JP2000513873A - 質量分析計のためのイオン源および分析のためにイオン源を供する方法 - Google Patents
質量分析計のためのイオン源および分析のためにイオン源を供する方法Info
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1. 望ましくないガスおよび滴と共存して必要なサンプルイオンが含まれるサ ンプルに流れを形成するための大気圧で動作する大気圧サンプルイオン化装置を 含む低圧で動作する質量分析計のためのイオン源であって、 インターフェースチャンバが、排気ポートと、 大気圧と質量分析計の作動圧力との中間の圧力で前記インターフェースチャン バを保持させるために前記排気ポートに連結された真空ポンプと、 前記サンプルイオン化装置の前記サンプルの流れから前記インターフェースチ ャンバ内に共存ガスおよび滴と共に必要な前記サンプルイオンを集めるために配 置された入口オリフィスであって、前記入口オリフィスは、流れ軸を有すると共 に、前記流れ軸に沿って前記インターフェースチャンバ内へのガスの流れを形成 させる入口オリフィスと、 前記サンプルイオンが前記質量分析計に向け前記インターフェースチャンバか ら放出するための出口オリフィスと、を有して構成され、 前記インターフェースチャンバが、ガスの前記流れを分裂させるように配置さ れて、前記チャンバ内に実質的にガスの流れ方向のないデッド領域を形成させ、 前記出口オリフィスがこのデッド領域に配置されていることを特徴とするイオン 源。 2. 請求の範囲1に記載の質量分析計のためのイオン源であって、前記インタ ーフェースチャンバが入口オリフィスの流れ軸を二分させる流れ分裂面を有する ことを特徴とするイオン源。 3. 請求の範囲2に記載の質量分析計のためのイオン源であって、前記インタ ーフェースチャンバが入口オリフィスと排気ポートとの間に流れチャンネルを形 成し、前記流れ分裂面が前記流れチャンネル内で流れ分裂部材により形成される ことを特徴とするイオン源。 4. 望ましくないガスおよび滴と共存して必要なサンプルイオンが含まれるサ ンプルに流れを形成させるための大気圧で動作する大気圧サンプルイオン化装置 を含む低圧で動作する質量分析計のためのイオン源であって、 インターフェースチャンバが、排気ポートと、 大気圧と前記質量分析計の作動圧力との中間の圧力で該インターフェースチャ ンバを保持するために前記排気ポートに連結された真空ポンプと、 前記サンプルイオン化装置の前記サンプルの流れから該インターフェースチャ ンバ内に共存ガスおよび滴と共に必要な前記サンプルイオンを集めるために配置 された入口オリフィスと、 前記サンプルイオンが前記質量分析計に向けインターフェースチャンバから放 出させるための出口オリフィスと、を有して構成され、 前記入口オリフィスと前記出口オリフィスとの間でインターフェースチャンバ 内に見通し路の線が形成されていないことを特徴とするイオン源。 5. 望ましくないガスおよび滴と共存して必要なサンプルイオンが含まれるサ ンプルに流れを形成させるための大気圧で動作する大気圧サンプルイオン化装置 を含む低圧で動作する質量分析計のためのイオン源であって、 インターフェースチャンバが、排気ポートと、 大気圧と前記質量分析計の作動圧力との中間の圧力で該インターフェースチャ ンバを保持するために前記排気ポートに連結された真空ポンプと、 前記サンプルイオン化装置の前記サンプルの流れからインターフェースチャン バ内に共存ガスおよび滴と共に必要なサンプルイオンを集めるために配置された 入口オリフィスであって、この入口オリフィスは流れ軸を有すると共に前記流れ 軸に沿って前記インターフェースチャンバ内にガスの流れを形成させる入口オリ フィスと、 前記サンプルイオンを前記質量分析計に向けて前記インターフェースチャンバ から放出させるために前記入口オリフィスと関係で一本の見通し線上にある出口 オリフィスと、を有して構成され、 前記見通し線が入口開口の前記流れ軸に対して少なくとも30度の方向に位置 することを特徴とするイオン源。 6. 請求の範囲4または5のいずれかに記載の質量分析計のためのイオン源で あって、前記入口オリフィスが流れ軸を有すると共に、前記流れ軸に沿って前記 インターフェースチャンバ内にガスの流れを形成させ、 前記インターフェースチャンバには、該チャンバ内に実質的にガスの流れ方向 のないデッド領域を形成させるために前記ガスの流れを分裂させる流れ分裂手段 を備え、 前記出口オリフィスが前記デッド領域内に位置することを特徴とするイオン源 。 7. 請求の範囲6に記載の質量分析計のためのイオン源であって、前記インタ ーフェースチャンバが前記入口オリフィスと前記排気ポートとの間で流れチャン ネルを形成することを特徴とするイオン源。 8. 望ましくないガスおよび滴と共存して必要なサンプルイオンが含まれるサ ンプルに流れを形成するための大気圧で動作する大気圧サンプルイオン化装置を 含む低圧で動作する質量分析計のためのイオン源であって、 インターフェースチャンバは、排気ポートと、 大気圧と質量分析計の作動圧力との中間の圧力で該インターフェースチャン バを保持するために前記排気ポートに連結された真空ポンプと、 前記サンプルイオン化装置の前記サンプルの流れから該インターフェースチャ ンバ内に前記共存ガスおよび滴と共に必要な前記サンプルイオンを集めるために 配置された入口オリフィスと、 前記サンプルイオンが前記質量分析計に向け該インターフェースチャンバを出 るための出口オリフィスと、を有すると共に、 前記入口オリフィスと前記排気ポートとの間で流れチャンネルを形成して構成 され、前記出口オリフィスが前記流れチャンネルを外れて位置するイオン源。 9. 請求の範囲8に記載の質量分析計のためのイオン源であって、前記インタ ーフェースチャンバが前記流れチャンネルの片側に側方チャンバを更に形成し、 前記チャンバには、実質的にガスの流れ方向のないデッド領域を含むと共に、前 記出口オリフィスが前記側方チャンバ内に位置して、前記デッド領域からサンプ ルイオンを集めることを特徴とするイオン源。 10. 望ましくないガスおよび滴と共存して必要なサンプルイオンが含まれる サンプルに流れを形成するための大気圧で動作する大気圧サンプルイオン化装置 を含む低圧で動作する質量分析計のためのイオン源であって、 インターフェースチャンバが、排気ポートと、 大気圧と前記質量分析計の作動圧力との中間の圧力で該インターフェースチャ ンバを保持するために前記排気ポートに連結された真空ポンプと、 前記サンプルイオン化装置の前記サンプルの流れから該インターフェースチャ ンバ内に共存ガスおよび滴と共に必要なサンプルイオンを集めるために配置され た入口オリフィスと、 前記サンプルイオンを前記質量分析計に向けて該インターフェースチャンバか ら放出させるための出口オリフィスと、 前記出口オリフィスにより該インターフェースチャンバから前記サンプルイオ ンを集めるために適切に配置された流れ分割手段と、を有して構成され、 前記流れ分割手段が、前記インターフェースチャンネル内に実質的にガスの流 れ方向のないデッド領域を形成する手段からなり、前記出口オリフィスが前記デ ッド領域内に位置することを特徴とするイオン源。 11. 請求の範囲10に記載の質量分析計のためのイオン源であって、前記イ ンターフェースチャンバが前記出口オリフィスと前記排気ポートとの間に流れチ ャンネルを形成すると共に、前記流れ分割手段が前記インターフェースチャンバ 内の側方チャンバを成り立たせ、前記側方チャンバが前記流れチャンネルの片側 に位置すると共に、前記デッド領域を含むことを特徴とするイオン源。 12. 請求の範囲8、9または11のいずれかに記載の質量分析計のためのイ オン源であって、前記流れチャンネル内に流れ分裂部材を備えることを特徴とす るイオン源。 13. 望ましくないガスおよび滴と共存して必要なサンプルイオンが含まれる サンプルに流れを形成させるための大気圧で動作する大気圧サンプルイオン化装 置を含む低圧で動作する質量分析計のためのイオン源であって、 インターフェースチャンバが、排気ポートと、 大気圧と前記質量分析計の作動圧力との中間の圧力で該インターフェースチャ ンバを保持するために前記排気ポートに連結された真空ポンプと、 前記サンプルイオン化装置の前記サンプルの流れからインターフェースチャン バ内に共存ガスおよび滴と共に必要なサンプルイオンを集めるために配置された 流れ軸を有する入口オリフィスと、 前記サンプルイオンを前記質量分析計に向け該インターフェースチャンバから 放出させるための出口オリフィスと、を有すると共に、 前記入口オリフィスと前記排気ポートとの間で流れチャンネルを形成して構成 され、 前記イオン源には前記流れチャンネル内に流れ分裂手段が備えられ、前記イン ターフェースチャンバ内に実質的にガスの流れ方向のないデッド領域を形成させ 、前記出口オリフィスは、前記入口オリフィスの前記流れ軸から離れて位置し、 前記デッド領域から前記サンプルイオンを集めることを特徴とするイオン源。 14. 請求の範囲3、7又は13のいずれかに記載の質量分析計のためのイオ ン源であって、前記インターフェースチャンバが前記流れチャンネルの片側に側 方チャンバを更に形成し、前記デッド領域が前記側方チャンバ内に延び、前記出 口オリフィスが前記側方チャンバ内に位置することを特徴とするイオン源。 15. 請求の範囲3、7、12、13又は14のいずれかに記載の質量分析計 のためのイオン源であって、前記流れ分裂部材が前記流れチャンネル内に突き出 ているピンからなることを特徴とするイオン源。 16. 請求の範囲15に記載の質量分析計のためのイオン源であって、ピンが 前記入口オリフィスの開口サイズより大きな、流れチャンネルに垂直の横寸法を 有することを特徴とするイオン源。 17. 請求の範囲3、7から9又は11から16のいずれかに記載の質量分析 計のためのイオン源であって、前記流れチャンネル内に前記入口オリフィスと前 記分裂部材との間に配置された流れ制限器を含むことを特徴とするイオン源。 18. 請求の範囲1から17のいずれかに記載の質量分析計のためのイオン源 であって、前記インターフェースチャンバから前記排気ポートを通る速度を制御 する流れ制御手段を含むことを特徴とするイオン源。 19. 請求の範囲1から18のいずれかに記載の質量分析計のためのイオン源 であって、前記入口オリフィスが第一の流れ軸を有し、前記出口オリフィスが第 二の流れ軸を有し、前記第一および第二の流れ軸が離れていると共に、インター フェースチャンバ内でずれて配置されていることを特徴とするイオン源。 20. 請求の範囲19に記載の質量分析計のためのイオン源であって、前記第 一および第二の流れ軸が平行であることを特徴とするイオン源。 21. 請求の範囲1から20のいずれかに記載の質量分析計のためのイオン源 であって、前記入口オリフィスと前記出口オリフィスとの間で前記インターフェ ースチャンバ内に見通し路の線が形成されていないことを特徴とするイオン源。 22. 低い質量分析圧力における必要なサンプルイオンの質量分析のためにイ オン源を供する方法であって、 望ましくないガスおよび滴と共存して必要なサンプルイオンが含まれる大気圧 におけるサンプルに流れを形成するステップと、 大気圧よりも低く、かつ質量分析圧力よりも高い中間圧力において排気された インターフェースチャンバ内に前記サンプルの流れから共存するガスおよび滴を 伴う必要な前記サンプルイオンを集めるステップと、 前記インターフェースチャンバ内にガスの流れを形成するステップと、 前記インターフェースチャンバ内でガスの前記流れを分裂させて、前記チャン バ内に実質的にガスの流れ方向がないデッド領域を形成させるステップと、 質量分析のために前記デッド領域から必要な前記サンプルイオンを集めるステ ップと、を含むことを特徴とする方法。
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