JP2000502442A

JP2000502442A - 電磁加速度計

Info

Publication number: JP2000502442A
Application number: JP9521795A
Authority: JP
Inventors: ピエールジルー; ピエールギュマン; アンドレミジェオン; シルヴィーペドラーザ―ラモス
Original assignee: Thales Avionics SAS
Current assignee: Thales Avionics SAS
Priority date: 1995-12-12
Filing date: 1996-12-10
Publication date: 2000-02-29
Also published as: FR2742231A1; FR2742231B1; EP0866973A1; EP0866973B1; WO1997022011A1; DE69621452D1; AU1101697A; DK0866973T3; US6076403A; CA2239107A1; MX9804822A; AU707264B2; DE69621452T2; BR9612775A; NO982668D0; NO982668L

Abstract

(57)【要約】本発明は、懸垂アームを経て周辺フレームに接続された可動質量を有しているシリコンで作られた感度部分を含む電磁加速度計に関する。シリコンで作られた感度部分は、周辺フレームに接続された固定極チャンバー、磁石、コイル、チャンバー内に挿入された可動極片とを含む、いわゆる負の剛性を有しているモータに結合され、前記極片が、可動質量に結合されている。用途：ジオホン

Description

【発明の詳細な説明】電磁加速度計本発明の分野は、可動質量（マス）と、この質量の変位を検出し、そして、電磁誘導現象を用いて、この質量の位置を制御するシステムを制御するための圧電ゲージとを含んでいる電磁加速度計の分野である。この形式の加速度計は、特に、集積回路の製造から開発されたテクノロジーから得た技術を使用するシリコンウェーハから作ることができ、特に、石油源を発見するため、地球の地層の特性を詳細に分析するためのジオホンに使用できる。一般的に、電磁加速度計の歪ゲージは、電磁誘導現象を用いて、たとえば、ジオホンの使用に関与する地震運動の外部条件の作用の下で、可動質量の変位を補償するコイルのための供給電流を、電子回路により発生するように意図されている。可動質量によって行われる加速の大きさ（マグニチュード）は、可動質量の変位を防止するのに必要なコイルへの供給電流値から推論される。この形式の加速度計の作動の全原理が図１に示されている。可動質量２は、アーム80及び81により固定フレーム３から懸垂されている。可動質量、懸垂アーム及び固定フレームは、有利には、シリコンウェーハから作られる。コイル６は可動質量２に取り付けられている。このコイルは、２つの極片から成る磁気回路に関連づけられており、これらの極片は、永久磁石５の磁界を送るための２つのギャップの形態をとり、その磁化軸は、可動質量２の表面に垂直である。例えば、上部アーム80及び81の懸垂アームは、歪ゲージ10を含み、それらの歪ゲージ10が、可動質量の変位の検出器を構成している。これらの歪ゲージは、電子回路11により、コイル６のための供給電流Ｉを発生するように意図されており、その結果、電磁誘導現象を使用して、これらの歪ゲージは、例えば、地震運動の外部条件の作用の下で、可動質量２の変位を補償できる。電磁誘導力の作用の下での可動質量２の変位補償は、磁石５の磁化軸に対応している二方向矢印Ｆによって示された方向に沿って行われる。可動質量２が外部条件の作用の下で行った変位の大きさは、可動質量の変位を防止するために制御システムに必要とされる電流値Ｉから推論される。電流値Ｉは、例えば、抵抗Ｒにより、２つの出力端子ＣとＤとの間の電圧の形で取り出される。この種の加速度計の感度限界は、典型的にシリコンで作られる懸垂アームの剛性にあり、それは、可動質量に加えられる少ない力では可動質量の変位を生じないことを意味している。本発明が意図する用途で、且つ地球の地層識別に関係のある用途では、非常に高度の感度が絶対的に不可欠である。この種の装置は、下記の原理によって作動する。地上に置かれた励振源が、機械的波動を地中に送り、これらが加速度計に作用する。前記加速度計の応答が、機械的波動の発生によって生じた、地球の地層の特性に関する情報を提供する。前述のような電磁加速度計にある可動質量の懸垂アームの正の剛性の問題を解決するため、本発明の主題（目的）は、懸垂アームの正の剛性に対抗し、且つ前記加速度計の感度を増加するのに貢献する負の剛性を有する磁気モータを使用する加速度計である。更に詳細には、本発明の主題は、磁気モータ１と、周辺フレーム３から懸垂されており、且つ可動質量の変位検出器を構成する歪ゲージに関連づけられている可動質量２とを含み、磁気モータが、 − 永久磁石５を含む極片12で形成されており、且つコイル６を含み周辺フレームに固定されているチャンバーと、 − チャンバー内に置かれており、且つ可動質量２に固定された極片14とを含むことを特徴とする磁気加速度計である。極片14は、非磁性要素を経て可動質量に固定されてもよい。有利には、チャンバーは、回転対称の極片である。本発明の他の形式によれば、極片12は、周辺フレーム３に取り付けられた周辺部121 と、内部122 と、周辺部121 を内部122 に接続している磁石５と、内部12 2 に固定されており且つ極片14を囲んでいるコイル６とを含む。本発明の他の１つの形式によれば、極片14は、可動質量の平面Ｐ１に垂直な中央部141 と、極片14と極片12との間に平面Ｐ１に平行な平面にギャップを形成するように、前記中央部に垂直な２つの部分142 及び143 とを有している。本発明の他の形式によれば、可動質量及び固定フレームは、上部ウェーハ７及び下部ウェーハ８として知られている２つのシリコンウェーハの積層（スタック）の形態をとっている。 − 上部ウェーハは、＊可動質量の平面に形成されたＹ軸に沿った２つのカウンタ・ストップ41 及び42を含んでいる可動質量の上部21と、＊Ｙ軸に垂直なＸ軸に沿い、且つ可動質量の平面に形成された２つのストップ43及び44を含んでいる固定フレームの上部31と、＊圧電ゲージを含んでおり、懸垂アーム80及び81により接続されている部分21及び31とを含み、 − 下部ウェーハは、＊Ｘ軸に沿って２つのカウンタ・ストップ45及び46を含んでいる可動質量の下部22と、＊Ｙ軸に沿って２つのストップ47及び48を含んでいる固定フレームの下部 32とを含み、 − カウンタ・ストップ41及び42は、ストップ47及び48に対抗しており、 − カウンタ・ストップ45及び46は、ストップ43及び44に対抗している。慣例により、ストップは加速度計の固定要素として形成され、これに対して加速度計の可動要素であるカウンタ・ストップが、静止する。本発明の１つの他の形式によれば、加速度計は、 − 部分21が、中央23と、Ｙ軸に沿って前記中央部の両面にある２つの不動のアーム24及び25とを含み、 − 部分31が、周辺部33と、Ｘ軸に沿って周辺部内側にある２つのアーム34及び 35とを含み、ウェーハ７が、中央部13をアーム34及び35に接続している２つの懸垂アーム80及び81を含み、前記懸垂アーム80及び81が圧電ゲージを含み、 − 部分（22）が、中央部（26）と、Ｘ軸に沿って中央部の両側にある２つの不動のアーム（27）及び（28）とを含み、 − 部分32が、周辺部36と、Ｙ軸に沿って周辺部の内側にある２つのアーム37及び38とを含み、 − カウンタ・ストップ41及び42が、不動のアーム24及び25の形態をとっており、 − ストップ43及び44が、アーム34及び35の形態をとっていて、 − カウンタ・ストップ45及び46が、不動アーム27及び28の形態をとっており、 − カウンタ・ストップ[sic]47 及び48が、アーム37及び38の形態をとっていることを特徴としている。本発明の他の形式によれば、加速度計のウェーハ７及び８は、可動質量の平面に垂直なＺ軸に沿った可動質量の運動のみが可能であるように、可動質量２をフレーム３に接続している細長いガイドアームを含む。有利には、これらのアームは、Ｘ及びＹ軸に対して45度に向けられており、ウェーハ７の上部の方にあり、且つウェーハ８の上部の方にある２つの軸に沿っていてもよい。本発明は、以下に述べられるが、これに限定されることのない説明及び添付の図からよりよく理解されるであろう。これらの図の中、 − 図１は、公知の技術による電磁制御システムを含む加速度計を例示している。 − 図２は、本発明による加速度計に使用されるモータの実施例を例示している。 − 図３は、本発明による加速度計に使用される可動質量及び周辺フレームの実施例を例示している。＊図３ａは、本発明による加速度計に使用される上部ウェーハ７の実施例を例示している。＊図３ｂは、本発明による加速度計に使用される下部ウェーハ８の実施例を例示している。 − 図４ａは、図３ａ及び３ｂに例示されているウェーハ７及び８の組立体のＢＢ’面上の断面を例示している。 − 図４ｂは、図３ａ及び３ｂに例示されているウェーハ７及び８の組立体のＣＣ’面上の断面を例示している。 − 図５ａは、４つのガイドアームを含む上部ウェーハ７の実施例を示している。 − 図５ｂは、４つのガイドアームを含む上部ウェーハ８の実施例を示している。 − 図６は、本発明による加速度計の実施例の斜視図を例示している。本発明による加速度計は、周辺フレーム３から懸垂アーム80及び81（図２）を介して懸垂された可動質量２を含む。懸垂アーム80及び81は、図２に示されていない圧電ゲージを含む。可動質量２は、極片14に結合されている。この極片14は、極片12から成るチャンバー内に挿入されている。極片12自体は、主部分121と、二次部分122とから成っており、主部分及び二次部分は、永久磁石５によって接続されている。コイル６が二次部分122に結合されている。負の剛性モータのこの実施例では、極片14は、図２に矢印によって示された種々の磁界の存在を必要とする。これらの矢印は、永久磁石５によって作り出される磁界に関連している。この極片14は、不安定な平衡状態にあり、可動質量２の平面に垂直なＺ軸に沿ってシフトする傾向がある。極片14が、ＡＡ’軸線によって示された中央位置から離れるに従って、極片14が可動質量を保持し、懸垂アーム80及び81上に置かれている圧電ゲージ内に応力を生ずる。これは、それ自体、図示されていない電子回路を経て、コイル６に作用するリターン電流に表れ、その組立体を固定位置に保持しようとする。どのようにして起きたかは、コイル６の供給場(supply field)が極片14に磁界を生じ、これが前記極片を中央平面ＡＡ’に戻そうとすることである。たとえば、この不安定な平衡状態のとき、極片14がシリコン部分に接近しようとすると、コイル内に生じた制御電流が、前記極片14をシリコン部分から離そうとする。負の剛性を有すると言われ、本発明による加速度計に使用される電磁モータには、従って、圧電ゲージにより、可動質量を極片14を経て平衡状態に戻すことができるよう、電流が供給される。この加速度計が、特に、地震運動型の外部応力を受けると、これは前述の方法と類似の方法で作動する。即ち、モータは、連続的に、極片14を中央平面ＡＡ’ に戻そうとする。この形式の制御は、破損を防止するのに充分厚く、同時に、全体として加速度計の全剛性を減少するために充分な感度を維持する、懸垂アーム80、81の使用を可能にする。加速度計に必要な高感度が与えられると、感度軸(sensitive axis)Ｚに沿った低加速がシリコン圧電ゲージ内に高応力を生じ、すぐに降伏点に達する。この欠点を軽減するため、本発明による加速度計は、感度軸に沿った可動部分の変位を制限するストップ・システムを含み、これらのシステムは、歪ゲージを含む懸垂アームを経て固定フレームに接続された可動質量から成る感度部分内に内蔵されている。本発明の他の形式によれば、加速度計のこの感度部分は、２つのモノクリスタルのシリコン・ウェーハ７及び８から成っており、その中に、物質の除去（化学エッチング）により懸垂アーム、圧電抵抗ゲージ及びそのゲージを外部に接続するための導電体が形成されている。更に詳細には、本発明の１つの他の形式によれば、すべての極片12及び14は、２つのシリコン・ウェーハの積層から作られている可動質量２及び周辺フレーム３に結合されている。図２に例示したように、周辺フレームは、いわゆる上部、つまり上部ウェーハ７と呼ばれている第１のシリコン・ウェーハで作られている部分31と、下部として知られている部分、つまり下部ウェーハ８として知られている第２のシリコン・ウェーハから作られている部分32とを含む。部分31は、極片121 及び122 に結合されている。同様に、可動質量２は、いわゆる上部、つまりウェーハ７で作られた部分21と、いわゆる下部、つまりウェーハ８で作られた部分22とを含む。部分21は、要素144 を経て極片14に接続されている。この図２では、部分21、22、 31及び32は、非常に概略的に示されており、図３ａ、３ｂ、４ａ、及び４ｂを用いて詳細に説明する。図３ａ及び図３ｂは、それぞれ、上部ウェーハ７及び下部ウェーハ８の上部から見た図を示している。上部ウェーハは、中央部23と、中央部の両側にあって図３ａに示されたＹ軸に沿って向けられている不動アーム24及び25とから成っている可動質量21の上部とを含む。上部ウェーハ７はまた、周辺部33と、図３ａではＸ軸に沿って向けられている２つのアーム34及び35とから成っている固定フレームの上部31とを含む。不動アーム25の部分42及び不動アーム24の部分43が、可動質量の部分21とのカウンタ・ストップを構成している。不動アーム34の部分43及びアーム35の部分44が、固定フレームの部分31上のストップを構成している。このウェーハ７はまた、可動質量の中央部23を固定フレームに結合されたアーム34及び35に接続している懸垂アーム80及び81を含む。図３ｂは、下部ウェーハ８に関連している。このウェーハ８は、中央部16と、図３ｂではＸ軸に沿って向けられている２つの不動アーム27及び28とから成る可動質量の下部22とを含む。ウェーハ８はまた、周辺部36と、図３ｂではＹ軸に沿って向けられている２つのアーム47及び48とからなっている周辺フレームの下部32とを含む。不動アーム25の部分42及び不動アーム24の部分41が、それぞれ、アーム38のストップ48部分及びアーム37のストップ47部分に面しているカウンタ・ストップを構成している。同様に、可動アーム27の部分45及び不動アーム28の部分46が、それぞれアーム 34のストップ43及びアーム35のストップ44に面しているカウンタ・ストップを構成している。図４ａ及び４ｂは、ウェーハ７及び８の積層の、図３ａ又は３ｂに示された平面ＢＢ’及びＣＣ’の横断面を例示しており、どのように種々のストップ及び種々のカウンタ・ストップが作られるかを示している。下部ウェーハ８のアーム27、28、37及び38は、同じ構成を有している。これらのアームは、シリコンウェーハの厚さｅ₀よりも少ない厚さｅ₁の要素から成っている。厚さｅ₁の要素と厚さｅ₀の要素との間のレベルの差が、それぞれ対向しているカウンタ・ストップ又はストップのためのストップ又はカウンタ・ストップを作るのを可能にしている。上部ウェーハ７のアーム24、25、34及び35はすべて同じ構成である。これらは厚さｅ₀の単一要素、つまり下部ウェーハ８上の薄い部分に面している各アーム部分から成っている。本発明の他の形式によれば、ウェーハ７及び８はまた、図５ａ及び５ｂに例示したような細長いガイドアームを含む。上部ウェーハ７は、可動質量の平面に平行な平面において、Ｘ及びＹ軸に対して45度に向けられている４つのガイドアーム91、92、93、94を含む。これらのガイドアームは、更に詳細には、懸垂アーム80及び81を含んでいる平面と同じ平面にあってもよい。同様に、下部ウェーハ８は、Ｘ及びＹ軸に対して45度に向けられた細長いガイドアーム95、96、97、98を含む。これらのガイドアームは、ウェーハ８の下部にあってもよい。種々の不動、懸垂及びガイドアームは、写真平板によるマスキングとそれに続くエッチングの手順によって製造される。そのためウェーハ７及び８は、有利には、埋め込んだ酸化物層を含み、且つ酸化物で被覆されたＳＩＭＯＸ型のウェーハであればよく、２つの酸化物層の間の充分に制御された厚さのシリコンは、懸垂アーム又はガイドアームの寸法を非常に正確に測定することを可能にする。ウェーハ７及び８が従来の方法で組み立てられる前に、不動アームが、その後可動質量となる質量及び周辺フレームの双方に接続される。化学エッチングによってストップ及びカウンタ・ストップを製造するときに、不動アームと周辺フレームとの間の予定の開口にプレカット（ precut）が行われる。２つのウェーハが組み立てられた後、可動質量を固定フレームから開放するための最終カットが、レーザー・アタックによってプレカット部に行われる。更に詳細には、 − 要素33と不動アーム25及び24との間のウェーハ７上に − 要素26とアーム38及び37との間のウェーハ８上に、それぞれプレカットが行われる。この形式の操作はウェーハ７及び８の組立てを容易にする。図６は、いわゆる負の剛性のモータと、２つのウェーハの積層から作られたシリコン部分とを使用している本発明による加速度計の１実施例の斜視図を示している。モータ部分は、シリコン・ウェーハ７の部分33に固定された極片12を含む。極片12は、シリンダーの回転軸に垂直な平面に２つの開口を有しているシリンダー状（円筒状）の容器である。一方の開口が要素14を可動質量に固定できるようにしている。他方の開口は、容器内に存在する磁界の力が要素121の極の質量の関数として調整でき、且つ平衡位置を設定できるように作られている。極片14は、典型的に、例えば、パイレックスで作られた部分144を経て、質量２の中央部23に接続される。コイル６と磁石５とから成っている組立体が、プラスチック56内に封入され、組立体を一体化する。図６は、シリコン・ウェーハを含む加速度計の１つの相対的配置を示しており、このウェーハ内に図示のようなウェーハ・ガイドアーム、つまり要素95、96及び97が特に作られている。この図はまた、ウェーハ８内に刻み込まれた、可動質量の中央部26に接続されている２つの不動アーム27及び28と、同じくウェーハ８に刻み込まれた、固定フレーム36に接続された２つのアーム37及び38とを示している。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項【提出日】１９９７年１１月１２日（１９９７．１１．１２）【補正内容】請求の範囲１．磁気モータ（１）と、周辺フレーム（３）から懸垂されており、且つ可動質量の変位の検出器を構成している歪ゲージに関連づけられている可動質量（２）とを含んでいる電磁加速度計において、磁気モータが、「負の剛性」を有している磁気モータを構成するように − 永久磁石（５）を含む極片（ 12）で形成されており、コイル（６）を含み、且つ周辺フレームに固定されているチャンバーと、 − チャンバー内に設けられており、且つ不安定な平衡状態に保たれた可動質量（２）に固定された極片（ 14）とを含むことを特徴とする電磁加速度計。２．極片（ 14）が、非磁性要素を経て、可動質量（２）に固定されていることを特徴とする請求項１に記載の電磁加速度計。３．極片（ 2）及び（13 ）が、主部分（121 ）と、主部分の内側にある二次部分（122 ）とを含み、前記主部分及び二次部分が、永久磁石（５）を介して接続されており、コイルが極片（122 ）に結合され、且つ極片（ 14）を囲んでいることを特徴とする請求項１及び２のいずれか１つの項に記載の電磁加速度計。４．極片（ 14）が、極片（ 14）と極片（ 12）との間に、平面（Ｐ１）に平行な平面のギャップを形成するように、可動質量の平面（Ｐ１）に垂直な中央部（141 ）と、前記中央部に垂直な２つの部分（142 ）及び（143 ）とを有していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つの項に記載の加速度計。５．可動質量及び固定フレームが、上部ウェーハ（７）及び下部ウェーハ（８）として知られている２つのシリコン・ウェーハの積層の形態になっており、 − 上部ウェーハが、＊可動質量の平面に形成され、（Ｙ）軸に沿った２つのカウンタ・ストップ（ 41）及び（ 42）を含んでいる可動質量の上部（ 21）と；＊（Ｙ）軸に垂直な（Ｘ）軸に沿い、且つ可動質量の平面に形成された２つのストップ（ 43）及び（ 44）を含む固定フレームの上部（ 31）と；＊圧電ゲージを含んでいる懸垂アーム（ 80）及び（ 81）によって接続されている部分（ 21）及び（ 31）とを含み； − 下部ウェーハが＊（Ｘ）軸に沿って２つのカウンタ・ストップ（ 45）及び（ 46）を含んでいる可動質量の下部（ 22）と；＊（Ｙ）軸に沿って２つのストップ（ 47）及び（ 48）を含んでいる固定フレームの下部（ 32）とを含み − カウンタ・ストップ（ 41）及び（ 42）がストップ（47）及び（ 48）に対抗しており、 − カウンタ・ストップ（ 45）及び（ 46）がストップ（43）及び（ 44）に対抗していることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つの項に記載の加速度計。６．部分（ 21）が、中央部（ 23）と、（Ｙ）軸に沿って前記中央部の両側にある２つの不動アーム（ 24）及び（ 25）とを含み、 − 部分（ 31）が、周辺部（ 33）と、（Ｘ）軸に沿って周辺部の内側にある２つのアーム（ 34）及び（ 35）とを含み、上部ウェーハ（７）が、中央部（ 2 3）をアーム（ 34）及び（ 35）に接続している２つの懸垂アーム（80）及び（ 81）を含み、前記懸垂アームが、圧電ゲージを含み； − 部分（ 22）が、中央部（ 26）と、（Ｘ）軸に沿って前記中央部の両側にある２つの不動アーム（ 27）及び（28）とを含み； − 部分（ 32）が、周辺部（ 36）と、（Ｙ）軸に沿って周辺部の内側にある２つのアーム（ 37）及び（ 38）を含み； − カウンタ・ストップ（ 41）及び（ 42）が不動アーム（24）及び（ 25）の形態になっており、 − ストップ（ 43）及び（ 44）が、アーム（ 34）及び（35）に規定されていて； − カウンタ・ストップ（ 45）及び（ 46）が不動アーム（27）及び（ 28）の形態になっており； − カウンタ・ストップ（ 47）及び（ 48）がアーム（ 37）及び（ 38）の形態になっていることを特徴とする請求項５に記載の加速度計。７．ウェーハ（７）及び（８）が、可動質量（２）を周辺フレーム（３）に接続している細長いガイドアームを含み、前記アームが（Ｘ）軸及び（Ｙ）軸に対し45度に向けられた２つの軸線に沿って置かれていることを特徴とする請求項６に記載の加速度計。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者ギュマンピエールフランス国，94117 アルクイユセデクス，アヴェニュデュプレジダン―サルヴァドール―アレンド，13番地トムソン ―セーエスエフエスセーペイ内 (72)発明者ミジェオンアンドレフランス国，94117 アルクイユセデクス，アヴェニュデュプレジダン―サルヴァドール―アレンド，13番地トムソン ―セーエスエフエスセーペイ内 (72)発明者ペドラーザ―ラモスシルヴィーフランス国，94117 アルクイユセデクス，アヴェニュデュプレジダン―サルヴァドール―アレンド，13番地トムソン ―セーエスエフエスセーペイ内

Claims

【特許請求の範囲】１．磁気モータ（１）と、周辺フレーム（３）から懸垂されており、且つ可動質量の変位の検出器を構成している歪ゲージに関連づけられている可動質量（２）とを含んでいる電磁加速度計において、磁気モータが、 − 永久磁石（５）を含む極片（ 12）で形成されており、コイル（６）を含み、且つ周辺フレームに固定されているチャンバーと、 − チャンバー内に設けられており、且つ可動質量（２）に固定された極片（ 14）とを含むことを特徴とする電磁加速度計。２．極片（ 14）が、非磁性要素を経て、可動質量（２）に固定されていることを特徴とする請求項１に記載の電磁加速度計。３．極片（ 12）及び（13 ）が、主部分（121 ）と、主部分の内側にある二次部分（122 ）とを含み、前記主部分及び二次部分が、永久磁石（５）を介して接続されており、コイルが極片（122 ）に結合され、且つ極片（ 14）を囲んでいることを特徴とする請求項１及び２のいずれか１つの項に記載の電磁加速度計。４．極片（ 14）が、極片（ 14）と極片（ 12）との間に、平面（Ｐ１）に平行な平面のギャップを形成するように、可動質量の平面（Ｐ１）に垂直な中央部（141 ）と、前記中央部に垂直な２つの部分（142 ）及び（143 ）とを有していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つの項に記載の加速度計。５．可動質量及び固定フレームが、上部ウェーハ（７）及び下部ウェーハ（８）として知られている２つのシリコン・ウェーハの積層の形態になっており、 − 上部ウェーハが、＊可動質量の平面に形成され、（Ｙ）軸に沿った２つのカウンタ・ストップ（ 41）及び（ 42）を含んでいる可動質量の上部（ 21）と；＊（Ｙ）軸に垂直な（Ｘ）軸に沿い、且つ可動質量の平面に形成された２つのストップ（ 43）及び（ 44）を含む固定フレームの上部（ 31）と；＊圧電ゲージを含んでいる懸垂アーム（ 80）及び（ 81）によって接続されている部分（ 21）及び（ 31）とを含み； − 下部ウェーハが＊（Ｘ）軸に沿って２つのカウンタ・ストップ（ 45）及び（ 46）を含んでいる可動質量の下部（ 22）と；＊（Ｙ）軸に沿って２つのストップ（ 47）及び（ 48）を含んでいる固定フレームの下部（ 32）とを含み − カウンタ・ストップ（ 41）及び（ 42）がストップ（ 47）及び（ 48）に対抗しており、 − カウンタ・ストップ（ 45）及び（ 46）がストップ（ 43）及び（ 44）に対抗していることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つの項に記載の加速度計。６．部分（ 21）が、中央部（ 23）と、（Ｙ）軸に沿って前記中央部の両側にある２つの不動アーム（ 24）及び（ 25）とを含み、 − 部分（ 31）が、周辺部（ 33）と、（Ｘ）軸に沿って周辺部の内側にある２つのアーム（ 34）及び（ 35）とを含み、上部ウェーハ（７）が、中央部（ 2 3）をアーム（ 34）及び（ 35）に接続している２つの懸垂アーム（80）及び（ 81）を含み、前記懸垂アームが、圧電ゲージを含み； − 部分（ 22）が、中央部（ 26）と、（Ｘ）軸に沿って前記中央部の両側にある２つの不動アーム（ 27）及び（28）とを含み； − 部分（ 32）が、周辺部（ 36）と、（Ｙ）軸に沿って周辺部の内側にある２つのアーム（ 37）及び（ 38）を含み； − カウンタ・ストップ（ 41）及び（ 42）が不動アーム（24）及び（ 25）の形態になっており、 − ストップ（ 43）及び（ 44）が、アーム（ 34）及び（ 35 ）に規定されていて； − カウンタ・ストップ（ 45）及び（ 46）が不動アーム（27）及び（ 28）の形態になっており； − カウンタ・ストップ（ 47）及び（ 48）がアーム（ 37）及び（ 38）の形態になっていることを特徴とする請求項５に記載の加速度計。７．ウェーハ（７）及び（８）が、可動質量（２）を周辺フレーム（３）に接続している細長いガイドアームを含み、前記アームが（Ｘ）軸及び（Ｙ）軸に対し45度に向けられた２つの軸線に沿って置かれていることを特徴とする請求項６に記載の加速度計。