JP2001012650A

JP2001012650A - 真空用ゲートバルブ

Info

Publication number: JP2001012650A
Application number: JP11188154A
Authority: JP
Inventors: Kazuyoshi Shimoda; 田一喜下; Yoshinobu Nakamura; 村義信中
Original assignee: BARUKAA SEIKI KK; Nippon Valqua Industries Ltd; Nihon Valqua Kogyo KK
Current assignee: BARUKAA SEIKI KK; Nippon Valqua Industries Ltd; Nihon Valqua Kogyo KK
Priority date: 1999-07-01
Filing date: 1999-07-01
Publication date: 2001-01-16

Abstract

(57)【要約】【課題】コンパクトで、しかも十分なシール接触面積
を有し、そのため、一定の締めつけ圧力によって確実に
シールすることができるシール性能が極めて良好な、特
に真空加工処理装置などに好適に用いることができる真
空用ゲートバルブを提供する。【解決手段】弁体が弁体用開口部を下方に移動して第
１シール座面に第１当接面が着座した状態で、シール部
材の第１の帯状シール部分および第２の帯状シール部分
と弁体の第１装着溝の底部の接触点がそれぞれ、帯状シ
ール部分の断面円の中心よりも内方に位置するようにす
るとともに、第１シール座面のテーパ状の傾斜面に、接
触点を中心に、帯状シール部分の断面円の直径を半径と
した円弧状の凹部を形成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空室と外部雰囲気と
の間、または真空室相互間に設けられる真空用ゲートバ
ルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】シリコンウェハなどの半導体製造、薄膜
製造、液晶製造などにおいては、クリーンな環境下、高
い真空中で、イオンプレーティング、プラズマエッチン
グなどのワークの加工、処理などが行われている。この
ために使用する真空装置では、予備室に一旦ワークを搬
入して、予備室内を所定の真空度にした後、加工室、処
理室などへワークを順次搬入して、加工、処理などが行
われるように構成されている。また、これらの予備室
と、加工室、処理室などの間の搬出入口には、高い密
封、気密性を有する真空用ゲートバルブが設けられてお
り、加工室、処理室の真空度、クリーン条件が一定に維
持されるようになっている。

【０００３】このような用途に使用される真空用ゲート
バルブは、図９〜図１２に示したような構造を有してい
る。すなわち、真空用ゲートバルブ１００は、一対の短
側壁１０５と一対の長側壁１０６とを備えた箱形状の弁
箱本体１０２を有しており、その長側壁１０６を貫通し
て略矩形状のゲート開口部１０８が形成されている。ま
た、弁箱本体１０２内に構成される空間部の内壁を構成
する四側壁から内方に向かって、前記空間部を上方空間
部１１０と下方空間部１０４とに区画する受座隔壁１１
４が延設されている。受座隔壁１１４の長手側の内壁部
分１１６、１１８から弁箱本体１０２の内側底壁１２０
にいたる略Ｕ字状区間のシール座面１２２が形成されて
いる。また、この真空用ゲートバルブ１００では、ゲー
ト開口部１０８に対して垂直方向に連続して形成された
弁体用開口部１２４を介して、上下方向に移動可能な弁
体１３０を備えている。

【０００４】弁体１３０は、図１０〜図１２に示したよ
うに、アルミあるいはＳＵＳなどの金属からなる弁体本
体１３１と、図１３〜図１４に示したように、この弁体
本体１３１に装着されフッ素ゴムなどからなる弾性体か
らなるシール部材１３３とから構成されている。弁体本
体１３１は、長形の円盤状に形成された基端部１３２と
その下方に延出して形成された板状部１４０とから構成
されている。このように形成された弁体本体１３１に、
図１２〜図１４に示したようなシール部材１３３が装着
される。

【０００５】シール部材１３３は、２本の直線部が略平
行に延び両端部が環状に結ばれた第１シール部分１３８
と、この第１シール部分１３８の両端部から略Ｕ字状に
垂下して延出された第２シール部分１４６とから構成さ
れている。このようなシール部材１３３が弁体本体１３
１に装着された弁体１３０を、受座隔壁１１４内の弁体
用開口部１２４を介して下方に降下させると、第１シー
ル部分１３８および第２シール部分１４６が、それぞれ
受座隔壁１１４の傾斜した第１シール座面１３９および
略Ｕ字状に連続して形成された第２シール座面１２２に
当接することにより、ゲート開口部１０８を閉鎖するよ
うに構成されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、最近では、
コンパクト化ならびにコスト低減を目的として、マルチ
チャンバー方式と呼ばれる真空加工処理装置が開発され
ている。このマルチチャンバー方式に用いられる真空加
工処理装置２００は、図１５に示したように、中央に設
けた共通真空室２０２の周囲に複数のそれぞれ別の加
工、処理を実施するための真空室２０４〜２０９が設け
られ、これらの真空室と共通真空室２０２との間に、上
記したような真空用ゲートバルブ１００が設けられてい
る。そして、共通真空室２０２に設けられたロボット２
１２を介して、ウェハーなどの被処理材料Ｄを各真空室
にゲートバルブ１００を介して出し入れして処理するよ
うになっている。そして、処理し終わった被処理材料Ｄ
は、出し入れ用真空室２１１を介して、真空貯蔵カセッ
ト２１４に収納されるようになっている。

【０００７】この場合、半導体ウェハや液晶などのサイ
ズの大型化に伴い、真空用ゲートバルブのゲート開口部
の形状が円形のものから、矩形状などの大口径のものが
用いられ、弁体自体も大型化している。そのため、弁体
のシール面積が大きくなり、片側の部屋を真空にし、他
方の側を大気圧にするなど約１気圧の圧力差で使用する
場合においては、弁体に作用する力が大きくなってい
る。

【０００８】このため、通常では、弁体が圧力差によっ
て押さえつけられる側を真空側とし、押さえつける側を
大気側となるように予め設計された真空用ゲートバルブ
を用いているが、弁体を弁座に対して押さえつける圧力
にはシール材の締め代が限定されているため限度がある
ため、開口部のシール面積が小さい場合には対処が可能
であったが、このような大型化に伴って、シール圧力が
不足することとなってシール性能が低下するおそれがあ
った。

【０００９】すなわち、上記したような従来の真空用ゲ
ートバルブ１００では、図１１及び図１６に示したよう
に、弁体本体１３１に装着された弁体１３０を、受座隔
壁１１４内の弁体用開口部１２４を介して下方に降下さ
せ、シール部材１３３の第１シール部分１３８が受座隔
壁１１４の傾斜した第１シール座面１３９に当接する際
には、押しつけ圧力によって、第１シール部分１３８が
押し潰されることによって、第１シール座面１３９との
接触部１５０におけるシール接触面積が大きくなり、こ
れによってシール性を確保するようになっている。

【００１０】しかしながら、従来の真空用ゲートバルブ
１００では、押しつけ圧力によるシール部材１３３の第
１シール部分１３８の押し潰し量が比較的小さいので、
第１シール座面１３９との接触部１５０におけるシール
接触面積が小さく、そのままでは、真空、超真空などの
過酷な条件で用いるにはシール性が良好でない。そのた
め、従来では、弁体１３０を上下に駆動するエアーシリ
ンダーなどの駆動機構の駆動力、すなわち、押し付け圧
力を増大することにより対処している。

【００１１】しかしながら、シール材の締め代が限定さ
れているため限度があるとともに、エアーシリンダーな
どの駆動機構の駆動力を増大するためには、弁体１３０
とエアーシリンダーなどの駆動機構とのシャフトなどの
接続部の剛性を上げなければならず、そのため機械も大
型化してしまうこととなっていた。本発明はこのような
実情に鑑み、コンパクトで、しかも十分なシール接触面
積を有し、そのため、一定の締めつけ圧力によって確実
にシールすることができるシール性能が極めて良好な、
特に真空加工処理装置などに好適に用いることができる
真空用ゲートバルブを提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、前述した課題
および目的を達成するために発明なされたものであっ
て、本発明の真空用ゲートバルブは、長側壁と短側壁と
を備えた箱形状の弁箱本体の長側壁を貫通するように形
成されたゲート開口部と、前記弁箱本体内に構成される
空間部の内壁を構成する四側壁から内側に延設され、前
記空間部を上方空間部と下方空間部とに区画するととも
に、その上面に前記ゲート開口部に対して略垂直方向で
かつ傾斜した第１シール座面を形成する受座隔壁と、前
記受座隔壁の長手側の両端内壁部分から内側下方に傾斜
してゲート開口部の底面との間に連続して形成された第
２シール座面と、前記受座隔壁の内方に形成された弁体
用開口部を介して上下移動可能であり、上方から最下方
位置に至るまで移動することにより前記第１シール座面
および前記第２シール座面に着座する一方、最下方位置
から上方に移動することにより前記第１シール座面およ
び前記第２シール座面から離反する弁体とを備え、前記
弁体は、前記第１シール座面に当接する第１当接面並び
に前記第２シール座面に当接する縦方向の第２当接面と
を備えた弁体本体と、この弁体本体の第１当接面に形成
された略水平方向に広がる第１装着溝および第２当接面
に形成された略縦方向に広がる第２装着溝との間に装着
されるシール部材とから構成され、前記シール部材は、
前記第１当接面と密に当接され、両端部が連結された第
１の帯状シール部分および第２の帯状シール部分と、こ
れら第１の帯状シール部分および第２の帯状シール部分
に連結されて前記第２当接面と密に当接される第３の帯
状シール部分との連結体で構成されており、また前記弁
体に形成された前記第１当接面は、下方に近づくに従っ
て内方に傾斜してテーパ状に形成され、かつこの第１当
接面に当接する前記第１シール座面も内方に傾斜したテ
ーパ状に形成されており、前記弁体が前記弁体用開口部
を下方に移動して前記第１シール座面に前記第１当接面
が着座した状態で、前記シール部材の第１の帯状シール
部分および第２の帯状シール部分と弁体の第１装着溝の
底部の接触点がそれぞれ、前記帯状シール部分の断面円
の中心よりも内方に位置するようにするとともに、前記
第１シール座面のテーパ状の傾斜面に、前記接触点を中
心に、前記帯状シール部分の断面円の直径を半径とした
円弧状の凹部が形成され、前記弁体が前記弁体用開口部
を下方に移動して前記第１シール座面に前記第１当接面
が当接するときに、テーパ状の斜面に案内されて着座す
ることを特徴とする。

【００１３】このような構成とすることによって、弁体
が弁体用開口部を下方に移動して、第１シール座面に、
弁体に形成された第１当接面が当接するときに、これら
の面が相補的なテーパ状斜面となっているので、テーパ
状の斜面に案内されて着座することになるが、この際、
テーパ効果によって、当該斜面間に剪断力が生じて、確
実にシール効果を達成することができる。

【００１４】また、シール部材の第１の帯状シール部分
および第２の帯状シール部分と弁体の第１装着溝の底部
の接触点がそれぞれ、帯状シール部分の断面円の中心よ
りも内方に位置するので、弁体が弁体用開口部を下方に
移動して、第１シール座面に、弁体に形成された第１当
接面が当接するときに、下方への押圧方向が接触角度だ
け外側へ偏位することになる。

【００１５】しかも、第１シール座面のテーパ状の傾斜
面に、前記接触点を中心に、帯状シール部分の断面円の
直径を半径とした円弧状の凹部が形成されているので、
剪断力が生じて、帯状シール部分の断面円が円弧状の凹
部内で大きく外側に押し潰されて、接触が大きくなるの
で、第１シール座面へのシール性が極めて良好となる。

【００１６】従って、このような構成による本発明によ
れば、シール接触面積を十分に確保でき、シール性が極
めて良好であり、しかも、装置全体の大きさをコンパク
トに抑えることができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下図面に基づいて本発明の実施
例を説明する。図１は、本発明の一実施例に係る真空用
ゲートバルブの部分断面図、図２は、図１に示した真空
用ゲートバルブの閉弁状態を示すＡ−Ａ線方向の要部概
略断面図、図３は、図１に示した弁箱本体の要部斜視図
である。

【００１８】真空用ゲートバルブ１０は、箱形状の弁箱
本体１２と、その上部に設けられた駆動ボックス１４と
から構成されている。弁箱本体１２は、図３に示したよ
うに、長側壁１１、１３と短側壁１８、２０とを備えた
箱状に形成されている。弁箱本体１２内には、その内壁
を構成する四側壁から内側に受座隔壁２６が延設され、
この受座隔壁２６により、内部の空間が下方空間部３０
と上方空間部２８とに区画されている。また、下方空間
部３０を貫通して、対向する長側壁１１、１３に略矩形
状のゲート開口部２２、２４を備えている。

【００１９】この受座隔壁２６の上面部は内方にテーパ
状に傾斜しており、この上面部が第１シール座面３２を
構成している。この第１シール座面３２は、ゲート開口
部２２、２４に対して略垂直方向に形成されている。ま
た、この受座隔壁２６によって、水平方向のゲート開口
部２２、２４に対して垂直方向に弁体用開口部３４が形
成されている。また、下方空間部３０の底面および長手
側の両端内壁部分に渡って略Ｕ字状の第２シール座面４
４が形成されている。

【００２０】なお、第１シール座面３２のテーパ状の傾
斜面３２ａのテーパ角度としては、５〜２０°、好まし
くは、８〜１０°とするのが、後述するように剪断力が
発生してシール部材５８のシール接触面積を増大させ
て、シール性を確保するためには望ましい。一方、弁体
用開口部３４を介して、上下方向に移動可能な弁体４６
を備えている。この弁体４６は、図４に示したように、
形成されている。すなわち、ＳＵＳあるいはＡｌなどの
金属から形成された弁体本体５７と、この弁体本体５７
に装着されフッ素樹脂などから形成されるシール部材５
８とから構成されている。弁体本体５７は、上方から見
て長方形状で、かつ長手方向両端部が傾斜してなる弁体
基端部５０と、該弁体基端部５０の下面に延出された板
状部５６とから構成されている。なお、板状部５６は、
図３に示した弁箱本体１２の弁体用開口部３４を介して
下方空間部３０内に挿入される部分である。

【００２１】弁体本体５７の弁体基端部５０の下面に
は、図２に示したように、斜め上方にに傾斜した第１当
接面２５、２５が形成されている。また、板状部５６の
側面には、略Ｕ字状に第２当接面２７が形成されてい
る。なお、これら第１当接面２５および第２当接面２７
は、第１シール座面３２および第２シール座面４４に対
応してそれぞれ内方にテーパ状状に傾斜して形成されて
いる。また、この第１当接面２５は弁箱本体１２の第１
シール座面３２に当接し、第２当接面２７は弁箱本体１
２の第２シール座面４４に当接するものである。

【００２２】さらに、この弁体本体５７の弁体基端部５
０の下面には、環状の第１装着溝３５が形成されてい
る。また、板状部５６の側面に略Ｕ字状の第２装着溝３
６が形成されている。これらの装着溝３５、３６内にシ
ール部材５８が装着される。一方、シール部材５８は、
フッ素樹脂などの柔軟な素材から一体的に形成されてい
る。このシール部材５８は、図４および図５に示したよ
うに、上方に２本、下方１本延びる３本の帯状シール部
分５９、６０、６１とから構成されている。これらの帯
状シール部分は、直線状に延びる中央部ａと、この中央
部ａの両端部から内側にＲ（アール）が形成されるよう
に、湾曲して形成された裾部ｂとから構成されている。
また、これらは、連結部６２、６３により連結されてい
る。すなわち、このシール部材５８は、図５（ａ）、
（ｂ）に示したように、中央位置Ａから第１の帯状シー
ル部分５９および第２の帯状シール部分６０を上方に、
第３の帯状シール部分６１を下方に、それぞれ引っ張っ
たような形状であり、換言すれば中央位置Ａから上下方
向に略対称形状になっている。

【００２３】このように形成されたシール部材５８で
は、上方の第１、２の帯状シール部分５９、６０と、下
方の第３の帯状シール部分６１との間に、大きな空間部
Ｓを確保することができる。本実施例では、このように
形成されたシール部材５８が弁体本体５８に装着されて
いる。

【００２４】また、図６に示したように、弁体４６が弁
体用開口部３４を下方に移動して、第１シール座面３２
に第１当接面２５が着座した状態で、シール部材５８の
第１の帯状シール部分５９と、弁体４６の第１装着溝３
５の底部３５ａの接触点Ｐが、帯状シール部分５９の断
面円の中心Ｍよりも内方に位置するように構成されてい
る。

【００２５】さらに、この場合、第１シール座面３２の
テーパ状の傾斜面３２ａに、接触点Ｐを中心に、第１の
帯状シール部分５９の断面円の直径Ｒを半径とした円弧
状の凹部７０が形成されている。同様に、シール部材５
８の第２の帯状シール部分６０と、弁体４６の第１装着
溝３５の底部３５ａの接触点Ｐがそれぞれ、帯状シール
部分６０の断面円の中心Ｍよりも内方に位置するように
構成されるとともに、第１シール座面３２のテーパ状の
傾斜面３２ａに、接触点Ｐを中心に、第２の帯状シール
部分６０の断面円の直径Ｒを半径とした円弧状の凹部７
０が形成されている。

【００２６】なお、このような構成については、図７に
示したように、シール部材５８の連結部６２、６３にお
いても同様である。すなわち、弁体４６が弁体用開口部
３４を下方に移動して、第１シール座面３２に第１当接
面２５が着座した状態で、シール部材５８の連結部６２
（６３）と、弁体４６の第１装着溝３５の底部３５ａの
接触点Ｐが、帯状シール部分５９の断面円の中心Ｍより
も内方に位置するように構成されている。

【００２７】さらに、この場合、第１シール座面３２の
テーパ状の傾斜面３２ａに、接触点Ｐを中心に、第１の
帯状シール部分５９の断面円の直径Ｒを半径とした円弧
状の凹部７０が形成されている。このように構成される
ことによって、シール部材５８の第１の帯状シール部分
５９および第２の帯状シール部分６０と弁体４６の第１
装着溝３５の底部３５ａの接触点Ｐがそれぞれ、帯状シ
ール部分５９、６０の断面円の中心よりも内方に位置す
るので、弁体４６が弁体用開口部３４を下方に移動し
て、第１シール座面３２に、弁体４６に形成された第１
当接面２５が当接するときに、下方への押圧方向が接触
角度θだけ外側へ偏位することになる。

【００２８】しかも、第１シール座面３２のテーパ状の
傾斜面３２ａに、接触点Ｐを中心に、帯状シール部分５
９、６０の断面円の直径Ｒを半径とした円弧状の凹部７
０が形成されているので、剪断力Ｓが生じて、帯状シー
ル部分５９、６０の断面円が円弧状の凹部７０内で大き
く外側に押し潰されて、接触が大きくなるので、第１シ
ール座面３２へのシール性が極めて良好となる。

【００２９】なお、この場合、接触点Ｐが、帯状シール
部分５９の断面円の中心Ｍよりも内方に位置する距離Ｌ
としては、０．５〜５ｍｍ、好ましくは、１．０〜２．
０ｍｍとするのが、シール性能の向上の点からすれば望
ましい。また、接触角度θとしては、５〜２０°、好ま
しくは、８〜１０°とするのが、シール性能の向上の点
からすれば望ましい。

【００３０】一方、シール部材５８は、フッ素樹脂など
の柔軟な素材から一体的に形成されている。このシール
部材５８は、図４および図５に示したように、上方に２
本、下方１本延びる３本の帯状シール部分５９、６０、
６１とから構成されている。これらの帯状シール部分
は、直線状に延びる中央部ａと、この中央部ａの両端部
から内側にＲ（アール）が形成されるように、湾曲して
形成された裾部ｂとから構成されている。また、これら
は、連結部６２、６３により連結されている。すなわ
ち、このシール部材５８は、図５（ａ）、（ｂ）に示し
たように、中央位置Ａから第１の帯状シール部分５９お
よび第２の帯状シール部分６０を上方に、第３の帯状シ
ール部分６１を下方に、それぞれ引っ張ったような形状
であり、換言すれば中央位置Ａから上下方向に略対称形
状になっている。

【００３１】このように形成されたシール部材５８で
は、上方の第１、２の帯状シール部分５９、６０と、下
方の第３の帯状シール部分６１との間に、大きな空間部
Ｓが構成される。従って、この真空用ゲートバルブ１０
が、図１５に示したように、マルチチャンバ方式の真空
加工処理装置２００に用いられているとする。この真空
加工処理装置２００で、図８に示したように従来例の構
造では、大径のウェハを処理しようとする場合、幅方向
にＰの距離を確保しなければ、これよりも幅の狭いＱの
距離で良いことになる。したがって、従来例に比べてシ
ール部材５８ならびに弁体本体５７を小型化することが
できる。また、これを使用する真空加工装置２００の小
型化に寄与することができる。

【００３２】また、シール部材５８がこのような形状に
形成されていても、シール面積は従来例の場合と比べて
同様であるため、十分なシール力を発揮することができ
る。なお、上記実施例では、弁体本体５７の弁体基端部
５０の下面に、斜め上方にに傾斜した第１当接面２５、
２５を形成し、これに対応する形状の第１シール座面３
２とし、さらに、シール部材５８は、図５（ａ）、
（ｂ）に示したように、中央位置Ａから第１の帯状シー
ル部分５９および第２の帯状シール部分６０を上方に、
第３の帯状シール部分６１を下方に、それぞれ引っ張っ
たような形状としたが、図９〜図１２に示した従来のよ
うに、このような形状とすることなく、これらの部分を
平坦な形状とすることも勿論可能である。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る真空
用ゲートバルブによれば、弁体が弁体用開口部を下方に
移動して、第１シール座面に、弁体に形成された第１当
接面が当接するときに、これらの面が相補的なテーパ状
斜面となっているので、テーパ状の斜面に案内されて着
座することになるが、この際、テーパ効果によって、当
該斜面間に剪断力が生じて、確実にシール効果を達成す
ることができる。

【００３４】また、シール部材の第１の帯状シール部分
および第２の帯状シール部分と弁体の第１装着溝の底部
の接触点がそれぞれ、帯状シール部分の断面円の中心よ
りも内方に位置するので、弁体が弁体用開口部を下方に
移動して、第１シール座面に、弁体に形成された第１当
接面が当接するときに、下方への押圧方向が接触角度だ
け外側へ偏位することになる。

【００３５】しかも、第１シール座面のテーパ状の傾斜
面に、前記接触点を中心に、帯状シール部分の断面円の
直径を半径とした円弧状の凹部が形成されているので、
剪断力が生じて、帯状シール部分の断面円が円弧状の凹
部内で大きく外側に押し潰されて、接触が大きくなるの
で、第１シール座面へのシール性が極めて良好となる。

【００３６】従って、このような構成による本発明によ
れば、シール接触面積を十分に確保できるので、一定の
締めつけ圧力によって確実にシールすることができシー
ル性が極めて良好であり、しかも、装置全体の大きさを
コンパクトに抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の一実施例に係る真空用ゲート
バルブの部分断面図である。

【図２】図２は、図１に示した真空用ゲートバルブの閉
弁状態を示すＡ−Ａ線方向の要部概略断面図である。

【図３】図３は、図１に示した弁箱本体の要部斜視図で
ある。

【図４】図４は、弁体の分解斜視図である。

【図５】図５は、本実施例によるシール部材の三面図で
ある。

【図６】図６は、本実施例の作用を示す図２の部分拡大
断面図である。

【図７】図７は、本実施例の作用を示す別の部分拡大断
面図である。

【図８】図８は、本実施例の作用を従来例と比較して示
すシール部材の正面図である。

【図９】図９は、従来の真空用ゲートバルブの正面図で
ある。

【図１０】図１０は、従来の真空用ゲートバルブの部分
断面正面図である。

【図１１】図１１は、従来の真空用ゲートバルブの横断
面図である。

【図１２】図１２は、従来の弁箱本体の部分断面斜視図
である。

【図１３】図１３は、従来のシール部材の正面図であ
る。

【図１４】図１４は、従来のシール部材の上面図であ
る。

【図１５】図１５は、従来のマルチチャンバー方式の真
空加工処理装置を示す概略図である。

【図１６】図１６は、従来の真空用ゲートバルブの作用
を示す部分拡大断面図である。

【符号の説明】

１１、１３長側壁１２弁箱本体１８、２０短側壁２２、２４ゲート開口部２５第１当接面２６受座隔壁２７第２当接面２８上方空間部３０下方空間部３２第１シール座面３２ａ傾斜面３５第１装着溝３５ａ底部３６第２装着溝４４第２シール座面４６弁体５７弁体本体５９第１の帯状シール部分６０第２の帯状シール部分６１第３の帯状シール部分７０凹部ａ中央部ｂ裾部Ｐ接触点

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者中村義信静岡県浜松市新都田一丁目２番４号バルカーセイキ株式会社浜松事業所内Ｆターム(参考） 3H066 AA03 BA17 DA02

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】長側壁と短側壁とを備えた箱形状の弁箱
本体の長側壁を貫通するように形成されたゲート開口部
と、前記弁箱本体内に構成される空間部の内壁を構成する四
側壁から内側に延設され、前記空間部を上方空間部と下
方空間部とに区画するとともに、その上面に前記ゲート
開口部に対して略垂直方向でかつ傾斜した第１シール座
面を形成する受座隔壁と、前記受座隔壁の長手側の両端内壁部分から内側下方に傾
斜してゲート開口部の底面との間に連続して形成された
第２シール座面と、前記受座隔壁の内方に形成された弁体用開口部を介して
上下移動可能であり、上方から最下方位置に至るまで移
動することにより前記第１シール座面および前記第２シ
ール座面に着座する一方、最下方位置から上方に移動す
ることにより前記第１シール座面および前記第２シール
座面から離反する弁体とを備え、前記弁体は、前記第１シール座面に当接する第１当接面
並びに前記第２シール座面に当接する縦方向の第２当接
面とを備えた弁体本体と、この弁体本体の第１当接面に
形成された略水平方向に広がる第１装着溝および第２当
接面に形成された略縦方向に広がる第２装着溝との間に
装着されるシール部材とから構成され、前記シール部材は、前記第１当接面と密に当接され、両
端部が連結された第１の帯状シール部分および第２の帯
状シール部分と、これら第１の帯状シール部分および第
２の帯状シール部分に連結されて前記第２当接面と密に
当接される第３の帯状シール部分との連結体で構成され
ており、また前記弁体に形成された前記第１当接面は、下方に近
づくに従って内方に傾斜してテーパ状に形成され、かつ
この第１当接面に当接する前記第１シール座面も内方に
傾斜したテーパ状に形成されており、前記弁体が前記弁体用開口部を下方に移動して前記第１
シール座面に前記第１当接面が着座した状態で、前記シ
ール部材の第１の帯状シール部分および第２の帯状シー
ル部分と弁体の第１装着溝の底部の接触点がそれぞれ、
前記帯状シール部分の断面円の中心よりも内方に位置す
るようにするとともに、前記第１シール座面のテーパ状の傾斜面に、前記接触点
を中心に、前記帯状シール部分の断面円の直径を半径と
した円弧状の凹部が形成され、前記弁体が前記弁体用開口部を下方に移動して前記第１
シール座面に前記第１当接面が当接するときに、テーパ
状の斜面に案内されて着座することを特徴とする真空用
ゲートバルブ。