JP2000502122A - パーフルオロエラストマー組成物 - Google Patents

パーフルオロエラストマー組成物

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Abstract

(57)【要約】 選択した補強用金属含有充填材および二酸化チタンを含んでいて実質的に元素状炭素を含まないパーフルオロエラストマー組成物は、それを硬化させると、乾式方法の半導体シーリング用途で優れた性能特徴を示す。

Description

【発明の詳細な説明】 パーフルオロエラストマ一ー組成物 発明の背景 パーフルオロエラストマー類は卓越した商業的成功を達成していて、高温およ び攻撃的化学品を包含する苛酷な環境に遭遇する幅広く多様な用途で用いられて いる。 電子構成要素、例えば半導体装置などの製造では、そのような加工で用いられ る構成要素のシーリング(sealing)に関して異常なほど厳格な要求が存 在する。現在満たされていない残りの要求は、乾式半導体製造環境(このような 環境ではシールがしばしば反応性プラズマ、腐食性の洗浄用ガスおよび高温にさ らされる)で見られる通常でない工程条件において満足される様式で機能するエ ラストマー組成物に対する要求である。 発明の要約 この直ぐに利用できる発明は乾式方法の半導体製造環境で見られる工程条件で 有効に使用可能なパーフルオロエラストマー組成物を提供するものである。 具体的には、この直ぐに利用できる発明は元素状炭素を実質的に含まないパー フルオロエラストマー組成物を提供するものであり、この組成物に、 (A)少なくとも1種の硬化性エラストマー型(elastomeric)パー フルオロポリマー、 (B)硬化剤(curative)を該パーフルオロポリマー100重量部当た り約0.1−5.0重量部、 (C)二酸化ケイ素、硫酸バリウム、酸化アルミニウムおよびケイ酸アルミニウ ムから成る群から選択される少なくとも1種の補強用金属含有充填材を該パーフ ルオロポリマー100重量部当たり約1.0−25重量部、および (D)二酸化チタンを該パーフルオロポリマー100重量部当たり約1.0−2 5重量部、 含有させる。 好適には、上記パーフルオロエラストマー組成物に、更に、酸化亜鉛および酸 化錫から成る群から選択される金属酸化物および少なくとも約10のpKaを示 す有機アミン類から選択される少なくとも1種の酸受容体(acid acce ptor)を該パーフルオロポリマー100重量部当たり約0.1−5.0重量 部含有させる。上記組成物にまた好適には更に少なくとも1種のフルオロポリマ ー充填材を上記パーフルオロポリマー100重量部当たり約1.0−25重量部 含有させる。 発明の詳細な説明 本発明の組成物は、エラストマー型パーフルオロポリマー類、即ち硬化時にエ ラストマー特性を示す実質的に完全フッ素置換されているフルオロポリマー類を 基とする組成物である。このフルオロポリマー類が1種以上の適切な硬化剤の使 用で架橋し得るように、上記ポリマーにそのような架橋性を与える部分を含める 。 本組成物に含める基本的な成分である硬化性のエラストマー型パーフルオロポ リマー類は、典型的に、2種以上の完全フッ素置換モノマー類、例えばテトラフ ルオロエチレン(TFE)および式CF2=CFO(CF2CFXO)nf[式中 、XはFまたはCF3であり、nは0−5であ り、そしてRfは、炭素原子数が1−6のパーフルオロアルキル基である]で表 されるパーフルオロ(アルキルビニル)エーテル(PAVE)などを基としてい て主にそれらから作られたものである。本発明で用いるに好適なPAVEはパー フルオロ(メチルビニル)エーテル(PMVE)である。上記TFEを他のパー ハロオレフィン類、例えばクロロトリフルオロエチレン(CTFE)などに低比 率で置き換えることも可能である。本発明で用いるに好適なPAVE類には(P MVE)、パーフルオロ(プロピルビニル)エーテル(PPVE)、および上記 式中のnがゼロでない特定のPAVE類が含まれる。上記モノマー類を典型的に は架橋を助長するコモノマーと一緒に用いる。また、完全にはフッ素置換されて いないモノマー類を低濃度で用いることも可能である。通常は望ましい架橋特性 が得られるような量で上記モノマー類を用い、それらを約3モル%に及ぶ濃度で 存在させてもよい。そのようなモノマー類の例には、ブロモテトラフルオロブテ ン、ブロモトリフルオロエチレン、フッ化ビニリデン、およびニトリル基含有モ ノマー類が含まれる。 別法としてか或は追加的に、硬化の意図で上記ポリマーに望ましいフラグメン トを導入する目的で、完全にはフッ素置換されていない連鎖移動剤を重合反応で 用いることも可能であり、それらも本発明の文脈で硬化部位部分(cure s ite moieties)であると見なす。そのような作用剤には、該ポリマ ーに、通常は分子の末端部に結合したヨウ素をもたらすジ−ヨード化合物が含ま れる。本発明で使用可能な硬化性エラストマー型パーフルオロポリマーには、米 国特許第3,467,638(Pattison);4,035,565(Apo theker他);4,214,060(Apotheker他);4,243,7 70 (Tatemoto他);4,281,092(Breazeale);4,39 4,489(Aufdermarsh);4,525,539(Feiring) ;4,529,784(Finlay);4,948,853(Logothet is);4,972,028(Logothetis);4,983,680(Oj akaar);5,173,553(Albano他):5,447,993(Lo gothetis);4,983,680(Ojakaar)に記述されている パーフルオロポリマーが含まれる。 本発明のパーフルオロエラストマー組成物に更に少なくとも1種の硬化剤を約 0.1−5.0phr含有させる。パーオキサイド硬化性(curable)パ ーフルオロポリマー類の場合の硬化剤には有機パーオキサイドと上記パーオキサ イド用の共作用剤を含めるべきである。有機パーオキサイドがアルキル型である ことを条件として幅広く多様な有機パーオキサイド類が使用可能である。特に満 足されるパーオキサイドであることを確認した1つの有機パーオキサイドは、A tochem,Inc.からLupersol 101として商業的に入手可能 な2,5−ジメチル−2,5−ジ(t−ブチルパーオキシ)ヘキサンである。こ の有機パーオキサイドの特に満足される濃度は約1−3phrであることを確認 した。この有機パーオキサイドのある形態は不活性担体に担持された形態で入手 可能で、例えばLuperco 101−XL(活性材料が45%)が入手可能 であり、この示した濃度は100%活性有機パーオキサイドを基とした濃度であ る。 パーフルオロポリマー類がパーオキサイド硬化性の場合の本発明のパーフルオ ロエラストマー組成物に入れる硬化剤に、更に、架橋反応を補 助する有機共作用剤を含める。この共作用剤を一般的には約0.1から約10p hr、好適には約2から5phrの範囲の量で存在させる。幅広く多様な有機共 作用剤が使用可能であり、それにはイソシアヌール酸トリアリル、イソシアヌー ル酸トリメチルアリルおよびトリメチロールプロパンのトリメタアクリレートが 含まれ、これらの中でイソシアヌール酸トリアリルが特に満足される共作用剤で あることを確認した。イソシアヌール酸トリアリルおよびイソシアヌール酸トリ メチルアリルはデュポン社(DuPont Company)からDiak # 7およびDiak #8として入手可能である。トリメチロールプロパンのトリ メタアクリレートはSartomer CompanyからSaret350と して商業的に入手可能である。 上記パーフルオロポリマーが、金属含有硬化剤である有機錫、例えばテトラフ ェニル錫などで硬化し得る場合、この材料を上記一般的量で存在させるべきであ る。ニトリル硬化部位を複数含むパーフルオロエラストマー類の場合には、有機 パーオキサイドと有機錫硬化剤の両方を用いるのがしばしば望ましい。また、こ のような硬化剤組み合わせを用いると熱安定性および長期の圧縮永久歪み抵抗力 もパーオキサイドを単独で用いた時に比較して驚くべきほど向上する。この場合 には、硬化剤に錫触媒とパーオキサイド(上記パーフルオロエラストマーの架橋 をもたらし得る)と共作用剤(ジエンまたはトリエンである)の混合物を含めて もよい。 本発明の組成物に、二酸化ケイ素、硫酸バリウム、酸化アルミニウムおよびケ イ酸アルミニウムから成る群から選択される少なくとも1種の補強用金属含有充 填材を上記パーフルオロポリマーの約1.0−25重 量部含める。本発明の補強用充填材は、半導体産業用シリコンウェーハの加工で 用いられる工程および装置に化学的適合性を示す一方で所望の機械的補強を与え るものである。卓越した長期の圧縮永久歪みと熱安定性を得ようとする時にはそ れらの中で硫酸バリウムおよび二酸化ケイ素の片方または両方が特に有益である ことを確認した。 本発明の組成物に二酸化チタンを上記パーフルオロポリマーの約1.0−25 重量部含める。この顔料は、元素状炭素を存在させないことに準じながら本組成 物を硬化させる結果として生じる製品に所望の白さを与えるものである。 本発明のパーフルオロエラストマー組成物に好適には更に酸受容体を約0.1 −5.0phr含める。この酸受容体は、酸化亜鉛および酸化錫から成る群から 選択される金属酸化物および強塩基性有機アミン類から選択可能である。上記金 属酸化物は他の公知酸受容体、例えば酸化マグネシウムおよび酸化カルシウムな ど(これらは潜在的にパーフルオロエラストマーの硬化機構を邪魔する可能性が ある)よりも望ましいことを見い出した。有機アミンを用いる場合、それに少な くとも約10、好適には少なくとも約12のpKaを持たせるべきである。特に 満足されるアミンであることを確認した1つの上記有機アミンは、Aldric 4h Chemical CompanyからProton Spongeとし て商業的に入手可能な1,8−ビス−(ジメチルアミノ)ナフタレンである。特 に満足される別の酸受容体は、Akzo Chemicals)Inc.からA rmeen 18−Dとして商業的に入手可能なオクタデシルアミンである。金 属酸化物を用いる場合には酸化亜鉛が特に満足される酸化物であることを確認し 、従って好適である。 酸受容体を用いると硬化したパーフルオロエラストマーの物理的特性が向上す ることを確認した。酸受容体を用いるとまた特に高温で硬化させるパーフルオロ エラストマーから発生するフッ化物の量が実質的に少なくなることも確認した。 一般的には酸受容体を約0.1から5.0phr用い、約0.1から1.0ph rが特に満足される量であることを確認した。 本発明の組成物に好適には更にフルオロポリマー充填材を約1から25phr 、特に上記充填材を少なくとも約2phr含める。このフルオロポリマー充填材 を存在させると、硬化したパーフルオロエラストマーの機械的特性が向上するば かりでなく硬化性組成物の加工性も向上する。 本組成物で用いるフルオロポリマー充填材は、本フルオロエラストマー組成物 の加工および硬化で用いる最大温度で固体状で容易に分散する微細な如何なる可 塑性フルオロポリマーであってもよい。固体は、上記フルオロプラスチックが部 分結晶性である時にはそれの結晶溶融温度が上記エラストマー型フルオロポリマ ーの加工温度より高くそして上記フルオロプラスチックが非晶質である時にはそ れのガラス転移温度が上記エラストマー型フルオロポリマーの加工温度より高い ことを意味する。そのような容易に分散する微細なフルオロポリマー類はミクロ パウダーまたはフルオロ添加剤と通常呼ばれている。ミクロパウダーはたいてい 部分結晶性ポリマー類である。 本発明の組成物で使用可能なミクロパウダーには、テトラフルオロエチレン( TFE)ポリマー類として知られる群のポリマー類を基とするミクロパウダーが 含まれ得る。このような群には、TFEのホモポリマー(PTFE)およびTF Eと修飾用共重合性モノマー類(樹脂が溶融 加工不能なままであるほどの低濃度)から作られたコポリマー類(修飾PTFE )が含まれる。この修飾用モノマーは、例えばヘキサフルオロプロピレン(HF P)、パーフルオロ(プロピルビニル)エーテル(PPVE)、パーフルオロブ チルエチレン、クロロトリフルオロエチレン、或は側基を分子に導入する他のモ ノマー類であってもよい。このような修飾剤の濃度を通常は1モル%未満にする 。 本発明の組成物で用いるPTFE樹脂には、懸濁重合で作られた樹脂および乳 化重合で作られた樹脂の両方が含まれる。この群のTFEポリマー類にはまたT FEと1種以上の共重合性モノマー(融点をPTFEの融点より有意に下げるに 充分な濃度)から作られた溶融加工可能コポリマー類も含まれる。そのようなコ ポリマ一類の溶融粘度は一般に約0.5−60x103Pa・sであるが、また 上記範囲外の粘度を有するコポリマー類も使用可能である。TFEと一緒に用い るコモノマー類には、パーフルオロオレフィン類およびパーフルオロ(アルキル ビニル)エーテル類などが含まれ得、それらが好適である。完全フッ素置換され ているコモノマー類の中でHFPおよびPPVEが最も好適である。 高い分子量を有するPTFEをミクロパウダーで用いる場合には、それに通常 はイオン化放射線を受けさせてそれの分子量を小さくしておく。このようにする と粉砕が容易になり、そしてPTFEを懸濁重合方法で製造する場合には粉にな り易さが向上し、或はPTFEを乳化重合方法で製造する場合には繊維形成が抑 制されて脱凝集が向上する。また、乳化重合方法で分子量を適切に調節すること を通してTFEの重合でPTFEのミクロパウダーを直接製造することも可能で ある。Moganは米国特許第4,879,362号の中で溶融加工不能で繊維 形成を起こ さないTFEコポリマーを開示しており、上記ポリマーは乳化(分散)重合方法 で製造されていて、選択したフルオロエラストマー組成物で使用可能である。上 記ポリマーは、せん断ブレンドでエラストマー組成物にした時、繊維を形成しな いで小板を形成する。MorganおよびStewartは米国特許第4,90 4,726号にMorganのポリマーをエラストマー類とのブレンドで用いる ことを開示しており、機械的特性、注目すべきは引裂き強度に有利であることを 実証している。本発明の組成物に含める主フルオロエラストマーの粘度が高い時 には、Morganのポリマーを用いると粘度が容認されないレベルまで高くな る可能性があることから、異なるミクロパウダーを選択すべきである。 本発明のフルオロエラストマー組成物ではまた溶融加工可能TFEコポリマー 類、例えばFEP(TFE/HFPコポリマー)およびPFA(TFE/PPV Eコポリマー)なども使用可能であるが、但しそれらがフルオロエラストマー加 工温度に関する溶融温度の制約を満足させることを条件とする。上記コポリマー 類は、粒子サイズが受け入れられるサイズであるならば重合媒体から単離したま まの粉末形態で使用可能であるか、或はより大きな寸法のストックを用いて出発 して適切な粒子サイズに粉砕することも可能である。 上記フルオロポリマー充填材を、一般に、上記エラストマー型パーフルオロポ リマーを基準にして少なくとも約2phr用いる。好適には少なくとも1種のテ トラフルオロエチレン(TFE)ポリマーから本質的に成るフルオロポリマー充 填材およびTFEとPPVEのコポリマーから本質的になるフルオロポリマー充 填材が特に満足される充填材であることを確認した。デュポン社からTeflo n(商標)MP−1600 フルオロ添加剤として商業的に入手可能なフルオロポリマー充填材が本発明で用 いるに特に好適である。 本分野の技術者に明らかなように、本発明の組成物に更に加工性向上用添加剤 を含めることも可能である。本発明の組成物に更に可塑剤を少なくとも約1ph r、一般的には約20phr未満の量で含めてもよい。一般的には約10phr 未満が好適である。特に満足される可塑剤であることを確認した可塑剤にはパー フルオロポリエーテル類が含まれる。 本発明の組成物には元素状炭素、例えばカーボンブラック、グラファイトまた はフッ化グラファイトなどを実質的に含めない。カーボンブラックの形態の元素 状炭素は反応性プラズマ環境、特に半導体産業でシリコンウェーハを加工してい る過程で用いられる酸素含有環境内で酸化することを確認した。シールが劣化す る結果として、酸化されたカーボンブラックが染み出して反応性プラズマ工程流 れを汚染する可能性があることから、ウェーハ加工部分の収率が悪影響受け得る 。 本発明の組成物に入れる補強用金属含有充填材として元素状炭素の代わりに二 酸化ケイ素、硫酸バリウム、酸化アルミニウムおよびケイ酸アルミニウムを使用 することは、それらの方が明らかに酸素プラズマ環境内で比較的安定であること を基礎にしている。加うるに、本発明の補強用充填材は望まれる機械的補強、引 張り特性および硬度を与える一方で、半導体産業でシリコンウェーハを加工して いる過程で用いられる工程および装置に化学的適合性を示し得る。 本発明のコンパンドは、同様なパーフルオロエラストマー組成物に比較して、 乾式半導体製造環境で卓越した性能特徴を示す。本配合物は、カーボンブラック が充填材として入っている組成物に比較して、元素状 炭素を実質的に含まないことから、反応性プラズマ、特に酸素を含有するプラズ マにさらされた時に示す重量損失の度合が有意に低い。具体的には、補強用金属 含有充填材を含有させた本組成物は、本発明で要求する補強用金属含有充填材を 含有させないで二酸化チタンとフルオロポリマー充填材を含有させた配合物に比 較して、反応性プラズマにさらされた時に示す重量損失の度合が有意に低い。 本発明の組成物はユニークな性能特徴組み合わせを示すことから、本組成物は 半導体のウェーハ加工および処理装置で用いられるプランジャーシール、ドアシ ール、リップおよびフェースシール、気体搬送板シール、ウェーハ支持体シール 、バレルシールおよびO−リングシールとして有効に使用可能である。 本発明のパーフルオロエラストマー組成物は、乾式方法の半導体製造環境で用 いられるシール(この場合のシールはしばしば反応性プラズマ、腐食性の洗浄用 ガスおよび高温にさらされる)で使用するに特に適する。本組成物は100%酸 素および混合プラズマシーリング用途で卓越した性能を示す。混合プラズマは、 イオン化ガスの混合物、例えば酸素ガスとヘキサフルオロエチレンの組み合わせ 、SF6と酸素の組み合わせ、またはSF6と塩素の組み合わせなどを意味する。 本組成物がそのような環境下で示す重量損失の度合は低く、また粒子を発生する 性質も低く、そのことから、長期のシール寿命を示す。本組成物は高温炉内およ び石英シーリング用途で卓越した性能を示す。これは、顕著に高い温度でもフッ 化物を発生して放出する度合が低いことによるものである。このことからステン レス鋼および石英ウインドウシーリング構成要素に対して示す腐食および表面エ ッチング作用は最低限である。加うるに、本組成 物は卓越した長期熱安定性と圧縮永久歪み抵抗力を示しかつ高い真空シーリング 性能を示す。このような性能特徴に寄与する具体的なパラメーターを充分には理 解していないが、それらはある程度であるが本調合物で用いる成分の組み合わせ によるものであると考えている。 以下に示す実施例で本発明を更に説明し、ここで、部は特に明記しない限り重 量部である。実験手順 以下に示す実施例では、ゴム用の2本ロールミルを用いて上記ロールを加工す べき具体的なポリマーに応じて約60℃以下の温度に加熱することで、パーフル オロポリマーと他の指定材料から成るコンパンドを調製した。ミルで混合する過 程では、最初にパーフルオロエラストマーポリマーを単独でロール間隙に導入し 、混練りを帯が形成されてポリマーが充分に混ざり合うるまで行い、そして混練 りを回転するバンクがミル上に維持されるようになるまで行う。次に、前以て重 量を測定しておいた添加剤を上記ロール間隙に添加し、その結果として生じた組 成物をそれが均一になるまで混練りした。 このコンパンドにしたブレンド物を圧縮成形で物性試験に適切な形態に変換す ることでダンベルまたはO−リングを生じさせた。硬化および後硬化で従わせた 手順の概略をいろいろな実施例に示す。物性試験では、表Iに要約する試験方法 の要求通りに調製した試験片を用いた。 表I 物性試験方法 記号 物性 試験方法 M100 100%伸びにおける引張り応力 ASTM D-412 及び ASTM D-1414 Tb 破壊時の引張り強度 ASTM D-412 及び ASTM D-1414 Eb 破壊時の伸び ASTM D-412 及び ASTM D-1414 H ジュロメーターA硬度 ASTM D-2240 CS 圧縮永久歪み ASTM D-395 及び ASTM D-1414 HA 熱老化 ASTM D-573 及び ASTM D-1414発生フッ化物の試験手順 フッ化物イオン選択性電極を300℃で用いて30分後に発生したフッ化物を 測定した[発生したフッ素をppm(parts par million)で ]。この手順では、サンプルを金製炉に入れて一定温度で30分間加熱した。水 と吸収剤が入っている弱塩基性溶液を入れた2つのインピンジャー(impin gers)でオフガスを集めた。Dionex Ion Chromatogr aphを用いて水/吸収剤溶液を発生したフッ化物(F−)イオンに関して分析 した。試験結果を指定試験温度で発生したフッ化物イオン(ppm)で表す。金製炉の条件 サンプルの重量−0.5から1.0g 試験温度−多様 加熱時間−30分 パージガス−窒素 ガス流量−100ml/分 ガス収集−インピンジャー1個当たり20ミリリットルの吸収剤 吸収剤の種類−30mMのNaHCO3//24mMのNa2CO3 イオンクロマトグラフィー条件 装置−Dionex Ion Chromatograph カラムの型−Dionex AS3 流量−1分当たり3ミリリットル サンプルループ−250ミクロリットル 溶離剤の種類−3OmMのNaHCO3//24mMのNaHCO3 温度補正−1℃当たり1.7%プラズマ重量損失試験手順 O−リング試験片および試験固定具アセンブリの取り扱い中には保護手袋を着 用する。O−リング試験片の表面および試験固定具アセンブリを試験に先立って アセトンまたはイソプロピルアルコールで清掃/洗浄する。分析用秤を用いて各 O−リング試験片を0.0001g最寄り値で重量測定する。1対のキャリパを 用いて各O−リング試験片の断面直径(CSD)を測定する。O−リングの25 %圧縮を確保するに必要なスペーサーの厚みを、式CSDx0.75=必要なス ペーサーの厚みを用いて計算する。 O−リング試験片と必要なスペーサーを試験固定具に入れる。試験固定具のア センブリをしっかりと固定する。O−リング試験片を反応性プラズマにさらす。 O−リング試験片をさらした後、これをアセンブリから取り出す。O−リング試 験片を周囲温度に冷却する。分析用秤を用いて各O−リング試験片を0.000 1g最寄り値で重量測定する。式(さらした後の重量−さらす前の重量)/(さ らす前の重量)x100=重量損失%を用いて、プラズマにさらす結果として起 こる重量損失(%)を計算する。プラズマ試験条件 使用したプラズマエッチャー − Branson IPC,Model #S3003-181-3ST 使用したプラズマの種類 − 100%酸素および50/50混合プラズマ(O 2/C26) プラズマにさらす条件 − 0.5トールの100%酸素に500ワットで12 0分間 − 1.25トールの50/50混合プラズマに500 ワットで120分間 ガス流量 − 200sccm プラズマ源からの距離 − 20mm コンパンド当たりに試験したO−リング試験片数 − プラズマの種類毎に2つ実施例1−3 実施例1−3では、硬化性エラストマー型パーフルオロポリマーの調製をTF EとPMVEと8−CNVEを用いて行い、ここで、8−CNVEは硬化部位モ ノマーであるパーフルオロ−(8−シアノ−5−メチル−3,6−ジオキサ−1 −オクテン)である。機械的撹拌機が付いていて水ジャケット付きの5Lステン レス鋼製オートクレーブを6.2Mpa(900psi)の圧力下85Cで連続 運転することで重合を実施した。このオートクレーブに脱イオン水が20 1で 過硫酸アンモニウムが93gで燐酸水素ジナトリウム七水化物が553gでパー フルオロカプリル酸アンモニウム(”Fluorad FC−143、3M C O.)が182gの水溶液を688ml/時の輸送速度でポンプ輸送した。同時 にまた脱イオン水が20 1でパーフルオロカプリル酸アンモ ニウムが177gの別の水溶液も688ml/時の輸送速度でポンプ輸送した。 同時に3番目のポンプでパーフルオロP(8−シアノ−5−メチル−3,6−ジ オキサ−1−オクテン)を30.3g/時の輸送速度でポンプ輸送した。ダイヤ フラムコンプレッサーを用いて、テトラフルオロエチレン(376g/時)とパ ーフルオロ(メチルビニルエーテル)(390g/時)の気体混合物を他の流れ と同時に一定供給速度で供給した。レットダウンバルブを用いてポリマーマトリ ックスを連続的に取り出して、未反応のモノマー類を排出させた。32時間の運 転でラテックスを集めた。ポリマーの単離を下記の如く実施した:硫酸マグネシ ウム七水化物が225gで脱イオン水が40 1の溶液を前以て加熱(90−9 5C)しておいて撹拌しながらそれに上記ラテックスを5 1加えた。凝集した 小片状のポリマーを濾過し、水で繰り返し洗浄した後、空気オーブンに入れて7 0Cで48時間乾燥させた。この乾燥させたポリマーの重量は2280gであり 、下記の組成を有していた:パーフルオロ(メチルビニルエーテル)が42.5 重量%でパーフルオロ−(8−シアノ−5−メチル−3,6−ジオキサ−1−オ クテン)が3.3重量%で残りがテトラフルオロエチレン。このポリマーをヘプ タフルオロ−2,2,3−トリクロロブタンとパーフルオロ(ブチルテトラヒド ロフラン)とエチレングリコールジメチルエーテルが60/40/3体積比の溶 媒100gに0.1g入れた溶液中で測定したポリマーのインヘレント粘度は0 .48dl/gであった。ムーニー粘度(ML−10)を15OCで測定して3 0の値を得た。このエラストマー型パーフルオロポリマーを、1phrのテトラ フェニル錫(硬化剤)、表IIに示す量の二酸化ケイ素または硫酸バリウム(補 強用充填材)、二酸化チタン および酸化亜鉛(酸受容体)、およびフルオロポリマー充填材と一緒にし配合し 、圧縮硬化させ、後硬化させた後、標準試験手順に従って試験を受けさせた。試 験スラブ、ペレットおよびO−リング試験片の圧縮硬化を210℃で20分間行 い、次に後硬化を90℃の窒素雰囲気循環オーブン内で6時間行った後、むらの ない様式で10時間かけて305℃に移行させて305℃に26時間置いた。こ の試験片を物性に関して試験して、その試験結果を表IIに報告する。実施例4−7 実施例4−7では、テトラフェニル錫硬化剤が2phrで「Luperco 101XL」パーオキサイド硬化剤が1phrでTAIC(DIAK #7)硬 化共作用剤が1phrの混合物から成る硬化剤を用いて実施例1−3の手順を繰 り返した。この上に示したのと同様にして試験片を試験して、その試験結果も同 様に表IIに報告する。比較実施例AおよびB 実施例AおよびBでは、エラストマー型フルオロポリマーの調製を、TFEと PMVEと8−CNVEをモノマー重量比が約56/42/2になるように用い て行い、ここで、8−CNVEは硬化部位モノマーであるパーフルオロ(8−シ アノ−5−メチル−3,6−ジオキサ−1−オクテン)である。これの調製を一 般に米国特許第4,281,092号に記述されている通りに行った。表IIに 示すように、実施例Aでは上記エラストマー型パーフルオロポリマーを3phr のテトラフェニル錫硬化剤、12phrのカーボンブラックおよび0.3phr の18クラウン6クラウンエーテルと一緒に配合した。実施例Bでは、上記エラ ストマー型パーフルオロポリマーを2phrのテトラフェニル錫硬化剤、 10phrのTeflonミクロパウダー、3phrの二酸化チタンおよび0. 2phrの18クラウン6クラウンエーテルと一緒に配合した。このエラストマ ーコンパンドを圧縮硬化させ、後硬化させた後、標準試験手順に従って試験を受 けさせた。試験スラブ、ペレットおよびO−リング試験片の圧縮硬化を210℃ で20分間行い、次に後硬化を90℃の窒素雰囲気循環オーブン内で6時間行っ た後、むらのない様式で10時間かけて305℃に移行させて305℃に26時 間置いた。この試験片を物性に関して試験して、その試験結果もまた表IIに報 告する。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C08K 5/17 C08K 5/17 5/57 5/57 C08L 71/00 C08L 71/00 Z

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1. 元素状炭素を実質的に含まないパーフルオロエラストマー組成物であっ て、 (A)少なくとも1種の硬化性エラストマー型パーフルオロポリマー、 (B)硬化剤を該パーフルオロポリマー100重量部当たり約0.1−5.0重 量部、 (C)二酸化ケイ素、硫酸バリウム、酸化アルミニウムおよびケイ酸アルミニウ ムから成る群から選択される少なくとも1種の補強用金属含有充填材を該パーフ ルオロポリマー100重量部当たり約1.0−25重量部、および (D)二酸化チタンを該パーフルオロポリマー100重量部当たり約1.0−2 5重量部、 含むパーフルオロエラストマー組成物。 2. 更に酸化亜鉛および酸化錫から成る群から選択される金属酸化物および 少なくとも約10のpKaを示す有機アミン類から選択される少なくとも1種の 酸受容体を該パーフルオロポリマー100重量部当たり約0.1−5.0重量部 含む請求の範囲第1項記載のパーフルオロエラストマー組成物。 3. 該酸受容体が本質的に酸化亜鉛から成る請求の範囲第2項記載のパーフ ルオロエラストマー組成物。 4. 該パーフルオロポリマーの少なくとも一部がテトラフェニル錫による硬 化性を示しそして該硬化剤がテトラフェニル錫を含む請求の範囲第1項記載のパ ーフルオロエラストマー組成物。 5. 該パーフルオロポリマーの少なくとも一部がパーオキサイド硬 化性を示しそして該硬化剤が有機パーオキサイドと該パーオキサイド用共作用剤 を含む請求の範囲第1項記載のパーフルオロエラストマー組成物。 6. 該パーフルオロポリマーの少なくとも一部がパーオキサイド硬化性を示 しそして該硬化剤が有機パーオキサイドと該パーオキサイド用共作用剤を含む請 求の範囲第4項記載のパーフルオロエラストマー組成物。 7. 更に少なくとも1種のフルオロポリマー充填材を該パーフルオロポリマ ー100重量部当たり約1.0−25重量部含む請求の範囲第1項記載のパーフ ルオロエラストマー組成物。 8. 該フルオロポリマー充填材が本質的に少なくとも1種のテトラフルオロ エチレンポリマーから成る請求の範囲第7項記載のパーフルオロエラストマー組 成物。 9. 該フルオロポリマー充填材が本質的にTFEとPPVEのコポリマーか ら成る請求の範囲第8項記載のパーフルオロエラストマー組成物。 10. 該フルオロポリマー充填材が本質的にTFEと(HFPのコポリマー から成る請求の範囲第8項記載のパーフルオロエラストマー組成物。 11. 該酸受容体が本質的に有機アミンから成る請求の範囲第2項記載のパ ーフルオロエラストマー組成物。 12. 該有機アミンが1,8−ビス−(ジメチルアミノ)ナフタレンである 請求の範囲第11項記載のパーフルオロエラストマー組成物。 13. 該有機パーオキサイドが本質的に2,5−ジメチル−2,5 −ジ(t−ブチルパーオキシ)ヘキサンから成る請求の範囲第5項記載のパーフ ルオロエラストマー組成物。 14. 該パーオキサイド用共作用剤がTAICおよびTMAICから選択さ れる請求の範囲第5項記載のパーフルオロエラストマー組成物。 15. 該有機パーオキサイドが本質的に2,5−ジメチル−2,5−ジ(t −ブチルパーオキシ)ヘキサンから成る請求の範囲第6項記載のパーフルオロエ ラストマー組成物。 16. 該パーオキサイド用共作用剤がTAICおよびTMAICから選択さ れる請求の範囲第6項記載のパーフルオロエラストマー組成物。 17. 該補強用充填材が二酸化ケイ素および硫酸バリウムの少なくとも1つ を含む請求の範囲第1項記載のパーフルオロエラストマー組成物。 18. 該補強用充填材が本質的に二酸化ケイ素から成る請求の範囲第17項 記載のパーフルオロエラストマー組成物。 19. 該補強用充填材が本質的に硫酸バリウムから成る請求の範囲第17項 記載のパーフルオロエラストマー組成物。 20. 該補強用充填材が本質的にケイ酸アルミニウムから成る請求の範囲第 1項記載のパーフルオロエラストマー組成物。 21. 該補強用充填材が本質的に酸化アルミニウムから成る請求の範囲第1 項記載のパーフルオロエラストマー組成物。 22. 更に可塑剤を該パーフルオロポリマー100重量部当たり少なくとも 約1重量部含む請求の範囲第1項記載のパーフルオロエラストマー組成物。 23. 該可塑剤が本質的にパーフルオロポリエーテルから成る請求 の範囲第22項記載のパーフルオロエラストマー組成物。 24. 該パーフルオロポリマーが本質的にテトラフルオロエチレンとパーフ ルオロ(アルキルビニル)エーテルと硬化部位モノマーが共重合した単位から成 る請求の範囲第1項記載のパーフルオロエラストマー組成物。 25. 該パーフルオロ(アルキルビニル)エーテルが本質的にパーフルオロ (メチルビニル)エーテルから成りそして該硬化部位モノマーがニトリル基を含 む請求の範囲第24項記載のパーフルオロエラストマー組成物。 26. 元素状炭素を実質的に含まないパーフルオロエラストマー組成物であ って、 (A)少なくとも1種の硬化性エラストマー型パーフルオロポリマー、 (B)硬化剤を該パーフルオロポリマー100重量部当たり約0.1−5.0重 量部、 (C)二酸化ケイ素、硫酸バリウム、酸化アルミニウムおよびケイ酸アルミニウ ムから成る群から選択される少なくとも1種の補強用金属含有充填材を該パーフ ルオロポリマー100重量部当たり約1.0−25重量部、 (D)二酸化チタン顔料を該パーフルオロポリマー100重量部当たり約1.0 −25重量部、 (E)少なくとも1種のフルオロポリマー充填材を該パーフルオロポリマー10 0重量部当たり約1.0−25重量部、および (F)酸化亜鉛および酸化錫から成る群から選択される金属酸化物および少なく とも約10のpKaを示す有機アミン類から選択される少なく とも1種の酸受容体を該パーフルオロポリマー100重量部当たり約0.1−5 .0重量部、 含むパーフルオロエラストマー組成物。 27. 請求の範囲第1項記載の組成物から作られた硬化品。 28. 請求の範囲第26項記載の組成物から作られた硬化品。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000044930A (ja) * 1998-05-29 2000-02-15 Du Pont Dow Elastomers Llc 白色エラストマ―シ―ル材およびその製造方法
WO2003051987A1 (en) * 2001-12-17 2003-06-26 Daikin Industries, Ltd. Elastomer formed product
WO2007058051A1 (ja) * 2005-11-17 2007-05-24 Unimatec Co., Ltd. 含フッ素アロイ化共重合体
JP2013532737A (ja) * 2010-07-20 2013-08-19 ソルヴェイ・スペシャルティ・ポリマーズ・イタリー・エッセ・ピ・ア フルオロエラストマ組成物
JP2013177631A (ja) * 2005-05-25 2013-09-09 Gore Enterprise Holdings Inc 高純度パーフルオロエラストマー複合材およびその製造方法
WO2014167797A1 (ja) * 2013-04-09 2014-10-16 ニチアス株式会社 架橋フルオロエラストマーの製造方法
JP2016502584A (ja) * 2012-12-03 2016-01-28 イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニーE.I.Du Pont De Nemours And Company 硬化パーフルオロエラストマー物品

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6191208B1 (en) 1998-05-20 2001-02-20 Dupont Dow Elastomers L.L.S. Thermally stable perfluoroelastomer composition
US7049380B1 (en) * 1999-01-19 2006-05-23 Gore Enterprise Holdings, Inc. Thermoplastic copolymer of tetrafluoroethylene and perfluoromethyl vinyl ether and medical devices employing the copolymer
IT1308627B1 (it) * 1999-02-23 2002-01-09 Ausimont Spa Composizioni fluoroelastomeriche.
JP2004532902A (ja) * 2000-12-14 2004-10-28 デュポン ダウ エラストマーズ エルエルシー 高純度半透明ペルフルオロエラストマー物品の製造方法
JP3807493B2 (ja) * 2002-01-08 2006-08-09 信越化学工業株式会社 フッ素ゴム組成物及びその硬化物を含む物品
US20040024448A1 (en) 2002-08-05 2004-02-05 Chang James W. Thermoplastic fluoropolymer-coated medical devices
US7247749B2 (en) * 2003-01-29 2007-07-24 Greene, Tweed Of Delaware, Inc. Bisaminophenyl-based curatives and amidine-based curatives and cure accelerators for perfluoroelastomeric compositions
JP2006516671A (ja) 2003-01-29 2006-07-06 グリーン, ツイード オブ デラウェア, インコーポレイテッド ペルフルオロエラストマー組成物のためのビスアミノフェニルベースの硬化剤および硬化促進剤ならびにアミジンベースの硬化剤および硬化促進剤
JP4334897B2 (ja) * 2003-03-25 2009-09-30 ニチアス株式会社 フッ素ゴム成形体の製造方法
US6992143B2 (en) * 2003-08-15 2006-01-31 Dupont Dow Elastomers Llc Curable perfluoroelastomer composition
US20050107544A1 (en) * 2003-11-13 2005-05-19 Shuhong Wang Plasma resistant curable fluoroelastomer composition
AU2004303723A1 (en) * 2003-12-24 2005-07-07 Fonterra Co-Operative Group Limited Resilient compound for sealing device comprising detectable material such as barium sulfate
US7652211B2 (en) * 2004-01-23 2010-01-26 E. I. Du Pont De Nemours And Company Plenum cable
US7514506B2 (en) * 2004-03-31 2009-04-07 Greene, Tweed Of Delaware, Inc. Fast curing fluoroelastomeric compositions, adhesive fluoroelastomeric compositions and methods for bonding fluoroelastomeric compositions
US7354974B2 (en) * 2004-05-20 2008-04-08 Dupont Performance Elastomers Llc Blends of perfluoroelastomers and fluoroplastics
US7381774B2 (en) * 2005-10-25 2008-06-03 Dupont Performance Elastomers, Llc Perfluoroelastomer compositions for low temperature applications
WO2008041557A1 (fr) * 2006-10-03 2008-04-10 Unimatec Co., Ltd. Composition élastomère contenant du fluor
US20090018275A1 (en) * 2007-01-26 2009-01-15 Greene, Tweed Of Delaware, Inc. Method of Bonding Perfluoroelastomeric Materials to a Surface
KR100837122B1 (ko) 2007-03-15 2008-06-11 주식회사 엠앤이 반도체 실링에 이용되는 내열특성이 향상된 불소고무 및이의 제조방법
JP2008266368A (ja) 2007-04-16 2008-11-06 Daikin Ind Ltd 含フッ素エラストマー組成物およびそれからなるシール材
CA2719795A1 (en) 2008-03-27 2009-10-01 Greene, Tweed Of Delaware, Inc. Inert substrate-bonded fluoroelastomer components and related methods
EP2669302B1 (en) 2008-04-08 2016-11-09 Greene, Tweed Technologies, Inc. Oxygen plasma-resistant composition characterized by low sticking and related methods
WO2012040250A2 (en) 2010-09-24 2012-03-29 Greene, Tweed Of Delaware, Inc. Fluorine-containing elastomer compositions suitable for high temperature applications
US9365712B2 (en) 2010-09-24 2016-06-14 Greene, Tweed Technologies, Inc. Fluorine-containing elastomer compositions suitable for high temperature applications
US20130053519A1 (en) * 2011-08-31 2013-02-28 E. I. Du Pont De Nemours And Company Acid resistant fluoroelastomer compositions
WO2018038917A1 (en) * 2016-08-25 2018-03-01 E. I. Du Pont De Nemours And Company Fluoroelastomer compounds
CN109912908B (zh) 2017-12-13 2021-05-18 财团法人工业技术研究院 基板组合物及由其所制备的基板
TWI695033B (zh) * 2017-12-13 2020-06-01 財團法人工業技術研究院 基板組成物及由其所製備之基板
US11794296B2 (en) 2022-02-03 2023-10-24 Applied Materials, Inc. Electrostatic chuck with porous plug

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3311585A (en) * 1964-11-27 1967-03-28 Du Pont Fire-resistant reflective coatings of fibrous potassium titanate, colloidal silica and elastomeric latex
US4281092A (en) * 1978-11-30 1981-07-28 E. I. Du Pont De Nemours And Company Vulcanizable fluorinated copolymers
US4271275A (en) * 1979-12-14 1981-06-02 E. I. Du Pont De Nemours And Company Fluoroelastomer composition containing oxirane acid acceptor
US4316836A (en) * 1980-04-23 1982-02-23 E. I. Du Pont De Nemours And Company Stabilized fluoroelastomer compositions
US4900793A (en) * 1982-08-12 1990-02-13 Lagow Richard J Fluorinated elastomeric materials
US4599370A (en) * 1984-12-06 1986-07-08 Plastic Specialties And Technologies, Inc. Powdered elastomer dry blends and process for injection molding
US4708988A (en) * 1985-07-01 1987-11-24 E. I. Du Pont De Nemours And Company Process for dynamically partially gelling fluoroelastomers
US4722758A (en) * 1985-09-04 1988-02-02 Raychem Corporation Method of covering an electrical connection or cable with a fluoroelastomer mixture
JPS6281440A (ja) * 1985-10-07 1987-04-14 Hitachi Cable Ltd 放射線照射架橋可能なふつ素樹脂組成物
US4713418A (en) * 1985-12-06 1987-12-15 E. I. Du Pont De Nemours And Company Blends of fluoroplastics and fluoroelastomers
US4904726A (en) * 1987-12-31 1990-02-27 E. I. Dupont Denemours And Company Modified polytetrafluoroethylene resins and blends thereof
US4879362A (en) * 1987-12-31 1989-11-07 E. I. Dupont De Nemours And Company Modified polytetrafluoroethylene resins
US4983680A (en) * 1988-05-25 1991-01-08 E. I. Du Pont De Nemours And Company Cured perfluoroelastomers and their preparation
JP2787073B2 (ja) * 1989-10-13 1998-08-13 ジェイエスアール株式会社 ゴム組成物
US5317074A (en) * 1991-02-07 1994-05-31 Minnesota Mining And Manufacturing Company Stain-resistant elastomeric orthodontic force module
US5444116A (en) * 1993-07-14 1995-08-22 Greene, Tweed & Co. Perfluoroelastomeric compositions and seals having improved chemical resistance and methods of making the same
DE69408460T2 (de) * 1993-07-16 1998-05-20 Du Pont Hochreine fluorelastomerzusammensetzungen

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000044930A (ja) * 1998-05-29 2000-02-15 Du Pont Dow Elastomers Llc 白色エラストマ―シ―ル材およびその製造方法
JP4550954B2 (ja) * 1998-05-29 2010-09-22 デュポン パフォーマンス エラストマーズ エルエルシー 白色エラストマーシール材およびその製造方法
WO2003051987A1 (en) * 2001-12-17 2003-06-26 Daikin Industries, Ltd. Elastomer formed product
JP2013177631A (ja) * 2005-05-25 2013-09-09 Gore Enterprise Holdings Inc 高純度パーフルオロエラストマー複合材およびその製造方法
WO2007058051A1 (ja) * 2005-11-17 2007-05-24 Unimatec Co., Ltd. 含フッ素アロイ化共重合体
JP2007137994A (ja) * 2005-11-17 2007-06-07 Yunimatekku Kk 含フッ素アロイ化共重合体
JP2013532737A (ja) * 2010-07-20 2013-08-19 ソルヴェイ・スペシャルティ・ポリマーズ・イタリー・エッセ・ピ・ア フルオロエラストマ組成物
JP2016502584A (ja) * 2012-12-03 2016-01-28 イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニーE.I.Du Pont De Nemours And Company 硬化パーフルオロエラストマー物品
WO2014167797A1 (ja) * 2013-04-09 2014-10-16 ニチアス株式会社 架橋フルオロエラストマーの製造方法
JPWO2014167797A1 (ja) * 2013-04-09 2017-02-16 ニチアス株式会社 架橋フルオロエラストマーの製造方法

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