JP2001001154A - プラズマ加工機におけるガス供給方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 加工ワークの板厚，材質，切断形状に応じて
プラズマトーチに供給するプラズマメインガスまたはプ
ラズマアシストガスの少なくともいずれか一方の流量ま
たは圧力を調整することができ、切断精度および切断品
質の向上を図る。 【解決手段】 各種加工ワークの材質，板厚，切断加工
形状毎に設定されたプラズマメインガス供給量，プラズ
マアシストガス供給量等の切断条件の最適値を記憶部３
９に切断条件データベースとして格納し、ＣＡＤ／ＣＡ
Ｍ装置３８から認識される加工ワークＷの材質，板厚，
切断加工形状毎に前記記憶部３９からプラズマメインガ
ス，プラズマアシストガスの最適供給値を読み込み、電
磁開閉弁２８，３２および空電レギュレータ２９，３３
を制御して各ガスの供給量を調整する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、加工ワークとの間
にプラズマアークを形成するプラズマトーチに、プラズ
マメインガスまたはプラズマアシストガスの少なくとも
いずれか一方を流量調整または圧力調整を行ないつつ供
給するプラズマ加工機におけるガス供給方法およびその
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のプラズマ加工機では、加工ワーク
を切断加工する際に、その加工ワークの材質，板厚に応
じて手動にてプラズマメインガスやプラズマアシストガ
スの流量または圧力を調整して、プラズマトーチに供給
するようにされている。

【０００３】また、特開平７−１６７５４号公報には、
加工ワークとプラズマトーチとの間に形成されるプラズ
マアークの電流（アーク電流）の変化に応じて、プラズ
マガスの流量を自動調整する方法が提案されており、こ
の方法によってアーク電流とプラズマガス流量との相対
関係を一定にして適正なプラズマアークを継続して維持
することができ、安定した切断加工を行なうことができ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、オペレ
ータによる手動圧力調整あるいは流量調整では、加工ワ
ークの板厚，材質毎にそれら圧力値あるいは流量値を設
定調整する必要があり、非常に手間がかかるとともに、
調整忘れや調整ミス等による切断不良の発生が懸念され
るという問題点がある。また、前記プラズマメインガス
やプラズマアシストガスの圧力または流量は、加工ワー
クの板厚，材質毎に設定調整され切断形状に応じた調整
が不可能であるため、例えば同一加工ワーク内で外周
と、孔と、コーナとを切断する場合であっても、同じ圧
力または流量が保持されつつ切断加工が行なわれるた
め、べベル角（切断面の厚板方向の傾き）が大きくなる
等、所望の切断精度および切断品質が得られないという
問題点がある。

【０００５】また、特開平７−１６７５４号公報に記載
のガス供給方法においては、アーク電流とプラズマガス
流量とを相対的に制御して適正なプラズマアークを維持
するものであり、加工ワークの切断形状に応じてプラズ
マガス流量を調整するのは不可能である。したがって、
例えば切断速度が遅く設定されている切断形状（例えば
孔やコーナ部など）を切断加工する場合であっても、プ
ラズマガス流量が調整されないため、その切断速度に影
響するべベル角が大きくなり、切断不良や切断品質の悪
化を招くという問題点がある。また、切断形状に応じた
調整が不可能であるため、プラズマアークがプラズマト
ーチの切断進行方向の後方に流れることによる切断遅れ
や加工機の軸遅れによって、切断不良となり切断精度が
悪化する問題点があり、さらに切断加工終了後の加工ワ
ーク裏面にドロスが多く付着するという問題点もある。

【０００６】本発明は、このような問題点を解消するた
めになされたもので、切断加工中に加工ワークの板厚，
材質，切断形状に応じてプラズマトーチに供給するプラ
ズマメインガスまたはプラズマアシストガスの少なくと
もいずれか一方の流量または圧力を自動的に調整するこ
とができ、切断精度および切断品質の向上を図ることが
できるプラズマ加工機におけるガス供給方法およびその
装置を提供することを目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段および作用・効果】前述さ
れた目的を達成するために、第１発明によるプラズマ加
工機におけるガス供給方法は、加工ワークとの間にプラ
ズマアークを形成するプラズマトーチに、プラズマメイ
ンガスまたはプラズマアシストガスの少なくともいずれ
か一方を流量調整または圧力調整を行ないつつ供給する
プラズマ加工機におけるガス供給方法であって、予め各
種加工ワークの材質，板厚，切断加工形状に応じてプラ
ズマメインガスまたはプラズマアシストガスの少なくと
もいずれか一方の最適な流量値または圧力値を記憶させ
ておき、加工ワークの切断加工中にその加工ワークの材
質，板厚，切断加工形状に応じた最適な流量値または圧
力値を読み込み、その最適な流量値または圧力値が得ら
れるようにプラズマメインガスまたはプラズマアシスト
ガスのいずれか一方の供給量を適時調整することを特徴
とするものである。

【０００８】第１発明においては、加工ワークの切断加
工中にプラズマメインガスまたはプラズマアシストガス
の少なくともいずれか一方の供給量を予め加工ワークの
材質，板厚，切断加工形状に応じた最適値に調整するよ
うにされている。すなわち、加工ワークの材質，板厚毎
にプラズマメインガスまたはプラズマアシストガスの少
なくともいずれか一方の供給量（流量値または圧力値）
が最適値に調整されるとともに、例えば同一加工ワーク
に複数の異なる切断形状部を有している場合であって
も、それら切断形状部毎にプラズマメインガスまたはプ
ラズマアシストガスの少なくともいずれか一方の供給量
（流量値または圧力値）が最適値に調整される。

【０００９】第１発明によれば、切断速度が切断加工形
状毎に異なる場合であっても、切断面のべベル角は各切
断速度に関係なく常に略一定とすることができるため、
切断不良を抑制し、切断品質を向上することができると
いう効果を奏する。また、プラズマメインガスまたはプ
ラズマアシストガスの少なくともいずれか一方の供給量
の調整により、プラズマ特有の切断面下方の切断遅れを
解消することができるとともに、加工機の軸遅れに起因
する形状誤差もなくすことができるため、切断速度を抑
制し、切断精度を格段に向上させることができる。ま
た、切断加工終了後の加工ワーク裏面にドロスが付着す
るのを抑制することができる。

【００１０】次に、第２発明によるプラズマ加工機にお
けるガス供給装置は、加工ワークとの間にプラズマアー
クを形成するプラズマトーチに、プラズマメインガスま
たはプラズマアシストガスの少なくともいずれか一方を
流量調整または圧力調整を行ないつつ供給するプラズマ
加工機におけるガス供給装置であって、（ａ）予め各種
加工ワークの材質，板厚，切断加工形状に応じて設定さ
れるプラズマメインガスまたはプラズマアシストガスの
少なくともいずれか一方の最適な流量値または圧力値を
記憶する記憶手段と、（ｂ）プラズマメインガスまたは
プラズマアシストガスの少なくともいずれか一方の供給
量を自動的に調整可能なガス供給量調整手段と、（ｃ）
前記加工ワークの切断加工中に、その加工ワークの材
質，板厚，切断加工形状に応じた最適な流量値または圧
力値を前記記憶手段から読み込み、この最適な流量値ま
たは圧力値が得られるように前記ガス供給量調整手段を
適時制御する制御手段とを備えることを特徴とするもの
である。

【００１１】第２発明においては、予め各種加工ワーク
の材質，板厚，切断加工形状に応じて設定されるプラズ
マメインガスまたはプラズマアシストガスの少なくとも
いずれか一方の最適な流量値または圧力値を記憶する記
憶手段から、加工ワークの切断加工中にその加工ワーク
の材質，板厚，切断加工形状に応じた最適な流量値また
は圧力値を読み込んで、プラズマトーチに供給されるプ
ラズマメインガスまたはプラズマアシストガスの少なく
ともいずれか一方の供給量を前記最適な流量値または圧
力値となるようにガス供給量調整手段を適時制御するも
のである。

【００１２】第２発明によれば、予め各種加工ワークの
材質，板厚，切断加工形状に応じて設定されるプラズマ
メインガスまたはプラズマアシストガスの少なくともい
ずれか一方の最適な流量値または圧力値にその供給量を
自動的に調整することができるため、従来の問題点であ
るガス供給量の調整忘れや調整ミス等による切断不良を
防止することができるとともに、前記第１発明と同様の
効果を奏する。

【００１３】第２発明において、前記ガス供給量調整手
段は空電レギュレータであるのが好ましい。この空電レ
ギュレータを用いれば、前記制御手段からの制御信号に
基づいて、プラズマメインガスまたはプラズマアシスト
ガスの少なくともいずれか一方の供給量を簡易に調整す
ることができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】次に、本発明によるプラズマ加工
機におけるガス供給方法およびその装置の具体的な実施
の形態につき、図面を参照しつつ説明する。

【００１５】図１には本発明の一実施例に係るプラズマ
加工機の全体斜視図が示され、図２にはそのプラズマ加
工機のシステム構成図が示されている。

【００１６】本実施例のプラズマ加工機１においては、
板状の加工ワークＷを支持する切断定盤（切断架台）２
が矩形状のフレーム３の内側空間に配されるとともに、
このフレーム３を跨ぐように門形の走行ビーム４が配さ
れ、この走行ビーム４上にキャリッジ５が配されて、そ
のキャリッジ５にプラズマトーチ６が装着されている。

【００１７】前記走行ビーム４は、Ｘ軸モータ７の駆動
によりフレーム３の長手方向（Ｘ軸方向）に配されるＸ
軸レール８に沿ってＸ軸方向に走行可能とされ、前記キ
ャリッジ５は、Ｙ軸モータ９の駆動により走行ビーム４
上に配されるＹ軸レール１０に沿ってＹ軸方向に走行可
能とされている。また、前記プラズマトーチ６は、Ｚ軸
モータ１１の駆動によりキャリッジ５に対して上下方向
（Ｚ軸方向）に移動可能とされている。こうして、各モ
ータ７，９，１１を制御することで、プラズマトーチ６
は加工ワークＷの任意の位置へ移動されるとともに、任
意の高さ位置に位置決めされて加工ワークＷの切断加工
が行われる。

【００１８】前記プラズマトーチ６は、後述する電極１
５にプラズマ電流を供給するために、トーチケーブル１
２を介してプラズマ電源ユニット１３の一方の端子（マ
イナス端子）に接続されている。また、このプラズマ電
源ユニット１３の他方の端子（プラス端子）は、母材ケ
ーブル１４を介して加工ワークＷ（もしくは切断定盤
２）に接続されている。

【００１９】図３に示されるように、前記プラズマトー
チ６は、略多重円筒形状であって、略中心部に配される
略円柱状の電極１５と、この電極１５の外周側を覆うよ
うに配される略円筒状のノズル１６と、このノズル１６
の外周側に配される略円筒状の第１ノズルキャップ１７
と、この第１ノズルキャップ１７の外周側に配される略
円筒状の第２ノズルキャップ１８とを備えている。そし
て、電極１５とノズル１６との間に画成される先端部開
放空間が作動ガス通路１９とされ、ノズル１６と第１ノ
ズルキャップ１７との間に画成される閉空間が冷却水通
路２０とされ、第１ノズルキャップ１７と第２ノズルキ
ャップ１８との間に画成される先端部開放空間が二次ガ
ス通路２１とされている。

【００２０】前記電極１５のプラズマアーク発生点とな
る先端部には、プラズマアークＡの高熱に耐え得る高融
点材料製（例えば、ハフニウム製，ジルコニウム製，合
金製等）の耐熱インサート２２が装着されている。ま
た、前記ノズル１６の先端部にはノズルオリフィス２３
が設けられ、前記作動ガス通路１９により供給されるプ
ラズマメインガス（本実施例では酸素ガス）がそのノズ
ルオリフィス２３から加工ワークＷに向けて噴出される
ようになっている。さらに、前記第２ノズルキャップ１
８の先端開口部にはシールドキャップ２４が装着され、
前記二次ガス通路２１により供給されるプラズマアシス
トガス（本実施例では空気）がそのシールドキャップ２
４先端の噴出口２５から噴出されるようになっている。

【００２１】前記作動ガス通路１９は、プラズマメイン
ガス供給ライン２６を介してプラズマメインガスが貯留
されているプラズマメインガスボンベ２７に連結されて
いる。このプラズマメインガス供給ライン２６には、下
流側に向けて順に、プラズマメインガスの供給・遮断を
行なう開閉手段としての電磁開閉弁２８と、アナログ電
圧信号を受けて前記プラズマメインガスの圧力（すなわ
ち作動ガス通路１９への供給量）を調整可能な空電レギ
ュレータ２９が介挿されている。

【００２２】また、前記２次ガス通路２１は、プラズマ
アシストガス供給ライン３０を介してプラズマアシスト
ガス供給装置３１に連結されている。このプラズマアシ
ストガス供給ライン３０には、下流側に向けて順に、プ
ラズマアシストガスの供給・遮断を行なう開閉手段とし
ての電磁開閉弁３２と、アナログ電圧信号を受けて前記
プラズマメインガスの圧力（すなわち２次ガス通路２１
への供給量）を調整可能な空電レギュレータ３３が介挿
されている。

【００２３】前記作動ガス通路１９および二次ガス通路
２１にはそれぞれ作動ガススワラ３４および２次スワラ
３５が嵌め込まれている。こうして、作動ガス通路１９
を通過するプラズマメインガスは作動ガススワラ３４に
よって旋回流にされてノズルオリフィス２３から加工ワ
ークＷに噴出される。同様に、二次ガス通路２１を通過
するプラズマアシストガスは２次スワラ３５によって旋
回流にされて噴出口２５から加工ワークＷに噴出され
る。このような２重の旋回気流によって加工ワークＷに
おける切断溝の形状を変化させることが可能となり、前
記プラズマメインガスとプラズマアシストガスとの各供
給量を調整してベベル角の小さな直角の切断面を得るこ
とが可能となっている。

【００２４】このように構成されているので、作動ガス
通路１９に作動ガスを供給した状態で、電極１５と加工
ワークＷとの間にパイロットアークを着火させると、電
離された導電性を持つ作動ガスがノズルオリフィス２３
を通じて加工ワークＷに噴出され、電極１５−加工ワー
クＷ間にプラズマアークＡが着火される。このプラズマ
アークＡは、ノズルオリフィス２３による拘束性と作動
ガス気流による熱的ピンチ作用が効果的に働くことによ
り、高温でかつ高密度エネルギーを有するプラズマアー
クとなる。このようにして形成されるプラズマアークＡ
が加工ワークＷを溶融して、ピアッシングおよび切断が
行われる。

【００２５】前記プラズマトーチ６をＸ軸、Ｙ軸および
Ｚ軸方向に移動させるＸ軸モータ７、Ｙ軸モータ９およ
びＺ軸モータ１１は、ＮＣ装置３６からの制御信号によ
ってサーボコントロール部３７における図示されない各
サーボアンプを介して駆動される。また、前記プラズマ
メインガスおよびプラズマアシストガスの各電磁開閉弁
２８，３２および空電レギュレータ２９，３３が前記Ｎ
Ｃ装置３６からのＯＮ／ＯＦＦ信号およびアナログ電圧
信号によって駆動される。

【００２６】この制御を可能にするために、ＮＣ装置３
６には、各種加工ワークＷに対する切断加工形状および
それら切断加工形状の配置位置に係る情報を認識し、各
情報の数値データを作成して出力するＣＡＤ／ＣＡＭ装
置３８が接続されるとともに、各種加工ワークＷに対応
する切断条件データベースを格納する記憶部３９が付設
されている。また、前記ＮＣ装置３６には、プラズマ電
源ユニット１３から入力されるプラズマアーク電圧（電
極１５−加工ワークＷ間の電圧）に基づいて高さ信号を
演算し、この高さ信号を出力する切断高さコントロール
部４０が付設されている。

【００２７】前記記憶部３９に格納される切断条件デー
タベースは、加工ワークの板厚，材質，切断加工形状毎
に予め設定される切断条件の最適値からなっている。こ
こで、前記切断条件はプラズマアーク電流（アーク電
流），切断速度，切断幅，プラズマメインガス圧力，プ
ラズマアシストガス圧力，ピアス高さ，ピアス時間であ
る。図４には、切断条件データベースの一例を説明する
説明図が示されている。図示されるように加工ワークの
板厚および材質に応じて加工ワークコードＡ（Ａ _１，Ａ
_２，…Ａ_ｎ）が決まり、これら加工ワークコードＡ（Ａ
_１，Ａ_２，…Ａ_ｎ）は形状コードＴ（Ｔ_０，Ｔ_１，
Ｔ_２）にそれぞれ分割され、これら形状コード毎に前記
各切断条件の最適値が入力されている。したがって、加
工ワークコードＡと形状コードＴとを指定すれば、加工
ワークの板厚，材質，切断加工形状に応じた各切断条件
の最適値が出力される。なお、本実施例においては、形
状コードＴ_０は孔形状，Ｔ_１はコーナ形状，Ｔ_２は外周
形状を表している。また、図中には具体的な最適値は記
載されていないが、形状コードＴ_０およびＴ_１では、切
断速度が遅く設定されており、この切断速度の低下に伴
い、加工ワークＷに対する入熱量が過多になったり、プ
ラズマメインガス圧およびプラズマアシストガス圧によ
る旋回流効果が過多になるのを防いで、切断速度の切換
りによる切断面テーパ（ベベル角）の変化もしくは切断
幅の変化を補正するように、前記切断幅，プラズマメイ
ンガス圧力，プラズマアシストガス圧力の最適値がそれ
ぞれ設定されている。

【００２８】本実施例の制御システムにおいては、ＮＣ
装置３６にＣＡＤ／ＣＡＭ装置３８から加工ワークＷの
数値データが入力され、この数値データに基づいて加工
ワークコードＡおよび形状コードＴが認識され、記憶部
３９に格納されている切断条件データベースから加工ワ
ークコードＡおよび形状コードＴにて指定される各切断
条件の最適値が読み込まれる。これら切断条件の最適値
および前記数値データに基づいて、前記ＮＣ装置３６が
前記サーボコントロール部３７，切断高さコントロール
部４０，電磁開閉バルブ２８，３２および空電レギュレ
ータ２９，３３に各信号を送信して作動させて、切断加
工が行なわれる。

【００２９】次に、前記ＮＣ装置３９によって加工ワー
クＷを切断加工する制御手順について、図５に示される
フローチャートに基づいてより詳細に説明する。 Ｓ１：まず、ＣＡＤ／ＣＡＭ装置３８から各種加工ワー
クＷに対する切断加工形状およびそれら切断加工形状の
配置位置に係る数値データを読み込む。 Ｓ２：前記数値データから加工ワークＷの板厚および材
質より加工ワークコードＡと、切断加工形状より形状コ
ードＴとを認識し、記憶部３９に格納された切断条件デ
ータベースから前記加工ワークコードＡおよび形状コー
ドＴにて指定された各切断条件の最適値を読み込む。 Ｓ３：続いて、前記プラズマトーチ６を前記数値データ
より認識される切断開始位置（またはピアシング位置）
に配置させるように、サーボコントロール部３７を制御
してＸ，Ｙ軸方向に移動させる。 Ｓ４：次に、ピアシング加工が必要な場合は、前記各切
断条件の最適値に基づいて、プラズマトーチ６がＺ軸方
向のピアス高さとなるようにサーボコントロール部３７
を制御して位置決めし、アーク電流が最適値となるよう
に前記プラズマ電源ユニット１３を制御するとともに、
前記プラズマメインガス圧力およびプラズマアシストガ
ス圧力が最適値となるように各電磁開閉弁２８，３２お
よび空電レギュレータ２９，３３を制御する。こうして
ピアス時間が経過した時点で、ピアシング加工を終了す
る。なお、ピアシング加工が必要でない場合は、ステッ
プＳ４の処理を省略してステップＳ５以降の処理を行な
う。 Ｓ５：前記各切断条件の最適値に基づいて、プラズマト
ーチ６がＺ軸方向の切断高さとなるようにサーボコント
ロール部３７を制御して位置決めし、前述のようにアー
ク電流値，プラズマメインガス圧力およびプラズマアシ
ストガス圧力を制御しながら、前記プラズマトーチ６を
切断速度で前記数値データにより認識される切断加工形
状に沿ってＸ，Ｙ軸方向に移動させるようにサーボコン
トロール部３７を制御して、切断加工が行われる。 Ｓ６：前記ＣＡＤ／ＣＡＭ装置３８より読み込まれた数
値データに基づく加工ワークＷ内の切断加工がすべて終
了した場合は、終了となる。一方、切断加工がすべて終
了していない場合は、ステップＳ３以降の処理が行なわ
れる。

【００３０】以上のように、本実施例においては、加工
ワークＷの板厚，材質および加工形状毎に設定される切
断条件の最適値に基づいて制御され、例えば同一加工ワ
ークＷ内に複数の切断加工形状の切断加工を施す場合で
あっても、その切断形状毎に各種切断条件を変更するよ
うに制御される。したがって、切断形状に応じてプラズ
マメインガス圧およびプラズマアシストガス圧を変更す
ることができ、このようにプラズマメインガス圧および
プラズマアシストガス圧を変更することにより切断面テ
ーパ（ベベル角）に影響を及ぼすガス旋回流の効果を変
えることができ、切断速度を低下させてもベベル角をほ
ぼ一定に保つことができる利点がある。こうして、切断
精度および品質を向上することができる。また、切断幅
を変更するようにすれば、切断速度の低下に伴う切断幅
の変化を補正することができ、さらに切断精度を維持す
る上で有効である。

【００３１】また、本実施例によれば、切断形状に応じ
た切断加工が可能となり、切断速度の低下に伴ってプラ
ズマメインガス圧およびプラズマアシストガス圧を変更
させることにより、加工機の移動軸遅れや切断面遅れに
起因する形状精度の悪化を軽減することができ、また切
断加工終了後の加工ワークＷ裏面にドロスが付着するの
を抑制することができる。なお、各切断条件は相互に関
連なく、任意に設定できるようにするのが好ましい。

【００３２】本実施例における記憶部３９，ＮＣ装置３
６および空電レギュレータ２９，３３は本発明における
ガス供給装置に相当し、前記記憶部３９は本発明におけ
る記憶手段に、前記空電レギュレータ２９，３３は本発
明におけるガス供給量調整手段に、前記ＮＣ装置３６は
本発明における制御手段にそれぞれ相当する。

【００３３】本実施例においては、プラズマトーチ６に
プラズマメインガスとプラズマアシストガスとが供給さ
れ、これらガスにより２重の旋回気流が形成されている
が、これに限らず、プラズマメインガスのみをその供給
量を調整しつつ供給し、１重の旋回気流を形成させるよ
うにしても、前述と同様の効果を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の一実施例に係るプラズマ加工
機の全体斜視図である。

【図２】図２は、本実施例のプラズマ加工機のシステム
構成図である。

【図３】図３は、本実施例のプラズマトーチを説明する
概略断面図である。

【図４】図４は、本実施例の切断条件データベースの一
例を説明する説明図である。

【図５】図５は、本実施例のＮＣ装置による加工ワーク
の切断加工制御手順を説明するフローチャートである。

【符号の説明】

１ プラズマ加工機 ２ 切断定盤 ３ フレーム ４ 走行ビーム ５ キャリッジ ６ プラズマトーチ ７ Ｘ軸モータ ８ Ｘ軸レール ９ Ｙ軸モータ １０ Ｙ軸レール １１ Ｚ軸モータ １２ トーチケーブル １３ プラズマ電源ユニット １４ 母材ケーブル １５ 電極 １６ ノズル １７ 第１ノズルキャップ １８ 第２ノズルキャップ １９ 作動ガス通路 ２０ 冷却水通路 ２１ 二次ガス通路 ２２ 耐熱インサート ２３ ノズルオリフィス ２４ シールドキャップ ２５ 噴出口 ２６ プラズマメインガス供給ライン ２７ プラズマメインガスボンベ ２８，３２ 電磁開閉弁 ２９，３３ 空電レギュレータ ３０ プラズマアシストガス供給ライン ３１ プラズマアシストガス供給装置 ３４ 作動ガススワラ ３５ ２次スワラ ３６ ＮＣ装置 ３７ サーボコントロール部 ３８ ＣＡＤ／ＣＡＭ装置 ３９ 記憶部 ４０ 切断高さコントロール部

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【手続補正書】

【提出日】平成１１年７月８日（１９９９．７．８）

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図２

【補正方法】変更

【補正内容】

【図２】

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工ワークとの間にプラズマアークを形
   成するプラズマトーチに、プラズマメインガスまたはプ
   ラズマアシストガスの少なくともいずれか一方を流量調
   整または圧力調整を行ないつつ供給するプラズマ加工機
   におけるガス供給方法であって、 予め各種加工ワークの材質，板厚，切断加工形状に応じ
   てプラズマメインガスまたはプラズマアシストガスの少
   なくともいずれか一方の最適な流量値または圧力値を記
   憶させておき、加工ワークの切断加工中にその加工ワー
   クの材質，板厚，切断加工形状に応じた最適な流量値ま
   たは圧力値を読み込み、その最適な流量値または圧力値
   が得られるようにプラズマメインガスまたはプラズマア
   シストガスのいずれか一方の供給量を適時調整すること
   を特徴とするプラズマ加工機におけるガス供給方法。
2. 【請求項２】 加工ワークとの間にプラズマアークを形
   成するプラズマトーチに、プラズマメインガスまたはプ
   ラズマアシストガスの少なくともいずれか一方を流量調
   整または圧力調整を行ないつつ供給するプラズマ加工機
   におけるガス供給装置であって、（ａ）予め各種加工ワ
   ークの材質，板厚，切断加工形状に応じて設定されるプ
   ラズマメインガスまたはプラズマアシストガスの少なく
   ともいずれか一方の最適な流量値または圧力値を記憶す
   る記憶手段と、（ｂ）プラズマメインガスまたはプラズ
   マアシストガスの少なくともいずれか一方の供給量を自
   動的に調整可能なガス供給量調整手段と、（ｃ）前記加
   工ワークの切断加工中に、その加工ワークの材質，板
   厚，切断加工形状に応じた最適な流量値または圧力値を
   前記記憶手段から読み込み、この最適な流量値または圧
   力値が得られるように前記ガス供給量調整手段を適時制
   御する制御手段とを備えることを特徴とするプラズマ加
   工機におけるガス供給装置。
3. 【請求項３】 前記ガス供給量調整手段は空電レギュレ
   ータである請求項２に記載のプラズマ加工機におけるガ
   ス供給装置。