JP2000514772A - 消毒、浄化および脱臭へのオゾンの応用 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 フレーム型オゾン発生器は、ほぼ平坦な電極アレイを形成するように互いに対してほぼ平行に間隔をおいて配された複数の長尺電極、および電極アレイにほぼ垂直な方向に電極アレイを貫通する酸素含有ガス流を発生させる流発生器からなる。各電極は二フッ化ポリビニルで被覆された導電性コアによって形成されている。好ましくは、各電極アレイは所定の面積を有するフレーム内に配され、各フレームはその所定の面積よりも大きな面積の拡張オゾン発生器を形成するように他の同様なフレームと組み合わされるように構成されている。また、圧力波を用いてオゾン処理の効果を高めるオゾン含有ガスで製品を処理するための装置、およびオゾンのような潜在的に有害なガスで製品の処理を行うための２チャンババッチ方法が開示される。

Description

【発明の詳細な説明】 消毒、浄化および脱臭へのオゾンの応用 発明の分野および背景 本発明は、オゾンを含有する気相を使用する消毒、浄化および脱臭用システム に関する。より詳細には、本発明は、処理すべき各対象物の表面上で上述の操作 が行われる該システムに関する。 新鮮な農産物、薬品、医療および工業機器のような固体の対象物のオゾンを用 いた消毒処理は公知であり、気体もしくは水溶液の中で行われる。この処理の農 産物に対する主要な短所としては以下を挙げることができる。 （ａ）ある種の農産物において、処理された物質の表面との相互作用によって 損傷が生じ得ること、および （ｂ）処理された組織中にオゾンが拡散することである。また、食品のみなら ず医薬品等、農産物以外の固体対象物の場合には以下を挙げることができる。 （ｃ）停滞域すなわち自由なガス流の欠如が対象物上にあり、オゾン浸透が不 充分となる。 液相における処理の短所としては以下を挙げることができる。 （ａ）処理すべき製品を濡らし、次いで再び乾燥することは非実用的である。 （ｂ）液体に浸漬した後に表面が冒される可能性のある製品があり、表面領域 が冒される可能性がある。例えば、卵殻のキューティクルコーティングは水溶液 中で溶解する可能性があり、 この結果、処理された卵はこれに続く保存中に多、量の水分を失うかも知れない 。 （ｃ）金属部品は液相中での処理後に腐食する可能性がある。 （ｄ）プルームを有する果物および野菜はこれを失う可能性があり、この結果 、魅力を減ずることがある。 上記の問題の重要性はそれに関する比較的多くの特許および論文によって明示 される。例えば、ケミカルアブストラクト（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ａｂｓｔｒａｃ ｔ）Ｖｏｌ．１２３：８３５５には食品を水に浸漬することによって殺菌するた めの装置が開示されており、ここではオゾンおよび気体の流が連続的に水中に気 泡を生じている。 最近の米国特許第５，４０３，６０２号による方法は３％〜１２％のオゾンを 含有する水溶液を使用する。放出されたオゾンは、酵素触媒の導入によって制御 されながら、食品の構成要素と反応する。この殺菌法は新鮮な食品の無菌包装に 極めて有用であると主張されている。 ケミカルアブストラクトＶｏｌ．１１９：１５４１９には液体を殺菌するため の装置が記載されており、これはオゾンが発生され、次いでディフューザによっ てオゾン−空気混合物中にあまねく拡散されるオゾンチャンバからなるものであ る。液体およびオゾンはチャンバ内で完全に混合され、処理すべき液体に放射さ れる。主張されるように、この装置は食品加工、栽培および水もしくは空気清浄 プラントに有用である。 ケミカルアブストラクトＶｏｌ．１１６：２６１６５５によれば、魚および他 の食品を陳列するための冷蔵ケース内の臭気のある気体もしくは水が、冷蔵ケー スに接続された圧力容器中 に気体のもしくは液化したオゾンのための手段を備えたシステムにオゾンを注入 することによって脱臭される。冷蔵ケース内での細菌増殖および悪臭形成は顕著 に低減され得ると明記されている。 ケミカルアブストラクトＶｏｌ．１１６：２３４２５６には、ｐＨが３．５〜 ４．５の範囲にあるオゾン水溶液を用いる野菜および魚の殺菌法および装置が記 載されている。このｐＨ範囲は酢酸等の有機酸を添加することによって維持され 、オゾン溶液は微生物の増殖を制御する。 以上の要約は明らかに問題の存在と、オゾンを用いた新鮮な農産物、薬品、お よび医療および工業機器の消毒、浄化および脱臭の必要性を示している。 本発明の目的は、オゾンを用いた、処理空間に維持された対象物の消毒、浄化 および脱臭のためのシステムを提供することにある。本発明のもう１つの目的は 、公知のシステムの既存の欠点を解消する、前記対象物の消毒、浄化および脱臭 のためのシステムを提供することにある。発明の概要 本発明の第１の態様は、処理空間に維持された対象物の表面の消毒、浄化およ び脱臭を該表面上に流れるキャリヤガスと均一に混合されたガス状オゾンの強制 流によって行い、該強制流を音波によって補助するシステムに関する。 好ましい実施態様によれば、音波は音響トランスジューサによって生成される 。 よって、本発明の教示によれば、（ａ）ほぼ平坦な電極アレイ を形成するように互いに対してほぼ平行に間隔をおいて配された複数の長尺電極 、および（ｂ）電極アレイにほぼ垂直な方向に電極アレイを貫通する酸素含有ガ ス流を発生させる流発生器からなり、電極の各々は二フッ化ポリビニルで被覆さ れた導電性コアによって形成されていることを特徴とするフレーム型オゾン発生 器が提供される。 本発明の他の特徴によれば、電極アレイは所定の面積のフレーム内に配され、 フレームはその所定の面積よりも大きな面積の拡張オゾン発生器を形成するよう に他の同様なフレームと組み合わされるように構成される。 本発明の他の特徴によれば、フレームは電極にほぼ垂直な第１および第２の側 部を有するほぼ矩形状であり、第１および第２の側部は第１の側部が同様のフレ ームの並列した第２の側部と係合して拡張オゾン発生ユニットを形成できるよう な相補形の連結形状部を備えている。 本発明の他の特徴によれば、第１の側部は第１の組の電極への第１の共通電気 接続部を含み、相補形連結形状部は、第１の共通電気接続部がそのフレームと連 結するように並列した同様のフレームの他の共通電気接続部と電気的に接触する ように構成される。 本発明の他の特徴によれば、フレームは電極にほぼ垂直な第１および第２の端 を有し、第１および第２の端は第１の端が同様のフレームの並列した第２の端と 係合して拡張オゾン発生ユニットを形成できるような相補形の連結形状部を備え ている。 本発明の他の特徴によれば、第１の端は第１の組の電極への第１の共通電気接 続部を含み、相補形連結形状部は、第１の共 通電気接続部がそのフレームと連結するように並列した同様のフレームの他の共 通電気接続部と電気的に接触するように構成される。 本発明の他の特徴によれば、フレームおよび電極アレイは導電性インプラント を備えた二フッ化ポリビニル成形物により一体的に形成される。 また、本発明の教示によれば、オゾン含有ガスで製品を処理するための装置で あって、（ａ）製品を収容するための容器、（ｂ）容器の内部にオゾン含有ガス を供給するためのオゾン発生器、および（ｃ）オゾン処理の効果を高めるために 容器内に圧力波を発生させるための圧力波発生器からなる装置が提供される。 また、本発明の他の特徴によれば、オゾン含有ガスの循環を発生させるための 流発生システムが提供される。 また、本発明の他の特徴によれば、第１の方向および第１の方向と対向する第 ２の方向の間で交番するオゾン含有ガス流を発生させるように構成された流発生 システムが提供される。 また、本発明の他の特徴によれば、製品に向けて２つ以上の方向でオゾン含有 ガスの流を同時に発生させるように構成された流発生システムが提供される。 また、本発明の他の特徴によれば、処理に先立って、少なくとも製品の表面層 をその表面層上でオゾン含有水蒸気が凝結するのに充分なように冷却するための 冷却システムが提供される。 本発明の他の特徴によれば、処理に先立って、少なくとも製品の表面層をその 表面層上でオゾン含有水蒸気が凍結するのに充分なように冷却するための冷却シ ステムが提供される。 本発明の他の特徴によれば、製品は水であり、装置はさらに、容器中に移動水 膜を発生させるための水管理システムを含む。 本発明の他の特徴によれば、製品は水であり、装置はさらに、（ａ）容器内で 第１の方向に移動する水の噴流を生成する噴流発生器、および（ｂ）第１の方向 とほぼ対向する第２の方向にオゾン含有ガス流を発生させる流発生器を含む。 また、本発明の他の特徴によれば、容器の開放に先立ってオゾン含有ガスから オゾンを除去するための、容器に関連づけられた触媒フィルタが提供される。 また、本発明の教示によれば、潜在的に有毒なガスを用いた、製品のバッチ処 理方法であって、（ａ）第１および第２の処理チャンバを供給し、（ｂ）第１の 処理チャンバ内において所定量のガスで第１のバッチの製品を処理し、（ｃ）第 ２のバッチの製品を第２の処理チャンバ内に配置し、（ｄ）所定量のガスの少な くとも一部を第１の処理チャンバから第２の処理チャンバへ移送することからな る方法が提供される。 本発明の他の特徴によれば、潜在的に有毒なガスはオゾン含有ガスである。 本発明の他の特徴によれば、移送はオゾン含有ガス中のオゾンの比率をさらに 増加させるようにオゾン発生器を通して行われる。 本発明の他の特徴によれば、ガスは触媒フィルタを通して第２の処理チャンバ から第１の処理チャンバにも移送される。 また、本発明の他の特徴によれば、オゾン処理の効果を高めるように第１の処 理チャンバ内で圧力波が発生される。 本発明の他の特徴によれば、処理に先立って、少なくとも製 品の表面層が、その表面層上でオゾン含有水蒸気が凝結するのに充分なように冷 却される。 本発明の他の特徴によれば、処理に先立って、少なくとも製品の表面層が、そ の表面層上でオゾン含有水蒸気が凍結するのに充分なように冷却される。 本発明の他の特徴によれば、第１および第２の処理チャンバは、少なくとも１ つのオゾン発生器および少なくとも１つの触媒フィルタを備えた共通仕切壁を共 有する。 本発明の他の特徴によれば、少なくとも１つのオゾン発生器は第１もしくは第 ２の処理チャンバと切換可能に連絡する入口および第１もしくは第２の処理チャ ンバと切換可能に連絡する出口を有する。 本発明の他の特徴によれば、少なくとも１つの触媒フィルタは第１もしくは第 ２の処理チャンバと切換可能に連絡する入口および第１もしくは第２の処理チャ ンバと切換可能に連絡する出口を有する。 また、本発明の教示によれば、（ａ）ほぼ平坦な電極アレイを形成するように 互いに対しでほぼ平行に間隔をおいて配された複数の長尺電極、（ｂ）電極アレ イをほぼ包囲し、入口および出口を有するケーシング、および（ｃ）（ｉ）電極 アレイを通って再循環するケーシング内の再循環ガスおよび（ｉｉ）入口を通っ て入り、出口から出、再循環流の体積流量よりもかなり低い体積流量を有するガ ス貫通流を発生させるように構成された、ケーシングに関連づけられた流システ ムからなる高濃度フレーム型オゾン発生器が提供される。 本発明の他の特徴によれば、再循環流の体積流量は貫通流の 体積流量よりも少なくとも１０倍高い。 また、本発明の他の特徴によれば、ケーシングに関連づけられたケーシングを 冷却するための冷却システムが提供される。 また、本発明の他の特徴によれば、電極アレイと同様な少なくとも１つの追加 電極アレイが電極アレイと追加電極アレイを順次通って再循環流が流れるように 電極アレイと平行に配される。図面の簡単な説明 以下、添付図面を参照し、例示的にのみ、本発明を記載する。 図１はオゾン含有ガス混合物を使用する対象物の処理プロセスを概略的に示す 。 図２は図１に示すようなプロセスの変更例を概略的に示す。 図３は方向を交番するガス混合物の螺旋状円筒流を示す。 図４は音波と組み合わされた図２に示すような対象物の処理プロセスを示す。 図５は開口を備えた包装中での対象物の処理プロセスを示す。 図６は図５の変更例を示す。 図７は処理空間中にオゾンとキャリヤガスとの均一な混合を達成するためのシ ステムを用いる対象物の処理プロセスを示す。 図８は連続運転用の処理プロセスを示す。 図９は前記音波がトランスジューサによって生成される図４のような処理プロ セスを示す。 図１０は水蒸気の相転移によって得られるオゾンの移送による対象物の処理プ ロセスを示す。 図１１はオゾン含有ガス混合物を用いた液滴の処理プロセス を示す。 図１２はオゾン含有ガス混合物を用いた液滴下膜の処理プロセスを示す。 図１３は前記薄膜が滑動トレイから落下する、図１２の変更例を示す。 図１４はオゾン含有ガス混合物を用いた液体噴霧の処理プロセスを示す。 図１５は卵の処理プロセスを示す。 図１６は図１５の変更例を示す。 図１７は処理すべき対象物の周りに巻かれた膜を膨張させることによって構成 される、処理空間内での消毒システムを示す。 図１８は任意の医療処置の前もしくは／および後に開いた傷および火傷を消毒 するためのシステムを示す。 図１９はオゾン含有ガス混合物を用いたバッチ処理のための２チャンバシステ ムの略平面図であり、システムは運転の第１段階で示されている。 図２０，２１および２２は図１９と同様の図であり、システムの３つの連続し た段階を示す。 図２３は図１９のシステムの各チャンバ内のオゾン濃度の時間変化の略線図。 図２４はマルチパーパスバーサタイルオゾネータ(Multipurpose Versatile Oz onator)のフレームの１実施態様を示す。 図２５ａおよび図２５ｂは前記オゾネータで使用される電極のアセンブリを示 す。 図２６ａ〜２６ｅは前記オゾネータにおいて使用されるべき いくつかの典型的な電極の断面形状を示す。 図２７ａおよび２７ｂは通気孔もしくは煙突における前記オゾネータの典型的 な使用を示す。 図２８は前記オゾネータおよびブロワを用いる空気の浄化および消毒のための システムを示す。 図２９ａ〜２９ｃは個人的および／もしくは外的保護フードにおける前記オゾ ネータの典型的な使用を示す。 図３０は前記オゾネータを使用する水処理のための好適な個人的設定を示す。 図３１は円弧状フレームを備えたオゾネータシステムの実施態様を示す。 図３２は前記システムが円弧状フレームで構成されたトンネルからなる、図３ １に示した実施態様の変更例を示す。 図３３ａおよび３３ｂは運転中におけるオゾン発生器の隣接する電極の運動の 略図である。 図３４は本発明の教示によって構成および運転されるモジュラオゾン発生器の 略前面図である。 図３５は図３４の領域Ｉに対応するモジュールの略断面図である。 図３６は図３５のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。 図３７および３８は図３５のモジュールとともに使用するための異なった連結 形状端を示す詳細な断面図である。 図３９は図３５のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。 図４０は可能な電気接続部の構成を示す、図３４に由来するモジュールの略前 面図である。 図４１および４２は図４０におけるような多数のモジュール を組み合わせるための２つの可能な方法の略図である。 図４３は本発明の教示によって構成および運転される別のモジュラオゾン発生 器の略前面図である。 図４４は本発明の教示によって構成および運転される高濃度フレーム型オゾン 発生器の長手断面図である。 図４５は図４４のＩＶ−ＩＶ線に沿った横断面図である。 好ましい実施例の説明 本発明はオゾン処理用システムおよびこのようなシステム用のオゾン発生器に 対する数多くの開発に関する。 本発明による開発の原理および作用は図面および付随する記載を参照すること によって、より良く理解されるであろう。 具体的には、対象物のオゾン処理用の数多くのシステムを特に図１〜２３を参 照して記載する。次いで、図２４〜４５を参照してオゾン発生器の様々な構成お よびそれらの用途を記載する。図２４〜４５のオゾン発生器は図１〜２３のシス テム内において有利に使用できることが認められるべきである。しかしながら、 システムは、特記されない限りは、このようなオゾン発生器の使用に限定されな い。 図面を参照すると、図１はオゾン含有ガス混合物の強制線流による対象物の処 理プロセスを示し、この線流はその方向を交番する。このようなシステムは特に 、ある種の農産物（例えば、トマト、多量のブドウおよびカボチャ、卵等）のよ うな、滑らかな曲面を有して穴のない対象物の消毒に適している。 システムの詳細は以下の通りである。 ・オゾン含有ガス混合物を生成し、システム内にガスを維持 するための装置(１)、 ・処理対象物(２)、 ・処理空間の境界(３)、 ・ガス混合物用に交番する、入口（４）および出口(５)、 ・処理空間中のガス混合物の相対湿度および温度の制御のための装置(６)、 ・１方向の流ベクトル(ａ１)、および ・逆方向の流ベクトル(ａ２)。 再循環によるシステム内を流れるガス流はガス混合物を供給するための装置（ 上記項目１参照）内に位置するファンによって駆動され、入口−出口（４−５） を通って処理空間（３）に入り、処理対象物とその１面、次いでその他面で交互 に反応し、その後、流方向を変え、入口−出口（４−５）を通って出る。処理空 間に向かって通過する間に、ガス流は湿度および温度制御部（６）を通って流れ る。 図２はオゾン含有ガス混合物の強制的な螺旋円錐流による対象物の処理プロセ スを示すものであり、流はその方向を交番する。このシステムにおいては、表面 領域が滑らかで穴がないものである限りは様々な幾何学的形状を有する対象物を 処理することができる。螺旋運動する流はファン状ガスミキサで得られる。螺旋 運動を伴う流の方向を交番させることにより、異なった方向における処理間隔が 同一である限りは、処理されるべき対象物の均一な処理が確保される。 このシステムの詳細は以下の通りである。 ・オゾンとガスとの混合物を生成するための装置(２１)、 ・処理対象物(２２)、 ・処理空間の境界(２３)、 ・(交番する)入口−出口(２４−２５)、 ・ガス混合物の湿度および温度制御部(２６)。 処理空間内における流方向の変化はガスミキサの方向を変えることによって達 成される。また、ガス流の方向を変えずに処理対象物を回転することによっても 均一な処理を達成することができる。 図３はガス混合物の螺旋状円筒流を示し、この流はその方向を交番する。この ようなシステムにおける最良の結果は、異なった形状を有する滑らかな対象物が 層状に配され、層が網上に置かれた時に得られる。上記ガス流は、ガス混合物を 接線方向に駆動し、処理空間の中心から流出させることによって生成される。 このシステムの詳細は以下の通りである。 ・オゾンとガスとの混合物を生成するための装置(３１)、 ・処理対象物(３２)、 ・処理空間の境界(３３)、 ・入射ガスの方向を９０°の角度で変化させ、方向が交番する接線速度を達成 するガス入口(３４)、 ・円筒形で孔を有し、処理空間の中心に位置し、平行な円筒形螺旋運動（ａ２ ）を形成する要因となるガス排出口(３５)、 ・ガス湿度および温度のための制御部(３６)。 図４は音波と組み合わされた、オゾン含有ガス混合物の強制流による対象物の 処理プロセスを示す。処理空間におけるガス流は上記の方法（図１，２および３ ）の全てで行うことができ る。音波は（通常のラウドスピーカのような）音響トランスジューサを運転する ことによって生成され、これによって、ある種の製品の多孔性表面や多様な角部 を有する対象物のような、ガスが停滞したままである領域へのオゾン移送が確保 される。このような領域に到達するガス混合物はそれらの消毒および浄化を促進 する。 このシステムの詳細は以下の通りである。 ・オゾンとガスとの混合物を生成するための装置(４１)、 ・処理対象物(４２)、 ・処理空間(４３)、 ・ガス入口−出口(４４−４５)、 ・ガスの湿度および温度制御部(４６)、 ・音波（４７）を生成するための電子装置(４７)、および ・音響トランスジューサ(４８)。 オゾン含有ガスが処理空間（４３）内に流れ込むと、処理対象物（４２）は消 毒される。音波（ｆ）はトランスジューサ４８によって生成され、処理空間の境 界および処理対象物と相互作用し、音波の周波数および振幅が変化すると、ガス 混合物は異なった方向に流れる。このような流は音波なしには起こらない。さら に、このガス流は、多孔性表面を備えたものを含む、全ての対象物のより良好か つより均一な処理をもたらす。 図５は開口を備えた包装中の対象物の処理プロセスを示し、これはオゾン含有 ガス混合物が包装された対象物と接触することを可能にする。 このシステムの詳細は以下の通りである。 ・オゾンとガスとの均一な混合物を生成するための装置(５ １)、 ・処理対象物(５２)、 ・処理空間(５３)、 ・ガス入口−出口(５４−５５)、 ・ガス混合物の温度および相対湿度の制御部(５６)、 ・音響トランスジューサを運転するための電子装置(５７)、 ・音響トランスジューサ(５８)、 ・処理対象物の包装(５９)。 この特定の場合、音波（ｆ）の振幅および周波数が変化すると、それらと処理 対象物、それらの包装およひ処理空間の境界との相互作用が起こり、オゾン含有 ガス混合物はより容易に包装中の開口に入り、処理対象物の表面を消毒および浄 化する。 図６は多孔性包装中の対象物の処理プロセスを示す。ミクロン級フィルタのよ うな多孔性物質はオゾンによる消毒もしくは浄化を受けた対象物の長期保存を容 易にする。 このシステムの詳細は以下の通りである。 ・オゾンとガスとの均一な混合物を生成するための装置(６１)、 ・処理対象物(６２)、 ・処理空間(６３)、 ・ガス入口−出口(６４−６５)、 ・ガス混合物の温度および相対湿度の制御部(６６)、 ・音響トランスジューサを運転するための電子装置(６７)、 ・音響トランスジューサ(６８)、 ・処理対象物の多孔非圧潰性包装(６９)、 ・真空ポンプ７０。 真空ポンプは均一なガス混合物を処理空間（６３）に通し、処理対象物（６２ ）を消毒する。 図７は処理空間においてオゾンとキャリヤガスとの均一な混合を達成するため のシステムを用いた対象物の処理プロセスを示す。このシステムは、以下に記載 するフレーム型オゾン発生器に基づく、均一なオゾン含有ガス混合物を生成する ための装置を運転するためのものである。このオゾン発生器はキャリヤガスと均 一に混合されたオゾンを生成し、専用のブロワ（ファン）を必要としない。 このシステムの詳細は以下の通りである。 ・フレーム型オゾン発生器(７１)、 ・処理対象物(７２)、 ・処理空間(７３)、 ・ガス入口−出口(７４−７５)、 ・ガス混合物温度および湿度の制御部(７６)、 ・音響トランスジューサを運転するための電子装置(７７)、 ・音響トランスジューサ(７８)、 ・オゾン入口における触媒フィルタ(７９)、 ・オゾン濃度の経時的な漸増を防止するための発生器。 フレーム型オゾン発生器を処理空間内に設置すると、音波周波数とオゾン発生 器の電力供給周波数との間の相互作用によってオゾン濃度を制御することができ る。各周波数間の同期および非同期状態は、オゾン発生器内のガス混合物の存在 持続期間を調節することにより、多様にオゾン濃度に影響する。 図８は移動ベルト上での連続運転のための処理プロセスを示す。このシステム は異なった種類の移動ベルトに沿って搬送さ れる対象物の消毒および浄化を行うためのものであり、処理空間において負圧を 保持することにより、処理空間から、あるいは移動ベルトの両端からのオゾンの 逸出を防止するものである。 このシステムの詳細は以下の通りである。 ・オゾンとガスとの均一な混合物を生成するための装置(８１)、 ・処理対象物(８２)、 ・処理空間(８３)、 ・ガス入口−出口(８４−８５)、 ・ガス混合物温度および湿度の制御部(８６)、 ・音響トランスジューサを運転するための電子装置(８７)、 ・音響トランスジューサ(８８)、 ・移動ベルト(８９)、 ・内負圧(Ｐ１)、 ・外圧(Ｐ２)。 図９は、音波を生成するために相互作用する２つのトランスジューサを用いた 処理プロセスを示す。このような相互作用は、異なった源からの音波の衝突によ って達成され、これによって、全方向にガス混合物の有効な分散が生じる。この システムにおいて、消毒および浄化は全表面領域において均一に起こる。このよ うにして、多孔性表面の孔内へのガス混合物の侵入は通常のシステムよりもはる かに良好となる。 このシステムの詳細は以下の通りである。 ・オゾンとガスとの均一な混合物を生成するための装置(９１)、 ・処理対象物(９２)、 ・処理空間(９３)、 ・ガス入口−出口(９４−９５)、 ・ガス混合物温度および湿度の制御部(９６)、 ・音響トランスジューサを運転するための電子装置(９７)、 ・音響トランスジューサ(９８)、 ・相互作用する音波（ｆ１）および(ｆ２)。 図１０は水蒸気の相転移によって得られる、オゾンの移送による対象物の処理 プロセスを示す。このようなプロセスは処理対象物（例えば、果物、野菜、肉） の温度が、 （ａ）ガス混合物との接触によって溶解オゾン含有水の層による処理対象物の コーティングが生じるような温度まで冷却され、この層が処理対象物の効果的な 消毒をもたらす場合、あるいは （ｂ）オゾンを含有する氷層が処理対象物の表面上に形成される時には氷点よ り低い温度まで冷却された場合に生じる。 （ａ）の場合、ガス混合物が処理対象物の表面に到達する前に露点前線が形成 されるかも知れない。これは、処理対象物の温度がガス混合物の露点よりもはる かに低い場合に起こり得る。この結果、処理対象物とガス混合物との間の温度勾 配によってオゾン含有霧が形成され、これは極めて効率的な消毒媒体となる。 （ｂ）の場合、処理対象物の外表面上にオゾン含有霜が形成されるかも知れな い。いずれの場合にもオゾン処理は、特にガス混合物の流方向ベクトルの交番を 伴った時、処理対象物の表面および適当であればそれらの包装および処理空間境 界とも相互作用する音波を伴った時に極めて有効である。 このシステムの詳細は以下の通りである。 ・オゾンとガスとの均一な混合物を生成するための装置(１０１)、 ・処理対象物(１０２)、 ・音響トランスジューサ(１０３)、 ・音響トランスジューサを運転するための電子装置(１０４)、 ・処理対象物の表面領域上の被覆層(１０５)、 ・処理対象物の温度(Ｔ１)、 ・ガス混合物の温度(Ｔ２)、 ・ガス流ベクトルの方向(ａ)、 ・音波(ｆ)。 図１１はオゾン含有ガス混合物を用いた水（もしくは他の液体）の液滴の処理 プロセスを示す。このプロセスは液滴が均一なオゾン含有ガス混合物と、ガス混 合物中に存在するオゾンが液滴中に浸透するのに充分な時間、接触する場合に生 じる。この場合、音波は液滴中へのオゾン浸透速度を大幅に増加させる。 また、この場合、オゾンによる液体の消毒および浄化ならびに脱臭は極めて効 率的である。このプロセスは従来のオゾン溶液生成方法とは異なっている。なぜ なら、前者はガス混合物の存在下における液滴の噴霧化によって行われるのに対 し、従来のプロセスはガス混合物を液体内に気泡化することによって行われるか らである。 このシステムの詳細は以下の通りである。 ・オゾンとガスとの均一な混合物を生成するための装置(１１１)、 ・液滴(１１２)、 ・音譬トランスジューサ(１１３)、 ・音響トランスジューサを運転するための電子装置(１１４)、 ・処理液滴(１１５)。 液滴はガス混合物によって包囲され、オゾンは液滴中に浸透し、これによって 、液体を消毒、浄化および脱臭する。一般に、液滴の寸法が小さいほど、プロセ スの効果は高くなる。さらに、オゾン含有ガス混合物が液滴中に溶解する場合、 他の溶存ガスがかなりの量放出され、細かく分散した霧として処理中の液体の脱 臭が高められる。 図１２はオゾン含有ガス混合物による薄い落下膜状の液体の処理プロセスを示 す。 このプロセスは、消毒、浄化もしくは脱臭を受ける液体の薄い落下膜上をガス 混合物が通過する場合に生じる。薄膜は、適当な幾何学形状を有する固体表面上 に液体を落下させることによって形成することができる。このようにして、この 運転モードは、この落下膜の大きな表面積により、高い処理効率を生じる。 このシステムの詳細は以下の通りである。 ・オゾンとガスとの均一な混合物を生成するための装置(１２１)、 ・薄い液体(１２２)、 ・薄い液体膜がその上に形成される固体表面(１２３)、 ・音響トランスジューサ(１２４)、 ・音響トランスジューサを運転するための電子装置(１２５)。 液体の消毒、浄化もしくは脱臭に加えて、液体がその上に落下する表面も消毒 される。後者のプロセスは（魚を含む）動物 の死体もしくはそれらの部分を処理するために極めて満足のいくものとなり得る 。 図１３は滑動トレイから落下する薄膜中の液体の消毒、浄化もしくは脱臭のた めの処理プロセスを示す。このようなトレイの理想的な形状は円形であり、落下 フィルムのそれは円筒形である。ガス混合物はこの円筒内に、円筒が部分的に隆 起して樽型体を形成するのに充分な圧力で導入される。また、この場合、「樽」 の内部および潜在的にはその外部におけるガス混合物流は音波とともに、処理の 効率を改善する。 このシステムの詳細は以下の通りである。 ・オゾンとガスとの均一な混合物を生成するための装置(１３１)、 ・樽型落下膜(１３２)、 ・(液体離脱角部を除いて)単調な境界を有する滑動トレイ(１３３)、 ・音響トランスジューサ(１３４)、 ・音響トランスジューサを運転するための電子装置(１３５)、 ・「樽」内に圧力を形成するための弁(１３６)、 ・「樽」の内容量(Ｖ)、 ・「樽」の内圧(Ｐ１)、 ・ガス混合流の方向(ａもしくはａ’)、 ・音波(ｆ)。 図１４はオゾン含有ガス混合物を用いた水の２相処理プロセスを示す。この処 理は冷却塔に似た塔内で行われる。水は細いスプリンクラで噴霧され、エーロゾ ルを形成する。ガス混合物は塔の底から押し込まれ、その方向は落下エーロゾル とは反対 方向である。ガス混合物はエーロゾルを包囲し、これを消毒、浄化および脱臭す る。このシステムは、冷却塔における冷却水への使用および水泳プールおよび飲 料水貯水槽のような比較的小さな水体の処理を目的とするものである。 このシステムの詳細は以下の通りである。 ・オゾンとガスとの均一な混合物を生成するための装置(１４１)、 ・塔(１４２)、 ・スプリンクラ(１４３)、 ・エーロゾル(１４４)、 ・触媒フィルタ(１４５)、 ・小塔用ブロワ(１４６)、 ・音響トランスジューサ(１４７)、 ・ガス混合流の方向(ａもしくはａ’)、および ・音波(ｆ)。 図１５は、オゾン含有ガス混合物を用いた、開放トレイ上に配置された卵の処 理プロセスを示す。この処理の目的は、食用卵もしくは郷化卵の殻を、卵の外表 面の周りにガス混合物を通過させることにより、消毒することにある。卵外表面 の大部分は前記ガス混合物に曝露され、極めて小さな表面がトレイに接触する。 消毒効率は音波、こよって大幅に改善することができ、これは卵とこれらが載置 されたトレイとの間の空間内への、そして卵殻孔内へのオゾンの浸透を高める。 処理期間を制限することにより、消毒プロセスは卵殻のみに限定することもでき る。 このシステムの詳細は以下の通りである。 ・オゾンとガスとの均一な混合物を生成するための装置(１ ５１)、 ・処理卵(１５２)、 ・トレイ(１５３)、 ・音響トランスジューサ(１５４)。 図１６は、オゾン含有ガス混合物を用いた、包装中の卵の前処理を示す。この 用途は、ガス混合物流を卵殻内に侵入させる開口を有するボックス中に配された 卵殻を消毒することを可能にする。この場合においても、ボックス壁と相互作用 し、卵とこれらが収容されたボックスとの間の空間への、そして卵殻孔へのオゾ ンの急速な浸透を促進する音波によって消毒効率を大幅に改善することができる 。この運転モードは、所望の時のみに卵殻を消毒することを容易にする。 このシステムの詳細は以下の通りである。 ・オゾンとガスとの均一な混合物を生成するための装置(１６１)、 ・処理卵(１６２)、 ・ボックス(包装)(１６３)、 ・ボックス中の開口(１６４)、 ・音響トランスジューサ(１６５)、および ・ボックスの寸法(Ａ，ＢおよびＣ)。 また、この用途は果物および野菜等の同様に包装された農産物を処理するのに も適している。 図１７は処理すべき対象物の周りに巻かれたフィルムを膨張させることによっ て構成される、処理空間内の消毒システムを示す。 上記図に示すようなシステムの詳細は以下の通りである。 ・処理、膨張および再循環用のオゾンとガスとの均一な混合物を生成するため の装置(１７１)、 ・処理対象物(１７２)、 ・膨張可能な処理空間(１７３)、 ・ガス混合物の入口(１７５)、 ・ガス混合物の出口(１７４)、 ・処理空間を膨張させるための外部ガス制御弁(１７６)、 ・音響トランスジューサを運転するための電子装置(１７７)、 ・音響トランスジューサ(１７８)、 ・ガス放出器および触媒フィルタ(１７９)、 ・ガス混合物温度および相対湿度制御要素(１８０)。 認められるように、このシステムはその機動性および柔軟性によって特徴づけ られ、最低限の包装容量しか必要としないその折り畳みおよび真空包装が可能で ある。こうして、これは、樹木や低木のような個々の植物を殺虫剤で処理したり 、医療器具、実験設備等のような個々の対象物を消毒したりするために使用する ことができる。 図１８は任意の医療処置の前もしくは／および後に開いた傷および火傷を消毒 するためのシステムを示す。 このシステムの詳細は以下の通りである。 ・オゾンとガスとの均一な混合物を生成するための装置(１８１)、 ・火傷もしくは開いた傷を有する処理対象物(１８２)、 ・ガス出口(１８４)、 ・ガス入口(１８５)、 ・処理空間を膨張させるための外部ガス制御弁(１８７)、 ・ガス混合物温度および相対湿度制御要素（１８８） ・対象物の膜からの分離を可能にするリング状保持カフおよびストラップのよ うな器具(１８９)。 このシステムは任意の医療処置の前もしくは／および後に開いた傷もしくは火 傷を有する処理領域において領域を隔離することを目的とする。処理空間は、顔 が炭素のような触媒フィルタが取り付けられたマスクで覆われた場合には全体を 包囲してもよい。 次いで、図１９〜２３を参照し、本発明の教示によって構成および運転される 、効率的なバッチ処理のための、一般的に１９０で参照されるシステムを記載す る。 オゾンを用いたバッチ処理は一般に極めて非効率的である。処理に効果的とな るに充分なオゾンを発生させるためには多量のエネルギが使用される。しかしな がら、オゾンは雰囲気中に放出することが許されないため、各バッチの処理終了 時に残存する全オゾンは処理製品を除去するために処理チャンバが開放可能とな る前に通常、触媒フィルタによって分解しなければならない。この問題を解決す るため、システム１９０は多数のチャンバを備え、各バッチの終了時にこれらの 間を通して残存オゾンを移送する。 システム１９０は、これらに限定されるものではないが、卵、野菜、肉および 魚のような食料品および医療用品のような他の製品を含む広範囲の用途に使用す ることができる。 システム１９０の特徴をより詳細に記載すると、システム１９０は少なくとも ２つの処理チャンバ１９１，１９２からなり、これらはバッチオゾン処理のため に交互に（あるいは３つ以上 のチャンバの場合には順に）使用される。チャンバ１９１および１９２の間は、 オゾン発生器１９４および触媒フィルタ１９５を備えた隔壁１９３によって分離 される。 オゾン発生器１９４および触媒フィルタ１９５の各々は独立して切換可能な入 口導管および出口導管を有しており、４つの異なるモード、すなわち、チャンバ １９１内での再循環、チャンバ１９２内での再循環、チャンバ１９１からチャン バ１９２への圧送、およびチャンバ１９２からチャンバ１９１への圧送のいずれ かで運転される。入口および出口の切換ならびに触媒フィルタの作動は後述のよ うにタイマもしくはコンピュータ化された制御システムによって制御される。 各チャンバは少なくとも１つの密閉されたドア１９６、好ましくは対向する端 に配されたドア１９６を有しており、チャンバの効率的な装填および取り出しを 容易にしている。また、この配置は、対向する側面からの独立したアクセスを可 能にし、処理済および未処理の生産物を含む領域間を完全に分離する。好ましい 実施態様においては、各チャンバは上述のようにオゾン含有ガスの浸透を高める ための音響トランスジューサ１９７も備えている。 また、好ましくは、各チャンバは、触媒フィルタを備えた吸引ポンプ１９８を 有している。吸引ポンプ１９８は処理中のチャンパ内に負圧を形成し、オゾン漏 出の危険性を減じる。 図１９〜２２はシステム１９０の運転段階の順序を示し、図２３は２つのチャ ンパ内の対応するオゾン濃度時間変化を示す。まず、図１９は任意に選択された 開始時におけるシステム１９０を示し、ここでは第１のチャンバ１９１がオゾン 処理を行う 一方、第２のチャンバは装填および取り出しのため、オゾンのない状態にある。 この段階で、オゾン発生器１９４がチャンバ１９１内で再循環モードで運転され 、オゾン濃度が最大所望値に維持される。また、チャンパ１９１の吸引ポンプ１ ９８が内向きの圧力勾配を維持するように運転され、オゾンの逸出を防止する。 チャンバ１９２が装填され、チャンバ１９１の処理が完了すると、全てのドア １９６が閉鎖され、システムは図２０に示す切換段階に入る。ここで、オゾン発 生器１９４は圧送モードで運転され、オゾンを含有したガスをチャンバ１９１か らチャンバ１９２に移送する。触媒フィルタ１９５を通る逆流が生じ、これはチ ャンバ１９１に戻ろうとするあらゆるオゾンを分解する。この結果、チャンバ１ ９２内のオゾン濃度は急速に上昇する一方、チャンバ１９１のそれは低下する。 この段階で、両ポンプ１９８が運転され、漏出が防止される。 チャンバ１９２内のオゾン濃度がチャンバ１９１内のそれを超えると、システ ムは図２１に示す両側再循環段階に入る。ここで、オゾン発生器１９４はチャン バ１９２内において再循環モードで運転され、オゾン濃度を処理のための最大所 望値まで上昇させる。これと同時に、触媒フィルタ１９５がチャンバ１９１内に おいて再循環モードで運転され、残存オゾンを全て除去する。 チャンバ１９１のオゾン含量がゼロになると、図２２に示すようにフィルタ１ ９５およびチャンバ１９１の吸引ポンプ１９８が失勢される。圧力が大気圧と等 しくなると、チャンバ１９１の取り出しおよび再装填のためにドア１９６が開放 される。 同時に、チャンバ１９２内で処理が前段階と同様に継続する。次いで、逆方向に 、すなわちチャンバ１９１および１９２の役割を入れ替えて、全手順が行われ、 次のバッチが処理される。 次いで、本発明によるオゾン発生器構造をより詳細に検討するが、これらは図 ２４〜４５を参照して詳細に記載する。 要約すると、本発明のオゾン発生器もしくは「オゾネータ」はオゾン含有ガス からオゾンを生成するための汎用システムであり、オゾンと該ガス（「キャリヤ ガス」と称する）との均一な混合物を供給する。オゾネータは少なくとも１つの フレームを含み、このフレームの領域は誘電物質で被覆された少なくとも２つの 電極で覆われており、電極は平行に配され、それらの間には電極の長手軸および フレーム領域の前面に対してほぼ９０°の角度にあるガス流のための間隙が存在 し、電極の表面領域は電極を形成する導電物質の表面領域とほぼ平行であり、同 一の極性を有する電極は互いに接続され、相反する極性の電極は互いに隣接して おり、電極はシステムに入るガス流にほぼ垂直な位置に配されている。オゾン生 成のためのシステムは汎用であり、広範囲の所望の濃度で現場でのオゾン生成を 容易にし、これまで困難、非現実的あるいは不可能でさえあった様々な用途を可 能にするという利点を有している。 また、このシステムはコンパクトな構成を有し、比較的小さな空間しか占有し ない。 本発明のオゾネータにおけるオゾン生成の重要なパラメータはガス流導管の断 面積に対する電極表面積の割合である。電極の長さがその直径の１０倍を超える と、この割合は０．４を超える。酸素分子（Ｏ２）が、電極間に発生した電流を 通過する と、いくらかの分子は解離して単原子酸素（Ｏ）を形成し、次いで、その一部は 再結合してオゾン（Ｏ３）を形成する。電極の断面形状は多様とすることができ 、互いに幾何学的に適合するように保たれる。 ガス流量の調節を容易にするため、長手軸の周りの回転を制御することにより 、反応ガスが流れる場所における電極間の間隙を狭めたり、拡げたりする。 電極は任意の導電性物質から製造することができる。その例としては、金属線 、電力膜、炭素線もしくは膜および導電性液およびゲルが挙げられる。電極の誘 電被膜は硼珪酸ガラスもしくはセラミックのような、典型的な値が４〜７の間の 範囲にある高い誘電率および好ましくは１２ｋＶ／ｍｍを超える高い破壊電圧を 有する様々な物質から選択することができる。 電極間に均一な電場を供給するためにその間に同一な間隙（距離）がもたらさ れる限り、電極の断面形状は多様のものとすることができる。 オゾンが形成される全空間にあまねく均一な電場を得るため、前記装置の電極 間の間隙は電極の長手軸に対してほぼ９０°にあり、電極は互いにほぼ平行に維 持される。 電極を保持するフレームは、オゾンに冒されないような他の種類の絶縁物質か らなるものとすることもでき、このように、ある用途に適したいくつかの型の物 質を選択することができる。一般に、あらゆるオゾン耐性物質が使用可能である 。この点はあまり重要でなく、充分な耐性、柔軟性、弾性等を有してその特定の 目的に適したものである限り、一般にあらゆる物質を使用することができる。 オゾン濃度値の制御は、前記オゾネータを通るガスの流量および／もしくは電 極間の電場の変化を監視することによって達成され、これは前記オゾネータの電 極間に印加される電圧を制御することによって行われる。 本発明によるオゾネータシステムの特別な利点は、空気のために狭い間隙しか ない場合のような、付加的なミキサのための空間がない場合にも適用できること にある。 次いで、フレームオゾネータの特徴をさらに詳細に記載する。図２４は本発明 によるオゾネータのフレームの可能な実施態様を概略的に示す。フレームは、誘 電物質で被覆されて互いにほぼ平行に配されてアレイを形成する電極（２０１， ２０２）からなる。前記電極間には、電極の長手軸およびフレーム領域の前面に 対してほぼ９０°にある間隙が存在する。電極の表面領域は、電極が形成される 金属導電体の表面領域とほぼ平行である。同一の極性の電極は互いに電気接続さ れ(２０３，２０４)、相反する極性の電極が互いに隣接するように配置される。 この構成は閉鎖矩形のフレーム（２０６）によって一体的に保持される。高電圧 （ＡＣ）が端子ＡおよびＢ間に接続され、前記電極に印加される。オゾン生成の 効率を最高にするため、空気もしくは酸素含有ガスの流がフレームを通過し、フ レームの前面領域に対して垂直に適用される。電極間に発生した電場の間を酸素 分子（Ｏ２）が通過すると、いくつかの分子が解離し、単原子酸素（Ｏ）を形成 し、次いで部分的に再結合してオゾン（Ｏ３）を形成する。 図２５は本発明によるオゾネータに使用される電極のアセンブリを概略的に示 す。このアセンブリは金属電極(２１１)、誘 電被覆(２１２)、電気接点（２１３）および絶縁空間（２１４）からなる。前記 オゾネータの電極は多様な設計のものとすることができ、図２５には２つの典型 的なものを示す。図示されるように、電極は電気接点（２０２ａ）を除く全ての 面上において被覆されるか、あるいは電極は端部に電極間の放電を防止するため の絶縁中空空間を有する絶縁配管内に配置される。 図２６は本発明によるオゾネータに最適な電極のいくつかの典型的な断面形状 を示すものである。 図２６ａは金属電極（２２１）および誘電被覆（２２２）を有する多角形断面 形状を有する電極を示し、ガス流の方向をＶで表し、オゾン形成用空間をＧで表 す。 図２６ｂは円形断面を有する電極を示す。 図２６ｃおよび２６ｄは異なった形状を有するが、それらの間の空間の対応す る形状については互いに適合する電極の断面を示す。これらは金属電極（２２１ ）および誘電被覆（２２４）からなり、オゾンは空間（Ｇ）中に形成される。 図２６ｅは、平行境界面を有する空間を付与し、これによって、電極をそれら の長手軸の周りで回転することにより、電極を通るガス流の制御を容易にするよ うな断面を有する電極を示す。 図２７は通気孔もしくは煙突における前記オゾネータの特定の使用を示すもの である。 図２７ａは通気孔もしくは煙突の内部に設置された本発明によるオゾネータの 使用を示すものである。これは、通気孔（２３０）および本発明によるオゾネー タ（２３１）からなり、ガス流の方向はＶで表される。このシステムは処理媒体 の浄化お よび殺菌のためのものである。 図２７ｂは、通気孔内に設置された同様の構造を示し、これは該システムによ る空気処理の終了後にオゾン残留物を除去するための装置を備えたものである。 認められるように、前記システムの内部には触媒フィルタ（２３２）が設けられ 、これはオゾン処理領域の前の通気外部空間(２３３)、オゾン処理が適用される 空間(２３４)、および処理後に触媒フィルタによってオゾン残留物が除去される 空間（２３５）を有している。このシステムは空気もしくは他のガスの脱臭のみ ならず浄化や殺菌を目的とするものである。このようなシステムは様々な寸法の 空調設備および冷蔵庫に使用することができる。 本発明によるオゾネータシステムは微生物もしくは化学汚染物質で汚染された 空気もしくは酸素を処理するのにも適している。該処理後のオゾンは浄化済のガ スとともに酸素分子に変換され、オゾンはなくなる。 図２８は本発明によるオゾネータおよびブロワを用いる空気浄化および消毒用 システムを示す。このシステムは以下の要素からなる。 ・キャビネット(２４０)、 ・一体化されたブロワ(２４１)、 ・本発明によるオゾネータ(２４２)、 ・触媒フィルタ(２４３)、 ・オゾン処理領域の前の外部空間(２４４)、 ・オゾン処理が適用される空間(２４５)、 ・触媒フィルタの後の内部空間(２４６)、 ・ブロワの後に配置された塵埃粒子除去用フィルタ(２４７)、 ・ガスの逆流によって引き起こされるオゾンの放出を防止するための第２の触 媒フィルタ（２４８）(随意)。 図２９は微生物的汚染物質に対する個人的および／もしくは外的保護における オゾネータの典型的な使用を示す。 吸入された空気ならびに吐き出された空気は触媒フィルタを通過する前にオゾ ンによって消毒され、これにより、フードを着用する人は雰囲気を介した感染か ら確実に保護される。感染が既に存在する場合には、他の人への感染が確実に防 止される。 図２９ｂは吸入された空気のみが殺菌される個人的な保護のためのフードを示 す。このフードは、免疫系不全の患者のように無菌室に閉じこめられた患者と接 触する人々が感染を防止するために使用することができる。 フードは以下の要素からなる。 ・伝播シールド(２７０)、 ・触媒フィルタを両側に含む、吸入された空気を殺菌するための上述のオゾネ ータ(２７１)、 ・オゾネータの両側に配された、吐き出された空気を殺菌するための触媒フィ ルタ(２７２)、 ・前記オゾネータを介することなく空気が前記フードに侵入およびこれから漏 出することを防止するための、人の胸に固定されるべきシート(２７３)、および ・空気の入口および出口を調節する逆止弁(２７４)。 水分の凝結を防止するため、吐き出された空気の隔室をフードの残りの部分か ら分離するための膜（２７５）を設置してもよい。 図３０は本発明によるオゾネータを用いる、特に飲料水容器 中に浸漬されるように設計された、水処理用の好ましい構成を示す。 この構成は以下の要素からなる。 ・円筒形ハウジング(２８０)、 ・触媒フィルタをも内蔵する粒子除去フィルタ(２８１)、 ・本発明によるオゾネータ(２８２)、 ・バッテリカートリッジ(２８３)、 ・必要に応じて設けられる高圧インバータ(２８４)、 ・水ポンプ(２８５)、 ・ベンチュリ装置(２８６)、 ・触媒フィルタ(２８７)、および ・浄化済の水の出口(２８８)。 水処理の運転は以下の通りである。フィルタ（２８１）およびオゾネータ（２ ８２）を通して空気を吸引するベンチュリ装置を介して水が汲み上げられる。水 はベンチュリ装置を通過する間にオゾン含有空気と均一に混合される。この混合 物は出口（２８８）を通って浄化済水容器に流れ込む。浄化の終了後、オゾネー タ運転は停止されるが、ポンプは、ガスを触媒フィルタに通過させることによっ てオゾン残留物を完全に除去するため、付加的な期間運転され続ける。 図３１および３２は、電極が円弧型であり、均一に分配されたオゾンによって 固体対象物がその上で連続的に処理できるようなコンベアの周りに配置するのが 容易な実施態様を示す。 他の使用モードによれば、オゾンが分散された容器は、新鮮な農産物、食品、 包装材もしくは殺菌しなければならない機器のような、オゾンで処理すべき固体 物質を搭載することのでき る棚に適合可能である。したがって、例えば、果物および野菜の場合、１０ｐｐ ｍに達するオゾン濃度を用い、９８％に達する相対湿度、および０〜４０℃の間 の温度で果物表面の自然な蝋状被覆を損なうことなく消毒を行うことができ、消 毒工程には約５〜１００分を要した。 容器の出口において、オゾンは酸素に再変換する。痕跡量のオゾンがあるのも 望ましくない場合には、前記残存物を直ちに除去するような、還元剤溶液を含有 するトラップもしくは炭素のような触媒フィルタを前記出口に設けることができ る。 図３１は、農産物のような固体物質もしくは対象物を連続的にその上でオゾン によって処理することのできるコンベアに沿っておよびその周りで使用されるべ き円弧状電極によって構成されたトンネルの概略図である。以下の要素を認める ことができる。 ・２９１：円弧状電極、 ・２９２：吸気開口 ・２９３：トンネルの基部、 ・Ｖ１：トンネルの基部、および ・Ｖ２：オゾン含有空気。 図３２は図３１と類似しており、以下の要素を有する。 ・３０１：円弧状電極、 ・３０２：吸気用多孔性基部、 ・３０３：トンネルの基部、 ・Ｖ１：空気入口、および ・Ｖ２：オゾン含有空気。 トンネル表面の上方には、多孔性膜を有するコンベアがあり、 オゾンで処理すべき固体物質はコンベアベルトに沿って移動される。オゾンガス は固休物質と接触した後、出口Ｖ２を通ってトンネルから放逐される。随意的に 、可動装置を前記トンネル内に配し、その上に処理すべき物質を懸架してもよい 。 他の好ましい実施態様によれば、前記物質を全表面上においてオゾンと確実に 接触させるために、オゾン処理中に少なくとも１回、交互に反転させるための装 置か前記トンネル内に配される。 上述のオゾネータ構造の全てならびに後述のものに関して、誘電絶縁体として 二フッ化ポリビニル（ＰＶＤＦ）を用いて電極を形成することが本発明において 好ましい。 従来のガラス被覆電極は、効率および信頼性の双方を低下させるような様々な 物理的影響を蒙ることが見出された。これらの影響は、酸素の破壊的な侵入をも たらすような、導電コアとガラス層との間に存在する間隙の結果であると考えら れる。 ＰＶＤＦの使用により、射出成形技術による電極の製造が可能になり、誘電物 質と導電コアとの間に密な接触が確保される。また、後述のように、射出成形技 術は完全に自容型のオゾネータユニットの一段階製造を可能にする。適当な射出 成形技術は、インプラントされた導電物質とともに他のプラスチック材料の射出 成形が行われる他の電機部品用途において公知である。 ＰＶＤＦは他にも多数の利点をもたらす。高い誘電率を有し、オゾネータの運 転条件下で不活性であるという必要な特性に加え、ＰＶＤＦは顕著な弾性を示す 。この結果、ＰＶＤＦで形成された構造物はかなり耐破砕性であり、したがって 、ガラスからなる同等の構造物よりも信頼性および耐性が高い。後述のよ うに、この柔軟性は、クリップオンコネクタ等においても構造的に使用できるも のである。 以下、図３３〜４３を参照して、本発明のオゾネータの様々な改良を記載する 。まず、図３３ａおよび３３ｂは長さｌの長尺電極３１０の共振運動の効果を示 す。オゾネータの共振作用中に、電極近傍で大きな磁場が引き起こされ、電極間 に多様な力が生じる。３つ以上の電極が関与する場合、２つ以上の面で複雑な振 動が起こり得る。これらの振動の結果、隣接した電極間の当初はｈである間隙が 電極の長さに沿って、最小値ｈ１（図３３ａ）と最大値ｈ２（図３３ｂ）の間で 変化する。この変化は多数の望ましくない影響をもたらす。すなわち、第１に、 間隙の幅が増加する時間中にオゾン発生が減少し、第２に、間隙の幅が減少する と、間隙を横断する火花が起こる危険性があり、第３に、極度の機械振動により 、電極の誘電被覆の破損、さらには隣接する電極の破断もしくは破壊的な衝突が 生じることもある。 上述の理由により、これを超えると電極が機械的に不安定になるような、有効 な「臨界長さ」があることが見出された。例えば、直径１．６ｍｍのアルミニウ ムコアおよび厚さ１．２ｍｍのＰＶＤＦ誘電絶縁体を有する電極（全直径４ｍｍ ）の場合、臨界長さは約３０ｃｍであることが見出された。安定性および信頼性 を高めるためには、約２０ｃｍの長さが好ましい。より一般的には、臨界比（臨 界長さと電極直径との比）はアルミニウム／ＰＶＤＦ電極においでは８０に近く 、パイレックス被覆電極においては約１００である。 所定の臨界値未満に電極の長さを制限すると、大面積のオゾ ネータの構成に問題が生じる。この問題に対する初歩的な解決法は臨界長さ未満 の間隔で中間電極スペーサを追加することである。しかしながら、この解決法は 極めて労働集約的であり、アセンブリ中に電極間に手動で正確にスペーサを配置 すること、あるいは非現実的なほど大きくしなければならない型の使用を必要と する。 本発明の教示によれば、図３４〜４２を参照して記載される、一般に３１２で 示されるモジュラフレーム−オゾネータアセンブリによって、好ましい解決法が 提供される。 図３４は同一のモジュール３１４のアレイからなるアセンブリ３１２を示す。 各モジュール３１４は、図３５に詳細な断面を示すように、臨界長さ未満の長さ ｌを有する多数の長尺電極３１６，３１７を有し、これらは自容フレームオゾネ ータユニットを形成するように配置される。このモジュラ構造は任意の所望の面 積および寸法を有するオゾネータの好都合な構築を可能にするとともに、大表面 積オゾネータで通常遭遇する問題を回避する。 モジュール３１４の詳細を見ると、各電極３１６，３１７は二フッ化ポリビニ ル３２０で被覆された導電コア３１８で形成されている。電極３１６，３１７は 、隣接する電極間に空気間隙を有するほぼ平坦な電極アレイを形成するように互 いにほぼ等間隔な関係でほぼ平行に配されている。第１の極性を有する電極３１ ６は相対する極性を有する電極３１７の間に挿入されている。 電極３１６，３１７は、電極にほぼ垂直な第１および第２の側部３２２，３２ ４と、電極にほぼ平行な第１および第２の端 部３２６，３２８とからなるほぼ矩形のフレームによって支持されている。好ま しくは、端部３２６および３２８と隣接する電極との間には空気間隙を存在させ ない。なぜなら、これらの位置における間隙はオゾン生成に寄与しないからであ る。 第１および第２の側部３２２，３２４は、アセンブリ３１２の構築中に第１の 側部３２２が同様のモジュール３１４の並列する第２の側部３２４と係合できる ような相補形連結形状部を有する。相補形連結形状部の好ましい構成は図３６に 最も明瞭に示される。ここでは、各側部は隣接するモジユールを半永久的に係合 させるようなクリップ形状部３３０を有する。 連結形状部の別の好ましい構成を図３７および３８に示す。図３７はクリップ 形状部３３０に類似したクリップ形状部３３２を示すが、これには、クリップを それらの係合位置に積極的にロックするようなラチェット歯３３４が付加されて いる。必要に応じて、側部３２２および３２４の長さに沿ってモジュールを滑動 させて分離することによってのみ、結合を外すことができる。図３８は矩形連結 形状３３６を示す。 好ましくは、第１および第２の端部３２６，３２８にも相補形連結形状部を形 成し、アセンブリ中に第１の端部３２６が同様のモジュール３１４の並列する第 ２の端部３２８と係合できるようにする。適当な連結形状部の１例を図３９に示 す。この連結形状部は側部３２２，３２４に関連して上述したものを含む様々な 形状を採ることができるが、これらに限定されるものではない。 モジュール３１４の電気接続について見ると、第１の極性の全電極３１６は第 １の共通電気接続部もしくはレール３３８に 接続され、相反する極性の全電極３１７は第２の共通電気接続部もしくはレール ３４０に接続される。 レール３３８および３４０への外部接続は様々な様式で達成することができる 。好ましくは、付加的な外部配線を伴うことなくアセンブリ３１２を横断する接 触を可能にするように、コネクタ３４２，３４４（図３６〜４０）はモジュール ３１４の側部および端部に内蔵される。この場合、クリップ集合されたアセンブ リの弾性は、いったん組み合わされたコネクタの強固な接触を維持し、したがっ て、接続部を横切る火花の形成を防止する。 必要に応じて外部配線を通した接続を可能にするために、好ましくは、付加的 な切換可能なマルチコネクタソケット３４６（図３５および４０）が設けられる 。図示を明瞭にするため、レール３３８とコネクタ３４２との間およびレール３ ４０とコネクタ３４４との間の双方における電気接続ならびにマルチコネクタソ ケット３４６への電気接続の詳細は図から省略した。 モジュール３１４の好ましい実施例においては、コネクタ３４２および３４４ が、接続されたモジュールの融通のきく電気的グループ化を可能にすることが特 有の特徴である。大面積オゾン発生器の電力供給を多数の小さな領域に分割する ことにより、多数の低電流高電圧変圧器を使用し、高電流高電圧システムに伴う 安全性欠陥および法規制の双方を回避することができる。一方、高電流供給源が 入手可能である場合、同じモジュールを容易に再配置して全モジュールに共通な 平行接続をもたらすこともできる。次いで、コネクタ３４２，３４４の１つの適 当な配置およびそれらの使用の例を図４０〜４２を参照して記 載する。 この例では、１つのモジュール３１４が側部３２２および３２４に平行な線の 周りで１８０°回転（以下「フリップ」と称する）するとフリップした側部３２ ２が未フリップのモジュール３１４の側部３２２と連結するように、側部３２２ および３２４の相補連結形状部は同一になっていることに注意されたい。同様に 、１つのモジュール３１４が端部３２６および３２８に平行な線の周りで１８０ °回転（以下「逆転」と称する）すると逆転した端部３２６が未逆転のモジュー ル３１４の端部３２６と連結するように、端部３２６および３２８の形状は同一 になっている。 図４０は側部３２２の上端および側部３２４の下端に非対称的に位置するコネ クタ３４２を有するモジュール３１４を示す。同様に、コネクタ３４４は端部３ ２６の右側および端部３２８の左側に非対称的に位置する。 このように設計された２つのモジュールが並列に組み合わされると、互いに当 接する側部のコネクタ３４２間には接触が起こらないことが容易に理解されるで あろう。一方、モジュールの１つがフリップされるとコネクタ３４２の位置は重 なるようになり、組み合わされると電気接触を形成する。 同様に、このように設計された２つのモジュールが互いに重なるように組み合 わされると、互いに当接する端部のコネクタ３４４間には接触が起こらない。モ ジュールの１つが逆転するとコネクタ３４４の位置は重なるようになり、組み合 わされると電気接触を形成する。 図４１はモジュール３１４の３×３アレイからなるアセンブ リ３１２を示す。参照を容易にするため、各モジュールの相対配向を矢印で示す 。各モジュールはその水平方向の隣接モジュールに対してフリップされ、、その 垂直方向の隣接モジュールに対して逆転される。この結果、全アセンブリを水平 方向に横切るコネクタ３４２間および全アセンブリを垂直方向に横切るコネクタ ３４４間に連続的な接続が形成される。したがって、３つの露出されたコネクタ ３４２を供給源の１つの極に、３つの露出されたコネクタ３４４を供給源の他の 極に接続するだけで、アセンブリを活性化することができる。 図４２はモジュール３１４の３×４アレイからなる別のアセンブリを示す。こ の場合には、モジュール３１４の逆転は使用されない。この結果、垂直方向の接 続は形成されない。また、フリップはモジュール３１４の対の接続を形成するよ うに選択的に行われる。この結果、アセンブリ３１２はモジュール３１４の対の 小さなサブユニットに電気的に分割され、各サブユニットは上述の低電流要求の 利点を全て有している。補足的には、この場合、モジュールの中列のレール３４ ０をアタッチメントによってマルチコネクタ３４６に接続するには外部配線が必 要なことに注意されたい。 モジュール３１４の全構造は好ましくは、適当に配置された導電性インプラン トを有する成形二フッ化ポリビニルで一体的に形成されることに注意されたい。 導電物質の選択は重要ではないが、典型的にはアルミニウムとすることができる 。 アセンブリ３１２は、電極アレイの面にほぼ垂直な方向に酸素含有ガス流を発 生させるためのある種の流発生器(図示せず)とともに運転される。あらゆる型の 流発生器を使用することが でき、これはオゾン発生器専用のものでもそうでないものでもよい。 ガス流の方向に垂直な面に電極を配置すると、オゾン発生器の運転中に電極が それらの全長に沿って均一に冷却されることを理解されたい。この現象はオゾン の熱解離を顕著に減少させる。 次いで、図４３を参照すると、これはモジュラフレーム−オゾネータアセンブ リ３１２の変更例４００を示す。アセンブリ４００は一般にアセンブリ３１２と 同様であるが、モジュール４０２が電極に垂直な方向に延びるストリップとして 形成されている点が主として異なっている。他の全ての点において、アセンブリ ４００の特徴は、上述のアセンブリ３１２との類似によって容易に理解できるで あろう。 最後に、図４４および４５を参照し、一般的に５００で参照される、本発明の 教示によって構成および運転される高濃度フレーム型オゾン発生器を記載する。 オゾン発生器５００は多数のフレーム５０２を有し、これらは各々、上述のも のと同様に互いに間隔を置いてほぼ平行に配置された長尺電極のアレイからなる 。フレーム５０２は正方形の断面を有する煙道５０４に沿って互いに間隔を置い て配され、煙道の全断面領域を覆うようになっている。煙道５０４は、ほぼ閉鎖 された円筒形ケーシング５０６内に設けられ、周縁ガス流管５０８を画定する。 ケーシング５０６は入口５１０および出口５１２を有している。入口５１０の 近傍では、電源５１４がモータ５１６に給電し、このモータは駆動軸５２０を介 してファン５１８を駆動す る。隔璧５２２は駆動軸５２０の周りに小さなアパーチャ５２４を画定し、電源 ５１４およびモータ５１６を含む入口領域をオゾン発生器５００の運転体積から 分離するように働く。 運転中において、ファン５１８は二重流パターンを発生する。第１に、これは 運転体積内のガスを煙道５０４に沿って流れ、周縁流管５０８に沿って戻る循環 流とし、ガスをフレーム５０２を通して再循環させる。さらに、ファン５１８の 後ろの吸引効果により、ガスがアパーチャ５２４を介して入口５１０から吸い込 まれ、出口５１２を通って排出される対応したガスの貫通流を生成する。オゾン 発生器５００を正確に構成し、より具体的にはアパーチャ５２４の寸法を調節す ることにより、貫通流の体積流量Ｖ０は再循環流の体積流量Ｖ１よりも顕著に低 く設定される。好ましくは、キャリヤガス中に比較的高濃度のオゾンを有する均 一な混合物を発生させるように、Ｖ１はＶ０の少なくとも１０倍高いものとされ る。 オゾン発生器の運転中にはかなりの熱が発生する。場合によっては、ケーシン グ５０６の壁を通る導管５０８内のガスの空冷のみで充分なこともある。あるい は、ケーシング５０６の壁を冷却するために積極的な冷却システムを設ける。こ のようなシステムの１例は冷却管５２６で示される水循環冷却システムである。 アパーチャ５２４に対しでファン５１８を位置決めすることによって、電源お よびモータを含む領域内に潜在的に有害なオゾンが還流しないようになる。 好ましくは、入口５１０に、侵入する空気に由来する塵埃およびその他の小粒 子を除去するようなフィルタおよび／もしく は静電集塵器を設け、オゾン発生器５００の性能を保護する。 以上の記載は例示的な目的のみを有するものであり、本発明の精神および範疇 内で多くの他の実施態様が可能であることを理解されたい。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，Ｌ Ｕ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ， ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，Ｓ Ｄ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ， ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，Ｆ Ｉ，ＧＢ，ＧＥ，ＨＵ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ， ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，Ｎ Ｏ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ ，ＳＩ，ＳＫ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ， ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ (72)発明者 ヤンナイ シュムエル イスラエル、ハイファ 34987、スウェデ ンストリート 61

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．（ａ）ほぼ平坦な電極アレイを形成するように互いに対してほぼ平行に間隔 をおいて配された複数の長尺電極、および （ｂ）前記電極アレイにほぼ垂直な方向に前記電極アレイを貫通する酸素含有 ガス流を発生させる流発生器からなり、 前記電極の各々は二フッ化ポリビニルで被覆された導電性コアによって形成 されていることを特徴とするフレーム型オゾン発生器。 ２．前記電極アレイが所定の面積のフレーム内に配され、前記フレームは前記所 定の面積よりも大きな面積の拡張オゾン発生器を形成するように他の同様なフレ ームと組み合わされるように構成されていることを特徴とする請求の範囲第１項 記載のオゾン発生器。 ３．前記フレームは電極にほぼ垂直な第１および第２の側部を有するほぼ矩形状 であり、前記第１および第２の側部は前記第１の側部が同様のフレームの並列し た第２の側部と係合して拡張オゾン発生ユニットを形成できるような相補形の連 結形状部を備えていることを特徴とする請求の範囲第２項記載のオゾン発生器。 ４．前記第１の側部が第１の組の電極への第１の共通電気接続部を含み、前記相 補形連結形状部は、前記第１の共通電気接続部が前記フレームと連結するように 並列した同様のフレームの他の共通電気接続部と電気的に接触するように構成さ れていることを特徴とする請求の範囲第３項記載のオゾン発生 器。 ５．前記フレームが前記電極にほぼ垂直な第１および第２の端を有し、前記第１ および第２の端は前記第１の端が同様のフレームの並列した第２の端と係合して 拡張オゾン発生ユニットを形成できるような相補形の連結形状部を備えているこ とを特徴とする請求の範囲第３項記載のオゾン発生器。 ６．前記第１の端が第１の組の電極への第１の共通電気接続部を含み、前記相補 形連結形状部は、前記第１の共通電気接続部が前記フレームと連結するように並 列した同様のフレームの他の共通電気接続部と電気的に接触するように構成され ていることを特徴とする請求の範囲第５項記載のオゾン発生器。 ７．前記フレームおよび電極アレイが導電性インプラントを備えた二フッ化ポリ ビニル成形物により一体的に形成されていることを特徴とする請求の範囲第２〜 ６項のいずれか１項記載のオゾン発生器。 ８．オゾン含有ガスで製品を処理するための装置であって、 （ａ）製品を収容するための容器、 （ｂ）前記容器の内部にオゾン含有ガスを供給するためのオゾン発生器、およ び （ｃ）オゾン処理の効果を高めるために前記容器内に圧力波を発生させるため の圧力波発生器からなる装置。 ９．オゾン含有ガスの循環を発生させるための流発生システムをさらに備えてい ることを特徴とする請求の範囲第８項記載の装置。 １０．第１の方向および該第１の方向と対向する第２の方向の間で交番するオゾ ン含有ガス流を発生させるように構成され た流発生システムをさらに備えていることを特徴とする請求の範囲第８項記載の 装置。 １１．製品に向けて２つ以上の方向でオゾン含有ガスの流を同時に発生させるよ うに構成された流発生システムをさらに備えていることを特徴とする請求の範囲 第８項記載の装置。 １２．処理に先立って、少なくとも製品の表面層を該表面層上でオゾン含有水蒸 気が凝結するのに充分なように冷却するための冷却システムをさらに備えている ことを特徴とする請求の範囲第８〜１１項のいずれか１項記載の装置。 １３．処理に先立って、少なくとも製品の表面層を該表面層上でオゾン含有水蒸 気が凍結するのに充分なように冷却するための冷却システムをさらに備えている ことを特徴とする請求の範囲第８〜１１項のいずれか１項記載の装置。 １４．製品が水であり、装置はさらに、容器中に移動水膜を発生させるための水 管理システムをさらに備えていることを特徴とする請求の範囲第８〜１１項のい ずれか１項記載の装置。 １５．製品が水であり、装置はさらに、 （ａ）前記容器内で第１の方向に移動する水の噴流を生成する噴流発生器、お よび （ｂ）前記第１の方向とほぼ対向する第２の方向にオゾン含有ガス流を発生さ せる流発生器を備えていることを特徴とする請求の範囲第８項記載の装置。 １６．前記容器の開放に先立ってオゾン含有ガスからオゾンを除去するための、 前記容器に関連づけられた触媒フィルタをさらに備えていることを特徴とする請 求の範囲第８〜１１項のいずれか１項記載の装置。 １７．潜在的に有毒なガスを用いた、製品のバッチ処理方法であって、 （ａ）第１および第２の処理チャンバを供給し、 （ｂ）前記第１の処理チャンバ内において所定量のガスで第１のバッチの製 品を処理し、 （ｃ）第２のバッチの製品を前記第２の処理チャンバ内に配置し、 （ｄ）前記所定量のガスの少なくとも一部を前記第１の処理チャンバから前記 第２の処理チャンバへ移送することからなる方法。 １８．前記潜在的に有毒なガスがオゾン含有ガスであることを特徴とする請求の 範囲第１７項記載の方法。 １９．前記移送がオゾン含有ガス中のオゾンの比率をさらに増加させるようにオ ゾン発生器を通して行われることを特徴とする請求の範囲第１８項記載の方法。 ２０．さらに、ガスを触媒フィルタを通して前記第２の処理チャンバから前記第 １の処理チャンバに移送することを特徴とする請求の範囲第１８項記載の方法。 ２１．オゾン処理の効果を高めるように前記第１の処理チャンバ内で圧力波を発 生させることを特徴とする請求の範囲第１８〜２０項のいずれか１項記載の方法 。 ２２．前記処理に先立って、少なくとも製品の表面層を、該表面層上でオゾン含 有水蒸気が凝結するのに充分なように冷却することを特徴とする請求の範囲第１ ８〜２０項のいずれか１項記載の方法。 ２３．前記処理に先立って、少なくとも製品の表面層を、該表 面層上でオゾン含有水蒸気が凍結するのに充分なように冷却することを特徴とす る請求の範囲第１８〜２０項のいずれか１項記載の方法。 ２４．前記第１および第２の処理チャンバが、少なくとも１つのオゾン発生器お よび少なくとも１つの触媒フィルタを備えた共通仕切壁を共有することを特徴と する請求の範囲第１８〜２０項のいずれか１項記載の方法。 ２５．前記少なくとも１つのオゾン発生器が前記第１もしくは第２の処理チャン バと切換可能に連絡する入口および前記第１もしくは第２の処理チャンバと切換 可能に連絡する出口を有することを特徴とする請求の範囲第２４項記載の方法。 ２６．前記少なくとも１つの触媒フィルタが前記第１もしくは第２の処理チャン バと切換可能に連絡する入口および前記第１もしくは第２の処理チャンバと切換 可能に連絡する出口を有することを特徴とする請求の範囲第２５項記載の方法。 ２７．（ａ）ほぼ平坦な電極アレイを形成するように互いに対してほぼ平行に間 隔をおいて配された複数の長尺電極、 （ｂ）前記電極アレイをほぼ包囲し、入口および出口を有するケーシング 、および （ｃ）（ｉ）前記電極アレイを通って再循環する前記ケーシング内の再循 環ガス、および （ｉｉ）前記入口を通って入り、前記出口から出、前記再循環流の体 積流量よりもかなり低い体積流量を有するガス貫通流を発生させるように構成さ れた、前記ケーシングに関連づけられた流システムからなる高濃度フレーム型オ ゾン発生器。 ２８．前記再循環流の前記体積流量が前記貫通流の前記体積流量よりも少なくと も１０倍高いことを特徴とする請求の範囲第２７項記載のオゾン発生器。 ２９．前記ケーシングに関連づけられた、前記ケーシングを冷却するための冷却 システムをさらに備えたことを特徴とする請求の範囲第２７項記載のオゾン発生 器。 ３０．前記電極アレイと同様な少なくとも１つの追加電極アレイが前記電極アレ イと前記追加電極アレイを順次通って前記再循環流が流れるように前記電極アレ イと平行に配されていることを特徴とする請求の範囲第２７項記載のオゾン発生 器。