーボ弁
JPH062782A (ja) * 1992-06-18 1994-01-11 Asahi Organic Chem Ind Co Ltd 空気圧作動バルブ
JPH0654125B2 (ja) * 1986-10-22 1994-07-20 フェスト コマンディト ゲゼルシャフト ピストン/シリンダ組立体
EP0631057A1 (de) * 1993-06-23 1994-12-28 Firma Carl Freudenberg Dichtung für einen pneumatisch angetrieben Kolben
JPH0731021Y2 (ja) * 1988-12-26 1995-07-19 エヌオーケー株式会社 電磁弁装置
JPH0886380A (ja) * 1994-09-13 1996-04-02 Smc Corp パイロット形弁
JPH1073181A (ja) * 1996-08-30 1998-03-17 Ckd Corp 弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁
JPH1096404A (ja) * 1996-08-01 1998-04-14 Smc Corp 切換弁用圧力調節弁
EP0844425A1 (en) * 1996-11-19 1998-05-27 ISI Norgren, Inc. Valve spool position detector apparatus

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3598360A (en) 1969-08-27 1971-08-10 Richdel Solenoid valve
DE1958149C3 (de) 1969-11-19 1979-08-23 Christian 7119 Ingelfingen Buerkert Tauchanker-Hubmagnet sowie Verfahren zu seiner Herstellung
JPS6127137Y2 (ja) 1981-01-08 1986-08-13
JPH0288079A (ja) 1988-09-26 1990-03-28 Teijin Ltd 呼吸用気体供給装置
US5326070A (en) 1993-05-24 1994-07-05 Borg-Warner Automotive, Inc. Solenoid valve
JP2927646B2 (ja) 1993-07-12 1999-07-28 日立電線株式会社 複導体送電線用スペーサ通過型吊金車
JP3778623B2 (ja) * 1996-07-29 2006-05-24 Smc株式会社 逆流防止弁付き切換弁
TW347882U (en) * 1996-08-01 1998-12-11 Smc Corp Pressure-control valve mounted on a base-mount selector valve
US5687698A (en) 1996-08-29 1997-11-18 General Motors Corporation Exhaust gas recirculation valve

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55124663U (ja) * 1979-02-24 1980-09-04
JPH0654125B2 (ja) * 1986-10-22 1994-07-20 フェスト コマンディト ゲゼルシャフト ピストン/シリンダ組立体
JPH01150812A (ja) * 1987-12-08 1989-06-13 Nippon Seiko Kk 変位検出装置
JPH0731021Y2 (ja) * 1988-12-26 1995-07-19 エヌオーケー株式会社 電磁弁装置
JPH0449279U (ja) * 1990-08-31 1992-04-27
JPH04131509A (ja) * 1990-09-19 1992-05-06 Koganei Ltd 流体圧作動機器の位置検出装置
JPH05240209A (ja) * 1991-12-18 1993-09-17 Moog Controls Inc 流体サーボ弁
JPH062782A (ja) * 1992-06-18 1994-01-11 Asahi Organic Chem Ind Co Ltd 空気圧作動バルブ
EP0631057A1 (de) * 1993-06-23 1994-12-28 Firma Carl Freudenberg Dichtung für einen pneumatisch angetrieben Kolben
JPH0886380A (ja) * 1994-09-13 1996-04-02 Smc Corp パイロット形弁
JPH1096404A (ja) * 1996-08-01 1998-04-14 Smc Corp 切換弁用圧力調節弁
JPH1073181A (ja) * 1996-08-30 1998-03-17 Ckd Corp 弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁
EP0844425A1 (en) * 1996-11-19 1998-05-27 ISI Norgren, Inc. Valve spool position detector apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202017105347U1 (de) 2016-09-05 2017-09-19 Smc Corporation Geschwindigkeitsauswahlventil

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