JP2001004932A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 圧電体層及びこれを挟持する第１及び第２の電極とからなる圧電素子を有すると共に光を反射するミラー膜構造を有するミラー要素と、該ミラー要素に対応して設けられた駆動素子とを有する光変調デバイスにおいて、
   前記圧電素子は、その一方面の略中央部に設けられた第１の支持部材を介して第１の基板上に固定されていることを特徴とする光変調デバイス。
2. 請求項１において、前記圧電素子の前記圧電体層に電圧を印加することにより、前記第１の支持部材との接続部を支点として前記ミラー膜構造が変形されて、当該ミラー膜構造に入射する光が変調されることを特徴とする光変調デバイス。
3. 請求項１又は２において、前記圧電素子は前記一方面側には弾性板を有すると共に他方面側には前記ミラー膜構造を有することを特徴とする光変調デバイス。
4. 請求項３において、前記圧電素子の前記ミラー膜構造は、前記他方面側の前記第２の電極又はこの上に設けられた反射膜から構成されることを特徴とする光変調デバイス。
5. 請求項１〜４の何れかにおいて、前記第１の支持部材が前記圧電素子の前記一方面側を構成する層を前記第１の基板側に突出させて形成されていることを特徴とする光変調デバイス。
6. 請求項５において、前記第１の支持部材を構成する層が前記圧電素子の前記一方面側の前記第１の電極であり、当該第１の電極が前記駆動素子と電気的に接続されていることを特徴とする光変調デバイス。
7. 請求項１又は２において、前記圧電素子の前記一方面側に前記ミラー膜構造を有し、当該ミラー膜構造に入射する光は前記第１の基板を通過して入射することを特徴とする光変調デバイス。
8. 請求項７において、前記第１の基板は、前記ミラー膜構造に光を入射するための貫通孔を有する材料又は透光性材料からなることを特徴とする光変調デバイス。
9. 請求項１又は２において、前記圧電素子の前記他方面側には、前記第１の基板に相対向する第２の基板が設けられ且つ前記ミラー膜構造に入射する光は前記第１の基板又は第２の基板を通過して入射することを特徴とする光変調デバイス。
10. 請求項９において、前記第１又は第２の基板の少なくとも何れか一方は、前記ミラー膜構造に光を入射するための貫通孔を有する材料又は透光性材料からなることを特徴とする光変調デバイス。
11. 請求項９又は１０において、前記第２の基板と前記圧電素子とは、前記第１の支持部材に対向する位置に設けられた第２の支持部材により連結されていることを特徴とする光変調デバイス。
12. 請求項１〜１１の何れかにおいて、前記圧電素子の前記第１及び第２の電極から延設される接続配線が、それぞれ前記第１又は第２の支持部材を介して前記第１又は第２の基板上まで延設されていることを特徴とする光変調デバイス。
13. 請求項１〜１２の何れかにおいて、前記第１及び第２の基板の少なくとも一方は、前記圧電素子の駆動時には対向する前記第１又は第２の電極と略同一電位になっていることを特徴とする光変調デバイス。
14. 請求項１〜１２の何れかにおいて、前記第１及び第２の基板の少なくとも一方の上には前記第１又は第２の電極に対向する対向電極が設けられ、該対向電極と前記第１又は第２の電極との間には、前記圧電素子の駆動を補助する方向に静電力が発生するように電圧が印加されることを特徴とする光変調デバイス。
15. 請求項１〜１４の何れかの光変調デバイスと、光源と、この光源からの光を前記光変調デバイスに入射すると共に当該光変調デバイスの前記圧電素子の駆動時又は非駆動時の何れか一方の反射光のみを出射する光学系とを具備することを特徴とする表示装置。