JP2000507646A - 処理液体で被処理物を電気化学的に処理するための方法と装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、処理液体を用いて被処理物（１）上の電気的に互いに絶縁した導電性の範囲（２）を電気化学的に処理するための方法と装置に関する。導体プレート上の絶縁された例えばエッチングされた構造部は、浴電源への電気接続が個々の範囲から構成されないので、公知の方法では電気化学的に処理することができない。本発明によれば、この結合は、その導電性で細かな繊維でもって処理されるべき構造付与された表面に触れるブラシ（３）によって作り出される。被処理物の搬送方向に対し横向きに配置された多数のブラシは、被処理物上の互いに絶縁するように配置された導電性の範囲の全てが電気的に少なくとも順々に接触し達成された接触時間が十分に長くなることをもたらす。好ましくはブラシ電極間に、同じく可動のブラシとして形成することができる対抗電極（８）が存在する。金属が析出する電気化学的プロセスの際に、ブラシは周期的に金属除去される。このために種々の解決可能性が提案される。

Description

【発明の詳細な説明】 処理液体で被処理物を電気化学的に処理するための方法と装置 本発明は、処理液体で被処理物を電気化学的に処理するための方法並びに当該 方法を実施するための装置に関する。 導体プレート（プリント配線回路基板等）の製造のために、そ 成されなければならない。これらは選択的に処理されるべき互いに絶縁された島 部（ランド）を意味する。 しかしながら、被処理物上、例えばプリント配線回路基板上の構造は、処理さ れるべき表面が導電性であることを被処理物の電気化学的処理が基本的に前提と するので、処理のためにそれぞれ浴電源への導電性の結合を有しなければならな い。それ故に公知の電気化学法にあっては、導体プレート上の構造の処理のため に、全面的に金属化され場合によってはスルーホールメッキされ銅で電解的に強 化された導体プレートから始まる。このように準備された導体プレートに印刷に よって或いはフォトグラフ手法で、例えば陰性の構造コピーで上記構造がもたら される。次いで覆われていない導電性の表面が選択的に電気化学的に処理される 。通例はこのために多数のプロセスステップが必要である。最後に上記構造間の 導電性の層はエッチングによって完全に取り除かれなければならない。エッチン グ法は好ましくは化学浴において噴き出 この方法の場合、被処理物が湿式化学処理製造ラインに２度おかれなければな らないことが欠点である。先ず導体プレートはスルーホールメッキされる。その 後に当該プレートは湿潤範囲の外で構造画像（イメージ）を印刷され、次いで構 造の処理のために湿式化学処理製造ラインに新たにおかれる。対応するすすぎプ ロセス及び乾燥プロセスが必要である。更に構造間の伝導性基層が導体列の完成 後に始めて除去できるようになるにすぎないことが欠点である。このために導体 列の表面はエッチングプロセスの際に損傷を受けないようにするために補助的な 保護を備えなければならない。 多層回路の内側層の製造の場合にも同様である。湿式化学処理製造ラインでの ２度の搬入（表面の電気化学的な全面処理、運び出し、印刷及び引き続いての湿 式化学法での再処理）を回避するために、処理されていない全面的な銅表面を先 ず印刷することも可能である。その後にエッチング法と化学的なやり方の別の選 択的な表面処理が実施される。エッチング後に電気的に絶縁された島部を意味す る残りの銅表面は、多数のそのような内側層を公知の方法で上記表面に押圧する 際に付着性を改善するために、黒く又は褐色に酸化される。次いで上記表面は腐 食特性の改善のために化学的に還元される。これら化学的なプロセスは時間がか かり、連続した高い化学製品消費と大量の廃物処理のために非常に費用がかさむ こととなる。これに対して、銅表面の酸化乃至還元のた めの電気化学的な方法は純粋な化学処理と比べて相当な利点を有する。 公開公報ＤＥ ４３ ３７ ９８８Ａ１において、多層・内側層の製造のため の方法が記載されている。酸化された銅表面を水平式の送り設備において電気化 学的に還元することが提案される。電解液として、例えば塩溶液が用いられる。 多層の重ね当たり１対又は２対のローラ対を介して、酸化された表面が陰極の極 性部と電気的に接触し、構造部はローラを介して浴電流源と電気的に結合する。 陽極は、被処理物がこれら陽極間を通り抜け搬送可能であるように配置される。 電解によって、陰極極性を与えられた被処理物表面に、酸化銅を還元した水素原 子が生じる。このための費用は化学還元に比べて僅かである。 この方法の場合、通過中のローラとの接触時間が非常に短い点が欠点である。 導体プレートの搬送方向での１ｍｍの測定で導体列又は絶縁された鑞付けスポッ ト(L6tauge)は、ｌｍ／分の搬送速度の場合、約０．０６秒の非常に短い時間で のみ接触する。しかしながら、この短い時間スパンは電気化学的な処理にとって あまりに短すぎる。搬送方向に対し平行に向いた導体箔の他の導体列はその長さ に対応して遥かに長い接触時間を有する。結果として、有効な処理時間は被処理 物上の構造部の向きに依存することとなる。更に、相互に絶縁分離された全ての 銅表面に外套線乃至母線に沿って接触してそれによって処理可能とするためには 、接触ローラが非常に正確に形成されなければならないことが欠点である。 その他になお、ローラの陰極接触の場合に、部分的に非常にしっかりとくっつく 夾雑物が堆積する傾向がある。これによって被処理物が一様に接触することが更 に困難となる。電気化学的方法の場合、主たるものは電気メッキ法であり、ロー ラは同じく非常に強力に金属化され、その結果、この方法で連続的な長期運転は 不可能である。 そして基本的にローラ接触はまた、構造部を局部的にのみ電気化学的に処理す べき場合に適さない。この場合において、処理されない面は例えばソルダレジス トで覆われる。そうして深めに位置する処理されるべき面に接触ローラが届かな いこととなる。 その他の方法と当該方法に適する装置がＵＳ-Ａ-５１１４５５８から公知であ る。この刊行物に、導体プレート上に微細な導体列を互いに僅かな間隔で製造す るための装置が記載されている。この装置は、導体列の接触のための実施形態に おいて、導体プレートの搬送方向に対し垂直で当該導体プレートの両側に隣接す る二面に配置された多数のブラシ繊維を有する。これらブラシは電源と接続し、 全面的な薄層状組織からなる構造部のエッチングの際に陽極極性を与えられる。 対抗電極（逆電極）乃至対極は導体プレート面から見てブラシ配置の向こう側に あり、これはまた電源と接続し、示された配置において陰極極性を与えられる。 しかしながら、この装置は、対抗電極がブラシによって完全に遮蔽されるので、 導体プレートの金属面の電気化学的処理を十分に高い電流で実施するのに適さな い。この配置で導体プレートに全く電 流が発生しないことすら想像することができる。むしろ電気化学的プロセスの全 ては対抗電極とブラシの間の隙間の範囲内で起こる。 別の刊行物ＤＥ ４１ ２３ ９８５ Ｃ２に、導体プレートの電解処理のた めの装置、特に銅での電解被覆のための装置が開示されている。普通一般に電解 的に析出する金属を接触位置で導体プレートに生じるというここに記載された問 題を解決するために、ブラシを導体プレートの接触のために用いることが同様に 提案される。このブラシは、全面的に金属層で覆われた導体プレートと電源の間 で電気的接触をなすために、導体プレート表面の縁部に重ねられる。確かにこの 装置で導体プレート表面上の電気的に相互に分離した金属範囲が接触する可能性 はない。 それ故、本発明は従来技術の欠点を回避し特に被処理物上の、とりわけ回路基 板等の導体プレート上の電気的に互いに分離した導電性の範囲を処理液体を用い て電気化学的に処理するための適切な方法と装置を提供することを課題とする。 なかんずく上記方法と装置は、導体プレートを水平姿勢乃至垂直姿勢に保持され る送り設備内で処理するのに適し、並びに非常に小さな絶縁された複数の面から なる構造部の処理及び／又は導電性の構造部の部分的な処理のみを可能にするの に適する。本発明の本質的なアスペクト乃至側面は更に、電解的な金属析出の際 に金属が接触要素にも沈積するという問題に関し、この問題を解決するためにも 適切な方策が採られなければならない。 これらの課題／問題は請求項１及び１０の対象乃至サブジェクトマターによっ て解決される。本発明の好適な実施態様は従属請求項において与えられる。 本発明に係る方法と装置で、被処理物は適切な搬送装置を用いて搬送路（搬送 軌跡）上で上記装置を通って送られる。更に処理液体の案内乃至収容のための別 の適切な装置が備えられる。当該装置は上記被処理物が装置を通る搬送の際に処 理液体と少なくとも一時的に例えば漬けたりずぶぬれにしたりして接触するよう に配置される。被処理物上、例えば導体プレート上の電気的に互いに分離された 導電性の領域の全ては、電源から電気接続部を介して給電された固定式のブラシ 電極と少なくとも順々に接触し、その結果、当該領域に電位が生じる一方、当該 領域は処理液体と接触している。更に同じく搬送路近傍に配置され電源から逆の 極性を備えた電気接続部を介して給電された対抗電極が備えられ、電流が上記領 域と対向電流の間を流れうるように配置される。これによって、導電性領域の全 てが液状の処理剤との同時接触の際に順々に電気化学的に処理されることが保証 される。上記方法と装置で、非常に小さな導電性の領域が部分的にのみ処理され ることも可能である。更に電気化学的処理の際にブラシ電極に析出した金属が添 加された金属によって再び遊離されるようになる。 本発明に係る方法の好適な使用乃至装置の好適な実施態様は、導体プレートが 連続して送り設備において処理される点にある。このためにプレートは適当な搬 送装置、例えばローラや歯車等の 車輪を用いて水平の搬送方向において上記設備を通って送られ、例えば処理液体 の浴内に達するか、適当な装置によってずぶぬれにされたりスプレーされる。そ の際、導体プレートは水平に又は垂直に支持される。電気化学的な処理のための ブラシ電極と対抗電極とは好ましくは搬送路の両側に、即ち、例えば搬送平面の 上と下にある。それ故に上記プレートは電極の間を通り抜けて運ばれる。当然の ことながら電極は導体プレートの一方側にのみ配置することも可能である。電極 と搬送路の間の空間における最適分布の電場線を達成するために、ブラシ電極と 対抗電極とは搬送路の近くにおいて搬送方向又は他の方向で見て好ましくは交互 に配置され、その結果、被処理物の一方の側に相並んで配置されたブラシ電極の 間に対抗電極が配置される。 上記ブラシは細いワイヤ状の導電性繊維からなる。当該ブラシは好ましくは浴 液面下で処理液体内に配置され、好適には平行に相対して方向づけられた並びの 形状で形成される。この並びは被処理物の搬送方向に対して零より大きな角度、 好ましくは搬送方向に対して垂直に、そして好ましくは搬送平面の形状に形成さ れた搬送路に対して平行に配置されうる。 化学的及び電気化学的な作用（侵食）に対する保護のために、ブラシは例えば チタン、ニオブ、タンタル、貴金属又は特殊鋼のような耐性のある材料からなる 。例えば０．０１１ｍｍの繊維径を有したブラシの繊維は非常に弾性に富んでい る。当該ブラシは処理されるべき表面に非常に良く適合する。これは、絶縁され た層 よりも深くこの範囲に隣接する構造部の部分的処理も可能とする（例えばソルダ レジスト）。繊維束はこの絶縁乃至分離部の間のごく狭小な平面範囲にも達する 。細いワイヤ状の繊維はその柔軟性のために処理されるべき表面上に損傷を与え ない。ブラシそれぞれの多数の繊維に関連して、被処理物の搬送方向に対して横 向きの多くのブラシの対応する配置で個々の構造の長い接触時間が結果として生 じる。電気化学的処理も対応して長い。金属を析出しない電気化学プロセスの場 合、対抗電極がブラシのすぐ傍らに配置可能なので、接触時間はほぼ１００％達 せられる。これは、各々絶縁乃至分離された構造部が電気化学的浴を通る処置の 間、対抗電極によって引き起こされるブラシ電極相互の隔たりにも拘わらず常に 浴電源と電気的接触があることを意味する。このような電気化学プロセスは例え ば電解清浄乃至クリーニング、酸化、還元及びエッチング（かど取り乃至製版） である。用いる方法に応じて、ブラシは、及びこれによって被処理物は陽極又は 陰極の極性を与えられる。 本発明に係る方法は、特に金属が被処理物上に析出するような電気化学プロセ スに適している。この例は、構造を与えられた導体プレート上への銅、金、ニッ ケル、錫並びに錫／鉛合金、銅／錫合金及び銅／亜鉛合金の選択的な析出である 。更に上記方法と装置は電気化学的な金属析出による、特に銅析出による導体プ レートのフルアディティブ製造にも適する。電解的な金属析出の場合、ブラシ電 極は陰極的に接続される。これは、電気的に絶縁さ れないブラシの表面範囲が、また被処理物自体も電気メッキされることを意味す る。それ故にこれらは時々金属除去（電気メッキ除去）されなければならない。 繊維の電気メッキを十分に回避するために、絶縁乃至分離された細いワイヤのよ うなそれぞれ個々の繊維が絶縁乃至分離部を備える。繊維の弾力性を備えるため に及び小さな寸法の故に、用いられる金属の酸化物からなる耐性のパッシブ皮膜 及びエナメル（Lackisolationen、ラッカー絶縁部）並びに電気泳動作用による エナメル引きでもたらされる層が特に適する。繊維の接触する尖端のみが、この 場合において絶縁乃至分離部によってカバーされない。陽極として析出プロセス の場合、溶解性電極も不溶性電極も使用可能である。不溶性電極は、設備の構造 的な実情に良好に適合するという利点を有する。 金属を導電性範囲に析出する方法の場合、ブラシ電極は定期的に金属をもとど おりに取り除かれなければならない。１つの実施の形態では、ブラシは装置から 取り外され、分かれた独立の装置において化学的乃至電気化学的に腐食洗浄によ って堆積した金属を取り除かれる。そのためにブラシ電極は、容易に交換可能な ように形成されなければならない。金属を取り除かれたブラシによるブラシの周 期的な交換によって及び分離された浴において再生されるべきブラシの金属除去 によって送り設備の連続的な駆動が維持される。 本発明の他の実施の形態では、陰極極性を与えられたブラシ電極は電気化学的 に電気メッキ浴自体で金属除去される。この場合、 不溶性の陽極でもって作動される。好ましくは平行に配置された形式での少なく とも２列のブラシ電極は、導体プレートの搬送方向に対して横向きに又は任意の 角度に配置される。好ましくは上記ブラシ電極列は、搬送路のあるいは被処理物 によって要求される幅の全幅にわたって又は少なくとも導電性範囲によってカバ ーされた幅にわたって延在している。金属除去のために、個々のブラシ電極又は ブラシ電極列は適当な装置によって導体プレート表面から持ち上げ取り外され、 電極と搬送路の間で隔たりが作り出され、その結果、当該電極は導体プレートに 対してもはや接触しない。その際、ブラシ電極は別の適当な装置を用いて少なく とも時々電気的に極交換される。これによって、ブラシ電極の或る部分は例えば 金属化の際に導体プレートに対する陰極的な接触として作用し、他の部分は不溶 性の陽極として作用する。更に極交換されたブラシ電極は、この状態において他 のブラシに対して陽極的にも極性付与される。持ち上げ取り外されたブラシは電 気化学的に金属除去され、他のブラシは処理されるべき構造部の表面に陰極電位 （ポテンシャル）を導く。この構造部と後者のブラシは金属化される。予め選択 可能な時間が経過してからブラシの切替状態が変更される。金属化されたブラシ は陰極として切り替えられ、金属除去されたブラシは陰極として切り替えられる 。対応して金属除去され、また金属化される。既述のブラシの交替は設備中の多 数のブラシ列で交互に行うことができ、その結果、有効陰極接触時間を長くする ことができる。 導体プレート表面上に析出した金属の量は浴中で連続的に補充されなければな らない。これは公知の手段や方法で、例えば金属塩の添加によって行われる。 別の方法バリエーションにおいて、ブラシ電極はまた、被処理物とちょうど同 じように搬送路上を設備を通って搬送される好ましくはプレート形状の金属除去 サブストレートを用いて堆積した金属を取り除くこともできる。このプレートが 通り過ぎて搬送されるそのブラシ電極又はブラシ電極列は適当な装置によって個 々にプレート表面から持ち上げ取り外され、極交換によって陽極に切り替えられ る。この経過の制御のために、装置乃至設備でのサブストレートの搬送を追跡可 能な別の装置が用いられる。サブストレートが存在するその都度の場所に応じて 、上記装置はブラシ電極の取り外しと極交換のために駆動される。プレート自体 は好ましくは陰極に切り替えられる。当該プレート上に、ブラシから電解的に剥 離された金属が析出する。或る電源が導体プレートの金属化に用いられ導体プレ ートに電気的に接触するブラシ電極と連結される一方で、別の電源が極交換され 導体プレートから取り外されたブラシ電極の金属除去のために備えられうる。こ れによって金属除去乃至金属化のための電流は金属除去電流に依存せずに調節可 能である。特に極変換されたブラシ電極に、導体プレートと接触状態にあるブラ シ電極のものよりも高い電流密度が設定可能である。 他方、浴電源の短絡を阻止する隔膜で金属除去サブストレート が覆われる場合にはブラシ電極は搬送面から持ち上げ取り外される必要はない。 この場合においても、好ましくは列形状に形成されたそのブラシ電極は、堆積し た金属の被処理物、特に金属除去サブストレートが傍らを通り過ぎるプリント配 線回路基板からの除去のために電気的に極変換される。 好ましくは金属除去サブストレートは上記装置乃至設備における無端路（エン ドレスコース）で送られうる。当該路の一部でサブストレートは上述のようにブ ラシ電極の金属除去に用いられる。路の他の一部で、好ましくは無端路の最初の 部分の起点に対する戻り経路で金属除去サブストレート自体はまた化学的か電気 化学的に、場合によっては電気化学的金属除去のための別の電極を備えた適当な 金属除去浴に浸されることで、析出金属を取り除かれる。 図解的な図１〜３を基にして、上記方法と装置とを解説する。 図１：交換可能なブラシ枠縁乃至ブラシ細片を備えその中間に対抗電極を位置さ せた装置； 図２：電気メッキセル（電解槽）での金属化及び金属除去のための可動ブラシ電 極配置を備えた装置； 図３：可動ブラシ電極配置と金属除去プレートを備えた装置。 図１において、導体プレート１上に両面で、電気化学的に処理、ここでは電気 メッキされるべき構造部２がある。当該構造部は導電性である。これは例えばエ ッチングによって生じ、互いに重なり合って電気接続しない。それで公知のプリ ント配線回路基板製 造方法で普通一般であるような、導体プレートの唯一の個所で構造部が接触する ことはできない。ここの装置において構造部２の接触にブラシ４の金属製繊維３ が用いられる。当該繊維３は構造部２の処理されるべき表面に軽くのっている。 それで当該繊維は導線６と共に上記表面からブラシ４を介して浴電源７への電気 接続を作り上げる。浴電源７の他の極は対抗電極８と接続している。この電極は ブラシ４の間に電気的に絶縁されて位置している。活性な電極面９は電気的に接 触した構造部２の近傍にある。図１で、浴電源７は装置が例えば電気化学的な金 属除去に適するように極性を与えられている。時々、対抗電極８は金属除去され るようになっている。これは周期的な電極交換によって、当該装置の電極が取り 出され分かれた装置で金属除去されて、行われうる。処理溶液中で溶解金属なし の電気化学的な還元の場合、ブラシに析出しないので、その交換は考慮されない 。 図２において、ブラシ１０，１１，１２，１３が可動に配置されている。それ ぞれ２つのブラシが１つの傾倒装置１４によって支持される。好ましくは電流制 御された浴電源７がここではブラシ１０，１２に対し電気メッキに必要なように 電極接続されている。ブラシ１０，１２はそれ故にスイッチ１５を介して陰極電 位を有する。当該ブラシを介して導体プレート上の構造部２は電気的に接触され る。傾倒装置１４によって持ち上げられたブラシ１１，１３はスイッチ１５を介 して陽極に極性を与えられている。当該ブラシは陽極として作動する。当該ブラ シが以前に電気メッ キされていた場合には、同時に当該ブラシは金属除去される。導体プレート及び ブラシの繊維に金属化プロセス及び金属除去プロセスを集中するために、それぞ れ２つのブラシの間に電気絶縁作用する１つの仕切壁１６があり、その結果、異 なった極性を与えられたブラシ電極の間での直接的な電流の流れが十分に阻止さ れる。 ブラシ１１，１３の金属除去の終了後、これらブラシは傾倒装置１４により導 体プレート表面に動かされ、同時にブラシ１０，１２は当該表面から持ち上げ取 り外される。その際、ブラシの極性は図示に対応して変わる。実際上、ブラシは 好ましくは図２に示されるように僅かな間隔をおいて配置可能である。ブラシの 昇降は他の機械的手段によっても行うことができる。傾倒装置に限られない。ブ ラシの極性の切り換えは電子スイッチでも実現可能である。送り設備について公 知の搬送ローラ乃至車輪１７が図２にのみ示されている。このような搬送器具は 、矢印で明示された搬送方向に沿って導体プレートを図１や３の装置を通って送 るために、当該装置においても用いることが可能である。更に搬送面の上方にあ る処理液体が装置への流入口及び装置からの流出口で流れ出るのを防ぐためにも 、当該ローラを利用することができる。 図３に本発明の別の実施形態を示す。被処理物の送り方向に交互に陽極２０と ブラシ２１とが配置されている。これらは設備全体にわたり矢印２２で示された 搬送方向に対し横向きに延在し、その結果、導体プレート上に存在する構造部が ブラシ電極及び対 抗電極に接して傍らを輸送される。ブラシ電極３１は可動である。これらブラシ 電極は不図示の駆動装置によって個々に処理されるべき導体プレート２３から或 いは金属製の電気メッキ除去プレートから持ち上げ取り外される。通り抜けるプ レート２４上にブラシ２１は持ち上げ取り外されている。導体プレート２３にの っているブラシ２１の繊維は、導線２５を介して処理されるべき構造部からスイ ッチ２６への電気接続を作り出す。スイッチ２６を介して浴電源２７の負極は一 時的に電気メッキブラシとつながっている。電気メッキ電流は、それぞれ陰極的 に切り換えられたブラシの数に依存して選択された電流密度に対応して自動的に 調整される。このために被処理物、即ち、１枚の導体プレート２３乃至複数の導 体プレートは送り設備の制御システムによって追跡される。ブラシのスイッチ開 閉は時間的に適切な順に個々に行われる。ブラシは、特許公報ＤＥ ３９ ３９ ６８１ Ｃ２において送り設備における陽極の切り換えのために記載されたと 似たやり方で切り換えられる。この制御の様式と実施に関して当該公報が参照さ れる。 陽極２０は好ましくは不溶性である。電解液に溶解した金属は、導体プレート ２３の構造部だけでなく、ブラシの繊維乃至繊維尖端にも析出する。これらは時 々電気メッキ除去されなければならない。図３に電気メッキから電気メッキ除去 （金属除去）への移行が示されている。金属除去のためにブラシ２１は持ち上げ られ、同時にスイッチ２６を介して陽極電位をかけられる。金属除去に、 個別に調整可能な第２の電源２８が用いられる。電源２８の負極は金属除去プレ ート２４と電気的に接続されている。導体プレートのように設備を通って搬送さ れるべき金属除去プレート２４の接触のために、水平式の電気メッキ送り設備に 関して公知であるすべり接触２９又はクランプが用いられる。 金属除去プレート２４上に、ブラシの繊維にある金属が沈積する。ブラシは、 実際に金属が完全に剥ぎ取られるまで、金属溶解のために不溶性陽極よりも約０ ．８ボルトだけ小さな浴電圧を必要とする溶解性の陽極として作用する。このこ とから、不溶性陽極２０は当該陽極にとって低すぎる電位のために始動せず電気 メッキ電流を導かないこととなる。上記繊維からの金属の完全な剥離の後、これ らは同じく不溶性陽極を呈する。そして陽極電流はほぼ零の値に低下する。この 状態はブラシの反転を導入するのに利用できる。不溶性陽極２０が用いられるな らば、この範囲でまさに金属除去される際に不図示のスイッチを用いてレール３ ０のプラス電位から上記陽極を電気的に分離するのが目的に適っている。 金属除去プレート２４とすべり接触２９乃至クランプは設備供給に対する戻り において化学的又は電気化学的に金属除去されうる。当該プレートはまた別の金 属回収部に引き渡し可能である。 本発明の特別な形態において、金属除去の際にブラシ２１の持ち上げを放棄す ることが可能である。浴電源２８の短絡を回避するために、金属除去プレート２ ４が全面的に薄く絶縁性の膜で覆 われる。これとは別に、側方範囲のみがプレートの接触のためにある。この範囲 はブラシによってとらえられていない。上記膜は化学的に耐性のあるクロスであ ってもよい。このために例えばポリプロピレンからなる布地が適する。陽極に切 り換えられたブラシは上記膜を介して金属除去される。金属除去プロセスは特に 小さな陽極／陰極間隔のために大いに効果的である。これは、一時的な金属除去 の区間を金属化区間に比して短く維持することを可能にする。膜で覆われた金属 除去プレートは搬送路の別の部分において当該膜を通して同様に金属除去される 。好ましくは、この金属除去もまた電気化学的に実施可能である。 導体プレートの両面処理のために、図３の装置はまた鏡像的に配列することが できる。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項 【提出日】１９９８年４月２７日（１９９８．４．２７） 【補正内容】 請求の範囲： １．処理液体を用いた被処理物上の電気的に互いに絶縁された導電性範囲の電気 化学的処理のための方法にして、 ａ．上記被処理物が搬送装置によって搬送路上を設備を通って運ばれ、その際に 処理液体と少なくとも一時的に接触し、 ｂ．被処理物上の導電性範囲の全てが、電源から給電される固定ブラシ電極と少 なくとも順々に接触して、上記導電性範囲に電位が生じる一方で、当該範囲がま た処理液体と接触状態にあり、 ｃ．更に同じく上記電源から逆の極性を供給される対抗電極が搬送路の近くに備 えられ、当該対抗電極と導電性範囲の間に電流が流れうるように配置される ようになった方法において、 ｄ．ブラシ電極と対抗電極の間にそれぞれ電気的に絶縁された分離手段が、対抗 電極とブラシ電極の間での直接的な電気の流れを防止するために、配置されるこ とを特徴とする方法。 １０．処理液体を用いた被処理物上の電気的に互いに絶縁された導電性範囲の電 気化学的処理のための装置にして、 ａ．上記被処理物を搬送路上を本装置を通って搬送するための装置を備え、 ｂ．処理液体を導くか収容するための別の装置であって、上記被処理物が処理液 体と少なくとも部分的に接触するように配置されている装置を備え、 ｃ．更に搬送路上を被処理物が搬送中に導電性範囲の全てと少なくとも順々に電 気的に接触可能である一方で当該範囲を処理液体とも接触するように配置されて いる固定ブラシ電極を備え、 ｄ．導電性範囲との間で電流が流れうるように搬送路の近くに配置されている対 抗電極を備え、 ｅ．上記電極への電流供給のために電源及び当該電源と上記電極の間の電気接続 部を備える ようになった装置において、 ｆ．ブラシ電極（４，１０，１２，２１）と対抗電極（８，１１，１３）の間に それぞれ電気的に絶縁された分離手段（５，１６）が、対抗電極とブラシ電極の 間での直接的な電気の流れを防止するために、配置されることを特徴とする装置 。 １１．ブラシ電極（４，１０，１２，２１）と対抗電極（８，１１，１３）とが 搬送路の両側に配置されていることを特徴とする請求項１０にしたがう装置。 １２．少なくとも個々のブラシ電極（４，１０，１２，２１）の一時的な電気的 極変換のための別の装置（１５，２６）と極変換されたブラシ電極の搬送路から の持ち上げ取り外しのための装置（１４）とを特徴とする請求項１０及び１１の いずれか一項にしたがう装置。 １３．ブラシ電極（４，１０，１２，２１）が互いに平行に位置調整された列の 形状に形成され、当該列形状は搬送面として形成された搬送路上で被処理物（１ ，２３）の搬送方向（２２）に対 して零より大きな角度において且つ当該搬送路に平行に配置されていることを特 徴とする請求項１０〜１３のいずれか一項にしたがう装置。 １４．金属除去サブストレート（２４）が搬送面で傍らを通り過ぎる上記列を搬 送面から持ち上げ取り外す装置（１４）を特徴とする請求項１３にしたがう装置 。 １５．本装置を通る金属除去サブストレート（２４）の追跡のため及びブラシ電 極（４，１０，１２，２１）の持ち上げのための装置（１４）と極変換のための 装置（１５，２６）の駆動のための制御部を特徴とする請求項１４にしたがう装 置。 １６．一方が被処理物（１，２３）の金属化のために用いられ他方がブラシ電極 （４，１０，１２，２１）の金属除去のために用いられる、少なくとも２つの電 源（７，２７，２８）を特徴とする請求項１０〜１５のいずれか一項にしたがう 装置。 １７．対抗電極（８，１１，１３）が、被処理物（１，２３）の一方の側に並べ ておかれるように配置されたブラシ電極（４，１０，１２，２１）の間に配置さ れていることを特徴とする請求項１０〜１６のいずれか一項にしたがう装置。 １８．容易に交換可能なようにブラシ電極（４，１０，１２，２１）が形成され ていることを特徴とする請求項１０にしたがう装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 コップ ロレンツ ドイツ連邦共和国 デー・90518 アルト ドルフ ツア シュタインシュナイデリン ２ (72)発明者 リトレフスキー トーマス ドイツ連邦共和国 デー・90439 ニュル ンベルク フランケンシュトラーセ 41 (72)発明者 シュテフェン ホルスト ドイツ連邦共和国 デー・47608 ゲルデ ルン ブレスラウアー シュトラーセ 53

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．処理液体を用いた被処理物上の電気的に互いに絶縁された導電性範囲の電気 化学的処理のための方法にして、 −上記被処理物が搬送装置によって搬送路上を設備を通って運ばれ、その際に処 理液体と少なくとも一時的に接触し、 −被処理物上の導電性範囲の全てが、電源から給電される固定ブラシ電極と少な くとも順々に接触して、上記導電性範囲に電位が生じる一方で、当該範囲がまた 処理液体と接触状態にあり、 −更に同じく上記電源から逆の極性を供給される対抗電極が搬送路の近くに備え られ、当該対抗電極と導電性範囲の間に電流が流れうるように配置される ようになった方法。 ２．上記ブラシ電極が処理の際に堆積した金属を再び取り除かれることを特徴と する請求項１にしたがう方法。 ３．堆積した金属の除去のために個々のブラシ電極が搬送路から持ち上げ取り外 され、電気的に極交換されることを特徴とする請求項２にしたがう方法。 ４．金属除去サブストレートが搬送路上を設備を通って搬送され、当該金属除去 サブストレートが傍らを通り過ぎるブラシ電極と搬送路との間に隔たりが作り出 され、その際にそのブラシ電極が極変換されることを特徴とする請求項３にした がう方法。 ５．膜で覆われた金属サブストレートが搬送路上を設備を通って 搬送され、当該金属サブストレートが傍らを通り過ぎるブラシ電極が、堆積した 金属の除去のために電気的に極変換されることを特徴とする請求項２にしたがう 方法。 ６．金属除去サブストレートが極変換されたブラシ電極に比して陰極に極性を与 えられることを特徴とする請求項４及び５のいずれか一項にしたがう方法。 ７．金属除去サブストレートが設備内における無端路上を送られ、その際にサブ ストレートが上記路の一部でブラシ電極の金属除去のために案内され、別の一部 で自身が再び金属除去されることを特徴とする請求項４〜６のいずれか一項にし たがう方法。 ８．ブラシ電極が極変換される際にこのブラシ電極に高い電流密度が設定される ことを特徴とする請求項３〜７のいずれか一項にしたがう方法。 ９．ブラシ電極を設備から取り除き次いで当該ブラシ電極から金属を化学的又は 電気化学的にエッチングすることによって当該ブラシ電極が堆積した金属を再び 取り除かれることを特徴とする請求項２にしたがう方法。 １０．処理液体を用いた被処理物上の電気的に互いに絶縁された導電性範囲の電 気化学的処理のための装置にして、 −上記被処理物を搬送路上を本装置を通って搬送するための装置を備え、 −処理液体を導くか収容するための別の装置であって、上記被処理物が処理液体 と少なくとも部分的に接触するように配置されて いる装置を備え、 −更に搬送路上を被処理物が搬送中に導電性範囲の全てと少なくとも順々に電気 的に接触可能である一方で当該範囲を処理液体とも接触するように配置されてい る固定ブラシ電極を備え、 −導電性範囲との間で電流が流れうるように搬送路の近くに配置されている対抗 電極を備え、 −上記電極への電流供給のために電源及び当該電源と上記電極の間の電気接続部 を備える ようになった装置。 １１．ブラシ電極と対抗電極とが搬送路の両側に配置されていることを特徴とす る請求項１０にしたがう装置。 １２．少なくとも個々のブラシ電極の一時的な電気的極変換のための別の装置と 極変換されたブラシ電極の搬送路からの持ち上げ取り外しのための装置とを特徴 とする請求項１０及び１１のいずれか一項にしたがう装置。 １３．ブラシ電極が互いに平行に位置調整された列の形状に形成され、当該列形 状は搬送面として形成された搬送路上で被処理物の搬送方向に対して零より大き な角度において且つ当該搬送路に平行に配置されていることを特徴とする請求項 １０〜１３のいずれか一項にしたがう装置。 １４．金属除去サブストレートが搬送面で傍らを通り過ぎる上記列を搬送面から 持ち上げ取り外す装置を特徴とする請求項１３にしたがう装置。 １５．本装置を通る金属除去サブストレートの追跡のため及びブラシ電極の持ち 上げのためと極変換のための装置の駆動のための制御部を特徴とする請求項１４ にしたがう装置。 １６．一方が被処理物の金属化のために用いられ他方がブラシ電極の金属除去の ために用いられる、少なくとも２つの電源を特徴とする請求項１０〜１５のいず れか一項にしたがう装置。 １７．対抗電極が、被処理物の一方の側に並べておかれるように配置されたブラ シ電極の間に配置されていることを特徴とする請求項１０〜１６のいずれか一項 にしたがう装置。 １８．容易に交換可能なようにブラシ電極が形成されていることを特徴とする請 求項１０にしたがう装置。 １９．処理液体を用いた被処理物上の電気的に互いに絶縁された導電性範囲の電 気化学的処理のための方法にして、個々の若しくは全ての新しい特徴構成又は開 示された特徴構成の組み合わせを特徴とする方法。 ２０．処理液体を用いた被処理物上の電気的に互いに絶縁された導電性範囲の電 気化学的処理のための装置にして、個々の若しくは全ての新しい特徴構成又は開 示された特徴構成の組み合わせを特徴とする装置。