JP2000513101A - 自動半導体部品ハンドラー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 自動半導体部品ハンドラー。発明の一側面においては、コーンハンドラーは、部品供給源と、該供給源からベルト組立体へ部品を移送するための移送機構を含む。ベルト組立体は、ベルトと、ベルト変位量制御器と、所望の終端点に対する位置関係を含む部品の像を形成するための画像形成装置を含む。ベルト変位量制御器は、所望の終端点に対する位置関係を含む部品の像に基づいてベルトを移動させるようにベルトに結合されており、それによって部品をベルトの移動方向に対して正確な位置に位置づけする。

Description

【発明の詳細な説明】 自動半導体部品ハンドラー技術分野 本発明は、一般に、半導体部品の製造及び検査に関し、特に、半導体部品を検 査コンタクターに係合させるために正確に方位及び位置ぎめ（「位置づけ」又は 「方向づけ」とも称する）するための自動高速ハンドリング（搬送処理）方法及 び装置に関する。「自動半導体部品ハンドラー」とは、自動半導体部品ハンドリ ング（搬送処理）装置のことであり、ここでは、「自動部品ハンドラー」又は「 部品ハンドラー」又は単に「ハンドラー」とも称する。背景技術 エレクトロニクス産業においては、集積回路チップ、半導体デバイス、トラン ジスタ、ダイオード、ハイブリッド回路等の半導体部品（以下、これらを総称し て「半導体部品」又は「電子部品」又は単に「部品」とも称する）をより安価に より小さく製造することを求める要望が日増しに大きくなってきている。これら の部品の製造は、完全に電気的に行われるものでもなく、又、完全に機械的に行 われるものでもない。ある種の部品ファミリーでは製造欠陥が生じるのは希れで あるが、部品の複雑さと欠陥のもたらす重大な結果からして、通常、半導体部品 には高い品質基準が求められる。換言すれば、すべての部品を、あるいは場合に よっては部品群のうちの少くとも一部のサンプルを電気的検査及び／又は機械的 点検に処さなければならない。通常、膨大な数の同一部品が検査され、点検され る。この検査及び点検工程が、電子部品製造における重大なボトルネックになる ことがある。そのような電子部品製造の生産性を高めそれによって部品単価を下 げるための１つの方法は、部品の検査及び点検の速度及び精度を高めることであ る。 検査効率を向上させるために、自動部品ハンドラーは、部品を電気的検査装置 へ運び、該装置から取り出す働きをする。部品の電気的検査では、部品の品質を 確認するために一定の電気的特性を測定する。電気的検査は、部品のリード（端 子又は端子ピン）に係合する検査コンタクターを介して行われる。又、部品検査 は、更に特定の作動特性を測定するために周囲温度以外の温度で実施される場合 もある。検査効率及び精度を向上させるために、部品は、多くの場合温度条件設 定（温度調整）手段を備えている自動部品ハンドラーによって検査コンタクター へ運ばれ、コンタクターから取り出される。 どのようなタイプの部品ハンドラーにとっても、そのコストと効率を考慮する 上で重要な要素は、被検査（検査すべき）部品と検査コンタクターとの整列であ る。被検査部品とコンタクターとの適正な電気的接触を確保するには、正確な整 列が必要である。リード本数が多く小さいパッケージの部品が開発されればされ るほど、部品と検査コンタクターとの整列をより正確にしなければならない。例 えば、部品のリードの幅は今日では０．０１０ｉｎ（０．２５４ｍｍ）程度であ り、リードのピッチは０．０２０（０．５０８ｍｍ）程度であるから、ｘ，ｙ軸 方向及びθ方位の整列に僅かなエラーがあっても、電気的検査が適正に行われな いことになる。きわめて同一性の高い何千個もの部品を検査コンタクターに正確 に電気的に係合させなければならないので、これらの整列条件設定の反復精度が 肝要である。 部品ハンドラーの分野では、従来技術のほとんどのものは、例えば米国特許第 ５，２９０，１３４及び５，１４８，１００号に記載されているように、転換キ ット又は部品ホルダーを用いることによって部品を正確に整列させるようになさ れている。転換キットは、特定の部品の検査工程を実施するためにハンドラーの すべての部品ハンドリング機構、熱貯留システム、コンタクター及びその他の部 分を調節するようにハンドラーを機械的に構成し直すことができる。転換キット の最も高価な部分は、「プリサイサー」又は「プリサイサーポケット」とも称さ れる部品キャリアである。転換キットの一部としての部品キャリアは、通常、１ 個の部品を受け入れて正確に位置づけするようにテーパされた側面を有する機械 加工されたポケット内に少くとも１個の部品を収容する。部品キャリアは、検査 すべき特定のタイプの部品の寸法に適合させた厳密な公差を維持することによっ て部品を繰り返し（反復して）方向づけする。部品キャリアは、通常はアルミニ ウム又はエンジニアリングプラスチック材から精密機械加工によって製造される ので、損傷しやすいため注意深く取り扱わなければならない。 転換キット、特にその部品キャリアは、多くの制約を有している。第１に、キ ャリア凹所（ポケット）は正確な部品位置づけを行うように精密機械加工しなけ ればならないので、規格外れの寸法の部品があると重大な問題を惹起する。例え ば、僅かに過大な寸法を有する部品は、キャリア内でジャム（詰まり）を起こす ことが多い。ジャムを直すためには、操作者がハンドラーに付き添っていなけれ ばならず、ハンドラーを休止しなければならない場合もしばしば起こる。反対に 、過小寸法の部品は、コンタクターの界面で弛みを生じ、不整列を起こす。不整 列状態の部品をコンタクターに挿入すると、コンタクターを損傷することがある 。第２に、寸法の異なる部品を検査する度に対応する部品キャリアを備えた異な る転換キットを用いなければならない。従って、数百の異なる部品タイプがあれ ば、数百の転換キットを必要とする。それだけ多数の転換キットの生産管理とメ ンテナンスには、時間と費用のかかる作業を必要とする。第３に、転換キットは 、高価である。大規模なフル生産用ハンドラーの場合、転換キットの１台当たり 価格は、１０，０００ドルから３５，０００ドルもする。 上述した従来技術の諸問題に加えて、部品キャリアの質量が大きいためハンド ラーの効率を一層阻害する。１個の部品に対して部品キャリアの質量が極めて大 きい。この部品キャリアの追加の質量が各搬送機構の速度を遅らせ、部品キャリ アの減速及び加速中プロセスに破壊的な力や振動を与えることがある。 従来のハンドラーのもう１つの欠点は、密集したリードの点検や寸法の点検が できないことである。部品の製造プロセスには、通常、部品のリード及び＃１ピ ンの点検を含む部品の視覚点検の工程が含まれる。従来技術では、この製造工程 （視覚点検）は、多くの場合、電気的検査工程とは別途に行われる。もう１つの 難点は、電気的検査中、部品がハンドラーや検査コンタクター自体によって損傷 されることがあることである。部品製造の効率を高めるには、部品リードの点検 を電気的検査工程の前、工程中又は工程後に実施することが必須である。 従来のハンドラーの更に別の欠点は、ハンドラーの嵩高及び占有床面積が大き いことである。工場のフロアスペースは相当に大きい場合があり、ハンドラーは 、メンテナンスや修理のために工場から運び出されることが多いが、その場合ハ ンドラーは、寸法が小さいほど、工場内に再設置しやすく、修理もし易い。 自動部品ハンドラーの分野では観察式システムは用いられていないと思われる が、回路板製造技術を含む他の分野では機械観察式の方法及び装置がみられる。 回路板製造における機械観察式の最も一般的な装置は、「ピック・アンド・プレ ース」と称される装置である。基本的なピック・アンド・プレース装置は、位置 づけアームと、カメラと観察ソフトを用いる。位置づけアームは、部品をピック アップし、カメラによって観察されるゼロ位置へ搬送する。観察ソフトは、部品 を所望の位置に位置づけするのに必要なｘ，ｙ軸方向及びθ方位角の修正値を算 出する。それに基づいて位置づけアームは、観察ソフトによって命令された修正 を実施し、それに従って部品を位置づけする。これに類似しているが、部品の検 査目的に使用される装置が、米国特許第５，４８１，２０２号に開示されている 。同特許は、部品を観察整列手段だけによって電気的検査装置に整列させる観察 式システムを開示している。しかしながら、観察整列手段だけに依存するので、 部品検査の速度が遅くなり、操作が面倒である。更に重要なことは、この特許の 装置は、上述した従来技術の自動ハンドラーと同様に、部品を正確に位置ぎめす るのに部品キャリアを必要とする。発明の開示 従って、本発明の一般的な目的は、自動部品ハンドラーの効率、部品整列機能 、部品処理速度及び費用効果を改善することである。 本発明の特定的な目的は、部品キャリアを必要としないハンドラーを提供する ことである。 本発明の他の目的は、機械観察を用いて部品整列機能、部品点検機能及びハン ドラーの処理速度を改善することである。 本発明の更に他の目的は、ハンドラーの処理速度を高めるために並列経路を設 けることである。 本発明は、上記目的を達成するために、多数の検査コンタクターを備えた検査 部に使用するのに特に適しており、低コストで高い処理速度を発揮する自動半導 体部品ハンドラーを提供する。本発明のハンドラーは、標準規格の搬入トレーか ら複数個の部品を搬入ベルト組立体へ移送する搬入ガントリーを備えている。搬 入ベルト組立体は、部品をプリサイサーレールに押しつけた状態で（偏倚させて ）トロリーの方に向けて移動させる。搬入ベルトの移動は、画像形成装置及びコ ンピュータシステムに接続された搬入ベルトモータによって制御される。画像形 成装置は、搬入ベルト上の部品を観察し、その画像データをコンピュータシステ ムヘ送る。コンピュータシステムは、搬入ベルトモータを指令して搬入ベルトを 移動させ、直線に整列した部品列の１番目の部品が調節自在の終端ストッパーに よって停止されるようにする。プリサイサーレールと調節自在の終端ストッパー との組み合わせにより各部品の反復可能な正確な位置ぎめを可能にする。 本発明のハンドラーは、複数個の部品を並行して操作し位置づけづけする複数 の搬入ベルトを有する。それらの複数個の部品が調節自在の終端ストッパーのと ころに位置づけされると、トロリー組立体がそれらの部品を検査コンタクターヘ 移送する。検査終了後、トロリーは、部品を搬出ベルト組立体へ移送する。搬出 ベルト組立体は、搬入ベルト組立体と同様な正確な反復可能な位置づけ機能を有 する。部品が搬出ベルト組立体上に位置づけされると、搬出分類器がそれらの部 品を搬出ベルト組立体から規格寸法の搬出トレーへ移送する。部品をどの搬出ト レーへ収容するかは、その部品の検査結果に基づいて決定される。 本発明の変型実施形態においては、前記画像形成装置は、更に、部品と検査コ ンタクターとの間の界面を点検し、部品の機械的特性を点検する。 本発明の更に別の実施形態においては、部品を室温以外の温度で検査すること ができるようにハンドラーに温度調整手段を装備することができる。この温度調 整手段は、部品の搬入時（導入時）と搬出時の温度調整を行う。図面の簡単な説明 本発明の上記及びその他の目的並びに特徴、及びそれらを達成する態様は、以 下に添付図を参照して述べる本発明の実施形態の説明から一層明かになろう。 図１は、本発明による自動部品ハンドラーの透視図である。 図２は、本発明の自動部品ハンドラーの正面図である。 図３は、本発明の自動部品ハンドラーの側面図である。 図４は、本発明の自動部品ハンドラーの一部破除された側面図であり、搬入ト レーハンドラーの側面を示す。 図５は、搬入トレーハンドラー内に収容された作業区域の搬入トレーの上から みた平面図である。 図６は、作業区域の搬入トレーと２つの搬入ベルト組立体の上方に位置する搬 入ガントリーの上からみた平面図である。 図７は、搬入ガントリーのアームの上からみた平面図である。 図８は、搬入ガントリーのアームの側面図である。 図９は、搬入ガントリーのアームの正面図である。 図１０は、真空吸着ヘッドの一部破除された詳細側面図である。 図１１は、搬入カメラを備えた搬入ベルト組立体の側面図である。 図１２は、搬入ベルト組立体の上からみた平面図である。 図１３は、搬入ベルト組立体の断面図である。 図１４は、搬入ベルト組立体の上からみた詳細平面図である。 図１５は、調節自在終端ストッパーと並列に作動する８つの搬入ベルト組立体 の上からみた平面図である。 図１６は、１つの搬入ベルト組立体と１つの搬出ベルト組立体を含む観察装置 の上からみた平面図である。 図１７は、検査コンタクターと搬入ベルト組立体を含む観察装置の側面図であ る。 図１８は、トロリー組立体の上からみた平面図である。 図１９は、異なる作動段階にあるトロリー組立体の上からみた平面図である。 図２０は、１つの搬入ベルト組立体と１つの搬出ベルト組立体を含むトロリー 組立体の２つのドラムの上からみた平面図である。 図２１は、トロリー組立体の一部破除された側面図である。 図２２は、搬出側調節自在終端ストッパーを備えた８つの搬出ベルト組立体の 上からみた平面図である。 図２３は、搬出分類器の上からみた平面図である。 図２４は、搬出分類器の側面図である。 図２５は、搬出分類器の一変型実施形態の上からみた平面図である。 図２６は、搬出分類器の一変型実施形態の側面図である。 図２７は、本発明のハンドラーのための熱制御装置の上からみた概略平面図で ある。 図２８は、本発明のハンドラーを制御するためのコンピュータ制御装置のブロ ック図である。 図２９は、本発明を実施するための好ましい方法を説明するフローチャートで ある。発明を実施するための最良の形態 本発明の好ましい実施形態による自動部品ハンドラー１０が図１に概略的に示 されている。ハンドラー１０は、支持部分１２とハンドリング部１４から成る。 支持部分１２は、シャーシ１６を有しており、シャーシ１６内に、ハンドリング 動作の機能及び順序を制御する電源部品、電気コネクタ及びケーブル（図示せず ）が収容されている。コンピュータ制御装置（コンピュータによる制御装置、単 に「コンピュータ」とも称する）１８を除いてハンドラー１０全体が、シャーシ １６によって画定されるフロア区域内に収まっている。コンピュータ制御装置１ ８は、シャーシ１６から離隔して配置することができる。ハンドラー１０は、そ れが搬送する被検査部品（以下、単に「部品」とも称する）を保護するためにシ ュラウド（１７）内に囲われている。ハンドラー１０の移動を容易にするために シャーシ１６は、車輪１９によって床から持ち上げられている。図２Ａにみられ るように、ハンドラー１０は、検査部８の検査コンタクター６に近接して配置さ れる。 ハンドリング操作は、主としてハンドラー１０のハンドリング部１４内で行わ れる。図２、２Ａ及び３に示されるように、ハンドリング部１４は、搬入側２０ と、トロリー組立体２２、搬出側２４と、観察装置２５を有する。搬入側２０は 、被検査部品をトロリー組立体２２へ送給する。トロリー組立体２２は、部品を 搬入側２０から検査部８の検査コンタクター６へ移送し、次いで、搬出側２４へ 移送する。搬出側２４は、部品をトロリー組立体２２から搬出する。観察装置２ ５は、ハンドラー１０内の部品の整列データ及び点検データを提供する。 図２Ａ及び４を参照して説明すると、搬入側２０は、自動トレーハンドリング 機構３０と、搬入ガントリー７０と、搬入ベルト組立体１１０を有する。搬入側 ２０を通す部品の移送手順は、以下の通りである。被検査部品を収容した搬入ト レー３２が、自動トレーハンドリング機構３０によって作業トレー区域３４へ送 給される。搬入ガントリー７０が、搬入トレー３２から被検査部品３５の各縦列 ３６（図５に示されたトレー３２参照）を順次に搬入ベルト組立体１１０の１つ へ移送する。各搬入ベルト組立体１１０は、部品をトロリー組立体２２に向けて 移送する。 自動トレーハンドリング機構３０は、図４に示されるように、搬入トレー３２ を取り扱う。搬入トレー３２は、検査コンタクター６（図２Ａ参照）で検査すべ き部品を収容している。搬入トレー３２の設計は、半導体産業において使用され ている規格製造業者供給トレーであることが好ましく、通常は長方形であり、図 ５にみられるように縦横整列状態に配列されたポケット３８を有する。各ポケッ ト３８は、公差範囲内の寸法であれば、部品３５がポケット３８内に干渉を受け ることなく嵌合するように寸法づけされている。ポケット３８内に収容された公 称通りの寸法の部品３５は、約０．０１０ｉｎ（０．２５４ｍｍ）だけ自由に移 動することができる。通常、各ポケットの側壁に形成された斜切面が、部品をポ ケット内へ案内するガイドの役割を果たす。 再び、図４を参照して説明すると、自動トレーハンドリング機構（以下、単に 「ハンドリング機構」とも称する）３０は、トレー３２を載置区域４２と、作業 区域３４と、空トレー区域４４の３つの区域を順次に通して移動させる。最初に 、載置区域４２において積重トレー（上下に積み重ねられたトレー）４６がプラ ットホーム４８の上に載せられる。プラットホーム４８は、積重トレー４６の積 卸しを容易にし、積重トレー４６の積卸しの自動化を可能にする引出し台５０上 に設置されている。積重トレー４６がプラットホーム４８の上に積み込まれると 、引出し台５０がハンドリング機構３０内へ押し込まれる。それによって、プラ ットホーム４８がモータ駆動のエレベータ（昇降機）５２に係合する。エレベー タ５２は、積重トレー４６をその最上段のトレー３２が作業区域に３４にもたら されるまで押し上げる。作業区域に３４において、最上段のトレー３２は、図５ に示されるように剛性ストッパー５４によって水平平面内に位置ぎめされる。剛 性ストッパー５４は、トレー３２の正確な反復位置づけを行う。最後に、最上段 のトレー３２内の部品３５の荷卸しが完了すると、エレベータ５２は、最上段の トレー３２を図４に示される空トレー区域４４へ更に押し上げる。 図６を参照して説明すると、搬入ガントリー７０は、アーム７２と、軌道７４ を有する。軌道７４は、締着具７６とスペーサ７８によってシャーシ１６の搬入 側２０に取り付けられている。軌道７４は、水平であり、搬入ベルト組立体１１ ０に対して直角に延長している。アーム７２は、軌道７４に沿って走行し、軌道 ７４から搬入ベルト組立体１１０に平行に延長しており、搬入ベルト組立体１１ ０に対して真上に位置するようになされている。アーム７２は、ガントリーモー タ８０によって推進され軌道７４に沿って移動する。ガントリーモータ８０は、 コンピュータ制御装置１８によって制御される。軌道７４に沿ってのアーム７２ の移動範囲は、少くとも搬入トレー３２の遠い側（図６でみて左側）の側面から 全ての搬入ベルト組立体１１０に届く範囲である。 部品３５を移送する搬入ガントリー７０は、作業区域３４内にあるトレー３２ から１縦列３６全体の部品を１つの搬入ベルト組立体１１０（図では図示を簡略 にするために２つの搬入ベルト組立体１１０だけが示されている）へ移送するこ とができる。この作業を実施するために、搬入ガントリー７０のアーム７２は、 １縦列の真空吸着ヘッド（以下、単に「真空ヘッド」とも称する）８２を有して いる。ガントリーモータ８０は、アーム７２を移送すべき部品縦列３６の上方に 位置づけする。次いで、全ての真空ヘッド８２が、ガントリーヒンジモータ８１ によって作動されるアーム７２内のヒンジ機構８４によって一斉に下降される（ 図７、８及び９をも参照）。各真空ヘッド８２は、真空を創出して対応する部品 に真空吸引力を及ぼす。ヒンジ機構８４が持ち上げられると、真空ヘッド８２に 吸着された１列の部品縦列３６全体がガントリー７０によってピックアップされ る。次いで、アーム７２が所望の搬入ベルト組立体１１０の上方に位置するまで 軌道７４に沿って移動する。次いで、真空ヘッド８２がヒンジ機構８４によって 下降され、真空が解放されて部品縦列３６を搬入ベルト組立体１１０上に載置す る。 真空ヘッド８２のピッチは、搬入トレー３２内の部品縦列３６のピッチに対応 している。各真空ヘッド８２のアーム７２に沿っての長手方向の位置は、搬入ト レー３２内の部品縦列３６のピッチに整合するように調節バー（図示せず）によ って変更することができる。真空ヘッド８２のピッチは、搬入トレー３２内の部 品縦列３６のピッチが変更されたときにのみ変更すればよく、従って、真空ヘッ ド８２の位置ぎめは、ハンドラー１０内へ異なるタイプのトレーが導入されたと きにのみ調節すればよい。不要な真空ヘッド８３は、不能化してアーム７２の端 部へ移動させるか、アーム７２から容易に取り外すことができる。 真空ヘッド８２の垂直（上下）方向の位置ぎめはヒンジ機構８４によって予め 設定される。ヒンジ機構８４を調節することにより、いろいろなな異なる厚みの 部品をピックアップすることができる。更に、コンピュータ制御装置１８が後述 するセンサー８８と連携してヒンジ機構８４の垂直方向のピックアップ位置を自 動的に調節することができるので、操作者は、ヒンジ機構８４の設定を調節する 必要がない。 図１０を参照すると、真空ヘッド８２の詳細断面図が示されている。各真空ヘ ッド８２は、真空ヘッド本体８５と、本体８５に取り付けられた真空吸着カップ （以下、単に「真空カップ」とも称する）８６と、センサー８８と、加圧空気導 管９０と、真空創生ベンチューリ９１を有する。真空ヘッド本体８５は、真空カ ップ８６に連通している空気導管９０及び真空創生ベンチューリ９１を収容して いる。コンピュータ制御装置１８は、空気導管９０内の加圧空気の供給を制御す る弁（図示せず）を制御する。空気導管９０は、加圧空気をベンチューリ９１に 供給する。ベンチューリ９１を通って流れる加圧空気が、真空カップ８６のとこ ろに真空を創生する。真空カップ８６に創生された真空は、部品３５を吸着して ピックアップするのに十分である。加圧空気は、排気部９２を通って真空ヘッド ８２から排出するセンサー８８は、ばね９３によって本体８５内へ垂直方向に付 勢された部品触感プローブ９４と、光検出器９６を装着した回路板９５を有する 。光検出器９６は、プローブ９４と直線的に整列したキャビティ９７を有し、ピ ン９８を介してコンピュータ制御装置１８に接続している。プローブ９４は、光 検出器９６及びヘッド本体８５に対して垂直方向に変位自在である。真空ヘッド ８２が部品３５の上方に位置づけされて下降されると、プローブ９４が部品３５ に当接して上方へ変位される。プローブ９４がキャビティ９７内へ変位されると 、光検出器９６がプローブ９４の変位量に比例した信号を発生する。光検出器９ ６からの変位量信号は、ピン９８を通してコンピュータ制御装置１８へ送られる 。この信号は、コンピュータ制御装置１８に部品３５がセンサー８８によって検 出されたことを知らせるとともに、コンピュータ制御装置１８に真空ヘッドと部 品３５との間の距離を算出させる。センサー８８が適正な時点にコンピュータ制 御装置１８に信号を送らなければ、コンピュータ制御装置１８は、部品が見当た らないか、対応する真空ヘッド８２から誤って落とされたものと判定する。この ように、センサー８８は、ハンドラー１０のコンピュータ制御装置１８にハンド ラー１０内の被検査部品に関する正確な追跡データを供給する。 ハンドラー１０内の次の作業段は、図１１及び１２に示される搬入ベルト組立 体１１０である。各搬入ベルト組立体１１０は、搬入ベルト１１２と、搬入ベル トモータ１１４と、プリサイサーレール１２６から成る。図１１には、観察装置 ２５の一部を構成する搬入側カメラ１５２が示されている。搬入側カメラ１５２ は、搬入ベルト１１２の上方にクロスバー１５６によって支持されている。 図１５に示されるように、好ましい実施形態では、８つの搬入ベルト組立体１ １０が設けられている。搬入ベルト組立体１１０の数は、検査コンタクター６の 処理能力やその他の検査用件等のシステムパラメータに応じて増減させることが できる。図１５には、又、部品３５を搬入ベルト１１２の移動方向に正確に位置 づけする働きをするストッパー縁１５３を有する終端ストッパー１５１が示され ている。観察装置２５及びコンピュータ制御装置１８と連携して作動する終端ス トッパー１５１の機能については、後に詳述する。 図１１及び１２に示されるように、各搬入ベルト組立体１１０は、ハウジング １１８を備えている。ハウジング１１８は、搬入ベルト１１２を回転させる１対 のローラ１２２を支持している。図１３に示されるように、ハウジング１１８は 、又、搬入ベルト１１２を支持する外表面１２４を有している。静電放散部材１ ２５は、放散させることができなければ部品３５にとって非常な有害となる静電 気の蓄積を防止する働きをする。 図１２、１３及び１４を参照して説明すると、プリサイサーレール１２６は、 ハウジング１１８に取り付けられており、搬入ベルト１１２の移動方向１２８に 対して非平行となるように（図１４参照）ハウジング１１８に対して方向づけさ れている。搬入ベルト組立体１１０をテストした結果、プリサイサーレール１２ ６と搬入ベルト１１２の移動方向との角度１３０は、約０．１８°（図１４）と することが小舞子とが認められた。プリサイサーレール１２６は、鋼合金で形成 することが好ましく、真直ぐな平滑表面を呈するように精密機械加工された案内 縁１３２を有するものとする。 再び図１２を参照して説明すると、各搬入ベルト１１２は、積込み端１３４と 積卸し端１３６を有する。部品は、搬入ガントリー７０によって積込み端１３４ に載せられる。搬入ガントリー７０は、部品３５の１縦列３６全体を１つの搬入 ベルト１１２上に載せる。搬入ベルト１１２に接触したローラ１２２は、搬入ベ ルトモータ１１４によって推進される。搬入べルトモータ１１４は、コンピュー タ制御装置１８によって制御される。搬入ベルト１１２が各部品３５を積卸し端 １３６に向かって移動させる間、プリサイサーレール１２６と搬入ベルト１１２ の移動方向との間に僅かな角度１３０が存在することにより、部品３５はプリサ イサーレール１２６の案内縁１３２に圧接される。案内縁１３２の平滑表面は、 部品３５が固着したり、回転したりするのを防止する。かくして、搬入ベルト１ １２の積卸し端１３６において、部品３５は、プリサイサーレール１２６の案内 緑１３２に当接されて正確に方向づけされる。 観察カメラ２５は、図１６に示されるように、各搬入ベルト組立体１１０に対 して１台の搬入側カメラ１１０と、各搬出ベルト組立体２１０に対して１台の搬 出側カメラ１６２と、後述する検査コンタクター用カメラ１６４を備えている。 図１６及び１７にみられるように、観察装置２５のカメラ１５２，１６２，１６ ４は、クロス部材１５８にボルト付けされたクロスバー１５６によって支持され ている。クロス部材１５８は、シャーシ１６にボルト付けされた２つのガーダー １５９によって支持されている。 観察装置２５は、その搬入側カメラ１５２が画像データをコンピュータ制御装 置１８へ送るようにコンピュータ制御装置１８と一体に接続されており、コンピ ュータ制御装置１８は、画像データを受けて搬入ベルトモータ１１４へ位置づけ 信号を供給する。各カメラ１５２は、各搬入ベルト１１２（図を簡略にするため に１つの搬入ベルト１１２だけが示されている）の積卸し端１３６の上方に配置 され、搬入ベルト１１２を見下ろしている。カメラ１５２は、部品３５の存否を 検出し、コンピュータ制御装置１８は、米国マサチューセッツ州ウオルサム及び ベルギー国へバリーのＩＣＯＳカンパニーから販売されている画像ソフトを用い て部品３５の中心を測定する。次いで、コンピュータ制御装置１８は、部品３５ の中心と所望の終端点１５４（図１５参照）との間の距離を算出する。コンピュ ータ制御装置１８は、この算出値に基づいて搬入ベルトモータ１１４へ信号を送 り、搬入ベルトモータ１１４は、それに応答して搬入ベルト１１２を移動させる 。好ましい実施形態では、搬入ベルトモータ１１４は、搬入ベルト１１２を算出 された距離より僅かに遠くへ移動させる。この僅かなオーバーシュート（行き過 ぎ量）は、約０．０２０ｉｎ（０．５０８ｍｍ）とすることが好ましい。このよ うにして、図１２、１４及び１５に示されるように、各搬入ベルト１１２上に載 せられた各部品３５の前進は、調節自在の終端ストッパー１５１のストッパー縁 １５３によって停止される。ストッパー縁１５３は、部品３５の正確な反復位置 づけを行う。 かくして、各搬入ベルト１１２上の「裸の」部品３５は、正確に、かつ、反復 （適正な反復精度をもって）して２つの軸線（各プリサイサーレール１２６に沿 っての軸線と、ストッパー縁１５３沿っての軸線）上に方向づけされる。部品３ ５の回転角度位置（即ち、θ方位角）も固定される。更に、観察装置２５と連携 して作動するプリサイサーレール１２６と調節自在の終端ストッパー１５１によ って与えられる部品位置ぎめは、安定した確実性を有するので、サイズ、厚み、 タイプ及び形状の異なるいろいろな被検査部品をハンドラー１０に容易に導入す ることができる。 更に、調節自在の終端ストッパー１５１の位置は、終端ストッパーモータ１５ ４によって制御することができる。終端ストッパーモータ１５４は、部品３５を 所望の終端点１５４に位置づけするように調節自在の終端ストッパー１５１を移 動させる。ハンドラー１０のための初期設定手順の１つは、コンピュータ制御装 置１８による所望の終端点１５４の計算であり、それは、トロリー組立体２２が 部品をピックアップする位置を基準として行われる。調節自在の終端ストッパー １５１の位置は、部品サイズの相違に応じて、又は、熱膨張等に因るハンドラー の歪みを補償するために自動的に変更することができる。これは、例えば、高温 又は低温検査条件がハンドラー１０の一部に熱膨張又は熱収縮を惹起する場合は 特に重要である。 変型実施形態においては、調節自在の終端ストッパー１５１が省除され、所望 の終端点１５４は、各個々の搬入ベルト組立体１１０によって動的に制御される 。図１５には全ての部品３５の所望の終端点１５４が共通のものとして示されて いるが、それらは必ずしも同一線上にある必要はない。この変型実施形態では、 コンピュータ制御装置１８が各搬入ベルト組立体１１０の動的制御を実施する。 カメラ１５２と、コンピュータ制御装置１８と、搬入ベルトモータ１１４との間 の反復動作により部品３５を正確に各々の所望の終端点１５４に位置づけする。 部品３５が正確に所望の終端点１５４に位置づけされると、コンピュータ制御装 置１８は、搬入ベルトモータ１１４を停止し、部品３５は、検査コンタクター６ （図２ａ参照）へ移送される準備完了状態となる。 ハンドラー１０が行う次の移送作業について説明すると、図３に側面図で示さ れているトロリー組立体２２が、部品３５を各搬入ベルト１１２上の所望の終端 点１５４（図１５参照）から検査コンタクター６へ移送する。部品の検査終了後 、トロリー組立体２２は、部品３５を搬出ベルト２１２へ移送する。図１８及び １９を参照すると、トロリー組立体２２の上からみた平面図が示されている。図 示を明瞭にするために、図１８及び１９には、搬入ベルト、搬出ベルト及びカメ ラは示されていない。好ましい実施形態では、トロリー組立体２２は、２つのド ラム１７２，１７４を有する。ドラム１７２は、搬入側２０の上方に配置され、 ドラム１７４は、搬出側２４の上方に配置される。ドラム１７２，１７４は、ハ ンドラーのシャーシ１６に取り付けられており、軸線１７９を中心とする回転運 動ができる以外はシャーシ１６によって完全に拘束されている。各ドラム１７２ ，１７４は、それぞれのドラム１７２，１７４を互いに独立して軸線１７９の周 りに回転させるモータ１７６，１７８を備えている。モータ１７６，１７８は、 コンピュータ制御装置１８によって制御される。 図２１に横断面図で示されるように、各ドラム１７２，１７４は、スパイダー ブランケット１７７によって円形配列に固定された８つのドラム軸１７５を有す る。ドラム１７２，１７４を含むトロリー組立体２２全体の重要な特徴は、骨格 構造であることである。トロリー組立体２２がこのように骨格構造であるため、 トロリー組立体２２の上方に配置されたカメラ１５２，１６２，１６４（図３、 １１及び１７参照）が、トロリー組立体２２からほとんど妨害されることなく、 部品３５を観察することができる。 トロリー組立体２２は、又、部品３５を移送する２つのトロリー１８０，１８ ２を含む。トロリー１８０は、図２１に示されるように、ドラム１７２の２つの 軸１７５に取り付けられている。トロリー１８０は、ドラム１７２に対して軸線 １７９に平行な水平方向にドラム軸１７５に沿ってのみ移動することができる。 トロリー１８０，１８２は、両ドラム１７２，１７４の各ドラム軸１７５が図２ ０１に示されるように長手方向に直線状に整列したときは（図２０には簡略化の ためにトロリーは示されていない参照）、一方のドラムから他方のドラムヘ移行 させることができる。トロリー１８０，１８２の水平方向の移動は、親ねじモー タ（図示せず）によって駆動される親ねじ（図２１にトロリー１８０のための親 ねじ１８１だけが示されている）によって制御される。親ねじモータは、コンピ ュータ制御装置１８によって制御される。 トロリー１８０，１８２は、搬入ガントリー７０に使用されるものと同様の真 空ヘッド８２を備えている。各真空ヘッド８２は、カム軸（図示せず）が回転さ れたとき真空ヘッド８２を伸張させるカム（図示せず）を有する。カム軸は、コ ンピュータ１８によって制御される。搬入ガントリー７０の場合と同様に、コン ピュータ制御装置１８は、トロリー１８０，１８２の真空ヘッド８２内の真空度 も制御する。トロリー１８０，１８２への真空は、それぞれの真空導管１８６， １８８を通して送られる。 真空導管１８６，１８８は、可撓性であり、シャーシ１６に取り付けられた回 転供給管継手機構１８５から延長している。回転供給管継手機構１８５は、２つ のチェーン駆動装置の他にシール、歯車及びチャンバを備えている。真空導管１ ８６，１８８は、２つのトロリー１８０，１８２の１サイクル作動毎に１８０° 回転させなければならず、それによって導管１８６と１８８とが縫れるのを防止 する。更に、各導管１８６，１８８は、それ自体が縫れるのを防止するために回 転供給管継手機構１８５に対しても相対回転する。 部品を移送するための手順は以下の通りである。コンピュータ制御装置１８は 、搬入ベルト組立体１１０上での正確な位置づけと、搬入側カメラ１５２からの データの結果として、各部品３５がプリサイサーレール１２６及び各搬入ベルト 組立体１１０のストッパー縁１５３に沿っての所望の終端点１５４に位置してい ることを「知る」。コンピュータ制御装置１８は、親ねじ１８１によって真空ヘ ッド８２を有するトロリー１８０をドラム１７２に沿って部品３５の上方に位置 づけする。真空ヘッド８２は、トロリー１８０内のカム軸によって下降せしめら れて部品３５をピックアップする。部品３５がピックアップされると、各ドラム １７２，１７４は、それぞれモータ１７６，１７８によって９０°（互いに反対 方向に）回転される。それによって、トロリー１８０の真空ヘッド８２によって ピックアップされた部品が検査部８の検査コンタクター６に接続される。次いで 、親ねじ１８１がトロリー１８０を整列したドラム１７２，１７４に沿って移動 させ、一方のドラム１７２から他方のドラム１７４へ移行させる。コンタクター ６での電気的検査が終了した時点では、トロリー１８０は、完全に搬出側のドラ ム１７４へ移行している（図１９参照）。次いで、搬出側のドラム１７４が９０ °回転されて部品３５を搬出ベルト組立体２１０の上方に位置づけする。次いで 、コンピュータ１８は、真空ヘッド８２内の真空を解放して部品３５を搬出ベル ト２１２上に載置する。 一方のトロリー１８０が検査コンタクター６を検査している間に他方のトロリ ー１８２は、ドラム１７２の方に向かって反対方向に移動する。従って、トロリ ー１８０が部品を搬出側２４に落としている間に他方のトロリー１８２は、搬入 側の次のバッチの被検査部品をピックアップするこでる。かくして、並行して作 動する２つのトロリー１８０，１８２と２つのドラム１７２，１７４を用いるこ とによって、ハンドラー１０は、部品のより連続した流れに近い流れを検査コン タクター６へ送給することができる。 観察装置２５は、また、トロリー組立体２２とも連携して作動する。観察装置 ２５のもう１つの機能は、トロリー組立体２２を正確に位置づけするために画像 データをコンピュータ制御装置１８へ送ることである。再び図１７に示された観 察装置２５の側面図を参照して説明すると、検査コンタクター用カメラ１６４は 、プリズム１６５を見下ろしている。カメラ１６４は、プリズム１６５を通して 屈折された視野１６６を通して検査コンタクター６に当接された部品を観察する ことができる。更に、カメラ１６４は、検査コンタクター６に対する真空ヘッド ８２の整列状態をも観察する。先に述べたように、トロリー組立体２２の構造は 骨格状であるから、カメラ１６４が検査コンタクター６に当接された部品３５を 観察するのを妨害されない。カメラ１６４は、検査コンタクター６と部品３５と の界面の画像データをコンピュータ制御装置１８へ供給する。検査コンタクター ６との間に垂直（上下）方向に不整列が存在する場合は、コンピュータ制御装置 １８によって上述した所望の終端点１５４を調節することができる。所望の終端 点１５４を調節すると、部品３５をそれがトロリー組立体２２上に載せられたと き検査コンタクター６に対して垂直平面内で変位させる。同様にして、検査コン タクター６との間に水平方向に不整列が存在する場合は、部品３５の水平位置を 変更するようにコンピュータ制御装置１８によって親ねじモータ（図示せず）を 調節することができる。かくして、検査コンタクター用カメラ１６４は、コンピ ュータ制御装置１８と連携して確実に、ハンドラー１０の作動中に検査コンタク ター６に対する部品３５の整列状態を調節することを可能にする。 図２及び２２に示されたハンドラー１０の搬出側２４に関して説明すると、搬 出側２４は、搬入側２２に非常に類似している。搬出側２４は、搬出ベルト組立 体２１０と、搬出分類器２４０と、搬出トレー機構２８０を有する。 図２２にみられるように、各搬出ベルト組立体２１０は、搬出ベルト２１２と 、搬出ベルトモータ２１４と、プリサイサーレール２２６から成る。図２２には 、８つの搬出ベルト組立体２１０が示されている。搬出ベルト組立体２１０の数 は、必要に応じて増減することができるが、最適な平行性を維持するには、搬入 ベルト組立体１１０（図２２は図示を簡略にするために１つの搬入ベルト組立体 １１０だけが示されている）の数と同数にすべきである。図２２には、又、コン ピュータ制御装置１８によって制御される終端ストッパーモータ２５５に連結さ れたストッパー縁２５３を有する調節自在の終端ストッパー２５１が示されてい る。搬入側２０の場合と同様に、搬出側２４の調節自在の終端ストッパー２５１ も、部品３５を搬出ベルト２１２の端部の所望の終端点２５４に正確に位置づけ する。 搬出ベルト組立体２１０及びその作動は、２つの点を除いて上述した搬入ベル ト組立体１１０と同じである。第１の点は、搬出ベルト組立体２１０は、搬入ベ ルト組立体１１０に対して水平平面内で１８０°回転されることである。このよ うに、搬出ベルト２１２の運動方向は、搬入ベルト１１２のそれとは反対向きに なる。第２の点は、搬出ベルト組立体２１０の長さが搬入ベルト組立体１１０よ り短いことである。これによって、搬出トレー機構２８０を搬出トレー２８４と 共にハンドラー１０内によりコンパクトに配置することができる。以上の２つの 相違点以外では、搬出ベルト組立体２１０は、上述した搬入ベルト組立体１１０ と同じ態様で作動し、同じ精度で各部品３５をプリサイサーレール２２６に沿っ てストッパー縁２５３のところに位置づけする。 ハンドラー１０が実施する最後の移送動作は、図２及び２Ａに示されるように 搬出側２４の搬出分類器２４０による作業である。搬出分類器２４０は、部品３ ５を搬出ベルト２１２上の所望の終端点２５４から搬出トレー機構２８０へ移送 する。搬出トレー機構２８０は、搬出トレー２８４を有している。搬出トレー２ ８４は、搬入トレー３２と同様に、半導体産業において使用されている標準トレ ーであることが好ましい。搬出分類器２４０による部品３５のム２５の搬出トレ ー２８４への載置は、検査コンタクター６による検査結果に基づいて行われる。 部品３５が電気的検査に不合格になったとすると、搬出分類器２４０は、部品３ ５を不合格部品の符丁を付された搬出トレー２８４内に収容する。 搬出側２４における搬出分類器２４０の大体の位置は、図２Ａに示されている 。好ましい実施形態では、搬出分類器２４０は、アーム２４２に摺動自在に取り 付けられた取付ブラケット２５０によって支持されている。アーム２４２は、軌 道２４４に摺動自在に取り付けられている。軌道２４４は、搬出側２４でシャー シ１６にボルト付けされている。アーム２４２に沿ってのブラケット２５０の移 動と、軌道２４４に沿ってのアーム２４２の移動により、搬出分類器２４０のｘ −ｙ軸の位置ぎめを可能にする。ブラケット２５０は、アームモータ２５４によ ってアーム２４２に沿って駆動され、アーム２４２は、軌道モータ２４７によっ て軌道２４４に沿って駆動される。モータ２４５，２４７は、コンピュータ制御 装置１８によって制御される。 搬出分類器２４０は、ハンドラーの最終移送段の主要な機器である。ハンドラ ーは、多数の部品を並行して処理するので、搬出分類器２４０の個々の部品の搬 出トレー２８４への載置位置づけ動作は、高速度で行わなければならない。この 高速動作を助成するために、搬出分類器２４０の全ての部分を軽量材料で製造し 、各モータも高速モータとすることが好ましい。 図２３を参照すると、搬出分類器２４０の上からみた平面図が示されている。 搬出分類器２４０は、取付ブラケット２５０と、支持プレート２５２と、垂直方 向変位モータ２５４と、真空ヘッド８２を備えている。取付ブラケット２５０は 、ブラケット２５０に対する支持プレート２５２の垂直方向を除くあらゆる方向 の移動を拘束するための案内スロット２５５を有している。取付ブラケット２５ ０は、又、垂直方向変位モータ２５４をも収容している。垂直方向変位モータ２ ５４は、プレート２５２を支持し、プレート２５２の垂直方向の位置ぎめを制御 する。垂直方向変位モータ２５４は、コンピュータ制御装置１８によって制御さ れる。 スロット付き光センサー２５６が、垂直方向変位モータ２５４による支持プレ ート２５２の垂直方向の変位量データをコンピュータ制御装置１８に供給する。 光センサー２５６は、スロットを有しており、ブラケット２５０に取り付けられ ている。支持プレート２５２に取り付けられたマーカー２５７がスロット付き光 センサー２５６のスロット内に配置されている。光センサー２５６は、コンピュ ータ制御装置１８に電気的に接続されている。マーカー２５７が光センサー２５ ６のスロット内で移動するにつれて、光センサー２５６がブラケット２５０とプ レート２５２との間の相対位置のデータをコンピュータ制御装置１８に供給する 。コンピュータ制御装置１８は、光センサー２５６によって供給される変位量デ ータに基づいて垂直方向変位モータ２５４を制御する。かくして、プレート２５ ２に取り付けられている全ての真空ヘッド８２を一緒に被検査部品の高さ（厚み ）と搬出トレー２８４の深さに応じて調節することができる。更に、真空ヘッド ８２の垂直位置をいろろな異なる被検査部品の高さ及び搬出トレー２８４の深さ に適合するようにコンピュータ制御装置１８によって「飛行状態」で調節するこ とができる。 搬出分類器２４０の各真空ヘッド８２は、プレート２５２に取り付けられてお り、搬入ガントリー７０の真空ヘッド８２（図１０をも参照）に関連して上述し たのと同じ態様で作動する。搬出分類器２４０と搬入ガントリー７０との主要な 相違は、搬出分類器２４０は各真空ヘッド８２を個々に（１個１個）制御するこ とである。 搬出分類器２４０の側面図を示す図２４にみられるように、真空ヘッド８２の 頂部には、チューブ２５９を介して加圧空気源（図示せず）に接続されたピスト ン２５８が設けられている。各ピストン２５８への加圧空気流は、コンピュータ 制御装置１８によって制御される。従って、コンピュータ制御装置１８は、搬出 ベルト２１２上にプリサイサーレール２１６及び調節自在終端ストッパー２５１ によって位置づけされた部品３５をピックアップするために真空カップ８６を下 降させるピストン２５８の下向き推力を制御する。真空ヘッド本体８５には、ブ ラケット２５２に対する真空ヘッド８２の下方運動を制限する突起２６７（スト ッパー）が取り付けられている。更に、各々真空創生ベンチューリ９１に接続さ れた各チューブ２６１内の加圧空気も、個々に、コンピュータ制御装置１８によ って制御される。かくして、搬出分類器２４０は、個々の部品３５をピックアッ プし、それらを個々に搬出トレー内の適正な部位へ落下させる。 真空ヘッド８２を備えた搬出分類器２４０は、いろいろな構成とすることがで きる。例えば、図２５及び２６に示された一変型実施形態においては、搬出分類 器２４０に代えて、８部所付き（８つの真空ヘッド８２取り付け部所を備えた） 回転分類器２７０が設けられる。図２５は、回転分類器２７０の上からみた図で ある。回転分類器２７０は、アーム２４２内に摺動自在に取り付けられた軸２７ ２を有する。回転分類器２７０のアーム２４２及び軌道２４４に沿ってのｘ−ｙ 軸運動は、搬出分類器２４０の場合と同じである。 回転分類器２７０は、更に、高速回転軸モータ２７４と、真空ヘッド８２を収 容する回転ディスク２７６を有している。回転分類器２７０内の真空ヘッド８２ は、搬出分類器２４０内の真空ヘッド８２と同じである。圧縮空気（加圧空気） は、回転ディスク２７６の内部へ供給される。各真空ヘッド８２への圧縮空気の 供給は、コンピュータ制御装置１８によって制御される。軸モータ２７４も、コ ンピュータ制御装置１８によって制御される。軸モータ２７４は、又、回転ディ スク２７６を被検査部品３５の高さ及び搬出トレーの深さに適合するように垂直 方向に移動させる。 搬出分類器２４０（上述した変型実施形態では回転分類器２７０）は、コンピ ュータ制御装置１８によって制御され、搬出トレー２８４内のｘ−ｙ軸部品載置 位置ぎめは、検査コンタクター６からの検査データに基づいて制御することがで きる。後述する更に別の変型実施形態においては、検査データには、観察装置２ ５からの機械的点検結果も含まれる。搬出分類器２４０は、個々の部品を１個１ 個搬出トレー内に載置することができるので、「不良」部品（検査の結果不合格 とされた部品）を特定のトレー内に、又は、同じトレー内の特定の位置に置くこ とができる。 図２Ａ及び２２に示された搬出トレー機構２８０は、搬入トレー機構３０と同 様な態様で作動するが、好ましい実施形態では、搬出トレー機構２８０は、４つ の作動搬出トレー２８４を備えたものとする。 最後に、図１６に示された観察装置２５に戻って説明すると、部品３５の整列 状態に関しての画像データをコンピュータ制御装置１８に供給することに加えて 、観察装置２５は、機械的欠陥に関しても部品３５を点検することができる。コ ンピュータ制御装置１８は、やはり上述した米国マサチューセッツ州ウオルサム 及びベルギー国へバリーのＩＣＯＳカンパニーから販売されている機械的点検観 察ソフトを搭載している。曲がったリードや、欠落リードや、寸法違いリードや 、その他の欠陥又はミス配置を有する部品のような、機械的な欠陥を有する被検 査部品３５をコンピュータ制御装置１８によって同定することができる。 更に、カメラ１５２，１６２，１６４は、それぞれハンドラー処理の３つの異 なる段階でコンピュータ制御装置１８の観察点検ソフトに画像を供給する。カメ ラ１５２によって欠陥部品が検出されると、その部品を検査コンタクター６への 損傷を回避するために電気的検査装置を迂回してバイパスさせることができる。 カメラ１５２によっては検出されなかったが、カメラ１６４又は１６２によって 欠陥部品が検出されると、コンピュータ制御装置１８は、ハンドラーがその欠陥 部品を損傷させるおそれがあることを警告する。更に、コンピュータ制御装置１ ８によって制御される搬出分類器２４０は、それらの欠陥部品を観察点検ソフト からの結果に基づいて分類することができる。 図２８に示されるように、ハンドラーのコンピュータ制御装置１８は、ハンド ラーの上述した各機能を統合し制御する働きをする。コンピュータ制御装置１８ は、観察装置２５及び検査コンタクター６から検査データを受け取り、これらの データに基づいて、かつ、ハンドラー１０の構成、被検査部品のサイズ及びトレ ーの寸法に合わせて予めプログラムされたルーチンに基づいて、搬入トレー機構 モータ５２、搬入ガントリーモータ８０、ガントリーヒンジモータ８１及び全て の真空ヘッド８２のための加圧空気、搬入ベルトモータ１１４、終端ストッパー モータ１５５，２５５、ドラムモータ１７６，１７８、トロリーの親ねじモータ 及びカム軸、搬出ベルトモータ２１４、搬出分類器モータ２６２、アームモータ ２４５、軌道モータ２４７、垂直方向変位モータ２５４、及び搬出トレー機構２ ８０を制御する。 図２９は、本発明を実施するための好ましい方法を示すフローチャートである 。 図２７に示される変型実施形態においては、ハンドラー１０は、更に、熱制御 装置３１１を備えている。熱制御装置３１１は、コンピュータ制御装置１８によ って制御される。熱制御装置３１１は、搬入側２０と搬出側２４の両方に設けら れた対流加熱器３１２，３１４を備えている。対流加熱器３１２，３１４は、温 度調整されたガス（好ましくは空気又は窒素）を被検査部品を横切るようにして 吹き込むファンを備えている。搬入ベルト組立体の下に取り付けられた２台の伝 導加熱器３２２，３２４が、搬入ベルト１１２上の被検査部品を検査コンタクタ ー６で検査する前に温度調整する。同様な伝導加熱器３２６が、搬出ベルト２１ ２の下で被検査部品を温度調整する。ハンドラー１０は、部品の空気加熱及び冷 却を更に助成するためにシュラウド１７（図１参照）によって囲われている。熱 制御装置３１１（及び被検査部品）の温度範囲は、業界基準に適合するように＋ １２５℃から−５５℃の間とすることが好ましい。 以上、本発明を実施形態に関連して説明したが、本発明は、ここに例示した実 施形態の構造及び形態に限定されるものではなく、本発明の精神及び範囲から逸 脱することなく、いろいろな実施形態が可能であり、いろいろな変更及び改変を 加えることができることを理解されたい。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．被検査部品を検査工程中自動的に搬送処理するためのハンドリング装置 であって、 縦列配列の部品を収容するトレーと、 前記トレーから複数個の部品を搬入ベルト組立体へ移送するための搬入ガント リーとから成り、 前記搬入ガントリーは、前記複数個の部品をピックアップするための真空ヘッ ドと、該各真空ヘッドが対応する部品をピックアップし、後に解放するために該 部品に真空吸着力を作用させることができるように真空制御器を有することを特 徴とするハンドリング装置。 ２．前記搬入ガントリーは、該搬入ガントリーを前記トレーから前記搬入ベ ルト組立体へ制御自在に移動させるための搬入ガントリー制御器を含むことを特 徴とする請求の範囲第１項に記載のハンドリング装置。 ３．前記搬入ガントリーは、前記真空ヘッドを取り付けるためのアームを含 むことを特徴とする請求の範囲第２項に記載のハンドリング装置。 ４．前記搬入ガントリーは、前記アームを摺動自在に案内する軌道を含み、 前記搬入ガントリー制御器が該軌道に沿っての該アームの移動を制御するように なされていることを特徴とする請求の範囲第３項に記載のハンドリング装置。 ５．前記各真空ヘッドは、前記トレー内の前記部品のピッチに一致するよう に前記アームの長手に沿って調節自在であることを特徴とする請求の範囲第１項 に記載のハンドリング装置。 ６．前記搬入ガントリーは、前記真空ヘッドが前記部品を前記トレーからピ ックアップするように前記アームの垂直方向の位置ぎめを該部品の厚み及びトレ ーの高さに対応して制御するためのヒンジ機構を含むことを特徴とする請求の範 囲第３項に記載のハンドリング装置。 ７．前記各真空ヘッドは、垂直方向に変位自在で、前記搬入ガントリー制御 器に電気的に接続されるようになされた部品触感プローブを有しており、該真空 ヘッドが前記部品を前記トレーからピックアップする前に該プローブが該部品に 接触し、それによって該部品がピックアップされたことを前記搬入ガントリー制 御器に知らせるようになされていることを特徴とする請求の範囲第６項に記載の ハンドリング装置。 ８．前記各真空ヘッドは、前記搬入ガントリー制御器によって制御される真 空創生手段を有し、該真空創生手段は、該真空ヘッドが前記搬入ベルトの上方に 位置づけされたとき前記部品を解放して該搬入ベルト上に落下させるように該搬 入ガントリー制御器によって不作動にされるようになされていることを特徴とす る請求の範囲第７項に記載のハンドリング装置。 ９．並列に作動する複数の搬入ベルト組立体が設けられており、前記搬入ガ ントリーは、各縦列の部品を前記トレーから該搬入ベルト組立体並送するように なされていることを特徴とする請求の範囲第１項に記載のハンドリング装置。 １０．部品を自動的に搬送処理するためのハンドリング装置であって、 部品の供給源と、 該供給源から１個の部品をベルト組立体へ移送するための移送機構から成り、 前記ベルト組立体は、可動ベルトとプリサイサーレールを含み、該ベルトの移 動方向は、該移動するベルト上の部品が該プリサイサーレールに圧接するように 押しつけられて該プリサイサーレールに対して正確に方向づけされるように該プ リサイサーレールに対して非平行であることを特徴とするハンドリング装置。 １１．前記プリサイサーレールは、前記部品を前記移動するベルトに沿って案 内する案内縁を有することを特徴とする請求の範囲第１０項に記載のハンドリン グ装置。 １２．前記移送機構は、搬入ガントリーであることを特徴とする請求の範囲第 １０項に記載のハンドリング装置。 １３．前記被検査部品の供給源は、複数個の部品を収容したトレーであり、該 トレーの位置は、トレーハンドリング機構によって制御されるようになされてい ることを特徴とする請求の範囲第１０項に記載のハンドリング装置。 １４．部品を搬送処理するためのハンドリング装置であって、 部品の供給源と、 該供給源から１個の部品をベルト組立体へ移送するための移送機構から成り、 前記ベルト組立体は、ベルトと、ベルト変位量制御器と、所望の終端点に対す る位置関係を示す前記部品の像を形成するための画像形成器を含み、 前記ベルト変位量制御器は、前記ベルトに結合されており、該ベルトを前記所 望の終端点に対する位置関係を示す前記部品の像に基づいて移動させて該部品を 前記ベルトの移動方向でみて正確な位置に位置づけするようになされていること を特徴とするハンドリング装置。 １５．前記部品の供給源は、複数の縦列配列の部品を収容したトレーであるこ とを特徴とする請求の範囲第１４項に記載のハンドリング装置。 １６．前記移送機構は、搬入ガントリーであることを特徴とする請求の範囲第 １５項に記載のハンドリング装置。 １７．前記部品の供給源は、トロリー組立体であることを特徴とする請求の範 囲第１４項に記載のハンドリング装置。 １８．前記画像形成器は、カメラであることを特徴とする請求の範囲第１４項 に記載のハンドリング装置。 １９．前記カメラから前記画像を受け取るようになされた画像処理装置を備え ており、該画像処理装置は、前記部品と前記所望の終端点との間の距離を計算し 、該距離を前記ベルト変位量制御器に知らせることを特徴とする請求の範囲第１ ４項に記載のハンドリング装置。 ２０．前記部品を前記所望の終端点で停止させるための調節自在の終端ストッ パーを備えていることを特徴とする請求の範囲第１９項に記載のハンドリング装 置。 ２１．前記画像処理装置と前記ベルト変位量制御器は、前記部品を前記所望の 終端点に反復して位置づけすることができることを特徴とする請求の範囲第１９ 項に記載のハンドリング装置。 ２２．部品を搬送処理するためのハンドリング装置であって、 各々少くとも１個の部品を載せる複数の搬入ベルトと、 複数の搬出ベルトと、 前記搬入ベルトから複数個の部品をピックアップし、それらの部品を検査のた めに検査コンタクターに接続し、検査終了後該部品を再位置づけして前記搬出ベ ルト上に載置するトロリー組立体と、 から成るハンドリング装置。 ２３．前記トロリー組立体は、前記部品をピックアップし、解放する真空ヘッ ドを有することを特徴とする請求の範囲第２１項に記載のハンドリング装置。 ２４．前記トロリー組立体は、複数個の部品を前記検査コンタクターに係合さ せることを特徴とする請求の範囲第２３項に記載のハンドリング装置。 ２５．前記トロリー組立体は、２つのドラム上に摺動自在に取り付けられた２ つのトロリーから成り、前記真空ヘッドは、該トロリーに収容されており、該ド ラムは、制御自在に回転可能であり、該トロリーは、前記部品の搬入ベルトから 前記検査コンタクターへの位置づけを実施するために該ドラムに沿って制御自在 に移動可能であであることを特徴とする請求の範囲第２２項に記載のハンドリン グ装置。 ２６．部品を搬送処理するためのハンドリング装置であって、 少くとも１個の部品を載せる搬入ベルトと、 搬出ベルトと、 前記部品をピックアップし、該部品を回転させて検査コンタクターに接続し、 検査終了後該部品を前記搬出ベルト上に載置するために位置づけするためのトロ リー組立体と、 から成るハンドリング装置。 ２７．前記トロリーは、前記部品を検査コンタクターに接続するためにほぼ９ ０℃を回転させることを特徴とする請求の範囲第２６項に記載のハンドリング装 置。 ２８．前記検査コンタクターに接続した部品の像を形成するための画像形成器 を含むことを特徴とする請求の範囲第２２項又は２６項に記載のハンドリング装 置。 ２９．前記画像形成器は、カメラを含むことを特徴とする請求の範囲第２８項 に記載のハンドリング装置。 ３０．前記カメラから前記画像を受け取るようになされた画像処理装置を備え ており、該画像処理装置は、前記部品と前記検査コンタクターとの間の接続界面 の状態を測定することを特徴とする請求の範囲第２９項に記載のハンドリング装 置。 ３１．前記搬入ベルトに結合された搬入ベルト変位量制御器を有し、該搬入ベ ルト変位量制御器は、前記画像処理装置所望の観察結果に基づいて該搬入ベルト を制御自在に移動させることを特徴とする請求の範囲第３０項に記載のハンドリ ング装置。 ３２．前記トロリーに結合されたトロリー組立体制御器を有し、該トロリー組 立体制御器は、該トロリー組立体制御器は、前記画像処理装置の観察結果に基づ いて該トロリーを制御自在に移動させることを特徴とする請求の範囲第３０項に 記載のハンドリング装置。 ３３．部品を搬送処理するためのハンドリング装置であって、 検出コンタクターでの検査後複数個の被検査部品を載せる搬出ベルトと、 複数の真空ヘッドを備えた搬出分類器とから成り、 該搬出分類器は、前記搬出ベルトから複数個の部品をピックアップし、個々の 部品をそれらの検査結果に基づいて分類し各部品を少くとも１つの搬出トレー内 に位置づけすることを特徴とするハンドリング装置。 ３４．前記部品を平行して前記搬出分類器へ送給する複数の搬出ベルトを含む ことを特徴とする請求の範囲第３３項に記載のハンドリング装置。 ３５．前記検査結果は、前記検査コンタクターからの検査結果を含むことを特 徴とする請求の範囲第３３項に記載のハンドリング装置。 ３６．前記検査結果は、更に、視覚点検からの検査結果を含むことを特徴とす る請求の範囲第３５項に記載のハンドリング装置。 ３７．前記視覚点検は、該ハンドリング装置内の複数の段において部品を観察 する観察装置によって実施されることを特徴とする請求の範囲第３６項に記載の ハンドリング装置。 ３８．被検査部品を電気的検査コンタクターへ搬送し、該検査コンタクターか ら搬出する自動部品ハンドリング装置であって、 縦列配列の部品を収容する複数の搬入トレーを供給したり、引出したりし、１ つの搬入トレーを動作トレーとして方向づけするためのトレー積重機構と、 前記動作トレーから１縦列の部品を、部品を整列させ方向づけする搬入ベルト 組立体へ移送するための搬入ガントリーと、 前記搬入ベルト組立体から複数個の部品を検査のために検査コンタクターへ移 送して該検査コンタクターに接続し、検査終了後該部品を、部品を整列させ方向 づけする搬出ベルト組立体へ移送するためのトロリーと、 前記搬出ベルト組立体から部品を少くとも１つの搬出トレーへ移送し、該部品 を検査結果に基づいて該搬出トレー内に載置するための搬出分類器と、 から成る自動部品ハンドリング装置。 ３９．被検査部品を電気的検査コンタクターへ搬送し、該検査コンタクターか ら搬出する自動部品ハンドリング装置であって、 １つのトレーから複数個の部品を、プリサイサーレールと観察制御装置を用い て部品を整列させる搬入ベルト組立体へ移送するための搬入ガントリーと、 前記搬入ベルト組立体から複数個の部品を検査のために検査コンタクターへ移 送して該検査コンタクターに接続し、検査終了後該部品を、プリサイサーレール と観察制御装置を用いて部品を整列させる搬出ベルト組立体へ移送するためのト ロリーと、 前記搬出ベルト組立体から部品を少くとも１つの搬出トレーへ移送し、該部品 を検査結果に基づいて該搬出トレー内に載置するための搬出分類器と、 から成る自動部品ハンドリング装置。 ４０．部品をピックアップし落下させるための真空ヘッドであって、 前記部品の上方に配置された真空ヘッド本体と、 制御自在の真空源と、 真空を前記部品に作用させるために前記真空源に連通するように前記真空ヘッ ド本体の底部に配置されており、該部品に近接せしめられたときは該部品をピッ クアップし、真空が除去されたときは該部品を落下させる真空カップと、 前記部品を前記真空カップに係合させる前に該部品を検出するためのセンサー とから成り、該センサーは、検出器と該検出器に対して移動自在のプローブを有 し、該プローブの下端は、前記真空カップより先に該部品に接触するように該真 空カップを越えて下方に突出しており、該プローブの上端は、該プローブの移動 が前記検出器によって検出されるように該検出器の近くに配置されていることを 特徴とする真空ヘッド。 ４１．前記検出器は、前記センサーによる部品の検出を制御する制御器に電気 的に接続していることを特徴とする請求の範囲第４０項に記載の真空ヘッド。 ４２．前記検出器は、光検出器からキャビティを介して分離された発光ダイオ ードから成り、該キャビティは、前記プローブが上方へ変位する途中で該発光ダ イオードと光検出器との間で光を遮断するように該プローブに垂直方向に整列し ていることを特徴とする請求の範囲第４１項に記載の真空ヘッド。 ４３．前記真空源は、加圧空気を制御自在に供給されるベンチューリであるこ とを特徴とする請求の範囲第４１項に記載の真空ヘッド。 ４４．前記プローブは、偏倚手段によって前記部品に近接し、前記検出器から 離れる方向に押しつけられていることを特徴とする請求の範囲第４３項に記載の 真空ヘッド。 ４５．前記偏倚手段は、前記プローブと前記真空ヘッド本体との間に介設され たばねであることを特徴とする請求の範囲第４４項に記載の真空ヘッド。 ４６．該真空ヘッドは、支持体上のブッシュ内に取り付けられており、該支持 体は、該支持体と該真空ヘッドとの間に配置されたピストンを有し、該真空ヘッ ドが該ピストンによって該ブッシュ内で移動されるようになされていることを特 徴とする請求の範囲第４５項に記載の真空ヘッド。 ４７．前記ピストンは、空気圧によって制御されることを特徴とする請求の範 囲第４５項に記載の真空ヘッド。 ４８．前記真空ヘッド本体は、前記のブッシュの上方に配置されており、該真 空ヘッドの移動範囲を制限する突起を有していることを特徴とする請求の範囲第 ４７項に記載の真空ヘッド。