JP2001015533A - ペレットボンディング装置及びその装置に用いられるペレット取出し機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明は、設置場所の省スペース化を可能
としたペレットボンディング装置の提供を図る。 【解決手段】 ペレット５の搬送途中に、ペレット５を
反転搬送する搬送機構１６を配置するとともに、ペレッ
ト取出し機構１５によるペレット搬送の移動距離長さ
（ストローク長）を切替え選択可能となるように構成し
た。従って、ペレット取出し機構１５は、ペレット５を
テーブル９に搬送する場合と、搬送機構１６を介してテ
ーブル９に搬送する場合とで、ボンディング機構１１で
吸着されるペレット５の上下面が異なり、ワイヤボンデ
ィングによりリードフレームに接続される場合と、フリ
ップチップボンディングのように基板電極に直接接続す
る場合を兼用することができ、製造ラインの省スペース
化を図ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体装置の製
造等において使用されるペレットボンディング装置及び
その装置に好適なペレット取出し機構の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】ペレットボンディング装置は、半導体装
置（デバイス）の製造等において採用され、ダイシング
による半導体ウエハの分離により形成されたペレットを
１個ずつ取出し、リードフレーム等に順次ボンディング
（搭載）するように構成されている。

【０００３】ペレットは、チップあるいはダイス（ｄｉ
ｃｅ）とも称され、従来は、図６に示すように構成され
たペレットボンディング装置によりリードフレームに搭
載されていた。

【０００４】すなわち、図６は従来のペレットボンディ
ング装置の概略構成を示した要部外観図で、まず、ウエ
ハリングカセット１に収納されたウエハリング２は、供
給機構３により、電極部を含む回路素子形成面を上にし
て１個ずつ取出され、順次ウエハステージ４上に搬送載
置される。

【０００５】ウエハステージ４は下部にＸ−Ｙ−θテー
ブル４１を有しており、ウエハステージ４上のペレット
５の位置は、ウエハ認識カメラ６により撮像され、その
撮像画像信号は制御器７に供給される。そこで制御器７
は、撮像画像信号に基づくパターン認識により予め定め
た基準位置との位置ずれ量を算出し、そのずれ量が零と
なるようにＸ−Ｙ−θテーブル４１を制御する。

【０００６】このようにしてウエハステージ４上で位置
決めされたペレット５は、ペレット取出し機構８の吸着
ノズル８ａに順次１個ずつ吸着される。ペレット取出し
機構８は、吸着ノズル８ａが上下（Ｚ）方向に往復動可
能なアーム８ｂの先端部に取り付けられ、そのアーム８
ｂは回転軸８ｃを中心にして水平（θ）方向に回動自在
に構成されており、吸着されたペレット５は次のテーブ
ル９上に搬送される。

【０００７】テーブル９は、水平（θ）方向に回転自在
に構成され、載置されたペレット５を吸着し、その向き
を変えることができる。すなわち、テーブル９の上方に
は検出カメラ１０が配置され、検出カメラ１０による撮
像画像信号が制御器７に供給され、制御器７は検出した
ペレット５の位置（Ｘ−Ｙ−θ方向）ずれ量のうち、回
転（θ）方向の位置ずれ量を補正すべくテーブル９のモ
ータ９ａを制御する。

【０００８】また、制御器７が検出したペレット５の位
置（Ｘ−Ｙ−θ方向）ずれ量のうち、Ｘ−Ｙ方向（水平
座標軸上での方向）での位置ずれ量は、次のボンデイン
グ機構１１における吸着ノズル１１ａの位置決め補正信
号として、ボンディング機構１１のＸ−Ｙテーブル１１
ｂに供給される。

【０００９】従って、電極部を含む回路素子形成面を上
にして搬送された各ペレット５は、Ｘ−Ｙテーブル１１
ｂによるペレット５の位置決め補正を経て、リードフレ
ーム１２のアイランド（ダイパット）上にボンディング
される。

【００１０】なお、リードフレーム１２は、不図示のリ
ードフレームストッカから、搬送レール１３上に順次供
給されて搬送されており、リードフレーム１２のアイラ
ンド面には、ペレット５のボンディングに先立ち、塗布
機構１４によりペースト状の接着剤が塗布される。ま
た、上記のようにしてペレット５がボンディングされた
各リードフレーム１２は、搬送レール１３の終端部にお
いて、不図示のマガジンに順次収納され、その後、ペレ
ット５表面の電極部とリードフレーム１２のインナリー
ドとの間に金ワイヤ等の導電性ワイヤによりワイヤボン
ディングが施され、半導体装置が製造される。

【００１１】なお、図６では省略してあるが、ウエハス
テージ４をはじめ、ペレット取出し機構８、テーブル９
及びボンディング機構１１にはそれぞれウエハリング２
あるいはペレット５を吸着するノズル孔が形成されてお
り、これら各ノズル孔はいずれも吸引ポンプに接続さ
れ、ウエハリング２やペレット５等の各受け渡しのタイ
ミングに合わせた吸着動作が行われるように構成されて
いる。

【００１２】ところで、上記ペレットボンディング装置
では、テーブル９を経由して搬送されたペレット５が、
電極部等の回路素子形成面を上にした状態で、リードフ
レーム１２上に搭載され、ワイヤボンディングされるも
のとして説明した。

【００１３】しかしながら、最近のノート・パソコンや
携帯型ワープロ、あるいは液晶表示装置等の印刷配線基
板に搭載される半導体装置の中には、より高密度実装を
図る目的で、ペレット５の電極側をリードフレーム１２
のリードあるいは印刷配線基板上の電極部に直接接続す
るいわゆるフリップチップボンディング（実装）も採用
されるようになった。

【００１４】従って、フリップチップボンディングを実
施するためには、ペレット５の電極部が形成された面が
下方となるようにボンディングを行う必要があるので、
ペレット５の搬送途中に表裏を反転させる機構を備え
た、図６に示した構成とは異なるペレットボンディング
装置が使用される。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、対象物
がワイヤボンディング用のペレットか、フリップチップ
ボンディング用のペレットかによって、従来は機能構造
の異なるペレットボンディング装置が使い分けされてい
た。

【００１６】しかしながら、半導体装置製造組立てのペ
レットボンディングの工程において、予め若干機能構造
が異なるペレットボンディング装置を複数台併設配置す
ることは、製造ラインの省スペース化を著しく損なうの
で改善が要望されていた。

【００１７】そこで、第１の発明は、コンパクトな構成
により、１台（単体）でワイヤボンディング用のペレッ
トボンディング機能と、フリップチップボンディング用
のペレットボンディング機能と合わせ有し、必要に応じ
て切替え使用可能なペレットボンディング装置を提供す
ることを目的とする。

【００１８】また、第２の発明は、ペレット取出し搬送
時の移動距離（ストローク）長さを切替え可能な構成と
し、第１の発明によるペレットボンディング装置に好適
なペレット取出し機構を提供することを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】そこで第１の発明は、ペ
レットボンディング装置において、ペレットが載置され
たステージと、このステージに載置された前記ペレット
を吸着して搬送するペレット取出し機構と、前記ペレッ
ト取出し機構で搬送された前記ペレットを、必要に応じ
て選択的に、かつ前記吸着の面とは反対側の面で吸着し
て受け取り、反転して引き渡すように構成された搬送機
構と、この搬送機構または前記ペレット取出し機構で搬
送された前記ペレットを受け取り載置するテーブルと、
このテーブル上に載置された前記ペレットを吸着搬送
し、リードフレーム等の上にボンディングするボンディ
ング機構とを具備することを特徴とする。

【００２０】このように第１の発明は、ペレットボンデ
ィング装置において、搬送機構を設け、必要に応じて選
択的に、ペレットを反転させてテーブル上に引き渡し得
るように構成したので、異なる機能のペレットボンディ
ング操作の選択を一部構成の単なる切替え操作により実
現でき、製造ラインの省スペース化を図ることができ
る。

【００２１】第２の発明は、ペレット取出し機構におい
て、一方の先端部にペレット吸着ノズルを備え、中間部
を回転中心軸にして水平方向に回動可能に構成された回
動アームと、この回動アームに一端部を回動自在に連結
した第１のアームとこの第１のアームの他端部に連結点
を有しその連結点において回動自在に連結された第２の
アームとによりリンク機構を形成するとともに、前記第
２のアームをカムの回転により往復動させるように構成
された第１駆動部と、前記回動アームの前記回転中心軸
部に一端部を遊嵌させ、中間部を中心軸にして上下方向
に回動自在に構成された駆動アームと、この駆動アーム
をカムの回転により上下方向に往復動させるように構成
された第２駆動部とを有し、前記第１駆動部は、前記連
結点位置の移動により、前記回動アーム往復動の移動距
離長さを変化させるように構成されたことを特徴とす
る。

【００２２】このように第２の発明は、ペレット取出し
機構において、ペレットを吸着した回動アームに、第１
のアームと第２のアームとによるリンク機構を採用し、
第１のカムの回転により往復動させるように第１駆動部
を構成したので、第１のアームと第２のアームとの間の
連結点の位置を第２アームの長手方向において変更する
ことにより、回動アームの水平方向の移動距離長さを容
易に変えることができ、例えば上記第１の発明のペレッ
トボンディング装置に採用して、装置全体の簡易化を図
ることができる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明によるペレットボン
ディング装置及びその装置に用いられるペレット取出し
機構の一実施の形態を図１ないし図５を参照して詳細に
説明する。なお、図６に示した従来のペレットボンディ
ング装置と同一構成には同一符号を付し詳細な説明は省
略する。

【００２４】すなわち、図１は本発明によるペレットボ
ンディング装置の一実施の形態を示した概略構成図であ
る。

【００２５】図１において、電極部を含む回路素子形成
面を上にしてウエハリングカセット１に収納されたウエ
ハリング２は、供給機構３により１個ずつ取出され、ウ
エハステージ４上に搬送載置される。ウエハステージ４
上のペレット５の位置は、ウエハ認識カメラ６による撮
像画像信号に基づいて、制御器７により求められ、Ｘ−
Ｙ−θテーブル４１の移動によって補正される。

【００２６】ウエハステージ４上で位置決めされたペレ
ット５は、ペレット取出し機構１５の吸着ノズル１５ａ
に順次１個ずつ吸着され、テーブル９またはペレット受
取り位置に位置付けられた搬送機構１６のペレット吸着
部１６ａ上に移送される。

【００２７】ペレット取出し機構１５は、図２（ａ）に
その平面を拡大して示したように、吸着ノズル１５ａを
一端部に固定して中間部Ｐにおいて本体１５ｂの支軸Ｏ
に関してスライド自在、かつ回転自在に支持された回動
アーム１５ｃと、この回動アーム１５ｃを支軸Ｏを中心
に水平（θ）方向（水平方向）に回動駆動させる第１駆
動部１５ｄと、回動アーム１５ｃを上下方向に往復駆動
させる第２駆動部１５ｅとで構成されている。

【００２８】すなわち、図２（ａ）のＡ−Ａ矢視断面図
である図２（ｂ）にも示されたように、く字状の回動ア
ーム１５ｃの他端部には、第１駆動部１５ｄを形成する
リンク機構の第１のアーム１５ｄａの一端部が回動自在
に連結されており、この第１のアーム１５ｄａの他端部
は連結点Ｌにおいて第２のアーム１５ｄｂに回動自在に
連結されている。第２のアーム１５ｄｂは、モータ１５
ｄｃにより回転するカム１５ｄｄの作動を受け、支点Ｓ
を中心にして矢印Ｘ方向に往復動可能に構成されてい
る。なお、第２のアーム１５ｄｂは、コイルばね１５ｄ
ｅにより付勢され、常にカム１５ｄｄ面を押圧するよう
に構成されている。

【００２９】また、図２（ａ）のＢ−Ｂ矢視側面図を図
２（ｃ）に示したように、回動アーム１５ｃ中間部Ｐの
外側面には水平（θ）方向に沿ってガイド溝１５ｃａが
形成されており、第２駆動部１５ｅの駆動アーム１５ｅ
ａの先端部が、このガイド溝１５ｃａに案内されつつ摺
動可能となるように構成されている。

【００３０】この第２駆動部１５ｅは、中間部でコイル
ばね１５ｅｂにより上方向に向け付勢されており、他端
部側は本体１５ｂとの間で回動自在に構成された回転軸
ｑを経て、カム１５ｅｃに当接するように構成されてい
る。従って、モータ１５ｅｄによる駆動力によりカム１
５ｅｃが回転すると、駆動アーム１５ｅａは図示ｚ方向
（上下方向）に往復動するので、ペレット吸着ノズル１
５ａを先端部に固定した回動アーム１５ｃは図示上下
（Ｚ）方向に往復動作を行う。

【００３１】このように、ペレット取出し機構１５は、
第１及び第２駆動部１５ｄ，１５ｅにおける各カム１５
ｄｄ，１５ｅｃの回転動作により、吸着ノズル１５ａを
上下（Ｚ）及び水平（θ）方向への往復動を行い、吸着
したペレット５を搬送移動する。

【００３２】また、図２に示したこの実施の形態におけ
るペレット取出し機構１５は、第１駆動部１５ｄにおい
て、第１のアーム１５ｄａと第２のアーム１５ｄｂとの
間の連結点Ｌの位置調整によって、第１アーム１５ｄａ
のＸ方向への往復の移動距離長さを変えることができ
る。

【００３３】すなわち、図３に、図２（ｂ）に対応した
側面図を示して説明するように、第１駆動部１５ｄにお
いて、リンク機構を形成した第１のアーム１５ｄａと第
２のアーム１５ｄｂとの第１の連結点Ｌ１では、図３
（ａ）に示したように、カム１５ｄｄの回転により、第
２のアーム１５ｄｂが実線で示す位置から破線で示す位
置まで変化し、往復移動距離長さＸ１の往復動が得られ
るのに対し、図３（ｂ）に示したように、連結点Ｌを第
２のアーム１５ｄｂの支点ｓ側により近い第２の連結点
Ｌ２に移動した場合は、その往復移動距離長さＸ２のよ
うにより短いものとなる。つまり、連結点Ｌの位置切替
えによって、回動アーム１５ｃの水平（θ）方向の往復
移動距離長さ（Ｘ）、すなわちペレット５搬送移動の移
動距離長さ（ストローク長）の切替えが可能となる。

【００３４】連結点Ｌの位置の切替えは作業員が必要に
応じて行うようにしても良く、また、第１駆動部１５ｄ
を図４に示すように、第２のアーム１５ｄｂをモータ１
５ｄｂａにより回転するボールねじ１５ｄｂｂで構成
し、この第２のアーム１５ｄｂに第１のアーム１５ｄａ
を螺合させ、モータ１５ｄｂａの回転により、結合点Ｌ
の位置をＺ方向に変え、回転アーム１５ｃの往復移動距
離長さを切替えるように構成しても良い。

【００３５】また、第１駆動部を図４に示した構成を採
用し、モータ１５ｄｂａを図１に示した制御器７により
制御し、プログラム制御によりペレット５の搬送移動距
離長さを切替え操作するように接続構成することによ
り、ペレット取出し機構１５の切替え操作の自動化が図
られ、作業員による切替え操作の手間を省略することが
できる。

【００３６】いずれにしても、この実施の形態における
ペレット取出し機構１５は、ペレット５を吸着して取出
した後の水平（θ）方向への搬送移動距離長さ（ストロ
ーク長）を必要に応じて切替可能に構成されている。

【００３７】そこで次に、図１に示したように、ペレッ
ト取出し機構１５により吸着搬送されたペレット５は、
従来と同様に、テーブル９に載置可能に構成されるとと
もに、ペレット取出し機構１５における搬送移動距離長
さの切替え操作に対応して、テーブル９とウエハステー
ジ４との間に配置した搬送機構１６のペレット５の受取
り位置に位置付けられた吸着部１６ａに受け渡され、こ
の搬送機構１６の反転操作を介してテーブル９に移送さ
れるように構成した。

【００３８】すなわち、搬送機構１６は、モータ１６ｂ
によってＬ字状のアーム１６ｃを回転させるように構成
されるとともに、その先端部に吸着部１６ａを設けたも
ので、この搬送機構１６は、ペレット取出し機構１５か
ら搬送されるペレット５を、図５にも示すように、まず
テーブル９と同じ高さのペレット受取り位置に位置付け
た吸着部１６ａで受取り吸着し、破線で示したように、
アーム１６ｃを高さｈだけ上昇させた後、モータ１６ｂ
によりアーム１６ｃを矢印Ｒ方向に１８０度回転させ、
ペレット５をテーブル９の上に反転載置するように構成
されている。

【００３９】なお、アーム１６ｃの上昇高さｈを、アー
ム１６ｃの１８０度回転後のペレット５下面がテーブル
９載置面よりも若干高めになる高さに設定し、アーム１
６ｃの反転後、その位置から低速度でアーム１６ｃを下
降させてペレット５をテーブル９上に載置しても良く、
この場合には、ペレット５がテーブル９に当接する際の
衝撃を和らげることができ、当接時にペレット５の回路
パターンが損傷することを防止できる。

【００４０】ペレット５をテーブル９上に移送した後の
搬送機構１６は、上記と反対の手順で、矢印Ｒとは反対
方向に１８０度回転させ、かつ高さｈだけ降下させるこ
とにより再びペレット５の搬送待ち受け状体に戻るよう
に構成されている。

【００４１】なお、アーム１６ｃを高さｈ上昇させてい
るのは、反転後のペレット５の下面と、テーブル９の載
置面とをほぼ同じ高さにするためであるから、アーム１
６ｃの上昇動作と反転動作とを同時に合わせて行うよう
に制御しても良い。

【００４２】いずれにしても、この実施の形態では、吸
着部１６ａ上のペレット５が、吸着部１６ａ上への受取
り時の高さ位置と、反転してテーブル９上へ移送した時
の高さ位置とがほぼ等しくなるように搬送機構１６が構
成されることが望ましい。従って、上記構成以外に、例
えば、アーム１６ｃの回転軸と吸着部１６ａとの間をＵ
字状あるいはＬ字状のアームで連結し、回転軸の位置を
吸着部１６ｃの吸着面の位置と一致させたり、さらに吸
着部１６ａ自体が高さ方向に若干上下移動可能な構成を
付加させた構成を採用することにより、搬送機構１６を
アーム１６ｃの高さｈ方向への上下動を省略した構成と
することができる。

【００４３】このように、テーブル９及び搬送機構１６
はいずれもペレット取出し機構１５からのペレット５を
受け取るものであるが、ペレット取出し機構１５からの
ペレット５をいずれが受け取るかは、ペレット５のボン
ディングの向きが上向きか下向きか、すなわち、ペレッ
ト５がワイヤボンディング用かあるいはフリップチップ
ボンディング用かに対応して切替え操作されるものであ
り、その切替え操作に対応して第１駆動部１５ｄにおけ
る連結点Ｌの位置が選択される。

【００４４】つまり、ペレット５は、ペレット取出し機
構１５による搬送距離長が短く、搬送機構１６を経由し
てテーブル９に搬送されたときには、ペレット５は表裏
反転され、電極部を下にしてテーブル９上に載置され、
他方、搬送距離長が長く、テーブル９上に直接載置され
た場合は、図６に示した構成のペレットボンディング装
置と同様に、電極部を上にしてテーブル９上に載置さ
れ、以後、検出カメラ１０による撮像画像を基に、回転
（θ）方向の位置決め調整が行われる。

【００４５】このようにして、選択的な切替え操作によ
り、電極部を含む回路素子形成面を上、または下にして
ボンディング機構１１の吸着ノズル１１ａに吸着された
ペレット５は、図６に示した装置と同様に、位置決め補
正されつつ、搬送レール１３上のリードフレーム１２あ
るいは基板等に搭載される。

【００４６】このとき、リードフレーム１２は、リード
フレーム検出カメラ１８が撮像したリードフレーム１２
上の位置決めマークあるいはリードパターンの撮像画像
信号をもとに制御器７にてＸ−Ｙ方向の位置ずれ量が検
出されている。そして、制御器７は、ペレット５のＸ−
Ｙ方向の位置ずれに加え、リードフレーム１２のＸ−Ｙ
方向の位置ずれをも補正するごとくボンディング機構１
１の吸着ノズル１１ａを移動制御する。

【００４７】なお、この実施の形態においては、図１に
示すように、テーブル９とボンディング機構１１との間
の下方に撮像カメラ１７を配置し、ボンディング機構１
１により搬送されるペレット５の位置決め用マークある
いは回路パターンを下方から撮影してその撮像画像信号
を制御器７に供給するので、ペレット５のより高精度な
ボンディングを行うことができる。

【００４８】すなわち、フリップチップボンディングを
行う際、検出カメラ１０によるステージ９上でのペレッ
ト５の位置検出は、回路パターンが形成されていないペ
レット５裏面側から行わなければならないので、ペレッ
ト５の外形に基づく位置検出を強いられる。しかしなが
ら、ペレット５の外形に対する回路パターンの配置位置
は、ダイシング時の切断位置のばらつきの影響を受ける
ことから、必ずしも一定位置に配設されるとは限らない
ので、ペレット５の外形に基づく位置決めはダイシング
時の切断位置のばらつきを含んだものとなり、ペレット
５の電極とリードフレーム１２との位置決め精度の高精
度化には限界がある。そこで、撮像カメラ１７を用い
て、ペレット５表面に形成された位置決め用マークある
いは回路パターンを直接撮像し、その撮像画像を基にペ
レット５の位置ずれを補正することで、ダイシングによ
る切断位置のばらつきの影響を受けることなく、位置決
め精度を向上させることができる。

【００４９】また、この実施の形態では、ペレット５
は、ウエハリング２のペレット５としてウエハステージ
４上に載置されるものとして説明したが、本発明はペレ
ット５の搬送に係るものであるから、ペレット５が必ず
しもウエハステージ４上に直接載置されている必要はな
く、例えばウエハステージ４のトレイ上に配列載置され
ていても良い。

【００５０】いずれにしても、上記説明のように、この
発明は、１台のペレットボンディング装置が、上下方向
の向きを選択的に切替えてペレットを搬送するので、半
導体装置や実装基板の製造組立てラインに採用して、製
造組立て作業の効率化と大幅な省スペース化が図られる
ものであり、実用上顕著な効果を得ることができる。

【００５１】

【発明の効果】第１の発明によれば、ペレットボンディ
ング装置は、搬送機構を設け、必要に応じて選択的に、
ペレットを反転させてテーブル上に引き渡し得るように
構成されたので、簡単な切替え操作により、１台で複数
種のペレットボンディングへの対応が可能となり、製造
ラインの省スペース化を図ることができる。

【００５２】第２の発明によれば、ペレット取出し機構
を、ペレットを吸着した回動アームに、第１のアームと
第２のアームとによるリンク機構を採用し、第１のカム
の回転により往復動させるように第１駆動部を構成した
ので、第１のアームと第２のアームとの間の連結点の位
置変更のみで、回動アームの水平方向の移動距離長さを
容易に変えることができ、例えば上記第１の発明のペレ
ットボンディング装置に採用して、装置全体の簡易化を
図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明によるペレットボンディング装置の一
実施の形態を示す概略構成図である。

【図２】図２（ａ）は、図１における装置のペレット取
出し機構の平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ−Ａ矢
視断面図、図２（ｃ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ矢視側面図
である。

【図３】図３（ａ）は図２（ｂ）示す第１駆動部の詳細
動作説明図、図３（ｂ）は図３（ａ）示す第１駆動部の
連結点を移動した詳細動作説明図である。

【図４】図２及び図３に示したぺレット取出し機構の第
１駆動部の他の例を示す側面図である。

【図５】図１に示す装置の搬送機構の動作説明図であ
る。

【図６】従来のペレットボンディング装置を示す要部外
観図である。

【符号の説明】

１ ウエハリングカセット ２ ウエハリング ３ 供給機構 ４ ウエハステージ ５ ペレット ６ ウエハ認識カメラ ７ 制御器 ８ ペレット取出し機構 ９ テーブル １０ 検出カメラ １１ ボンデイング機構 １２ リードフレーム １５ ペレット取出し機構 １５ａ 吸着ノズル部 １５ｂ 本体 １５ｃ 回動アーム １５ｄ 第１駆動部 １５ｄａ 第１のアーム １５ｄｂ 第２のアーム １５ｄｄ カム １５ｅ 第２駆動部 １５ｅａ 駆動アーム １５ｅｃ カム １５ｄｂｂ ボールねじ １５ｄｃ モータ

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Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ペレットが載置されたステージと、 このステージに載置された前記ペレットを吸着して搬送
   するペレット取出し機構と、 前記ペレット取出し機構で搬送された前記ペレットを、
   必要に応じて選択的に、かつ前記吸着の面とは反対側の
   面で吸着して受け取り、反転して引き渡すように構成さ
   れた搬送機構と、 この搬送機構または前記ペレット取出し機構で搬送され
   た前記ペレットを受け取り載置するテーブルと、 このテーブル上に載置された前記ペレットを吸着搬送
   し、リードフレーム等の上にボンディングするボンディ
   ング機構とを具備することを特徴とするペレットボンデ
   ング装置。
2. 【請求項２】 前記ペレット取出し機構は、前記ペレッ
   トの搬送距離長を、必要に応じて選択的に切替え可能に
   構成され、 前記搬送機構は、前記ステージと前記テーブルとの間に
   配置されたことを特徴とする請求項１記載のペレットボ
   ンディング装置。
3. 【請求項３】 前記搬送機構は、前記ペレットの受取り
   吸着面の高さ位置が前記テーブル上面の高さ位置にほぼ
   一致するように構成されたことを特徴とする請求項１ま
   たは請求項２に記載のペレットボンディング装置。
4. 【請求項４】 前記テーブルと前記ボンディング機構と
   の間に配置された撮像カメラと、 この撮像カメラにより撮像された前記ペレット底面の画
   像信号に基づいて、前記ボンディング機構を制御するよ
   うに構成された制御器とを具備することを特徴とする請
   求項１ないし請求項３のうちのいずれか１項に記載のペ
   レットボンディング装置。
5. 【請求項５】 一方の先端部にペレット吸着ノズルを備
   え、中間部を回転中心軸にして水平方向に回動可能に構
   成された回動アームと、 この回動アームに一端部を回動自在に連結した第１のア
   ームとこの第１のアームの他端部に連結点を有しその連
   結点において回動自在に連結された第２のアームとによ
   りリンク機構を形成するとともに、前記第２のアームを
   カムの回転により往復動させるように構成された第１駆
   動部と、 前記回動アームの前記回転中心軸部に一端部を遊嵌さ
   せ、中間部を中心軸にして上下方向に回動自在に構成さ
   れた駆動アームと、この駆動アームをカムの回転により
   上下方向に往復動させるように構成された第２駆動部と
   を有し、 前記第１駆動部は、前記連結点位置の移動により、前記
   回動アームの往復動の移動距離長さを変化させるように
   構成されたことを特徴とするペレット取出し機構。
6. 【請求項６】 前記第１駆動部は、前記第２のアームを
   ボールねじで構成し、このボールねじに前記第１のアー
   ムの端部を螺合させ、前記ボールねじの回転動作に対応
   して前記連結点位置が移動するように構成されたことを
   特徴とする請求項５記載のペレット取出し機構。
7. 【請求項７】 前記ボールねじは、モータにより駆動制
   御されるように構成されたことを特徴とする請求項６記
   載のペレット取出し機構。